KR20060034968A - 모기판 및 이를 이용한 유기전계발광표시소자의 제조방법 - Google Patents

모기판 및 이를 이용한 유기전계발광표시소자의 제조방법 Download PDF

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KR20060034968A
KR20060034968A KR1020040084023A KR20040084023A KR20060034968A KR 20060034968 A KR20060034968 A KR 20060034968A KR 1020040084023 A KR1020040084023 A KR 1020040084023A KR 20040084023 A KR20040084023 A KR 20040084023A KR 20060034968 A KR20060034968 A KR 20060034968A
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Abstract

본 발명은 절연물질의 접착성을 향상시켜 소자불량을 방지할 수 있는 모기판 및 이를 이용한 유기전계발광표시소자의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 다수의 유기전계발광어레이가 형성된 모기판에 있어서, 상기 모기판의 외곽영역에 위치하며 상기 다수의 유기전계발광어레이를 둘러싸는 띠 형태의 투명물질패턴을 구비하며, 상기 투명물질패턴은 다수의 미세패턴 형태의 홈을 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

모기판 및 이를 이용한 유기전계발광표시소자의 제조방법{Mother Glass and Fabricating Method of Organic Electro Luminescence Device Using The Same}
도 1은 종래의 유기 전계발광표시소자를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 종래의 유기 전계발광소자의 발광원리를 설명하기 위한 다이어 그램이다.
도 3은 다수의 유기 전계전계발광어레이가 형성된 모기판을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 4a 및 도 4b는 종래의 절연물질의 접착불량을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기전계발광표시소자용 모기판을 나타내는 도면이다.
도 6은 도 5 도시된 A영역을 구체적으로 나타내는 도면이고, 도 7은 선 Ⅰ-Ⅰ'을 절단하여 도시한 단면도이다.
도 8a 내지 도 8f는 도 7에 도시된 모기판을 이용한 유기전계발광표시소자의 제조방법을 나타내는 도면이다.
도 9는 절연물질의 형성을 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기전계발광표시소자용 모기판을 나 타내는 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
2,102 : 기판 4,104 : 애노드전극
8,108 : 격벽 10,110 : 유기발광층
12,112 : 캐소드 전극 28,128 : 캡
25,125 : 실런트 150 : 투명무질패턴
6a,106a : 감광성 절연물질 151 : 미세패턴 형태의 홈
본 발명은 유기 전계발광표시소자에 관한 것으로, 특히, 절연물질의 접착성을 향상시킬 수 있는 모기판 및 이를 이용한 유기전계발광표시소자의 제조방법에 관한 것이다.
최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel) 및 전계발광표시소자(Electro Luminescence Display Device : 이하 "EL표시소자"라 함) 등이 있다. 특히 EL표시 소자는 기본적으로 정공수송층, 발광층, 전자수송층으로 이루어진 유기 발광층의 양면에 전극을 붙인 형태의 것으로서, 넓은 시야각, 고개구율, 고색도 등의 특징 때문에 차세대 평판표시장치로서 주목받고 있다.
이러한 EL표시소자는 사용하는 재료에 따라 크게 무기 EL표시소자와 유기 EL표시소자로 나뉘어진다. 이 중 유기 EL표시소자는 정공 주입 전극과 전자 주입 전극 사이에 형성된 유기 EL 층에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내기 때문에 무기 EL표시소자에 비해 낮은 전압으로 구동 가능하다는 장점이 있다. 또한, 유기 EL표시소자는 플라스틱같이 휠 수 있는(Flexible) 투명기판 위에도 소자를 형성할 수 있을 뿐 아니라, PDP나 무기 EL표시소자에 비해 10V 이하의 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 전력 소모가 비교적 작으며, 색감이 뛰어나다.
도 1은 종래의 유기 EL표시소자를 개략적으로 나타내는 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 유기 EL표시소자의 발광원리를 설명하기 위한 도면이다.
도 1에 도시된 유기 EL표시소자는 기판(2) 상에 유기발광층(10)을 사이에 두고 서로 교차되게 형성된 제1 전극(또는 애노드전극)(4)과 제2 전극(또는 캐소드전극)(12) 등을 포함하는 유기EL어레이(15)와, 유기EL어레이(15)를 패키징하기 위한 캡(28)을 구비한다.
