KR20060058559A - Method for preparing high resonance optical filter for image display devices and optical filter prepared by the same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 투명 기판에 광촉매 화합물을 코팅하여 광촉매 필름을 형성하고, 광촉매 필름을 선택적으로 노광한 후 금속 핵을 형성하고나서, 에틸렌디아민 (EDA)을 처리하여 금속 이온을 선택적으로 제거하여 금속 패턴의 선폭을 정확하게 제어함으로써 광학필터의 해상도를 향상시키는 것을 특징으로 하는 화상 표시장치용 광학 필터의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명의 방법에 의하면 저비용의 단순 공정에 의해 고투과율, 고해상도, 저비저항 특성을 갖는 광학필터를 제조할 수 있다.
The present invention provides a photocatalyst film by coating a photocatalytic compound on a transparent substrate, selectively exposing the photocatalyst film, forming a metal nucleus, and then treating ethylenediamine (EDA) to selectively remove metal ions to form a metal pattern. The present invention relates to a method for manufacturing an optical filter for an image display device by accurately controlling the line width, and according to the method of the present invention, high transmittance, high resolution, and low resistivity characteristics can be achieved by a simple, low-cost process. The optical filter which has can be manufactured.
금속패턴, 광촉매, 도금법, 금속 결정 성장, 에틸렌디아민 (EDA), 선폭 제어, 금속 이온Metal pattern, photocatalyst, plating method, metal crystal growth, ethylenediamine (EDA), line width control, metal ion
Description
도 1은 본 발명의 방법의 일실시예에 의한 화상표시장치용 광학 필터의 제조방법의 공정개략도, 1 is a process schematic diagram of a manufacturing method of an optical filter for an image display device according to an embodiment of the method of the present invention;
도 2a 및 2b는 EDA 처리 전후의 금속 패턴을 비교한 전자현미경 사진이고, 2a and 2b are electron micrographs comparing the metal pattern before and after the EDA treatment,
도 3은 본 발명에서 EDA 처리에 따른 선폭의 변화를 관찰한 전자현미경 사진이다.
3 is an electron micrograph observing the change in line width according to the EDA treatment in the present invention.
본 발명은 고해상도 화상표시장치용 광학필터의 제조방법 및 그에 의해 제조된 광학 필터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 투명 기판 상의 광촉매 필름을 선택적으로 노광한 후 에틸렌디아민 화합물을 처리하여 금속 이온을 선택적으로 제거함으로써 해상도를 향상시킨 것을 특징으로 하는 화상표시장치용 광학 필터의 제조방 법 및 그에 의해 제조된 광학필터에 관계한다. The present invention relates to a method for manufacturing an optical filter for a high resolution image display device and an optical filter manufactured thereby, and more particularly, to selectively expose a photocatalyst film on a transparent substrate, and then to treat an ethylenediamine compound to selectively treat metal ions. The present invention relates to a manufacturing method of an optical filter for an image display device, and an optical filter manufactured thereby, wherein the resolution is improved by removing the resolution.
현재 액정표시장치(LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 전계 발광 디스플레이(ELD), 전계 방사형 디스플레이 등과 같은 많은 종류의 화상 표시 장치들이 상용화되어 있다. 이들 각종 화상 표시 장치 중에서도, 플라즈마 디스플레이 패널은 대형 벽걸이 텔레비전 및 멀티 미디어용 대화면 디스플레이로서 각광 받고 있다. PDP(plasma display panel)는 격벽 안에 헬륨, 네온, 아르곤, 제논 등의 불활성 가스를 봉입하고 밀봉시킨 뒤, 높은 전압을 걸어주어 가스를 이온화시켜 플라즈마를 형성시키고, 여기에서 방출되는 자외선이 형광체를 여기시켜 발광하게 된다. PDP는 그 구동 특성상 무선 전화기나 리모콘 등의 오작동을 유발할 수 있는 강한 근적외선, 인체나 다른 전자기기에 악영향을 주는 강한 전자파및 색재현성을 저하시키는 네온광을 발생시키기 때문에 이를 소정치 이하로 억제하는 것이 요구된다. 따라서 PDP에는 이러한 근적외선 및 불필요한 전자파를 차폐하는 동시에 외부 조명에 의한 반사광을 감소시킬 수 있는 전면 필터가 장착된다. Many kinds of image display devices such as liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), electroluminescent displays (ELDs), electroluminescent displays, and the like are commercially available. Among these various image display devices, plasma display panels are in the spotlight as large wall-mounted televisions and large screen displays for multimedia. Plasma display panel (PDP) encapsulates and seals an inert gas such as helium, neon, argon, xenon, etc. in a partition wall, and applies a high voltage to ionize the gas to form a plasma, and the ultraviolet rays emitted from the phosphor excite the phosphor. To emit light. PDP generates strong near-infrared rays that can cause malfunctions of cordless phones and remote controls, strong electromagnetic waves that adversely affect the human body and other electronic devices, and neon light that degrades color reproducibility. Required. Therefore, the PDP is equipped with a front filter capable of shielding such near-infrared and unnecessary electromagnetic waves and at the same time reducing the reflected light caused by external illumination.
일본특개평10-278800호는 스퍼터(sputter)나 증착법 등에 의해 화면의 표시면 상에 투명한 전극을 형성하는 방법을 개시하고 있다. 그러나 이러한 방법은 충분한 전자파 차폐 효과를 갖게 하기 위해서는 투과성이 매우 떨어지고, 투과성을 높이면 전차파차폐 성능이 저하되는 문제점을 갖는다. 즉, PDP 소자로부터 방출되는 가시광선에 대한 투과도 확보를 위해 100 Å 내지 2,000 Å 범위의 막두께가 필수적이나, 이러한 범위의 막두께에서는 충분한 전자파 차폐 효과를 얻을 수 없는 문제점이 있다. Japanese Patent Laid-Open No. 10-278800 discloses a method of forming a transparent electrode on a display surface of a screen by sputtering, vapor deposition, or the like. However, such a method has a problem in that the transmittance is very low in order to have a sufficient electromagnetic shielding effect, and when the permeability is increased, the vehicle shielding performance is deteriorated. In other words, the film thickness in the range of 100 kPa to 2,000 kPa is necessary to secure the transmittance of visible light emitted from the PDP device, but there is a problem that a sufficient electromagnetic shielding effect cannot be obtained at such a film thickness.
