KR20060051812A - 런 렝스 압축 데이터의 위치 특정 방법 및 장치 - Google Patents

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후지 샤신 필름 가부시기가이샤
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Abstract

본 발명은 런 렝스 압축 데이터상에서 압축 전의 원 데이터에 있어서의 데이터 배열상의 소망 위치에 대응하는 위치를 고속으로 특정하는 것을 가능하게 하는 것을 과제로 하며, 이를 위해 복수의 값이 배열되어서 이루어지는 원 데이터(P)에 있어서 데이터 배열상의 소정의 위치를 각각 나타내는 각 인덱스가 원 데이터(P)의 런 렝스 압축(RL압축)데이터(P′)에 있어서 각각 어느 위치에 대응할지를 나타내는 인덱스 대응 정보(W)를 작성하고, 원 데이터(P)의 데이터 배열상의 소망 위치를 특정하는 해당 소망 위치 근방의 인덱스 IS와 IS로부터의 차이량 RS를 구하고, 인덱스 대응 정보(W)에 의거하여 RL압축 데이터(P′)에 있어서의 인덱스 IS의 대응 인덱스 IS′을 요구하고, IS′와 차이량 RS에 의해 RL압축 데이터(P′)에 있어서의 소망 위치에 대응하는 위치를 특정한다.
런 렝스 압축 데이터

Description

런 렝스 압축 데이터의 위치 특정 방법 및 장치{POSITION IDENTIFICATION METHOD OF RUN LENGTH COMPRESSION DATA AND DEVICE THEREOF}
도 1은 화상 데이터 판독 장치(100)의 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는 화상 데이터 판독 장치(100)의 동작의 흐름을 나타낸 플로우챠트이다.
도 3은 디지털 화상(P)의 하나의 예를 나타내는 도면이다.
도 4는 런 렝스 압축 데이터(P′)의 하나의 예(1)을 나타내는 도면이다.
도 5는 인덱스 대응 정보(W)의 하나의 예(1)을 나타내는 도면이다.
도 6은 런 렝스 압축 데이터(P′)의 하나의 예(2)를 나타내는 도면이다.
도 7은 인덱스 대응 정보(W)의 하나의 예(2)를 나타내는 도면이다.
도 8은 검출 위치 정보, 묘화 궤적 정보 및 묘화점 데이터 궤적 정보의 상호 관계를 나타내는 도면이다.
도 9는 묘화점 데이터 궤적을 나타내는 선 L2에 의해 각 라인마다 묘화점군이 클리핑되는 모양을 나타내는 도면이다.
도 10은 개변된 인덱스 대응 정보를 나타내는 도면이다.
도 11은 어떤 구간의 데이터를 복사하기 위한 클리핑 위치를 특정하는 모양을 나타내는 개념도이다.
도 12는 데이터의 길이를 보정하는 개소를 특정하는 모양을 나타내는 개념도이다.
도 13은 런 렝스 압축 데이터측에 인덱스를 세운 실시예를 설명하기 위한 도면이다.
도 14는 본 발명에 의한 노광 장치의 일례를 나타내는 도면이다.
본 발명은 런 렝스(run length) 압축 데이터의 위치 특정 방법 및 장치에 관한 것이고, 특히, 압축 전의 원 데이터에 있어서의 데이터 배열상의 소망 위치에 대응하는 런 렝스 압축 후의 데이터에 있어서의 위치를 특정하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다.
최근, 컴퓨터의 처리 능력의 향상에 따라 대용량의 데이터가 빈번하게 취급되게 되었지만 이러한 대용량의 데이터를 그대로 취급하고자 하면 데이터 처리량이 증대하고, 또한, 대량인 메모리를 점유하기 때문에 비효율적이고 비경제적이다. 따라서, 데이터가 가지는 정보를 될 수 있는 한 손상되지 않도록 데이터 사이즈를 작게 하는 소위 데이터 압축이 행해지고 있다.
데이터 압축의 방법은 지금까지 여러가지가 제안되어 있지만 그 하나로서 런 렝스 압축 방법이 있다. 이 압축 방법은 데이터 상에 같은 값이 연속해서 출현하는 경우에 그 값이 연속한다고 하는 장황성을 이용하여 같은 값이 연속하는 길이를 부 호화(coding)하는 방법이며, 런 렝스 압축 데이터는 그 길이를 나타내는 렝스 데이터(length data)의 모임으로서 구성된다. 예컨대, 백색과 흑색의 화소만으로 구성되는 2진 화상을 백색 화소가 연속하는 길이와 흑색 화소가 연속하는 길이로 나타낼 수 있다(예컨대, 특허문헌 1 등).
그런데, 데이터의 취급상, 원 데이터(오리지널 데이터)상의 소망 위치에 배치된 값을 판독하거나 가공하거나 하는 것이 행하여지지만, 이 경우, 당연하지만 원 데이터에 있어서의 그 소망 위치를 특정할 필요가 있다. 압축되어 있지 않은 원 데이터에 있어서는 통상, 각 값에 어드레스가 할당되어 있으므로 그 어드레스에 의거해서 비교적 단순하게 상기의 소망 위치를 특정할 수 있다. 한편, 런 렝스 압축된 런 렝스 압축 데이터에 있어서는 각 값이 각 어드레스에 할당되어 있지 않기 때문에 런 렝스 압축 데이터상에서 상기의 소망 위치에 대응하는 위치를 특정하기 위해서는, 그 소망 위치가 원 데이터상에서 선두로부터 몇번째의 위치인지를 구한 후(예컨대, N번째의 위치라고 한다), 런 렝스 압축 데이터상에서 이 런 렝스 압축 데이터를 구성하는 각 렝스 데이터에 포함되는 값의 길이(값의 개수)를 선두로부터 순차 가산해서 구한 값과 먼저 구한 「N」의 대소비교로부터 그 소망 위치를 찾게 된다.
[특허문헌 1] : 일본 특허 공개 2001-102937호 공보
그러나, 상기의 렝스 데이터에 포함되는 값의 길이를 선두로부터 순차 가산해 가는 방법에서는 연산 처리량이 방대해질 염려가 있다.
본 발명은, 상기 사정에 비추어, 런 렝스 압축 데이터에 있어서의 압축 전의 원 데이터상의 위치에 대응하는 위치를 고속으로 특정하는 것이 가능한 런 렝스 압축 데이터의 위치 특정 방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 제 1 데이터 처리 방법은,
원 데이터에 부여된 복수의 인덱스에 대응하는 압축 데이터상의 위치를 포함하는 인덱스 대응 정보로서, 상기 압축 데이터가 상기 원 데이터의 적어도 일부를 런 렝스 압축해서 얻어진 것을 준비하고,
상기 인덱스 대응 정보에 의거하여 상기 원 데이터상의 소망 위치에 대응하는 상기 압축 데이터상의 위치를 특정하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 2 데이터 처리 방법은,
원 데이터 및 이 원 데이터의 적어도 일부를 런 렝스 압축해서 얻어진 압축 데이터의 한쪽 상에서 이산적으로 규정된 복수의 인덱스 각각에 대응하는, 상기 원 데이터 및 상기 압축 데이터의 다른 쪽 상의 위치 정보에 의거하고 상기 원 데이터상의 특정한 위치에 대응하는 상기 압축 데이터상의 위치를 특정하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 화상 데이터 판독 장치(100)의 개략구성을 나타내는 도면이다.
