KR20060042617A - Air leakage detecter - Google Patents

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KR20060042617A
KR20060042617A KR1020040091347A KR20040091347A KR20060042617A KR 20060042617 A KR20060042617 A KR 20060042617A KR 1020040091347 A KR1020040091347 A KR 1020040091347A KR 20040091347 A KR20040091347 A KR 20040091347A KR 20060042617 A KR20060042617 A KR 20060042617A
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Abstract

본 발명은 진공챔버(1)에 피검사용기(2)를 넣고 진공발생기(3)로부터 진공을 챔버밸브(V1)를 열고 제공한 후 진공챔버(1)내의 진공 상태의 변화로 피검사용기의 밀폐성을 검사하는 장치에 있어서,According to the present invention, after the container 2 to be inspected is placed in the vacuum chamber 1 and the vacuum is supplied from the vacuum generator 3 by opening the chamber valve V1, the sealability of the container to be inspected is changed by changing the vacuum state in the vacuum chamber 1. In the device for inspecting,

진공발생기(3)와 진공챔버(1) 사이에 설치하고 진공센서(11)를 내장하며 예비 진공챔버인 센서챔버(10); 및 A sensor chamber (10) installed between the vacuum generator (3) and the vacuum chamber (1) and having a built-in vacuum sensor (11) and a preliminary vacuum chamber; And

센서챔버(10) 입구(13)에는 검사시 챔버밸브(V1)와 역으로 작동하도록 설치한 센서밸브(V2)를 포함하여 구성하고;The sensor chamber 10 inlet 13 includes a sensor valve V2 installed to operate in reverse with the chamber valve V1 at the time of inspection;

피검사용기를 수용한 상압의 진공챔버(1)에서 챔버밸브(V1)를 열 때 진공상태의 센서챔버(V1)의 진공도가 희석되는 정도를 진공센서(11)로 확인하여 피검사용기의 리크 정도를 인식가능토록 하는 용기의 리크 검사장치이다.When the chamber valve V1 is opened in the vacuum chamber 1 of the normal pressure accommodating the container to be inspected, the degree of dilution of the degree of vacuum of the sensor chamber V1 in the vacuum state is confirmed by the vacuum sensor 11 to check the leak level of the container to be inspected. Leak inspection device for containers that can be recognized.

리크검사,리크감지Leak test, leak detection

Description

용기의 리크감지장치{Air leakage detecter} Leak Detection Device of Container {Air leakage detecter}             

도 1 은 일반적인 누설감지장치의 구성 예시도,1 is a configuration example of a general leak detection device;

도 2 는 도 1 의 감지 상태를 나타내는 그래프FIG. 2 is a graph illustrating a sensing state of FIG. 1.

도 3 은 본 발명의 구성 예시도,3 is an exemplary configuration diagram of the present invention;

도 4 는 본원 발명의 압력의 변화를 나타낸 그래프,4 is a graph showing a change in pressure of the present invention;

도 5 는 본원 발명의 습도의 변화를 나타낸 그래프,5 is a graph showing a change in humidity of the present invention,

도 6 은 본원발명의 제어블럭 구성도이다.6 is a block diagram of the control block of the present invention.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **** Description of symbols for the main parts of the drawing **

1;진공챔버 3;진공발생기 10;센서챔버 11;진공센서 12;습도센서 13;입구 1; vacuum chamber 3; vacuum generator 10; sensor chamber 11; vacuum sensor 12; humidity sensor 13; inlet

14;출구 15;제어부 14; outlet 15; control unit

본 발명은 리크감지장치에 관한 것으로, 피검사용기를 진공챔버에 넣고 진공 도의 변화를 확인하는 대신 진공챔버 전에 센서챔버를 두어 미리 진공을 만든 다음 상압의 진공챔버 내에 피검사용기를 넣고 센서챔버의 진공을 진공챔버의 공간만큼 희석시켜 진공도의 변화로 피검사용기의 리크를 검사토록 하는 용기의 리크감지장치에 관한 것이다. The present invention relates to a leak detection apparatus. Instead of placing an inspected container into a vacuum chamber and checking the change in the degree of vacuum, the sensor chamber is placed before the vacuum chamber to make a vacuum in advance, and then the inspected container is placed in a vacuum chamber of atmospheric pressure to reduce the vacuum of the sensor chamber. The present invention relates to a leak detection apparatus for a container which is diluted by the space of a vacuum chamber to inspect the leak of the inspected container by the change of the degree of vacuum.