유기EL어레이(15)의 애노드전극(4)은 기판(2) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 애노드전극(4)이 형성된 기판(2) 상에는 EL셀(EL) 영역마다 개구부를 갖는 절연막(6)이 형성된다. 절연막(6) 상에는 그 위에 형성되어질 유 기발광층(10) 및 캐소드전극(12)의 분리를 위한 격벽(8)이 위치한다. 격벽(8)은 애노드전극(4)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 역 테퍼(taper) 구조를 갖게 된다. 격벽(8)이 형성된 절연막(6) 상에는 유기화합물로 구성되는 유기발광층(10)과 캐소드전극(12)이 순차적으로 전면 증착된다. 유기발광층(10)은 전자 주입층, 전자 수송층, 발광층, 정공 수송층, 정공 주입층을 포함한다.
이러한 유기EL어레이(15)는 수분 및 산소에 쉽게 열화되는 특성을 가지고 있다. 이러한 문제를 해결하기 위하여 유기EL어레이(15)가 형성된 기판(2)과 캡이(28)이 에폭시 수지와 같은 실런트(25)를 통해 합착되는 봉지(Encapsulation) 공정이 실시됨으로써 유기EL어레이(15)가 산소 및 수분 등으로 부터 보호된다.
캡(28)에는 유기EL어레이(15)와의 대향되는 면상에 위치하여 수분 및 산소를 흡수하는 게터(getter)(22)가 구비된다.여기서, 게터(22)는 무기산화물 즉, 수분과 반응하여 수산기(OH)를 형성하는 산화칼슘(Cao) 및 산화바륨(BaO)등이 이용된다.
이러한, 유기EL표시소자는 도 2에 도시된 바와 같이 애노드 전극(4)과 캐소드 전극(12) 사이에 전압이 인가되면, 캐소드 전극(12)으로부터 발생된 전자는 전자 주입층(10a) 및 전자 수송층(10b)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동된다. 또한, 애노드 전극(4)으로 부터 발생된 정공은 정공 주입층(10e) 및 정공 수송층(10d)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동한다. 이에 따라, 발광층(10c)에서는 전자수송층(10b)과 정공수송층(10b)으로부터 공급되어진 전자와 전공의 재결합으로 엑시톤(EXITON)이 형성되고, 이러한 엑시톤은 다시 기저상태로 여기되면서 일정한 에너지 의 빛을 애노드 전극(4)을 통하여 외부로 방출됨으로써 화상이 표시되게 된다.
이러한, 유기EL표시소자는 도 3에 도시된 바와 같이 다수의 유기EL어레이(15)가 형성된 모기판(3)이 인캡슐레이션 공정에 의해 캡(28)과 합착된 후 스크라이빙 공정에 의해 절단됨으로써 형성된다.
한편, 이러한 종래의 모기판(3) 상에 유기EL어레이(15)를 형성하는 과정에서 모기판(3)의 외곽영역에서 절연막(6) 형성시 이용되는 절연물질이 기판(2)에서 부분적으로 분리되는 등의 필링(Peeling) 현상이 나타나게 된다.
이를 도 4a 및 도 4b를 참조하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
먼저, 모기판(3) 상에 투명도전물질이 증착된 후 포토리쏘그래피공정과 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 4a 에 도시된 바와 같이 애노드전극(4)이 형성된다.
이후, 애노드전극(4)이 형성된 기판(2) 상에 감광성절연물질(6a)이 스핀코팅(Spin-Coating)법에 의해 코팅된다. 이 때, 모기판(3)의 외곽영역에 위치하는 감광성절연물질(6a)의 하부에는 투명도전물질이 형성되지 않게 됨으로써 감광성절연물질(6a)과 모기판(3)과의 계면에너지, 물질 특성 등의 차이로 인하여 접착성이 떨어지게 된다. 이에 따라, 도 4b에 도시된 바와 같이 감광성절연물질(6a)이 모기판(3) 상에서 부분적으로 분리되는 등의 필링(Peeling) 현상이 나타나게 된다. 이러한 필링현상이 발생되면 이후 진행되는 패터닝공정에서 상당한 오차 및 편차가 발생됨으로써 유기EL어레이(15)의 형성불량 등의 문제가 발생된다.
