KR20060060477A - Image display device with anode pad and method for manufacturing the anode pad - Google Patents

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KR20060060477A
KR20060060477A KR1020040099551A KR20040099551A KR20060060477A KR 20060060477 A KR20060060477 A KR 20060060477A KR 1020040099551 A KR1020040099551 A KR 1020040099551A KR 20040099551 A KR20040099551 A KR 20040099551A KR 20060060477 A KR20060060477 A KR 20060060477A
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지현철
정승희
오혁근
이원복
윤해수
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삼성에스디아이 주식회사
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Abstract

본 발명은 스페이서를 내장하지 않고도 전자 방출부와 형광층이 위치하는 영역을 균일한 간격으로 유지시키며, 애노드 패드부를 개선한 화상 표시장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 화상 표시장치는 전자 방출부가 제공되는 제1 기판과, 제1 기판의 전방에 배치되어 제1 기판과 함께 제1 영역을 형성하는 제2 기판과, 제1 기판의 후방에 배치되어 제1 기판과 함께 제1 영역과 서로 연통되는 제2 영역을 형성하는 보강 부재를 구비하는 진공 구조체를 포함한다. 이때 제2 기판은 그 일면에 금속의 애노드 전극 및 이 애노드 전극과 접촉하는 금속의 애노드 패드부를 형성하고, 애노드 패드부와의 접촉 부위에 0.2~2㎛의 표면 거칠기를 갖는 요철면을 형성한다.The present invention relates to an image display apparatus which maintains an area where an electron emitting portion and a fluorescent layer are located at even intervals without embedding a spacer, and improves an anode pad portion. The image display apparatus according to the present invention provides an electron emitting portion. A first substrate, a second substrate disposed in front of the first substrate to form a first region together with the first substrate, and a second substrate disposed behind the first substrate and in communication with the first region together with the first substrate. And a vacuum structure having a reinforcing member forming a second region. At this time, the second substrate forms a metal anode electrode on one surface thereof and an anode pad portion of metal contacting the anode electrode, and forms an uneven surface having a surface roughness of 0.2 to 2 μm on a contact portion with the anode pad portion.

진공구조체, 애노드전극, 형광스크린, 흑색층, 애노드패드부, 전자방출부, 보강부재, 보강기판Vacuum structure, anode electrode, fluorescent screen, black layer, anode pad part, electron emitting part, reinforcing member, reinforcing board

Description

애노드 패드부를 구비한 화상 표시장치 및 애노드 패드부의 제조 방법 {IMAGE DISPLAY DEVICE WITH ANODE PAD AND METHOD FOR MANUFACTURING THE ANODE PAD}IMAGE DISPLAY DEVICE WITH ANODE PAD AND METHOD FOR MANUFACTURING THE ANODE PAD

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 화상 표시장치의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of an image display device according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 도시한 제2 기판의 저면도이다.FIG. 2 is a bottom view of the second substrate shown in FIG. 1.

도 3은 도 1에 도시한 화상 표시장치를 후방에서 바라본 사시도이다.3 is a perspective view of the image display device illustrated in FIG. 1 as viewed from the rear.

도 4는 보강 부재의 다른 실시예를 나타낸 화상 표시장치의 단면도이다.4 is a sectional view of an image display device showing another embodiment of the reinforcing member.

도 5는 진공 구조체의 다른 실시예를 나타낸 화상 표시장치의 단면도이다.5 is a sectional view of an image display device showing another embodiment of a vacuum structure.

도 6은 도 5에 도시한 보강 기판의 부분 사시도이다.6 is a partial perspective view of the reinforcing substrate shown in FIG. 5.

도 7a와 도 7b는 본 발명에 의한 애노드 패드부의 제조 방법을 설명하기 위해 도시한 각 단계에서의 개략도이다.7A and 7B are schematic views at each step shown to explain a method for manufacturing an anode pad part according to the present invention.

도 8은 본 발명에 따른 화상 표시장치를 전계 방출 표시장치에 적용한 경우를 도시한 부분 분해 사시도이다.8 is a partially exploded perspective view showing a case where the image display device according to the present invention is applied to a field emission display device.

도 9는 본 발명에 따른 화상 표시장치를 전계 방출 표시장치에 적용한 경우를 도시한 부분 단면도이다.9 is a partial sectional view showing a case where the image display device according to the present invention is applied to a field emission display device.

본 발명은 화상 표시장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 스페이서를 내장하지 않고도 전자 방출부와 형광층이 위치하는 영역을 균일한 간격으로 유지시키며, 애노드 패드부를 개선한 화상 표시장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an image display device, and more particularly, to an image display device in which an area in which an electron emitting portion and a fluorescent layer are located at uniform intervals and an anode pad portion are improved without embedding a spacer.

형광층 발광에 전자를 이용하는 화상 표시장치는 통상적으로 그 내부에 전자 방출부와 형광층이 구비된 진공 구조체를 기본 구성으로 하며, 전자 방출부로부터 방출된 전자들로 형광층을 여기시켜 소정의 표시 작용을 하게 된다.An image display apparatus using electrons for emitting a fluorescent layer typically has a basic structure of a vacuum structure having an electron emitting portion and a fluorescent layer therein, and excites a fluorescent layer with electrons emitted from the electron emitting portion to display a predetermined display. It works.

이러한 화상 표시장치는 전자원의 종류에 따라 열음극을 이용하는 방식과 냉음극을 이용하는 방식으로 분류할 수 있다. 또한, 진공 구조체의 형상에 따라 음극선관과 같이 벌브형 구조체를 이용하는 방식과, 형광 표시관 및 전계 방출 표시장치와 같이 전면 기판과 후면 기판이 임의의 간격을 두고 그 둘레가 접합된 후 내부 공간이 배기된 평판형 구조체를 이용하는 방식으로 분류할 수 있다.Such image display apparatuses can be classified into a method using a hot cathode and a method using a cold cathode according to the type of electron source. In addition, depending on the shape of the vacuum structure, a bulb-type structure such as a cathode ray tube is used, and an inner space is formed after the front substrate and the rear substrate are bonded at random intervals, such as a fluorescent display tube and a field emission display device. It can be classified in a manner using an exhausted plate-like structure.

상기에서 평판형 구조체를 이용하는 화상 표시장치는, 화면 크기가 커지고 내부 진공도가 높아짐에 따라 진공 구조체에 가해지는 압축력이 커지게 된다. 따라서 통상의 화상 표시장치는 진공 구조체 내부에 스페이서를 다수 설치하여 전면 기판과 후면 기판을 일정한 간격으로 유지시키면서 압축력에 의한 진공 구조체의 변형 또는 파손을 방지하고 있다.In the image display apparatus using the flat panel structure as described above, as the screen size increases and the internal vacuum degree increases, the compressive force applied to the vacuum structure increases. Therefore, in the conventional image display apparatus, a large number of spacers are provided inside the vacuum structure to prevent deformation or breakage of the vacuum structure due to the compressive force while maintaining the front substrate and the rear substrate at regular intervals.

