KR20060038816A - Voltage level detector and internal voltage generator using the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 차지(charge) 펌핑(pumping) 방식을 이용하는 전압레벨 검출장치 및 그 검출장치를 이용한 내부전압 발생장치를 개시한다.The present invention discloses a voltage level detection device using a charge pumping method and an internal voltage generation device using the detection device.

본 발명의 전압레벨 검출장치는 퓨즈 트리밍 및 저항의 크기에 따라 펌핑전압을 일정 비율로 분배하여 출력하는 전압 분배부; 번인 테스트 시작신호에 따라 상기 전압 분배부의 전압 분배 비율을 조절하여 그 출력전압의 크기를 조절하는 분배 조절부; 및 상기 전압 분배부의 출력전압을 기 설정된 기준전압과 비교하여 그 전압차를 증폭함으로써 상기 펌핑전압의 펌핑여부를 결정하는 펌핑인에이블신호를 출력하는 차동 증폭기를 구비하여, 노말 레벨에서의 퓨즈 트리밍(trimming)을 위해 퓨즈를 절단 후에도 번인 테스트(burn in test)시 번인 레벨에 영향을 주지 않아 내부전압을 안정화시킴으로써 수율의 향상에 도움을 주며 테스트 시간을 줄일 수 있도록 해준다.The voltage level detecting device of the present invention includes: a voltage divider for dividing and outputting a pumping voltage at a predetermined ratio according to fuse trimming and resistance size; A distribution controller for adjusting a voltage distribution ratio of the voltage divider according to a burn-in test start signal to adjust a magnitude of the output voltage; And a differential amplifier outputting a pumping enable signal for determining whether the pumping voltage is pumped by comparing the output voltage of the voltage divider with a preset reference voltage and amplifying the voltage difference. Even after the fuse is cut for trimming, the burn-in level does not affect the burn-in level, thereby stabilizing the internal voltage, thereby improving yield and reducing test time.

전압레벨, 검출, 내부전압, 차지, 펌핑Voltage level, detection, internal voltage, charge, pumping

Description

전압레벨 검출장치 및 그를 이용한 내부전압 발생장치{Voltage level detector and internal voltage generator using the same}Voltage level detector and internal voltage generator using the same

도 1은 차지 펌핑 방식을 사용하는 종래 전압레벨 검출장치의 구성을 나타내는 회로도.1 is a circuit diagram showing a configuration of a conventional voltage level detection device using a charge pumping method.

도 2는 도 1의 전압레벨 검출장치에 따라 각 동작모드에서 발생되는 내부전압의 레벨을 나타내는 그래프.2 is a graph showing the level of the internal voltage generated in each operation mode according to the voltage level detection device of FIG.

도 3은 본 발명에 따른 내부전압 발생장치의 구성을 나타내는 블럭도.3 is a block diagram showing a configuration of an internal voltage generator according to the present invention;

도 4는 도 3에서 본 발명의 제 1 실시예에 따른 전압레벨 검출부의 구성을 보다 상세하게 나타낸 회로도.FIG. 4 is a circuit diagram illustrating in detail the configuration of the voltage level detector according to the first embodiment of the present invention.

도 5는 도 3에서 오실레이터의 구성을 보다 상세하게 나타낸 회로도.FIG. 5 is a circuit diagram showing the configuration of the oscillator in FIG. 3 in more detail. FIG.

도 6은 도 3에서 펌핑 제어부의 구성을 보다 상세하게 나타낸 회로도.FIG. 6 is a circuit diagram illustrating in detail the configuration of the pumping controller in FIG. 3. FIG.

도 7은 도 3에서 펌핑부의 구성을 보다 상세하게 나타낸 회로도.7 is a circuit diagram showing in more detail the configuration of the pumping unit in FIG.

도 8는 본 발명의 내부전압 발생장치에서 발생되는 각 신호들을 나타내는 파형도.Figure 8 is a waveform diagram showing each signal generated in the internal voltage generator of the present invention.

도 9는 본 발명의 전압레벨 검출장치에 따라 각 동작모드에서 발생되는 내부전압의 레벨을 나타내는 그래프.9 is a graph showing the level of the internal voltage generated in each operation mode according to the voltage level detection device of the present invention.

도 10은 3에서 본 발명의 제 2 실시예에 따른 전압레벨 검출부의 구성을 보 다 상세하게 나타낸 회로도.10 is a circuit diagram showing in more detail the configuration of the voltage level detecting unit according to the second embodiment of the present invention at 3;

본 발명은 전압레벨 검출장치 및 그를 이용한 내부전압 발생 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 차지(charge) 펌핑(pumping) 방식을 이용하는 전압 발생장치에서 노말(normal) 레벨에서의 퓨즈 트리밍(trimming)을 위해 퓨즈를 절단 후에도 번인 테스트(burn in test)시 번인 레벨에 영향을 주지 않는 전압레벨 검출장치 및 그 검출장치를 이용한 내부전압 발생장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a voltage level detection device and an internal voltage generation device using the same, and more particularly, to trim a fuse at a normal level in a voltage generation device using a charge pumping method. The present invention relates to a voltage level detection device which does not affect the burn-in level during a burn in test even after the fuse is cut, and an internal voltage generator using the detection device.

DRAM은 외부에서 인가되는 외부전압(VDD, VREF, VSS) 이외에도 내부동작을 위한 전압레벨을 만들어주는 내부전압 발생장치를 가지고 있다. 내부전압 발생장치에서는 크게 외부전압(VDD)를 그대로 다운시켜 변환하는 방식과 차지 펌핑을 하는 두 가지 방식이 이용되고 있다. 여기에서, 전자의 경우는 기준전압을 만든 후 이를 커런트미러(current mirror)를 이용하여 원하는 레벨의 내부전압을 만드는 방식이며, 후자의 경우는 차지 펌프를 이용하여 외부전압(VDD)에 정공(hole)을 공급하거나(VPP), 외부전압(VSS)에 전자를 공급하여(VBB, VBBW) 내부전압을 만드는 방식이다.In addition to the external voltages (V DD , V REF , V SS ) applied to the DRAM, the DRAM has an internal voltage generator that creates a voltage level for internal operation. In the internal voltage generator, two methods of converting the external voltage V DD down as it is and a charge pumping are used. Here, in the former case, a reference voltage is made and then a current mirror is used to make an internal voltage of a desired level. In the latter case, a hole pump is applied to an external voltage (V DD ) using a charge pump. It is a method of making an internal voltage by supplying holes (V PP ) or by supplying electrons to an external voltage (V SS ) (V BB , V BBW ).

도 1은 차지 펌핑 방식을 사용하는 종래 전압레벨 검출장치의 구성을 나타내는 회로도이다.1 is a circuit diagram showing the configuration of a conventional voltage level detecting device using a charge pumping method.