이 화상 데이터 판독 장치(100)는 복수의 값이 배열되어서 이루어지는 원 데 이터(P)를 런 렝스 압축(이하 RL압축이라 한다)해서 얻어진 RL압축 데이터(P′)와, 원 데이터(P)에 있어서 데이터 배열상의 소정의 위치를 각각 나타내는 각 인덱스가 RL압축 데이터(P′)에 있어서 각각 어느 위치에 대응할지를 나타내는 인덱스 대응 정보(W)를 기억하는 기억 수단(10)과, 원 데이터(P)의 데이터 배열상의 소망 위치를 특정하는 해당 소망 위치 근방의 인덱스와 해당 인덱스로부터의 차이량을 나타내는 소망 위치 정보(T)를 취득하는 소망 위치 정보 취득 수단(20)과, 인덱스 대응 정보(W)에 의거하여 원 데이터(P)상의 소망 위치 근방의 인덱스에 대응하는 런 렝스 압축 데이터(P′)상의 위치를 구함과 아울러 해당 위치와 상기 차이량에 의해 런 렝스 압축 데이터(P′)에 있어서의 상기 소망 위치에 대응하는 위치를 특정하는 위치 특정 수단(30)과, 런 렝스 압축 데이터(P′)에 있어서 특정된 소망 위치에 대응하는 위치로부터 값을 판독하여 출력하는 데이터 판독 수단(40)을 구비하고 있다.
원 데이터(P)는 복수의 화소로 이루어지는 디지털 화상(P)을 나타내는 화상 데이터로서, 화상(P)에 있어서의 좌표(x,y)의 화소의 농도(백/흑)을 나타내는 데이터 값 dy(x), x=0,1,2,…, y=1,2,3,…이 배열되어 이루어지는 2진화 데이터이다.
또한, 화상 데이터(P)를 RL압축해서 얻을 수 있는 RL압축 데이터(P′)는 화상(P)에 있어서의 화소행(수평 라인) y에 대해서 동종의 값이 연속하는 길이를 나타내는 렝스 데이터 rle_dy[pointer], pointer=0,1,2,…가 배열되어서 이루어지는 것이다. 여기서 pointer는 화소행 y에 대한 렝스 데이터 중 선두로부터 몇번째의 데이터인지를 나타내는 파라미터이다. 또한, 화상 데이터의 RL압축 데이터는 렝스 데이터에 그 색을 나타내는 컬러 코드를 부가할 경우가 있지만 생략도 가능하다.
원 데이터(P)에 있어서 마커(marker)가 되는 인덱스는 화상(P)에 있어서의 각 화소행에 대응하는 원 데이터마다 데이터 배열상의 일정한 간격으로 규정되는 것이며, 여기에서는, 선두 화소의 위치를 포함하고, 거기에서 화소 간격 H로 규정되는 각 위치를 나타내는 것이다.
인덱스 대응 정보(W)는 화상(P)에 있어서의 화소행 y에 대응한 원 데이터상의 각 인덱스가 RL압축 데이터(P′)상의 어느 위치에 있는지를 특정하는 위치 데이터 index_dy[index_pointer], (index_pointer=0,1,2,…; 그 화소행 y에 있어서 선두로부터 몇번째의 인덱스인지를 나타내는 파라미터)가 배열되어 이루어지는 데이터이며, 이 위치 데이터 index_dy[index_pointer]는 RL압축 데이터(P′)를 구성하는 복수의 렝스 데이터 중 각 인덱스가 나타내는 위치가 포함되는 렝스 데이터를 특정하는 렝스 데이터 특정 정보로서의 포인터 rle_pointer, (rle_pointer=0,1,2,…; 인덱스가 나타내는 위치가 포함되는 렝스 데이터가 그 화소행의 선두로부터 몇번째의 렝스 데이터인지를 나타내는 파라미터)와, 그 포인터에 의해 특정되는 렝스 데이터에 포함되는 각 값, 즉, 그 렝스 데이터를 원 데이터에 전개했을 때에 나타나는 연속하는 각 값에 대응하는 위치 중에서 인덱스에 대응하는 위치를 상대적으로 특정하는 인덱스 상대 위치 특정 정보로서의 오프셋 rle_offset, (rle_offset=0,1,2,…;인덱스가 나타내는 위치가 rle_pointer에 의해 특정된 렝스 데이터에 포함되는 각 값 중에서 선두로부터 몇번째의 값에 대응하는 위치인지를 나타내는 파라미터)을 갖는 데이터(rle_pointer, rle_offset)로 나타내어진다.
소망 위치 정보 취득 수단(20)은 소망 위치 정보(T)로서 화상(P)에 있어서의 소망 화소의 좌표(xs, ys)를 취득하고, 원 데이터(P)에 있어서의 이 화소의 값dys(xs)의 위치를 특정하는 해당 위치에서 대하여 내륜(內輪)에서 가장 가까운 인덱스 IS와 해당 인덱스 IS로부터의 차이량 RS를 구하는 것이다. IS는 화소행 ys와 해당 화소행의 몇번째 인덱스인지를 나타내는 파라미터 index_pointer_s, (index_pointer_s =0,1,2,…), RS는 인덱스 IS를 기준으로 몇번째의 값의 위치인지를 나타내는 파라미터 rlt_s, (rlt_s =0,1,2,…)로 나타낼 수 있고, index_pointer_s, rlt_s는 각각 식(1), (2)에 따라 산출될 수 있다.
index_pointer_s = INT(xs/H)(1)
rlt_s = xs-H×index_pointer_s (2)
여기에서, INT는 소수점 이하를 잘라 버리는 함수이며, H는 인덱스가 규정되는 데이터 배열상의 일정 화소 간격이다.
위치 특정 수단(30)은 인덱스 대응 정보(W)를 기억 수단(10)으로부터 판독하고, 이 인덱스 대응 정보(W)에 의거하여 구해진 인덱스 IS에 대응하는 RL압축 데이터(P′)상의 대응 인덱스 IS′를 구하고, 이 대응 인덱스 IS′와 상기 차이량 RS로부터 런 렝스 압축 데이터(P′)에 있어서의 소망 화소에 대응하는 위치(IS′+RS)를 특정한다. 이하, 그 구체적인 방법을 설명한다.
(1) 인덱스 IS를 특정하는 파라미터로부터 대응 인덱스 IS′를 특정하는 파라미터를 구한다.
화소행 ys와 index_pointer_s에 의해 인덱스 대응 정보(W)의 위치 데이터 index_dys[index_pointer_s]를 참조하고, 이 위치 데이터가 나타내는 파라미터(rle_pointer_s, rle_offset_s)를 얻는다.
(2) 대응 인덱스 IS′+ 차이량 RS에 의해 소망 위치에 대응하는 위치를 구한다.
(2-1)n = 0 ; 파라미터n의 초기 설정
(2-2)rlt_s < Σ(i = 0→n) rle_dys[rle_pointer_s +i]-rle_offset_s (3)
를 만족시키는지 판정
;소망 위치에 대응하는 위치가 대응 인덱스 IS′을 포함하는 렝스 데이터를 기준으로 n번째의 렝스 데이터에 포함되는지의 여부 판정
(2-3) (2-2)에서 Yes일 때 : 소망 위치에 대응하는 위치=rle_dys[rle_pointer_s+n]에 포함되는 각 값에 대응하는 위치 중 선두로부터 (rle_offset_s+rlt_s)-(Σ(i=0→n)rle_dys[rle_pointer_s+i]-rle_dys[rle_pointer_s+n])개분 쉬프트한 위치
(2-2)에서 No일 때 : n = n+1로서, (2-2)의 처리로
데이터 판독 수단(40)은 위치 특정 수단(30)으로 특정된, RL압축 데이터(P′)상의 상기 소망 위치에 대응하는 위치에 배치된 값을 기억 수단(10)에 기억되어 있는 RL압축 데이터(P′)로 판독하여 출력한다.