그런데 최근의 화상 표시장치가 고해상도화 하면서 스페이서가 위치할 비발광 영역의 폭이 좁아지고 있으며, 이에 대응하여 미세한 크기와 높은 종횡비를 갖 는 스페이서가 요구되고 있다. 그러나 이 조건을 만족하는 스페이서는 그 제조가 용이하지 않을 뿐만 아니라 수천개의 미세 스페이서를 전면 기판 또는 후면 기판 위에 부착할 때에 공정상 많은 어려움이 있다.However, in recent years, as the image display device becomes higher resolution, the width of the non-light emitting area in which the spacer is to be located becomes narrower. Accordingly, a spacer having a fine size and a high aspect ratio is required. However, spacers satisfying this condition are not easy to manufacture, and there are many difficulties in the process when attaching thousands of micro spacers onto the front substrate or the rear substrate.

또한 종래의 화상 표시장치는 배기관을 통해 구조체 내부를 배기시키는 과정에서 스페이서들로 인해 초기 진공도를 높일 수 없으며, 배기 과정에서 스페이서의 장착 불량이 일어날 수 있다. 화상 표시장치가 초기에 고진공을 확보하지 못하면, 진공 구조체 내부에 제공된 부재들의 가스 방출(outgassing)로 인해 진공도가 점차 낮아져 소자 특성이 저하된다. 또한 장착 불량이 일어난 스페이서는 형광층을 손상시키거나 전자빔 경로를 막아 화면 품질을 저하시킨다.In addition, the conventional image display apparatus may not increase the initial vacuum degree due to the spacers in the process of exhausting the inside of the structure through the exhaust pipe, and a bad mounting of the spacer may occur in the exhaust process. If the image display device does not initially secure high vacuum, the degree of vacuum is gradually lowered due to outgassing of members provided inside the vacuum structure, thereby degrading device characteristics. In addition, spacers in which mounting failure occurs may damage the fluorescent layer or block the electron beam path, thereby degrading the screen quality.

더욱이 스페이서의 높이로 결정되는 전면 기판과 후면 기판 사이의 간격은 스페이서의 제조상 한계로 인해 그 크기를 키우는데 일정한 한계가 있다. 이는 전계 방출 표시장치의 경우, 오프(off)되어야 할 화소의 전자 방출부에서 애노드 전계의 영향으로 전자가 방출되는 등의 표시 불량을 일으킨다. 통상 애노드 전압과 화면 휘도는 비례 관계에 있으며, 전술한 이유로 인해 종래의 전계 방출 표시장치는 고휘도 구현에 어려움이 있다.Moreover, the gap between the front substrate and the rear substrate, which is determined by the height of the spacer, has a certain limit in increasing its size due to the manufacturing limitations of the spacer. In the case of the field emission display device, this causes display defects such as electrons being emitted under the influence of the anode electric field in the electron emission portion of the pixel to be turned off. In general, the anode voltage and the screen brightness have a proportional relationship, and for the aforementioned reasons, the conventional field emission display has difficulty in implementing high brightness.

한편, 화상 표시장치는 진공 구조체의 내부와 외부에 걸쳐 형성되어 애노드 전극에 전압을 인가하는 애노드 패드부를 구비한다. 통상 애노드 패드부는 형광 스크린의 흑색층을 형성할 때 이와 동시에 형성되며, 흑색층과 애노드 패드부는 주로 크롬 산화막으로 이루어진다.On the other hand, the image display device includes an anode pad portion formed over the inside and outside of the vacuum structure to apply a voltage to the anode electrode. Usually, the anode pad portion is formed at the same time as forming the black layer of the fluorescent screen, and the black layer and the anode pad portion are mainly composed of chromium oxide film.

종래 화상 표시장치에서 흑색층과 애노드 패드부는 주로 ①애노드 전극으로 기능하는 ITO(indium tin oxide)막을 표시 영역과 패드 영역으로 구분하고, ②ITO막 위에 크롬을 스퍼터링하고, ③크롬층 위에 드라이필름 레지스트를 도포하고, ④노광 및 현상을 통해 드라이필름 레지스트를 패터닝하고, ⑤에칭을 통해 크롬층을 선택적으로 제거하여 흑색층과 애노드 패드부 패턴을 형성하고, ⑥드라이필름 레지스트를 박리하고, ⑦열처리 과정을 거쳐 ITO와 크롬의 반응으로 크롬 산화막을 형성하는 과정을 통해 완성된다. 그런데 이와 같이 완성되는 애노드 패드부는 제조가 복잡하여 공정 효율이 저하되는 단점이 있다.In the conventional image display apparatus, the black layer and the anode pad portion are mainly divided into 1) an indium tin oxide (ITO) film serving as an anode electrode, into a display area and a pad area, ② sputtering chromium on the ITO film, and ③ a dry film resist on the chromium layer. Apply dry, ④ pattern the dry film resist through exposure and development, ⑤ selectively remove the chromium layer through etching, form the black layer and the anode pad pattern, ⑥ peel off the dry film resist, ⑦ heat treatment process It is completed by forming a chromium oxide film through the reaction of ITO and chromium. However, the anode pad portion thus completed has a disadvantage in that manufacturing is complicated and the process efficiency is lowered.

이와 같이 스페이서는 평판형 진공 구조체의 안정성을 확보하는데 유효한 부재이나, 화상 표시장치의 생산성을 저하시키는 주 원인이 되고 있으며, 화면 품질을 개선하는데 저해 요인으로 작용한다.As described above, the spacer is an effective member for securing the stability of the flat plate vacuum structure, but is a major cause of lowering the productivity of the image display device, and serves as a detrimental factor in improving the screen quality.

