KR20060031070A - Transfer girder with damping characteristics - Google Patents

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KR20060031070A
KR20060031070A KR1020040079952A KR20040079952A KR20060031070A KR 20060031070 A KR20060031070 A KR 20060031070A KR 1020040079952 A KR1020040079952 A KR 1020040079952A KR 20040079952 A KR20040079952 A KR 20040079952A KR 20060031070 A KR20060031070 A KR 20060031070A
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vibration damping
vibration
transfer
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girder
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KR1020040079952A
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이재정
최진경
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마이크로모션테크놀러지(주)
(주)라컴텍
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Abstract

본 발명은 진동감쇠기능을 가지는 이송거더에 관한 것으로서, 재료나 제품을 검사, 측정, 가공 또는 그 밖의 제조에 필요한 공정을 실시하는 장치가 공정을 위해 이송되는 경로상에 설치되며, 장치가 이송시 가이드되도록 설치되는 금속재질의 이송거더에 있어서, 내측면(113,211,311)에 진동 감쇠를 위한 복합재료로 이루어지는 진동감쇠층(120,220,320)이 적층되며, 진동감쇠층(120,220,320)이 내측면(113,211,311)으로부터 슬라이딩이 가능하도록 내측면(113,211,311)과 진동감쇠층(120,220,320) 사이에 점성유체 또는 폴리머 필름으로 이루어지는 슬라이딩유도층(130,230,330)이 마련된다. 따라서, 본 발명은, 기존의 금속재질로 형성되는 이송거더 내측에 복합재료로 이루어지는 진동감쇠층이 적층됨으로써 금속재질로 인한 굽힘 강성뿐만 아니라 진동의 감쇠능력이 향상됨으로써 재료나 제품의 검사나 가공 등을 수행하는 장치의 이송을 정확하게 가이드하여 정밀한 검사나 가공 등을 수행하도록 하며, 이송거더의 내측면과 진동감쇠층 사이에 점성유체나 폴리머 필름로 이루어진 슬라이딩유도층을 마련함으로써 외란 및 진동에 대한 마찰감쇠로 진동의 감쇠능력을 극대화시킴과 동시에 금속재질과 복합재료 사이에 열팽창계수의 상이로 인한 계면분리 및 균열의 발생을 방지하는 효과를 가지고 있다.The present invention relates to a transfer girder having a vibration damping function, wherein an apparatus for inspecting, measuring, processing, or otherwise manufacturing a material or a product is installed on a path to which the apparatus is transported for the process. In the metal transfer girder installed to be guided, the vibration damping layer (120,220,320) made of a composite material for vibration damping is laminated on the inner surface (113,211,311), the vibration damping layer (120,220,320) is sliding from the inner surface (113,211,311) A sliding induction layer 130, 230, 330 made of a viscous fluid or a polymer film is provided between the inner surfaces 113, 211, 311 and the vibration damping layers 120, 220, and 320 so as to enable this. Accordingly, the present invention, the vibration damping layer made of a composite material is laminated inside the transfer girder formed of the existing metal material, as well as the bending rigidity due to the metal material as well as the damping ability of the vibration is improved to inspect or process the material or product By precisely guiding the transfer of the device to perform the precise inspection or processing, and by providing a sliding induction layer consisting of a viscous fluid or polymer film between the inner surface of the transfer girder and the vibration damping layer friction against disturbance and vibration Maximizes the damping ability of vibration by damping and prevents the occurrence of interfacial separation and cracking due to the difference of thermal expansion coefficient between metal and composite materials.

Description

진동감쇠기능을 가지는 이송거더{TRANSFER GIRDER WITH DAMPING CHARACTERISTICS}Transport girder with vibration damping function {TRANSFER GIRDER WITH DAMPING CHARACTERISTICS}

도 1은 종래의 기술에 따른 유리기판 제조장비의 갠트리구조를 도시한 사시도이고,1 is a perspective view showing a gantry structure of the glass substrate manufacturing equipment according to the prior art,

도 2는 종래의 기술에 따른 유리기판 제조장비의 갠트리구조에 사용되는 이송거더의 제 1 실시예를 도시한 단면도이고,Figure 2 is a cross-sectional view showing a first embodiment of the transfer girder used in the gantry structure of the glass substrate manufacturing equipment according to the prior art,

도 3은 종래의 제 2 실시예를 도시한 단면도이고,3 is a cross-sectional view showing a second conventional embodiment;

도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 진동감쇠기능을 가지는 이송거더를 도시한 사시도이고,4 is a perspective view showing a transfer girder having a vibration damping function according to a first embodiment of the present invention,

도 5는 도 4의 A-A'선에 따른 단면도이고,5 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 4;

도 6은 도 5와 유사한 도면으로서 본 발명의 제 2 실시예에 따른 단면도이고,FIG. 6 is a view similar to FIG. 5 and according to a second embodiment of the present invention;

도 7은 도 5와 유사한 도면으로서, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 단면도이다.FIG. 7 is a view similar to FIG. 5 and according to a third embodiment of the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

