KR20060058629A - Discharge lamp - Google Patents

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KR20060058629A
KR20060058629A KR1020050102097A KR20050102097A KR20060058629A KR 20060058629 A KR20060058629 A KR 20060058629A KR 1020050102097 A KR1020050102097 A KR 1020050102097A KR 20050102097 A KR20050102097 A KR 20050102097A KR 20060058629 A KR20060058629 A KR 20060058629A
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요시오 가게바야시
츠네오 오카누마
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우시오덴키 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 전극 내부의 밀폐 공간에 전열체를 봉입한 방전 램프로서, 전극의 온도 상승을 확실하게 억제할 수 있고, 따라서, 전극이 용융하는 일이 없어, 발광관이 흑화하지 않고 방사 출력의 감쇠가 없는 방전 램프를 제공하는 것이다. DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention is a discharge lamp in which a heat-transfer body is sealed in a sealed space inside an electrode, which can reliably suppress the temperature rise of the electrode, so that the electrode does not melt and the light-emitting tube does not blacken and attenuates radiation output To provide a discharge lamp without.

본 발명의 방전 램프는, 발광관(10)의 내부에 한 쌍의 전극(2, 3)이 대향 배치되고, 한쪽의 전극(2)은, 내부에 밀폐 공간(S)이 형성된 전극 본체(20)와, 이 밀폐 공간(S)에 봉입된 전열체(M)를 구비하여 이루어지고, 전극 본체(20)에는, 전극 본체 외부와 내부의 밀폐 공간(S)에 이어지는 가스 도입용 관통 구멍(21)이 형성되어 있고, 가스 도입용 관통 구멍(21)의 전극 본체 외부 측의 선단 개구는, 용융에 의해 밀봉되어 있는 것을 특징으로 한다. In the discharge lamp of the present invention, an electrode body 20 in which a pair of electrodes 2 and 3 are disposed to face each other inside the light emitting tube 10, and one electrode 2 has an airtight space S formed therein. ) And a heat-transfer body M enclosed in the sealed space S, and the electrode main body 20 has a through hole 21 for gas introduction leading to the sealed space S outside and inside the electrode body 20. ) Is formed, and the tip opening on the outer side of the electrode main body of the gas introduction through hole 21 is sealed by melting.

Description

방전 램프{DISCHARGE LAMP}Discharge Lamps {DISCHARGE LAMP}

도 1은 방전 램프의 설명도이다. 1 is an explanatory diagram of a discharge lamp.

도 2는 본 발명의 방전 램프의 양극의 단면 설명도이다. 2 is an explanatory cross-sectional view of the anode of the discharge lamp of the present invention.

도 3은 본원 발명의 방전 램프의 양극의 제조 공정의 설명도이다. It is explanatory drawing of the manufacturing process of the anode of the discharge lamp of this invention.

도 4는 본 발명의 방전 램프의 다른 양극의 단면 설명도이다. 4 is a cross-sectional explanatory view of another anode of the discharge lamp of the present invention.

도 5는 본 발명의 방전 램프의 다른 양극의 단면 설명도이다. 5 is a cross-sectional explanatory view of another anode of the discharge lamp of the present invention.

도 6은 본 발명의 방전 램프의 다른 양극의 단면 설명도이다. 6 is an explanatory cross-sectional view of another anode of the discharge lamp of the present invention.

도 7은 본원 발명의 방전 램프의 다른 양극의 단면 설명도이다.7 is a cross-sectional explanatory view of another anode of the discharge lamp of the present invention.

도 8은 본 발명의 방전 램프의 다른 양극의 단면 설명도이다.8 is an explanatory cross-sectional view of another anode of the discharge lamp of the present invention.

도 9는 본 발명의 방전 램프의 다른 양극의 단면 설명도이다. 9 is an explanatory cross-sectional view of another anode of the discharge lamp of the present invention.

도 10은 본 발명의 방전 램프의 양극의 박육부의 다른 실시예의 단면 설명도이다.10 is an explanatory cross-sectional view of another embodiment of a thin portion of the anode of the discharge lamp of the present invention.

도 11은 본 발명의 방전 램프의 다른 양극의 단면 설명도이다. It is explanatory drawing of the cross section of the other anode of the discharge lamp of this invention.

도 12는 도 11의 전극의 위쪽으로부터 본 사시도이다.12 is a perspective view from above of the electrode of FIG. 11;

도 13은 종래의 방전 램프의 양극의 단면 설명도이다. It is explanatory drawing of the cross section of the anode of the conventional discharge lamp.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉 <Explanation of symbols for main parts of drawing>

10: 발광관 11: 발광부10: light emitting tube 11: light emitting unit

12: 밀봉부 2: 양극12: sealing part 2: anode

20: 전극 본체 20a: 동체부20: electrode main body 20a: body part

20b: 덮개부 20b1: 전극 축20b: cover portion 20b1: electrode shaft

21: 가스 도입용 관통 구멍 22: 홈21: through-hole for gas introduction 22: groove

23: 박육부 3: 음극 23: thin part 3: negative electrode

S: 밀폐 공간 M: 전열체S: enclosed space M: heating element

H: 리드 막대 삽입 구멍 H: lead rod insertion hole

본 발명은, 방전 램프에 관한 것이다. 특히, 투영 장치, 광화학 반응 장치, 검사 장치의 광원으로서 이용되는 쇼트 아크형 방전 램프에 관한 것이다. The present invention relates to a discharge lamp. In particular, it is related with the short arc type discharge lamp used as a light source of a projection apparatus, a photochemical reaction apparatus, and an inspection apparatus.

방전 램프는, 발광 물질, 전극간 거리, 발광관내 압력이라는 관점에서 몇개의 램프로 분류할 수 있고, 이 중 발광 물질로는 크세논 가스를 발광 물질로 하는 크세논 램프, 수은을 발광 물질로 하는 수은 램프, 수은 이외의 희토류 금속 등을 발광 물질로 하는 메탈 할라이드 램프 등이 있다. Discharge lamps can be classified into several lamps from the viewpoints of light emitting materials, distances between electrodes, and pressure in the light emitting tube. Among them, xenon lamps using xenon gas as a light emitting material and mercury lamps with mercury as a light emitting material. And metal halide lamps having a rare earth metal other than mercury as a light emitting material.

또한, 전극간 거리라는 관점에서는, 쇼트 아크형 방전 램프나 롱 아크형 방전 램프가 있고, 또 발광관내의 증기압이라는 관점에서는, 저압 방전 램프, 고압 방전 램프, 초고압 방전 램프 등이 존재한다.From the viewpoint of the distance between the electrodes, there are a short arc discharge lamp and a long arc discharge lamp, and from the viewpoint of the vapor pressure in the light emitting tube, there are a low pressure discharge lamp, a high pressure discharge lamp, an ultrahigh pressure discharge lamp, and the like.

이 중, 쇼트 아크형 고압 수은 램프에 관해서 말하면, 내열 온도가 높은 석 영 유리를 발광관으로 하고, 그 내부에 텅스텐제의 전극이 2∼20㎜ 정도의 간극을 두고 배치되어 있고, 또한, 발광관 내부에는 발광 물질로서 점등 시 증기압이 105㎩∼107㎩이 되는 수은이나 아르곤 등의 가스가 봉입되어 있다. Among these, in the case of the short arc type high pressure mercury lamp, quartz glass having a high heat resistance temperature is used as a light emitting tube, and a tungsten electrode is arranged inside the gap with a gap of about 2 to 20 mm, and the light is emitted. The inside of the tube is filled with a gas such as mercury or argon having a vapor pressure of 10 5 Pa to 10 7 Pa at the time of lighting as a light emitting material.