종래의 전압레벨 검출장치는 저항 R1 ∼ R6, 퓨즈 FS1 ∼ FS4 및 차동 증폭 기(1)를 구비하여 펌핑전압(VPP)이 타겟레벨(Target level)인지를 감지한다. 이때, 저항 R1 ∼ R6은 펌핑전압(VPP)과 접지전압 사이에 직렬 연결되어 펌핑전압(VPP)을 분배하여 출력한다. 퓨즈 FS1 ∼ FS4는 각각 저항 R2 ∼ R5에 병렬 연결되며, 소자 공정상의 이유로 타겟레벨이 나오지 않는 경우 웨이퍼 레벨에서 선택적으로 절단됨으로써 그 레벨을 트리밍(trimming) 시켜 전압분배를 조절한다. 그리고, 차동 증폭기(1)는 PMOS트랜지스터 P1, P2, NMOS트랜지스터 N1, N2, N3 및 인버터 IV1를 구비하며, PMOS트랜지스터 P1, P2가 커런트미러를 구성한다. 차동 증폭기(1)는 저항 R1 ∼ R6 및 퓨즈 FS1 ∼ FS4에 의해 분배되어 출력되는 신호와 기준전압(VREF)을 비교하고 그 비교값을 이 증폭한 후 증폭된 신호를 인버터 IV1를 이용해 반전시켜 출력함으로써 펌핑 시작을 알리는 펌핑인에이블신호 Vppe를 출력한다.The conventional voltage level detecting device includes resistors R1 to R6, fuses FS1 to FS4, and a differential amplifier 1 to detect whether the pumping voltage V PP is a target level. At this time, the resistors R1 to R6 are connected in series between the pumping voltage V PP and the ground voltage to distribute the pumping voltage V PP . The fuses FS1 to FS4 are connected in parallel to the resistors R2 to R5, respectively, and if the target level does not come out due to the device process, it is selectively cut at the wafer level to trim the level to adjust the voltage distribution. The differential amplifier 1 includes PMOS transistors P1, P2, NMOS transistors N1, N2, N3, and inverter IV1, and the PMOS transistors P1, P2 constitute a current mirror. The differential amplifier 1 compares the signal distributed by the resistors R1 to R6 and the fuses FS1 to FS4 with the reference voltage V REF , amplifies the comparison value, and inverts the amplified signal using the inverter IV1. By outputting the pumping enable signal Vppe indicating the start of pumping.

이러한 전압레벨 검출장치에서, 퓨즈 트리밍 이전에는 퓨즈 FS1 ∼ FS4에 의해 저항 R2 ∼ R5가 쇼트되어 펌핑전압(VPP)은 저항 R1과 저항 R6에 의해 분배되어 출력된다. 즉, 퓨즈 트리밍 이전에 NMOS트랜지스터 N1의 게이트로 인가되는 전압의 크기는 VPP*{R6/(R1+R6)}가 된다. 그러나, 공정상의 이유로 펌핑전압 레벨이 낮아지거나 높아지면 퓨즈 트리밍을 위해 퓨즈 FS1 ∼ FS4를 선택적으로 절단(cutting)하여 펌핑전압 레벨을 노말 레벨의 타겟레벨로 맞춘다. 예컨대, 퓨즈 트리밍에 의해 퓨즈 FS1가 절단되면 NMOS트랜지스터 N1의 게이트로 인가되는 전압의 크기는 VPP*{R6/(R1+R2+R6)}로 낮아지며, 반대로 퓨즈 FS4가 절단되면 그 크기는 VPP*{(R5+R6)/(R1+R5+R6)}로 높아지므로, 이러한 퓨즈 트리밍을 통해 전압레벨을 맞추게 된다.In such a voltage level detecting device, before the fuse trimming, the resistors R2 to R5 are shorted by the fuses FS1 to FS4 so that the pumping voltage VPP is divided and output by the resistor R1 and the resistor R6. That is, the magnitude of the voltage applied to the gate of the NMOS transistor N1 before the trimming of the fuse becomes V PP * {R 6 / (R 1 + R 6)}. However, if the pumping voltage level is lowered or raised for processing reasons, the fuses FS1 to FS4 are selectively cut for the trimming of the fuse to adjust the pumping voltage level to the target level of the normal level. For example, when fuse FS1 is cut by fuse trimming, the voltage applied to the gate of NMOS transistor N1 is lowered to V PP * {R6 / (R1 + R2 + R6)}. PP * {(R5 + R6) / (R1 + R5 + R6)} increases, so this fuse trims the voltage level.

그런데, 도 1과 같은 종래의 전압레벨 검출장치는 펌핑전압(VPP)의 노말 레벨의 타겟을 맞추기 위해 퓨즈 트리밍을 수행하는 경우, 번인 테스트시 그 타겟이 변하게 되어 테스트의 신뢰도를 떨어뜨리는 문제를 발생시킨다.However, in the conventional voltage level detecting apparatus as shown in FIG. 1, when the fuse trimming is performed to match the normal level target of the pumping voltage V PP , the target is changed during the burn-in test to reduce the reliability of the test. Generate.

즉, 도 2에서와 같이, 노말 모드(Normal mode)시에서는 내부전압(Vint)의 레벨이 평탄하게 동작하므로 동작영역에서 퓨즈 트리밍을 통해 펌핑전압(VPP_after)의 레벨을 타겟레벨(VPP_target)로 안정적으로 맞출 수 있으나, 번인 모드(Burn In mode)에는 노말 모드에서와 달리 내부전압(Vint)이 지속적으로 상승하게 되므로 퓨즈 트리밍 전후의 전압레벨(Vpp_before, Vpp_after)이 높은 외부전압 영역에서 많이 달라지게 되어 테스트의 신뢰도를 떨어뜨리게 된다.That is, as in the second, normal mode (Normal mode) when the operating flat level of the internal voltage (Vint), so the target level of the pumping voltage (V PP _after) through a fuse trimming in the operating area level (V PP _target), but in burn-in mode, unlike the normal mode, the internal voltage (Vint) continuously increases, so in the external voltage range where the voltage level (Vpp_before, Vpp_after) before and after fuse trimming is high. It will change a lot and make the test less reliable.

따라서, 상술된 문제를 해결하기 위한 본 발명의 목적은 전압레벨 검출장치의 회로구조를 개선하여 번인 테스트 시에도 내부전압을 안정화시킴으로써 노말 레벨을 위한 퓨즈 트리밍 후에도 신뢰성있는 테스트를 수행할 수 있도록 하는데 있다.Accordingly, an object of the present invention to solve the above-described problem is to improve the circuit structure of the voltage level detection device to stabilize the internal voltage even during burn-in test so that a reliable test can be performed even after fuse trimming for the normal level. .

위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 전압레벨 검출장치는 퓨즈 트리밍 및 저항의 크기에 따라 펌핑전압을 일정 비율로 분배하여 출력하는 전압 분배 부; 번인 테스트 시작신호에 따라 상기 전압 분배부의 전압 분배 비율을 조절하여 그 출력전압의 크기를 조절하는 분배 조절부; 및 상기 전압 분배부의 출력전압을 기 설정된 기준전압과 비교하여 그 전압차를 증폭함으로써 상기 펌핑전압의 펌핑여부를 결정하는 펌핑인에이블신호를 출력하는 차동 증폭기를 구비한다.The voltage level detection device of the present invention for achieving the above object is a voltage divider for outputting by dividing the pumping voltage in a predetermined ratio according to the size of the fuse trimming and the resistance; A distribution controller for adjusting a voltage distribution ratio of the voltage divider according to a burn-in test start signal to adjust a magnitude of the output voltage; And a differential amplifier outputting a pumping enable signal for determining whether the pumping voltage is pumped by comparing the output voltage of the voltage divider with a preset reference voltage and amplifying the voltage difference.