110,210,310 : 몸체 111 : 프레임110,210,310: Body 111: Frame

112 : 보강파이프 113,211,311 : 내측면 112: reinforcement pipe 113,211,311: inner side                 

114,212 : 가이드홈 120,220,320 : 진동감쇠층114,212: Guide groove 120,220,320: Vibration damping layer

130,230,330 : 슬라이딩유도층130,230,330: sliding induction layer

본 발명은 진동감쇠기능을 가지는 이송거더에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 본 발명은, 기존의 금속재질로 형성되는 이송거더 내측에 복합재료로 이루어지는 진동감쇠층이 적층됨으로써 금속재질로 인한 굽힘 강성뿐만 아니라 진동의 감쇠능력이 향상됨으로써 재료나 제품의 검사나 가공 등을 수행하는 장치의 이송을 정확하게 가이드하여 정밀한 검사나 가공 등을 수행하도록 하는 진동감쇠기능을 가지는 이송거더에 관한 것이다. The present invention relates to a transfer girder having a vibration damping function, and more particularly, to the present invention, a vibration damping layer made of a composite material is laminated inside a transfer girder formed of a conventional metal material, thereby only bending rigidity due to the metal material. Rather, the present invention relates to a transfer girder having a vibration damping function for precisely guiding or inspecting a transfer of a device for inspecting or processing a material or a product by improving vibration damping ability.

일반적으로, 유리기판이나 반도체 그 밖의 재료나 제품에 대한 검사나 측정 또는 가공 기타 제조공정에 사용되는 장비는 높은 정밀도를 요구한다.In general, equipment used for the inspection, measurement, processing, or other manufacturing process of glass substrates, semiconductors, and other materials and products requires high precision.

예를 들면, 유리기판은 TFT-LCD(Thin film transistor-Liquid crystal display), PDP(Plasma display panel), EL(Electro luminescent) 등 평판디스플레이(Flat display)의 제조분야에서 사용되는 것으로서, 유리용해로(Glass melting furnace)에서 용해된 유리물을 성형공정과 절단공정을 통하여 제조하고 있는데, 이러한 유리기판에는 여러 가지 요인에 의하여 많은 결함이 발생되므로 고품질의 평판디스플레이를 제조하기 위하여 유리기판의 두께, 휨도, 평탄도, 투과율, 스크랫치나 파티클 등의 결함에 대한 검사와 측정을 실시함으로써 유리기판 제조공정에서 의 불량요인을 찾게 된다. 그러므로 유리기판에 존재하는 미세한 결함을 찾기 위해서 검사나 측정에 사용되는 장비는 높은 정밀도를 요구하게 된다. 또한, 이러한 검사나 측정 뿐만 아니라 유리기판을 가공시에도 고정밀도의 가공이 요구된다.For example, glass substrates are used in the manufacture of flat panel displays, such as thin film transistor-liquid crystal displays (TFT-LCDs), plasma display panels (PDPs), and electro luminescent (EL). The glass material melted in the glass melting furnace is manufactured through a molding process and a cutting process. Since many defects occur in these glass substrates due to various factors, the thickness and warpage degree of the glass substrate are used to manufacture high quality flat panel displays. By inspecting and measuring defects such as flatness, transmittance, scratches and particles, defects in the glass substrate manufacturing process are found. Therefore, the equipment used for inspection or measurement to find the minute defects present in the glass substrate requires high precision. In addition to these inspections and measurements, high precision processing is required in processing glass substrates.

이와 같이, 검사나 가공 등에 고정밀도를 요구하는 제조장비는 유리기판에만 요구되는 것이 아니라 반도체 그 밖의 재료의 가공이나 제품을 제제하는 장비도 마찬가지이며, 특히, 유리기판 등과 같이 생산성 향상을 위해 대형화되어 가고 있는 제품의 경우 검사 등의 속도 및 정확성에 대한 요구가 지속적으로 커지고 있으므로 이들에 대한 시스템의 동적, 정적 신뢰성을 향상시키기 위하여 다양한 기술들이 개발되고 있다.As such, manufacturing equipment that requires high precision for inspection or processing is not only required for glass substrates, but also for equipment for processing semiconductors and other materials or for preparing products. In particular, it is enlarged to improve productivity, such as glass substrates. In the case of products in the market, the demand for speed and accuracy of inspection is constantly increasing, and various technologies are being developed to improve the dynamic and static reliability of the system.

최근에는 유리기판 등을 검사나 측정, 또는 가공 등을 실시하는 장비로 3축 갠트리(gantry) 구조의 장비가 채용되고 있다.In recent years, equipment having a three-axis gantry structure has been adopted as a device for inspecting, measuring, or processing a glass substrate.

종래의 기술에 따른 재료나 제품의 제조장비중에서 갠트리 구조를 가진 유리기판의 검사 또는 가공에 사용되는 Y축 거더 이동형 갠트리 구조를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Referring to the accompanying drawings, a Y-axis girder movable gantry structure used for inspection or processing of a glass substrate having a gantry structure in a manufacturing equipment for a material or a product according to the related art is as follows.

