KR20060059055A - Gripping device for substrate - Google Patents

Gripping device for substrate Download PDF

Info

Publication number
KR20060059055A
KR20060059055A KR1020040098218A KR20040098218A KR20060059055A KR 20060059055 A KR20060059055 A KR 20060059055A KR 1020040098218 A KR1020040098218 A KR 1020040098218A KR 20040098218 A KR20040098218 A KR 20040098218A KR 20060059055 A KR20060059055 A KR 20060059055A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cam
substrate
gripper
actuator
roller
Prior art date
Application number
KR1020040098218A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김덕호
이완기
김대희
김기조
박형수
Original Assignee
가부시끼가이샤가이죠
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시끼가이샤가이죠 filed Critical 가부시끼가이샤가이죠
Priority to KR1020040098218A priority Critical patent/KR20060059055A/en
Priority to JP2005338588A priority patent/JP2006157007A/en
Publication of KR20060059055A publication Critical patent/KR20060059055A/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67144—Apparatus for mounting on conductive members, e.g. leadframes or conductors on insulating substrates
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment

Abstract

본 발명은 기판용 그리핑 장치에 관한 것으로, 엑츄에이터에 의해 수평회전되도록 캠이 바디에 내장되고, 회전되는 캠에 의해 직선운동되도록 그리퍼가 바디에 일부 삽입되어 배치되며, 엑츄에이터의 구동에 따라 캠의 회전 방향 및 회전속도 등이 조정되는 동시에 기판과의 근접 거리에 따라 그러퍼의 운동속도가 가변됨으로 인해, 그리핑 장치가 반영구적이면서 슬림화 및 경량화되고, 캠에 의한 그리퍼의 동작으로 운동범위에 대한 정밀도가 향상되며, 파지되는 기판의 손상이 최소화되도록 이루어진 것이다. The present invention relates to a gripping device for a substrate, in which a cam is embedded in the body to be horizontally rotated by an actuator, and a gripper is partially inserted into the body so as to be linearly moved by the cam that is rotated, and the cam is driven by the actuator. The gripper is semi-permanent, slimmer and lighter because the gripper's movement speed is variable depending on the proximity of the substrate and the rotational direction and the rotational speed. Is improved and damage to the substrate to be held is minimized.

또한, 하나의 엑츄에이터에 두 개의 캠이 배치되기도 하고, 두 쌍의 엑츄에이터와 캠이 상호 대칭되도록 배치되기도 하여, 공통적으로 그리퍼가 이분화되어 상호 달리 동작되도록 구성됨으로 인해, 소정의 공정 전ㆍ후에 따른 파지 및 재파지되면서 그리퍼에 의한 기판의 오염이 현저히 저감되도록 이루어진 것이다.In addition, two cams may be arranged in one actuator, and two pairs of actuators and cams may be arranged to be symmetrical to each other, and the grippers may be divided into two parts so as to operate differently. While gripping and re-gripping, the contamination of the substrate by the gripper is significantly reduced.

박판, 웨이퍼, 그리퍼, 캠  Lamination, Wafer, Gripper, Cam

Description

기판용 그리핑 장치{Gripping device for substrate} Gripping device for substrate             

도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 기판형 그리핑 장치가 개략적으로 도시된 사시도이고,1 is a perspective view schematically showing a substrate-type gripping apparatus according to a first embodiment of the present invention,

도 2는 도 1의 그리퍼 내부가 도시된 분리 사시도이며,FIG. 2 is an exploded perspective view illustrating the gripper inside of FIG. 1;

도 3은 도 2에 도시된 바디가 도시된 사시도이고,3 is a perspective view of the body shown in FIG.

도 4는 도 2에 도시된 그리퍼가 도시된 분리 사시도이며,4 is an exploded perspective view illustrating the gripper shown in FIG. 2;

도 5는 도 2에 도시된 캠이 도시된 평면도이고,5 is a plan view showing the cam shown in FIG.

도 5a는 도 5의 다른 실시 예이며, 5A is another embodiment of FIG. 5;

도 6은 도 2에 도시된 캠보스가 도시된 사시도이고,FIG. 6 is a perspective view of the cam boss shown in FIG. 2;

도 7 및 도 7a는 본 발명의 제2실시 예에 따른 기판형 그리핑 장치가 개략적으로 도시된 사시도이며,7 and 7A are perspective views schematically showing a substrate type gripping device according to a second embodiment of the present invention;

도 8은 본 발명의 제3실시 예에 따른 기판형 그리핑 장치가 개략적으로 도시된 사시도이고,8 is a perspective view schematically showing a substrate-type gripping apparatus according to a third embodiment of the present invention;

도 9는 본 발명의 제4실시 예에 따른 기판형 그리핑 장치가 개략적으로 도시된 사시도이다.9 is a perspective view schematically showing a substrate-type gripping apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

10, 10a, 10b...그리핑 장치 20...캠부,10, 10a, 10b ... gripping device 20 ... cam part,

22...엑츄에이터 24...캠,22 ... actuator 24 ... cam,

30...결합부 32...캠보스,30 ... coupling part 32 ... Cambos,

40...본체부 42...바디,40 ... the body 42 ... the body,

44...커버 50....그리퍼.44. Cover 50 ... Gripper.

본 발명은 기판을 파지하기 위한 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체용 웨이퍼 타입의 물품을 파지하고자 캠 및 이 캠과 연동되게 설치된 그리퍼가 포함된 웨이퍼 타입의 기판용 그리핑 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a device for holding a substrate, and more particularly, to a wafer type substrate gripping device including a cam and a gripper installed in conjunction with the cam to hold a wafer type article for a semiconductor.

일반적으로, 카세트에서 인출된 반도체용 웨이퍼 타입의 기판이 세정공정을 위한 척(Chuck)에 안착되도록 이송하기 위해 웨이퍼의 둘레를 파지하여 미리 설정된 동작을 실행하는 그리핑 장치가 배치되어 있다.In general, a gripping apparatus is provided which grips the circumference of the wafer and performs a predetermined operation in order to transfer the wafer-type substrate for semiconductor drawn out from the cassette to be seated on a chuck for a cleaning process.

이러한 종래의 그리핑 장치는 대략 원뿔대 형상의 구동부재가 모터 및 스프링이 포함된 수단에 의해 상ㆍ하로 왕복운동되고, 이 구동부재에 의해 그리핑 클로가 직선 왕복운동되며, 이 그리핑 클로의 외측 단부에 의해 기판의 둘레 부위가 파지되도록 이루어져 있었다. In such a conventional gripping device, a substantially truncated conical drive member is reciprocated up and down by means including a motor and a spring, and the gripping claw is linearly reciprocated by the drive member, and the outside of the gripping claw The peripheral portion of the substrate was held by the end portion.

그러나, 상기 그리핑 장치는 구동부재의 상ㆍ하 운동을 위한 공간이 확보되 어야 하므로 그리핑 장치의 전체적인 두께가 두꺼워졌고, 상기 구동부재의 왕복운동은 모터에 의한 가압력 및 스프링의 복원력에 의해 운동됨에 따라 지속적으로 반복된 운동에 따른 스프링의 피로 누적으로 정확한 운동범위를 오랫동안 유지하기 곤란하였음은 물론, 이로 인해 부품 교환등의 잦은 정비 작업이 실행됨과 더불어 정확한 정비 작업을 위한 정형화된 데이터가 요구되었다는 문제점이 있었다. However, the gripping device has to have a space for the up and down movement of the drive member, so that the overall thickness of the gripping device is thick, the reciprocating motion of the drive member is moved by the pressing force by the motor and the restoring force of the spring. Therefore, it is difficult to maintain the exact range of motion for a long time due to the accumulated fatigue of the spring due to the continuously repeated movement, and this also requires frequent maintenance work such as replacement of parts, and the need for standardized data for accurate maintenance work. There was this.

상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 본 발명에 따른 기판용 그리핑 장치는 엑츄에이터에 의해 수평 회전운동하는 캠과 이 캠에 연동되어 직선운동하면서 기판을 파지하는 다수개의 그리퍼가 포함되어 이루어짐으로 인해, 그리핑 장치가 슬림화되면서 경량화되고, 캠 및 그리퍼부에 의한 정확한 운동범위가 확보되면서 반영구적으로 사용하며, 기판과의 근접 거리에 따라 그리퍼의 운동속도가 가변되도록 캠의 회전속도가 조절됨으로써 파지되는 기판의 손상을 최소화하도록 된 기판용 그리핑 장치를 제공함에 그 목적이 있다. The gripping device for a substrate according to the present invention devised in view of the above problems includes a cam that rotates horizontally by an actuator and a plurality of grippers that grip the substrate while linearly interlocking with the cam. The gripping device is slimmer and lighter, and is used semi-permanently while ensuring an accurate range of motion by the cam and gripper. The substrate is gripped by adjusting the rotational speed of the cam so that the movement speed of the gripper varies according to the proximity distance to the substrate. It is an object of the present invention to provide a gripping apparatus for a substrate, which is designed to minimize damage of the substrate.