이 쇼트 아크형 고압 수은 램프는, 전극 간 거리가 짧아 높은 휘도를 얻을 수 있다는 이점을 가지기 때문에, 종래부터 리소그래피의 노광용 광원에 널리 사용되어 왔다. This short arc type high pressure mercury lamp has been widely used in the lithography exposure light source since it has the advantage that the distance between electrodes is short and high brightness can be obtained.

그 한편, 최근에는, 반도체 웨이퍼뿐만 아니라, 액정 기판, 특히, 대면적의 액정 디스플레이에 사용하는 액정 기판의 노광용 광원으로서 주목받고 있고, 제조 공정에서의 처리량을 높인다는 관점에서 광원인 램프도 대출력화가 강하게 요구되고 있다. On the other hand, in recent years, not only a semiconductor wafer but also a light source for exposure of liquid crystal substrates, especially the liquid crystal substrate used for a large area liquid crystal display, is attracting attention, The lamp which is a light source from a viewpoint of increasing the throughput in a manufacturing process is also large output. Angry is strongly demanded.

방전 램프의 대출력화에 의해 정격 소비 전력이 커지면, 방전 램프에 흐르는 전류값은, 전류, 전압의 설계값에도 좌우되지만, 대부분의 경우 커진다. When the rated power consumption increases due to the large output of the discharge lamp, the current value flowing through the discharge lamp also depends on the design value of the current and the voltage, but in most cases increases.

이 때문에, 전극(특히, 직류 점등에서의 양극)은, 전자 충돌을 받는 양이 많아져, 용이하게 승온하여 용융한다는 문제가 발생하기 쉬워진다. For this reason, the quantity of an electrode (especially an anode in DC lighting) receives an electron collision much, and it becomes easy to generate | occur | produce the problem of easy temperature rising and melting.

또한, 양극에 한정되는 것이 아니라, 수직 방향에 배치하는 방전 램프에서는, 위쪽에 위치되는 전극이, 발광관 내의 열 대류 등의 영향을 받아, 아크로부터 열을 받기 쉬워져, 마찬가지로 고온화하여 용융한다는 문제가 있었다. In addition, in the discharge lamps arranged in the vertical direction, the electrode positioned above is not limited to the anode, and is subject to heat from the arc under the influence of heat convection in the light-emitting tube, and the like. There was.

또한, 전극, 특히, 그 선단 부분이 용융하면, 아크가 불안정해질 뿐만 아니라, 전극을 구성하는 물질이 증발하여 발광관의 내표면에 부착하여 방사 출력이 저 하한다는 문제도 발생한다. In addition, when the electrode, in particular, the tip portion thereof melts, not only the arc becomes unstable, but also the problem that the radiation output is lowered because the material constituting the electrode evaporates and adheres to the inner surface of the light emitting tube.

이러한 현상은, 쇼트 아크형 고압 수은 램프에 한정되는 것이 아니라, 방전 램프를 대출력화하는 경우에, 일반적으로 발생하는 문제로서, 종래에는, 방전 램프의 전극의 표면에 텅스텐 소결체로 이루어지는 방열층을 설치하는 기술이 제안되어 있고, 또한, 더 대출력의 방전 램프에서는, 전극의 내부에 밀폐 공간을 형성하고, 이 공간 내에 금, 은, 구리 등의 전열체(傳熱體)를 봉입하여, 전극의 선단부가 고온화하더라도 전열체의 높은 열 수송 효과에 의해, 전극의 축 방향으로 열을 방출시켜 전극의 용융을 방지하는 기술이 제안되어 있다. Such a phenomenon is not limited to a short arc type high pressure mercury lamp, but is a problem generally occurring when the discharge lamp is largely output. Conventionally, a heat dissipation layer made of a tungsten sintered body is provided on the surface of the electrode of the discharge lamp. In the discharge lamp of a higher output, a sealed space is formed inside the electrode, and a heat-transfer body such as gold, silver, copper, and the like is enclosed in this space, Even if the tip portion has a high temperature, a technique for preventing melting of the electrode by releasing heat in the axial direction of the electrode due to the high heat transport effect of the heat transfer body has been proposed.

도 1을 이용하여, 전극의 내부의 밀폐 공간에 금, 은, 구리 등의 전열체를 봉입한 방전 램프를 설명한다. The discharge lamp which enclosed heat-transfer bodies, such as gold, silver, and copper, in the sealed space inside the electrode is demonstrated using FIG.

도 1은, 방전 램프의 전체 구조를 도시한 개략도이다.1 is a schematic diagram showing the overall structure of a discharge lamp.

발광관(10)은 석영 유리로 이루어지고, 대략 구 형상의 발광부(11)의 양단에는 밀봉부(12)가 일체로 이어져 설치되어 있다. 이 발광부(11)에는 양극(2) 및 음극(3)이 대향 배치되어 있다. The light emitting tube 10 is made of quartz glass, and sealing portions 12 are integrally provided at both ends of the substantially spherical light emitting portion 11. An anode 2 and a cathode 3 are disposed in the light emitting portion 11 so as to face each other.

그리고, 발광부(11)에는, 수은, 크세논, 아르곤 등의 발광 물질이나 시동용 가스가 소정 양 봉입되어, 외부 전원으로부터 전력이 공급되면, 양극(2)과 음극(3)에서 아크 방전함으로써 발광한다. The light emitting unit 11 is filled with a predetermined amount of a light emitting material such as mercury, xenon, argon, or a gas for starting, and when electric power is supplied from an external power source, the light is discharged by arc discharge from the anode 2 and the cathode 3. do.

도 13은, 종래의 방전 램프의 양극의 단면도이다. 13 is a cross-sectional view of the anode of a conventional discharge lamp.

양극(2)은, 전극 본체(20)와 그 내부에 전열체(M)를 가지는 구조를 하고 있다. 전극 본체(20)는 텅스텐이고, 내부에 밀폐 공간(S)이 형성되는 용기 형상을 한 것이고, 전열체(M)는 전극 본체(20)의 내부에 기밀하게 봉입된 금, 은, 구리 등의 금속이다. The anode 2 has the structure which has the electrode main body 20 and the heat-transfer body M in it. The electrode body 20 is tungsten and has a container shape in which an airtight space S is formed. The heat transfer body M is formed of gold, silver, copper, or the like, hermetically sealed in the electrode body 20. Metal.

전극 본체(20)의 일부에는, 전극 본체(20)의 내부로 이어지는 가스 도입용 관통 구멍(21)이 형성되어 있다. 이 가스 도입용 관통 구멍(21)은, 밀폐 공간(S)에 전열체를 흘려 넣는 구멍인 동시에, 밀폐 공간(S) 안에 희가스를 봉입하기 위한 구멍이다. A part of the electrode main body 20 is provided with a gas introduction through hole 21 leading to the inside of the electrode main body 20. The gas introduction through hole 21 is a hole through which the heat-transfer body flows into the sealed space S and a hole for sealing the rare gas into the sealed space S.

희가스는 전극 본체(20) 내에 1기압 이상 넣는 경우와, 1기압 이하로 넣는 경우가 있고, 1기압 이상 넣는 경우는, 밀폐 공간(S)의 내용적에 대하여 전열체(M)가 50% 이상 봉입되어 있는 경우이고, 전열체(M)와 밀폐 공간의 내표면과의 계면에서 기포의 발생을 방지하는 것으로서, 기포에 의한 열 수송의 로스를 저감하는 것이다. The rare gas may be stored in the electrode body 20 at least 1 atm and at most 1 atm, and in the case of at least 1 atm, the heat-transfer body M is encapsulated by 50% or more with respect to the inner volume of the sealed space S. In this case, bubbles are prevented from occurring at the interface between the heat transfer body M and the inner surface of the sealed space, and the loss of heat transport due to the bubbles is reduced.