본 발명의 내부전압 발생장치는 번인 테스트 시작신호를 이용하여 동작모드에 따라 서로 다른 전압분배비율로 펌핑전압의 레벨을 감지하여 그 감지결과에 따라 펌핑인에이블신호를 출력하는 전압레벨 검출부; 상기 펌핑인에이블신호가 활성화시, 일정 주기의 오실레이션신호를 생성하여 출력하는 오실레이터; 상기 오실레이션신호를 신호처리하여 상기 펌핑전압의 펌핑을 제어하기 위한 펌핑제어신호를 생성하여 출력하는 펌핑 제어부; 및 상기 펌핑제어신호에 따라 전하의 차지(charge)와 디스차지(discharge)를 반복하면서 외부전압을 증폭하여 상기 펌핑전압을 생성하여 출력하는 펌핑부를 구비한다.The internal voltage generator of the present invention includes: a voltage level detection unit for detecting a level of a pumping voltage at different voltage distribution ratios according to an operation mode by using a burn-in test start signal and outputting a pumping enable signal according to the detection result; An oscillator for generating and outputting an oscillation signal of a predetermined period when the pumping enable signal is activated; A pumping controller configured to signal-process the oscillation signal to generate and output a pumping control signal for controlling pumping of the pumping voltage; And a pumping unit configured to generate and output the pumping voltage by amplifying an external voltage while repeating charge and discharge of electric charges according to the pumping control signal.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail preferred embodiments of the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 내부전압 발생장치의 구성을 나타내는 구성도이다.3 is a configuration diagram showing a configuration of an internal voltage generator according to the present invention.

본 발명의 내부전압 발생장치는 전압레벨 검출부(10), 오실레이터(20), 펌핑 제어부(30) 및 펌핑부(40)를 구비한다.The internal voltage generator of the present invention includes a voltage level detector 10, an oscillator 20, a pumping controller 30, and a pumping unit 40.

전압레벨 검출부(10)는 번인 테스트 시작신호(tm_bi)를 이용하여 동작모드(노말 모드 또는 번인 모드)에 따라 펌핑부(40)의 출력전압인 펌핑전압(VPP)을 서로 다른 비율로 분배하며, 분배된 전압과 기준전압을 비교하고 그 전압차를 증폭하여 펌핑인에이블신호(Vppe)를 출력함으로써 펌핑전압(VPP)이 기 설정된 타겟레벨(Target level)에 도달했는지를 감지한다. 즉, 전압레벨 검출부(10)는 번인 테스트 시작신호(tm_bi)가 비활성화되는 노말 모드 시에는 퓨즈 트리밍에 따라 펌핑전압(VPP)을 분배하고, 번인 테스트 시작신호(tm_bi)가 활성화되는 번인 모드 시에는 퓨즈 트리밍과 상관없이 기 설정된 일정 비율로 펌핑전압(VPP)을 분배한다. 그리고, 전압레벨 검출부(10)는 분배된 전압을 기준전압과 비교하여 그 전압차를 증폭하여 펌핑인에이블신호(Vppe)를 생성하여 출력한다.The voltage level detecting unit 10 distributes the pumping voltage V PP , which is the output voltage of the pumping unit 40, in different ratios according to an operation mode (normal mode or burn-in mode) by using the burn-in test start signal tm_bi. By comparing the divided voltage with the reference voltage and amplifying the voltage difference, the pumping enable signal Vppe is output to detect whether the pumping voltage V PP has reached a predetermined target level. That is, the voltage level detector 10 distributes the pumping voltage V PP according to the fuse trimming in the normal mode in which the burn-in test start signal tm_bi is deactivated, and in the burn-in mode in which the burn-in test start signal tm_bi is activated. The pumping voltage (V PP ) is distributed at a predetermined ratio regardless of fuse trimming. The voltage level detector 10 compares the divided voltage with a reference voltage, amplifies the voltage difference, and generates and outputs a pumping enable signal Vppe.

오실레이터(20)는 전압레벨 검출부(10)로부터 펌핑인에이블신호(Vppe)를 인가받으며, 펌핑인에이블신호(Vppe)의 활성화시 일정 주기의 오실레이션신호(osc)를 생성하여 출력한다.The oscillator 20 receives the pumping enable signal Vppe from the voltage level detector 10, and generates and outputs an oscillation signal osc of a predetermined period when the pumping enable signal Vppe is activated.

펌핑 제어부(30)는 오실레이터(20)로부터 오실레이션신호(osc)를 인가받으며, 오실레이션신호(osc)를 신호처리하여 펌핑을 제어하기 위한 펌핑제어신호(p1, p2, g1, g2)를 생성하여 출력한다. 즉, 펌핑 제어부(30)는 오실레이션신호(osc)의 펄스 주기 및 위상을 변경시켜 펌핑제어신호(p1, p2, g1, g2)를 생성한다.The pumping control unit 30 receives the oscillation signal osc from the oscillator 20, and processes the oscillation signal osc to generate pumping control signals p1, p2, g1, and g2 for controlling pumping. To print. That is, the pumping controller 30 generates the pumping control signals p1, p2, g1, and g2 by changing the pulse period and the phase of the oscillation signal osc.

펌핑부(40)는 펌핑제어신호(p1, p2, g1, g2)에 따라 전하의 차지(charge)와 디스차지(discharge)를 반복하면서 외부전압(VDD)을 증폭하여 펌핑전압(VPP)를 생성하여 출력한다. 펌핑부(40)에서 출력되는 펌핑전압(VPP)은 전압레벨 검출부(10)로 피드백된다.The pumping unit 40 amplifies the external voltage V DD while repeating the charge and discharge of the charge according to the pumping control signals p1, p2, g1, and g2 to pump the voltage VPP . Create and print The pumping voltage V PP output from the pumping unit 40 is fed back to the voltage level detecting unit 10.

도 4는 도 3에서 본 발명의 제 1 실시예에 따른 전압레벨 검출부(10)의 구성을 보다 상세하게 나타낸 회로도이다. 이하, 도 4에서 도 1과 동일한 기능을 수행하는 구성요소들에 대해 도 1과 동일한 참조번호를 부여하였다.4 is a circuit diagram illustrating in detail the configuration of the voltage level detector 10 according to the first embodiment of the present invention. Hereinafter, the same reference numerals as those of FIG. 1 are given to elements that perform the same functions as those of FIG. 1 in FIG. 4.

전압레벨 검출부(10)는 전압 분배부(12), 분배 조절부(14) 및 차동 증폭부(16)를 구비한다.The voltage level detector 10 includes a voltage divider 12, a divide controller 14, and a differential amplifier 16.

전압 분배부(12)는 퓨즈 트리밍 및 저항의 크기에 따라 펌핑전압(VPP)을 일정 비율로 분배하여 출력한다. 이러한 전압 분배부(12)는 펌핑전압(VPP)과 접지전압(VSS) 사이에 직렬 연결되는 저항 R1 ∼ R6, 및 저항 R2 ∼ R5(트리밍 대상 저항)에 각각 병렬로 연결되는 퓨즈 FS1 ∼ FS4를 구비한다.The voltage divider 12 divides and outputs the pumping voltage V PP at a predetermined ratio according to the fuse trimming and the size of the resistor. The voltage divider 12 includes fuses FS1 ˜ 1 that are connected in parallel to resistors R 1 to R 6 and resistors R 2 to R 5 (trimming resistance) which are connected in series between the pumping voltage V PP and the ground voltage V SS . With FS4.

