KR20060057197A - 액정 표시 패널 및 그 제조방법 - Google Patents

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KR20060057197A
KR20060057197A KR1020040096282A KR20040096282A KR20060057197A KR 20060057197 A KR20060057197 A KR 20060057197A KR 1020040096282 A KR1020040096282 A KR 1020040096282A KR 20040096282 A KR20040096282 A KR 20040096282A KR 20060057197 A KR20060057197 A KR 20060057197A
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김지혜
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은, 액정 표시 패널에 관한 것으로서, 제1 기판과; 상기 제1 기판과 대향 배치된 제2 기판과; 상기 제2 기판에서 상기 제1 기판을 향해 돌출 형성된 칼럼 스페이서와; 상기 제1 기판에 형성되어 기판의 판면에 평행한 적어도 어느 일 방향으로의 상기 칼럼 스페이서의 이동을 제한하는 적어도 하나의 걸림부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 칼럼 스페이서의 이동을 제한함으로써, 양 기판의 판면에 평행한 방향으로 압력이 주어져 가해지는 충격으로 인해 칼럼 스페이서가 미끄러져 정상적인 위치에서 벗어나 제 기능을 할 수 없게 되는 것을 방지할 수 있게 된다.

Description

액정 표시 패널 및 그 제조방법{LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL AND METHOD OF MANUFACTURING FOR THE SAME}
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 패널의 요부 단면도,
도 2 내지 도 6은 도 1의 제1 기판을 제조하는 각 단계를 순서대로 나타낸 단면도,
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 패널의 요부 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10 : 박막 트랜지스터
본 발명은, 액정 표시 패널 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 액정 표시 패널을 이루는 양 기판의 간격을 유지하기 위한 칼럼 스페이서의 이동을 제한하여 칼럼 스페이서가 정상적인 위치에서 벗어나는 것을 방지한 액정 표시 패널 및 그 제조방법에 관한 것이다.
액정 표시 패널(Liquid Crystal Display Panel)은 매트릭스(Matrix)형태로 배열된 액정 셀들의 광 투과율을 화상 신호 정보에 따라 조절하여 원하는 화상을 표시하게 된다.
액정 표시 패널은 박막 트랜지스터 기판과, 박막 트랜지스터 기판에 대향되도록 상호 부착된 컬러필터 기판과, 박막 트랜지스터 기판과 컬러필터 기판 사이에 주입된 액정과, 박막 트랜지스터 기판과 컬러필터 기판 사이의 간격을 유지하는 스페이서를 포함하여 구성된다. 이러한 스페이서로는 칼럼 스페이서가 많이 사용되고 있다.
종래의 칼럼 스페이서는 통상 컬러필터 기판 상에 대략 원통, 원뿔대 또는 반구와 유사한 형상으로 형성되며, 박막 트랜지스터 기판에 형성된 박막 트랜지스터 또는 게이트 라인 등에 대응되도록 배치된다.
그러나, 양 기판의 판면에 평행한 방향으로 압력이 주어져 충격이 가해지면 종래의 칼럼 스페이서는 미끄러져 정상적인 위치에서 벗어나게 되고, 이에 양 기판의 간격을 제대로 유지할 수 없게 된다.
또한, 박막 트랜지스터에 대응되도록 배치된 경우에는 이러한 칼럼 스페이서의 미끄러짐으로 인해 두드림 광 누설의 원인이 되거나, 액정량의 수축 및 확대에 따른 콜드 버블 불량의 원인이 될 수 있는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은, 칼럼 스페이서의 이동을 제한함으로써, 양 기판의 판면에 평행한 방향으로 압력이 주어져 가해지는 충격으로 인해 칼럼 스페이서가 미끄러져 정상적인 위치에서 벗어나 제 기능을 할 수 없게 되는 것을 방지한 액정 표시 패널을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 상기한 액정 표시 패널의 제조방법을 제공하는 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 액정 표시 패널에 있어서, 제1 기판과; 상기 제1 기판과 대향 배치된 제2 기판과; 상기 제2 기판에서 상기 제1 기판을 향해 돌출 형성된 칼럼 스페이서와; 상기 제1 기판에 형성되어 기판의 판면에 평행한 적어도 어느 일 방향으로의 상기 칼럼 스페이서의 이동을 제한하는 적어도 하나의 걸림부를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널에 의해 달성된다.