일반적으로, 리크감지장치는 진공챔버에 피검사용기를 넣고 진공을 가한 다음 진공도의 변화로 피검사용기의 이상 여부를 알 수 있도록 하는 장치이다. 이는 도 1 과 같이 예시할 수 있는바, 진공챔버(1)와 진공발생기(3)는 상호 챔버밸브(V1)로 연결하고, 진공챔버(1)에는 피검사용기(2)를 넣을 수 있는 도어(4)를 설치하며, 내부의 압력을 알 수 있는 진공압력계(5)를 설치한다. 물론 진공압력계(5)는 상징적으로 나타낸 것으로, 다양한 압력계를 사용할 수 있고, 디지탈 형태의 압력계를 사용할 수도 있다.In general, the leak detection device is a device that puts the container to be inspected in the vacuum chamber to apply a vacuum and then to determine whether the container to be inspected by the change in the degree of vacuum. This can be illustrated as shown in Figure 1, the vacuum chamber (1) and the vacuum generator (3) is connected to the mutual chamber valve (V1), the vacuum chamber 1, the door (2) into which the container to be inspected (2) 4) Install the vacuum pressure gauge (5) to know the internal pressure. Of course, the vacuum pressure gauge 5 is shown symbolically, it is possible to use a variety of pressure gauge, it is also possible to use a digital pressure gauge.

이를 사용할 때에는 진공발생기(3)를 작동시키고(전원의 도시 및 구동 수단의 도시는 일반적인 기술이므로 생략함), 챔버밸브(V1)를 연다. 물론 이에 앞서 진공챔버(1)의 도어(4)를 열고 내부 공간에 피검사용기(2)를 넣는다. 따라서 이와 같이 진공챔버(1)에 피검사용기(2)를 넣은 다음 도어(4)를 닫고, 상기 챔버밸브(V1)를 열면 진공발생기(3)를 통한 진공력이 진공챔버(1)에 인가되어 진공챔버(1)내부가 상압에서 진공으로 변하게 된다. 이렇게 진공으로 되는 시간을 도 2 와 같이 일정시간(t1)으로 하면, 챔버밸브(V1)를 닫아 진공의 변화 여부를 확인한다. 파형(a)은 압력의 변화가 전혀 없어 피검사용기(2) 자체가 진공챔버(1) 내에 없는 것으로 판단하는 것이고, 파형(b)은 약한 압력의 변화가 있지만 허용 오차 범위 내에 있는 것으로 판단하여 양호한 상태로 판단하는 것이고, 파형(c)은 피검사용기(2)의 일부가 파손되어 내부 공기가 새는 것으로 판단할 수 있어 불량으로 판단한다. 이는 용기의 표면 일부가 리크되는 것으로 일반적인 내용물은 상관없으나 의약품과 같이 멸균성을 요하는 용기에는 치명적인 결함을 초래하는 문제점이 있다.When using this, the vacuum generator 3 is operated (the illustration of the power supply and the illustration of the driving means are omitted since they are a general technique), and the chamber valve V1 is opened. Of course, prior to this, the door 4 of the vacuum chamber 1 is opened and the container 2 to be inspected is placed in the inner space. Therefore, the test chamber 2 is placed in the vacuum chamber 1 and the door 4 is closed. When the chamber valve V1 is opened, the vacuum force through the vacuum generator 3 is applied to the vacuum chamber 1. The inside of the vacuum chamber 1 changes from normal pressure to vacuum. Thus, when the time to become a vacuum is made into the fixed time t1 like FIG. 2, the chamber valve V1 is closed and it is confirmed whether a vacuum changes. The waveform (a) determines that the vessel under test 2 itself is not in the vacuum chamber 1 because there is no change in pressure, and the waveform (b) determines that there is a slight change in pressure but is within an allowable error range. It is judged as a state, and the waveform (c) is judged to be defective because it can be judged that a part of the inspection object 2 is broken and internal air leaks. This is a part of the surface of the container is leaking, the general contents do not matter, but there is a problem that causes a fatal defect in a container that requires sterilization, such as medicine.