일본특허공개 제 2003-109435호는 투명 기체 표면에 소정의 패턴으로 형성된 금속 초미립자 촉매층과 이러한 금속 초미립자 촉매층 상에 형성된 금속층으로 이루어진 투명 도전막을 구성하고,투명 기체 표면상에 무전해도금 촉매를 함유하는 페이스트로 패턴 인쇄를 행하고, 이 패턴 인쇄된 무전해도금 촉매상에 무전해도금 처리를 행하여,패턴 인쇄부만으로 투명 도전성의 금속층을 형성하는 투명 도전막의 제조 방법을 개시하고 있다. 이러한 방법은 포토레지스트 공정 및 에칭 공정과 같은 복잡한 공정을 필요로 하지 않고 제조가 용이한 이점을 가지나, 광학 필터로서의 해상도가 부족하고 수율이 낮아 대량 생산에 적합하지 않은 한계를 갖는다. Japanese Patent Laid-Open No. 2003-109435 constitutes a transparent conductive film composed of a metal ultrafine catalyst layer formed in a predetermined pattern on the transparent gas surface and a metal layer formed on the metal ultrafine catalyst layer, and contains an electroless plating catalyst on the transparent gas surface. A method of manufacturing a transparent conductive film in which a pattern is printed with a paste, an electroplating process is performed on the pattern printed electroless plating catalyst, and a transparent conductive metal layer is formed only by the pattern printing portion is disclosed. Such a method has the advantage of being easy to manufacture without requiring complicated processes such as a photoresist process and an etching process, but has a limitation that the resolution as an optical filter is insufficient and the yield is not suitable for mass production.
또 다른 예로서, 일본특개평5-16281 및 일본특개평10-72676은 폴리카보네이트 등의 투명 기판 상에 투명 수지층을 형성하고, 그 위에 무전해 동도금 처리를 한 후 미세사진식각공정에 의한 에칭법에 의해 메쉬 패턴을 형성하는 전자파 차폐 필터 재료의 제조방법을 개시하고 있다. 그러나 이 방법에 의하면 금속박막을 처리하는 점에서는 공정상 유리한 점이 있으나, 사진식각공정에 의한 에칭시 에칭액의 조성, 온도, 시간의 관리가 용이하지 않은 문제점이 있다. As another example, Japanese Patent Laid-Open Nos. Hei 5-16281 and Japanese Patent Laid-Open No. Hei 10-72676 form a transparent resin layer on a transparent substrate, such as polycarbonate, and after the electroless copper plating treatment thereon, etching by microphotographic etching process. The manufacturing method of the electromagnetic wave shielding filter material which forms a mesh pattern by the method is disclosed. However, this method is advantageous in terms of processing a metal thin film, but there is a problem in that the composition, temperature, and time of the etching solution are not easily managed during etching by a photolithography process.
이상에서 설명한 바와 같이, 대부분의 종래 기술들은 주로 고진공/고온 등을 요하는 금속 박막 공정 또는 미세 형상 노광공정과 후속하는 에칭공정에 의해 메쉬 패턴을 형성하므로 전체 공정이 복잡해지고 공정 비용이 상승하는 문제점이 있다. 한편, 금속 박막 공정 및 에칭 공정을 거치지 않는 제조방법의 경우 가격 면에서는 유리하나 광학 필터에 대해 요구되는 충분한 해상도 및 광투과율을 수득할 수 없고 수율이 낮아 양산에 적합하지 않은 문제점을 갖는다. As described above, most conventional technologies form a mesh pattern by a metal thin film process or a fine shape exposure process and a subsequent etching process, which mainly require high vacuum / high temperature, so that the overall process becomes complicated and the process cost increases. There is this. On the other hand, the manufacturing method that does not go through the metal thin film process and the etching process is advantageous in terms of price but can not obtain a sufficient resolution and light transmittance required for the optical filter and has a problem that the yield is not suitable for mass production.
본 출원인은 국내 특허 출원 제 2003-30110호에서 광촉매화합물을 기판에 코팅하고, 선택적으로 노광하여 광반응을 통해 결정 성장용 핵 (nuclei)의 잠재적 패턴을 형성한 후, 이를 도금처리하여 금속결정을 성장시켜 금속패턴을 형성하는 방법을 제안한 바 있다. 구체적으로 광촉매가 코팅된 기판에 포토마스크를 통해 선택적으로 노광한 후 금속핵을 형성할 경우, 이론적으로 광조사 영역에만 한정적으로 금속(예컨대, Pd(0))이 흡착되어야 하는데, 조사영역 부근에도 빛의 번짐 또는 열에 의해 금속 (예컨대, Pd2+) 이온의 흡착이 동시에 일어난다. 금속 뿐만 아니라 금속 이온의 형태도 다음 단계에서 도금의 핵으로서 작용할 수 있기 때문에 선폭이 증가하게 된다. 이와 같은 경우 정확한 선폭의 제어가 곤란하여 광학필터의 해상도가 저하되는 문제점이 발생할 수 있어 이에 대한 보완이 요구되었다.