여기서, 상기 제1 기판은 게이트 배선와, 상기 게이트 배선과 절연 교차하는 데이터 배선과, 상기 게이트 배선 및 상기 데이터 배선의 일부를 노출시키는 접촉구멍을 가지고 상기 데이터 배선을 덮는 보호막을 포함하며, 상기 걸림부는 상기 보호막에 형성된 것이 바람직하다.
그리고, 상기 걸림부는 상기 보호막에서 돌출 형성될 수도 있다.
여기서, 상기 걸림부는 상기 칼럼 스페이서의 둘레방향을 따라 복수의 위치에 배치된 것이 바람직하다.
또한, 상기 걸림부는 상기 칼럼 스페이서의 둘레방향을 따라 연속적으로 형성될 수도 있다.
또한, 상기 걸림부는 상기 보호막의 일부가 함몰 형성될 수도 있다.
이에, 칼럼 스페이서의 이동이 제한되어 양 기판의 판면에 평행한 방향으로 압력이 주어져 가해지는 충격으로 인해 칼럼 스페이서가 미끄러져 정상적인 위치에 서 벗어나는 것을 방지하게 된다.
또한, 상기반 본 발명의 다른 목적은, 액정 표시 패널의 제조방법에 있어서, 칼럼 스페이서가 형성된 제2 기판을 마련하는 단계와; 제1 기판 상에 게이트 라인 및 이와 연결된 게이트 전극을 포함하는 게이트 배선을 형성하는 단계와; 상기 게이트 배선을 덮는 게이트 절연막을 형성하는 단계와; 상기 게이트 절연막 위에 상기 게이트 전극과 적어도 일부가 중첩된 반도체층을 형성하는 단계와; 상기 반도체층 위에 상기 게이트 전극을 중심으로 분리되어 있는 저항성 접촉층을 형성하는 단계와; 상기 게이트 전극을 중심으로 분리되어 상기 저항성 접촉층 위에 형성된 소스 전극 및 드레인 전극과 상기 소스 전극에 연결된 데이터 라인을 포함한 데이터 배선을 형성하는 단계와; 상기 게이트 배선 및 상기 데이터 배선의 일부를 노출시키는 접촉구멍과 상기 칼럼 스페이서에 대응되는 걸림부를 갖는 보호막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조방법에 의해 달성된다.
여기서, 상기 걸림부는 기판의 판면에 평행한 적어도 어느 일 방향으로의 상기 칼럼 스페이서의 이동을 제한하는 것이 바람직하다.
이러한 액정 표시 패널의 제조방법에 의해, 칼럼 스페이서의 이동을 제한하여 양 기판의 판면에 평행한 방향으로 압력이 주어져 가해지는 충격으로 인해 칼럼 스페이서가 미끄러져 정상적인 위치에서 벗어나는 것을 방지하게 된다.
이하에서 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 패널을 첨부도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다. 첨부도면에서는, 실시예로 5매 마스크 공정으로 형성된 비정질 실리콘(a-Si) 박막 트랜지스터(TFT)가 사용된 액정 표시 패널이 개략적으로 도시되어 있다.