따라서 용기의 리크 정도를 정확히 알 수 있는 이점은 있으나, 초기 진공을 가한 다음 진공의 변화로 이를 확인하는 방식이므로, 용기가 완전 파손되어 구멍이 난 경우에는 초기 진공을 가할 때 용기내부도 진공으로 되어, 이 경우 검사하면 파형(a,b)와 같이 정상이거나 없는 경우로 판단되어 검사에 치명적인 오류가 있는 문제점이 있다.Therefore, there is an advantage of knowing the degree of leakage of the container accurately, but since the method of checking the change by the change of vacuum after the initial vacuum is applied, if the container is completely broken and punctured, the inside of the container becomes a vacuum when the initial vacuum is applied. In this case, the test is determined to be normal or absent as in the waveforms (a and b), and there is a problem in that the test has a fatal error.

본 발명은 이를 해결하고자 하는 것으로, 본 발명의 목적은 진공챔버 전에 별도의 진공챔버 기능을 하는 센서챔버를 부가하여 상압의 진공챔버에 피검사용기를 수용한 상태에서 진공의 센서챔버와 진공챔버를 통하도록 하여 진공의 변화가 용기의 파손과 리크를 구분하여 알 수 있도록 하는 용기의 리크감지장치를 제공하려는 것이다.The present invention is to solve this problem, an object of the present invention is to add a sensor chamber that functions as a separate vacuum chamber before the vacuum chamber to accommodate the test chamber in the vacuum chamber at atmospheric pressure through the sensor chamber and the vacuum chamber It is to provide a leak detection device of the container so that the change in the vacuum can be distinguished between the breakage and the leak of the container.

본 발명의 다른 목적은 센서챔버에 습도센서를 두어 리크된 용기의 내용물이 누설되어 습도의 변화가 있는지 여부로 리크와 완전 파손 여부를 구분하여 알 수 있도록 하는 용기의 리크감지장치를 제공하려는 것이다.Another object of the present invention is to provide a leak detection device of a container by placing a humidity sensor in the sensor chamber so that the contents of the leaked container are leaked and there is a change in humidity so as to know whether the leak is completely damaged or not.

이를 위하여 본원발명은 진공발생기와 진공챔버 사이에 센서챔버를 두고, 센 서챔버에는 진공센서 등의 센서를 두어 진공도의 변화를 알 수 있도록 하고,To this end, the present invention has a sensor chamber between the vacuum generator and the vacuum chamber, and a sensor such as a vacuum sensor in the sensor chamber so as to know the change in the degree of vacuum,

센서챔버의 입구에는 센서밸브를, 센서챔버와 진공챔버가 통하는 부위에는 챔버밸브를 설치한다.
A sensor valve is installed at the inlet of the sensor chamber, and a chamber valve is installed at a portion where the sensor chamber and the vacuum chamber pass.

즉, 본원발명은 진공챔버에 피검사용기를 넣고 진공발생기로부터 진공을 챔버밸브를 열고 제공한 후 진공챔버 내의 진공 상태의 변화로 피검사용기의 밀폐성을 검사하는 장치에 있어서,That is, in the present invention, in the apparatus for inspecting the sealing of the inspected container by the change of the vacuum state in the vacuum chamber after providing the inspected container in the vacuum chamber and providing the vacuum from the vacuum generator by opening the chamber valve,

진공발생기와 진공챔버 사이에 설치하고 진공센서를 내장하며 예비 진공챔버인 센서챔버; 및 A sensor chamber installed between the vacuum generator and the vacuum chamber, having a built-in vacuum sensor, and a preliminary vacuum chamber; And