분배 조절부(14)는 번인 테스트 시작신호(tm_bi)에 따라 전압 분배부(12)의 전압 분배 비율을 조절하여 펌핑인에이블신호(Vppe)의 크기를 동작모드에 따라 조절한다. 이러한 분배 조절부(14)는 노드 A 와 노드 C 사이에 연결되며 게이트로 번인 테스트 시작신호(tm_bi)를 인가받는 NMOS트랜지스터 N4 및 노드 C 와 노드 B 사이에 연결되며 게이트로 번인 테스트 시작신호(tm_bi)를 인가받는 NMOS트랜지스터 N5를 구비한다. 즉, 분배 조절부(14)는 번인 테스트가 수행되어 번인 테스트 시작신호(tm_bi)가 하이로 인에이블되면, 직렬 연결된 두 그룹의 저항 R2와 R3(제 1 트리밍 대상 저항 그룹) 및 R4와 R5(제 2 트리밍 대상 저항 그룹)에 대해 각각 병렬 연결된 NMOS트랜지스터 N4, N5를 온시켜 노드 A와 노드 B 사이 및 노드 B와 노드 C 사이를 각각 직접 연결시켜준다. 이로써, 퓨즈 트리밍에 의해 절단된 퓨즈들이 전압 분배부(12)의 출력전압에 영향을 주지 못하도록 한다. 반대로, 분배 조절부(14)는 노말 모드시 번인 테스트 시작신호(tm_bi)가 로우로 디스에이블되면, NMOS트랜지스터 N4, N5를 오프시킴으로써, 퓨즈 트리밍에 따라 전압 분배부(12)의 출력전압이 결정되도록 해준다.The distribution controller 14 adjusts the voltage distribution ratio of the voltage divider 12 according to the burn-in test start signal tm_bi to adjust the magnitude of the pumping enable signal Vppe according to the operation mode. The distribution controller 14 is connected between the node A and the node C, and is connected between the NMOS transistor N4 and the node C and the node B, which receives the gated test start signal tm_bi, and the gated test start signal tm_bi. NMOS transistor N5 is applied. That is, when the burn-in test is performed and the burn-in test start signal tm_bi is enabled high, the distribution adjusting unit 14 performs two groups of resistors R2 and R3 (first trimming target resistance group) and R4 and R5 ( The NMOS transistors N4 and N5 connected in parallel to the second trimming target resistance group) are turned on to directly connect the nodes A and B and between the nodes B and C, respectively. As a result, the fuses cut by the fuse trimming may not affect the output voltage of the voltage divider 12. On the contrary, when the burn-in test start signal tm_bi in the normal mode is disabled, the distribution controller 14 turns off the NMOS transistors N4 and N5 to determine the output voltage of the voltage divider 12 according to the fuse trimming. To make it possible.

차동 증폭부(16)는 전압 분배부(12)의 출력전압을 기준전압(Vref)과 비교하여 그 전압차를 증폭함으로써 펌핑인에이블신호(Vppe)를 출력한다. 이러한 차동 증폭부(16)는 PMOS 트랜지스터 P1, P2, NMOS트랜지스터 N1 ∼ N3 및 인버터 IV1을 구비한다. PMOS트랜지스터 P1, P2는 커런트미러를 형성하며, NMOS트랜지스터 N1, N2는 커런트미러와 NMOS트랜지스터 N3 사이에 연결되며 각각 전압 분배부(12)의 출력전압 및 기준전압(Vref)을 게이트로 인가받는다. NMOS트랜지스터 N3는 NMOS트랜지스터 N1, N2 와 접지전압 사이에 연결되며, 게이트로 펌핑액티브신호(VPP_act)를 인가받아 차동 증폭기(16)를 선택적으로 활성화시킨다. 인버터 IV1은 NMOS트랜지스터 N1, N2에 의해 증폭된 신호를 반전시켜 펌핑인에이블신호(Vppe)를 출력한다.The differential amplifier 16 outputs the pumping enable signal Vppe by comparing the output voltage of the voltage divider 12 with the reference voltage V ref and amplifying the voltage difference. The differential amplifier 16 includes PMOS transistors P1, P2, NMOS transistors N1 to N3, and inverter IV1. The PMOS transistors P1 and P2 form a current mirror, and the NMOS transistors N1 and N2 are connected between the current mirror and the NMOS transistor N3 and receive the output voltage and the reference voltage V ref of the voltage divider 12 as gates, respectively. . The NMOS transistor N3 is connected between the NMOS transistors N1 and N2 and the ground voltage and selectively activates the differential amplifier 16 by receiving a pumping active signal V PP _act to the gate. The inverter IV1 inverts the signals amplified by the NMOS transistors N1 and N2 and outputs a pumping enable signal Vppe.

도 5는 도 3에서 오실레이터(20)의 구성을 보다 상세하게 나타낸 회로도이다.FIG. 5 is a circuit diagram illustrating in detail the configuration of the oscillator 20 in FIG. 3.

오실레이터(20)는 도 8에서와 같이 펌핑인에이블신호(Vppe)가 하이로 활성화되는 동안 일정한 펄스폭을 갖는 펄스신호(osc)를 발생시켜 출력한다. 이러한 오실레이터(20)는 낸드게이트 ND1 및 인버터 IV2 ∼ IV7를 구비한다. 낸드게이트 ND1 는 펌핑인에이블신호(Vppe) 및 인버터 IV5 ∼ IV7를 통해 반전 지연되어 피드백되는 오실레이션신호(osc)를 낸드연산하여 출력한다. 인버터 IV2 ∼ IV4는 낸드게이트 ND1의 출력단과 오실레이터(20)의 출력단 사이에 직렬 연결되며, 인버터 IV5 ∼ IV7는 오실레이터(20)의 출력단과 낸드게이트 ND1의 한 입력단 사이에 직렬 연결된다.The oscillator 20 generates and outputs a pulse signal osc having a constant pulse width while the pumping enable signal VPp is activated as shown in FIG. 8. This oscillator 20 includes a NAND gate ND1 and inverters IV2 to IV7. The NAND gate ND1 performs a NAND operation on the oscillation signal osc fed back by being delayed inverted through the pumping enable signal Vppe and the inverters IV5 to IV7. Inverters IV2 to IV4 are connected in series between the output terminal of NAND gate ND1 and the output terminal of oscillator 20, and inverters IV5 to IV7 are connected in series between the output terminal of oscillator 20 and one input terminal of NAND gate ND1.

도 6은 도 3에서 펌핑 제어부(30)의 구성을 보다 상세하게 나타낸 회로도이다.FIG. 6 is a circuit diagram illustrating in detail the configuration of the pumping controller 30 in FIG. 3.