이어서, 화상 데이터 판독 장치(100)에 있어서의 동작의 흐름에 대해서 구체적인 예를 나타내어 설명한다. 도 2는 그 동작의 흐름을 개략적으로 나타낸 플로우 챠트이다.
본 실시예에 있어서, 화상(P)은 도 3에 도시하는 바와 같은 횡 20 × 종 8의 화소로 이루어지는 디지털 화상으로 한다. 화상(P)에 있어서의 좌표는 최좌상측을 원점(0,1)으로하여 화살표 X방향(우측 방향)에 횡축 x, 화살표 Y방향(하측 방향)에 종축 y를 취한다. 원 데이터(P)는 이러한 화상(P)에 있어서의 각 화소의 농도를 각 화소의 좌표에 대하여 그 농도에 따라서 다른 2값(예컨대 0과 1) 중 어느 하나를 할당한 것이며, 또한, RL압축 데이터(P′)는 이러한 원 데이터(P)를 화상(P)에 있어서의 각 화소행에 대응하는 데이터마다 RL압축해서 얻을 수 있는 것이다. 도 4는 이렇게하여 얻어진 RL압축 데이터(P′)를 나타내는 것이다.
또한, 인덱스는 화상(P)에 있어서의 각 화소행에 대해서 선두를 포함하여 화소간격 H = 5로 규정되어 있다. 도 5는 이렇게 규정된 각 인덱스가 나타내는 위치가 RL압축 데이터(P′)상의 어디에 있을지를 각각 특정하는 복수의 위치 데이터로 이루어지는 인덱스 대응 정보(인덱스 데이터) W를 나타낸 것이다.
우선, 소망 위치 정보 취득 수단(20)이 조작자로부터의 입력이나 다른 장치로부터의 입력을 받고, 소망 위치 정보(T)로서 화상(P)에 있어서의 소망의 판독 화소의 좌표(xs, ys)를 취득하여(#1), 이 좌표에 대응하는 원 데이터(P)상의 위치를 특정하는 내륜에서 가장 가까운 인덱스 IS와 해당 인덱스로부터의 차이량 RS를 구한다(#2). 여기에서는, 구체적인 예로서 소망의 판독 화소의 좌표를 (13,3)으로 한다. 따라서, 먼저 정의한 인덱스의 화소간격 H = 5와 함께 xs=13, ys=3이 되고, 상기 식 (1), (2)에 의해 인덱스 IS와 차이량 RS를 정하는 각 파라미터는
index_pointer_s = INT(xs/H)=INT(13/5)=2
rlt_s = xs-H × index_pointer_s=13-5 × 2 = 3
이 된다.
소망 위치 정보 취득 수단(20)에 의해 인덱스 IS와 차이량 RS가 특정되면, 위치 특정 수단(30)이 인덱스 대응 정보(W)를 기억 수단(10)으로부터 판독하고, 이 인덱스 대응 정보(W)에 의거하여 인덱스 IS를 특정하는 파라미터로부터 대응 인덱스 IS′을 특정하는 파라미터를 구한다(#3). 여기에서, 화소행 ys=3, index_pointer_s=2로부터, 인덱스 대응 정보(W)의 참조하는 위치 데이터는
index_dys[index_pointer_s] = index_d3[2]= (2,1)
이 되고, 대응 인덱스 IS′를 특정하는 파라미터 rle_pointer_s=2, rle_offset_s=1을 얻게 된다.
그리고, 대응 인덱스 IS′+ 차이량 RS에 의해 소망 위치에 대응하는 위치를 구한다(#4). 여기에서, rlt_s=3, rle_pointer_s=2, rle_offset_s=1로부터 상기 (2-1)∼(2-3)의 처리를 행하면,
n = 0일 때,
rlt_s < Σ (i=0 → n) rle_dys[rle_pointer_s +i]-rle_offset_s
rlt_s < rle_d3[2] -rle_offset_s
3 <4-1=3
이 되고, 식을 충족시키지 않는다. 그래서, n = n+1로서 다시 판정한다.
n = 1일 때,
rlt_s < Σ (i=0 → n)rle_dys[rle_pointer_s +i]-rle_offset_s
rlt_s < rle_d3[2] +rle_d3[3]-rle_offset_s
3 <4+1-1=4
이 되고, 식을 충족시킨다. 따라서, 소망 위치에 대응하는 위치는 렝스 데이터 rle_d3[3]에 포함되는 것을 알 수 있고, rle_pointer_s=2, rle_offset_s=1, rlt_s=3, ys=3, n=1로부터
(rle_offset_s+rlt_s)
- (Σ(i=0→n)rle_dys[rle_pointer_s+i]-rle_dys[rle_pointer_s+n])
= (rle_offset_s+rlt_s)- (rle_d3[2]+rle_d3[3]-rle_d3[3])
= (1+3)- (4+1-1)
= 0
이므로, 소망 위치에 대응하는 위치는 렝스 데이터rle_dys[rle_pointer_s+n], 즉, rle_d3[3]에 포함되는 각 값에 대응하는 위치 중 선두로부터 0개분 시프트된 위치라는 것을 알 수 있다.
소망의 위치에 대응하는 위치를 특정할 수 있으면, 데이터 판독 수단(40)이 기억 수단(10)로부터 RL압축 데이터(P′)상의 그 위치에 있는 값을 판독하여 출력한다(#5).
이렇게, 본 실시형태의 화상 데이터 판독 장치에 의하면 원 데이터(P)에 있어서 데이터 배열상의 소정의 위치를 각각 나타내는 각 인덱스가 원 데이터(P)를 RL압축해서 얻어지는 RL압축 데이터(P′)에 있어서 각각 어느 위치에 대응하는지를 나타내는 인덱스 대응 정보(W)를 미리 작성해 두고, 이 인덱스 대응 정보(W)에 의 해 원 데이터(P)상의 위치와 RL압축 데이터(P′)상의 위치를 인덱스로부터의 상대적인 위치로서 대응시킴으로써 원 데이터(P)상의 소망 위치에 대응하는 RL압축 데이터(P′)상의 위치를 특정하므로, RL압축 데이터(P′)상의 위치를 렝스 데이터가 나타내는 값의 개수를 선두로부터 순차적으로 가산해서 각 값의 순번을 구하지 않더라도 그 위치 근방의 인덱스를 기준으로 한 상대적인 위치로서 파악할 수 있고, RL압축 데이터(P)에 있어서의 압축 전의 원 데이터(P)상의 소망 위치에 대응하는 위치를 고속으로 특정하는 것이 가능해진다.
또한, 본 실시예에 있어서는 소망 위치를 1개만 지정하여 RL압축 데이터상의 그 대응 위치에 있어서의 값을 1개만 판독해서 출력했지만, 물론, 소망 위치를 복수 지정하여 RL압축 데이터상의 그 대응 위치에서 특정되는 구간의 모든 값을 판판독서 출력하도록 해도 좋다.