따라서, 본 발명의 목적은 절연물질의 접착성을 향상시켜 소자불량을 방지할 수 있는 모기판을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 절연물질의 접착성이 향상된 모기판을 이용한 유기전계발광표시소자의 제조방법을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 다수의 유기전계발광어레이가 형성된 모기판에 있어서, 상기 모기판의 외곽영역에 위치하며 상기 다수의 유기전계발광어레이를 둘러싸는 띠 형태의 투명물질패턴을 구비하며, 상기 투명물질패턴은 다수의 미세패턴 형태의 홈을 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 홈은 상기 모기판을 부분적으로 노출시키는 것을 특징으로 한다.
상기 유기전계발광어레이는 유기발광층을 사이에 두고 서로 교차되게 형성되는 제1 및 제2 전극을 포함하며, 상기 투명물질패턴은 상기 제1 및 제2 전극 중 어느 하나와 동일물질인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 다수의 유기전계발광어레이가 형성된 모기판에 있어서, 상기 모기판의 외곽영역에 위치하며 상기 다수의 유기전계발광어레이를 둘러싸는 띠 형태의 미세패턴군을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 유기전계발광어레이는 유기발광층을 사이에 두고 서로 교차되게 형성되는 제1 및 제2 전극을 포함하며, 상기 미세패턴군은 상기 제1 및 제2 전극 중 어느 하나와 동일물질인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 유기전계발광표시소자의 제조방법은 모기판 상에 형성되는 다수의 제1 전극 및, 상기 모기판의 외곽영역에 위치하며 상기 다수의 제1 전극들을 감싸도록 형성됨과 아울러 다수의 미세 패턴 형태의 홈을 가지는 투명물질패턴을 형성하는 단계와; 상기 제1 전극 및 상기 미세패턴 상에 절연물질을 형성하는 단계와; 상기 절연물질을 패터닝하여 상기 제1 전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하는 절연막을 형성하는 단계와; 상기 절연막 상에 격벽을 형성하는 단계와; 상기 노출된 발광영역 상에 유기발광층을 형성하는 단계와; 상기 제1 전극과 교차되는 제2 전극을 형성하는 단계와; 인캡슐레이션 공정에 의해 상기 제2 전극이 형성된 모기판을 패키징하는 단계와; 스크라이빙 공정에 의해 상기 패키징된 모기판을 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 절연물질의 적어도 일부는 상기 투명물질패턴에 걸치도록 형성됨과 아울러 상기 홈에 의해 노출되는 모기판과 접촉하는 것을 특징으로 한다.
상기 절연물질의 끝단은 상기 투명물질패턴 위에 위치하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 유기전계발광표시소자의 제조방법은 모기판 상에 형성되는 다수의 제1 전극을 형성함과 아울러 상기 모기판의 외곽영역에 위치하며 상기 다수의 제1 전극들을 감싸는 띠 형태의 미세패턴군을 형성하는 단계와; 상기 제1 전극 및 상기 투명물질패턴 상에 절연물질을 형성하는 단계와; 상기 절연물질을 패터닝하여 상기 제1 전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하는 절연막을 형성하 는 단계와; 상기 절연막 상에 격벽을 형성하는 단계와; 상기 노출된 발광영역 상에 유기발광층을 형성하는 단계와; 상기 제1 전극과 교차되는 제2 전극을 형성하는 단계와; 인캡슐레이션 공정에 의해 상기 제2 전극이 형성된 모기판을 패키징하는 단계와; 스크라이빙 공정에 의해 상기 패키징된 모기판을 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 도 5 내지 도 10을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 모기판을 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 6은 도 5에 도시된 A영역을 구체적으로 나타내는 도면이고, 도 7은 도 6의 선 Ⅰ-Ⅰ'을 절단하여 도시한 단면도이다.
도 5 내지 도 7에 도시된 모기판(103)에는 다수의 유기EL어레이(115)가 형성되며, 모기판(103)의 외곽영역에는 다수의 미세 패턴 형태의 홈(151)을 가지는 투명물질패턴(150)이 형성된다.