센서챔버 입구에는 검사시 챔버밸브와 역으로 작동하도록 설치한 센서밸브를 포함하여 구성하고;The sensor chamber inlet includes a sensor valve installed to operate in reverse with the chamber valve at the time of inspection;

피검사용기를 수용한 상압의 진공챔버에서 챔버밸브를 열 때 진공상태의 센서챔버의 진공도가 희석되는 정도를 진공센서로 확인하여 피검사용기의 리크 정도를 인식가능토록 하는 용기의 리크 검사장치를 제공하려는 것이다.When the chamber valve is opened in a vacuum chamber containing an inspection container, the degree of dilution of the vacuum degree of the sensor chamber in a vacuum state is checked with a vacuum sensor to provide a leak inspection device for a container that can recognize the leakage of the inspection container. will be.

상기 센서챔버에는 진공센서 외에 습도센서를 추가로 내장한 것을 예시할 수 있다.In addition to the vacuum sensor, the sensor chamber may further include a humidity sensor.

이하 본원 발명의 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 3 은 본원발명의 구성도이고 도 4 는 압력센서를 통한 압력의 변화 그래프 예시도이고, 도 5 는 습도센서를 통한 습도의 변화그래프로, 진공챔버(1)에 피 검사용기(2)를 넣고 진공발생기(3)로부터 진공을 챔버밸브(V1)를 열고 제공한 후 진공챔버(1)내의 진공 상태의 변화로 피검사용기의 밀폐성을 검사하는 장치로,3 is a configuration diagram of the present invention and Figure 4 is a diagram illustrating a change in pressure through the pressure sensor, Figure 5 is a graph of the change in humidity through the humidity sensor, the inspection chamber (2) in the vacuum chamber (1) A device for checking the airtightness of the container to be inspected by changing the state of vacuum in the vacuum chamber 1 after providing the vacuum from the vacuum generator 3 by opening the chamber valve V1.

진공발생기(3)와 진공챔버(1) 사이에 설치하고 진공센서(11)를 내장하며 예비 진공챔버인 센서챔버(10); 및 A sensor chamber (10) installed between the vacuum generator (3) and the vacuum chamber (1) and having a built-in vacuum sensor (11) and a preliminary vacuum chamber; And

센서챔버(10) 입구(13)에는 검사시 챔버밸브(V1)와 역으로 작동하도록 설치한 센서밸브(V2)를 포함하여 구성하고;The sensor chamber 10 inlet 13 includes a sensor valve V2 installed to operate in reverse with the chamber valve V1 at the time of inspection;

피검사용기를 수용한 상압의 진공챔버(1)에서 챔버밸브(V1)를 열 때 진공상태의 센서챔버(V1)의 진공도가 희석되는 정도를 진공센서(11)로 확인하여 피검사용기의 리크 정도를 인식 가능토록 구성한다.When the chamber valve V1 is opened in the vacuum chamber 1 of the normal pressure accommodating the container to be inspected, the degree of dilution of the degree of vacuum of the sensor chamber V1 in the vacuum state is confirmed by the vacuum sensor 11 to check the leak level of the container to be inspected. Configure it so that it can be recognized.

상기 센서챔버(10)에는 센서로 진공센서(11)와 습도센서(12)를 설치하는 것을 예시할 수 있고, 다른 센서를 설치할 수도 있다.In the sensor chamber 10, it may be exemplified to install the vacuum sensor 11 and the humidity sensor 12 as a sensor, and another sensor may be installed.