따라서 본 발명은 상기한 문제점을 해소하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 스페이서를 내장하지 않고도 안정적인 진공 구조체를 형성하며, 애노드 패드부의 제조 공정을 단순화하고 제조 비용을 저감시킬 수 있는 화상 표시장치를 제공하는데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to solve the above problems, and an object of the present invention is to form a stable vacuum structure without embedding a spacer, and to provide an image display apparatus which can simplify the manufacturing process of the anode pad portion and reduce the manufacturing cost. It is.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 화상 표시장치는, 전자 방출부가 제공되는 제1 기판과, 제1 기판의 전방에 배치되어 제1 기판과 함께 제1 영역을 형성하는 제2 기판과, 제1 기판의 후방에 배치되어 제1 기판과 함께 제1 영역과 서로 연통되는 제2 영역을 형성하는 보강 부재를 구비하는 진공 구조체를 포함한다. 이때 제2 기판은 그 일면에 금속의 애노드 전극 및 이 애노드 전극과 접촉하는 금속 의 애노드 패드부를 형성하고, 애노드 패드부와의 접촉 부위에 0.2~2㎛의 표면 거칠기를 갖는 요철면을 형성한다.An image display device of the present invention for achieving the above object comprises a first substrate provided with an electron emitting portion, a second substrate disposed in front of the first substrate to form a first region together with the first substrate, And a vacuum structure having a reinforcing member disposed behind the first substrate, the reinforcing member defining a second region in communication with the first region together with the first substrate. At this time, the second substrate forms a metal anode electrode on one surface thereof and an anode pad portion of metal contacting the anode electrode, and forms an uneven surface having a surface roughness of 0.2 to 2 μm on a contact portion with the anode pad portion.

또한, 상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 화상 표시장치는, 전자 방출부가 제공되는 제1 기판과, 제1 기판보다 큰 두께를 가지며 제1 기판의 전방에 배치되고 금속의 애노드 전극 및 이 애노드 전극과 접촉하는 금속의 애노드 패드부가 제공되는 제2 기판과, 제1 기판보다 큰 두께를 가지며 제1 기판의 후면에 부착되고 제1 기판 및 제2 기판과 함께 진공 구조체를 형성하는 보강 기판을 포함한다. 이때 제2 기판은 애노드 패드부와의 접촉 부위에 0.2~2㎛의 표면 거칠기를 갖는 요철면을 형성한다.In addition, the image display device of the present invention for achieving the above object, the first substrate provided with the electron emitting portion, and having a larger thickness than the first substrate and disposed in front of the first substrate and the metal anode electrode and the anode A second substrate provided with an anode pad portion of metal in contact with the electrode, and a reinforcement substrate having a thickness greater than that of the first substrate and attached to a rear surface of the first substrate and forming a vacuum structure together with the first substrate and the second substrate; do. At this time, the second substrate forms a concave-convex surface having a surface roughness of 0.2 to 2 μm at a contact portion with the anode pad portion.

또한, 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,In addition, the present invention, in order to achieve the above object,

제2 기판 위에 애노드 패드부 형상에 대응하는 개구부를 갖는 마스크를 배치하는 단계와, 개구부에 의해 노출된 제2 기판 부위를 표면 처리하여 0.2~2㎛의 표면 거칠기를 갖는 요철면을 형성하는 단계와, 요철면 위에 금속을 스퍼터링하여 애노드 패드부를 형성하는 단계를 포함하는 화상 표시장치의 애노드 패드부 제조 방법을 제공한다.Disposing a mask having an opening corresponding to the shape of the anode pad portion on the second substrate, and surface treating the second substrate portion exposed by the opening to form an uneven surface having a surface roughness of 0.2 to 2 μm; And forming an anode pad portion by sputtering a metal on an uneven surface.

이하, 첨부한 도면을 참고하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 화상 표시장치의 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시한 제2 기판의 저면도이며, 도 3은 도 1에 도시한 화상 표시장치를 후방에서 바라본 사시도이다. 1 is a cross-sectional view of an image display device according to an exemplary embodiment of the present invention, FIG. 2 is a bottom view of the second substrate shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a perspective view of the image display device shown in FIG. .                     

도 1 내지 도 3을 참고하면, 화상 표시장치는 제1 영역(100)을 사이에 두고 서로 대향 배치되는 제1 기판(2) 및 제2 기판(4)과, 제1 기판(2)의 후방에 부착되며 제1 기판(2)과 함께 제2 영역(200)을 형성하는 보강 부재(6)로 이루어진 진공 구조체(8)를 구비한다.1 to 3, the image display device includes a first substrate 2 and a second substrate 4 disposed opposite to each other with the first region 100 interposed therebetween, and a rear side of the first substrate 2. And a vacuum structure (8) consisting of a reinforcing member (6) attached to and forming a second region (200) together with the first substrate (2).

상기 제1 영역(100)과 제2 영역(200)은 진공 구조체(8) 내부에서 제1 기판(2)에 의해 나뉘어진 공간을 의미하며, 진공 구조체(8) 내부의 제1 기판(2)에는 제1 영역(100)과 제2 영역(200)이 서로 연통되도록 하는 관통홀(2a)이 형성된다.The first region 100 and the second region 200 mean a space divided by the first substrate 2 in the vacuum structure 8, and the first substrate 2 in the vacuum structure 8. The through hole 2a is formed in the first region 100 and the second region 200 to communicate with each other.

보다 구체적으로, 제1 기판(2)에는 전자 방출을 위한 구성, 즉 전자 방출 수단(10)이 제공된다. 제2 기판(4)에는 전자에 의해 가시광을 방출하여 임의의 발광 또는 표시를 행하는 구성, 즉 형광 스크린(12)이 제공된다.More specifically, the first substrate 2 is provided with a configuration for electron emission, that is, electron emission means 10. The second substrate 4 is provided with a configuration, that is, a fluorescent screen 12, which emits visible light by electrons to perform any light emission or display.

상기 제1 기판(2)과 제2 기판(4)은 양 기판 사이의 가장자리 부위에서 사각 프레임 모양의 측벽(14)을 위치시킨 상태에서 일체로 접합될 수 있다. 이로써 제1 기판(2)과 제2 기판(4) 및 측벽(14)으로 둘러싸인 제1 영역(100)이 형성되고, 측벽(14)의 높이에 따라 제1 기판(2)과 제2 기판(4)의 간격이 결정된다.The first substrate 2 and the second substrate 4 may be integrally bonded while the sidewalls 14 having a rectangular frame shape are positioned at edge portions between the two substrates. As a result, a first region 100 surrounded by the first substrate 2, the second substrate 4, and the sidewall 14 is formed, and the first substrate 2 and the second substrate (according to the height of the sidewall 14) are formed. The interval of 4) is determined.

측벽(14)은 저융점 유리인 프릿(frit)에 의해 제1 기판(2)과 제2 기판(4)에 부착될 수 있으며, 도면에서 부호 16이 측벽(14)을 제1 기판(2) 및 제2 기판(4)에 접합시키는 제1 프릿층을 나타낸다.The side wall 14 may be attached to the first substrate 2 and the second substrate 4 by frit, which is low melting point glass, and the reference numeral 16 in the drawing denotes the side wall 14 and the first substrate 2. And a first frit layer bonded to the second substrate 4.