유기EL어레이(115)의 제1 전극(또는 애노드전극(104))은 기판(103) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 애노드전극(104)이 형성된 기판(102) 상에는 EL셀(EL) 영역마다 개구부를 갖는 절연막(106)이 형성된다. 절연막(106) 상에는 그 위에 형성되어질 유기발광층(110) 및 제2 전극(또는 캐소드전극(112))의 분리를 위한 격벽(108)이 위치한다. 격벽(108)은 애노드전극(104)을 가로 지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 역 테퍼(taper) 구조를 갖게 된다. 격벽(108)이 형성된 절연막(106) 상에는 유기화합물로 구성되는 유기발광층(110)과 캐소드전극(112)이 순차적으로 전면 증착된다. 유기발광층(110)에는 전자 주입층, 전자 수송층, 발광층, 정공 수송층, 정공 주입층이 포함된다.
투명물질패턴(150)은 유기EL어레이(115)의 애노드 전극(104)과 동일물질로 동시에 형성되어 절연막(106) 형성시 모기판(103) 상에 코팅되는 절연물질이 모기판(103) 상에서 부분적으로 분리되는 등의 필링(Peeling) 현상을 방지하는 역할을 하게 된다.
다시 말해서, 투명물질패턴(150)이 모기판(103)과 감광성절연물질 사이에 위치함으로써 감광성절연물질과 모기판(103과)의 계면에너지, 물질 특성 등의 차이로 인한 필링 현상이 방지 된다. 이에 따라, 이후 진행되는 패터닝공정에서 상당한 오차 및 편차 등이 감소됨으로써 유기EL어레이의 형성불량 등의 문제가 일어나지 않게 된다. 또한, 투명물질패턴(150)에는 모기판(103)을 부분적으로 노출시키는 다수의 미세패턴 형태의 홈(151)이 형성된다. 이에 따라, 절연물질이 투명물질패턴(150)과 접착됨과 동시에 홈(151)에 의해 노출된 모기판(103)과도 용이하게 접착될 수 있게 된다. 이로써, 절연물질의 접착력이 더욱더 향상될 수 있게 된다.
이하, 도 8a 내지 도 8f를 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기전계발광표시소자의 제조방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 소다라임(Sodalime) 또는 경화유리를 이용하여 형성된 모기판(103) 상 에 투명도전성물질이 증착된 후 포토리쏘그래피공정과 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 8a에 도시된 바와 같이 애노드전극(104) 및 모기판(103)의 외곽영역에 다수의 미세형태의 홈(151)을 갖는 투명물질패턴(150)이 형성된다. 여기서, 투명도전물질로는 인듐-틴-옥사이드(Indium-Tin-Oxide) 또는 SnO2 등이 이용된다.
애노드전극(104) 및 투명물질패턴(150)이 형성된 모기판(103) 상에 도 8b 및 도 9(사시도)에 도시된 바와 같이 감광성절연물질(106a)이 스핀코팅(Spin-Coating)법에 의해 전면 형성된다. 좀더 구체적으로 감광성절연물질(106a)의 끝단이 투명물질패턴(150) 상에 걸치도록 형성됨으로써 미세패턴의 홈(151)에 의에 노출되는 모기판(103)에 절연물질이 접촉되고 상기 홈(151)에 의해 마련된 공간에 절연물질이 채워지게 된다. 이에 따라, 모기판(103)의 외곽영역에 모기판(103)과 감광성절연물질(106a) 사이에 투명물질패턴(150)이 위치하게 됨으로써 감광성절연물질(106a)의 필링현상이 일어나지 않게 된다. 즉, 모기판(103) 및 감광성절연물질(106a) 각각과 접착력이 좋은 투명물질패턴(150)이 모기판(103)과 감광성절연물질(106a) 사이에 위치하게 됨으로써 모기판(103)과 감광성절연물질(106a) 간의 계면에너지, 물질 특성의 차이로 인한 반발력이 완화된다. 이에 따라, 감광성절연물질(106a)이 모기판(103) 상에서 부분적으로 분리되는 등의 필링(Peeling) 현상이 일어나지 않게 된다. 또한, 투명물질패턴(150) 내에 마련된 다수의 미세형태의 홈(151)에 의해 절연물질의 접착력을 더욱더 향상된다.