Applicant in Korea Patent Application No. 2003-30110, the photocatalyst compound is coated on the substrate, and selectively exposed to form a potential pattern of the nuclei for crystal growth through photoreaction, and then plated it to the metal crystal A method of growing a metal pattern has been proposed. Specifically, when a metal nucleus is formed after selective exposure to a photocatalyst-coated substrate through a photomask, theoretically, only metal (eg, Pd (0) ) should be adsorbed to the light irradiation area, Adsorption of metal (eg, Pd 2+ ) ions occurs simultaneously by light bleeding or heat. In addition to metals, the form of metal ions can also act as nuclei for plating in the next step, resulting in increased line width. In such a case, it is difficult to accurately control the line width, which may cause a problem that the resolution of the optical filter is degraded.
본 발명은 상술한 종래 기술상의 약점을 보완하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 금속 이온과 킬레이팅을 잘 시키는 에틸렌디아민 화합물 처리를 통해 선택적으로 금속 이온 만을 제거함으로써 정확하게 선폭을 제어하여 해상도를 향상시킬 수 있는 화상표시장치용 광학 필터의 제조방법을 제공하는 것이다.
The present invention is to compensate for the above-mentioned weaknesses in the prior art, and an object of the present invention is to improve the resolution by precisely controlling the line width by selectively removing only the metal ions through the treatment of ethylenediamine compound which is well chelated with metal ions. It is to provide a method for manufacturing an optical filter for an image display device.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 하나의 양상은 One aspect of the present invention for achieving the above object is
투명 기판에 광촉매 화합물을 코팅하여 광촉매 필름을 형성하는 제 1 단계;Coating a photocatalytic compound on a transparent substrate to form a photocatalyst film;
상기 광촉매 필름을 선택적으로 노광한 후 금속 활성화에 의해 금속 핵을 형성하는 제 2 단계;Selectively exposing the photocatalyst film and then forming a metal nucleus by metal activation;
에틸렌디아민 화합물 처리에 의해 이온 상태의 금속을 제거하는 제 3 단계; A third step of removing the metal in the ionic state by treating the ethylenediamine compound;
상기 금속 패턴 위에 도금법에 의해 금속 결정을 성장시켜 금속패턴을 수득하는 제 4 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 고투과율 화상 표시장치용 광학 필터의 제조방법에 관계한다.And a fourth step of obtaining a metal pattern by growing a metal crystal on the metal pattern by a plating method.
본 발명의 다른 양상은 본 발명의 방법에 의해 제조된 광학 필터를 특징으로 한다. Another aspect of the invention features an optical filter made by the method of the invention.
본 발명의 또 다른 양상은 본 발명의 방법에 의해 제조된 광학 필터를 포함하는 평판 표시 소자를 특징으로 한다.
Another aspect of the invention features a flat panel display element comprising an optical filter made by the method of the invention.
이하에서 첨부 도면을 참고하여 본 발명에 관하여 더욱 상세하게 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in more detail with respect to the present invention.
본 발명에 의한 화상표시장치용 광학 필터의 제조 방법을 살펴 보면, 먼저 투명 기판에 광촉매 화합물을 코팅하여 광촉매 필름을 형성한다 (제 1 단계). 이어서 상기 광촉매 필름을 선택적으로 노광한 후 금속 활성화(예를 들어, Pd activation)에 의해 금속 핵을 형성한다 (제 2 단계). 에틸렌디아민 화합물 처리에 의해 이온 상태의 금속을 제거하고(제 3 단계), 상기 금속 패턴 위에 도금법에 의해 금속 결정을 성장시켜 금속패턴을 수득한다 (제 4 단계). 이하에서 각 단계에 관하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다. Looking at the manufacturing method of the optical filter for an image display device according to the present invention, first, a photocatalyst compound is coated on a transparent substrate to form a photocatalyst film (first step). The photocatalyst film is then selectively exposed to form a metal nucleus by metal activation (eg Pd activation) (second step). The metal in the ionic state is removed by the ethylenediamine compound treatment (third step), and metal crystals are grown on the metal pattern by plating to obtain a metal pattern (fourth step). Hereinafter, the steps will be described in more detail.
1. 제 1 단계 : 광촉매 필름 형성 단계1. First step: photocatalyst film forming step
도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 화상 표시 장치의 광학필터의 제조방법을 설명하기 위한 공정 개략도이다. 도 1을 참고하면, 먼저, 광촉매화합물을 투명 기판에 코팅하여 광촉매 필름을 형성한다. 1 is a process schematic diagram illustrating a method of manufacturing an optical filter of an image display device according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1, first, a photocatalyst compound is coated on a transparent substrate to form a photocatalyst film.
본 발명에서 사용가능한 투명 기판에는 특별한 제한은 없으나 바람직하게는 투명한 플라스틱 기판 또는 유리 기판을 사용할 수 있다. 투명한 플라스틱 기판의 예로는 아크릴 수지, 폴리에스테르, 폴리카보네이트, 폴리에틸렌, 폴리에테르설폰, 올레핀말레이미드 공중합체, 노르보넨계 수지 등이 이용될 수 있다. 내열성이 요구되는 경우에는 올레핀 말레이미드 공중합체 또는 노르보넨계 수지가 바람직하고, 그렇지 않은 경우에는 폴리에스테르 필름이나 아크릴 수지 등을 이용할 수 있다.There is no particular limitation on the transparent substrate usable in the present invention, but preferably, a transparent plastic substrate or a glass substrate can be used. Examples of the transparent plastic substrate may be acrylic resin, polyester, polycarbonate, polyethylene, polyethersulfone, olefinmaleimide copolymer, norbornene-based resin, and the like. When heat resistance is required, an olefin maleimide copolymer or norbornene-type resin is preferable, and when it is not, a polyester film, an acrylic resin, etc. can be used.