여기서 제2 기판(4)은 진공 압축력에 견디는 충분한 두께, 일례로 10mm 이상의 두께로 형성되는 것이 바람직하다. 반면 제1 기판(2)은 제2 기판(4)보다 작은 두께, 일례로 5mm 이하의 두께로 형성되는 것이 바람직하다. Here, the second substrate 4 is preferably formed to a sufficient thickness to withstand the vacuum compression force, for example, a thickness of 10 mm or more. On the other hand, the first substrate 2 is preferably formed to a thickness smaller than the second substrate 4, for example, 5 mm or less.                     

제1 기판(2)은 전자 방출부와 더불어 전자 방출부로부터 전자를 방출시키기 위한 구동 전극들이 마련되는 기판이므로, 전자 방출부와 구동 전극들 및 구동 전극들간 절연을 위한 절연층 등을 형성하는 과정에서 여러번의 고온 열처리 과정을 거치게 된다. 이로써 온도 변화에 따른 제1 기판(2)의 열응력을 줄여 제1 기판(2)의 깨짐을 방지하고 성막 특성을 높이기 위해서는 제1 기판(2)의 두께가 5mm 이하인 것이 바람직하다.Since the first substrate 2 is a substrate provided with driving electrodes for emitting electrons from the electron emitting portion together with the electron emitting portion, a process of forming an insulating layer for insulating between the electron emitting portion, the driving electrodes, and the driving electrodes is performed. Is subjected to several high temperature heat treatment processes. Accordingly, the thickness of the first substrate 2 is preferably 5 mm or less in order to reduce thermal stress of the first substrate 2 due to temperature change, thereby preventing cracking of the first substrate 2, and to increase film formation characteristics.

이러한 제1 기판(2) 후방에는 제1 기판(2)을 대신하여 진공 구조체(8)의 외형을 이루는 보강 부재(6)가 부착되며, 제1 기판(2)과 보강 부재(6)로 둘러싸인 제2 영역(200)이 형성된다. 제2 영역(200)은 제1 영역(100)보다 큰 체적, 바람직하게 2배 이상의 큰 체적을 갖도록 형성된다. 보강 부재(6)는 프릿에 의해 제1 기판(2)에 부착될 수 있으며, 도면에서 부호 18이 제1 기판(2)과 보강 부재(6)를 접합시키는 제2 프릿층을 나타낸다.The reinforcing member 6 forming the outline of the vacuum structure 8 is attached to the back of the first substrate 2 in place of the first substrate 2, and is surrounded by the first substrate 2 and the reinforcing member 6. The second region 200 is formed. The second region 200 is formed to have a volume larger than that of the first region 100, preferably two times or more. The reinforcing member 6 may be attached to the first substrate 2 by frit, in which the reference numeral 18 denotes a second frit layer joining the first substrate 2 and the reinforcing member 6.

상기 보강 부재(6)는 강도 특성을 고려하여 그 최소 두께가 제1 기판(2)의 두께보다 크게 형성되는 것이 바람직하다. 이러한 보강 부재(6)에는 구조체 내부를 배기시키는데 사용되는 배기관(20)과, 배기 후 잔류 가스를 흡착하여 제거하기 위한 게터(22)가 제공될 수 있다.It is preferable that the minimum thickness of the reinforcing member 6 is greater than the thickness of the first substrate 2 in consideration of the strength characteristic. The reinforcing member 6 may be provided with an exhaust pipe 20 used to exhaust the inside of the structure, and a getter 22 for adsorbing and removing residual gas after the exhaust.

이와 같이 진공 구조체(8)는 보강 부재(6)에 의해 제1 기판(2) 후방에 제1 영역(100)과 연통되는 제2 영역(200)을 형성하여 내부 체적이 확대됨에 따라, 제1 영역(100)에 스페이서를 구비하지 않고도 제1 기판(2)과 제2 기판(4)의 간격을 일정하게 유지시키며, 안정된 구조를 확보할 수 있다. As described above, the vacuum structure 8 forms the second region 200 communicating with the first region 100 behind the first substrate 2 by the reinforcing member 6, thereby expanding the internal volume. The gap between the first substrate 2 and the second substrate 4 can be kept constant without having a spacer in the region 100, and a stable structure can be ensured.                     

그리고 본 실시예의 진공 구조체(8)는 내부 체적이 확대되어 초기 진공도를 대략 10-6 Torr 이상으로 높일 수 있다. 초기 진공도를 높이면 제품 사용시 전자 방출 수단(10) 또는 형광 스크린(12)을 구성하는 물질들에서 가스 방출이 일어나 진공도가 낮아지더라도 높은 초기 진공도가 이를 보상하여 진공도 열화와 이에 따른 소자 특성 저하를 예방할 수 있다.And the vacuum structure 8 of the present embodiment can increase the internal volume to increase the initial vacuum degree to approximately 10 -6 Torr or more. If the initial vacuum degree is increased, even if the gas is released from the materials constituting the electron emitting means 10 or the fluorescent screen 12 when the product is used, the high initial vacuum degree compensates for this even if the vacuum degree is lowered, thereby preventing deterioration of the vacuum degree and consequent deterioration of device characteristics. Can be.

본 실시예에서 형광 스크린(12)은 형광층, 예를 들어 서로간 임의의 거리를 두고 위치하는 적색, 녹색 및 청색의 형광층(24R, 24G, 24B)과, 각 형광층(24R, 24G, 24B) 사이에 위치하여 화면의 콘트라스트를 높이는 흑색층(26)과, 형광층(24R, 24G, 24B)과 흑색층(26) 위에 형성되는 금속(예를 들어 알루미늄)의 애노드 전극(28)으로 이루어진다. 그리고 제2 기판(4)에는 진공 구조체(8) 내부와 외부에 걸쳐 형성되며 그 일부가 애노드 전극(28)과 접촉하는 애노드 패드부(30)가 형성된다.In the present embodiment, the fluorescent screen 12 includes a fluorescent layer, for example, red, green, and blue fluorescent layers 24R, 24G, 24B positioned at arbitrary distances from each other, and each of the fluorescent layers 24R, 24G, A black layer 26 positioned between 24B to increase the contrast of the screen, and an anode electrode 28 of a metal (for example, aluminum) formed on the fluorescent layers 24R, 24G and 24B and the black layer 26. Is done. An anode pad portion 30 is formed on the second substrate 4 over the inside and outside of the vacuum structure 8, and a part thereof contacts the anode electrode 28.

애노드 전극(28)은 ITO와 같은 투명 전극층이 아닌 증착에 의한 금속막으로 이루어진다. 이러한 애노드 전극(28)은 형광층(24R, 24G, 24B)에서 애노드 전극(28)을 향해 방사된 가시광을 제2 기판(4) 측으로 반사시켜 화면의 휘도를 높이며, 종래 ITO막과 같은 패터닝 과정이 요구되지 않아 형광 스크린(12)의 제조 공정을 단순화할 수 있다.The anode electrode 28 is made of a metal film by deposition, not a transparent electrode layer such as ITO. The anode electrode 28 reflects the visible light emitted from the fluorescent layers 24R, 24G, and 24B toward the anode electrode 28 toward the second substrate 4 to increase the brightness of the screen, and the patterning process as in the conventional ITO film. This is not required so that the manufacturing process of the fluorescent screen 12 can be simplified.