한편, 희가스를 1기압 이하로 넣는 경우는, 밀폐 공간(S)의 내용적에 대하여 전열체(M)의 봉입량이 적은 경우이고, 이 경우, 대기압보다 낮은 압력 상태로 함으로써 전열체(M)의 비등을 촉진시키고, 이에 의해 비등 전달에 의한 열 수송 효과를 향상시키는 것이다. On the other hand, when the rare gas is put at 1 atm or less, the amount of encapsulation of the heat transfer body M is small with respect to the inner space of the sealed space S. In this case, the heat transfer body M is boiled by setting the pressure to be lower than atmospheric pressure. To promote heat transfer effect by boiling propagation.

그리고, 밀폐 공간(S) 안에 전열체와 희가스를 봉입한 후, 가스 도입용 관통 구멍(21) 안에 밀봉재(T)로서 납땜재 등의 금속 또는 금속 합금을 이용하여 가스 도입용 관통 구멍(21)을 밀봉하는 것이다. Then, after the heat-transfer body and the rare gas are sealed in the sealed space S, the gas introduction through holes 21 are used in the gas introduction through holes 21 using a metal or a metal alloy such as a brazing material as the sealing material T. To seal.

〈특허문헌 1〉일본 특개 2004-006246호 <Patent Document 1> Japanese Patent Laid-Open No. 2004-006246

그러나, 램프 점등 중, 양극의 온도는 선단부에서 2000℃ 이상, 가스 도입용 관통 구멍이 있는 후단부에서 1700℃로 고온 상태로 되어 있고, 가스 도입용 관통 구멍(21)을 밀봉하는 밀봉재(T)도 고온 상태로 되어 있어, 양극의 온도에 따라서는, 밀봉재(T)가 증발하여 발광부 내에 불순물로서 비산하여, 발광관을 흑화시키거나, 불필요한 발광을 일으켜 발광 효율이 저하한다는 문제가 발생할 우려가 있었다. However, during lamp lighting, the temperature of the anode is at a high temperature of 2000 ° C. or higher at the front end and 1700 ° C. at the rear end with the gas introduction through hole, and the sealing material T for sealing the gas introduction through hole 21. It is also in a high temperature state, and depending on the temperature of the anode, there is a concern that the sealing material T evaporates and scatters as impurities in the light emitting portion, causing the light emitting tube to blacken, or causing unnecessary light emission, thereby lowering the luminous efficiency. there was.

또한, 밀봉재(T)가 증발하여, 가스 도입용 관통 구멍(21)이 출현한 경우, 밀폐 공간(S) 내의 전열체가 발광관 안으로 누출하여, 램프로서 기능하지 않게 되는 문제가 발생할 우려가 있었다. Moreover, when the sealing material T evaporated and the gas introduction through-hole 21 appeared, there exists a possibility that the problem that the heat-transmitter in the sealed space S leaks into a light emitting tube, and may not function as a lamp may arise.

본 발명은, 이러한 문제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 전극 내부의 밀폐 공간에 전열체를 봉입한 방전 램프로서, 전극의 온도 상승을 확실하게 억제할 수 있고, 따라서, 전극이 용융하는 일이 없어, 발광관이 흑화하지 않고, 방사 출력의 감쇠가 없는 방전 램프를 제공하는 것에 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem, and is a discharge lamp in which a heat-transfer body is sealed in a sealed space inside the electrode, which can reliably suppress the temperature rise of the electrode, and therefore the electrode does not melt, It is an object of the present invention to provide a discharge lamp in which the light emitting tube does not become black and does not have attenuation of radiation output.

청구항 1에 기재된 방전 램프는, 발광관의 내부에 한 쌍의 전극이 대향 배치된 방전 램프에서, 적어도 한 쪽의 전극은, 내부에 밀폐 공간이 형성된 전극 본체와, 이 밀폐 공간에 봉입된 전열체를 구비하여 이루어지고, 상기 전극 본체에는, 전극 본체 외부와 내부의 밀폐 공간에 이어지는 가스 도입용 관통 구멍이 형성되어 있고, 상기 가스 도입용 관통 구멍의 전극 본체 외부 측의 선단 개구는, 용융에 의해 밀봉되어 있는 것을 특징으로 한다. The discharge lamp according to claim 1 is a discharge lamp in which a pair of electrodes are disposed to face each other in a light emitting tube, and at least one of the electrodes includes an electrode body in which a sealed space is formed, and a heat-transfer body enclosed in the sealed space. And a through hole for gas introduction leading to the sealed space inside and outside the electrode body is formed in the electrode body, and the tip opening of the electrode body outside of the gas introduction through hole is melted by melting. It is characterized by being sealed.

청구항 2에 기재된 방전 램프는, 청구항 1에 기재된 방전 램프로서, 특히, 상기 가스 도입용 관통 구멍의 전극 본체 외부 측의 선단 개구의 주연은 박육부로 되어 있는 것을 특징으로 한다. The discharge lamp of Claim 2 is the discharge lamp of Claim 1, The peripheral edge of the front end opening of the electrode main body outer side of the said gas introduction through hole is a thin part especially.

청구항 3에 기재된 방전 램프는, 청구항 1에 기재된 방전 램프로서, 특히, 상기 전극 본체는 동체부와 덮개부로 이루어지고, 상기 덮개부는, 전극 축이 일체로 형성되고, 해당 전극 축에 상기 가스 도입용 관통 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. The discharge lamp of Claim 3 is the discharge lamp of Claim 1, In particular, the said electrode main body consists of a fuselage | body part and a cover part, The said cover part is integrally formed with the electrode shaft, and is for the said gas introduction to the said electrode shaft. A through hole is formed.

청구항 4에 기재된 방전 램프는, 청구항 2에 기재된 방전 램프로서, 특히, 상기 박육부는, 방전 가열, 레이저 가열, 전자선 가열 중 어느 하나에 의해서 용융되어 상기 가스 도입용 관통 구멍의 전극 본체 외부 측의 선단 개구가 밀봉되어 있는 것을 특징으로 한다. The discharge lamp according to claim 4 is the discharge lamp according to claim 2, and in particular, the thin portion is melted by any one of discharge heating, laser heating, and electron beam heating, and is formed on the outer side of the electrode main body of the through hole for gas introduction. A tip opening is sealed.

본 발명의 방전 램프를, 도 1을 이용하여 설명한다. The discharge lamp of this invention is demonstrated using FIG.

발광관(10)은 석영 유리로 이루어지고, 대략 구 형상의 발광부(11)의 양단에는 밀봉부(12)가 일체로 이어져 설치되어 있다. 이 발광부(11)에는 양극(2) 및 음극(3)이 대향 배치되어 있다. The light emitting tube 10 is made of quartz glass, and sealing portions 12 are integrally provided at both ends of the substantially spherical light emitting portion 11. An anode 2 and a cathode 3 are disposed in the light emitting portion 11 so as to face each other.

그리고, 발광부(11)에는, 수은, 크세논, 아르곤 등의 발광 물질이나 시동용 가스가 소정 양 봉입되어, 외부 전원으로부터 전력이 공급되면, 양극(2)과 음극(3)에서 아크 방전함으로써 발광한다. The light emitting unit 11 is filled with a predetermined amount of a light emitting material such as mercury, xenon, argon, or a gas for starting, and when electric power is supplied from an external power source, the light is discharged by arc discharge from the anode 2 and the cathode 3. do.