이후, 포토리쏘그래피공정 의해 감광성절연물질(106a)이 패터닝됨으로써 도 8c(단면도)에 도시된 바와 같이 발광영역(165)이 노출되도록 절연막(106)이 형성된 다.
절연막(106) 상에 감광성유기물질이 증착된 후 포토리쏘그래피공정에 의해 패터닝됨으로써 도 8d에 도시된 바와 같이 격벽(108)이 형성된다. 격벽(108)은 화소를 구분해주기 위해 다수개의 애노드전극(104)과 교차되도록 비발광영역에 형성된다.
격벽(108)이 형성된 모기판(103) 상에 공통 마크스 및 섀도우(shadow) 마스크(미도시)를 이용하여 열증착, 진공증착 등의 방식에 의해 도 8e에 도시된 바와 같이 유기발광층(110)이 형성된다.
유기발광층(110)이 형성된 기판(103) 상에 금속물질이 증착됨으로써 도 8f에 도시된 바와 같이 캐소드전극(112)이 형성된다.
이후, 봉지(Encapsulation) 공정이 실시됨으로써 캐소드전극(112) 등을 포함하는 유기EL어레이(115)가 형성된 모기판(103)과 캡(128)이 에폭시 수지와 같은 실런트를 통해 합착된 후 스크라이빙 공정이 실시된다. 이에 따라, 다수의 유기EL표시소자가 완성된다.
도 10은 본 발명의 2 실시예에 다른 모기판을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 10에 도시된 유기EL표시소자용 모기판은 본 발명의 제1 실시예와 비교하여 다수의 홈을 갖는 투명물질패턴 대신 미세패턴군이 형성되는 것을 제외하고 동일한 구성요소들을 가지게 되므로 도 5 내지 도 7과 동일한 구성요소들에 대해서는 동일번호를 부여하고 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 10에 도시된 본 발명의 미세패턴군(150)은 모기판(103)의 외곽영역에 위치하며, 다수의 유기전계발광어레이를 둘러싸도록 형성된다. 미세패턴군(150)은 애노드 전극(104)과 동일물질로 형성된다.
미세패턴군(150)은 절연막(106) 형성시 모기판(103) 상에 코팅되는 절연물질이 모기판(103) 상에서 부분적으로 분리되는 등의 필링(Peeling) 현상을 방지하는 역할을 하게 된다. 즉, 투명도전성 물질로 형성된 미세패턴군(150)이 모기판(103)과 감광성절연물질 사이에 위치함으로써 감광성절연물질과 모기판(103과)의 계면에너지, 물질 특성 등의 차이로 인한 필링 현상이 방지 된다. 이에 따라, 이후 진행되는 패터닝공정에서 상당한 오차 및 편차 등이 감소됨으로써 유기EL어레이의 형성불량 등의 문제가 일어나지 않게 된다.
본 발명의 제2 실시예에 따른 유기전계발광표시소자의 제조방법은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기전계발광표시소자의 제조방법과 비교하여 다수의 홈을 갖는 투명물질패턴 대신 미세패턴군이 애노드 전극과 동시에 형성되는 것을 제외하고는 도 8a 내지 도 8f와 동일한 제조공정에 의해 형성됨으로써 제1 실시예에서 설명한 내용과 동일한 설명은 생략하기로 한다.
모기판(103) 상에 형성되는 다수의 제1 전극(또는 애노드 전극) 및, 상기 모기판(103)의 외곽영역에 위치하며 상기 다수의 제1 전극들을 감싸는 미세패턴군(150)이 형성된다. 여기서, 미세패턴군(150)은 본 발명의 제1 실시예의 투명물질패턴과 동일물질이다. 이후, 도 8b 내지 도 8f에서 설명한 방식에 의해 절연막, 격벽, 유기발광층 등 유기발광층 등을 포함하는 유기EL어레이가 형성된 후, 인캡슐레 이션 공정에 의해 상기 유기EL어레이가 형성된 모기판이 패키징된다.