도 6 은 본원발명의 제어 구성을 나타낸 블럭 구성도로, 센서챔버(10)에는 진공센서(11)와 습도센서(12)를 설치하고, 진공센서(11)와 습도센서(12)의 센싱치는 포트(P1,P2)를 통하여 제어부(15)가 인식하도록 하고, 진공발생기(3)는 포트(P3)를 통한 릴레이(Ry) 구동으로 전원을 인가 받아 작동토록 구성하고, 진공발생기(3)는 센서챔버(13)의 입구(13)와 밸브(V2)를 통하여 진공을 인가 받도록 하되 밸브(V2)는 제어부(15)의 포트(P5)를 통하여 구동토록 구성한다.6 is a block diagram showing a control configuration of the present invention, wherein the sensor chamber 10 is provided with a vacuum sensor 11 and a humidity sensor 12, and the sensing values of the vacuum sensor 11 and the humidity sensor 12 are ports. The control unit 15 recognizes through P1 and P2, and the vacuum generator 3 is configured to operate by receiving power by driving the relay Ry through the port P3, and the vacuum generator 3 is configured as a sensor. The vacuum is applied through the inlet 13 and the valve V2 of the chamber 13, but the valve V2 is configured to be driven through the port P5 of the controller 15.

상기 진공챔버(1)와 센서챔버(10)의 출구는 상호 밸브(V1)을 통하여 연결되도록 하고, 밸브(V1)는 제어부(15)의 포트(P4)를 통하여 구동되도록 구성한다. 이 경우 밸브(V1, V2)는 전기를 인가 받으면 솔레노이드화 되어 온오프(개폐) 상태로 작동하는 통상의 것을 사용하는 것을 예시할 수 있고, 개폐 기능을 하는 다른 수단(예를 들어 실린더 등)으로 구성한 것을 사용할 수도 있다.The outlet of the vacuum chamber 1 and the sensor chamber 10 is connected to each other through the valve (V1), the valve (V1) is configured to be driven through the port (P4) of the control unit (15). In this case, the valves (V1, V2) can be exemplified by using a conventional one that is solenoidized and operated in an on-off (opening / closing) state when electricity is applied. You can also use the configured one.

이와 같이 구성한 본원발명은 챔버밸브(V1)를 닫고(노말 상태는 닫힘 상태로 하는 것이 좋다), 도어(4)를 열고 피검사용기(2)를 넣은 다음 도어(4)를 닫는다(물론 진공상태를 유지하도록 실링 가능토록 닫는다).According to the present invention configured as described above, the chamber valve V1 is closed (the normal state is preferably closed), the door 4 is opened, the inspection container 2 is put in, and the door 4 is closed (of course, the vacuum state is maintained. Close to allow sealing).

이어 진공발생기(3)를 작동시키도록 제어부(15)의 포트(P3)를 통하여 하이레벨의 신호를 보내면 릴레이(Ry)가 작동하여 전원이 진공발생기(3)에 인가되어 진공력을 발생하도록 작용한다. 그러면 제어부(15)는 포트(P5)를 통하여 밸브(V2)를 열도록 하이레벨의 신호를 보내어 노말 닫힘 상태에서 열림 상태로 반전된다. 그러면 센서챔버(10)가 먼저 진공 상태로 예를 들어 일정 시간(t1)이 지나면 도 4 와 같이 진공 상태를 이룬다(이 경우 진공상태라 함은 절대진공은 아닌 것임을 알 수 있을 것이다). Subsequently, when a high level signal is transmitted through the port P3 of the controller 15 to operate the vacuum generator 3, the relay Ry operates to supply power to the vacuum generator 3 to generate a vacuum force. do. Then, the control unit 15 sends a high level signal to open the valve V2 through the port P5 and is inverted from the normal closed state to the open state. Then, the sensor chamber 10 first becomes a vacuum state, for example, when a predetermined time t1 passes, as shown in FIG. 4 (in this case, the vacuum state will be understood that the absolute vacuum is not).