도 2는, 본원 발명의 방전 램프의 양극의 단면도이다. 2 is a cross-sectional view of the anode of the discharge lamp of the present invention.

양극(2)은, 전극 본체(20)와 그 내부에 전열체(M)를 가지는 구조을 하고 있 다. 전극 본체(20)는 텅스텐이고, 내부에 밀폐 공간(S)이 형성되는 용기 형상을 한 것이며, 전열체(M)는 전극 본체(20)의 내부에 기밀하게 봉입된 금, 은, 구리 등의 금속이다. The anode 2 has the structure which has the electrode main body 20 and the heat-transfer body M in it. The electrode body 20 is tungsten and has a container shape in which an airtight space S is formed, and the heat transfer body M is formed of gold, silver, copper, or the like, hermetically sealed in the electrode body 20. Metal.

다음으로, 본원 발명의 방전 램프의 양극의 제조 공정을 도 3을 이용하여 설명한다. Next, the manufacturing process of the positive electrode of the discharge lamp of this invention is demonstrated using FIG.

도 3에 도시하는 것과 같이, 전극 본체(20)는, 텅스텐제의 동체부(20a)와 텅스텐제의 덮개부(20b)로 이루어지고, 동체부(20a)는 원재료인 텅스텐 막대에서 소정의 길이를 잘라내고, 절삭 가공에 의해 선단부를 테이퍼 형상으로 가공하는 동시에 구멍 형성 가공에 의해 밀폐 공간(S)이 되는 구멍을 뚫은 것이다. 또한, 덮개부(20b)는, 선단 측이 동체부(20a)의 구멍에 들어가도록 볼록 형상으로 되어 있고, 동체부(20a)에 소정 양의 전열체(M)를 넣은 후, 덮개부(20b)의 선단 측의 볼록 형상 부분을 동체부(20a)에 끼워 넣고, 덮개부(20b)의 측주면과 동체부(20a)를 접합하여 전극 본체(20)를 구성하는 것이다. As shown in FIG. 3, the electrode main body 20 consists of the tungsten body part 20a and the tungsten cover part 20b, and the body part 20a is predetermined length in the tungsten rod which is a raw material. Is cut out, the tip is cut into a tapered shape by cutting, and a hole to be the closed space S is punched out by the hole forming process. Moreover, the cover part 20b is convex shape so that the front end side may enter the hole of the fuselage part 20a, and after inserting predetermined amount of heat transfer body M to the fuselage part 20a, the cover part 20b The convex-shaped part of the front end side of () is inserted in the trunk | drum 20a, the side peripheral surface of the lid | cover 20b, and the trunk | drum 20a are joined, and the electrode main body 20 is comprised.

덮개부(20b)에는, 전극 본체(20) 내부의 밀폐 공간(S)과 전극 본체(20)의 외부로 이어지는 가스 도입용 관통 구멍(21)이 형성되어 있다. The lid 20b is provided with a sealed space S inside the electrode main body 20 and a through hole 21 for gas introduction leading to the outside of the electrode main body 20.

이 가스 도입용 관통 구멍(21)은 개구 지름 1㎜ 이하인 관통 구멍이고, 가스 도입용 관통 구멍(21)의 덮개부(20b)의 외면에 형성된 전극 본체 외부 측의 선단 개구를 둘러싸도록 덮개부(20b)에 홈(22)이 형성되어, 가스 도입용 관통 구멍(21)의 전극 본체 외부 측의 선단 개구의 주연은 두께 0.25㎜에서 1㎜ 정도의 박육부(23)로 되어 있다. The gas introduction through hole 21 is a through hole having an opening diameter of 1 mm or less, and covers the tip opening on the outer side of the electrode main body formed on the outer surface of the cover part 20b of the gas introduction through hole 21. The groove 22 is formed in 20b), and the periphery of the tip opening on the outer side of the electrode main body of the gas introduction through hole 21 is a thin portion 23 having a thickness of 0.25 mm to about 1 mm.

그리고, 이 전극 본체(20)를 밀폐된 가스 용기 안에 배치하고, 그 밀폐된 가스 용기 안이 소정 압력이 되도록 희가스를 봉입하여, 가스 도입용 관통 구멍(21)으로부터 전극 본체(20)에 희가스가 봉입되어, 밀폐 공간(S)이 되는 내부 공간의 희가스의 압력이 가스 용기 안의 압력과 동일해져, 전극 본체(20) 안이 소정의 가스압이 된다. Then, the electrode main body 20 is placed in a sealed gas container, the rare gas is sealed so as to have a predetermined pressure in the sealed gas container, and the rare gas is sealed into the electrode main body 20 from the gas introduction through-hole 21. As a result, the pressure of the rare gas in the internal space that becomes the sealed space S becomes equal to the pressure in the gas container, and the inside of the electrode main body 20 becomes a predetermined gas pressure.

또한, 그 상태에서, 덮개부(20b)의 박육부(23)를 방전 가열함으로써, 박육부(23)를 즉각적으로 녹여, 박육부(23)가 용융함으로써, 가스 도입용 관통 구멍(21)이 밀봉되어, 도 2에 도시하는 것과 같이 밀폐 공간(S) 내에 전열체(M)와 소정 압력의 희가스가 갇히게 된다. In this state, the thin portion 23 of the lid portion 20b is discharged and heated to immediately melt the thin portion 23, and the thin portion 23 melts so that the gas introduction through hole 21 is formed. It seals and heat-transfer body M and the rare gas of predetermined pressure are trapped in sealed space S as shown in FIG.

그리고, 덮개체(20b)의 상부에 형성된 리드 막대 삽입 구멍(H)에, 리드 막대가 끼워 넣어져 양극(2)이 발광부내(10) 안에서 지지된 구조로 되어 있다. The lead rod is inserted into the lead rod insertion hole H formed in the upper portion of the lid 20b, and the anode 2 is supported in the light emitting portion 10. As shown in FIG.

이와 같이, 가스 도입용 관통 구멍(21)을 밀봉할 때에, 박육부(23)를 용융하면 되므로, 가스 도입용 관통 구멍(21)을 밀봉하기 위한 밀봉재가 불필요하게 되어, 밀봉재의 증발 등의 문제가 일어나지 않는 것이다. 또한, 박육부(23)는, 전극 본체(20)를 구성하고 있는 텅스텐으로 이루어지는 것이어서, 양극의 온도가 상승하여도 박육부가 용융한 밀봉 부분이 용융하는 일이 없어, 내부의 전열체(M)가 전극 본체(20)의 외부로 누출하는 일이 없는 것이다. In this way, when the gas introduction through-hole 21 is sealed, the thin portion 23 may be melted, so that a sealing material for sealing the gas introduction through-hole 21 becomes unnecessary, thereby causing problems such as evaporation of the sealing material. Will not happen. Moreover, since the thin part 23 consists of tungsten which comprises the electrode main body 20, even if the temperature of an anode rises, the sealing part which the thin part melted does not melt, but the internal heat-transfer body M ) Does not leak out of the electrode main body 20.