본 발명에서 사용되는 "광촉매 화합물"은 광에 의해 그 특성이 현저하게 변화하는 화합물로서, 노광 전에는 비활성(inactive)이나 자외선 등의 광을 조사받을 경우 활성화(activation)되어 반응성이 강해지는 화합물이다. 이와 같은 광촉매화합물은 바람직하게는 비활성 상태의 광촉매화합물이 광반응에 의해 전자여기를 일으켜 환원능력을 가지게 되는 화합물이며, 더욱 바람직하게는, 코팅 및 열처리 후 TiOx (여기서 x는 0, 1 또는 2이다)를 형성할 수 있는 Ti를 함유하는 유기화합물이다. Ti를 함유하는 유기 금속화합물의 구체적인 예는 테트라이소프로필 티타네이트 (tetraisopropyl titanate), 테트라-n-부틸 티타네이트(tetra-n-butyl titanate), 테트라키스(2-에틸-헥실) 티타네이트(tetrakis(2-ethyl-hexyl) titanate), 및 폴리부틸 티타네이트(polybutyl titanate)를 포함하나, 반드시 이들로 국한되는 것은 아니다.The "photocatalytic compound" used in the present invention is a compound whose properties are remarkably changed by light, and is a compound that is activated and becomes reactive when irradiated with light such as inactive or ultraviolet light before exposure. Such a photocatalytic compound is preferably a compound in which an inactive photocatalytic compound has an electron excitation due to a photoreaction to have a reducing ability, and more preferably, TiO x (where x is 0, 1 or 2 after coating and heat treatment). It is an organic compound containing Ti which can form). Specific examples of Ti-containing organometallic compounds include tetraisopropyl titanate, tetra-n-butyl titanate, tetrakis (2-ethyl-hexyl) titanate (2-ethyl-hexyl) titanate), and polybutyl titanate, but are not necessarily limited to these.
본 발명에서 Ti-함유 유기화합물층의 코팅 두께는 30nm 내지 1000nm인 것이 바람직하며, 코팅한 후 200℃ 이하의 온도에서 20 분 이하의 조건으로 핫 플레이트(hot plate) 혹은 전자레인지에서 가열하여 투명한 Ti-함유 유기화합물층을 형성한다. 200 ℃ 이상의 온도에서 가열하면 결정성의 TiO2 층이 발생하여 광학 필터의 광학적 특성이 열화될 수 있다.In the present invention, the coating thickness of the Ti-containing organic compound layer is preferably 30 nm to 1000 nm, and after coating, the transparent Ti- is heated by heating in a hot plate or a microwave oven at a temperature of 200 ° C. or less for 20 minutes or less. A containing organic compound layer is formed. Heating at a temperature of 200 ° C. or more may cause a crystalline TiO 2 layer to deteriorate the optical properties of the optical filter.
이어서 위와 같이 하여 형성된 Ti-함유 유기화합물층 위에 수용성 고분자 화합물을 코팅하여 수용성 고분자층을 형성할 수 있는데, 수용성 고분자층은 후속하는 자외선 노광시 광환원 (Photoreduction)을 촉진시켜 광촉매 활성을 향상시키는 역할을 한다. 본 발명에서 사용가능한 수용성 고분자의 예는 폴리비닐알코올, 폴리비닐페놀, 폴리비닐피롤리돈, 폴리아크릴산, 폴리아크릴아마이드, 젤라틴 등의 단일 중합체 혹은 공중합체 등을 포함하나 반드시 이들로 국한되는 것은 아니다. 수용성 고분자를 물에 30 % 이하의 농도로 용해시켜 상기 Ti-함유 유기화합물층 위에 코팅한 후 가열하여 최종적인 광촉매 필름을 형성한다.Subsequently, the water-soluble polymer layer may be formed on the Ti-containing organic compound layer formed as described above to form a water-soluble polymer layer. The water-soluble polymer layer serves to enhance photocatalytic activity by promoting photoreduction during subsequent UV exposure. do. Examples of water-soluble polymers usable in the present invention include, but are not necessarily limited to, homopolymers or copolymers such as polyvinyl alcohol, polyvinylphenol, polyvinylpyrrolidone, polyacrylic acid, polyacrylamide, gelatin, and the like. . A water-soluble polymer is dissolved in water at a concentration of 30% or less, coated on the Ti-containing organic compound layer, and heated to form a final photocatalyst film.
수용성 고분자층의 형성시 광감도를 활성화시키기 위해 수용성 고분자 수용액에 광증감제 화합물을 첨가할 수 있다. 본 발명에서 사용가능한 광증감제 화합물의 예들은 수용성 색소, 유기산, 유기산 염, 유기 에틸렌디아민 등을 포함한다. 구체적인 예로는 타르(tar)색소, 클로로필린의 칼륨 또는 나트륨 염, 리보플라빈 및 그의 유도체, 수용성 안나토(annatto), CuSO4, 카라멜, 컬큐민(curcumine), 코치날(cochinal), 구연산, 구연산 암모늄, 구연산 나트륨, 옥살산, 타르타르산 칼륨, 타르타르산 나트륨, 아스코르브산, 포름산, 트리에탄올에틸렌디아민, 모노에탄올에틸렌디아민, 말산 등의 화합물을 들 수 있다. 수용성 고분자층은 상기의 코팅 방법에 의해 코팅후 80 ℃ 이하의 온도에서 5분 이하로 가열하여 수분을 건조시킨 후 사용하게 되며, 수용성 고분자층의 두께는 1 ㎛ 이하로 조절하는 것이 바람직하다.