또한, RL압축 데이터(P′)는 각 인덱스가 표시하는 위치와, 해당 RL압축 데이터(P′)를 구성하는 어느 렝스 데이터에 포함되는 각 값 중 선두 또는 최후미의 어느 소정 측의 값에 대응하는 위치가 일치하도록 구성된 것이며, 인덱스 대응 정보(W)는 인덱스가 표시하는 위치가 포함되는 렝스 데이터를 특정하는 렝스 데이터 특정 정보로서의 포인터 rle_pointer_s를 포함하는 것으로 할 수도 있다. 즉, 원 데이터(P)에 있어서 비록 동종의 값이 연속하고 있어도, 인덱스의 위치에서 강제적으로 구획되도록 구성함으로써 인덱스의 위치는 항상 어느 하나의 렝스 데이터의 선두 또는 최후미에 위치하는 것이 되고, 렝스 데이터를 특정하는 포인터의 정보만으로 RL압축 데이터(P′)상의 대응 인덱스 위치를 특정할 수 있다. 예컨대, 상기 실시예와 마찬가지로 원 데이터(P)가 도 3에 도시된 화상의 화상 데이터로서, 인덱스가 5화소 간격으로 규정될 경우에는 RL압축 데이터(P′) 및 인덱스 대응 정보(W)는 각각 도 6, 7에 도시된 바와 같은 데이터가 된다. 이렇게 하면, 데이터의 압축율은 저하되지만, 인덱스 대응 정보(W)를 구성하는 위치 데이터가 포인터 rle_pointer_s만으로 충분하다고 하는 이점이 있다. 또한 이 경우에 있어서, RL압축 데이터(P′)상의 위치를 특정하기에는 본 실시예에 있어서 오프셋 rle_offset_s=0으로 생각하면 좋다.
또한, 런 렝스 압축 데이터에 있어서 렝스 데이터를 인덱스의 위치에서 강제적으로 구획할 경우와 그렇지 않을 경우는 상술 한 바와 같이 일장일단이 있기 때문에 소망하는 효과를 얻기 위해 이 두가지 방법을 용도에 따라 바꾸어서 사용하도록 해도 좋다.
본 실시예에서는, 설명을 쉽게 하기 위해 원 데이터(P)가 나타내는 화상(P)의 사이즈는 대단히 작고, 인덱스의 간격도 좁게 하고 있지만, 실제로는 대단히 큰 사이즈의 화상과 간격이 넓은 인덱스를 상정할 수 있고, 데이터의 사이즈가 커질수록 렝스 데이터에 포함되는 값의 수를 선두로부터 합산해 가는 연산 처리는 방대해서 시간이 걸리기 때문에 본 발명의 효과도 커지는 것으로 생각된다.
특히, 큰 사이즈의 데이터를 다루는 묘화 장치(잉크젯 방식 등의 각종 프린터, 공간 광 변조 소자를 이용한 면 노광 방식 등의 각종 디지털 노광기, 레이저 주사 방식의 각종 묘화 장치 등)에 본 실시예를 적용하면 더 효과적이다.
본 실시예에서는, 원 데이터(P)를 화상 데이터로 하고 있지만, 본 발명의 런 렝스 압축 데이터의 위치 특정 방법은 화상 데이터 이외의 데이터에도 적용 가능한 것은 말할 필요도 없다. 또한, 위치 특정 후는 그 위치에 있는 값을 판독할 뿐만 아니라 그 위치의 값을 변경하거나, 그 위치에 다른 값을 삽입하거나, 그 위치의 값을 삭제하는 등, 다양한 처리가 가능한 것도 말할 필요도 없다.
또한, 원 데이터상의 두 점에 대응하는 런 렝스 압축 데이터상의 두 개의 위치를 특정하고, 그 사이의 데이터를 클리핑할 때에 클리핑 위치의 렝스 데이터의 값을 적절하게 변경함으로써 압축 상태를 유지한 채 클리핑할 수 있다.
여기서, 상기 런 렝스 압축 데이터의 위치 특정 방법을 노광 장치에 있어서의 묘화점 데이터의 취득 방법에 적용한 실시예에 대해서 설명한다.
종래, 디지털 마이크로미러 디바이스(digital micromirror device)(이하, DMD라 함) 등의 공간 광 변조 소자를 이용하고, 화상 데이터에 응해서 공간 광 변조 소자에 의해 광 빔을 변조해서 노광을 행하는 노광 장치가 제안되어 있다. 이러한 DMD를 이용한 노광 장치로서는, 예컨대, DMD를 노광면에 대하여 소정의 주사 방향으로 상대적으로 이동시킴과 아울러, 그 주사 방향으로의 이동에 따라서 DMD의 메모리 셀에 다수의 마이크로 미러에 대응한 다수의 묘화점 데이터로 이루어지는 프레임 데이터를 입력하고, DMD의 마이크로 미러에 대응한 묘화점군을 시계열로 순차 형성함으로써 소망 화상을 노광면에 형성하는 것이 있다.
이 노광 장치를 이용하여 예컨대, 기판을 노광해서 그 기판상에 배선 패턴을 묘화하는 바와 같은 경우에는 기판에 미리 실시되는 열처리 등에 의해 기판이 왜곡되거나, 기판을 이동시키는 이동 기구의 제어 정밀도에 따라서 기판의 이동 방향에 차이가 생기거나 할 경우가 있어, 이러한 경우에는, 배선 패턴을 기판의 왜곡쪽과 같은 왜곡쪽으로 묘화하는 것이나, 기판의 이동 방향의 차이에 따르는 배선 패턴의 묘화의 차이를 캔슬(cancel)하는 것 등이 기대될 경우가 있다.
따라서, 묘화점 데이터에 의거해서 묘화점을 형성하는 묘화점 형성 영역을 기판에 대하여 상대적으로 이동시킴과 아울러 그 이동에 따라서 묘화점을 기판상에 순차 형성해서 기판상에 화상을 묘화할 때 이용되는 묘화점 데이터를 취득하는 묘화점 데이터 취득 방법에 있어서 화상 묘화시의 기판상에 있어서의 묘화점 형성 영역의 묘화 궤적 정보를 취득하고, 혹은, 기판상의 화상 공간에 있어서의 묘화점 형성 영역의 묘화 궤적 정보를 취득하고, 그 취득된 묘화 궤적 정보에 의거해서 화상을 나타내는 화상 데이터상에 있어서의 묘화점 형성 영역의 묘화점 데이터 궤적 정보를 취득하고, 그 취득된 묘화점 데이터 궤적 정보에 의거해서 묘화점 데이터 궤적에 대응한 복수의 묘화점 데이터를 화상 데이터로 취득하는 방법이 본 출원인에 의해 제안되어 있다(일본 특허출원 2005-103787 참조).
본 실시예는 상기 런 렝스 압축 데이터의 위치 특정 방법을 이 묘화점 데이터 취득 방법에 적용한 것이다.
상기 묘화 궤적 정보는, 예컨대, 왜곡이 발생하기 전의 기판상에 미리 마련되어진 복수의 기준 마크를 카메라 등으로 촬상해서 검출함으로써 그 각 기준 마크의 위치를 나타내는 검출 위치 정보를 취득하고, 그 취득한 검출 위치 정보에 의거해서 취득하거나, 미리 설정된 기판의 소정 상대 이동 방향에 대한 화상 묘화시의 기판의 실 상대 이동 방향의 차이 정보를 취득하고, 그 취득한 차이 정보에 의거해 서 취득하거나 할 수 있다.
본 실시예에서는 DMD를 갗춘 노광 장치를 이용해서 기판에 배선 패턴 등의 화상을 묘화하는 경우에 있어서, 기판의 왜곡쪽과 같은 왜곡쪽에 화상을 묘화하는 경우에 대해서 설명한다.
