KR20060035472A - 백스트림 방지기능을 구비한 반응로 진공형성 장치 - Google Patents

백스트림 방지기능을 구비한 반응로 진공형성 장치 Download PDF

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설현수
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Abstract

본 발명은 백스트림 방지기능을 구비한 반응로 진공형성 장치에 관해 개시한다. 개시된 본 발명은, 반응로; 상기 반응로 내부를 진공으로 형성하도록 펌핑동작을 수행하는 진공펌프; 상기 반응로와 상기 진공펌프를 연결하는 펌프라인; 상기 펌프라인상에 설치되어 상기 반응로의 진공도를 조절하는 진공조절밸브; 및 상기 펌프라인상에 설치되어 상기 진공펌프로부터의 파티클 백스트림이 발생될 때 상기 펌프라인을 자동으로 차단시키는 백스트림 방지밸브;를 포함하여 구성된다.
본 발명에 따르면, 정전이나 설비 이상으로 인하여 진공펌프의 전원이 오프되었을 시 펌프라인을 자동으로 차단하여 백스트림에 의한 반응로 내부의 오염을 방지할 수 있는 효과가 있고, 반응로 내부로 유입된 파티클 등을 제거하기 위해 장시간 설비다운(Run Damage)되는 것을 방지함으로써 생산성 향상에 기여하는 효과가 있다.
백스트림, 반응로, 백스트림 방지밸브, APC 밸브