또한, 2개의 캠이 1이상의 엑츄에이터에 의해 연동되도록 설치됨으로 인해, 그리핑 장치에 의해 기판이 파지 및 재파지될 경우 그리퍼들이 이분화되어 상호 달리 동작됨으로써 소정의 공정 전ㆍ후에 따른 파지 및 재파지에 의한 기판의 오염이 현저히 저감하도록 된 기판용 그리핑 장치를 제공함에 다른 목적이 있다.
In addition, since the two cams are installed to be interlocked by one or more actuators, when the substrate is gripped and re-held by the gripping device, the grippers are divided into two parts to be gripped and re-held according to a predetermined process before and after. Another object of the present invention is to provide a gripping apparatus for a substrate in which contamination of the substrate by the substrate is significantly reduced.

상기 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판용 그리핑 장치는 엑츄에이터에 캠이 연동되도록 장착된 캠부; 상기 캠이 내장되는 본체부; 상기 본체부에 방사상으로 장착되고 캠과 연동되어 직선 운동하면서 기판을 선택적으로 파지하는 다수개의 그리퍼를 갖는 그리퍼부;가 구비되어 이루어진다. Gripping apparatus for a substrate according to the present invention for achieving the above object is a cam unit mounted so that the cam is interlocked with the actuator; A main body in which the cam is built; And a gripper portion radially mounted on the main body and having a plurality of grippers for selectively holding the substrate while linearly interlocking with the cam.

상기 캠과 엑츄에이터가 한 쌍을 이룬다. The cam and the actuator are paired.

상기 기판이 파지 및 재파지될 경우에 이용되는 그리퍼들이 이분화되어 작동되도록 2개의 캠이 1개의 엑츄에이터에 의해 작동된다. Two cams are operated by one actuator so that the grippers used when the substrate is gripped and reheld are divided and operated.

상기 기판이 파지 및 재파지될 경우에 이용되는 그리퍼들이 이분화되어 작동되도록 캠과 엑츄에이터가 두 쌍을 이루어 각각 분리 작동된다.Cams and actuators are separately operated in two pairs so that the grippers used when the substrate is held and re-held are divided into two pairs.

상기 그리핑 장치에는 본체부에 내장되고 엑츄에이터의 구동력이 캠에 전달되도록 구동축이 고정되면서 캠과 접촉 결합된 캠보스를 구비하는 결합부가 더 포함되어 이루어진다. The gripping device further includes a coupling part embedded in the main body and having a cam boss contacted with the cam while the driving shaft is fixed so that the driving force of the actuator is transmitted to the cam.

상기 엑츄에이터는 그리퍼가 기판과의 간격에 따라 그 운동속도를 달리하도록 캠의 회전속도를 제어하고, 그리퍼가 기판의 넓이에 따라 그 직선운동의 간격이 가변되도록 캠의 회전각도를 제어한다. The actuator controls the rotational speed of the cam so that the gripper varies its movement speed according to the distance from the substrate, and the gripper controls the rotational angle of the cam so that the distance of the linear movement varies according to the width of the substrate.

상기 그리퍼의 직선 운동을 일단부가 접촉되면서 그리퍼의 직선운동을 유도하기 위해 캠의 외연에는 요철이 연속적으로 형성된다. As one end contacts the linear motion of the gripper, irregularities are continuously formed on the outer edge of the cam to induce the linear motion of the gripper.

상기 요철은 급격한 경사와 완만한 경사로 이루어진 형상이다. The unevenness is a shape consisting of a sharp slope and a gentle slope.

상기 요철은 완만한 상ㆍ하향 경사로 이루어진 형상이다. The unevenness is a shape consisting of a gentle upward and downward slope.

상기 그리퍼의 직선 운동은 캠의 둘레부에 홈이 형성되고, 이 홈에 그리퍼의 일단부가 슬라이딩 가능하도록 끼움되어 이루어진다. The linear motion of the gripper is a groove formed in the circumference of the cam, the one end of the gripper is fitted to the groove so as to be slidable.

상기 본체부는 캠이 회전가능하도록 장착되고 이 캠과 접촉되도록 그리퍼의 일부가 측부에 삽입되어 장착된 바디와, 상기 캠과 엑츄에이터 사이에 개재되는 커버가 체결되어 이루어진다. The main body portion is rotatably mounted to the cam, and a part of the gripper is inserted into and mounted to the side so as to contact the cam, and a cover interposed between the cam and the actuator is fastened.

상기 그리퍼는 캠에 접촉된 롤러가 장착되면서 바디의 내부에 위치된 롤러브라켓과 상기 기판이 파지되도록 컨택터가 돌출 고정되면서 바디의 외부에 위치된 아암이 샤프트에 의해 연결 고정되고, 상기 롤러브라켓과 바디의 내벽 사이에 상기 롤러와 캠의 접촉을 유지하기 위한 탄성체가 위치되며, 상기 샤프트가 관통된 슬리브가 베이스에 고착되고, 슬리브와 아암의 선단부간의 간섭이 회피되도록 벨로우즈가 장착되어 이루어진다. The gripper has a roller in contact with the cam is mounted, the roller bracket located inside the body and the contactor is projected and fixed so that the substrate is gripped, the arm located outside the body is connected and fixed by the shaft, and the roller bracket An elastic body for maintaining contact between the roller and the cam is located between the inner wall of the body, and the sleeve through which the shaft is penetrated is fixed to the base, and the bellows is mounted so that interference between the tip of the sleeve and the arm is avoided.

상기 아암의 하면은 기판측으로 일부위가 기울어지도록 형성된다. The lower surface of the arm is formed so that a portion of the arm is inclined toward the substrate side.

이하, 본 발명에 따른 기판용 그리핑 장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, a gripping apparatus for a substrate according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 기판형 그리핑 장치가 개략적으로 도시된 사시도이고, 도 2 내지 도 6은 도 1에 도시된 각 부재의 상세한 사시도이다. 1 is a perspective view schematically showing a substrate-type gripping apparatus according to a preferred embodiment of the present invention, Figures 2 to 6 are detailed perspective views of each member shown in FIG.

본 발명에 따른 기판형 그리핑 장치(10)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 엑츄에이터(22)에 연동되어 수평 회전되도록 캠(24)이 장착된 캠부(20)와, 상기 엑츄에이터(22)와 캠(24)이 체결되는 캠보스(32)가 구비된 결합부(30)와, 상기 캠 (24)이 내장되도록 바디(42)와 커버(44)가 체결된 본체부(40)와, 상기 바디(42)의 측부에 방사상으로 일부위가 장착되어 캠(24)에 의해 직선운동하도록 배치된 다수개의 그리퍼(50)를 갖는 그리퍼부(60)가 포함되어 이루어진다.As shown in FIGS. 1 and 2, the substrate-type gripping apparatus 10 according to the present invention includes a cam unit 20 mounted with a cam 24 so as to be horizontally rotated in association with an actuator 22 and the actuator ( 22 and a coupling portion 30 having a cam boss 32 to which the cam 24 is fastened, and a body portion 40 to which the body 42 and the cover 44 are fastened so that the cam 24 is embedded therein. And a gripper part 60 having a plurality of grippers 50 arranged to be linearly moved by the cam 24 by being partially mounted radially on the side of the body 42.

상기 캠부(20)는 상기 바디(42)에 회전 가능하도록 내장된 캠(24)과, 캠(24)의 회전력을 제공하기 위해 캠(24)과 연동되게 체결되는 엑츄에이터(22)가 포함되어 이루어진다. The cam portion 20 includes a cam 24 rotatably embedded in the body 42 and an actuator 22 coupled to the cam 24 to provide a rotational force of the cam 24. .