도 8은 기판상으로 수평방향 및 수직방향에 소정의 간격으로 미리 마련되어진 복수의 기준 마크의 위치를 카메라 등으로 검출하고, 그 검출된 기준 마크의 위치를 격자점으로 하여 이 격자점을 직선으로 이어서 얻어진 격자선 C1(검출 위치 정보)과, 그 기준 마크가 본래 있어야 할 위치(왜곡 전의 위치)를 격자점으로 하여 이 격자점을 이어서 얻어진 격자선 C2와, DMD를 구성하는 복수의 마이크로 미러 중 한 개가 이동하는 궤적을 나타내는 선(묘화 궤적 정보) L1과, 격자선 C1에 대한 선 L1의 상대 위치를 격자선 C2상에 변환해서 얻어진 선, 즉, 선 L1이 격자선 C1상의 소정의 두 개의 격자점간의 선분을 분단할 때의 분단비 a1 : b1와 동일한 비 a2 : b2 (= a1 : b1)로 이 선분에 대응하는 격자선 C2상의 선분을 분단하는 점을 이어서 얻어진 선(묘화점 데이타 궤적 정보) L2의 관계를 나타낸 도면이다.
도 8로부터 이해되는 바와 같이, 배선 패턴 등을 나타내는 화상이 기판의 왜곡쪽과 같은 왜곡쪽에서 기판상에 묘화되기 위해서는 상기 마이크로 미러에 대응한 묘화점군을 화상을 나타내는 화상 데이터상의 묘화점 형성 영역에 있어서 선 L2에 따라 시계열적으로 순차 형성함으로써 화상을 노광면에 형성하는 것이 필요하다.
즉, 여기서는, 상기 런 렝스 압축 데이터의 위치 특정 방법에 있어서, 원 데이터를 화상을 구성하는 행렬 형상으로 늘어선 복수의 화소 각각에 대응하는 화소 값으로 구성되는 화상 데이터로 해서, 런 렝스 압축 데이터를 상기 화상에 있어서의 화소의 화소값을 화소행마다 런 렝스 압축한 데이터로 해서, 상기 소망 위치를 상기 화상에 있어서 인접하는 복수의 화소행 각각에 있어서 클리핑된 화소군에 대응하는 렝스 데이터를 접속해서 상기 화상에 있어서의 화소행과 비평행한 직선에 걸쳐 존재하는 화소군에 대응하는 렝스 데이터 군을 취득할 경우에 있어서의, 상기 클리핑된 화소군의 각 클리핑 위치에 대응하는 상기 런 렝스 압축 데이터상의 위치로 하고 있다.
도 9는 묘화 대상이 되는 화상을 도 3에 나타내는 화상으로 했을 경우에 있어서, 그 화상 데이터상에 있어서의 묘화 형성 영역의 묘화점 데이터 궤적을 나타내는 선 L2을 나타낸 도면이다. 한편, 이 화상 데이터는 도 4에 도시된 바와 같이, 런 렝스 압축 데이터로서 부여되어 있는 것으로 한다.
기판상의 소망 위치에서 노광하기 위한 마이크로 미러에 대응한 묘화점군을 얻기에는 화상 데이터상에 있어서의 묘화 형성 영역에 있어서 선 L2와 겹치는 위치에 존재하는 묘화점군을 각 라인마다 클리핑하고, 그것을 그 클리핑된 순번으로 접속해서 취득할 필요가 있다. 이것을 위해, 각 라인의 클리핑 위치를 특정할 필요가 있지만 클리핑 위치를 특정하기 위해서 라인의 선두로부터 각 렝스 데이터가 나타내는 묘화점 데이터수를 가산해 가면 처리에 시간이 걸리므로 일정한 화소수 간격(여기서는, 5화소 간격)으로 인덱스를 준비하고, 상기 방법에 따라 인덱스 위치의 근방에서 그 클리핑 위치를 탐색하여 특정한다.
도 10은 이렇게 하여 준비된 인덱스 데이터를 나타내고 있다. 이 인덱스 데 이터를 구성하는 각 데이터는 클리핑된 런 렝스 압축 데이터를 접속할 때에 편리하도록, 인덱스의 위치를 나타내는 정보 이외에 인덱스가 포함되는 런 렝스 데이터에 있어서 그 인덱스에 대응하는 묘화점 데이터 이후의 나머지 묘화점 데이터수를 정보로서 가지고 있다. 즉, 인덱스가 포함되는 렝스 데이터의 그 라인에 있어서의 선두로부터의 순위(0부터 센다)를 z1, 그 인덱스에 대응하는 묘화점 데이터의 그 렝스 데이터내에 있어서의 선두로부터의 순위(0부터 센다)를 z2, 그 인덱스가 포함되는 렝스 데이터에 있어서의 그 인덱스에 대응하는 묘화점 데이터 이후의 나머지의 묘화점 데이터수(화소수)를 z3으로하여 (z1, z2, z3)으로 나타내어져 있다.
그런데, 도 8에 도시된 바와 같이, 기판이 격자선 C1로 표현되는 바와 같은 왜곡을 갖는 경우, 실제의 묘화 궤적에 상당하는 미러의 이동 궤적을 나타내는 선 L1의 길이와, 왜곡이 없는 이상적인 기판상에서의 묘화 궤적에 상당하는 묘화점 데이터 궤적을 나타내는 선 L2의 길이를 서로 대응하는 동일구간에 있어서 비교해 보면, 선 L1쪽이 선 L2보다 길어져 있는 것을 알 수 있다. 따라서, 이에 따라, 묘화점 데이터의 길이도 늘리지 않으면 안될 경우가 있다. 예컨대, 선 L1의 길이(실기판상의 길이)와 선 L2의 길이(이상 기판상의 길이)를 비교한 결과 선 L1의 길이쪽이 선 L2의 길이보다 1픽셀 분 긴 것이 밝혀지고, 묘화점 데이터의 길이에 1픽셀 분의 데이터를 추가할 필요가 있을 경우에는, 추가하고 싶은 위치(예컨대, 정중앙) 전후의 데이터와 같은 값의 데이터를 1개 추가할 필요가 있다. 따라서, 상기 각기 클리핑 위치가 특정되면, 이어서, 필요에 따라 선 L2의 각 라인마다 그 라인에 대응하는 묘화점 데이터의 픽셀의 과부족을 조정하기 위해서 그 과부족수에 따라서 각 라인을 등분하고, 그 위치를 인덱스를 사용하여 산출해 내고, 그 위치의 데이터가 속하는 렝스 데이터의 값을 증감시킨다.
이와 같이 하여, 마이크로 미러에 대응하는 묘화점군을 나타내는 묘화점 데이터를 런 렝스 압축 데이터에서 취득한다. 구체적으로는 아래와 같이 묘화점 데이터를 취득한다.
선 L2에 의해 클리핑된 각 라인의 데이터는 도 9의 화상 데이터로부터 d2(0∼7)+d3(8∼17)+d4(18∼19)이다. d2(0)는 도 10의 index_d2[0]의 인덱스 데이터(0,0,20)로부터 rle_d2[0]의 값 20의 1화소째, d2(7)은 index_d2[1]의 인덱스 데이터(0,5,15)로부터 rle_d2[0]의 값 20의 8화소째가 되고, 이 두 점은 동일 데이터 구간에 있는 것을 알 수 있다. 따라서, 런 렝스 압축 데이터로서의 최초의 출력 데이터는 「8」(0~7)이 된다.
그런데, d3(8)에 대해서는 index_d3[1]의 인덱스 데이터(0,5,2)가 나타내는 나머지 화소수(=2)가 이 인덱스로부터 다음 클리핑 위치까지의 묘화점수(=8-5=3)를 초월하지 않기 위해서 rle_d3[1]을 조절하고, 그 값(=2)을 나머지 화소수(=2)에 가산한다. 그러면 2+2=4>3이 되고, 다음 클리핑 위치까지의 묘화점수를 초월했기 때문에 다음 클리핑 위치는 rle_d3[1]의 2화소째인 것을 알 수 있다. 마찬가지로 d3(17)은 rle_d3[4]의 값(=6)의 4화소째라고 판명되며, 런 렝스 압축 데이터로서의 다음 출력 데이터는 「1,4,1,4」가 된다.
d4(18∼19)는 양단 모두 index_d4[3]의 (6,1,5)에 포함되고, 그 묘화점수는 나머지화소수(=5)를 초월하지 않으므로, 런 렝스 압축 데이터로서의 다음 출력 데 이터는 「2」(18∼19)가 된다.