상기 애노드 패드부(30)는 외부의 회로 장치(도시하지 않음)와 접촉되어 이로부터 애노드 전압을 인가받으므로 우수한 견고성이 요구된다. 이를 위해 애노드 패드부(30)와 접촉하는 제2 기판(4) 부위에는 0.2~2㎛의 표면 거칠기를 갖는 요철면(4a)이 형성되고, 요철면(4a) 위로 애노드 패드부(30)가 형성된다.Since the anode pad part 30 is in contact with an external circuit device (not shown) and receives an anode voltage therefrom, excellent robustness is required. To this end, an uneven surface 4a having a surface roughness of 0.2 to 2 μm is formed at a portion of the second substrate 4 that contacts the anode pad portion 30, and the anode pad portion 30 is formed on the uneven surface 4a. Is formed.

애노드 패드부(30)는 크롬(Cr), 니켈(Ni), 구리(Cu), 은(Ag) 또는 알루미늄(Al) 등의 금속으로 이루어지고, 요철면(4a)에 의해 제2 기판(4)에 대한 접착력이 높아져 도전 특성과 접착 수명이 개선되는 효과를 갖는다.The anode pad part 30 is made of metal such as chromium (Cr), nickel (Ni), copper (Cu), silver (Ag), or aluminum (Al), and the second substrate 4 is formed by the uneven surface 4a. The adhesion to) is increased, thereby improving the conductive properties and the adhesion life.

이 때 애노드 패드부(30)와 접촉하는 제2 기판(4) 부위가 0.2㎛ 미만의 표면 거칠기를 가지면 이후의 세정 구간에서 애노드 패드부(30)가 쉽게 탈락되고, 애노드 패드부(30)와 접촉하는 제2 기판(4) 부위가 2㎛를 초과하는 표면 거칠기를 가지면 이 부위를 통해 진공이 누설되거나 누설 전류가 발생하는 등 진공 구조체(8) 품질이 저하된다.At this time, if the portion of the second substrate 4 in contact with the anode pad portion 30 has a surface roughness of less than 0.2 μm, the anode pad portion 30 is easily dropped in a subsequent cleaning section, and the anode pad portion 30 is separated from the anode pad portion 30. If the portion of the second substrate 4 in contact has a surface roughness of more than 2 μm, the vacuum structure 8 is degraded, such as leaking a vacuum or generating a leakage current.

도 1과 도 3에서는 보강 부재(6)가 2개 이상의 상반된 곡면, 즉 제1 기판(2)을 향해 오목한 곡면과 제1 기판(2)을 향해 볼록한 곡면이 조합되어 이루어진 경우를 도시하였다.1 and 3 illustrate a case in which the reinforcing member 6 is formed by combining two or more opposite surfaces, that is, a concave surface concave toward the first substrate 2 and a convex surface toward the first substrate 2.

본 실시예에서 보강 부재(6)는 제1 기판(2)을 향해 볼록한 부분 구면을 형성하는 중앙부(6a)와, 제1 기판(2)을 향해 오목한 곡률을 가지면서 중앙부(6a)와 제1 기판(2)을 연결하는 몸체부(6b)로 이루어진다. 이러한 보강 부재(6)는 제1 기판(2)을 향한 몸체부(6b)의 오목한 곡률로 인해 제2 영역(200)의 체적을 충분히 확보하면서 제1 기판(2)을 향한 중앙부(6a)의 볼록한 곡률로 인해 진공 구조체(8)의 전장(depth)이 커지는 것을 막는 효과가 있다.In this embodiment, the reinforcing member 6 has a central portion 6a which forms a partial spherical surface convex toward the first substrate 2, and a central portion 6a and the first having a concave curvature toward the first substrate 2. It consists of a body part 6b connecting the substrate 2. This reinforcing member 6 is formed by the concave curvature of the body portion 6b facing the first substrate 2 while maintaining a sufficient volume of the second region 200 while maintaining the volume of the central portion 6a facing the first substrate 2. Due to the convex curvature, there is an effect of preventing an increase in the depth of the vacuum structure 8.

전술한 형상의 보강 부재(6)는 진공 압축력에 의한 응력을 분산시키는데 효 과적이며, 안정적인 진공 구조체를 형성하는데 도움을 준다. 이때 배기관(20)은 진공 구조체(8)의 전장을 최소화할 수 있도록 중앙부(6a)의 중심에 위치할 수 있다.The reinforcing member 6 of the above-described shape is effective in dispersing the stress by the vacuum compression force, and helps to form a stable vacuum structure. At this time, the exhaust pipe 20 may be located at the center of the central portion 6a to minimize the total length of the vacuum structure (8).

상기 보강 부재는 전술한 형상 이외에 도 4에 도시한 형상으로 이루어질 수 있다. 도 4를 참고하면, 보강 부재(32)는 제1 기판(2)의 후면과 일정한 거리를 두고 이와 평행하게 배치되는 대향부(32a)와, 대향부(32a)의 가장자리로부터 제1 기판(2)을 향해 연장되어 제1 기판(2) 후면에 부착되는 스커트부(32b)로 이루어진다. 이때 제2 영역(200)이 제1 영역(100)보다 큰 체적을 가질 수 있도록 스커트부(32b)가 측벽(14)보다 큰 높이로 형성되는 것이 바람직하다.The reinforcing member may be formed in the shape shown in FIG. 4 in addition to the shape described above. Referring to FIG. 4, the reinforcing member 32 includes an opposing portion 32a disposed at a predetermined distance from the rear surface of the first substrate 2 and arranged in parallel thereto, and the first substrate 2 from an edge of the opposing portion 32a. And a skirt portion 32b extending toward the back surface and attached to the rear surface of the first substrate 2. In this case, the skirt portion 32b may be formed to have a height greater than that of the side wall 14 so that the second region 200 may have a larger volume than the first region 100.

한편, 제1 기판(2) 후면에는 전술한 보강 부재(6, 32) 대신 보강 기판이 구비될 수 있다. 도 5를 참고하면, 제1 기판(2) 후면에는 보강 기판(34)이 부착되어 제1 기판(2) 및 제2 기판(4)과 함께 진공 구조체(8')를 형성한다. 보강 기판(34)은 제1 기판(2)보다 큰 두께로 형성되고, 제1 기판(2) 위에 모든 성막 공정이 완료된 후 제1 기판(2) 외측에 부착된다.Meanwhile, a reinforcement substrate may be provided on the rear surface of the first substrate 2 instead of the reinforcement members 6 and 32 described above. Referring to FIG. 5, a reinforcing substrate 34 is attached to a rear surface of the first substrate 2 to form a vacuum structure 8 ′ together with the first substrate 2 and the second substrate 4. The reinforcing substrate 34 is formed to have a thickness larger than that of the first substrate 2, and after all the deposition processes are completed on the first substrate 2, the reinforcing substrate 34 is attached to the outside of the first substrate 2.