In order to activate the photosensitivity during formation of the water-soluble polymer layer, a photosensitizer compound may be added to the aqueous solution of the water-soluble polymer. Examples of photosensitizer compounds usable in the present invention include water soluble pigments, organic acids, organic acid salts, organic ethylenediamine, and the like. Specific examples include tar pigments, potassium or sodium salts of chlorophyllin, riboflavin and derivatives thereof, water soluble annatoto, CuSO 4 , caramel, curcumine, cochinal, citric acid, ammonium citrate And compounds such as sodium citrate, oxalic acid, potassium tartarate, sodium tartarate, ascorbic acid, formic acid, triethanol ethylenediamine, monoethanol ethylenediamine, malic acid and the like. The water-soluble polymer layer is used after the coating method by heating at a temperature of 80 ℃ or less after 5 minutes to dry the moisture, and the thickness of the water-soluble polymer layer is preferably adjusted to 1 ㎛ or less.
2. 결정성장용 핵의 잠재적 패턴 형성 단계2. Formation of Potential Patterns of Nuclear Crystal
제 1 단계에서 수득한 상기 광촉매 필름은 포토 마스크 등을 사용하여 UV 등에 선택적으로 노광하여, 활성화된 부분과 비활성화된 부분으로 이루어진 결정성장용 핵의 잠재적 패턴을 수득한다. 노광 시, 노광 분위기 또는 노광량 등의 노광 조건은 특별히 제한되지 않고, 사용하는 광촉매 화합물의 종류에 따라 적절히 선택할 수 있다The photocatalyst film obtained in the first step is selectively exposed to UV light using a photo mask or the like to obtain a potential pattern of crystal growth nuclei consisting of an activated portion and an inactivated portion. At the time of exposure, exposure conditions, such as an exposure atmosphere or an exposure amount, are not specifically limited, It can select suitably according to the kind of photocatalyst compound to be used.
광촉매 필름을 노광하면, 전술한 바와 같이, 노광부분에 전자 여기가 일어나 화합물이 환원특성 등의 활성을 띄게 되어 금속이온의 환원이 일어난다.When the photocatalyst film is exposed, as described above, electron excitation occurs in the exposed portion, and the compound exhibits activity such as reduction characteristics, thereby reducing metal ions.
광촉매 필름의 노광에 의해 결정 성장용 핵의 잠재적 패턴을 수득한 다음, 필요에 따라, 보다 효과적으로 금속패턴을 형성토록 하기 위해 적절한 금속염에 상기 패턴을 침지하여 금속염 내의 금속입자를 침적시킨 패턴을 수득하고 수용성 고 분자층을 완전히 제거할 수 있다. 상기 침적된 금속입자 (금속 핵)는 후속하는 도금공정에서 금속결정성장을 촉진하는 촉매의 역할을 한다. 예를 들어, 구리, 니켈, 또는 금 도금 처리할 경우, 이러한 금속염 처리를 수행하는 것이 바람직하다. 바람직하게, 이러한 목적의 금속염 용액으로는 Ag 염용액, Pd염 용액 또는 Ag염 및 Pd염의 혼합용액을 사용할 수 있다.
After exposure of the photocatalyst film to obtain a potential pattern of nuclei for crystal growth, if necessary, the pattern is immersed in a suitable metal salt in order to more effectively form a metal pattern to obtain a pattern in which metal particles in the metal salt are deposited. The water soluble high molecular layer can be completely removed. The deposited metal particles (metal nuclei) serve as catalysts for promoting metal crystal growth in subsequent plating processes. For example, in the case of copper, nickel, or gold plating treatment, it is preferable to perform such metal salt treatment. Preferably, as the metal salt solution for this purpose, an Ag salt solution, a Pd salt solution or a mixed solution of Ag salt and Pd salt may be used.
3. 에틸렌디아민 화합물 처리 단계3. Ethylenediamine Compound Treatment Step
본 발명에서는 금속 패턴의 선폭을 정확하게 제어하여 광학 필터의 해상도를 향상시키기 위하여, 금속 패턴을 금속 이온(예컨대, Pd2+ 이온)과 킬레이팅을 잘 시키는 에틸렌디아민 화합물로 처리한다. 본 발명에서 잠재적 패턴을 에틸렌디아민 화합물로 처리하면 에틸렌디아민과 금속이온 (예컨대, Pd2+)이 복합체 (complex)를 형성하고 이러한 복합체는 물에 잘 녹기 때문에 쉽게 제거할 수 있게 된다.In the present invention, in order to precisely control the line width of the metal pattern to improve the resolution of the optical filter, the metal pattern is treated with an ethylenediamine compound which is well chelated with metal ions (eg, Pd 2+ ions). Treatment of the latent pattern with ethylenediamine compounds in the present invention facilitates the removal of ethylenediamine and metal ions (eg, Pd 2+ ) because they form complexes and these complexes are well soluble in water.
본 발명에 의해 에틸렌디아민 화합물을 처리하는 경우에는, 탈이온수에 에틸렌디아민 화합물을 첨가하여 수용액을 제조한 후, 제조된 에틸렌디아민 화합물 수용액에 금속 패턴을 넣고 일정 시간 동안 침적한 다음 꺼낸다. 본 발명에서 에틸렌디아민 수용액의 농도는 0.2 M 내지 10.0M인 것이 바람직하고, 처리 시간은 에틸렌디아민 수용액의 농도 등에 따라 조정할 수 있다.
In the case of treating the ethylenediamine compound according to the present invention, an aqueous solution is prepared by adding an ethylenediamine compound to deionized water, and then a metal pattern is put into the prepared aqueous solution of ethylenediamine compound and deposited for a predetermined time, and then taken out. In this invention, it is preferable that the density | concentration of the ethylenediamine aqueous solution is 0.2M-10.0M, and a processing time can be adjusted with the density | concentration etc. of ethylenediamine aqueous solution.