따라서, 묘화점 데이터는 상기의 출력 데이터를 모두 접속하여 「8,1,4,1,4,2」가 된다. 또한, 최후방의 데이터 「4,2」는 같은 흰색을 나타내는 데이터므로 1개로 합쳐서 「6」이라고 해도 좋다.
그리고, 상기한 바와 같은 묘화점 데이터에 있어서의 과부족이 있을 경우에는, 적당한 렝스 데이터의 값을 증감시켜서 그 과부족을 해소하도록 한다.
이와 같이, DMD를 이용한 노광 장치에 관하여 기판상의 소망 위치에서 노광하기 위한 마이크로 미러에 대응한 묘화점 데이터를 얻기 위해서 화상 데이터상에 있어서의 묘화 형성 영역에 있어서 묘화점 데이터 궤적을 나타내는 선과 겹치는 위치에 존재하는 묘화점군에 상당하는 데이터를 각 라인마다 클리핑하고, 그것을 접속해서 묘화점 데이터를 취득하는 바와 같은 경우로서, 그 화상 데이터가 런 렝스 압축되어 있을 경우에 있어서 그 클리핑 위치를 특정할 때에 상기 런 렝스 압축 데이터의 위치 특정 방법을 이용하면 그 클리핑 위치를 고속으로 특정할 수 있고, 나아가서는, 묘화점 데이터를 고속으로 취득할 수 있고, 고속 노광을 가능하게 한다.
또한, 본 발명의 런 렝스 압축 데이터의 위치 특정 방법은 상기 실시예 이외에도 물론 이용할 수 있다. 예컨대, 동 노광 장치에 있어서, 도 11에 도시된 바와 같이, 어떤 구간의 화상 데이터를 복사하기 위해서 그 데이터의 클리핑 위치를 특정하는 방법으로서 사용할 수 있다. 또한, 동 노광 장치에 있어서, 도 12에 도시된 바와 같이, 빔 궤적과 데이터의 클리핑 라인이 비평행하기 때문에 묘화점 데이터의 길이와 이것에 대응하는 화상 데이터의 길이가 다른 경우에 묘화점 데이터의 길이 를 보정하기 위해 묘화점 데이터의 일부로서 한 개의 라인상에서 클리핑되는 화상 데이터의 길이를 보정하기 위해서 그 데이터의 클리핑 위치를 특정하는 방법으로서도 이용할 수 있다.
또한, 왜곡 등이 생긴 실기판상에서의 묘화 궤적의 길이에 맞추어 묘화점 데이터의 수를 보정하기 위해 화상 데이터로부터 묘화점 데이터를 취득할 때 데이터수의 과부족 조정을 하는 위치를 특정하는 방법으로서 이용하거나, 화상 데이터상에서 복수행에 걸쳐 묘화점 데이터를 취득할 때에 행이 바뀌는 위치를 특정하는 방법으로서 이용할 수 있다.
또한, 본 실시예에서는 런 렝스 압축 데이터는 인덱스의 위치와는 구획되어 구성되어 있지만, 기타, 런 렝스 압축 데이터를 인덱스의 위치에서 강제적으로 구획되도록 구성해도 마찬가지로 해서 묘화점 데이터를 구할 수 있다.
또한, 인덱스는 원 데이터측 뿐만 아니라 런 렝스 압축 데이터측에 세우는 것도 고려된다. 예컨대, 도 13에 도시된 바와 같이, 인덱스를 런 렝스 압축 데이터를 구성하는 복수의 렝스 데이터 중에서 소정수 간격으로 나타나는 렝스 데이터에 대하여 인덱스를 세우고, 인덱스 대응 정보를 인덱스 위치에 있어서의 렝스 데이터의 선두로부터의 위치와, 인덱스 위치에 대응하는 원 데이터상의 위치를 포함하는 정보로 한다. 이러한 실시예에 있어서, 원 데이터상의 소망 위치에 대응하는 런 렝스 압축 데이터상의 위치를 특정하기 위해서는 다음과 같은 방법을 이용하면 좋다. 예컨대, 도 13을 예로서 생각한 경우, 원 데이터상에서 주목하는 위치 「39」 (선두로부터 40번째의 데이터의 위치)가 런 렝스 압축 데이터상에서 어느 위치에 대응 할지를 구할 경우, 우선, 인덱스가 나타내는 원 데이터상의 위치를 나타내는 값과 「39」를 선두의 인덱스로부터 순차적으로 대소 비교한다. 그러면, 위치 「39」는 index(2)와 index(3)의 사이에 있는 것을 알 수 있다(30 <39 <43). 이어서, 위치 「39」는 idnex(2)가 나타내는 원 데이터상의 위치 「30」에 그 이후의 렝스 데이터 값을 가산하고, 「39」와 순차적으로 대소 비교한다. 그러면, 「39」는 No.7 의 렝스 데이터의 값 “2”의 2화소째인 것을 알 수 있다[(30+8) <39 <(30+8+2)].
또한, 런 렝스 압축 데이터를 구성하는 렝스 데이터의 표시 방법으로서는 각 렝스 데이터를 예컨대 8비트의 데이터로 하고, 그 선두 비트에 그 렝스 데이터가 예컨대 백/흑 중 어느 것을 나타내는 데이터인지를 나타내는 컬러 비트를 형성하는 방법이나, 렝스 데이터는 통상 백과 흑을 교대로 나타낸다고 하는 규칙성을 이용하고 그 규칙성이 바뀔 때에 렝스 데이터로서 「0」데이터를 삽입하는 방법 등이 있지만, 어느 쪽의 표시 방법이어도 클리핑 위치에 있어서의 렝스 데이터가 나타내는 백/흑의 구별을 정확하게 파악하고, 상기의 묘화점 데이터를 정확하게 취득할 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는 원 데이터의 적어도 일부가 런 렝스 압축된 PackBits나 SRLE(Switched Run Length Encoding) 등의 압축 방식을 채용할 수도 있다. 이 경우, 불연속 데이터의 군을 1개의 렝스 데이터로 간주해서 인덱스를 부여하도록 해도 좋다.
도 14는 본 발명에 의한 노광 장치의 일례를 나타낸다. 노광 장치(110)에는 기판(112)을 표면에 흡착해서 유지하는 평판상의 이동 스테이지(114)와, 이동 스테 이지(114)를 향해서 배치된 스캐너(124) 및 카메라(126)가 구비되어 있다. 그리고, 노광 장치(110)는 카메라(126)를 이용해서 얼라인먼트 마크(alignment mark)(112a)를 검출함으로써 기판(112)의 얼라인먼트를 행하고, 그 후, 스캐너(124)를 이용해서 기판(112)에 화상을 노광 묘화한다. 스캐너(124)는 복수의 노광 헤드를 갗추고 있어 각 노광 헤드의 내부에 공간 광 변조 소자(SLM)인 디지털 마이크로 미러 디바이스(DMD)가 설치되어 있다.
본 발명의 데이터 처리 방법에 의하면 압축 데이터에 있어서의 압축 전의 원 데이터상의 소망 위치에 대응하는 위치를 고속으로 특정하는 것이 가능해진다.