제1 기판(2)과 보강 기판(34)은 10mm 이상, 바람직하게 15mm 이상의 전체 두께를 가진다. 보강 기판(34)은 프릿에 의해 제1 기판(2) 후면에 접합되며, 도면에서 부호 36이 제1 기판(2)과 보강 기판(34)을 접합시키는 제2 프릿층을 나타낸다.The first substrate 2 and the reinforcement substrate 34 have a total thickness of at least 10 mm, preferably at least 15 mm. The reinforcing substrate 34 is bonded to the rear surface of the first substrate 2 by the frit, and reference numeral 36 in the drawing denotes the second frit layer bonding the first substrate 2 and the reinforcing substrate 34.

보강 기판(34)은 도 5와 도 6에 도시한 바와 같이 그 외면에 사각 패턴의 오목부(34a)를 다수 형성하여 격자 모양의 돌기부(34b)를 갖는 형상으로 이루어질 수 있다. 다른 한편으로, 도시는 생략하였으나 보강 기판은 일정한 두께를 갖는 평판으로 이루어질 수 있다. 이러한 격자형 보강 기판(34)은 평판형 보강 기판과 유사 한 강도 특성을 나타내면서 보강 기판(34)의 중량을 줄여 화상 표시장치의 무게를 줄이는 효과가 있다.As shown in FIGS. 5 and 6, the reinforcing substrate 34 may have a shape having a lattice-shaped protrusion 34b by forming a plurality of recesses 34a having a square pattern on the outer surface thereof. On the other hand, although not shown, the reinforcing substrate may be formed of a flat plate having a constant thickness. The lattice-shaped reinforcement board 34 exhibits strength characteristics similar to those of a flat plate reinforcement board, thereby reducing the weight of the reinforcing board 34 to reduce the weight of the image display device.

보강 기판(34)은 유리 또는 엔지니어링 플라스틱으로 형성될 수 있다. 엔지니어링 플라스틱은 수십만 내지 수백만의 분자량을 갖는 고분자 수지로서, 강도, 탄성, 내충격성, 내마모성, 내열성, 내한성, 내약품성 및 전기절연성이 우수하다. 여러 종류의 엔지니어링 플라스틱 가운데 열가소성 폴리아미드 수지가 보강 기판(34)으로 사용될 수 있다.The reinforcement substrate 34 may be formed of glass or engineering plastic. Engineering plastics are polymer resins having molecular weights of hundreds of thousands to millions, and are excellent in strength, elasticity, impact resistance, wear resistance, heat resistance, cold resistance, chemical resistance, and electrical insulation. Among various kinds of engineering plastics, thermoplastic polyamide resin may be used as the reinforcing substrate 34.

상기 진공 구조체(8')에는 내부 공간을 배기시키기 위한 배기구가 구비되는데, 일례로 도 5에 도시한 바와 같이 제1 기판(2)과 보강 기판(34)에 배기구(2b, 34c)가 형성될 수 있다. 이때 배기구(2b, 34c)는 제1 기판(2) 상에서 전자 방출 수단(10)이 구비되지 않은 영역, 즉 비유효 영역에 위치하며, 도면에서 부호 38은 배기관을 나타낸다.The vacuum structure 8 ′ is provided with an exhaust port for exhausting an internal space. For example, as illustrated in FIG. 5, exhaust ports 2b and 34c may be formed in the first substrate 2 and the reinforcement substrate 34. Can be. At this time, the exhaust ports 2b and 34c are located in an area in which the electron emission means 10 is not provided, that is, an ineffective area, on the first substrate 2, and reference numeral 38 in the drawing denotes an exhaust pipe.

다음으로 도 7a와 도 7b를 참고하여 전술한 애노드 패드부의 제조 방법에 대해 설명한다.Next, a method of manufacturing the anode pad unit described above will be described with reference to FIGS. 7A and 7B.

먼저 도 7a에 도시한 바와 같이, 제2 기판(4) 위에 애노드 패드부 형상에 대응하는 개구부(40a)를 갖는 마스크(40)를 배치하고, 개구부(40a)에 의해 노출된 제2 기판(4) 부위를 표면 처리하여 0.2~2㎛의 표면 거칠기를 갖는 요철면(4a)을 형성한다.First, as shown in FIG. 7A, a mask 40 having an opening 40a corresponding to the shape of the anode pad portion is disposed on the second substrate 4, and the second substrate 4 exposed by the opening 40a is disposed. ) Site | part is surface-treated and the uneven surface 4a which has surface roughness of 0.2-2 micrometers is formed.

상기 표면 처리는 개구부(40a)에 의해 노출된 제2 기판(4) 부위에 미세 모래를 고속으로 분사하여 요철면(4a)을 형성하는 샌드 블라스트법과, 개구부(40a)에 의해 노출된 제2 기판(4) 부위를 식각하여 요철면(4a)을 형성하는 표면 에칭법과, 개구부(40a)에 의해 노출된 제2 기판(4) 부위를 샌드 페이퍼로 문질러 요철면을 형성하는 방법 중 어느 하나가 적용될 수 있다.The surface treatment includes a sand blasting method of forming a concave-convex surface 4a by spraying fine sand at high speed to a portion of the second substrate 4 exposed by the opening 40a, and a second substrate exposed by the opening 40a. (4) Either a surface etching method for etching the portions to form the uneven surface 4a, and a method for forming the uneven surface by rubbing the second substrate 4 portion exposed by the opening 40a with sand paper is applied. Can be.

다음으로, 상기 요철면(4a) 위에 금속, 일례로 크롬을 스퍼터링하고 마스크(40)를 제거함으로써 도 7b에 도시한 애노드 패드부(30)를 완성한다. 이와 같이 요철면(4a) 위에 형성된 애노드 패드부(30)는 제2 기판(4)에 대한 접착력이 우수하여 이후 흑색층과 형광층을 형성하는 과정에서 여러번의 세정 과정을 거쳐도 제2 기판(4)으로부터 탈락되는 일 없이 우수한 막 품질을 유지할 수 있다.Next, the anode pad portion 30 shown in FIG. 7B is completed by sputtering a metal, for example chromium, on the uneven surface 4a and removing the mask 40. As described above, the anode pad part 30 formed on the uneven surface 4a has excellent adhesion to the second substrate 4, and thus, even after several cleaning processes in the process of forming a black layer and a fluorescent layer, the second substrate ( Excellent film quality can be maintained without falling off from 4).

