KR20060040234A - 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유기전계발광표시장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 발광층을 제외한 유기막층을 UV 경화성 고분자를 사용함으로써 봉지부에 존재하는 유기막을 용이하게 제거하여 실란트의 접착력을 강화시켜 내부의 유기발광소자를 보호할 수 있는 유기전계발광표시장치의 제조 방법을 제공한다.
또한, 유기전계발광표시장치의 제조 방법에 있어서, 상기 유기막층으로 고분자를 사용함으로써 기판의 요철을 완화시켜 주는 평탄화 기능을 부여하여 레이저 열전사법에 의해 유기발광층 패턴을 안정적으로 형성할 수 있는 유기전계발광표시장치의 제조방법을 제공한다.
유기전계발광표시장치, 봉지, UV 경화 고분자

Description

유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법{method for fabricating Organic light emission device panel}
도 1a 및 도 1b는 종래의 레이저 열전사법에 의한 유기전계발광표시장치의 제조 방법을 설명하기 위해 도시한 단면도들이다.
도 2a 내지 2e는 본 발명의 실시예의 유기전계발광표시장치의 제조 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
- 도면의 주요 부분에 대한 도면 부호의 설명-
10 : 절연기판 11 : 제 1전극
12 : 제 1유기막 20 : 도너기판
23' : 유기발광층 24 : 제 2전극
30 : 기판 40 : 봉지재
본 발명은 유기전계발광표시장치의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유기전계발광표시장치의 봉지부에 존재하는 유기막을 제거하는 유기전계발광 표시장치의 제조방법에 대한 것이다.
평판 표시 장치 중 유기전계발광표시장치는 응답속도가 1ms 이하로서 고속의 응답속도를 가지며, 소비 전력이 낮고, 자체 발광이므로 시야각에 문제가 없어서, 장치의 크기에 상관없이 동화상 표시 매체로서 장점이 있다. 또한, 저온 제작이 가능하고, 기존의 반도체 공정 기술을 바탕으로 제조 공정이 간단하므로 향후 차세대 평판 표시 장치로 주목받고 있다.
상기 유기전계발광표시장치의 단위화소에는 적어도 발광층을 포함한 유기층이 존재한다. 상기의 유기전계발광표시장치에 R, G 및 B의 삼원색을 나타내는 발광층을 패터닝함으로서 풀칼라를 구현할 수 있다.
상기 유기층은 새도우 마스크를 이용한 진공증착법 또는 통상적인 광식각법을 이용하여 형성되어질 수 있으나 진공 증착법의 경우에는 유기층을 미세 패턴으로 형성하는데 어려움이 있어 완벽한 풀칼라 디스플레이를 구현하는데 어려움이 있으며, 광식각법인 경우에는 현상액 또는 식각액에 의해 유기막의 손상으로 수명 및 효율 등의 발광 특성이 나빠지는 문제점이 있다.
이에 따라, 이런 문제점을 해결하기 위한 방법으로 레이저 열전사법(Laser Induced Thermal Imaging : LITI)을 이용하여 유기층을 패턴하는 방식이 도입되었다.
상기 레이저 열전사법은 광원에서 빛이 나와 도너 기판의 광-열 변환층에 흡수되어 빛이 열에너지로 전환되고, 전환된 열에너지에 의해 전사층에 형성된 유기물질이 기판으로 전사되어 형성되는 방법이다.
상기 레이저 열전사법에 의한 유기전계발광표시장치의 패턴 형성 방법은 한국 특허등록번호 10-0342653호에 개시되어 있으며, 또한, 미국 특허 제 5,998,085호, 6,214,520호 및 6,114,085호에 이미 개시된 바 있다.
도 1a 및 도 1b는 종래의 레이저 열전사법에 의한 유기전계발광표시장치의 제조 방법을 설명하기 위해 도시한 단면도들이다.
도 1a를 참조하면, 먼저, 절연 기판(100)의 버퍼층(110)상부에 통상적인 방법으로 반도체층(125), 게이트 절연막(120), 게이트 전극(135), 층간 절연막(130), 소오스/드레인 전극(145)을 구비한 박막 트랜지스터가 형성된다.
상기 층간 절연막(130)의 전면에 걸쳐 패시배이션막(140)을 형성하고, 상기 패시배이션막(140) 상부에 평탄화막(150)을 형성한 후 소오스/드레인 전극(145)중 한 전극의 소정 부분을 노출시키기 위한 비아홀(165)을 형성한다.
상기 비아홀(165)을 통하여 소오스/드레인 전극(145)의 노출된 소정 부분과 접하는 화소전극(160)을 형성한다.
이 때, 상기 비아홀(160)의 굴곡진 형태를 지닌 상기 화소전극(160)을 덮는 화소정의막(170)을 형성한 후, 상기 화소정의막(170) 상에 상기 화소전극(160)의 일부분을 노출시키는 개구부(195)를 형성한다.