또한, 설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1 실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 패널은, 도 1에서 도시된 바와 같이, 스위칭 소자인 다수의 박막 트랜지스터(10)와 다수의 박막 트랜지스터(10)를 덮고 있는 보호막(170)과 보호막(170) 상에 형성된 걸림부(175)를 갖는 제1 기판(100)과, 제1 기판(100)에 대향 배치되며 제1 기판(100)과 제2 기판(200) 사이의 간격을 유지하며 걸림부(175)에 의해 기판의 판면에 평행한 적어도 어느 일 방향으로의 이동이 제한되는 칼럼 스페이서(250)를 갖는 제2 기판(200)과, 제1 기판(100) 및 제2 기판(200) 사이에 채워진 액정층(300)을 포함한다.
먼저, 제1 기판(100)에 대해 상세히 설명하면, 제1 기판(100)은 유리, 석영, 세라믹 또는 플라스틱 등의 절연성 재질을 포함하여 만들어진 제1 절연기판(110) 상에 매트릭스 형태로 형성된 복수의 게이트 라인(120) 및 복수의 데이터 라인(미도시)과, 게이트 라인 및 데이터 라인의 교차점에 형성된 스위칭 소자인 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT)(10)와, 박막 트랜지스터(10)와 연결된 화소 전극(180)을 포함한다. 이 박막 트랜지스터(10)를 통해 화소 전극(180)과 후술할 제2 기판(200)의 공통 전극(280) 사이의 액정층(300)에 신호전압이 인가되며, 액정층(300)은 이 신호전압에 따라 정렬되어 광 투과율을 정하게 된다.
박막 트랜지스터(10)는 게이트 전극(121), 게이트 절연막(130), 반도체층(140), 저항성 접촉층(151, 152), 소스 전극(161) 및 드레인 전극(162)을 포함한다. 이 게이트 전극(121)은 게이트 라인(미도시)으로부터 분기되어 형성된다.
또한, 도시되지는 않았으나, 제1 기판(100)에는 게이트 라인과 데이터 라인의 끝부분에 연결되어 구동신호를 공급하기 위해 형성된 구동 회로부가 더 형성되며, 상기한 박막 트랜지스터(10)는 구동 회로부에도 다수 형성되어 회로소자로 사용될 수도 있다.
게이트 절연막(130)은 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiOx) 등의 절연물질로 이루어지며 게이트 라인(120) 및 게이트 전극(121)이 형성된 제1 기판(100)의 전면에 적층된다. 그리고, 게이트 전극(121)이 위치한 게이트 절연막(130) 상에는 비정질 실리콘으로 이루어진 반도체층(140)과 n형 불순물이 고농도 도핑된 n+ 수소화 비정질 실리콘으로 이루어진 저항성 접촉층(151, 152)이 순차적으로 형성된다. 여기서, 저항성 접촉층(151, 152)은 게이트 전극(121)을 중심으로 양쪽으로 분리되어 있다. 또한, 전술한 실시예와 달리, 반도체층(140)은 폴리 실리콘으로 형성할 수도 있음은 물론이다.
데이터 라인(미도시)과 데이터 라인에서 분기된 소스 전극(161) 및 드레인 전극(162)은 게이트 절연막(130) 및 저항성 접촉층(151, 152) 상에 형성된다.
여기서, 게이트 라인(120), 게이트 전극(121), 데이터 라인(미도시), 소스 전극(161) 및 드레인 전극(162) 등을 포함하는 각 배선은 금속 또는 합금의 단일층으로 이루어져 있다. 그러나, 각 금속 또는 합금의 단점을 보완하고 원하는 물성 을 얻기 위하여 다중층으로 형성하는 경우가 많다. 일예를 들면, 알루미늄 또는 알루미늄 합금을 하부층으로 사용하고 크롬이나 몰리브덴을 상부층으로 사용하는 것이다. 이는 하부층에는 배선저항에 의한 신호저항을 막기 위해 비저항이 작은 알루미늄 또는 알루미늄 합금을 사용하고, 상부층에는 화학약품에 의한 내식성이 약하며 쉽게 산회되어 단선이 발생되는 알루미늄 또는 알루미늄 합금의 단점을 보완하기 위해 화학약품에 대한 내식성이 강한 크롬이나 몰리브덴을 상부층으로 형성하는 것이다. 근래에는 몰리브덴, 알루미늄, 티타늄, 텅스텐 등이 배선재료로 각광받고 있으며, 대부분 다중층으로 사용되고 있다.