펌핑 제어부(30)는 수신된 오실레이션신호(osc)의 펄스 주기와 위상을 변경시켜 펌핑 제어를 위한 펌핑제어신호(p1, p2, g1, g2)를 생성한다. 이러한 펌핑 제어부(30)는 인버터 IV8 ∼ IV15 및 낸드게이트 ND2, ND3를 구비한다. 인버터 IV8, IV9는 직렬 연결되며 오실레이션신호(osc)를 비반전 지연시켜 낸드게이트 ND2, ND3의 일 입력단으로 출력한다. 인버터 IV10, IV11은 직렬 연결되며 오실레이션신호(osc)를 비반전 지연시켜 펌핑제어신호(p1)를 출력한다. 인버터 IV13은 펌핑제어신호(p1)을 반전시켜 펌핑제어신호(p2)를 출력한다. 낸드게이트 ND2, ND3는 오실레이션신호(osc)와 인버터 IV8, IV9에 의해 지연된 오실레이션신호를 낸드연산하여 출력한다. 인버터 IV12, IV14는 낸드게이트 ND2의 출력단에 직렬 연결되어 펌핑제어신호(g1)를 출력한다. 인버터 IV15는 낸드게이트 ND3의 출력단에 연결되어 펌핑제어신호(g2)를 출력한다. 오실레이션신호(osc)와 펌핑제어신호(p1, p2, g1, g2)의 관계는 도 8에 도시되어 있다.The pumping controller 30 generates the pumping control signals p1, p2, g1, and g2 for the pumping control by changing the pulse period and the phase of the received oscillation signal osc. The pumping control unit 30 includes inverters IV8 to IV15 and NAND gates ND2 and ND3. The inverters IV8 and IV9 are connected in series and output the oscillation signal osc to one input terminal of the NAND gates ND2 and ND3 by non-inverting delay. The inverters IV10 and IV11 are connected in series and output the pumping control signal p1 by non-inverting the oscillation signal osc. The inverter IV13 inverts the pumping control signal p1 and outputs the pumping control signal p2. The NAND gates ND2 and ND3 perform NAND operations on the oscillation signals osc and the oscillation signals delayed by the inverters IV8 and IV9. Inverters IV12 and IV14 are connected in series with the output terminal of the NAND gate ND2 to output the pumping control signal g1. The inverter IV15 is connected to the output terminal of the NAND gate ND3 and outputs a pumping control signal g2. The relationship between the oscillation signal osc and the pumping control signals p1, p2, g1, g2 is shown in FIG. 8.

도 7은 도 3에서 펌핑부(40)의 구성을 보다 상세하게 나타낸 회로도이다.FIG. 7 is a circuit diagram illustrating in detail the configuration of the pumping unit 40 in FIG. 3.

펌핑부(40)는 펌핑제어신호(p1, g1)와 펌핑제어신호(p2, g2)가 각각 쌍을 이루며 전하의 차지(charge)와 디스차지(discharge)를 반복하면서 외부공급전원(VDD)를 증폭하여 펌핑전압(VPP)을 생성하는 증폭기의 형태로 구성된다. 이러한 펌핑부(40)는 각각 드레인과 소오스가 펌핑제어신호(p1, p2, g1, g2)와 공통 연결되며 게이트가 노드 D ∼ G에 연결되는 NMOS캐패시터 N6 ∼ N9, 노드 D와 외부전압(VDD) 사이에 연결되며 게이트가 각각 노드 D 및 외부전압(VDD)에 연결되는 NMOS트랜지스터 N10과 N11, 노드 E와 외부전압(VDD) 사이에 연결되며 게이트가 각각 노드 E 및 외부공급전원(VDD)에 연결되는 NMOS트랜지스터 N12과 N13, 노드 F 또는 G와 외부전압(VDD) 사이에 연결되며 게이트가 각각 노드 D와 노드 E와 연결되는 NMOS트랜지스터 N14와 N15, 외부전압(VDD)과 펌핑전압(VPP)단 사이에 연결되며 게이트가 외부전압(VDD)에 연결되는 NMOS트랜지스터 N16, 및 래치형태로 펌핑전압(VPP)단과 노드 F와 G 사이에 연결되는 PMOS트랜지스터 P3와 P4를 구비한다.The pumping unit 40 has a pair of pumping control signals p1 and g1 and pumping control signals p2 and g2, respectively, and repeats charge and discharge of an external power supply V DD . It is configured in the form of an amplifier to amplify and generate a pumping voltage (V PP ). The pumping unit 40 has NMOS capacitors N6 to N9, a node D and an external voltage (V) having a drain and a source connected in common with the pumping control signals p1, p2, g1, and g2, respectively, and whose gates are connected to the nodes D to G. DD ), which is connected between NMOS transistors N10 and N11, which are connected to node D and external voltage (V DD ), and node E and external voltage (V DD ), respectively. NMOS transistors N12 and N13 connected to V DD ), between the node F or G and the external voltage (V DD ), and NMOS transistors N14 and N15 connected to the node D and node E, respectively, and the external voltage (V DD ). And NMOS transistor N16 connected between the pumping voltage (V PP ) terminal and the gate connected to the external voltage (V DD ), and PMOS transistor P3 connected between the pumping voltage (V PP ) terminal and nodes F and G in a latch form. P4 is provided.

상술된 구성을 갖는 본 발명에 따른 내부전압 발생장치의 동작을 간략하게 설명한다.The operation of the internal voltage generator according to the present invention having the above-described configuration will be briefly described.

노말 모드시, 도 9에서와 같이 펌핑전압(VPP_before)이 타겟레벨(VPP_target) 보다 작은 경우 퓨즈 트리밍을 수행하여 그 전압레벨(VPP_after)을 타겟레벨에 맞춘다.In the normal mode, when the pumping voltage V PP _before is smaller than the target level VPP_target as shown in FIG. 9, fuse trimming is performed to adjust the voltage level V PP _after to the target level.

이를 위해, 퓨즈 FS3를 절단함으로써 전압 분배부(12)의 출력전압은 VPP*{(R4+R6)/(R1+R4+R6)}으로 그 레벨이 높아진다.For this purpose, by cutting the fuse FS3, the output voltage of the voltage divider 12 is raised to V PP * {(R4 + R6) / (R1 + R4 + R6)}.

전압 분배부(12)의 출력전압은 NMOS트랜지스터 N1의 게이트로 인가되며, 펌핑액티브신호(VPP_act)가 하이로 활성화된 상태에서, 차동 증폭부(16)는 전압 분배부(12)의 출력전압과 기준전압(VREFC)을 비교하여 그 전압차가 증폭함으로써 펌핑인에이블신호(Vppe)를 오실레이터(20)로 출력한다. 이때, 기준전압(VREFC)이 전압 분배부(12)의 출력전압 보다 큰 경우, 펌핑인에이블신호(Vppe)는 하이로 활성화되어 출력된다.The output voltage of the voltage divider 12 is applied to the gate of the NMOS transistor N1, and the differential amplifier 16 outputs the voltage divider 12 while the pumping active signal V PP _act is activated high. The voltage and the reference voltage V REFC are compared and the voltage difference is amplified to output the pumping enable signal Vppe to the oscillator 20. At this time, when the reference voltage V REFC is greater than the output voltage of the voltage divider 12, the pumping enable signal Vppe is activated and output as high.

펌핑인에이블신호(Vppe)가 하이로 활성화되어 오실레이터(20)의 NMOS트랜지스터 ND1의 한 입력단자로 인가되면, NMOS트랜지스터 ND1는 다른 입력단자로 인가되는 신호 즉 지연 반전된 오실레이션신호(osc)에 따라 일정 펄스폭을 갖는 펄스신호를 출력하며, 그 펄스신호는 다시 반전지연되어 오실레이션신호(osc)로 출력된다.When the pumping enable signal VPp is activated high and applied to one input terminal of the NMOS transistor ND1 of the oscillator 20, the NMOS transistor ND1 is applied to a signal applied to another input terminal, that is, a delay inverted oscillation signal osc. Accordingly, a pulse signal having a predetermined pulse width is output, and the pulse signal is inversely delayed again and output as an oscillation signal osc.

펌핑 제어부(30)는 오실레이터(20)로부터 인가되는 오실레이션신호(osc)를 신호처리하여 도 8에서와 같은 형태의 4개의 펌핑제어신호(p1, p2, g1, g2)를 생성하여 펌핑부(40)로 출력한다.The pumping controller 30 processes the oscillation signal osc applied from the oscillator 20 to generate four pumping control signals p1, p2, g1, and g2 as shown in FIG. 8 to generate a pumping unit ( 40).