4. 금속패턴 형성 단계4. Metal pattern formation step
결정 성장 핵의 잠재적 패턴 또는, 필요에 따라 상기 잠재적 패턴에 금속입자를 침적시킨 패턴은, 도금처리하여 금속결정을 성장시켜 금속패턴을 수득한다. 이 때, 도금법으로 2종류 이상의 금속을 성장시켜 다층 금속 패턴을 수득할 수도 있다. 이러한 도금처리는 무전해 도금방식 또는 전해도금방식에 의한다.A potential pattern of crystal growth nuclei or a pattern in which metal particles are deposited on the potential pattern as necessary is plated to grow metal crystals to obtain a metal pattern. At this time, two or more kinds of metals may be grown by plating to obtain a multilayer metal pattern. Such plating treatment is performed by electroless plating or electroplating.
금속염용액으로 처리하여 금속입자를 침적시킨 패턴의 경우, 팔라듐 혹은 은 금속입자가 침적된 패턴이 무전해 도금용액의 촉매로서 충분한 활성도를 지녀서 도금에 의한 결정성장이 촉진되므로, 보다 치밀한 조직의 금속 패턴을 얻을 수 있어 더욱 유리하다.In the case of a pattern in which metal particles are deposited by treating with a metal salt solution, a pattern in which palladium or silver metal particles are deposited has a sufficient activity as a catalyst for an electroless plating solution, thereby promoting crystal growth by plating, and thus a metal having a finer structure It is more advantageous to obtain a pattern.
도금 처리에 사용하는 도금금속으로는, Cu, Ni, Ag, Au 및 이들의 금속합금을 금속 패턴의 용도에 따라 적절히 선택하여 사용할 수 있다. 고전도성 금속패턴을 수득하기 위해서는 바람직하게는 구리 금속 화합물 용액 또는 은 금속화합물 용액을 사용한다.As a plating metal used for a plating process, Cu, Ni, Ag, Au, and these metal alloys can be suitably selected and used according to the use of a metal pattern. In order to obtain a highly conductive metal pattern, a copper metal compound solution or a silver metal compound solution is preferably used.
무전해도금 또는 전해도금은 종래의 공지된 방법에 따라 수행할 수 있는데, 이를 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다:Electroless plating or electroplating may be carried out according to a known method, which will be described in more detail as follows:
구리금속 결정 성장방식으로서 무전해 도금방식을 사용할 경우, 1) 구리염, 2) 환원제, 3) 착화제, 4) pH 조절제, 5) pH 완충제, 및 6) 개량제를 포함하는 도금용액에 상기 결정성장핵 패턴을 가진 기판을 침지(dipping)하여 도금시킨다. When the electroless plating method is used as the copper metal crystal growth method, the crystals are coated in a plating solution containing 1) copper salt, 2) reducing agent, 3) complexing agent, 4) pH adjusting agent, 5) pH buffer, and 6) improving agent. The substrate having the growth nucleus pattern is plated by dipping.
상기 1) 구리 염은 기판에 구리 이온을 공급해주는 역할을 하며, 상기 구리 염의 예는 구리의 염화물, 질산염, 황산염, 청산염 화합물을 포함한다. 바람직하게는 황산구리를 사용한다. 1) The copper salt serves to supply copper ions to the substrate, and examples of the copper salt include chloride, nitrate, sulfate, and cyanide compounds of copper. Preferably copper sulfate is used.
상기 2) 환원제는 기판상의 금속 이온을 환원해주는 역할을 하며, 상기 환원제의 구체적인 예는 NaBH4, KBH4, NaH2PO2, 히드라진, 포르말린 또는 포도당과 같은 다당류 화합물을 포함한다. 바람직하게는 포르말린 또는 포도당과 같은 다당류 화합물을 사용한다.2) The reducing agent serves to reduce metal ions on the substrate, specific examples of the reducing agent include a polysaccharide compound such as NaBH 4 , KBH 4 , NaH 2 PO 2 , hydrazine, formalin or glucose. Preferably a polysaccharide compound such as formalin or glucose is used.
상기 3) 착화제는 알칼리성 용액에 있어서의 수산화물 침전을 방지하고 유리된 금속이온 농도를 조절해, 금속염의 분해 방지 및 도금 속도를 조절하는 역할을 하며, 상기 착화제의 구체적인 예는 암모니아 용액, 초산, 구아닌산, 주석산염, EDTA 등의 킬레이트제, 또는 유기 아민 화합물을 포함한다. 바람직하게는 EDTA 등의 킬레이트제를 사용한다. 상기 4) pH 조절제는 도금액의 pH를 조절해 주는 역할을 하며, 산 혹은 염기 화합물이다. 5) pH 완충제는 도금액의 pH 변동을 억제해주며 각종 유기산, 약산성의 무기화합물을 포함한다. 6) 개량제 화합물은 코팅 특성 및 평탄화 특성을 개선시킬 수 있는 화합물을 말하며, 그 구체적인 예는 일반적인 계면활성제, 결정성장에 방해되는 성분을 흡착할 수 있는 흡착성 물질을 포함한다.3) The complexing agent prevents hydroxide precipitation in the alkaline solution and controls free metal ion concentration to prevent decomposition of metal salts and to control the plating rate. Specific examples of the complexing agent include ammonia solution and acetic acid. Chelating agents such as guanic acid, tartarate and EDTA, or organic amine compounds. Preferably, a chelating agent such as EDTA is used. 4) The pH adjusting agent serves to adjust the pH of the plating solution, and is an acid or a base compound. 5) pH buffering agent suppresses pH fluctuation of plating solution and contains various organic acid and weak acid inorganic compound. 6) Enhancer The compound refers to a compound capable of improving coating properties and planarization properties, and specific examples thereof include general surfactants and adsorbent materials capable of adsorbing components that interfere with crystal growth.