Claims (49)

  1. 원 데이터에 부여된 복수의 인덱스에 대응하는 압축 데이터상의 위치를 포함하는 인덱스 대응 정보로서, 상기 압축 데이터가 상기 원 데이터의 적어도 일부를 런 렝스 압축해서 얻어진 것을 준비하는 공정; 및
    상기 인덱스 대응 정보에 의거하여 상기 원 데이터상의 소망 위치에 대응하는 상기 압축 데이터상의 위치를 특정하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 인덱스 대응 정보를 준비하는 공정은 그것을 작성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 압축 데이터상의 위치를 특정하는 공정은,
    상기 원 데이터상의 소망 위치 근방의 특정한 인덱스를 특정하는 공정,
    상기 인덱스 대응 정보에 의거하여 상기 특정의 인덱스에 대응하는 상기 압축 데이터상의 특정한 위치를 구하는 공정,
    상기 원 데이터상의 소망 위치의 상기 특정의 인덱스로부터의 차이량을 구하는 공정, 및
    상기 압축 데이터상의 특정한 위치와 상기 차이량에 의거하여 상기 원 데이터상의 소망 위치에 대응하는 상기 압축 데이터상의 위치를 구하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 인덱스 대응 정보는,
    상기 압축 데이터에 포함되는 복수의 렝스 데이터 중 상기 인덱스에 대응하는 렝스 데이터의 정보; 및
    상기 인덱스에 대응하는 렝스 데이터 중에서의 상기 인덱스에 대응하는 위치의 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 압축 데이터에 포함되는 복수의 렝스 데이터 중 상기 인덱스에 대응하는 렝스 데이터에 있어서, 그 선두 또는 최후미 중 어느 하나는 상기 인덱스에 대응하고,
    상기 인덱스 대응 정보는 상기 복수의 렝스 데이터 중 상기 인덱스에 대응하는 렝스 데이터의 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 복수의 인덱스는 상기 원 데이터 상에 일정한 간격으로 부여되어 있는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  7. 제 2 항에 있어서,
    상기 원 데이터상의 소망 위치 근방의 상기 특정의 인덱스는 상기 복수의 인덱스 중 상기 원 데이터상의 소망 위치의 가장 가까운 것인 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 원 데이터는 2진화 데이터인 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 인덱스는 상기 원 데이터 상에 일정한 간격으로 부여되어 있는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 압축 데이터상의 위치를 특정하는 공정은 2개의 다른 상기 원 데이터상의 소망 위치에 대응하는 클리핑 위치를 각각 특정하는 공정을 포함하고,
    상기 데이터 처리 방법은 상기 압축 데이터로부터 상기 클리핑 위치간의 데이터를 클리핑하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 데이터를 클리핑하는 공정에서는 상기 압축 데이터의 적어도 일부를 압축 상태 그대로 클리핑하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 원 데이터는 화상을 구성하는 행렬상으로 늘어선 복수 화소의 각각에 대응하는 화소값으로 이루어지는 화상 데이터이며,
    상기 압축 데이터는 상기 화상에 있어서의 상기 화소의 화소값을 화소행마다 런 렝스 압축한 데이터이며,
    상기 소망 위치는 상기 화상에 있어서 인접하는 복수의 화소행의 각각에 있어서 클리핑된 화소군에 대응하는 렝스 데이터를 접속해서 상기 화상에 있어서의 상기 화소행과 비평행한 직선에 걸쳐 존재하는 화소군에 대응하는 렝스 데이터군을 취득할 경우에 있어서의 상기 클리핑된 화소군의 각 클리핑 위치에 대응하는 상기 압축 데이터상의 위치인 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  13. 원 데이터에 부여된 복수의 인덱스에 대응하는 압축 데이터상의 위치를 포함하는 인덱스 대응 정보로서, 상기 압축 데이터가 상기 원 데이터의 적어도 일부를 런 렝스 압축해서 얻어지는 것을 기억하는 기억 수단; 및
    상기 인덱스 대응 정보에 의거하여 상기 원 데이터상의 소망 위치에 대응하는 상기 압축 데이터상의 위치를 특정하는 위치 특정 수단을 포함하는 것을 특징으 로 하는 데이터 처리 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 위치 특정 수단은
    상기 원 데이터상의 소망 위치 근방의 특정한 인덱스를 특정하는 수단;
    상기 인덱스 대응 정보에 의거하여 상기의 특정 인덱스에 대응하는 상기 압축 데이터상의 특정한 위치를 구하는 수단;
    상기 원 데이터상의 소망 위치의 상기 특정 인덱스로부터의 차이량을 구하는 수단; 및
    상기 압축 데이터상의 특정 위치와 상기 차이량에 의거하여 상기 원 데이터상의 소망 위치에 대응하는 상기 압축 데이터상의 위치를 구하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 인덱스 대응 정보는,
    상기 압축 데이터에 포함되는 복수의 렝스 데이터 중 상기 인덱스에 대응하는 렝스 데이터의 정보; 및
    상기 인덱스에 대응하는 렝스 데이터중에서의 상기 인덱스에 대응하는 위치의 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  16. 제 13 항에 있어서,
    상기 압축 데이터에 포함되는 복수의 렝스 데이터 중 상기 인덱스에 대응하는 렝스 데이터에 있어서 그 선두 또는 최후미 중 어느 하나는 상기 인덱스에 대응하고,
    상기 인덱스 대응 정보는 상기 복수의 렝스 데이터 중 상기 인덱스에 대응하는 렝스 데이터의 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 복수의 인덱스는 상기 원 데이터 상에 일정한 간격으로 부여되는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  18. 제 14 항에 있어서,
    상기 원 데이터상의 소망 위치 근방의 상기 특정 인덱스는 상기 복수의 인덱스중의 상기 원 데이터상의 소망 위치에 가장 가까운 것인 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  19. 제 13 항에 있어서,
    상기 원 데이터는 2진화 데이터인 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  20. 제 13 항에 있어서,
    상기 복수의 인덱스는 상기 원 데이터 상에 일정한 간격으로 부여되어 있는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  21. 제 13 항에 있어서,
    상기 위치 특정 수단은 2개의 다른 상기 원 데이터상의 소망 위치에 대응하고 클리핑 위치를 각각 특정하는 수단을 포함하고,
    상기 데이터 처리 장치는 상기 압축 데이터로부터 상기 클리핑 위치간의 데이터를 클리핑하는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 데이터를 클리핑하는 수단은 상기 압축 데이터의 적어도 일부를 압축 상태 그대로 클리핑하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  23. 제 13 항에 있어서,
    상기 원 데이터는 화상을 구성하는 행렬상으로 늘어선 복수 화소의 각각에 대응하는 화소값으로 이루어지는 화상 데이터이며,
    상기 압축 데이터는 상기 화상에 있어서의 상기 화소의 화소값을 화소행마다 런 렝스 압축한 데이터이며,
    상기 소망 위치는 상기 화상에 있어서 인접하는 복수의 화소행의 각각에 있어서 클리핑된 화소군에 대응하는 렝스 데이터를 접속해서 상기 화상에 있어서의 상기 화소행과 비평행한 직선에 걸쳐 존재하는 화소군에 대응하는 렝스 데이터군을 취득할 경우에 있어서의 상기 클리핑된 화소군의 각 클리핑 위치에 대응하는 상기 압축 데이터상의 위치인 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  24. 원 데이터의 적어도 일부를 런 렝스 압축해서 얻어진 압축 데이터; 및
    상기 원 데이터 및 상기 압축 데이터의 한쪽 상에서 이산적으로 규정된 복수의 인덱스 각각에 대응하는 상기 원 데이터 및 상기 압축 데이터의 다른 쪽 상의 위치 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 구조.