박막 트랜지스터(10)가 형성된 제1 기판(100) 상에는 감광성 물질로 이루어진 보호막(170)이 적층된다. 즉, 보호막(170)은 질화규소(SiNx), PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)방법에 의하여 증착된 a-Si:C:O막 또는 a-Si:C:F막(저유전율 CVD막) 및 아크릴계 유기막 등으로 이루어진다. 보호막(170)에는 박막 트랜지스터(10)의 드레인 전극(162) 또는 경우에 따라서 소스 전극(161)의 일부분을 노출시키기 위한 접촉구멍(171)과, 후술할 제2 기판의 칼럼 스페이서(250)가 기판의 판면에 평행한 적어도 어느 일 방향으로의 이동되는 것을 제한하기 위한 걸림부(175)가 형성된다.
걸림부(175)는 보호막(170)에서 돌출 형성되어 칼럼 스페이서(250)의 이동을 제한한다. 이러한 걸림부(175)는 돌기 형상으로 돌출 형성되어 칼럼 스페이서(250)의 둘레방향을 따라 복수의 위치에 배치될 수 있으며, 칼럼 스페이서(250)의 둘레방향을 따라 연속적인 형성된 형상으로 형성될 수도 있다.
이에, 양 기판(100, 200)의 판면에 평행한 방향으로 압력이 주어져 충격이 가해질 때 칼럼 스페이서(250)가 미끄러져 정상적인 위치에서 벗어나게 되는 것을 방지하게 된다.
또한, 전술한 바람직한 실시예와 달리, 걸림부(175)가 반드시 보호막(170)과 일체로 형성되어야 하는 것은 아니며 별개로 형성될 수도 있다.
보호막(170) 및 접촉구멍(171) 상에는 화소 전극(180)이 형성된다. 화소 전극(180)은 접촉구멍(171)을 통해 드레인 전극(162)에 접속됨으로써, 박막 트랜지스터(10)와 화소 전극(180)이 전기적으로 연결된다. 화소 전극(180)은 반사형 액정 표시 패널의 경우에는 알루미늄(Al)이나 은(Ag)과 같은 고반사율을 갖는 반사 도전막으로 형성되며, 투과형 액정 표시 패널의 경우에는 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide)와 같은 투명 도전막으로 형성된다. 반사-투과형 액정 표시 패널의 경우에는 화소 전극(180)이 상기한 투명 도전막 및 반사 도전막이 적층된 구조로 형성된다.
다음, 제2 기판(200)에 대해 상세히 설명하면, 제1 기판(100)과 마찬가지로, 제2 기판(200)은 유리, 석영, 세라믹 또는 플라스틱 등의 절연성 재질을 포함하여 만들어진 제2 절연기판(210) 상에 개구영역을 가지도록 스트라이프 또는 격자형상으로 형성된 블랙 매트리스(220)와, 블랙 매트릭스(220)의 개구영역에 각각 형성된 적색, 녹색 및 청색 또는 청록색, 자홍색 및 노랑색의 3원색을 갖는 컬러필터(230)와, 블랙 매트릭스 및 컬러필터 상에 형성된 공통 전극(280)과, 전술한 제1 기판과의 간격을 유지하기 위한 칼럼 스페이서를 포함한다.
그리고, 블랙 매트릭스(220) 및 컬러필터(230)와 공통 전극(280) 사이에 형성된 오버코트층(240)을 더 포함할 수 있다.