구리금속 결정성장 방식으로 전해도금법을 사용할 경우, 1) 구리염, 2) 착화제, 3) pH 조절제, 4) pH 완충제, 및 5) 개량제를 포함하는 도금용 조성물에 상기 패턴을 침지하여 형성한다. 도금 용액 조성물에 함유된 상기 성분들의 역할 및 구체적인 예는 전술한 바와 같다.When the electroplating method is used by the copper metal crystal growth method, the pattern is immersed in a plating composition containing 1) copper salt, 2) complexing agent, 3) pH adjusting agent, 4) pH buffer, and 5) improving agent. . The role and specific examples of the components contained in the plating solution composition are as described above.
은 금속결정성장방식으로 무전해도금방식을 사용하는 경우, 1) 은염, 2) 환 원제, 3) 착화제, 4) pH 조절제, 5) pH 완충제 및 6) 개량제를 포함하는 도금용 조성물에 상기 패턴을 침지한다. 상기 1) 은염의 구체적 예는 은의 염화물, 은의 질산염 및 은의 청산염을 포함하는데, 바람직하게는 질산은 화합물을 사용한다. 도금 용액 조성물에 함유된 기타 성분의 역할 및 구체적인 예는 전술한 바와 같다. In the case of using the electroless plating method as the silver metal crystal growth method, the composition for plating comprising 1) silver salt, 2) reducing agent, 3) complexing agent, 4) pH adjusting agent, 5) pH buffer and 6) improving agent Immerse the pattern. Specific examples of the above 1) silver salt include chlorides of silver, nitrates of silver and cyanates of silver, preferably silver nitrate compounds. The role and specific examples of other components contained in the plating solution composition are as described above.
은 금속결정 성장방식으로 전해 도금법을 사용하는 경우, 1) 은염, 2) 착화제, 3) pH 조절제, 4) pH 완충제 및 5) 개량제를 포함하는 도금용 조성물에 상기 패턴을 침지한다. 도금 용액 조성물에 함유된 상기 성분들의 역할 및 구체적인 예는 전술한 바와 같다.
When the electroplating method is used as a silver metal crystal growth method, the pattern is immersed in a plating composition comprising 1) silver salt, 2) complexing agent, 3) pH adjusting agent, 4) pH buffer and 5) improving agent. The role and specific examples of the components contained in the plating solution composition are as described above.
본 발명의 방법에 의해 제조되는 화상표시장치용 광학 필터는 금속 패턴의 선폭이 10 ㎛ 이내가 되므로 높은 해상도를 갖는다. 본 발명에 의한 광학 필터에는 가시광선에 대한 반사방지능을 갖는 반사 방지막이 설치될 수 있다. The optical filter for an image display device manufactured by the method of the present invention has a high resolution because the line width of the metal pattern is within 10 m. The optical filter according to the present invention may be provided with an antireflection film having antireflection ability against visible light.
본 발명의 광학 필터는 액정 표시 장치(LCD),플라즈마 디스플레이 패널 (PDP),전계발광 디스플레이 (ELD)와 같은 각종 화상표시장치에 사용될 수 있는데, 특히 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 및 그 전면판에 사용하는 경우에 유리한 효과를 제공할 수 있다.
The optical filter of the present invention can be used in various image display devices such as liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP), electroluminescent display (ELD), and especially for plasma display panel (PDP) and its front panel. In this case, it may provide an advantageous effect.
실시예Example
이하에서 실시예를 들어 본 발명을 더욱 상세하게 설명할 것이나, 하기 실시예들은 단지 본 발명의 바람직한 구현예의 예시를 위한 것으로, 본 발명의 보호 범 위가 하기 실시예로만 한정되는 것은 아니다.
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the following examples, but the following examples are only intended to illustrate preferred embodiments of the present invention, and the protection scope of the present invention is not limited to the following examples.
실시예 1Example 1
폴리부틸티타네이트의 이소프로판올 용액 (2.5 중량%)을 스핀 코팅에 의해 투명 유리 기판 위에 도포하고, 이를 100 ℃에서 5분간 건조시켜 무정형의 TiO2 필름을 형성하였다. 이 때 수득된 TiO2 필름 두께를 30 내지 100㎚ 정도로 조절하였다. 이어서 분자량 6,000 내지 25,000인 폴리비닐알코올 고분자의 수용액(5중량%)에 고분자 중량에 대해 1중량%의 트리에탄올아민을 광증감제로 첨가하여 교반한 후 상기의 TiO2 도막 위에 코팅하고 100 ℃에서 3분간 건조시켰다. 이후 미국 오리엘사의 UV 노광 장비를 사용하여, 미세한 메쉬 패턴이 형성되어 있는 포토 마스크를 통해 넓은 파장범위(broad range)의 자외선을 기판 상에 조사하였다. 노광 후 PdCl2 0.3g 및 HCl 1㎖를 물 1ℓ에 녹여 제조한 용액에 침지하여 노광 부위에 Pd 금속입자가 표면에 침적되도록 하여 Pd로 이루어진 결정성장핵의 네가티브 패턴을 수득하였다.An isopropanol solution (2.5 wt.%) Of polybutyl titanate was applied onto the transparent glass substrate by spin coating and dried at 100 ° C. for 5 minutes to form an amorphous TiO 2 film. The TiO 2 film thickness obtained at this time was adjusted to about 30 to 100 nm. Then a molecular weight of 6,000 to 25,000 poly aqueous solution of the vinyl alcohol polymer (5% by weight) was stirred by the addition of triethanolamine 1 wt% of zero photosensitizer for the high molecular weight and coated on the above-described TiO 2 coating film for 3 minutes in 100 ℃ Dried. Subsequently, UV rays of a wide wavelength range were irradiated onto the substrate through a photomask in which a fine mesh pattern was formed using UV exposure equipment of Oriel, USA. After exposure, 0.3 g of PdCl 2 and 1 ml of HCl were immersed in a solution prepared by dissolving in 1 L of water to allow Pd metal particles to be deposited on the surface of the exposed portion to obtain a negative pattern of crystal growth nuclei composed of Pd.