상기 캠(24)은 도 5에서와 같이, 그리퍼(50)의 일단부가 밀착되는 외연에 요철(24′)이 연속적으로 그리퍼(50)의 수와 일치하도록 형성되고, 이 요철(24′)은 급경사와 완만한 경사로 이루어진 대략 파도형상으로, 그리퍼(52)의 일단부 즉, 후술될 롤러(51)는 완만한 경사와 접촉되게 위치된다. 이 때, 캠(24)의 회전은 롤러(51)가 한 구획의 완만한 경사를 이탈하지 않도록 그 회전이 제한됨이 좋다. 이는 급격한 경사를 통과하는 롤러(51) 및 그리퍼(50) 전체에 충격에 의한 비정상적인 작동이 미연에 방지되도록 하기 위함이다. As shown in FIG. 5, the cam 24 is formed such that the unevenness 24 'continuously matches the number of the grippers 50 at the outer edge where the one end of the gripper 50 is in close contact with the unevenness 24'. In an approximately wavy shape consisting of a steep slope and a gentle slope, one end of the gripper 52, that is, the roller 51 to be described later, is positioned to be in contact with the gentle slope. At this time, the rotation of the cam 24 is preferably limited to the rotation so that the roller 51 does not deviate from the gentle slope of one section. This is to prevent abnormal operation due to impact on the roller 51 and the gripper 50 as a whole passing through a sharp inclination.

또한, 상기 요철(24′)은 도 5a에서와 같이, 완만한 경사가 상ㆍ하향 경사로 이루어진 대략 물결형상으로 형성되어도 좋다. 이 때, 그리퍼(50)의 롤러(51)는 어느 면에 접촉되어도 무관하고, 이러한 물결형상의 요철은 상기 캠(24)이 일방향으로 회전될 경우 그리퍼(50)의 직선운동이 원활하게 진행될 수 있도록 보장하기 위함이다.In addition, the concave-convex 24 'may be formed in a substantially wavy shape in which a gentle inclination is composed of an upward and downward inclination, as shown in Fig. 5A. At this time, the roller 51 of the gripper 50 may be in contact with any surface, and such wavy convex and concave irregularities may smoothly move the linear movement of the gripper 50 when the cam 24 is rotated in one direction. To ensure that the

상기 엑츄에이터(22)는 캠(24)을 회전시킬 수 있는 동력원으로 모터 및 실린더가 포함된 장치를 일컬으며, 캠(24)의 회전력을 제공하면서 회전속도 및 회전각도 를 조정하는 부재로, 상기 캠(24)과 롤러(51)의 접촉부위의 제한에 따라 캠(24)의 회전각도를 제어하고, 상기 캠(24)의 회전에 의해 직선운동되는 그리퍼(50)의 외측 선단부 즉, 후술될 컨택터(54)가 기판에 근접되는 거리에 따라 그 진행속도를 달리하도록 캠(24)의 회전속도를 제어하게 된다. The actuator 22 refers to a device including a motor and a cylinder as a power source capable of rotating the cam 24, and provides a rotational force of the cam 24 to adjust the rotational speed and the rotation angle. The cam The tip of the outer end of the gripper 50 which is controlled by the rotational angle of the cam 24 in accordance with the limit of the contact portion of the 24 and the roller 51 and linearly moved by the rotation of the cam 24, that is, the contact to be described later The rotation speed of the cam 24 is controlled to vary the moving speed according to the distance that the rotor 54 is close to the substrate.

상기 엑츄에이터(22)와 캠(24)의 체결은 엑츄에이터(24)의 회전축(22a)에 의해 캠(24)이 회전되도록 구성될 수 있고, 엑츄에이터(24)의 직선왕복운동하는 축에 의해 캠(24)이 회전되도록 구성될 수 있으며, 이러한 구성에 대한 다양한 실시 예는 공지된 기술이 이용될 수 있다. The coupling of the actuator 22 and the cam 24 may be configured such that the cam 24 is rotated by the rotating shaft 22a of the actuator 24, and the cam 24 is moved by a linear reciprocating axis of the actuator 24. 24) may be configured to rotate, and various embodiments of such a configuration may use known techniques.

상기 캠(24)의 회전속도에 대해 부연하면, 상기 컨택터(54)와 기판의 설정된 근접거리 내에서는 느리게 진행되고, 이 근접거리를 벗어나게 되면 급속히 진행되어 기판의 파지공정의 전체적인 시간은 대략 동일하게 하면서도 컨택터(54)의 파지에 의한 기판의 손상이 최소화되도록 하기 위함이다. When the rotation speed of the cam 24 is further increased, the process proceeds slowly within the set proximity distance between the contactor 54 and the substrate and rapidly progresses out of the proximity distance, so that the overall time of the substrate holding process is about the same. In order to minimize damage to the substrate due to the grip of the contactor 54.

한편, 상기 결합부(30)는 엑츄에이터(22)의 구동축(22a)이 관통되고 이 구동축(22a)이 고착되도록 체결되면서 캠(24)과 면접촉 체결되는 캠보스(32)와, 이 캠보스(32)와 엑츄에이터(22) 사이에 상기 커버(44)와 구동축(22a)의 간섭이 회피되도록 설치되는 캠부쉬(34a)와 렌치, 와셔 등의 체결보조부재(34)가 포함되어 이루어진다. On the other hand, the coupling portion 30 is a cam boss 32 which is surface-contacted with the cam 24 while the drive shaft 22a of the actuator 22 penetrates and is fixed to fix the drive shaft 22a, and the cam boss. A cam bush 34a and a fastening assisting member 34 such as a wrench and a washer are installed between the 32 and the actuator 22 so that interference between the cover 44 and the driving shaft 22a is avoided.

한편, 상기 본체부(40)는 캠(24)이 회전가능하게 내장되고 이 캠(24)과 롤러(51)가 접촉되도록 그리퍼(50)의 일부가 측방으로 삽입되어 장착된 바디(42)와, 상기 캠(24)과 결합부(30)의 내장된 위치가 안정되도록 상기 바디(42)와 체결되는 커 버(44)가 포함되어 이루어진다. On the other hand, the main body portion 40 has a body (42) with a part of the gripper 50 is inserted laterally mounted so that the cam 24 is rotatably embedded and the cam 24 and the roller 51 contact with In addition, a cover 44 is coupled to the body 42 so that the built-in position of the cam 24 and the coupling portion 30 is stabilized.

상기 바디(42)에는 캠(24)이 수용되도록 중앙부에 홈(42a)이 형성되고, 이 홈(42a)은 삽입되는 그리퍼(50)의 일부와 바디프레임(42b)과의 간섭이 회피될 수 있도록 방사상으로 연장부위가 형성되도록 함이 좋고, 상기 캠(24)의 회전이 원활하도록 바디프레임(42b)에 회전 가능하게 장착되면서 캠(24)과 고착되는 회전부재(42c)가 배치된다.In the body 42, a groove 42a is formed in the center portion so that the cam 24 is accommodated, and the groove 42a can avoid an interference between the body frame 42b and a part of the gripper 50 inserted. It is preferable that the extension portion is formed radially so that the rotation member 42c fixed to the cam 24 is rotatably mounted to the body frame 42b so that the rotation of the cam 24 can be smoothly disposed.

한편, 상기 그리퍼(50)는 회전되는 캠(24)의 외연과 접촉되는 롤러(51)가 장착되면서 바디(42)의 내부에 위치된 롤러브라켓(52)과, 기판이 파지되도록 컨택터(54)가 돌출 고정되면서 바디(42)의 외부에 위치된 아암(53)과, 상기 롤러브라켓(52)과 아암(53)이 양단부에 각각 고착되면서 바디프레임(42b)의 측부를 관통하는 샤프트(55)와, 상기 롤러브라켓(52)과 바디프레임(42b) 사이에 위치되면서 샤프트(55)가 통과되게 배치되어 상기 롤러(51)와 캠(24)이 밀착하도록 된 탄성체(56)가 포함되어 이루어진다. On the other hand, the gripper 50 is equipped with a roller 51 which is in contact with the outer edge of the cam 24 to be rotated, the roller bracket 52 located inside the body 42, the contactor 54 so that the substrate is gripped ) Is projected and fixed to the arm (53) located on the outside of the body 42, the roller bracket 52 and the arm (53) is fixed to both ends, respectively, the shaft (55) penetrating the side of the body frame (42b) And an elastic body 56 disposed between the roller bracket 52 and the body frame 42b to allow the shaft 55 to pass therethrough such that the roller 51 and the cam 24 come into close contact with each other. .