블랙 매트릭스(220)는 적색, 녹색 및 청색(RGB)의 3원색 또는 청록색, 자홍색 및 노랑색의 3원색을 갖는 컬러필터(230)의 색 사이를 구분하여 인접한 화소 사이의 빛샘 현상을 막고, 박막 트랜지스터(10)에 빛이 입사되는 것을 막아 화질의 불량을 방지한다. 이러한 블랙 매트릭스(220)는 크롬, 크롬 옥사이드 및 크롬 나이트라이드 등의 단일 또는 이들이 조합된 다중의 금속층으로 만들어지거나, 빛을 차단하기 위해 검은색 계통의 안료가 첨가된 감광성 유기물질로 만들 수 있다. 여기서, 검은색 계통의 안료로는 카본블랙이나 티타늄 옥사이드 등을 사용할 수 있다.
컬러필터(230)는 블랙 매트릭스(220)의 개구영역에 각각 적색, 녹색 및 청색 또는 청록색, 자홍색 및 노랑색이 반복되어 형성되며, 액정층(300)을 통과한 빛에 색을 부여하는 역할을 하게 된다. 이러한 컬러필터(230)는 착색 감광성 유기물질을 이용하여 만들어진다.
오버코트층(240)은 컬러필터(230)를 보호하고 제2 기판(210)을 평탄화하며, 주로 아크릴계 에폭시재료를 사용하여 만들어지게 된다.
칼럼 스페이서(250)는 아크릴 등 열경화성수지에 광반응개시제와 기타 부가용제를 함께 용해하여 만들어진 감광성 유기막을 제2 절연기판(210) 상에 도포한 다음 포토공정을 통해 패터닝하여 양 기판(100, 200)의 간격을 유지하도록 형성된다. 또한, 칼럼 스페이서(250)는 통상 제1 기판(100)의 박막 트랜지스터(10), 게 이트 라인(120), 데이터 라인(미도시) 또는 게이트 라인과 데이터 라인의 교차점에 대응되도록 형성된다.
공통 전극(280)은 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide) 등의 투명한 도전성 물질로 이루어진다. 이러한 공통 전극(280)은 제1 기판(100)의 화소 전극(180)과 함께 액정층(300)에 직접 신호전압을 인가하게 된다.
이와 같이 완성된 제1 기판(100)과 제2 기판(200)을 대향 배치하여 정렬한 다음 실런트(미도시)를 사용하여 상호 접합하게 되며, 양 기판(100, 200) 사이에는 액정 적하 방법 또는 진공 주입 방법을 사용하여 액정층(300)이 채워진다.
다음, 본 발명의 일실시예에 따라, 도 1에서 도시된 구조를 갖는 액정 표시 패널의 제조방법에 대해 설명하면, 제2 기판(200)은 공지의 방법으로 제조되며, 본 발명에 따라, 제1 기판(100)의 제조방법을 보다 자세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 유리 또는 세라믹 등과 같은 절연물질로 이루어진 제1 절연기판(110) 상에 알루미늄(Al), 크롬(Cr) 또는 몰리브덴 텅스텐(MoW) 등의 금속으로 게이트 금속층을 증착한 후, 패터닝하여 게이트 라인(120) 및 게이트 라인(120)으로부터 분기되는 게이트 전극(121)을 형성한다. 이어서, 게이트 전극(121)을 포함하는 제1 기판(100)의 전면에 실리콘 질화물을 플라즈마 화학 기상 증착(PECVD) 방법으로 증착하여 게이트 절연막(130)을 형성한다.
다음, 도 3에서 도시된 바와 같이, 게이트 절연막(130) 상에 비정질 실리콘막 및 도핑된 비정질 실리콘막을 플라즈마 화학 기상 증착 방법으로 순차적으로 증착한 후, 상기한 막들을 패터닝하여 게이트 전극(121) 윗부분의 게이트 절연막(130) 상에 반도체층(140) 및 저항성 접촉층(151, 152)을 형성한다.