Description

백스트림 방지기능을 구비한 반응로 진공형성 장치{APPARATUS FOR MAKING FURNACE VACUOUS, HAVING THE FUNCTION OF PROTECTING BACK STREAM}
도 1은 종래의 반응로 진공형성 장치의 개략 구성도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 백스트림 방지기능을 구비한 반응로 진공형성 장치의 개략 구성도.
도 3은 본 발명의 반응로 진공형성 장치에 설치되는 APC 밸브의 구성도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 반응로 20 : 진공펌프
30 : 펌프라인 40 : 진공조절밸브
50 : 게이트밸브 60 : 백스트림 방지밸브
61 : 버터플라이(Butterfly) 밸브판 62 : 모터
63 : 엔코더(Encoder)
본 발명은 반응로 진공형성 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 백스트림 방지밸브를 구비하여 정전이나 설비 이상으로 인하여 진공펌프의 전원이 오프되었을 시 펌프라인을 자동으로 차단하여 백스트림에 의한 반응로 내부의 오염을 방지할 수 있는 백스트림 방지기능을 구비한 반응로 진공형성 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자는 웨이퍼 상에 박막을 형성하는 박막형성 공정, 웨이퍼에 불순물 이온을 주입하는 이온주입 공정, 웨이퍼 상에 형성된 박막을 패터닝하기 위한 사진식각 공정, 웨이퍼 상에 만들어진 복수개의 칩들을 테스트하기 위한 테스트 공정, 테스트된 웨이퍼를 개개의 칩으로 만들기 위한 조립공정 등을 거쳐 만들어지게 된다.
이러한 공정중에 고진공의 조건에서 반응체로서의 웨이퍼 기판 상에 침적막을 형성하거나 균일 에칭을 수행하기 위해서는 반응로 또는 챔버의 공기를 빼어서 감압시키기 위해 진공펌프를 이용하여 펌핑을 하도록 되어 있다.
이하, 도 1을 참조하여 종래의 반응로 진공형성 장치에 대해 보다 구체적으로 살펴보도록 한다.
도 1을 참조하면, 종래의 반응로 진공형성 장치는, 반응로(10)와, 상기 반응로(10)를 진공으로 형성시킬 수 있도록 펌핑동작을 수행하는 진공펌프(20)와, 상기 반응로(10)와 상기 진공펌프(20)를 연결하는 펌프라인(30), 상기 펌프라인(30)상에 설치되어 상기 반응로(10)의 진공도를 조절하는 진공조절밸브(40)와, 상기 펌프라 인(30)상에 설치되어 상기 진공펌프(20)의 펌핑동작 수행 시 정상적으로 개방되는 게이트밸브(50)로 구성되어 있다.
상기 반응로(10)를 통한 공정 진행시, 상기 진공펌프(16)는 슬로우 펌핑 및 하드펌핑을 반복하여 상기 반응로(10) 내부를 진공상태로 만들게 되며, 이때 상기 게이트밸브(50)는 정상적으로 개방되어 있다. 한편, 상기 진공조절밸브(40)는 진공 센싱부(미도시)와 제어부(미도시)를 구비하여 진공도를 조절하게 된다.
그러나, 이와 같은 종래의 반응로 진공형성 장치는 정전이나 설비 이상으로 인하여 진공펌프의 전원이 오프되면 게이트밸브와 진공조절밸브는 자동으로 닫히게 되고, 게이트밸브와 진공펌프가 닫히는 속도보다 펌프라인의 백스트림되는 속도가 빠르게 되어 펌프라인에 점착되어 있는 폴리머등의 파티클 등이 반응로 내부로 백스트림(Back Stream)됨으로 인해 반응로가 오염되는 문제점이 있었다.
또한, 종래의 반응로 진공형성 장치는 반응로 내부로 유입된 파티클 등을 제거하기 위해 반응로를 오픈시켜 세정작업을 해야 하기 때문에 장시간 설비다운(Run Damage)이 유발되어 생산성이 현격이 떨어지는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 종래기술의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 정전이나 설비 이상으로 인하여 진공펌프의 전원이 오프되었을 시 펌프라인을 자동으로 차단하여 백스트림에 의한 반응로 내부의 오염을 방지할 수 있는 백스트림 방지기능을 구비한 반응로 진공형성 장치를 제공하는 데 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 반응로 내부로 유입된 파티클 등을 제거하기 위해 장시간 설비다운(Run Damage)되는 것을 방지하여 생산성 향상에 기여할 수 있는 백스트림 방지기능을 구비한 반응로 진공형성 장치를 제공하는 데 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 백스트림 방지기능을 구비한 반응로 진공형성 장치는, 반응로; 상기 반응로 내부를 진공으로 형성하도록 펌핑동작을 수행하는 진공펌프; 상기 반응로와 상기 진공펌프를 연결하는 펌프라인; 상기 펌프라인상에 설치되어 상기 반응로의 진공도를 조절하는 진공조절밸브; 및 상기 펌프라인상에 설치되어 상기 진공펌프로부터의 파티클 백스트림이 발생될 때 상기 펌프라인을 자동으로 차단시키는 백스트림 방지밸브;를 포함하여 구성된다.
상기 백스트림 방지밸브는 자동압력조절밸브(APC:Auto Pressure Controller)밸브인 것이 바람직하다.
이때, 상기 백스트림 방지밸브는: 상기 펌프라인의 내부에 지지되는 버터플라이 밸브판과; 상기 펌프라인 내부의 압력에 의해 상기 버터플라이 밸브판을 개폐하는 모터;를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 백스트림 방지기능을 구비한 반응로 진공형 성 장치의 개략 구성도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 진공형성 장치는, 반응로(10), 진공펌프(20), 펌프라인(30), 진공조절밸브(40), 백스트림 방지밸브(60)를 포함하여 구성된다.
상기 반응로(10)는 대상물인 웨이퍼에 다양한 열화공정을 수행하기 위한 장소로, 확산공정이 수행되는 확산로 등이 대표적이며, 일반공정을 위한 챔버도 가능하다.
상기 진공펌프(20)는 반응로(10)를 통한 공정 진행시 슬로우 펌핑 및 하드펌핑을 반복하여 반응로(10) 내부를 진공상태로 만들게 되며, 상기 펌프라인(30)을 통해 상기 반응로(10)와 연결된다.
상기 진공조절밸브(40)는 상기 펌프라인(30)상에 설치되어 상기 반응로(10)의 진공도를 조절하는 기능을 수행하며, 진공 센싱부와 제어부를 구비하여 상기 반응로(10) 내부의 진공도를 조절한다.
상기 백스트림 방지밸브(60)는 상기 펌프라인(30)상에 설치되어 상기 진공펌프(20)로부터의 파티클 백스트림이 발생될 때 상기 펌프라인(30)을 자동으로 차단시키는 기능을 수행하는 것으로, 자동압력조절밸브(APC:Auto Pressure Controller)밸브로 구성하는 것이 가장 바람직하다.
도 3은 본 발명의 진공형성 장치에 설치되는 APC 밸브의 구성도이다.
도 3을 참조하며, 상기 APC 밸브는 상기 펌프라인(30)의 내부에 지지되는 버 터플라이 밸브판(61)과, 상기 펌프라인(30) 내부의 압력에 의해 상기 버터플라이 밸브판(61)을 개폐하는 모터(62)와, 엔코더(63)를 포함하여 구성된다.
상기 APC 밸브는 기본적으로 압력게이지(미도시)을 통해 상기 펌프라인(30) 내부의 압력을 측정하여 펌프라인(30) 내부의 압력을 일정하게 유지하는 기능을 수행하며, 상술한대로 상기 진공펌프(20)의 전원이 오프되어 이상압력이 발생되는 경우에는 상기 모터(62)에 소정 방향의 전압을 인가하여 상기 버터플라이 밸브판(61)을 닫음으로써 백스트림이 상기 반응로(10)에 진입되는 것을 방지하게 된다. 이때, 상기 엔코더(63)는 상기 버터플라이 밸브판(61)의 닫히고 열리는 동작을 읽어들여 메인장비의 모니터(미도시) 화면상에 시현하는 기능을 수행한다.
한편, 본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것인바, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 한해서 정해져야 할 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 백스트림 방지기능을 구비한 반응로 진공형성 장치에 의하면, 정전이나 설비 이상으로 인하여 진공펌프의 전원이 오프되었을 시 펌프라인을 자동으로 차단하여 백스트림에 의한 반응로 내부의 오염을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 백스트림을 자동으로 차단하여 반응로 내부로 유입 된 파티클 등을 제거하기 위해 장시간 설비다운(Run Damage)되는 것을 방지함으로써 생산성 향상에 기여하는 효과가 있다.