펌핑부(40)는 펌핑제어신호(p1, p2, g1, g2)에 따라 외부전압(VDD)을 펌핑하여 펌핑전압(VPP)으로 출력한다. 이러한 펌핑부(40)의 동작을 설명하면, 먼저 VDD 레벨의 하이 레벨의 펌핑제어신호(g1)가 NMOS캐패시터 N8에 인가되면 NMOS트랜지스터 N14가 온되어 노드 F가 외부전압(VDD) 레벨로 프리차지 된다. 이때, PMOS 트랜지스터 P3는 펌핑제어신호(p2)에 의해 오프상태로 유지된다. 다음에, 노드 F의 전압이 외부전압(VDD) 레벨로 프리차지된 상태에서 펌핑제어신호(p1)가 하이로 활성화되면, 노드 F의 전압은 " 2VDD" 로 상승한다.The pumping unit 40 pumps the external voltage V DD according to the pumping control signals p1, p2, g1, and g2 and outputs the pumped voltage V PP . Referring to the operation of the pumping unit 40, first, when the high level pumping control signal g1 of the V DD level is applied to the NMOS capacitor N8, the NMOS transistor N14 is turned on so that the node F is turned to the external voltage V DD level. Precharged. At this time, the PMOS transistor P3 is kept off by the pumping control signal p2. Next, when the pumping control signal p1 is activated high while the voltage of the node F is precharged to the external voltage V DD level, the voltage of the node F rises to " 2V DD ".

이때, 로우레벨의 펌핑제어신호(p2)가 NMOS캐패시터 N7에 인가되면, PMOS트랜지스터 P3가 온되어 펌핑전압단과 노드 F의 전하분배(charge sharing)에 의하여 펌핑전압단의 전위가 올라가게 된다.At this time, when the low level pumping control signal p2 is applied to the NMOS capacitor N7, the PMOS transistor P3 is turned on to increase the potential of the pumping voltage terminal due to the charge sharing between the pumping voltage terminal and the node F.

동일한 방식으로 펌핑제어신호(g2)가 하이레벨로 NMOS캐패시터 N9에 인가되면 NMOS트랜지스터 N15가 온되어 노드 G가 외부전압(VDD) 레벨로 프리차지 된다. 다음에, 펌핑제어신호(p2)가 하이레벨로 인가되면 노드 G의 전압은 NMOS캐패시터 N7에 의해 "2VDD" 까지 상승하게 되며, 이때 펌핑클럭신호(p1)가 로우레벨로 인가되어 PMOS트랜지스터 P4가 턴온되면, 펌핑전압단과 노드 G의 전하분배에 의해 펌핑전압단의 전압이 상승하게 된다. 펌핑부(40)는 이러한 동작을 반복하면서 펌핑전압(VPP) 레벨이 타겟레벨에 도달할 때 까지 펌핑 동작을 계속하게 된다.In the same manner, when the pumping control signal g2 is applied to the NMOS capacitor N9 at a high level, the NMOS transistor N15 is turned on so that the node G is precharged to the external voltage V DD level. Next, when the pumping control signal p2 is applied at the high level, the voltage of the node G is raised to "2V DD " by the NMOS capacitor N7, and at this time, the pumping clock signal p1 is applied at the low level so that the PMOS transistor P4 is applied. When is turned on, the voltage of the pumping voltage terminal is increased by the charge distribution between the pumping voltage terminal and the node G. The pumping unit 40 repeats this operation and continues the pumping operation until the pumping voltage V PP level reaches the target level.

번인 테스트 모드시에 있어서, 번인 테스트가 시작되면 그 시작을 알리는 번인 테스트 시작신호(tm_bi)가 활성화된다. 본 발명에서는 이러한 번인 테스트 시작신호(tm_bi)를 이용하여 펌핑전압레벨 감지를 동작모드에 따라 다르게 수행한다. 즉, 본 발명의 내부전압 발생장치는 퓨즈 트리밍이 이루어진 상태에서 번인 테스트 시작신호(tm_bi)를 이용해 동작모드가 노말 모드인 경우와 번인 테스트 모드인 경우를 구분하고 각 동작모드에 따라 전압레벨 감지를 달리한다.In the burn-in test mode, the burn-in test start signal tm_bi indicating the start of the burn-in test is activated. In the present invention, the pumping voltage level detection is differently performed according to the operation mode by using the burn-in test start signal tm_bi. That is, the internal voltage generator according to the present invention distinguishes between the normal mode and the burn-in test mode by using the burn-in test start signal tm_bi in the state of fuse trimming, and detects the voltage level according to each operation mode. Do it differently.

번인 테스트 시작신호(tm_bi)가 활성화되면, NMOS트랜지스터 N4, N5가 온되어 노드 A와 노드 B 사이 그리고 노드 B와 노드 C 사이가 직접 연결되어 펌핑전압(VPP)의 크기는 저항 R1 과 R6에 의해 분배된다. 즉, 퓨즈 절단에 의한 트리밍이 펌핑전압(VPP)의 분배에 영향을 미치지 못하게 된다. 이처럼, 번인 모드 시에는 펌핑전압 레벨 검출에 퓨즈 트리밍이 영향을 주지 않으므로, 도 9에서와 같이 퓨즈 트리밍 수행 전후의 전압(VPP_before, VPP_after)은 동일하게 되어 타겟레벨이 변하지 않게 된다.When the burn-in test start signal (tm_bi) is activated, the NMOS transistors N4 and N5 are turned on so that a direct connection between node A and node B and between node B and node C causes the magnitude of the pumping voltage (V PP ) to be applied to the resistors R1 and R6. Is distributed by In other words, the trimming by cutting the fuse does not affect the distribution of the pumping voltage V PP . Thus, the burn-in mode is because it does not fuse trimming effect on the pumping voltage level detected voltage (V PP _before, V PP _after) before and after the performing fuse trimming as shown in Figure 9 are the same is not the target level change.

이후 검출된 전압을 이용한 오실레이션(20), 펌핑 제어부(30) 및 펌핑부(40)의 동작은 상술된 노말 모드시와 동일하므로 그에 대한 설명은 생략한다.Since the operation of the oscillation 20, the pumping controller 30, and the pumping unit 40 using the detected voltage is the same as in the above-described normal mode, a description thereof will be omitted.

도 10은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 전압레벨 검출부(10)의 구성을 나타내는 회로도이다.10 is a circuit diagram showing the configuration of the voltage level detector 10 according to the second embodiment of the present invention.

도 10의 전압레벨 검출부(10)의 동작은 도 4의 전압레벨 검출부와 동일하며, 단지 노드 A와 노드 C의 전위를 보다 확실하게 전달하기 위해 도 4의 NMOS 트랜지스터 N4, N5 대신에 전송 트랜지스터 TT1, TT2를 이용하였다는 것에서만 차이가 있다.The operation of the voltage level detection unit 10 of FIG. 10 is the same as that of the voltage level detection unit of FIG. 4, and instead of the NMOS transistors N4 and N5 of FIG. 4, the transfer transistor TT1 is used to more reliably transfer the potentials of the nodes A and C. The only difference is that TT2 was used.