이 상태에서 제어부(15)는 포트(P5)로의 하이레벨의 신호 인가를 멈추고, 대신 포트(P4)를 통하여 하이레벨의 신호를 인가하여 밸브(V1)가 열리도록 한다. 그러면 상압 상태의 진공챔버(1)가 진공 상태의 센서챔버(10)와 통하여 진공도가 진공챔버(1)의 공간만큼 희석된다. 물론 진공도가 희석되는 시간(t2)(예를 들어 1초 내지 3초)이 지나면 진공센서(11)를 통한 진공도의 변화를 포트(P1)를 통하여 제어부(15)는 인식하게 된다. 이러한 인식치는 파형(a)은 피검사용기가 아예 없는 경우로(이는 종래와 달리 피검사용기가 차지하는 공간 만큼 더 희석하게 되는 것으로 판단하기 대문에 정상 전압에 가장 근접한 상태로 나타나게 된다. 파형(b)은 미세 변화가 있어 양품으로, 파형(c)은 불량품으로 판단한다. 본 발명의 특징적인 검사 가능한 수단으로 파형(d)과 같은 결과는 검사할 시간(t2)에서 상압에 근접하게 되어 그 상태를 유지하게 되므로 이 경우를 피검사용기가 파손되는 경우로 인식하게된다. 이는 용기가 파손되면 그만큼 내부 공간의 공기가 많아지므로 그에 상응하는 압력량(∂)만큼 상압에 근접하게되고, 이를 본원발명은 판단하게 되는 것이다.In this state, the control unit 15 stops applying the high level signal to the port P5, and instead applies the high level signal through the port P4 to open the valve V1. Then, the vacuum chamber 1 in the atmospheric pressure is diluted with the space of the vacuum chamber 1 through the sensor chamber 10 in the vacuum state. Of course, when the time t2 at which the degree of vacuum is diluted (for example, 1 second to 3 seconds) passes, the controller 15 recognizes the change in the degree of vacuum through the vacuum sensor 11 through the port P1. This recognition value is shown in the state that waveform (a) is closest to the normal voltage because there is no container to be inspected (this is unlikely to dilute as much as the space occupied by the container to be inspected.) There is a slight change in good quality, and the waveform (c) is judged to be defective.The characteristic testable means of the present invention maintains the state as the result of the waveform (d) is close to the normal pressure at the time t2 to be inspected. In this case, the container to be inspected is damaged, which means that if the container is damaged, the amount of air in the inner space is increased, so that the pressure closes to the normal pressure by a corresponding pressure amount (∂). Will be.

한편 본원발명은 피검사용기가 내부에 액체를 담은 용기일 경우에도 유용하게 검사 가능토록 한다. 즉, 도 3 내지 도 6 에 보인 습도센서(12)는 포트(P2)를 통하여 제어부(15)가 인식하게 되는데, 이 경우 상압의 진공챔버(1)에 피검사용기(1)를 넣고 도어(4)를 닫은 다음 노말 닫힘 상태의 밸브(V1,V2)에서 진공발생기(3)를 작동시키면서 밸브(V2)를 구동시켜 센서챔버(10)를 진공상태로 만든다(도 5 의 초기 시점에서 시간(t1)까지의 시점). 이 상태에서 밸브(V2)를 닫고 밸브(V1)를 열어 양 챔버(10,1)가 일정 진공으로 분산되어 진공도가 희석된다. 습도센서(12)가 인식 가능한 시간이 지나면(센서의 반응속도가 각각 다르므로 이에 대한 시간의 표기는 생략한다), 파형(a1)의 경우에는 용기 자체가 없는 경우로, 파향(b1)의 경우에는 변화가 작아 허용 가능한 정도의 양호상태로, 파형(c1)의 경우에는 불량으로, 파형(d1)의 경우에는 용기 자체가 파손되어 내용물의 수분이 계속 발생하는 것으로 판단하여 완전 불량인 것을 알 수 있도록 한다.On the other hand, the present invention makes it possible to inspect usefully even when the container under test is a container containing a liquid therein. That is, the humidity sensor 12 shown in FIGS. 3 to 6 is recognized by the control unit 15 through the port P2. In this case, the inspection container 1 is placed in the vacuum chamber 1 at atmospheric pressure and the door 4 ) And then, while operating the vacuum generator 3 in the valves V1 and V2 in the normal closed state, the valve V2 is driven to make the sensor chamber 10 in a vacuum state (at time t1 at an initial time point in FIG. 5). To). In this state, the valve V2 is closed, the valve V1 is opened, and both chambers 10 and 1 are dispersed in a constant vacuum to dilute the degree of vacuum. When the time when the humidity sensor 12 is recognizable has elapsed (note that the time for the sensor is different since the reaction speed of the sensor is different), the waveform a1 does not have the container itself, and the wave case b1. In the case of the waveform c1, the change is small and the change is small, and in the case of the waveform c1, the container itself is broken in the case of the waveform d1. Make sure