그 결과, 전극 본체(20)의 밀폐 공간(S) 내의 전열체(M)에 의해서, 전극 선단부의 열이 축 방향으로 확실하게 방출되게 되어, 전극의 온도 상승을 억제하여, 전극이 용융하는 일이 없어, 발광관이 흑화하지 않고, 방사 출력의 감쇠가 없는 방 전 램프가 된다. As a result, the heat transfer body M in the sealed space S of the electrode main body 20 ensures that the heat of the electrode tip portion is reliably released in the axial direction, thereby suppressing the temperature rise of the electrode and melting the electrode. There is no light emitting tube, and the discharge lamp is not blackened and there is no attenuation of the radiation output.

다음으로, 본원 발명의 방전 램프의 양극의 다른 예를 도 4∼도 6을 이용하여 설명한다. Next, another example of the anode of the discharge lamp of this invention is demonstrated using FIGS.

도 4에 도시하는 양극은, 텅스텐제의 덮개부(20b)의 위쪽에, 리드 막대 삽입 구멍(H)이 형성되어 있고, 리드 막대 삽입 구멍(H)의 바닥부 중심에, 가스 도입용 관통 구멍(21)의 전극 본체 외부 측의 선단 개구가 위치하도록 가스 도입용 관통 구멍(21)이 형성되어 있다. As for the anode shown in FIG. 4, the lead rod insertion hole H is formed in the upper part of the tungsten cover part 20b, and the through hole for gas introduction is centered in the center of the bottom part of the lead rod insertion hole H. As shown in FIG. The gas introduction through-hole 21 is formed so that the tip opening of the electrode main body outer side of 21 may be located.

또한, 리드 막대 삽입 구멍(H)의 바닥부의 가스 도입용 관통 구멍(21)의 선단 개구를 둘러싸듯이, 홈(22)이 형성되어 선단 개구의 주연이 박육부(23)로 되어 있다. Moreover, the groove 22 is formed so that the periphery of the front end opening may become the thin part 23 so that the front end opening of the gas introduction through hole 21 of the bottom part of the lead rod insertion hole H may be enclosed.

그리고, 미리 동체부(20a)에 소정 양의 전열체(M)를 넣어두고, 덮개부(20b)를 동체부(20a)에 끼워맞춤하고, 덮개부(20b)의 측주면과 동체부(20a)를 접합한 후, 가스 용기 안에 전극 본체(20)를 넣어 가스 용기 안에서 소정 가스압의 희가스를 밀폐 공간(S)이 되는 전극 본체(20)의 내부 공간에 봉입하고, 박육부(23)를 방전 가열함으로써, 박육부(23)를 즉각적으로 녹여 용융함으로써, 가스 도입용 관통 구멍(21)이 밀봉되어, 전극 본체(20) 내에 소정 압력의 희가스와 전열체(M)를 밀폐 상태로 봉입하는 것이다. Then, a predetermined amount of heat-transfer body M is put in the fuselage 20a, and the cover 20b is fitted to the fuselage 20a, and the side circumferential surface of the cover 20b and the fuselage 20a ), The electrode main body 20 is put into the gas container, and the rare gas of a predetermined gas pressure is enclosed in the gas container into the inner space of the electrode main body 20 to be a closed space S, and the thin portion 23 is discharged. By heating, the thin portion 23 is immediately melted and melted to seal the gas introduction through-hole 21 to seal the rare gas and the heat transfer body M at a predetermined pressure in the electrode body 20 in a sealed state. .

도 5에 도시하는 양극은, 텅스텐제의 뚜껑부(20b)에, 리드 막대 삽입 구멍(H)이 형성되어 있고, 이 리드 막대 삽입 구멍(H) 이외의 부분이자 덮개부(20b)의 상면에, 가스 도입용 관통 구멍(21)의 전극 본체 외부 측의 선단 개구가 위치하도 록 가스 도입용 관통 구멍(21)이 형성되어 있다. In the positive electrode shown in FIG. 5, a lead rod insertion hole H is formed in the tungsten lid portion 20b, and the portion other than the lead rod insertion hole H is formed on the upper surface of the lid portion 20b. The gas introduction through hole 21 is formed so that the tip opening on the outer side of the electrode main body of the gas introduction through hole 21 is located.

또한, 가스 도입용 관통 구멍(21)의 전극 본체 외부 측의 선단 개구를 둘러싸듯이, 덮개부(20b)의 상면에 홈(22)이 형성되어, 선단 개구의 주연이 박육부(23)로 되어 있다. In addition, a groove 22 is formed in the upper surface of the lid portion 20b so as to surround the tip opening on the outer side of the electrode main body of the gas introduction through hole 21, and the peripheral edge of the tip opening becomes the thin portion 23. have.

그리고, 미리 동체부(20a)에 소정 양의 전열체(M)를 넣어두고, 덮개부(20b)를 동체부(20a)에 끼워맞춤하고, 덮개부(20b)의 측주면과 동체부(20a)를 접합한 후, 가스 용기 안에 전극 본체(20)를 넣어 가스 용기 내에서 소정 가스압의 희가스를 밀폐 공간(S)이 되는 전극 본체(20)의 내부 공간에 봉입하고, 박육부(23)를 방전 가열함으로써, 박육부(23)를 즉각적으로 녹여 용융함으로써, 가스 도입용 관통 구멍(21)이 밀봉되어, 전극 본체(20) 내에 소정 압력의 희가스와 전열체(M)를 밀폐 상태로 봉입하는 것이다. Then, a predetermined amount of heat-transfer body M is put in the fuselage 20a, and the cover 20b is fitted to the fuselage 20a, and the side circumferential surface of the cover 20b and the fuselage 20a ), The electrode main body 20 is placed in the gas container, and the rare gas of a predetermined gas pressure is enclosed in the gas container into the inner space of the electrode main body 20 serving as the closed space S, and the thin portion 23 is sealed. By discharging and heating the thin portion 23 immediately and melting, the through hole 21 for gas introduction is sealed to seal the rare gas and the heat-transfer body M at a predetermined pressure in the electrode body 20 in a sealed state. will be.

도 6에 도시하는 양극은, 텅스텐제의 덮개부(20b)에 리드 막대 삽입 구멍(H)이 형성되고, 텅스텐제의 동체부(20a)의 측면에 가스 도입용 관통 구멍(21)의 전극 본체 외부 측의 선단 개구가 위치하도록 가스 도입용 관통 구멍(21)이 형성되어 있다. As for the positive electrode shown in FIG. 6, the lead rod insertion hole H is formed in the cover part 20b made from tungsten, and the electrode main body of the gas penetration through hole 21 is provided in the side surface of the tungsten body part 20a. The gas introduction through-hole 21 is formed so that the front end opening of the outer side may be located.

또한, 가스 도입용 관통 구멍(21)의 선단 개구를 둘러싸듯이, 홈(22)이 형성되어 선단 개구의 주연이 박육부(23)로 되어 있다. In addition, the groove 22 is formed so as to surround the tip opening of the gas introduction through hole 21, and the peripheral edge of the tip opening is the thin portion 23. As shown in FIG.

그리고, 미리 동체부(20a)에 소정 양의 전열체(M)를 넣어두고, 덮개부(20b)를 동체부(20a)에 끼워맞춤하고, 덮개부(20b)의 측주면과 동체부(20a)를 접합한 후, 가스 용기 안에 전극 본체(20)를 넣어 가스 용기 안에서 소정 가스압의 희가스를 밀폐 공간(S)이 되는 전극 본체(20)의 내부 공간에 봉입하고, 박육부(23)를 방전 가열함으로써, 박육부(23)를 즉각적으로 녹여 용융함으로써, 가스 도입용 관통 구멍(21)이 밀봉되어, 전극 본체(20) 내에 소정의 압력의 희가스와 전열체(M)를 밀폐 상태로 봉입하는 것이다. Then, a predetermined amount of heat-transfer body M is put in the fuselage 20a, and the cover 20b is fitted to the fuselage 20a, and the side circumferential surface of the cover 20b and the fuselage 20a ), The electrode main body 20 is put into the gas container, and the rare gas of a predetermined gas pressure is enclosed in the gas container into the inner space of the electrode main body 20 to be a closed space S, and the thin portion 23 is discharged. By heating, the thin portion 23 is immediately melted and melted, so that the gas introduction through hole 21 is sealed to seal the rare gas and the heat transfer body M at a predetermined pressure in the electrode body 20 in a sealed state. will be.