이로써, 박막트랜지스터를 구비하며, 상기 화소 전극이 형성되어 있는 기판을 제조한다.
한편, 기재층(201), 광-열 변환층(202) 및 전사층(203)을 순차적으로 적층하여 레이저 전사용 도너 기판(200)을 제조한다.
이어서, 상기 기판의 화소 전극과 전사용 도너 기판의 전사층을 마주보게 하여 접착(lamination)한 후에 상기 도너 기판의 기재층면의 소정 부분에 레이저(X)를 조사한다.
이후에 도 1b에서와 같이, 상기 기판의 화소전극(160)상에 도너 기판으로부터 전사층이 전사되어 상기 기판상에 유기발광층 패턴(204')이 형성된다. 이어서, 상기 유기 발광층 패턴(204')의 상부에 공통전극으로 상부전극(180)을 형성함으로서 유기전계발광표시장치를 제조할 수 있다.
이때, 상기 기판에 상기 도너 기판을 접착하는 과정에 있어서, 기판의 단차로 인해 상기 도너 기판이 상기 기판에 잘 밀착되지 않아 전사층이 기판상으로 전사될 때, 유기막이 오픈되는 오픈불량(E)이 발생될 수 있다. 즉, 기판의 에지 부분에 유기막이 제대로 전사되지 않고 유기막이 끊어짐으로써, 불량을 발생시킬 수 있다.
또한, 상기 유기전계발광표시장치의 특성을 향상시키기 위해 상기 유기막은 정공주입층, 정공수송층, 정공억제층, 전자수송층, 전자주입층중에 하나 이상을 포함하는 다층막으로 형성될 수 있다. 일반적으로, 상기의 발광층을 제외한 유기층은 공통층으로 스핀공정 또는 증착에 의해 형성될 수 있는데, 이 경우 상기 유기전계발광표시장치의 제조 과정 중, 상기 유기층이 상기 표시장치의 봉지부에도 형성될 수 있다.
따라서, 봉지부에 유기층이 존재하여, 실란트의 접착력이 약화되는 문제가 발생한다. 상기 실란트의 접착력이 약화됨으로 인해서, 외부의 기체 및 수분이 상 기 유기전계발광표시장치 내로 유입될 수 있고, 상기 유입된 외부의 기체 및 수분은 상기 표시장치 내의 발광층의 수명을 단축시킴으로써 화소 영역의 불량을 발생시킬 수 있는 문제점이 있다.
종래에는 물리적인 세척 공정에 의해 상기 유기막을 제거하기도 하나, 봉지부 내에 있는 배선의 손상을 일으킬 수 있어 또 다른 불량을 유발시킬수 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 유기전계발광표시장치의 제조공정에 있어서, 유기막을 UV경화성 고분자를 사용함으로써 봉지부에 존재하는 유기막을 용이하게 제거하여 실란트의 접착력을 강화시키고 유기전계발광표시장치 내의 발광소자를 보호하는 것에 목적이 있다.
또한, 유기전계발광표시장치의 제조공정에 있어서, 유기막층으로 고분자를 사용함으로써 기판의 요철을 완화시켜 주는 평탄화 기능을 부여하여 유기전계발광표시장치의 안정성을 향상시키는데 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은
제 1전극이 형성된 절연기판이 제공되는 단계와;
상기 제 1 전극 상에 상기 절연기판 전면에 걸쳐 공통층으로 제 1유기막을 형성하는 단계와;
상기 절연기판상의 봉지부에 형성된 제 1유기막을 제외하고 상기 제 1유기막을 경화시키는 단계와;
상기 봉지부의 제 1유기막을 제거하는 단계와;
상기 제 1유기막상의 화소영역에 레이전 열전사법에 의해 패턴된 발광층을 형성하는 단계와;
상기 발광층상에 공통전극인 제 2전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조 방법을 제공한다.
이하, 본발명의 실시예를 도면을 통해 상세하게 설명한다.
도 2a 내지 2e는 본 발명의 실시예의 유기전계발광표시장치의 제조 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 2a에서와 같이, 화소 영역상에 제 1전극(11)이 형성된 절연기판(10)을 제공한다. 상기 제 1전극은 애노드 전극이거나 캐소드 전극일 수 있다.
상기 제 1전극(11)이 애노드 전극일 경우, 일함수가 높은 금속으로서 ITO이거나 IZO로 이루어진 투명전극이거나, Pt, Au, Ir, Cr, Mg, Ag, Ni, Al 및 이들의 합금으로 이루어진 군에서 선택된 반사전극일 수 있다.