탈이온수 (초순수) 500ml에 EDA(Ethylene Diamine) 6.01g을 첨가하여 0.2 M 수용액을 제조하였다. 제조된 수용액에 시료를 넣고 약 10분간 침적한 다음 꺼내었다. 이 때 처리온도는 상온으로 하고 pH는 5.07이었다. A 0.2 M aqueous solution was prepared by adding 6.01 g of ethylene diamine (EDA) to 500 ml of deionized water (ultra pure water). The sample was added to the prepared aqueous solution, and the sample was deposited for about 10 minutes and then taken out. At this time, the treatment temperature was room temperature and the pH was 5.07.
에틸렌디아민 처리된 유리 기판을 무전해 동도금액에 담가 선택적으로 금속 패턴의 결정을 성장시켜 두께 2 ㎛, 선폭 10 ㎛의 동 메쉬 패턴을 형성시켰다. 이 때 동도금액은 황산동 3.5g, 롯셀염 8.5g, 포르말린(37%) 22ml, 티오뇨소 1g, 암모니아 40g 및 물 1l를 혼합하여 조성하였다. 동도금액의 온도를 35℃로 유지한 상태에서 5분간 무전해 도금을 실시하였다. 제작된 메쉬 패턴의 면저항은 0.01Ω/□이하이었다. 실시예 1에서 수득된 금속 패턴의 선폭 및 두께를 측정하여 그 결과를 하기 표 1에 나타내었다.
The ethylenediamine treated glass substrate was immersed in an electroless copper plating solution to selectively grow crystals of a metal pattern to form a copper mesh pattern having a thickness of 2 μm and a line width of 10 μm. At this time, the copper plating solution was prepared by mixing 3.5 g of copper sulfate, 8.5 g of lotel salt, 22 ml of formalin (37%), 1 g of thiourino, 40 g of ammonia, and 1 l of water. Electroless plating was performed for 5 minutes in the state which kept the temperature of copper plating liquid at 35 degreeC. The sheet resistance of the produced mesh pattern was 0.01 kPa / square or less. The line width and thickness of the metal pattern obtained in Example 1 were measured and the results are shown in Table 1 below.
비교예 1Comparative Example 1
도금법에 의해 금속 패턴을 형성하기 이전에 EDA 처리를 하지 않은 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하여 금속 패턴을 형성한 후 선폭 및 두께를 측정하여 그 결과를 하기 표 1에 함께 나타내었다. Except that the EDA treatment before the metal pattern was formed by the plating method was carried out in the same manner as in Example 1 to form a metal pattern and the line width and thickness were measured and the results are shown in Table 1 together.
도 2a 및 도 2b는 각각 비교예 1 및 실시예 1에 의해 형성된 금속 패턴을 전자현미경으로 촬영한 사진이다. 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, EDA 처리를 거치지 않은 비교예 1에 의해 형성된 금속 패턴 (도 2a)의 경우 선폭이 50 ㎛ 정도 되는데 반해, 본 발명의 방법에 의해 수득된 실시예 1의 금속 패턴(도 2b)은 선폭 20 ㎛ 이하로 고해상도를 제공할 수 있음을 확인할 수 있다.2A and 2B are photographs taken by electron microscope of metal patterns formed by Comparative Examples 1 and 1, respectively. As shown in FIGS. 2A and 2B, in the case of the metal pattern formed by Comparative Example 1 without undergoing EDA treatment (FIG. 2A), the line width is about 50 μm, whereas in Example 1 obtained by the method of the present invention. It can be seen that the metal pattern (FIG. 2B) can provide high resolution with a line width of 20 μm or less.
도 3은 EDA 처리 시간에 따른 선폭의 변화를 관찰한 결과이다. 도 3을 통 해서 관찰되는 바와 같이, 에틸렌디아민 화합물 처리 시간에 따른 선폭 변화는 크지 않다 (8 ㎛m →6 ㎛). EDA 처리 시간이 길어짐에 따라 그림자 부분(광조사 영역 이외의 영역에 금속이 도금되어 생기는 음영 부분)은 점차 줄어드는데 (20 ㎛→12 ㎛), EDA 처리 시간을 6분 이상 했을 경우 메쉬는 국부적으로 형성되지 않는다.
3 is a result of observing a change in line width according to the EDA treatment time. As observed through FIG. 3, the line width change with the ethylenediamine compound treatment time is not large (8 micrometers → 6 micrometers). As the EDA treatment time increases, the shadow portion (shadow portion formed by metal plating in the area other than the light irradiation area) gradually decreases (20 μm → 12 μm), and when the EDA treatment time is 6 minutes or more, the mesh is locally Not formed.
본 발명의 방법에 의하면, 고진공/고온 조건이 요구되는 스퍼터링 공정, 감광성 수지를 사용한 포토 패터닝 공정, 에칭 공정을 사용하지 않고도 빠른 시간 내에 저비용으로 효율적으로 화상표시장치용 광학필터를 수득할 수 있다. 또한 본 발명의 방법에 의해 제조되는 광학 필터는 금속 패턴의 선폭이 정확하게 제어되어 해상도가 우수한 이점을 갖는다. According to the method of the present invention, an optical filter for an image display device can be obtained efficiently and at low cost in a short time without using a sputtering step requiring a high vacuum / high temperature condition, a photo patterning step using a photosensitive resin, and an etching step. In addition, the optical filter manufactured by the method of the present invention has the advantage that the line width of the metal pattern is precisely controlled and the resolution is excellent.
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KR1020040097641A KR20060058559A (en) | 2004-11-25 | 2004-11-25 | Method for preparing high resonance optical filter for image display devices and optical filter prepared by the same |
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