도 8과 도 9를 참고하여 전술한 화상 표시장치가 전계 방출 표시장치에 적용된 경우를 설명한다.The case where the above-described image display device is applied to the field emission display device will be described with reference to FIGS. 8 and 9.

도면을 참고하면, 제1 기판(2) 위에는 캐소드 전극들(44)이 제1 기판(2)의 일방향(도면의 y축 방향)을 따라 스트라이프 패턴으로 형성되고, 캐소드 전극들(44)을 덮으면서 제1 기판(2) 전체에 절연층(46)이 형성된다. 절연층(46) 위에는 캐소드 전극(44)과 직교하는 방향(도면의 x축 방향)을 따라 게이트 전극들(48)이 스프라이트 패턴으로 형성된다.Referring to the drawings, cathode electrodes 44 are formed on the first substrate 2 in a stripe pattern along one direction (y-axis direction of the drawing) of the first substrate 2, and cover the cathode electrodes 44. In addition, the insulating layer 46 is formed on the entire first substrate 2. Gate electrodes 48 are formed in a sprite pattern on the insulating layer 46 in a direction orthogonal to the cathode electrode 44 (the x-axis direction in the drawing).

캐소드 전극(44)과 게이트 전극(48)의 교차 영역마다 게이트 전극(48)과 절연층(46)에는 개구부(48a, 46a)가 형성되어 캐소드 전극(44)의 일부 표면을 노출시키며, 노출된 캐소드 전극(44) 위로 전자 방출부(50)가 형성된다.Openings 48a and 46a are formed in the gate electrode 48 and the insulating layer 46 at each intersection of the cathode electrode 44 and the gate electrode 48 to expose a part of the surface of the cathode electrode 44. The electron emission part 50 is formed on the cathode electrode 44.

상기 전자 방출부(50)는 진공 중에서 전계가 가해지면 전자를 방출하는 물질들, 가령 카본계 물질 또는 나노미터(nm) 사이즈 물질로 이루어진다. 전자 방출부 (50)로 사용 바람직한 물질로는 카본 나노튜브, 흑연, 흑연 나노파이버, 다이아몬드, 다이아몬드상 카본, C60 및 실리콘 나노와이어 중 어느 하나 또는 이들의 조합 물질이 있으며, 전자 방출부(50)의 제조법으로는 스크린 인쇄, 화학기상증착, 스퍼터링 또는 카본 나노튜브의 직접 성장법 등이 적용될 수 있다.The electron emission unit 50 is formed of materials that emit electrons when an electric field is applied in a vacuum, such as a carbon-based material or a nanometer (nm) size material. Preferred materials for use as the electron emitter 50 include any one of carbon nanotubes, graphite, graphite nanofibers, diamond, diamond-like carbon, C 60 and silicon nanowires, or a combination thereof, and electron emitter 50 ), Screen printing, chemical vapor deposition, sputtering or direct growth of carbon nanotubes may be applied.

한편, 도시는 생략하였으나 전자 방출부는 몰리브덴(Mo) 또는 실리콘(Si) 등을 주 재질로 하는 선단이 뾰족한 팁 구조물의 복합체로 이루어질 수 있다. 또한, 상기에서는 절연층(46)을 사이에 두고 게이트 전극(48)이 캐소드 전극(44) 상부에 위치하는 경우를 설명하였으나, 게이트 전극이 절연층을 사이에 두고 캐소드 전극 하부에 위치하는 경우도 가능하다.On the other hand, although not shown, the electron emitting portion may be made of a composite of a tip structure having a pointed tip mainly made of molybdenum (Mo) or silicon (Si). In the above description, the case in which the gate electrode 48 is positioned above the cathode electrode 44 with the insulating layer 46 interposed therebetween is also described in the case where the gate electrode is positioned below the cathode electrode with the insulating layer interposed therebetween. It is possible.

그리고 제1 기판(2)에 대향하는 제2 기판(4)의 일면에는 전술한 구성의 형광 스크린(12)이 형성된다.The fluorescent screen 12 having the above-described configuration is formed on one surface of the second substrate 4 facing the first substrate 2.

상기 캐소드 전극(44)과 게이트 전극(48)에 소정의 구동 전압을 인가하면, 두 전극간 전위 차에 의해 전자 방출부(50) 주위에 전계가 형성되어 이로부터 전자가 방출되고, 방출된 전자들은 애노드 전극(28)에 인가된 고전압에 이끌려 제2 기판(4)으로 향하면서 해당 화소의 형광층에 충돌하여 이를 발광시킨다.When a predetermined driving voltage is applied to the cathode electrode 44 and the gate electrode 48, an electric field is formed around the electron emission part 50 by the potential difference between the two electrodes, and electrons are emitted therefrom, and the emitted electrons are emitted. They are attracted by the high voltage applied to the anode electrode 28 to the second substrate 4 and collide with the fluorescent layer of the corresponding pixel to emit light.

이때 진공 구조체는 그 내부에 지지 구조를 마련하지 않고도 진공 압축력에 충분히 견디는 구조로 이루어짐에 따라, 제1 기판(2)과 제2 기판(4)의 간격을 5mm 이상으로 크게 할 수 있다. 그 결과 애노드 전극(28)에 7kV 이상의 고전압을 인가할 수 있어 화면 휘도와 색재현율을 높일 수 있다. At this time, the vacuum structure is made of a structure that sufficiently withstands the vacuum compression force without providing a support structure therein, it is possible to increase the distance between the first substrate 2 and the second substrate 4 to 5mm or more. As a result, a high voltage of 7 kV or higher can be applied to the anode electrode 28, so that screen brightness and color reproducibility can be increased.                     

상기에서는 화상 표시장치의 일례로 전계 방출 표시장치를 설명하였으나, 본 발명은 여기에 한정되지 않고 그 이외의 다른 화상 표시장치에도 적용 가능하다.In the above, the field emission display device has been described as an example of the image display device. However, the present invention is not limited thereto and can be applied to other image display devices.

또한, 상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.In addition, although the preferred embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications and changes can be made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. Naturally, it is within the scope of the present invention.