또한, 상기 제 1전극(11)이 캐소드 전극일 경우, 일함수가 낮은 금속으로서 Mg, Ca, Al, Ag, Ba 및 이들의 합금으로 이루어진 군에서 선택하되 얇은 두께를 갖는 투명전극이거나, 두꺼운 반사전극일 수 있다.
상기 제 1전극상에 상기 절연기판 전면에 걸쳐 제 1유기막(12)을 형성한다.
여기서, 상기 제 1유기막은 UV 반응성의 관능기를 가지는 정공주입층 및/또는 정공수송층이거나 전자주입층 및/또는 전자수송층일 수 있다.
즉, 상기 제 1유기막은 상기 정공주입층 및/또는 정공수송층이거나 전자주입 층 및/또는 전자수송층을 이루기 위한 각각의 특성을 가진 단분자 또는 고분자에 UV 반응성의 관능기가 도입된 단분자 또는 고분자가 결합된 구조를 가진다. 이를 테면, 상기 정공수송층은 통상적으로 사용되는 정공수송물질인 N-디페닐-N,N'-비스(4-메틸페닐)-1,1'-바이페닐-4,4'-디아민에 UV 반응성의 관능기가 결합되어 있을 수 있다. 여기서, UV 반응성 관능기는 아크릴레이트기(acrylate group), 비닐기(vinyl group) 및 에폭시기(epoxy group)중에 하나를 포함할 수 있다.
상기 정공 수송층은 하기 화학식 1로 표현할 수 있다.
<화학식 1>
Figure 112004051158378-PAT00001
여기서, 상기 화학식 1에서 Rl 내지 R8은 수소, 불소 또는 다양한 사슬길이를 갖는 알킬기로, 서로 같거나 다를 수 있으며, 적어도 하나는 UV 반응성 관능기를 가진다. 이때, UV 반응성 관능기는 아크릴레이트기(acrylate group), 비닐기(vinyl group) 및 에폭시기(epoxy group)중에 하나를 포함할 수 있다.
더욱 상세하게는 하기의 화학식 2 내지 화학식 4로 나타낼 수 있다.
<화학식2>
Figure 112004051158378-PAT00002
<화학식3>
Figure 112004051158378-PAT00003
<화학식4>
Figure 112004051158378-PAT00004
여기서, 상기 화학식 2 내지 화학식4에서 R 및 Rl 내지 R8은 수소, 불소 또는 다양한 사슬길이를 갖는 알킬기로, 서로 같거나 다를 수 있다.
상기 제 1유기막은 스프레이 코팅방식, 딥 코팅 방식, 바코팅, 그라비아 코팅 방식, 롤 코팅 방식 및 스핀 코팅방식으로 이루어진 군에서 선택된 하나의 방식으로 형성할 수 있다.
이로써, 상기 제 1유기막은 고분자로 형성되어지며, 상기 제 1전극상에 화소영역에 형성되어 기판의 요철구조를 평탄화시킬 수 있어, 후속 공정인 레이저 열전사에 의해 발광층의 패턴을 형성시에 에지 오픈 현상을 완화시킬수 있다.
이어서, 도 2b에서와 같이, 마스크(13)를 이용하여 봉지부(a)를 제외한 부분에 UV를 조사하여 경화를 시킨후, UV가 조사되지 않은 영역을 유기용제등으로 세정함으로써 봉지부(a)에 형성된 제 1유기막을 제거한다.
이어서, 도 2c에서와 같이, 기재층(21), 광-열 변환층(22) 및 전사층(23R, 23G, 23B)으로 이루어진 도너기판(20R, 20G, 20B)을 상기 기판의 화소영역과 대향하도록 배치한 후에 레이저를 조사하여 도 2d와 같이 각각의 화소영역에 유기발광층 패턴(23)을 형성한다.
이어서, 도 2d에서와 같이, 상기 유기발광층 패턴상에 상기 기판 전면에 걸쳐 공통층으로 제 2전극(24)을 형성한다.
상기 제 2전극(24)은 일함수가 낮은 도전성의 금속으로 Mg, Ca, Al, Ag 및 이들의 합금으로 이루어진 군에서 선택된 하나의 물질로서 얇은 두께를 갖는 투명전극이거나, 두꺼운 두께를 갖는 반사전극으로 형성된다.
또한, 상기 제 2 전극(24)이 애노드 전극인 경우에 있어서, 일함수가 높은 금속으로서, ITO 또는 IZO로 이루어진 투명전극이거나, Pt, Au, Ir, Cr, Mg, Ag, Ni, Al 및 이들의 합금으로 이루어진 반사전극일 수 있다.