이어서, 스크라이빙 공정에 의해 상기 패키징된 모기판이 절단됨으로써 다수의 유기전계발광표시소자가 형성된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 모기판 및 이를 이용한 유기 전계발광표시소자의 제조방법은 모기판 상에 애노드 전극을 형성됨과 아울러 상기 모기판의 외곽영역에 다수의 미세패턴 형태의 투명물질패턴 또는 미세패턴군이 형성된다. 이 투명물질패턴 및 미세패턴군이 절연물질과 모기판사이에 위치함으로써 절연물질과 모기판과의 계면에너지, 물질 특성 등의 차이로 인한 필링(Peeling) 현상이 방지된다. 이에 따라, 패터닝공정에서 상당한 오차 및 편차 등이 감소됨으로써 유기EL어레이의 형성불량 등의 문제가 발생된다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims (9)

  1. 다수의 유기전계발광어레이가 형성된 모기판에 있어서,
    상기 모기판의 외곽영역에 위치하며 상기 다수의 유기전계발광어레이를 둘러싸는 띠 형태의 투명물질패턴을 구비하며,
    상기 투명물질패턴은 다수의 미세패턴 형태의 홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 하는 모기판.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 홈은 상기 모기판을 부분적으로 노출시키는 것을 특징으로 하는 하는 모기판.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 유기전계발광어레이는 유기발광층을 사이에 두고 서로 교차되게 형성되는 제1 및 제2 전극을 포함하며,
    상기 투명물질패턴은 상기 제1 및 제2 전극 중 어느 하나와 동일물질인 것을 특징으로 하는 모기판.
  4. 다수의 유기전계발광어레이가 형성된 모기판에 있어서,
    상기 모기판의 외곽영역에 위치하며 상기 다수의 유기전계발광어레이를 둘러 싸는 띠 형태의 미세패턴군을 포함하는 것을 특징으로 하는 하는 모기판.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 유기전계발광어레이는 유기발광층을 사이에 두고 서로 교차되게 형성되는 제1 및 제2 전극을 포함하며,
    상기 미세패턴군은 상기 제1 및 제2 전극 중 어느 하나와 동일물질인 것을 특징으로 하는 모기판.
  6. 모기판 상에 형성되는 다수의 제1 전극 및, 상기 모기판의 외곽영역에 위치하며 상기 다수의 제1 전극들을 감싸도록 형성됨과 아울러 다수의 미세 패턴 형태의 홈을 가지는 투명물질패턴을 형성하는 단계와;
    상기 제1 전극 및 상기 미세패턴 상에 절연물질을 형성하는 단계와;
    상기 절연물질을 패터닝하여 상기 제1 전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하는 절연막을 형성하는 단계와;
    상기 절연막 상에 격벽을 형성하는 단계와;
    상기 노출된 발광영역 상에 유기발광층을 형성하는 단계와;
    상기 제1 전극과 교차되는 제2 전극을 형성하는 단계와;
    인캡슐레이션 공정에 의해 상기 제2 전극이 형성된 모기판을 패키징하는 단계와;
    스크라이빙 공정에 의해 상기 패키징된 모기판을 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 절연물질의 적어도 일부는 상기 투명물질패턴에 걸치도록 형성됨과 아울러 상기 홈에 의해 노출되는 모기판과 접촉하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조방법.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 절연물질의 끝단은 상기 투명물질패턴 위에 위치하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조방법.
  9. 모기판 상에 형성되는 다수의 제1 전극을 형성함과 아울러 상기 모기판의 외곽영역에 위치하며 상기 다수의 제1 전극들을 감싸는 띠 형태의 미세패턴군을 형성하는 단계와;
    상기 제1 전극 및 상기 투명물질패턴 상에 절연물질을 형성하는 단계와;
    상기 절연물질을 패터닝하여 상기 제1 전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하는 절연막을 형성하는 단계와;
    상기 절연막 상에 격벽을 형성하는 단계와;
    상기 노출된 발광영역 상에 유기발광층을 형성하는 단계와;
    상기 제1 전극과 교차되는 제2 전극을 형성하는 단계와;
    인캡슐레이션 공정에 의해 상기 제2 전극이 형성된 모기판을 패키징하는 단계와;
    스크라이빙 공정에 의해 상기 패키징된 모기판을 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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