이상과 같이 본원 발명은 진공챔버를 통하여 피검사용기의 리크 여부를 알 수 있도록 하되 진공챔버 전에 별도의 진공챔버 기능을 하는 센서챔버를 부가하여 상압의 진공챔버에 피검사용기를 수용한 상태에서 진공의 센서챔버와 진공챔버를 통하도록 하여 진공의 기준 진공을 희석하도록 하고, 이를 기초로 한 진공의 변화가 용기의 파손과 리크를 구분하여 알 수 있도록 하므로, 피검사용기의 상태를 구분하여 감지할 수 있도록 하여 검사의 정확도와 안전도를 향상시킨다.As described above, in the present invention, it is possible to know whether a test container is leaked through a vacuum chamber, but before the vacuum chamber, a sensor chamber having a separate vacuum chamber function is added to accommodate the test container in the vacuum chamber at atmospheric pressure. Through the chamber and the vacuum chamber, the reference vacuum of the vacuum is diluted, and the change of the vacuum based on this can be distinguished from the breakage and the leak of the container so that the state of the inspected container can be distinguished and detected. Improve the accuracy and safety of the inspection.

본 발명은 아울러 센서챔버에 습도센서를 두어 리크된 용기의 액체 내용물이 리크 틈새로 누설되어 습도의 변화가 있는지 여부로 확인토록 함으로써 리크와 완전 파손 여부를 구분하여 알 수 있도록 하는 리크감지장치를 제공한다.The present invention also provides a leak detection device by placing a humidity sensor in the sensor chamber to check whether the liquid contents of the leaked container leaks into the leak gap and whether there is a change in humidity, so that the leak can be distinguished from the leak and completely broken. do.

Claims (2)

진공챔버(1)에 피검사용기(2)를 넣고 진공발생기(3)로부터 진공을 챔버밸브(V1)를 열고 제공한 후 진공챔버(1)내의 진공 상태의 변화로 피검사용기의 밀폐성을 검사하는 장치에 있어서,A device for inspecting the tightness of the container to be inspected by changing the vacuum state in the vacuum chamber (1) by placing the test container (2) in the vacuum chamber (1) and providing a vacuum from the vacuum generator (3) by opening the chamber valve (V1). To 진공발생기(3)와 진공챔버(1) 사이에 설치하고 진공센서(11)를 내장하며 예비 진공챔버인 센서챔버(10); 및 A sensor chamber (10) installed between the vacuum generator (3) and the vacuum chamber (1) and having a built-in vacuum sensor (11) and a preliminary vacuum chamber; And 센서챔버(10) 입구(13)에는 검사시 챔버밸브(V1)와 역으로 작동하도록 설치한 센서밸브(V2)를 포함하여 구성하고;The sensor chamber 10 inlet 13 includes a sensor valve V2 installed to operate in reverse with the chamber valve V1 at the time of inspection; 피검사용기를 수용한 상압의 진공챔버(1)에서 챔버밸브(V1)를 열 때 진공상태의 센서챔버(V1)의 진공도가 희석되는 정도를 진공센서(11)로 확인하여 피검사용기의 리크 정도를 인식 가능토록 하는 용기의 리크 검사장치.When the chamber valve V1 is opened in the vacuum chamber 1 of the normal pressure accommodating the container to be inspected, the degree of dilution of the degree of vacuum of the sensor chamber V1 in the vacuum state is confirmed by the vacuum sensor 11 to check the leak level of the container to be inspected. Leak inspection device for containers that can be recognized. 제 1 항에 있어서, 센서챔버에는 진공센서 외에 습도센서를 추가로 내장한 것을 특징으로 하는 용기의 리크 검사장치.The leak test apparatus according to claim 1, wherein the sensor chamber further includes a humidity sensor in addition to the vacuum sensor.
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