본원 발명의 방전 램프의 양극의 다른 예를 도 7∼도 11을 이용하여 설명한다. Another example of the positive electrode of the discharge lamp of the present invention will be described with reference to FIGS. 7 to 11.

도 7에 도시하는 양극(2)은, 텅스텐제의 덮개부(20b)에, 리드 막대 삽입 구멍(H)이 형성되어 있고, 이 리드 막대 삽입 구멍(H) 이외의 부분이자 덮개부(20b)의 상면에, 가스 도입용 관통 구멍(21)의 전극 본체 외부 측의 선단 개구가 위치하도록 가스 도입용 관통 구멍(21)이 형성되어 있다.In the positive electrode 2 shown in FIG. 7, a lead rod insertion hole H is formed in the tungsten lid portion 20b, and is a portion other than the lead rod insertion hole H and the lid portion 20b. The gas introduction through hole 21 is formed on the upper surface of the gas so that the tip opening on the outer side of the electrode main body of the gas introduction through hole 21 is located.

또한, 가스 도입용 관통 구멍(21)의 전극 본체 외부 측의 선단 개구 부분은, 덮개부(20b)의 상면으로부터 고리 형상으로 돌출한 상태로 되어 있고, 선단 개구의 고리 형상의 주연이 박육부(23)로 되어 있다. Moreover, the tip opening part of the electrode main body outer side of the gas introduction through-hole 21 is in the state which protruded annularly from the upper surface of the cover part 20b, and the annular periphery of the tip opening is thin part ( 23).

여기서 말하는 고리 형상이란, 중심에 관통 구멍(21)을 가지는 것이고, 관통 구멍(21)의 주위의 두께 부분이 주연이 되고, 주연의 외형은, 원호 형상이거나, 사각형 상태이더라도, 고리 형상의 주연이라고 부르는 것이다. The annular shape here has a through hole 21 at the center, and the thickness portion around the through hole 21 becomes the peripheral edge, and the outer shape of the peripheral edge is an annular peripheral edge even if it is an arc shape or a rectangular state. To call.

그리고, 미리 동체부(20a)에 소정 양의 전열체(M)를 넣어두고, 덮개부(20b)를 동체부(20a)에 끼워맞춤하고, 덮개부(20b)와 동체부(20a)를 접합한 후, 가스 용기 안에 전극 본체(20)를 넣어 가스 용기 안에서 소정 가스압의 희가스를 밀폐 공간(S)이 되는 전극 본체(20)의 내부 공간에 봉입하고, 박육부(23)를 방전 가열함으 로써, 박육부(23)를 즉각적으로 녹여 용융함으로써, 가스 도입용 관통 구멍(21)이 밀봉되어, 전극 본체(20) 내에 소정 압력의 희가스와 전열체(M)을 밀폐 상태로 봉입하는 것이다. Then, the predetermined amount of heat transfer body M is put in the fuselage 20a, and the cover 20b is fitted to the fuselage 20a, and the cover 20b and the fuselage 20a are joined. After that, the electrode main body 20 is put in the gas container, and the rare gas of a predetermined gas pressure is enclosed in the gas container in the inner space of the electrode main body 20 which becomes the sealed space S, and the thin part 23 is discharged and heated. By melt | dissolving and melt | dissolving the thin part 23 immediately, the gas introduction through-hole 21 is sealed and the rare gas of a predetermined pressure and the heat-transfer body M are enclosed in the electrode main body 20 in the sealed state.

도 8에 도시하는 양극(2)은, 텅스텐제의 덮개부(20b)에 리드 막대 삽입 구멍(H)이 형성되고, 텅스텐제의 동체부(20a)의 측면에 가스 도입용 관통 구멍(21)의 전극 본체 외부 측의 선단 개구가 위치하도록 가스 도입용 관통 구멍(21)이 형성되어 있다. As for the anode 2 shown in FIG. 8, the lead rod insertion hole H is formed in the tungsten cover part 20b, and the gas introduction through hole 21 is provided in the side surface of the tungsten body part 20a. The through hole 21 for gas introduction is formed so that the front end opening of the outer side of the electrode main body may be located.

또한, 가스 도입용 관통 구멍(21)의 전극 본체 외부 측의 선단 개구 부분은, 동체부(20a)의 측면으로부터 고리 형상으로 돌출한 상태로 되어 있고, 선단 개구의 고리 형상의 주연이 박육부(23)로 되어 있다. Moreover, the tip opening part of the electrode main body outer side of the gas introduction through-hole 21 is in the state which protruded in the annular shape from the side surface of the trunk | drum 20a, and the annular periphery of the tip opening becomes the thin part ( 23).

그리고, 미리 동체부(20a)에 소정 양의 전열체(M)를 넣어두고, 덮개부(20b)를 동체부(20a)에 끼워맞춤하고, 덮개부(20b)와 동체부(20a)를 접합한 후, 가스 용기 안에 전극 본체(20)를 넣어 가스 용기 안에서 소정 가스압의 희가스를 밀폐 공간(S)이 되는 전극 본체(20)의 내부 공간에 봉입하고, 박육부(23)를 방전 가열함으로써, 박육부(23)를 즉각적으로 녹여 용융함으로써, 가스 도입용 관통 구멍(21)이 밀봉되어, 전극 본체(20) 내에 소정 압력의 희가스와 전열체(M)를 밀폐 상태로 봉입하는 것이다. Then, the predetermined amount of heat transfer body M is put in the fuselage 20a, and the cover 20b is fitted to the fuselage 20a, and the cover 20b and the fuselage 20a are joined. After that, the electrode main body 20 is put in the gas container, the rare gas of a predetermined gas pressure is enclosed in the gas container in the inner space of the electrode main body 20 which becomes a sealed space S, and the thin part 23 is discharged and heated, By melt | dissolving and melting the thin part 23 immediately, the gas introduction through-hole 21 is sealed and the rare gas of a predetermined pressure and the heat-transfer body M are enclosed in the electrode main body 20 in a sealed state.

도 9에 도시하는 양극(2)은, 텅스텐제의 덮개부(20b)에, 리드 막대와 접합되는 전극 축(20b1)이 일체로 형성되어 있고, 이 전극 축(20b1)의 대략 중심이자 전극 축 방향에 가스 도입용 관통 구멍(21)이 형성되어 있고, 가스 도입용 관통 구멍 (21)의 전극 본체 외부 측의 선단 개구가 전극 축(20b1)의 상면에 위치하고 있다. In the anode 2 shown in FIG. 9, the electrode shaft 20b1 joined to the lead rod is integrally formed on the tungsten lid portion 20b, and is approximately the center of the electrode shaft 20b1 and the electrode shaft. The gas introduction through-hole 21 is formed in the direction, and the tip opening of the electrode main body outer side of the gas introduction through-hole 21 is located in the upper surface of the electrode shaft 20b1.