이와 같이 본 발명에 의한 화상 표시장치는 스페이서를 내장하지 않고도 진공 압축력에 견디는 안정된 진공 구조체를 제공한다. 따라서 본 발명에 의한 화상 표시장치는 제조가 용이하고, 고진공 확보에 유리하여 진공도 저하에 따른 특성 저하를 예방할 수 있다. 또한 본 발명에 의한 화상 표시장치는 전술한 요철면에 의해 제2 기판에 대한 애노드 패드부의 접착력을 높여 애노드 패드부의 도전 특성과 접착 수명을 개선하는 효과가 있다.As described above, the image display device according to the present invention provides a stable vacuum structure that withstands the vacuum compression force without embedding a spacer. Therefore, the image display device according to the present invention is easy to manufacture, and is advantageous for ensuring high vacuum, thereby preventing the deterioration of characteristics caused by the decrease in the degree of vacuum. In addition, the image display device according to the present invention has the effect of improving the adhesion properties of the anode pad portion and the adhesion life by increasing the adhesion of the anode pad portion to the second substrate by the above-mentioned uneven surface.

Claims (13)

전자 방출부가 제공되는 제1 기판과, 제1 기판의 전방에 배치되어 제1 기판과 함께 제1 영역을 형성하는 제2 기판과, 제1 기판의 후방에 배치되어 제1 기판과 함께 제1 영역과 서로 연통되는 제2 영역을 형성하는 보강 부재를 구비하는 진공 구조체를 포함하며,A first substrate provided with an electron emission section, a second substrate disposed in front of the first substrate to form a first region together with the first substrate, and a first region disposed behind the first substrate and together with the first substrate And a vacuum structure having a reinforcing member forming a second region in communication with each other, 상기 제2 기판은 그 일면에 금속의 애노드 전극 및 이 애노드 전극과 접촉하는 금속의 애노드 패드부를 형성하고, 애노드 패드부와의 접촉 부위에 0.2~2㎛의 표면 거칠기를 갖는 요철면을 형성하는 화상 표시장치.The second substrate is an image in which a metal anode electrode and a metal anode pad portion in contact with the anode electrode are formed on one surface thereof, and an uneven surface having a surface roughness of 0.2 to 2 μm is formed on the contact portion with the anode pad portion. Display. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 기판이 상기 진공 구조체 내부에서 제1 영역과 제2 영역이 서로 연통되도록 하는 적어도 하나의 관통홀을 형성하는 화상 표시장치.And the first substrate forms at least one through hole for allowing a first region and a second region to communicate with each other in the vacuum structure. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제2 기판과 보강 부재가 상기 제1 기판보다 큰 두께를 가지는 화상 표시장치.And the second substrate and the reinforcing member have a thickness greater than that of the first substrate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제2 영역의 체적이 상기 제1 영역 체적의 2배보다 크거나 같은 화상 표 시장치.An image ticket market value of which the volume of said second area is greater than or equal to twice the volume of said first area. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 보강 부재가 상기 제1 기판을 향해 볼록한 부분 구면을 형성하는 중앙부와, 제1 기판을 향해 오목한 곡률을 가지면서 중앙부와 제1 기판을 연결하는 몸체부를 포함하는 화상 표시장치.And a central portion forming the partial spherical surface convex toward the first substrate, and a body portion connecting the central portion and the first substrate with a concave curvature toward the first substrate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 보강 부재가 상기 제1 기판의 후면과 임의의 간격을 두고 제1 기판과 평행하게 배치되는 대향부와, 대향부의 가장자리로부터 제1 기판을 향해 연장되는 스커트부를 포함하는 화상 표시장치.And the reinforcing member having an opposing portion disposed in parallel with the first substrate at an arbitrary distance from a rear surface of the first substrate, and a skirt portion extending from the edge of the opposing portion toward the first substrate. 전자 방출부가 제공되는 제1 기판과;A first substrate provided with an electron emission section; 상기 제1 기판보다 큰 두께를 가지며 제1 기판의 전방에 배치되고, 금속의 애노드 전극 및 이 애노드 전극과 접촉하는 금속의 애노드 패드부가 제공되는 제2 기판; 및A second substrate having a thickness greater than that of the first substrate and disposed in front of the first substrate, the second substrate being provided with a metal anode electrode and a metal anode pad portion in contact with the anode electrode; And 상기 제1 기판보다 큰 두께를 가지며 제1 기판의 후면에 부착되고, 제1 기판 및 제2 기판과 함께 진공 구조체를 형성하는 보강 기판을 포함하며,A reinforcing substrate having a thickness greater than that of the first substrate and attached to a rear surface of the first substrate and forming a vacuum structure together with the first substrate and the second substrate, 상기 제2 기판이 상기 애노드 패드부와의 접촉 부위에 0.2~2㎛의 표면 거칠기를 갖는 요철면을 형성하는 화상 표시장치.And the second substrate forms a concave-convex surface having a surface roughness of 0.2 to 2 탆 at a contact portion with the anode pad portion. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 보강 기판이 그 외면에 격자형 돌기부를 형성하는 화상 표시장치.And the reinforcing substrate forms a lattice projection on its outer surface. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 보강 기판이 유리와 엔지니어링 플라스틱 중 어느 하나로 형성되는 화상 표시장치.And the reinforcing substrate is formed of any one of glass and engineering plastic. 제1항 또는 제7항에 있어서,The method according to claim 1 or 7, 상기 애노드 패드부가 크롬(Cr), 니켈(Ni), 구리(Cu), 은(Ag) 및 알루미늄(Al)으로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나의 물질로 형성되는 화상 표시장치.And the anode pad portion is formed of any one material selected from the group consisting of chromium (Cr), nickel (Ni), copper (Cu), silver (Ag), and aluminum (Al). 제1항 또는 제7항에 있어서,The method according to claim 1 or 7, 상기 전자 방출부가 냉음극 전자원으로 이루어지는 화상 표시장치.An image display device, wherein the electron emission portion is a cold cathode electron source. (a) 제2 기판 위에 애노드 패드부 형상에 대응하는 개구부를 갖는 마스크를 배치하는 단계와;(a) disposing a mask having an opening corresponding to the shape of the anode pad portion on the second substrate; (b) 상기 개구부에 의해 노출된 제2 기판 부위를 표면 처리하여 0.2~2㎛의 표면 거칠기를 갖는 요철면을 형성하는 단계와;(b) surface-treating the second substrate portion exposed by the opening to form an uneven surface having a surface roughness of 0.2 to 2 μm; (c) 상기 요철면 위에 금속을 스퍼터링하여 애노드 패드부를 형성하는 단계(c) forming an anode pad part by sputtering metal on the uneven surface; 를 포함하는 화상 표시장치의 애노드 패드부 제조 방법.An anode pad portion manufacturing method of an image display device comprising a. 제12항에 있어서,The method of claim 12, 상기 요철면을 형성할 때, 샌드 블라스트법, 표면 에칭법 및 샌드 페이퍼를 이용한 문지르기 방법 중 어느 하나로 형성하는 화상 표시장치의 애노드 패드부 제조 방법.A method of manufacturing an anode pad portion of an image display apparatus when the uneven surface is formed by any one of a sand blasting method, a surface etching method, and a rubbing method using sand paper.
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