상기 아암(53)의 하면의 일부가 기판 측으로 기울어지고, 기판이 컨택터(54)와 아암(53)의 하면 사이에 끼워져 파지될 경우, 아암(53)의 기울어진 면을 기판의 파지되는 국소부위가 미끄러지듯 고정위치에 위치됨으로써, 파지되는 기판의 충격이 완화된다. When a part of the lower surface of the arm 53 is inclined toward the substrate side, and the substrate is sandwiched between the contactor 54 and the lower surface of the arm 53 and gripped, the inclined surface of the arm 53 is held by the substrate. The site is located in a fixed position as if the slide is slipping, thereby reducing the impact of the substrate to be gripped.

또한, 상기 샤프트(55)와 바디프레임(42b)의 간섭이 회피되도록 일부가 바디프레임(42b)에 삽입되어 고정되고 샤프트(55)가 관통되는 슬리브(57)와, 이 고정된 슬리브(57)의 선단부와 왕복운동하는 아암(53)의 선단부와의 간섭이 회피되도록 장 착된 벨로우즈(58)가 더 포함되어 이루어진다.In addition, a portion of the sleeve 57 is inserted into and fixed to the body frame 42b and the shaft 55 penetrates so that the interference between the shaft 55 and the body frame 42b is avoided, and the fixed sleeve 57 is fixed. It further comprises a bellows (58) mounted so as to avoid interference with the tip of the arm 53 reciprocating with the tip of the.

한편, 도 7 내지 도 9a는 본 발명에 따른 기판의 그리핑 장치의 각각 다른 실시 예로서, 기판에 실행되는 공정 전ㆍ후에 이용되는 그리퍼가 구분되어 작동되도록 안출된 것이다. 이하, 본 발명에 따른 제1실시 예와 동일한 기능을 하는 동일한 구성요소에 대해 동일한 참조부호를 부여하여 그 설명을 생략한다. On the other hand, Figures 7 to 9a is another embodiment of the gripping apparatus of the substrate according to the present invention, the grippers used before and after the process to be performed on the substrate is designed to operate separately. Hereinafter, the same reference numerals are assigned to the same components having the same functions as the first embodiment according to the present invention, and description thereof will be omitted.

먼저, 도 7 및 7a에 도시된 그리핑 장치(10a)는 상ㆍ하부 캠과 이 상ㆍ하부 캠과 개별적으로 연동되게 설치되는 2개의 엑츄에이터로 이루어진 캠부(20a)로 이루어지고, 상부캠(24)에는 짝수번 그리퍼(50)의 롤러(51)가 밀착되고, 하부캠(24a)에는 홀수번 그리퍼(50)의 롤러(51)가 밀착되도록 배치도록 이루어진다.First, the gripping device 10a shown in Figs. 7 and 7a is composed of an upper cam and a cam portion 20a composed of two actuators which are installed to be linked with the upper and lower cams individually, and the upper cam 24 The roller 51 of the even number gripper 50 is in close contact with the roller 51, and the roller 51 of the odd number gripper 50 is in close contact with the lower cam 24a.

상기 엑츄에이터(26)는 도 7a에서와 같이 내장된 2개의 실린더(26a, 26b)가 상호 중첩되게 배치되는 2개의 구동축(26c, 26d)에 각각 연동되도록 장착되고, 이 2개의 구동축(26c, 26d)은 각각 상부 캠(24) 또는 하부 캠(24a)과 연동되도록 배치된다. 이 때, 하나의 구동축(26c)는 상부 캠(24)의 하측에 위치되면서 상부 캠(24)와 체결되는 캠보스(32a)와 결합됨으로써, 상부 캠(24)의 회전을 제어하게 되고, 다른 하나의 구동축(26d)는 하부 캠(24a)의 하측에 위치되면서 하부 캠(24a)과 체결되는 플랜지(32b)와 결합됨으로써, 하부 캠(24a)의 회전을 제어하게 된다.The actuator 26 is mounted to interlock with two drive shafts 26c and 26d in which two built-in cylinders 26a and 26b overlap each other, as shown in FIG. 7A, and the two drive shafts 26c and 26d are respectively mounted. ) Are arranged to interlock with the upper cam 24 or the lower cam 24a, respectively. At this time, one drive shaft 26c is positioned below the upper cam 24 and coupled with the cam boss 32a that is engaged with the upper cam 24, thereby controlling rotation of the upper cam 24, and the other. One drive shaft 26d is positioned below the lower cam 24a and coupled to a flange 32b fastened to the lower cam 24a, thereby controlling rotation of the lower cam 24a.

또한, 상기 롤러(51)는 상부 캠(24) 또는 하부 캠(24a)과 밀착되도록 롤러브라켓(52a)의 상측 또는 하측으로 편향되어 위치됨이 바람직하다. In addition, the roller 51 is preferably biased toward the upper or lower side of the roller bracket 52a to be in close contact with the upper cam 24 or the lower cam 24a.

도 8에 도시된 그리핑 장치(10b)는 2개의 캠(24, 24a)이 분리되어 중첩배치되고, 상기 2개의 캠(24, 24a)이 1개의 엑츄에이터(22)에 의해 동시 회전되도록 이루 어진다. In the gripping device 10b shown in FIG. 8, two cams 24 and 24a are separated and overlapped, and the two cams 24 and 24a are simultaneously rotated by one actuator 22. .

도 9에 도시된 그리핑 장치(10c)는 각각 캠과 엑츄에이터로 이루어진 2쌍의 캠부(20b)가 각각 대칭되어 분리 배치된다. 즉, 도 1의 그리핑 장치(10)에서 새로운 캠부(20b)가 미리 장착된 캠부(20)의 반대측에 대칭되도록 장착된다. 이 때 커버(44a) 및 결합부(미도시) 역시 더 구비되어 장착되어야 함은 당연하다. In the gripping device 10c illustrated in FIG. 9, two pairs of cam portions 20b each consisting of a cam and an actuator are symmetrically disposed to each other. That is, in the gripping apparatus 10 of FIG. 1, the new cam portion 20b is mounted to be symmetrical to the opposite side of the cam portion 20 that is mounted in advance. At this time, it is natural that the cover 44a and the coupling part (not shown) should be further provided and mounted.

여기서, 도 7 내지 도 9에 도시된 실시 예에서와 같이 2개의 캠(24, 24a)이 배치될 경우, 각각의 캠(24, 24a)에 임의의 짝수번 또는 홀수번 그리퍼(50)의 롤러(51)와 밀착되도록 배치됨이 바람직하다. Here, when two cams 24 and 24a are arranged, as in the embodiment shown in Figs. 7 to 9, the rollers of any even or odd number of grippers 50 on each cam 24 and 24a, respectively. It is preferable to arrange | position so that it may contact with 51.

상기 엑츄에이터(22)가 순ㆍ역회전, 회전 각도, 회전속도등의 작동으로 짝수번 그리퍼(50)가 내향으로 이동되어 기판을 파지하면 홀수번 그리퍼(50)는 외향에 위치되고, 반대로 홀수번 그리퍼(50)가 내향으로 이동되어 기판을 파지하면 짝수번 그리퍼(50)는 외향에 위치된다. When the actuator 22 is moved forward and backward, an even number of grippers 50 are moved inward and the substrate is gripped by an operation such as forward / reverse rotation, rotation angle, rotation speed, etc., the odd number grippers 50 are located outward, and the odd number is reversed. When the gripper 50 is moved inward to grip the substrate, the even gripper 50 is positioned outward.

그리고, 도 7 내지 도 9의 실시 예에서와 같이, 상기 그리퍼(50)는 도 1의 실시 예보다 대략 2배의 수가 장착됨이 바람직하고, 또한 도 9에서의 그리퍼(50)은 캠과의 연동이 용이하도록 지그재그형상으로 배치될 수 있으며, 이때 상기 캠과 밀착되기 위해 짝수번 또는 홀수번의 그리퍼(50)에 따라 롤러(51)의 크기가 조정되면서 상측 또는 하측으로 편향되게 위치되어 롤러브라켓(52)에 장착될 수 있고, 짝수번 그리퍼와 홀수번 그리퍼의 아암(53)의 상ㆍ하 길이를 상호 달리하여 일정한 높이에 위치된 기판을 파지 또는 재파지할 수 있다.7 to 9, the gripper 50 is preferably twice as large as the embodiment of FIG. 1, and the gripper 50 in FIG. It may be arranged in a zigzag shape to facilitate the interlocking, in which the roller 51 is positioned to be biased upward or downward while the roller 51 is adjusted according to the gripper 50 of the even number or the odd number so as to be in close contact with the cam. 52, and the substrate positioned at a constant height can be gripped or reheld by varying the upper and lower lengths of the arms 53 of the even and the odd grippers.