또한, 가스 도입용 관통 구멍(21)의 전극 본체 외부 측의 선단 개구 부분은, 전극 축(20b1)의 상면으로부터 고리 형상으로 돌출한 상태로 되어 있고, 선단 개구의 고리 형상의 주연이 박육부(23)로 되어 있다. Moreover, the tip opening part of the electrode main body outer side of the gas introduction through-hole 21 is in the state which protruded annularly from the upper surface of the electrode shaft 20b1, and the annular periphery of the tip opening has a thin part ( 23).

또한, 이 박육부(23)는, 전극 축(20b1)의 축 방향의 단면도인 도 10에 도시하는 것과 같이, 전극 축 방향으로 선단 개구를 향하여 두께가 얇아지는 외형 테이퍼 형상의 박육부(23)로 되어 있어도 된다. In addition, this thin part 23 is an outline tapered thin part 23 whose thickness becomes thin toward the tip opening in the electrode axial direction, as shown in FIG. 10, which is a cross-sectional view in the axial direction of the electrode shaft 20b1. It may be.

이 경우, 두께가 얇아진 부분에서, 박육부(23)가 확실하게 용융하여, 가스 도입용 관통 구멍(21)의 밀봉이 확실해진다. In this case, in the part where thickness became thin, the thin part 23 reliably melts and sealing of the gas introduction through-hole 21 is assured.

그리고, 미리 동체부(20a)에 소정 양의 전열체(M)을 넣어두고, 덮개부(20b)를 동체부(20a)에 끼워맞춤하고, 덮개부(20b)와 동체부(20a)를 접합한 후, 가스 용기 안에 전극 본체(20)를 넣어 가스 용기 안에서 소정 가스압의 희가스를 밀폐 공간(S)이 되는 전극 본체(20)의 내부 공간에 봉입하고, 박육부(23)를 방전 가열함으로써, 박육부(23)를 즉각적으로 녹여 용융함에 의해, 가스 도입용 관통 구멍(21)이 밀봉되어, 전극 본체(20) 내에 소정 압력의 희가스와 전열체(M)를 밀폐 상태로 봉입하는 것이다. Then, the predetermined amount of heat-transfer body M is put in the fuselage 20a, the cover 20b is fitted to the fuselage 20a, and the cover 20b and the fuselage 20a are joined. After that, the electrode main body 20 is put in the gas container, the rare gas of a predetermined gas pressure is enclosed in the gas container in the inner space of the electrode main body 20 which becomes a sealed space S, and the thin part 23 is discharged and heated, By melt | dissolving and melt | dissolving the thin part 23 immediately, the gas introduction through-hole 21 is sealed and the rare gas of the predetermined pressure and the heat-transfer body M are enclosed in the electrode main body 20 in the sealed state.

도 11에 도시하는 양극(2)은, 텅스텐제의 덮개부(20b)에, 리드 막대 삽입 구멍(H)이 형성되어 있고, 이 리드 막대 삽입 구멍(H) 이외의 부분이자 덮개부(20b)의 상면에, 가스 도입용 관통 구멍(21)의 전극 본체 외부 측의 선단 개구가 위치하도록 가스 도입용 관통 구멍(21)이 형성되어 있다. In the positive electrode 2 shown in FIG. 11, a lead bar insertion hole H is formed in the tungsten cover part 20b, and is a part other than the lead bar insertion hole H and the cover part 20b. The gas introduction through hole 21 is formed on the upper surface of the gas so that the tip opening on the outer side of the electrode main body of the gas introduction through hole 21 is located.

또한, 가스 도입용 관통 구멍(21)의 전극 본체 외부 측의 선단 개구 부분은, 뚜껑부(20b)의 상면으로부터 고리 형상으로 돌출한 상태로 되어 있고, 선단 개구의 고리 형상의 주연이 박육부(23)로 되어 있다. Moreover, the tip opening part of the electrode main body outer side of the gas introduction through-hole 21 is in the state which protruded in the annular shape from the upper surface of the lid part 20b, and the annular periphery of the tip opening becomes the thin part ( 23).

도 12는, 도 11의 양극의 상부 방향에서 본 사시도이고, 가스 도입용 관통 구멍(21)의 제조 방법을 설명한다. FIG. 12 is a perspective view seen from the upper direction of the anode in FIG. 11, and illustrates a method for manufacturing the gas introduction through hole 21.

덮개부(20b)의 위쪽에는, 선반에 의해서 절삭 가공하여 원호 형상의 돌기부(23a)를 형성한다. 그리고, 이 돌기부(23a)를 2개소 절삭 가공하여 절삭부(23b)를 형성한다. In the upper part of the cover part 20b, it cuts with a shelf and forms the arc-shaped protrusion part 23a. Then, the protruding portion 23a is cut in two places to form the cutting portion 23b.

그리고, 2개소의 절삭부(23b)의 사이에 위치하는 짧은 쪽의 돌기부(23a)에, 위쪽으로부터 드릴 등에 의해서 가스 도입용 관통 구멍(21)을 형성하는 것이다. And the gas perforation hole 21 is formed in the short protrusion 23a located between two cutting parts 23b by a drill etc. from the upper side.

이 가공에 의해서, 덮개부(20b)의 상면에, 가스 도입용 관통 구멍(21)의 전극 본체 외부 측의 선단 개구가 위치하도록 가스 도입용 관통 구멍(21)이 형성되고, 돌기부(23)의 선단 개구가 고리 형상의 주연이 되고, 이 주연이 박육부(23)가 되어, 박육부(23)를 용융하여 밀봉하는 것이다. By this process, the gas introduction through hole 21 is formed in the upper surface of the cover part 20b so that the tip opening of the electrode main body outer side of the gas introduction through hole 21 may be located, and the projection 23 A tip opening becomes a ring-shaped peripheral edge, this peripheral edge becomes the thin part 23, and the thin part 23 is melted and sealed.

그리고, 박육부(23)는, 용융됨으로써, 원호 형상의 돌기부(23a)의 높이에 비해 낮아져, 리드 막대를 리드 막대 삽입 구멍(H)에 삽입하는 등의 경우에, 리드 막대의 선단이 용융한 박육부(23)에 닿아 박육부(23)가 파손되지 않도록, 원호 형상의 돌기부(23a)가 리드 막대 등이 박육부(23)에 닿지 않도록 가드하는 역할도 하는 것이다. And the thin part 23 is melt | dissolved and becomes low compared with the height of the arc-shaped protrusion part 23a, and when the lead rod is inserted in the lead rod insertion hole H, etc., the tip of the lead rod melt | dissolved. The arc-shaped protrusion 23a also serves to guard the lead rod or the like from touching the thin portion 23 so that the thin portion 23 is not damaged by contact with the thin portion 23.

그리고, 미리 동체부(20a)에 소정 양의 전열체(M)를 넣어두고, 덮개부(20b) 를 동체부(20a)에 끼워맞춤하고, 덮개부(20b)와 동체부(20a)를 접합한 후, 가스 용기 안에 전극 본체(20)를 넣어 가스 용기 안에서 소정 가스압의 희가스를 밀폐 공간(S)이 되는 전극 본체(20)의 내부 공간에 봉입하고, 박육부(23)를 방전 가열함으로써, 박육부(23)를 즉각적으로 녹여 용융함으로써, 가스 도입용 관통 구멍(21)이 밀봉되어, 전극 본체(20) 내에 소정 압력의 희가스와 전열체(M)를 밀폐 상태로 봉입하는 것이다. Then, the predetermined amount of heat-transfer body M is put in the fuselage 20a, the cover 20b is fitted to the fuselage 20a, and the cover 20b and the fuselage 20a are joined. After that, the electrode main body 20 is put in the gas container, the rare gas of a predetermined gas pressure is enclosed in the gas container in the inner space of the electrode main body 20 which becomes a sealed space S, and the thin part 23 is discharged and heated, By melt | dissolving and melting the thin part 23 immediately, the gas introduction through-hole 21 is sealed and the rare gas of a predetermined pressure and the heat-transfer body M are enclosed in the electrode main body 20 in a sealed state.