한편, 본 발명에서는 상기 유기발광층 패턴(23)과 상기 제 2전극(24)사이에 제 2유기막을 더욱 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제 2유기막은 UV 반응성의 관능기를 가지는 정공주입층 및/또는 정공수송층이거나 전자주입층 및/또는 전자수송층일 수 있다. 즉, 상기 제 2유기막은 상술한 바와 같이 상기 정공주입층 및/또는 정공수송층이거나 전자주입층 및/또는 전자수송층을 이루기 위한 각각의 특성을 가진 단분자 또는 고분자에 UV 반응성의 관능기가 도입된 단분자 또는 고분자가 결합된 구조를 가진다
여기서, 상기 제 2유기막은 스프레이 코팅방식, 딥 코팅 방식, 바코팅, 그라 비아 코팅 방식, 롤 코팅 방식, 스핀 코팅방식 및 증착방식중에 하나의 방법을 선택하여 형성하거나 발광층 형성하는 단계에서 동시에 형성될 수 있다.
이어서, 도 2e에서와 같이, 내부의 수분을 제거하기 위한 흡습제(31)가 부착된 봉지재(30)의 가장자리에 밀봉제(32)를 형성한 후, 상기 기판(30)의 봉지부(a)와 SUS 캔의 밀봉제를 접착시킨후 열 또는 자외선에 경화시킴으로써 봉지재와 기판(30)의 배면을 외부와 차단하도록 봉지하여 유기전계발광표시장치를 제조할 수 있다.
또한, 상기 봉지부(a)의 유기막을 제거함으로써 상기 봉지재와 상기 기판(30)의 접착력을 향상시킬 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 유기발광층의 특성을 향상시키기 위한 제 1유기막을 UV 경화성 고분자를 적용함에 따라 기판의 요철를 완화시켜주는 평탄화 기능을 하여 보다 안정화된 유기전계발광표시장치를 제조할 수 있다.
또한, 본발명은 봉지부에 형성될 수 있는 유기막을 안전하게 제거하여 줌으로써 봉지재와 기판의 접착력이 강화되어 화소의 불량 발생을 제어할 수 있는 유기전계발광표시장치를 제조할 수 있다
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (12)

  1. 제 1전극이 형성된 절연기판이 제공되는 단계와;
    상기 제 1 전극 상에 상기 절연기판 전면에 걸쳐 공통층으로 제 1유기막을 형성하는 단계와;
    상기 절연기판상의 봉지부에 형성된 제 1유기막을 제외하고 상기 제 1유기막을 경화시키는 단계와;
    상기 봉지부의 제 1유기막을 제거하는 단계와;
    상기 제 1유기막상의 화소영역에 레이전 열전사법에 의해 패턴된 발광층을 형성하는 단계와;
    상기 발광층상에 공통전극인 제 2전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조 방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1전극은 애노드 전극이거나 캐소드 전극인 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조 방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1유기막은 정공주입층 및/또는 정공수송층이거나 전자주입층 및/또는 전자수송층인 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조 방법.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 제 1유기막은 UV 반응성 관능기가 도입되어 있는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조 방법.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 UV 반응성 관능기는 아크릴레이트기(acrylate group), 비닐기(vinyl group) 및 에폭시기(epoxy group)중에서 선택된 하나인 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조 방법.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1유기막은 스프레이 코팅방식, 딥 코팅 방식, 바코팅, 그라비아 코팅 방식, 롤 코팅 방식 및 스핀 코팅방식중에 하나의 방법을 선택하여 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조 방법.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 유기전계발광표시장치는 상기 유기발광층의 상부에 제 2유기막을 더 형성하고, 봉지부를 제외한 상기 제 2유기막을 경화시킨후, 상기 봉지부의 제 2유기막을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조 방법.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 제 2유기막은 정공주입층 및/또는 정공수송층이거나 전자주입층 및/또는 전자수송층인 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조 방법.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 제 2유기막은 UV 반응성 관능기가 도입되어 있는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조 방법.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 UV 반응성 관능기는 아크릴레이트기(acrylate group), 비닐기(vinyl group) 및 에폭시기(epoxy group)중 하나인 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조 방법.
  11. 제 7항에 있어서,
    상기 제 2유기막은 스프레이 코팅방식, 딥 코팅 방식, 바 코팅, 그라비아 코팅 방식, 롤 코팅 방식, 스핀 코팅방식 및 증착 방식중에 하나의 방법을 선택하여 형성하거나 발광층 형성하는 단계에서 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조 방법.
  12. 상기 제 1항의 방법으로 제조되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100711876B1 (ko) * 2005-07-05 2007-04-25 삼성에스디아이 주식회사 발광표시장치 및 그 제조방법
US9444073B2 (en) 2012-10-15 2016-09-13 Samsung Display Co., Ltd. Organic light emitting display device and manufacturing method thereof

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KR100711876B1 (ko) * 2005-07-05 2007-04-25 삼성에스디아이 주식회사 발광표시장치 및 그 제조방법
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