  25. 제 24 항에 있어서,
    상기 원 데이터는 2진화 데이터인 것을 특징으로 하는 데이터 구조.
  26. 제 24 항에 있어서,
    상기 복수의 인덱스는 상기 원 데이터 및 상기 압축 데이터의 한쪽 상에서 일정한 간격으로 부여되어 있는 것을 특징으로 하는 데이터 구조.
  27. 제 24 항에 기재된 데이터 구조를 갖는 컴퓨터 판독 가능 기록 매체.
  28. 제 27 항에 있어서,
    상기 원 데이터는 2진화 데이터인 것을 특징으로 하는 컴퓨터 판독 가능 기 록 매체.
  29. 제 27 항에 있어서,
    상기 복수의 인덱스는 상기 원 데이터 및 상기 압축 데이터의 한쪽 상에서 일정한 간격으로 부여되어 있는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 판독 가능 기록 매체.
  30. 원 데이터의 적어도 일부를 런 렝스 압축해서 얻어진 압축 데이터와, 상기 원 데이터와 상기 압축 데이터의 한쪽 상에서 이산적으로 규정된 복수의 인덱스 각각에 대응하는 상기 원 데이터 및 상기 압축 데이터의 다른 쪽 상의 위치 정보를 격납하는 기록 매체; 및
    상기 기록 매체 중의 상기 위치 정보에 의거하여 상기 원 데이터상의 특정 위치에 대응하는 상기 압축 데이터상의 위치를 특정하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  31. 제 30 항에 있어서,
    상기 위치를 특정하는 수단은 상기 원 데이터상의 특정 위치에 의거하여 상기 복수의 인덱스를 검색하는 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  32. 제 30 항에 있어서,
    상기 위치를 특정하는 수단은 2개의 다른 상기 원 데이터상의 특정 위치에 대응하는 상기 압축 데이터상의 클리핑 범위를 특정하는 수단을 갖고,
    상기 데이터 처리 장치는 상기 압축 데이터로부터 상기 클리핑 범위의 데이터를 클리핑하는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  33. 제 32 항에 있어서,
    상기 클리핑 범위의 데이터를 클리핑하는 수단은 상기 압축 데이터의 적어도 일부를 압축 상태 그대로 클리핑하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  34. 제 32 항에 있어서,
    상기 원 데이터는 화상 데이터이며,
    상기 데이터 처리 장치는 클리핑된 상기 클리핑 범위의 데이터를 화상묘화 유닛에 송신하는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  35. 원 데이터 및 이 원 데이터의 적어도 일부를 런 렝스 압축해서 얻어진 압축 데이터의 한쪽 상에서 이산적으로 규정된 복수의 인덱스 각각에 대응하는 상기 원 데이터 및 상기 압축 데이터의 다른 쪽 상의 위치 정보에 의거하여 상기 원 데이터상의 특정 위치에 대응하는 상기 압축 데이터상의 위치를 특정하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  36. 제 35 항에 있어서,
    상기 위치를 특정하는 공정은 상기 원 데이터상의 특정 위치에 의거하여 상기 복수의 인덱스를 검색하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  37. 제 35 항에 있어서,
    상기 위치를 특정하는 공정은 2개의 다른 상기 원 데이터상의 특정 위치에 대응하는 상기 압축 데이터상의 클리핑 범위를 특정하는 공정을 포함하고,
    상기 데이터 처리 방법은 상기 압축 데이터로 상기 클리핑 범위의 데이터를 클리핑하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  38. 제 37 항에 있어서,
    상기 클리핑 범위의 데이터를 클리핑하는 공정에서는 상기 압축 데이터의 적어도 일부를 압축 상태 그대로 클리핑하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  39. 제 37 항에 있어서,
    상기 원 데이터는 화상 데이터이며,
    상기 데이터 처리 방법은 클리핑된 상기 클리핑 범위의 데이터를 화상 묘화 유닛에 송신하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  40. 원 데이터 및 이 원 데이터의 적어도 일부를 런 렝스 압축해서 얻어진 압축 데이터의 한쪽 상에서 복수의 인덱스를 이산적으로 규정하는 공정; 및
    상기 복수의 인덱스 각각에 대응하는 상기 원 데이터 및 상기 압축 데이터의 다른 쪽 상의 위치를 정하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 형성 방법.
  41. 제 40 항에 있어서,
    상기 인덱스를 이산적으로 규정하는 공정에서는 상기 복수의 인덱스를 상기 원 데이터 및 상기 압축 데이터의 한쪽 상에서 일정한 간격으로 부여하는 것을 특징으로 하는 데이터 형성 방법.
  42. 제 40 항에 있어서,
    상기 압축 데이터를 형성하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 형성 방법.
  43. 원 데이터 및 이 원 데이터의 적어도 일부를 런 렝스 압축해서 얻어진 압축 데이터의 한쪽 상에서 복수의 인덱스를 이산적으로 규정하는 수단; 및
    상기 복수의 인덱스 각각에 대응하는 상기 원 데이터 및 상기 압축 데이터의 다른 쪽 상의 위치를 정하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 형성 장치.
  44. 제 43 항에 있어서,
    상기 인덱스를 이산적으로 규정하는 수단은 상기 복수의 인덱스를 상기 원 데이터 및 상기 압축 데이터의 한쪽 상에서 일정한 간격으로 부여하는 것을 특징으로 하는 데이터 형성 장치.
  45. 제 44 항에 있어서,
    상기 압축 데이터를 형성하는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 형성 장치.
  46. 원 데이터의 적어도 일부를 런 렝스 압축해서 얻어진 압축 데이터와, 상기 원 데이터와 상기 압축 데이터의 한쪽 상에서 이산적으로 규정된 복수의 인덱스 각각에 대응하는 상기 원 데이터 및 상기 압축 데이터의 다른 쪽 상의 위치 정보를 격납하는 기록 매체;
    상기 기록 매체중의 상기 위치 정보에 의거하여 상기 원 데이터상의 특정 범위에 대응하는 상기 압축 데이터상의 클리핑 범위의 데이터를 클리핑하는 수단; 및
    클리핑한 상기 클리핑 범위의 데이터에 의거하여 화상을 묘화하는 묘화 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 묘화 장치.
  47. 제 46 항에 있어서,
    상기 클리핑 범위의 데이터를 클리핑하는 수단은 상기 압축 데이터의 적어도 일부를 압축 상태 그대로 클리핑하고,
    상기 묘화 수단은 클리핑한 상기 클리핑 범위의 데이터를 해동(解凍)하는 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 묘화 장치.
  48. 원 데이터 및 이 원 데이터의 적어도 일부를 런 렝스 압축해서 얻어진 압축 데이터의 한쪽 상에서 이산적으로 규정된 복수의 인덱스 각각에 대응하는 상기 원 데이터 및 상기 압축 데이터의 다른 쪽 상의 위치 정보에 의거하여 상기 원 데이터상의 특정 범위에 대응하는 상기 압축 데이터상의 클리핑 범위를 특정하는 공정;
    상기 압축 데이터로부터 상기 클리핑 범위의 데이터를 클리핑하는 공정; 및
    클리핑한 상기 클리핑 범위의 데이터에 의거하여 화상을 묘화하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 묘화 방법.
  49. 제 48 항에 있어서,
    상기 클리핑 범위의 데이터를 클리핑하는 공정에서는 상기 압축 데이터의 적어도 일부를 압축 상태 그대로 클리핑하고,
    상기 묘화하는 공정은 클리핑한 상기 클리핑 범위의 데이터를 해동하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 묘화 방법.
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