또한, 도 7 내지 도 9에서의 2개의 캠(24, 24a)는 시차를 두고 개별적으로 작 동됨이 당연하다.In addition, it is natural that the two cams 24 and 24a in FIGS. 7 to 9 operate separately with a parallax.

한편, 상기 그리퍼(50)는 모든 실시 예에서 마찬가지로, 해당 캠에 의해 동시에 동작되어 동일한 진행방향, 진행속도, 진행거리 등을 갖는 것이 당연하다.On the other hand, the gripper 50 is the same as in all embodiments, it is natural to operate at the same time by the cam has the same travel direction, travel speed, travel distance and the like.

여기서, 캠의 외연에 요철이 형성되고, 이 요철에 그리퍼의 일단부가 밀착되어 캠의 회전에 의해 그리퍼가 직선 운동하도록 상술된 구성과는 달리, 도면에 도시되지는 않았지만 캠의 둘레부 상면 또는 하면에 홈이 형성되고, 이 홈에 그리퍼의 일단부가 슬라이딩되도록 끼움되어 구성될 수도 있다. 이는 캠의 회전운동에 의해 그리퍼가 직선운동을 행하도록 하는 일부 예가 기재된 것으로, 이러한 실시 예는 이미 공지된 다양한 기술이 이용될 수 있슴은 물론이다. Here, an unevenness is formed on the outer periphery of the cam, and one end of the gripper is in close contact with the unevenness so that the gripper moves linearly by the rotation of the cam. A groove is formed in the groove, and one end of the gripper may be fitted in the groove so as to slide. This is described in some examples to the gripper to perform a linear movement by the rotational movement of the cam, this embodiment can be used a variety of known techniques of course.

이하, 본 발명에 따른 기판용 그리핑 장치의 작용을 간략히 설명한다. Hereinafter, the operation of the gripping device for a substrate according to the present invention will be briefly described.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 기판형 그리핑 장치가 개략적으로 도시된 사시도이고, 도 2 내지 도 6은 도 1에 도시된 각 부재의 상세한 사시도이다. 1 is a perspective view schematically showing a substrate-type gripping apparatus according to a preferred embodiment of the present invention, Figures 2 to 6 are detailed perspective views of each member shown in FIG.

본 발명에 따른 기판형 그리핑 장치(10)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 엑츄에이터(22)에 연동되어 수평 회전되도록 캠(24)이 장착된 캠부(20)와, 상기 엑츄에이터(22)와 캠(24)이 체결되는 캠보스(32)가 구비된 결합부(30)와, 상기 캠(24)이 내장되도록 바디(42)와 커버(44)가 체결된 본체부(40)와, 상기 바디(42)의 측부에 방사상으로 일부위가 장착되어 캠(24)에 의해 직선운동하도록 배치된 다수개의 그리퍼(50)를 갖는 그리퍼부(60)가 포함되어 이루어진다.As shown in FIGS. 1 and 2, the substrate-type gripping apparatus 10 according to the present invention includes a cam unit 20 mounted with a cam 24 so as to be horizontally rotated in association with an actuator 22 and the actuator ( 22 and a coupling portion 30 having a cam boss 32 to which the cam 24 is fastened, and a body portion 40 to which the body 42 and the cover 44 are fastened so that the cam 24 is embedded therein. And a gripper part 60 having a plurality of grippers 50 arranged to be linearly moved by the cam 24 by being partially mounted radially on the side of the body 42.

상기 캠부(20)는 상기 바디(42)에 회전 가능하도록 내장된 캠(24)과, 캠(24)의 회전력을 제공하기 위해 캠(24)과 연동되게 체결되는 엑츄에이터(22)가 포함되어 이루어진다. The cam portion 20 includes a cam 24 rotatably embedded in the body 42 and an actuator 22 coupled to the cam 24 to provide a rotational force of the cam 24. .

상기 캠(24)은 도 5에서와 같이, 그리퍼(50)의 일단부가 밀착되는 외연에 요철(24′)이 연속적으로 그리퍼(50)의 수와 일치하도록 형성되고, 이 요철(24′)은 급경사와 완만한 경사로 이루어진 대략 파도형상으로, 그리퍼(52)의 일단부 즉, 후술될 롤러(51)는 완만한 경사와 접촉되게 위치된다. 이 때, 캠(24)의 회전은 롤러(51)가 한 구획의 완만한 경사를 이탈하지 않도록 그 회전이 제한됨이 좋다. 이는 급격한 경사를 통과하는 롤러(51) 및 그리퍼(50) 전체에 충격에 의한 비정상적인 작동이 미연에 방지되도록 하기 위함이다. As shown in FIG. 5, the cam 24 is formed such that the unevenness 24 'continuously matches the number of the grippers 50 at the outer edge where the one end of the gripper 50 is in close contact with the unevenness 24'. In an approximately wavy shape consisting of a steep slope and a gentle slope, one end of the gripper 52, that is, the roller 51 to be described later, is positioned to be in contact with the gentle slope. At this time, the rotation of the cam 24 is preferably limited to the rotation so that the roller 51 does not deviate from the gentle slope of one section. This is to prevent abnormal operation due to impact on the roller 51 and the gripper 50 as a whole passing through a sharp inclination.

또한, 상기 요철(24′)은 도 5a에서와 같이, 완만한 경사가 상ㆍ하향 경사로 이루어진 대략 물결형상으로 형성되어도 좋다. 이 때, 그리퍼(50)의 롤러(51)는 어느 면에 접촉되어도 무관하고, 이러한 물결형상의 요철은 상기 캠(24)이 일방향으로 회전될 경우 그리퍼(50)의 직선운동이 원활하게 진행될 수 있도록 보장하기 위함이다.In addition, the concave-convex 24 'may be formed in a substantially wavy shape in which a gentle inclination is composed of an upward and downward inclination, as shown in Fig. 5A. At this time, the roller 51 of the gripper 50 may be in contact with any surface, and such wavy convex and concave irregularities may smoothly move the linear movement of the gripper 50 when the cam 24 is rotated in one direction. To ensure that the

상기 엑츄에이터(22)는 캠(24)을 회전시킬 수 있는 동력원으로 모터 및 실린더가 포함된 장치를 일컬으며, 캠(24)의 회전력을 제공하면서 회전속도 및 회전각도를 조정하는 부재로, 상기 캠(24)과 롤러(51)의 접촉부위의 제한에 따라 캠(24)의 회전각도를 제어하고, 상기 캠(24)의 회전에 의해 직선운동되는 그리퍼(50)의 외측 선단부 즉, 후술될 컨택터(54)가 기판에 근접되는 거리에 따라 그 진행속도를 달리 하도록 캠(24)의 회전속도를 제어하게 된다. The actuator 22 refers to a device including a motor and a cylinder as a power source capable of rotating the cam 24. The actuator 22 adjusts the rotational speed and the rotation angle while providing the rotational force of the cam 24. The tip of the outer end of the gripper 50 which is controlled by the rotational angle of the cam 24 in accordance with the limit of the contact portion of the 24 and the roller 51 and linearly moved by the rotation of the cam 24, that is, the contact to be described later The rotation speed of the cam 24 is controlled to vary the moving speed according to the distance that the rotor 54 is close to the substrate.

상기 엑츄에이터(22)와 캠(24)의 체결은 엑츄에이터(24)의 회전축(22a)에 의해 캠(24)이 회전되도록 구성될 수 있고, 엑츄에이터(24)의 직선왕복운동하는 축에 의해 캠(24)이 회전되도록 구성될 수 있으며, 이러한 구성에 대한 다양한 실시 예는 공지된 기술이 이용될 수 있다. The coupling of the actuator 22 and the cam 24 may be configured such that the cam 24 is rotated by the rotating shaft 22a of the actuator 24, and the cam 24 is moved by a linear reciprocating axis of the actuator 24. 24) may be configured to rotate, and various embodiments of such a configuration may use known techniques.

상기 캠(24)의 회전속도에 대해 부연하면, 상기 컨택터(54)와 기판의 설정된 근접거리 내에서는 느리게 진행되고, 이 근접거리를 벗어나게 되면 급속히 진행되어 기판의 파지공정의 전체적인 시간은 대략 동일하게 하면서도 컨택터(54)의 파지에 의한 기판의 손상이 최소화되도록 하기 위함이다. When the rotation speed of the cam 24 is further increased, the process proceeds slowly within the set proximity distance between the contactor 54 and the substrate and rapidly progresses out of the proximity distance, so that the overall time of the substrate holding process is about the same. In order to minimize damage to the substrate due to the grip of the contactor 54.