Claims (3)

  1. 반응로;
    상기 반응로 내부를 진공으로 형성하도록 펌핑동작을 수행하는 진공펌프;
    상기 반응로와 상기 진공펌프를 연결하는 펌프라인;
    상기 펌프라인상에 설치되어 상기 반응로의 진공도를 조절하는 진공조절밸브; 및
    상기 펌프라인상에 설치되어 상기 진공펌프로부터의 파티클 백스트림이 발생될 때 상기 펌프라인을 자동으로 차단시키는 백스트림 방지밸브;를 포함하는 것을 특징으로 하는 백스트림 방지기능을 구비한 반응로 진공형성 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 백스트림 방지밸브는 자동압력조절밸브(APC:Auto Pressure Controller)밸브인 것을 특징으로 하는 백스트림 방지기능을 구비한 반응로 진공형성 장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 백스트림 방지밸브는:
    상기 펌프라인의 내부에 지지되는 버터플라이 밸브판과;
    상기 펌프라인 내부의 압력에 의해 상기 버터플라이 밸브판을 개폐하는 모터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 백스트림 방지기능을 구비한 반응로 진공형성 장치.
KR1020040084989A 2004-10-22 2004-10-22 백스트림 방지기능을 구비한 반응로 진공형성 장치 KR20060035472A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN109162925A (zh) * 2018-10-31 2019-01-08 浙江羿阳太阳能科技有限公司 一种用于铸锭炉的防回流真空泵

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