즉, 도 10의 분배 조절부(18)는 번인 테스트 시작신호(tm_bi)를 반전시켜 출 력하는 인버터 IV16, IV17, 및 번인 테스트 시작신호(tm_bi)와 인버터 IV16, IV17의 출력신호에 따라 온/오프되는 전송 트랜지스터 TT1, TT2를 구비한다.That is, the distribution controller 18 of FIG. 10 turns on / off according to the inverters IV16 and IV17 outputting the inverted burn-in test start signal tm_bi and the output signals of the burn-in test start signals tm_bi and the inverters IV16 and IV17. Transfer transistors TT1 and TT2 that are turned off.

도 10의 전압레벨 검출부(10)에서 분배 조절부(18) 이외의 구성요소(12, 16)은 그 구성 및 기능이 도 4에서와 동일하므로 동일한 참조부호를 붙였으며, 그 동작 설명은 생략한다.In the voltage level detecting unit 10 of FIG. 10, the components 12 and 16 other than the distribution adjusting unit 18 are denoted by the same reference numerals because their configurations and functions are the same as those of FIG. 4, and the description of the operation is omitted. .

상술한 바와 같이, 본 발명의 전압레벨 검출장치 및 내부전압 발생장치는 노말(normal) 레벨에서의 퓨즈 트리밍(trimming)을 위해 퓨즈를 절단 후에도 번인 모드(burn in test)시 번인 레벨에 영향을 주지 않아 내부전압을 안정화시킴으로써, 수율의 향상에 도움을 주며 테스트 시간을 줄일 수 있도록 해준다.As described above, the voltage level detection device and the internal voltage generator of the present invention do not affect the burn-in level during burn in test even after the fuse is cut for fuse trimming at a normal level. Therefore, by stabilizing the internal voltage, it helps to improve the yield and shorten the test time.

Claims (16)