한편, 상기 결합부(30)는 엑츄에이터(22)의 구동축(22a)이 관통되고 이 구동축(22a)이 고착되도록 체결되면서 캠(24)과 면접촉 체결되는 캠보스(32)와, 이 캠보스(32)와 엑츄에이터(22) 사이에 상기 커버(44)와 구동축(22a)의 간섭이 회피되도록 설치되는 캠부쉬(34a)와 렌치, 와셔 등의 체결보조부재(34)가 포함되어 이루어진다. On the other hand, the coupling portion 30 is a cam boss 32 which is surface-contacted with the cam 24 while the drive shaft 22a of the actuator 22 penetrates and is fixed to fix the drive shaft 22a, and the cam boss. A cam bush 34a and a fastening assisting member 34 such as a wrench and a washer are installed between the 32 and the actuator 22 so that interference between the cover 44 and the driving shaft 22a is avoided.

한편, 상기 본체부(40)는 캠(24)이 회전가능하게 내장되고 이 캠(24)과 롤러(51)가 접촉되도록 그리퍼(50)의 일부가 측방으로 삽입되어 장착된 바디(42)와, 상기 캠(24)과 결합부(30)의 내장된 위치가 안정되도록 상기 바디(42)와 체결되는 커버(44)가 포함되어 이루어진다. On the other hand, the main body portion 40 has a body (42) with a part of the gripper 50 is inserted laterally mounted so that the cam 24 is rotatably embedded and the cam 24 and the roller 51 contact with In addition, a cover 44 coupled to the body 42 is included to stabilize the built-in position of the cam 24 and the coupling part 30.

상기 바디(42)에는 캠(24)이 수용되도록 중앙부에 홈(42a)이 형성되고, 이 홈(42a)은 삽입되는 그리퍼(50)의 일부와 바디프레임(42b)과의 간섭이 회피될 수 있 도록 방사상으로 연장부위가 형성되도록 함이 좋고, 상기 캠(24)의 회전이 원활하도록 바디프레임(42b)에 회전 가능하게 장착되면서 캠(24)과 고착되는 회전부재(42c)가 배치된다.In the body 42, a groove 42a is formed in the center portion so that the cam 24 is accommodated, and the groove 42a can avoid an interference between the body frame 42b and a part of the gripper 50 inserted. It is preferable that the extension portion is formed radially so that the rotating member 42c fixed to the cam 24 is rotatably mounted on the body frame 42b so that the rotation of the cam 24 is smoothly disposed.

한편, 상기 그리퍼(50)는 회전되는 캠(24)의 외연과 접촉되는 롤러(51)가 장착되면서 바디(42)의 내부에 위치된 롤러브라켓(52)과, 기판이 파지되도록 컨택터(54)가 돌출 고정되면서 바디(42)의 외부에 위치된 아암(53)과, 상기 롤러브라켓(52)과 아암(53)이 양단부에 각각 고착되면서 바디프레임(42b)의 측부를 관통하는 샤프트(55)와, 상기 롤러브라켓(52)과 바디프레임(42b) 사이에 위치되면서 샤프트(55)가 통과되게 배치되어 상기 롤러(51)와 캠(24)이 밀착하도록 된 탄성체(56)가 포함되어 이루어진다. On the other hand, the gripper 50 is equipped with a roller 51 which is in contact with the outer edge of the cam 24 to be rotated, the roller bracket 52 located inside the body 42, the contactor 54 so that the substrate is gripped ) Is projected and fixed to the arm (53) located on the outside of the body 42, the roller bracket 52 and the arm (53) is fixed to both ends, respectively, the shaft (55) penetrating the side of the body frame (42b) And an elastic body 56 disposed between the roller bracket 52 and the body frame 42b to allow the shaft 55 to pass therethrough such that the roller 51 and the cam 24 come into close contact with each other. .

상기 아암(53)의 하면의 일부가 기판 측으로 기울어지고, 기판이 컨택터(54)와 아암(53)의 하면 사이에 끼워져 파지될 경우, 아암(53)의 기울어진 면을 기판의 파지되는 국소부위가 미끄러지듯 고정위치에 위치됨으로써, 파지되는 기판의 충격이 완화된다. When a part of the lower surface of the arm 53 is inclined toward the substrate side, and the substrate is sandwiched between the contactor 54 and the lower surface of the arm 53 and gripped, the inclined surface of the arm 53 is held by the substrate. The site is located in a fixed position as if the slide is slipping, thereby reducing the impact of the substrate to be gripped.

또한, 상기 샤프트(55)와 바디프레임(42b)의 간섭이 회피되도록 일부가 바디프레임(42b)에 삽입되어 고정되고 샤프트(55)가 관통되는 슬리브(57)와, 이 고정된 슬리브(57)의 선단부와 왕복운동하는 아암(53)의 선단부와의 간섭이 회피되도록 장착된 벨로우즈(58)가 더 포함되어 이루어진다.In addition, a portion of the sleeve 57 is inserted into and fixed to the body frame 42b and the shaft 55 penetrates so that the interference between the shaft 55 and the body frame 42b is avoided, and the fixed sleeve 57 is fixed. It further comprises a bellows 58 mounted to avoid interference with the tip of the arm 53 reciprocating with the tip of the.

한편, 도 7 내지 도 9a는 본 발명에 따른 기판의 그리핑 장치의 각각 다른 실시 예로서, 기판에 실행되는 공정 전ㆍ후에 이용되는 그리퍼가 구분되어 작동되도 록 안출된 것이다. 이하, 본 발명에 따른 제1실시 예와 동일한 기능을 하는 동일한 구성요소에 대해 동일한 참조부호를 부여하여 그 설명을 생략한다. On the other hand, Figures 7 to 9a is a different embodiment of the gripping apparatus of the substrate according to the present invention, the grippers used before and after the process to be performed on the substrate is designed to operate separately. Hereinafter, the same reference numerals are assigned to the same components having the same functions as the first embodiment according to the present invention, and description thereof will be omitted.

먼저, 도 7 및 7a에 도시된 그리핑 장치(10a)는 상ㆍ하부 캠과 이 상ㆍ하부 캠과 개별적으로 연동되게 설치되는 2개의 엑츄에이터로 이루어진 캠부(20a)로 이루어지고, 상부캠(24)에는 짝수번 그리퍼(50)의 롤러(51)가 밀착되고, 하부캠(24a)에는 홀수번 그리퍼(50)의 롤러(51)가 밀착되도록 배치도록 이루어진다.First, the gripping device 10a shown in Figs. 7 and 7a is composed of an upper cam and a cam portion 20a composed of two actuators which are installed to be linked with the upper and lower cams individually, and the upper cam 24 The roller 51 of the even number gripper 50 is in close contact with the roller 51, and the roller 51 of the odd number gripper 50 is in close contact with the lower cam 24a.

상기 엑츄에이터(26)는 도 7a에서와 같이 내장된 2개의 실린더(26a, 26b)가 상호 중첩되게 배치되는 2개의 구동축(26c, 26d)에 각각 연동되도록 장착되고, 이 2개의 구동축(26c, 26d)은 각각 상부 캠(24) 또는 하부 캠(24a)과 연동되도록 배치된다. 이 때, 하나의 구동축(26c)는 상부 캠(24)의 하측에 위치되면서 상부 캠(24)와 체결되는 캠보스(32a)와 결합됨으로써, 상부 캠(24)의 회전을 제어하게 되고, 다른 하나의 구동축(26d)는 하부 캠(24a)의 하측에 위치되면서 하부 캠(24a)과 체결되는 플랜지(32b)와 결합됨으로써, 하부 캠(24a)의 회전을 제어하게 된다.The actuator 26 is mounted to interlock with two drive shafts 26c and 26d in which two built-in cylinders 26a and 26b overlap each other, as shown in FIG. 7A, and the two drive shafts 26c and 26d are respectively mounted. ) Are arranged to interlock with the upper cam 24 or the lower cam 24a, respectively. At this time, one drive shaft 26c is positioned below the upper cam 24 and coupled with the cam boss 32a that is engaged with the upper cam 24, thereby controlling rotation of the upper cam 24, and the other. One drive shaft 26d is positioned below the lower cam 24a and coupled to a flange 32b fastened to the lower cam 24a, thereby controlling rotation of the lower cam 24a.