즉, 도 4∼도 12에 도시하는 양극에서도, 도 2에 도시하는 양극과 같이, 가스 도입용 관통 구멍(21)을 밀봉할 때에, 박육부(23)를 용융하기만 하면 되므로, 가스 도입용 관통 구멍(21)을 밀봉하기 위한 밀봉재가 별도로 필요하지 않게 되어, 밀봉재의 증발 등의 문제가 일어나지 않는다. 또한, 박육부(23)는, 전극 본체(20)를 구성하고 있는 텅스텐으로 이루어지는 것이고, 양극의 온도가 상승하여도 박육부가 용융한 밀봉 부분이 용융하는 일이 없어, 내부의 전열체(M)가 전극 본체(20)의 외부로 누출하는 일이 없는 것이다. That is, in the anode shown in FIGS. 4 to 12, like the anode shown in FIG. 2, only the molten thin portion 23 needs to be melted when sealing the gas introduction through-hole 21. Since a sealing material for sealing the through hole 21 is not necessary separately, a problem such as evaporation of the sealing material does not occur. Moreover, the thin part 23 consists of tungsten which comprises the electrode main body 20, and even if the temperature of an anode rises, the sealing part which the thin part melted does not melt, but the internal heat-transfer body M ) Does not leak out of the electrode main body 20.

또, 박육부(23)의 용융은, 방전 가열 이외에, 레이저 가열, 전자선 가열이더라도 좋다.In addition to the discharge heating, the melting of the thin portion 23 may be laser heating or electron beam heating.

또한, 가스 도입용 관통 구멍의 전극 본체 외부 측의 선단 개구에, 텅스텐의 쐐기 부재를 삽입하고, 그 쐐기 부재와 함께 선단 개구를 용융하여, 밀봉하는 구조이더라도 좋다. The tungsten wedge member may be inserted into the tip opening of the electrode main body outer side of the gas introduction through hole, and the tip opening may be melted and sealed together with the wedge member.

그 결과, 전극 본체(20)의 밀폐 공간(S) 내의 전열체(M)에 의해서, 전극 선단부의 열이 축 방향으로 확실하게 방출됨으로써, 전극의 온도 상승을 억제하여, 전극이 용융하는 일이 없어, 발광관이 흑화하지 않고 방사 출력의 감쇠가 없는 방전 램프가 된다.As a result, by the heat transfer body M in the airtight space S of the electrode main body 20, the heat | fever of the front-end | tip part is reliably discharge | released in the axial direction, suppressing the temperature rise of an electrode and melting an electrode. There is no light emitting tube and a discharge lamp without attenuation of radiation output.

본 발명의 방전 램프에 의하면, 전극 본체의 내부에 형성된 밀폐 공간으로 이어지는 가스 도입용 관통 구멍을 밀봉할 때에, 가스 도입용 관통 구멍의 전극 본체 외부 측의 선단 개구를 용융하여 밀봉하는 구조이기 때문에, 가스 도입용 관통 구멍을 밀봉하기 위한 밀봉재가 불필요하게 되어, 밀봉재의 증발 등의 문제가 일어나지 않는다. According to the discharge lamp of the present invention, when sealing the gas introduction through hole leading to the sealed space formed inside the electrode main body, the tip opening on the outer side of the electrode main body of the gas introduction through hole is melted and sealed. The sealing material for sealing the through-hole for gas introduction becomes unnecessary, and a problem such as evaporation of the sealing material does not occur.

가스 도입용 관통 구멍의 전극 본체 외부 측의 선단 개구의 주연은 박육부로 되어 있고, 이 박육부는, 전극 본체의 일부로 이루어지는 것으로서, 양극의 온도가 상승하여도 박육부가 용융한 밀봉 부분이 용융하는 일이 없어, 밀폐 공간 내의 전열체가 전극 본체의 외부로 누출하는 일이 없는 것이다. The periphery of the tip opening on the outer side of the electrode main body of the gas introduction through hole is a thin part, and the thin part is made of a part of the electrode main body, and the sealing part melted by the thin part melts even when the temperature of the anode rises. The heat transfer body in the sealed space does not leak to the outside of the electrode main body.

그 결과, 전극 본체의 밀폐 공간 내의 전열체에 의해서, 전극 선단부의 열이 축 방향으로 확실하게 방출되게 되어, 전극의 온도 상승을 억제하여, 전극이 용융하는 일이 없어, 발광관이 흑화하지 않고, 방사 출력의 감쇠가 없는 방전 램프가 된다. As a result, the heat transfer body in the sealed space of the electrode main body ensures that the heat of the electrode tip portion is reliably released in the axial direction, suppresses the temperature rise of the electrode, and the electrode does not melt, so that the light emitting tube does not become black. The discharge lamp has no attenuation of the radiated output.

Claims (4)

발광관의 내부에 한 쌍의 전극이 대향 배치된 방전 램프에서, In a discharge lamp in which a pair of electrodes are opposed to the inside of the light emitting tube, 적어도 한 쪽의 전극은, 내부에 밀폐 공간이 형성된 전극 본체와, 이 밀폐 공간에 봉입된 전열체를 구비하여 이루어지고, At least one electrode is provided with the electrode main body in which the sealed space was formed inside, and the heat-transfer body enclosed in this sealed space, 상기 전극 본체에는, 전극 본체 외부와 내부의 밀폐 공간에 이어지는 가스 도입용 관통 구멍이 형성되어 있고,The electrode main body is provided with a through hole for gas introduction leading to the sealed space inside and outside the electrode main body, 상기 가스 도입용 관통 구멍의 전극 본체 외부 측의 선단 개구는, 용융에 의해 밀봉되어 있는 것을 특징으로 하는 방전 램프. A discharging lamp according to claim 1, wherein the tip opening at the outer side of the electrode main body of the gas introduction through hole is sealed by melting. 제1항에 있어서, 상기 가스 도입용 관통 구멍의 전극 본체 외부 측의 선단 개구의 주연은 박육부로 되어 있는 것을 특징으로 하는 방전 램프. The discharge lamp according to claim 1, wherein the peripheral edge of the tip opening on the outer side of the electrode body of the gas introduction through hole is a thin portion. 제1항에 있어서, 상기 전극 본체는 동체부와 덮개부로 이루어지고, The method of claim 1, wherein the electrode body is composed of a body portion and a cover portion, 상기 덮개부는, 전극 축이 일체로 형성되고, 해당 전극 축에 상기 가스 도입용 관통 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 방전 램프. An electrode shaft is integrally formed, and the said cover part is a discharge lamp characterized by the said through-hole for gas introduction being formed in this electrode shaft. 제2항에 있어서, 상기 박육부는, 방전 가열, 레이저 가열, 전자선 가열 중 어느 하나에 의해서 용융되어 상기 가스 도입용 관통 구멍의 전극 본체 외부 측의 선단 개구가 밀봉되어 있는 것을 특징으로 하는 방전 램프. The discharge lamp according to claim 2, wherein the thin portion is melted by any one of discharge heating, laser heating, and electron beam heating, and a tip opening on the outer side of the electrode main body of the gas introduction through hole is sealed. .
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