퓨즈 트리밍 및 저항의 크기에 따라 펌핑전압을 일정 비율로 분배하여 출력하는 전압 분배부;A voltage divider for dividing the pumping voltage at a predetermined ratio according to the size of the fuse trimming and the resistance; 번인 테스트 시작신호에 따라 상기 전압 분배부의 전압 분배 비율을 조절하여 그 출력전압의 크기를 조절하는 분배 조절부; 및A distribution controller for adjusting a voltage distribution ratio of the voltage divider according to a burn-in test start signal to adjust a magnitude of the output voltage; And 상기 전압 분배부의 출력전압을 기 설정된 기준전압과 비교하여 그 전압차를 증폭함으로써 상기 펌핑전압의 펌핑여부를 결정하는 펌핑인에이블신호를 출력하는 차동 증폭기를 구비하는 전압레벨 감지장치.And a differential amplifier for outputting a pumping enable signal for determining whether the pumping voltage is pumped by comparing the output voltage of the voltage divider with a preset reference voltage and amplifying the voltage difference. 제 1항에 있어서, 상기 전압 분배부는The method of claim 1, wherein the voltage divider 상기 펌핑전압과 접지전압 사이에 직렬 연결된 복수개의 저항들; 및A plurality of resistors connected in series between the pumping voltage and the ground voltage; And 상기 복수개의 저항들 중 트리밍 대상 저항들과 각각 병렬되며, 상기 퓨즈 트리밍에 의해 선택적으로 절단되는 복수개의 퓨즈들을 구비하는 것을 특징으로 하는 전압레벨 감지장치.And a plurality of fuses each parallel with the trimming target resistors of the plurality of resistors and selectively cut by the fuse trimming. 제 2항에 있어서, 상기 분배 조절부는The method of claim 2, wherein the distribution control unit 출력노드를 중심으로 상기 펌핑전압 측의 제 1 트리밍 대상 저항 그룹과 병렬 연결되어 상기 번인 테스트 시작신호가 활성화시 상기 제 1 트리밍 대상 저항 그룹의 양단을 직접 전기적으로 연결시키는 제 1 스위칭소자; 및A first switching element connected in parallel with a first trimming target resistor group on the pumping voltage side to directly connect both ends of the first trimming target resistance group when the burn-in test start signal is activated; And 상기 출력노드를 중심으로 상기 펌핑전압 측의 제 2 트리밍 대상 저항 그룹과 병렬 연결되어 상기 번인 테스트 시작신호가 활성화시 상기 제 2 트리밍 대상 저항 그룹의 양단을 직접 전기적으로 연결시키는 제 2 스위칭소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 전압레벨 감지장치.A second switching element connected in parallel with a second trimming target resistance group on the pumping voltage side to directly electrically connect both ends of the second trimming target resistance group when the burn-in test start signal is activated. Voltage level sensing device, characterized in that. 제 3항에 있어서, 상기 제 1 스위칭소자는The method of claim 3, wherein the first switching device 상기 번인 테스트 시작신호에 따라 온오프되는 NMOS트랜지스터인 것을 특징으로 하는 전압레벨 감지장치.And a NMOS transistor turned on and off according to the burn-in test start signal. 제 3항에 있어서, 상기 제 1 스위칭소자는The method of claim 3, wherein the first switching device 상기 번인 테스트 시작신호 및 그 반전신호에 따라 온오프되는 전송 트랜지스터인 것을 특징으로 하는 전압레벨 감지장치.And a transfer transistor turned on and off according to the burn-in test start signal and its inverted signal. 제 4항 또는 제 5항에 있어서, 상기 제 2 스위칭소자는The method of claim 4 or 5, wherein the second switching device 상기 번인 테스트 시작신호에 따라 온오프되는 NMOS트랜지스터인 것을 특징으로 하는 전압레벨 감지장치.And a NMOS transistor turned on and off according to the burn-in test start signal. 제 4항 또는 제 5항에 있어서, 상기 제 2 스위칭소자는The method of claim 4 or 5, wherein the second switching device 상기 번인 테스트 시작신호 및 그 반전신호에 따라 온오프되는 전송 트랜지스터인 것을 특징으로 하는 전압레벨 감지장치.And a transfer transistor turned on and off according to the burn-in test start signal and its inverted signal. 번인 테스트 시작신호를 이용하여 동작모드에 따라 서로 다른 전압분배비율로 펌핑전압의 레벨을 감지하여 그 감지결과에 따라 펌핑인에이블신호를 출력하는 전압레벨 검출부;A voltage level detector for detecting a level of pumping voltage at different voltage distribution ratios according to an operation mode by using a burn-in test start signal, and outputting a pumping enable signal according to the detection result; 상기 펌핑인에이블신호가 활성화시, 일정 주기의 오실레이션신호를 생성하여 출력하는 오실레이터;An oscillator for generating and outputting an oscillation signal of a predetermined period when the pumping enable signal is activated; 상기 오실레이션신호를 신호처리하여 상기 펌핑전압의 펌핑을 제어하기 위한 펌핑제어신호를 생성하여 출력하는 펌핑 제어부; 및A pumping controller configured to signal-process the oscillation signal to generate and output a pumping control signal for controlling pumping of the pumping voltage; And 상기 펌핑제어신호에 따라 전하의 차지(charge)와 디스차지(discharge)를 반복하면서 외부전압을 증폭하여 상기 펌핑전압을 생성하여 출력하는 펌핑부를 구비하는 내부전압 발생장치.And a pumping unit configured to generate and output the pumping voltage by amplifying an external voltage while repeating charge and discharge of electric charges according to the pumping control signal. 제 8항에 있어서, 상기 전압레벨 검출부는The method of claim 8, wherein the voltage level detector 상기 번인 테스트 시작신호가 비활성화시, 기 수행된 퓨즈 트리밍에 따른 전압분배비율에 따라 상기 펌핑전압의 레벨을 감지하며,When the burn-in test start signal is deactivated, the level of the pumping voltage is sensed according to the voltage distribution ratio according to the previously performed fuse trimming. 상기 번인 테스트 시작신호가 활성화시, 상기 퓨즈 트리밍과 무관하게 기 설정된 전압분배비율에 따라 상기 펌핑전압의 레벨을 감지하는 것을 특징으로 하는 내부전압 발생장치.And when the burn-in test start signal is activated, detecting the level of the pumping voltage according to a preset voltage distribution ratio regardless of the fuse trimming. 제 9항에 있어서, 상기 전압레벨 검출부는The method of claim 9, wherein the voltage level detector 상기 퓨즈 트리밍 및 상기 펌핑전압과 접지전압 사이에 직렬 연결된 저항들의 크기에 따라 상기 펌핑전압을 일정 비율로 분배하여 출력하는 전압 분배부;A voltage divider for dividing the pumping voltage at a predetermined ratio according to the fuse trimming and the magnitude of resistors connected in series between the pumping voltage and the ground voltage; 상기 번인 테스트 시작신호에 따라 상기 전압 분배부의 전압분배비율을 조절하여 그 출력전압의 크기를 조절하는 분배 조절부; 및A distribution controller for controlling a voltage distribution ratio of the voltage divider according to the burn-in test start signal to adjust a magnitude of the output voltage; And 상기 전압 분배부의 출력전압을 기 설정된 기준전압과 비교하여 그 전압차를 증폭함으로써 상기 펌핑전압의 펌핑여부를 결정하는 펌핑인에이블신호를 출력하는 차동 증폭기를 구비하는 내부전압 발생장치.And a differential amplifier outputting a pumping enable signal for determining whether the pumping voltage is pumped by comparing the output voltage of the voltage divider with a preset reference voltage and amplifying the voltage difference. 제 10항에 있어서, 상기 전압 분배부는The method of claim 10, wherein the voltage divider 상기 펌핑전압과 상기 접지전압 사이에 직렬 연결된 복수개의 저항들; 및A plurality of resistors connected in series between the pumping voltage and the ground voltage; And 상기 복수개의 저항들 중 트리밍 대상 저항들과 각각 병렬되며, 상기 퓨즈 트리밍에 의해 선택적으로 절단되는 복수개의 퓨즈들을 구비하는 것을 특징으로 하는 내부전압 발생장치.And a plurality of fuses which are respectively parallel with trimming target resistors of the plurality of resistors and selectively cut by the fuse trimming. 제 11항에 있어서, 상기 분배 조절부는The method of claim 11, wherein the distribution control unit 출력노드를 중심으로 상기 펌핑전압 측의 제 1 트리밍 대상 저항 그룹과 병렬 연결되어 상기 번인 테스트 시작신호가 활성화시 상기 제 1 트리밍 대상 저항 그룹의 양단을 직접 전기적으로 연결시키는 제 1 스위칭소자; 및A first switching element connected in parallel with a first trimming target resistor group on the pumping voltage side to directly connect both ends of the first trimming target resistance group when the burn-in test start signal is activated; And 상기 출력노드를 중심으로 상기 펌핑전압 측의 제 2 트리밍 대상 저항 그룹과 병렬 연결되어 상기 번인 테스트 시작신호가 활성화시 상기 제 2 트리밍 대상 저항 그룹의 양단을 직접 전기적으로 연결시키는 제 2 스위칭소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 내부전압 발생장치.A second switching element connected in parallel with a second trimming target resistance group on the pumping voltage side to directly electrically connect both ends of the second trimming target resistance group when the burn-in test start signal is activated. Internal voltage generator, characterized in that. 제 12항에 있어서, 상기 제 1 스위칭소자는The method of claim 12, wherein the first switching device 상기 번인 테스트 시작신호에 따라 온오프되는 NMOS트랜지스터인 것을 특징으로 하는 내부전압 발생장치.And an NMOS transistor turned on and off according to the burn-in test start signal. 제 12항에 있어서, 상기 제 1 스위칭소자는The method of claim 12, wherein the first switching device 상기 번인 테스트 시작신호 및 그 반전신호에 따라 온오프되는 전송 트랜지스터인 것을 특징으로 하는 내부전압 발생장치.And a transfer transistor turned on and off according to the burn-in test start signal and its inverted signal. 제 13항 또는 제 14항에 있어서, 상기 제 2 스위칭소자는The method according to claim 13 or 14, wherein the second switching device 상기 번인 테스트 시작신호에 따라 온오프되는 NMOS트랜지스터인 것을 특징으로 하는 내부전압 발생장치.And an NMOS transistor turned on and off according to the burn-in test start signal. 제 13항 또는 제 14항에 있어서, 상기 제 2 스위칭소자는The method according to claim 13 or 14, wherein the second switching device 상기 번인 테스트 시작신호 및 그 반전신호에 따라 온오프되는 전송 트랜지스터인 것을 특징으로 하는 내부전압 발생장치.And a transfer transistor turned on and off according to the burn-in test start signal and its inverted signal.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100702135B1 (en) * 2006-03-21 2007-03-30 주식회사 하이닉스반도체 Initializing Signal Generating Circuit
KR100889322B1 (en) * 2007-09-12 2009-03-18 주식회사 하이닉스반도체 Internal voltage generating circuit
KR101010947B1 (en) * 2008-12-26 2011-01-25 주식회사 하이닉스반도체 Semiconductor memory device
US8138741B2 (en) 2007-09-13 2012-03-20 Samsung Electronics Co., Ltd. High voltage generator in semiconductor memory
KR101383986B1 (en) * 2009-08-10 2014-04-10 세이코 인스트루 가부시키가이샤 Memory circuit and voltage detection circuit comprising the same
CN109300498A (en) * 2017-07-25 2019-02-01 三星电子株式会社 Non-volatile memory device, its operating method and the storage equipment including it

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107769767B (en) * 2017-10-16 2021-03-09 苏州浪潮智能科技有限公司 Resistance trimming circuit and method

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100535114B1 (en) * 2003-03-28 2005-12-07 주식회사 하이닉스반도체 Apparatus for detecting power up

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100702135B1 (en) * 2006-03-21 2007-03-30 주식회사 하이닉스반도체 Initializing Signal Generating Circuit
KR100889322B1 (en) * 2007-09-12 2009-03-18 주식회사 하이닉스반도체 Internal voltage generating circuit
US8138741B2 (en) 2007-09-13 2012-03-20 Samsung Electronics Co., Ltd. High voltage generator in semiconductor memory
KR101010947B1 (en) * 2008-12-26 2011-01-25 주식회사 하이닉스반도체 Semiconductor memory device
KR101383986B1 (en) * 2009-08-10 2014-04-10 세이코 인스트루 가부시키가이샤 Memory circuit and voltage detection circuit comprising the same
CN109300498A (en) * 2017-07-25 2019-02-01 三星电子株式会社 Non-volatile memory device, its operating method and the storage equipment including it
KR20190011872A (en) * 2017-07-25 2019-02-08 삼성전자주식회사 Nonvolatile memory device, operation method of the same, and storage device including the same
CN109300498B (en) * 2017-07-25 2023-11-03 三星电子株式会社 Nonvolatile memory device, operating method thereof, and memory apparatus including the same

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