또한, 상기 롤러(51)는 상부 캠(24) 또는 하부 캠(24a)과 밀착되도록 롤러브라켓(52a)의 상측 또는 하측으로 편향되어 위치됨이 바람직하다. In addition, the roller 51 is preferably biased toward the upper or lower side of the roller bracket 52a to be in close contact with the upper cam 24 or the lower cam 24a.

도 8에 도시된 그리핑 장치(10b)는 2개의 캠(24, 24a)이 분리되어 중첩배치되고, 상기 2개의 캠(24, 24a)이 1개의 엑츄에이터(22)에 의해 동시 회전되도록 이루어진다. In the gripping device 10b shown in FIG. 8, two cams 24 and 24a are separated and overlapped, and the two cams 24 and 24a are simultaneously rotated by one actuator 22.

도 9에 도시된 그리핑 장치(10c)는 각각 캠과 엑츄에이터로 이루어진 2쌍의 캠부(20b)가 각각 대칭되어 분리 배치된다. 즉, 도 1의 그리핑 장치(10)에서 새로운 캠부(20b)가 미리 장착된 캠부(20)의 반대측에 대칭되도록 장착된다. 이 때 커버(44a) 및 결합부(미도시) 역시 더 구비되어 장착되어야 함은 당연하다. In the gripping device 10c illustrated in FIG. 9, two pairs of cam portions 20b each consisting of a cam and an actuator are symmetrically disposed to each other. That is, in the gripping apparatus 10 of FIG. 1, the new cam portion 20b is mounted to be symmetrical to the opposite side of the cam portion 20 that is mounted in advance. At this time, it is natural that the cover 44a and the coupling part (not shown) should be further provided and mounted.

여기서, 도 7 내지 도 9에 도시된 실시 예에서와 같이 2개의 캠(24, 24a)이 배치될 경우, 각각의 캠(24, 24a)에 임의의 짝수번 또는 홀수번 그리퍼(50)의 롤러(51)와 밀착되도록 배치됨이 바람직하다. Here, when two cams 24 and 24a are arranged, as in the embodiment shown in Figs. 7 to 9, the rollers of any even or odd number of grippers 50 on each cam 24 and 24a, respectively. It is preferable to arrange | position so that it may contact with 51.

상기 엑츄에이터(22)가 순ㆍ역회전, 회전 각도, 회전속도등의 작동으로 짝수번 그리퍼(50)가 내향으로 이동되어 기판을 파지하면 홀수번 그리퍼(50)는 외향에 위치되고, 반대로 홀수번 그리퍼(50)가 내향으로 이동되어 기판을 파지하면 짝수번 그리퍼(50)는 외향에 위치된다. When the actuator 22 is moved forward and backward, an even number of grippers 50 are moved inward and the substrate is gripped by an operation such as forward / reverse rotation, rotation angle, rotation speed, etc., the odd number grippers 50 are located outward, and the odd number is reversed. When the gripper 50 is moved inward to grip the substrate, the even gripper 50 is positioned outward.

그리고, 도 7 내지 도 9의 실시 예에서와 같이, 상기 그리퍼(50)는 도 1의 실시 예보다 대략 2배의 수가 장착됨이 바람직하고, 또한 도 9에서의 그리퍼(50)은 캠과의 연동이 용이하도록 지그재그형상으로 배치될 수 있으며, 이때 상기 캠과 밀착되기 위해 짝수번 또는 홀수번의 그리퍼(50)에 따라 롤러(51)의 크기가 조정되면서 상측 또는 하측으로 편향되게 위치되어 롤러브라켓(52)에 장착될 수 있고, 짝수번 그리퍼와 홀수번 그리퍼의 아암(53)의 상ㆍ하 길이를 상호 달리하여 일정한 높이에 위치된 기판을 파지 또는 재파지할 수 있다.7 to 9, the gripper 50 is preferably twice as large as the embodiment of FIG. 1, and the gripper 50 in FIG. It may be arranged in a zigzag shape to facilitate the interlocking, in which the roller 51 is positioned to be biased upward or downward while the roller 51 is adjusted according to the gripper 50 of the even number or the odd number so as to be in close contact with the cam. 52, and the substrate positioned at a constant height can be gripped or reheld by varying the upper and lower lengths of the arms 53 of the even and the odd grippers.

또한, 도 7 내지 도 9에서의 2개의 캠(24, 24a)는 시차를 두고 개별적으로 작동됨이 당연하다.In addition, it is natural that the two cams 24 and 24a in FIGS. 7 to 9 are operated separately with a parallax.

한편, 상기 그리퍼(50)는 모든 실시 예에서 마찬가지로, 해당 캠에 의해 동시에 동작되어 동일한 진행방향, 진행속도, 진행거리 등을 갖는 것이 당연하다.On the other hand, the gripper 50 is the same as in all embodiments, it is natural to operate at the same time by the cam has the same travel direction, travel speed, travel distance and the like.

여기서, 캠의 외연에 요철이 형성되고, 이 요철에 그리퍼의 일단부가 밀착되어 캠의 회전에 의해 그리퍼가 직선 운동하도록 상술된 구성과는 달리, 도면에 도시되지는 않았지만 캠의 둘레부 상면 또는 하면에 홈이 형성되고, 이 홈에 그리퍼의 일단부가 슬라이딩되도록 끼움되어 구성될 수도 있다. 이는 캠의 회전운동에 의해 그리퍼가 직선운동을 행하도록 하는 일부 예가 기재된 것으로, 이러한 실시 예는 이미 공지된 다양한 기술이 이용될 수 있슴은 물론이다.  Here, an unevenness is formed on the outer periphery of the cam, and one end of the gripper is in close contact with the unevenness so that the gripper moves linearly by the rotation of the cam. A groove is formed in the groove, and one end of the gripper may be fitted in the groove so as to slide. This is described in some examples to the gripper to perform a linear movement by the rotational movement of the cam, this embodiment can be used a variety of known techniques of course.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따르면, 기판의 파지 및 해제가 캠의 수평 회전운동에 의해 이루어질 수 있어 그리핑 장치가 슬림화 및 경량화되면서 반영구적으로 사용 가능하고, 그리퍼가 캠에 의해 작동됨으로써 운동범위에 대한 정밀도가 향상되며, 기판과의 근접 거리에 따라 그리퍼의 운동속도가 가변되도록 캠의 회전속도가 조절됨과 아울러 파시지 기판의 소정의 둘레부가 아암의 일부 기울어진 하면을 미끄러지듯이 파지됨으로써 파지되는 기판의 손상이 최소화됨과 더불어 보호될 수 있는 효과가 있다.According to the present invention configured as described above, the gripping and releasing of the substrate can be made by the horizontal rotational movement of the cam so that the gripping device can be used semi-permanently while slimming and lightening, and the gripper is operated by the cam for the movement range. The accuracy of the substrate is improved by adjusting the rotational speed of the cam so that the movement speed of the gripper is varied according to the proximity to the substrate, and the predetermined circumference of the substrate is gripped by sliding a part of the inclined lower surface of the arm. In addition to minimizing damage, there is an effect that can be protected.

또한, 캠과 엑츄에이터의 수를 추가하여 기판의 파지 및 재파지에 사용되는 그리퍼들이 이분화되어 상호 달리 동작됨으로써, 소정의 공정 전ㆍ후에 따른 파지 및 재파지에 의한 기판의 오염이 현저히 저감되는 다른 효과도 있다.
In addition, by adding the number of cams and actuators, the grippers used for gripping and re-holding the substrate are divided into different operations so that the contamination of the substrate due to gripping and re-holding before and after a predetermined process is significantly reduced. It also works.