다음, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 결과물의 전면에 크롬(Cr) 등과 같은 데이터 금속층을 증착한 후 패터닝하여 게이트 라인(120)에 교차되는 데이터 라인(미도시)와, 데이터 라인으로부터 분기되는 소스 전극(161) 및 드레인 전극(162)을 포함하는 박막 트랜지스터(10)가 완성된다. 이때, 게이트 라인(120) 및 데이터 라인(미도시) 사이에는 게이트 절연막(130)이 개재되어 게이트 라인(120)이 데이터 라인(미도시)에 접촉되는 것을 방지한다.
이어서, 도 5에 도시된 바와 같이, 박막 트랜지스터(10)가 형성된 제1 기판(100)의 전면에 보호막(170)을 형성한다. 이 보호막(170)은 질화규소(SiNx), PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)방법에 의하여 증착된 a-Si:C:O막 또는 a-Si:C:F막(저유전율 CVD막) 및 감광성 화합물을 포함하는 아크릴계 유기막 등으로 형성된다.
다음, 도 6에서 도시된 바와 같이, 마스크를 이용한 노광 및 현상공정을 통해 보호막(170)에 드레인 전극(162)을 부분적으로 노출시키는 접촉구멍(171)과, 기판의 판면에 평행한 적어도 어느 일 방향으로의 칼럼 스페이서(250)의 이동을 제한하기 위한 걸림부(175)를 형성한다.
여기서, 걸림부(175)는 칼럼 스페이서(250)가 기판의 판면에 평행한 적어도 어느 일 방향으로의 이동되는 것을 제한하게 된다. 그리고, 걸림부(175)는 돌기 형상으로 돌출 형성되어 칼럼 스페이서(250)의 둘레방향을 따라 복수의 위치에 형 성되거나, 칼럼 스페이서(250)의 둘레방향을 따라 연속적인 형성된 형상으로 형성될 수 있다.
또한, 전술한 바람직한 실시예와 달리, 걸림부(175)가 반드시 보호막(170)과 일체로 형성되어야 하는 것은 아니며 별개로 형성될 수도 있다.
보호막(170) 및 접촉구멍(171) 위에 투명 도전막 또는 반사 도전막을 적층한 후 소정의 화소형상으로 패터닝하여 화소 전극(180)을 형성한다. 그리고, 화소전극(180) 위에는 배향홈을 갖는 배향막(미도시)을 형성한다.
이렇게 마련된 제1 기판(100)과 제2 기판(200)을 대향 배치하여 정렬한 다음 실런트(미도시)를 사용하여 상호 접합하고, 양 기판(100, 200) 사이에는 액정 적하 방법 또는 진공 주입 방법을 사용하여 액정층(300)이 채움으로써 액정 표시 패널을 완성한다.
이러한 구성에 의하여, 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 패널 및 그 제조방법에 따른 작용 및 효과를 살펴보면, 액정 표시 패널을 이루는 양 기판(100, 200)의 판면에 평행한 방향으로 압력이 주어져 충격이 가해지는 경우 칼럼 스페이서(250)가 미끄러져 정상적인 위치에서 벗어나는 것을 방지하게 된다.
특히, 칼럼 스페이서(250)가 박막 트랜지스터(10)에 대응되도록 배치된 경우에는 칼럼 스페이서(250)가 미끄러짐으로써, 두드림 광 누설의 원인이 되거나 액정량의 수축 확대에 따른 콜드 버블 불량의 원인이 되는 것을 방지하게 된다.
본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 패널은, 도 7에도 도시된 바와 같이, 제1 기판(100)에 형성된 걸림부(250)가, 전술한 제1 실시예와 달리, 보호막(170)의 일부가 함몰되어 형성된 것을 특징으로 한다. 즉, 보호막(170)이 함몰되어 형성된 걸림부(175)에 칼럼 스페이서(250)의 단부가 수용됨으로써 칼럼 스페이서(250)가 기판의 판면에 평행한 적어도 어느 일 방향으로 이동되는 것이 제한된다.