Claims (13)

엑츄에이터에 캠이 연동되도록 장착된 캠부;A cam unit mounted to the actuator so that the cam is interlocked; 상기 캠이 내장되는 본체부;A main body in which the cam is built; 상기 본체부에 방사상으로 장착되고 캠과 연동되어 직선 운동하면서 기판을 선택적으로 파지하는 다수개의 그리퍼를 갖는 그리퍼부;A gripper portion radially mounted to the main body portion and having a plurality of grippers for selectively holding the substrate while linearly interlocking with the cam; 가 구비되어 이루어지는 기판용 그리핑 장치.Gripping apparatus for a substrate provided with. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 캠과 엑츄에이터가 한 쌍을 이루는 것을 특징으로 하는 기판용 그리핑 장치. And a cam and an actuator in pairs. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판이 파지 및 재파지될 경우에 이용되는 그리퍼들이 이분화되어 작동되도록 2개의 캠이 1개의 엑츄에이터에 의해 작동되는 것을 특징으로 하는 기판용 그리핑 장치.A gripping apparatus for a substrate, characterized in that two cams are operated by one actuator so that the grippers used when the substrate is gripped and reheld are divided and operated. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판이 파지 및 재파지될 경우에 이용되는 그리퍼들이 이분화되어 작동되도록 캠과 엑츄에이터가 두 쌍을 이루어 각각 분리 작동되는 것을 특징으로 하는 기판용 그리핑 장치.And a cam and an actuator in two pairs to separate and operate the grippers used when the substrate is gripped and re-held. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 4, 상기 그리핑 장치에는 본체부에 내장되고 엑츄에이터의 구동력이 캠에 전달되도록 구동축이 고정되면서 캠과 접촉 결합된 캠보스를 구비하는 결합부가 더 포함되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판용 그리핑 장치.The gripping apparatus further includes a coupling part embedded in the main body and having a cam boss in contact with the cam while the driving shaft is fixed so that the driving force of the actuator is transmitted to the cam. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 4, 상기 엑츄에이터는 그리퍼가 기판과의 간격에 따라 그 운동속도를 달리하도록 캠의 회전속도를 제어하고, 그리퍼가 기판의 넓이에 따라 그 직선운동의 간격이 가변되도록 캠의 회전각도를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판용 그리핑 장치.The actuator controls the rotational speed of the cam so that the gripper varies its movement speed according to the distance from the substrate, and the gripper controls the rotational angle of the cam so that the distance of the linear movement varies according to the width of the substrate. A gripping device for a substrate. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 4, 상기 그리퍼의 직선 운동을 일단부가 접촉되면서 그리퍼의 직선운동을 유도하기 위해 캠의 외연에는 요철이 연속적으로 형성된 것을 특징으로 하는 기판용 그리핑 장치.A gripping device for a substrate, characterized in that irregularities are continuously formed on the outer edge of the cam to induce linear movement of the gripper while one end of the gripper is in contact with the linear movement of the gripper. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 요철은 급격한 경사와 완만한 경사로 이루어진 형상인 것을 특징으로 하는 기판용 그리핑 장치.The unevenness is a gripping device for a substrate, characterized in that the shape consisting of a sharp slope and a gentle slope. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 요철은 완만한 상ㆍ하향 경사로 이루어진 형상인 것을 특징으로 하는 기판용 그리핑 장치.The unevenness is a gripping device for a substrate, characterized in that the shape consisting of a gentle upward and downward inclination. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 4, 상기 그리퍼의 직선 운동은 캠의 둘레부에 홈이 형성되고, 이 홈에 그리퍼의 일단부가 슬라이딩 가능하도록 끼움되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판용 그리핑 장치.The gripper for the substrate, characterized in that the linear movement of the gripper is formed with a groove formed at the circumference of the cam, and one end of the gripper is slidably inserted into the groove. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 4, 상기 본체부는 캠이 회전가능하도록 장착되고 이 캠과 접촉되도록 그리퍼의 일부가 측부에 삽입되어 장착된 바디와, 상기 캠과 엑츄에이터 사이에 개재되는 커버가 체결되어 이루어진 것을 특징으로 하는 기판용 그리핑 장치. The main body part is a gripping apparatus for a substrate, characterized in that the cam is rotatably mounted and a body in which a part of the gripper is inserted and mounted to the side to be in contact with the cam, and a cover interposed between the cam and the actuator is fastened. . 제11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 그리퍼는 캠에 접촉된 롤러가 장착되면서 바디의 내부에 위치된 롤러브라켓과 상기 기판이 파지되도록 컨택터가 돌출 고정되면서 바디의 외부에 위치된 아암이 샤프트에 의해 연결 고정되고, 상기 롤러브라켓과 바디의 내벽 사이에 상기 롤러와 캠의 접촉을 유지하기 위한 탄성체가 위치되며, 상기 샤프트가 관통된 슬리 브가 베이스에 고착되고, 슬리브와 아암의 선단부간의 간섭이 회피되도록 벨로우즈가 장착되어 이루어진 것을 특징으로 하는 기판용 그리핑 장치.The gripper has a roller in contact with the cam is mounted, the roller bracket located inside the body and the contactor is projected and fixed so that the substrate is gripped, the arm located outside the body is connected and fixed by the shaft, and the roller bracket An elastic body is disposed between the inner walls of the body to maintain contact between the roller and the cam, and a sleeve through which the shaft penetrates is fixed to the base, and a bellows is mounted to avoid interference between the tip of the sleeve and the arm. A gripping device for a substrate. 제12항에 있어서,The method of claim 12, 상기 아암의 하면은 기판측으로 일부위가 기울어지도록 형성된 것을 특징으로 하는 기판용 그리핑 장치.And a lower surface of the arm is formed such that a portion thereof is inclined toward the substrate.
KR1020040098218A 2004-11-26 2004-11-26 Gripping device for substrate KR20060059055A (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040098218A KR20060059055A (en) 2004-11-26 2004-11-26 Gripping device for substrate
JP2005338588A JP2006157007A (en) 2004-11-26 2005-11-24 Substrate gripper

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040098218A KR20060059055A (en) 2004-11-26 2004-11-26 Gripping device for substrate

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20060059055A true KR20060059055A (en) 2006-06-01

Family

ID=36634838

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040098218A KR20060059055A (en) 2004-11-26 2004-11-26 Gripping device for substrate

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2006157007A (en)
KR (1) KR20060059055A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100798262B1 (en) * 2003-12-10 2008-01-24 동부일렉트로닉스 주식회사 The Wafer transporting apparatus of semi conductor manufacturing process
US8257549B2 (en) 2007-10-08 2012-09-04 Semes Co., Ltd. Spin head, chuck pin used in the spin head, and method for treating a substrate with the spin head
US8394234B2 (en) 2008-11-26 2013-03-12 Semes Co., Ltd. Spin head and method of chucking substrate using the same

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101203894B1 (en) * 2010-06-16 2012-11-23 주식회사 에스에프에이 Grip apparatus for substrate
KR101241043B1 (en) 2011-06-09 2013-03-11 주식회사 에스에프에이 Tray exchanging apparatus and distribution method for substrate using this
CN102935942B (en) * 2011-08-16 2015-03-04 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 Electronic control manipulator
CN112309945A (en) * 2020-11-11 2021-02-02 鑫天虹(厦门)科技有限公司 Alignment mechanism and alignment method of bonding machine

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100798262B1 (en) * 2003-12-10 2008-01-24 동부일렉트로닉스 주식회사 The Wafer transporting apparatus of semi conductor manufacturing process
US8257549B2 (en) 2007-10-08 2012-09-04 Semes Co., Ltd. Spin head, chuck pin used in the spin head, and method for treating a substrate with the spin head
US8394234B2 (en) 2008-11-26 2013-03-12 Semes Co., Ltd. Spin head and method of chucking substrate using the same

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006157007A (en) 2006-06-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6571583B2 (en) Robotic gripping device
KR101677044B1 (en) Gripping and assembling device for flexible object
KR20140052988A (en) Scott-russell mechanism device
KR101026042B1 (en) Gripper apparatus for mounting electronic parts
KR101826633B1 (en) The gripping device
KR20020084181A (en) Handling gear for repositioning pieces
JP2008221336A (en) Gripper device for gripping and retaining long workpieces processed by bending machines
JP2006157007A (en) Substrate gripper
RU2602582C2 (en) Electric clamp apparatus
JP5090236B2 (en) Pick and place equipment
JP6420533B2 (en) Work equipment
RU2600782C2 (en) Electric clamp apparatus
KR20130064266A (en) The ejection apparatus for pick up semiconductor chip
KR20110095998A (en) Driving apparatus of end effector for transporting wafer by seizing side thereof
KR20200080778A (en) Soft Gripper and Driving Method Thereof
US10099384B1 (en) Industrial wedge-type gripper mechanism
US11123844B2 (en) Electrical clamping device
JP4552222B2 (en) Wafer aligner
KR101888574B1 (en) Member supply device for assembly of detent lever
KR20160147667A (en) Gripping device
KR20220008432A (en) Finger module and Griper using thereof
JP7227712B2 (en) ROBOT HAND, ROBOT AND GRIP METHOD
JP2010082783A (en) Chuck device
JP2005103670A (en) Grip device
JP3225052U (en) Inverted pick and place device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
N231 Notification of change of applicant
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application