본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 패널의 걸림부(175)의 제조방법은, 제1 실시예와 마찬가지로, 보호막(170)을 도포하고 마스크를 이용한 노광 및 현상공정을 통해 보호막(170)에 드레인 전극(162)을 부분적으로 노출시키는 접촉구멍(171)을 형성하면서 함께 보호막(170)의 일부를 함몰 시켜 걸림부(175)를 형성하게 된다.
이러한 구성에 의해서, 본 발명의 제2 실시예에 따른 경우에도, 액정 표시 패널을 이루는 양 기판(100, 200)의 판면에 평행한 방향으로 압력이 주어져 충격이 가해지는 경우 칼럼 스페이서(250)가 미끄러져 정상적인 위치에서 벗어나는 것을 방지할 수 있게 된다.
한편, 제2 실시예에 따를 경우 제1 실시예보다 간단하게 제조할 수 있는 장점이 있는 반면, 전체적인 보호막(170)의 두께를 좀 더 두텁게 형성하여야 할 것이다.
또한, 본 발명은 전술한 실시예에 한정되지 않으며, 칼럼 스페이서(250)에 의해 양 기판(100, 200)의 간격이 유지되는 것이라면, 어떠한 종류의 액정 표시 패널에도 모두 적용될 수 있음은 물론이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 칼럼 스페이서의 이동을 제한함으로써, 양 기판의 판면에 평행한 방향으로 압력이 주어져 가해지는 충격으로 인해 칼럼 스페이서가 미끄러져 정상적인 위치에서 벗어나 제 기능을 할 수 없게 되는 것을 방지할 수 있게 된다.

Claims (8)

  1. 제1 기판과;
    상기 제1 기판과 대향 배치된 제2 기판과;
    상기 제2 기판에서 상기 제1 기판을 향해 돌출 형성된 칼럼 스페이서와;
    상기 제1 기판에 형성되어 기판의 판면에 평행한 적어도 어느 일 방향으로의 상기 칼럼 스페이서의 이동을 제한하는 적어도 하나의 걸림부를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 기판은 게이트 배선와, 상기 게이트 배선과 절연 교차하는 데이터 배선과, 상기 게이트 배선 및 상기 데이터 배선의 일부를 노출시키는 접촉구멍을 가지고 상기 데이터 배선을 덮는 보호막을 포함하며,
    상기 걸림부는 상기 보호막에 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 걸림부는 상기 보호막에서 돌출 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 걸림부는 상기 칼럼 스페이서의 둘레방향을 따라 복수의 위치에 배치된 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 걸림부는 상기 칼럼 스페이서의 둘레방향을 따라 연속적으로 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 걸림부는 상기 보호막의 일부가 함몰 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
  7. 칼럼 스페이서가 형성된 제2 기판을 마련하는 단계와;
    제1 기판 상에 게이트 라인 및 이와 연결된 게이트 전극을 포함하는 게이트 배선을 형성하는 단계와;
    상기 게이트 배선을 덮는 게이트 절연막을 형성하는 단계와;
    상기 게이트 절연막 위에 상기 게이트 전극과 적어도 일부가 중첩된 반도체층을 형성하는 단계와;
    상기 반도체층 위에 상기 게이트 전극을 중심으로 분리되어 있는 저항성 접촉층을 형성하는 단계와;
    상기 게이트 전극을 중심으로 분리되어 상기 저항성 접촉층 위에 형성된 소 스 전극 및 드레인 전극과 상기 소스 전극에 연결된 데이터 라인을 포함한 데이터 배선을 형성하는 단계와;
    상기 게이트 배선 및 상기 데이터 배선의 일부를 노출시키는 접촉구멍과 상기 칼럼 스페이서에 대응되는 걸림부를 갖는 보호막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 걸림부는 기판의 판면에 평행한 적어도 어느 일 방향으로의 상기 칼럼 스페이서의 이동을 제한하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조방법.
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