도 1은 종래의 기술에 따른 유리기판 제조장비의 갠트리구조를 도시한 사시도이다. 도시된 바와 같이, 종래의 기술에 따른 유리기판 제조장비의 갠트리구조(10)는 미도시된 유리기판 이송경로의 상측에 X축 방향으로 나란하게 한 쌍의 가이드빔(11)이 설치되고, 가이드빔(11)에 양단이 지지됨으로써 Y축 방향으로 놓여지는 이송거더(12)가 가이드빔(11)을 따라 이동하도록 설치되며, 이송거더(12)에 유리기판을 검사나 측정하거나 가공 등을 하기 위한 장비(13)가 이송거더(12)를 따라 Y축 방향으로 이동하도록 설치된다.1 is a perspective view showing a gantry structure of a glass substrate manufacturing equipment according to the prior art. As shown, the gantry structure 10 of the glass substrate manufacturing equipment according to the prior art is provided with a pair of guide beams 11 are arranged side by side in the X-axis direction on the upper side of the glass substrate transfer path not shown, the guide By supporting both ends of the beam 11, the transfer girder 12 placed in the Y-axis direction is installed to move along the guide beam 11, and to inspect, measure, or process a glass substrate on the transfer girder 12. Equipment 13 is installed to move in the Y-axis direction along the transfer girder 12.

이송거더(12)는 도 2에 도시된 것외에도 도 3에 도시된 이송거더(22) 등 다양한 구조를 가지게 된다. The transfer girder 12 may have various structures such as the transfer girder 22 illustrated in FIG. 3 in addition to the example illustrated in FIG. 2.

이와 같이 종래의 유리기판 제조장비의 갠트리구조(10)에 사용되는 이송거더(12,22)는 알루미늄(Al)이나 그 밖에 금속재질로 제작되며, 굽힘 강성을 가질 수 있는 구조를 가지게 된다. As such, the transfer girders 12 and 22 used in the gantry structure 10 of the conventional glass substrate manufacturing equipment are made of aluminum (Al) or other metal materials, and have a structure capable of having bending rigidity.

그러나, 이러한 종래의 유리기판 제조장비에 사용되는 이송거더(12,22)는 검사나 가공을 위한 장치(13)가 이동시 정밀한 측정이나 가공을 위해서 유리기판 등과 같은 재료나 제품으로부터 항상 일정한 이격 거리를 유지해야 할 뿐만 아니라 정밀한 위치 제어가 가능하기 위해서는 높은 굽힘 강성뿐만 아니라 외란 및 진동에 대해서도 우수한 감쇠능력을 가져야 하는데, 요구되는 정밀도가 높아질수록 또한, 유리기판 등의 재료나 제품의 치수가 대형화되어 검사나 가공 등을 수행하는 장치(13)가 이동하는 거리가 길어지게 되는 경우 금속재질로 이루어진 이송거더(12,22)로는 충분한 기계적 성능을 만족시킬 수 없다는 문제점을 가지고 있었다.However, the transfer girders 12 and 22 used in the conventional glass substrate manufacturing equipment always maintain a constant distance from a material or a product such as a glass substrate for precise measurement or processing when the device 13 for inspection or processing moves. In addition to maintaining high precision, in order to be able to precisely control the position, it must not only have high bending stiffness but also have excellent damping ability against disturbance and vibration.The higher the required precision, the larger the dimensions of materials and products such as glass substrates are examined. If the distance to move the device 13 for performing the processing or the like becomes long, the transfer girders (12, 22) made of a metal material had a problem that can not satisfy the sufficient mechanical performance.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 기존의 금속재질로 형성되는 이송거더 내측에 복합재료로 이루어지는 진동감쇠층이 적층됨으로써 금속재질로 인한 굽힘 강성뿐만 아니라 진동의 감쇠능력이 향상됨으로써 재료나 제품의 검사나 가공 등을 수행하는 장치의 이송을 정확하게 가이드하여 정밀한 검사나 가공 등을 수행하도록 하며, 이송거더의 내측면과 진동감쇠 층 사이에 점성유체나 폴리머 필름로 이루어진 슬라이딩유도층을 마련함으로써 외란 및 진동에 대한 마찰감쇠로 진동의 감쇠능력을 극대화시킴과 동시에 금속재질과 복합재료 사이에 열팽창계수의 상이로 인한 계면분리 및 균열의 발생을 방지하는 진동감쇠기능을 가지는 이송거더를 제공하는데 있다. The present invention is to solve the above-mentioned problems, an object of the present invention is to laminate the vibration damping layer made of a composite material inside the transfer girder formed of a conventional metal material of the vibration as well as bending rigidity due to the metal material As the damping ability is improved, precisely conducts inspection and processing by guiding the transfer of the device that inspects or processes the material or product, and uses a viscous fluid or polymer film between the inner side of the transfer girder and the vibration damping layer. By providing a sliding induction layer, the vibration damping function maximizes the damping ability of vibration by abrasion abrasion against disturbance and vibration, and prevents the occurrence of interface separation and cracking due to the difference of thermal expansion coefficient between metal material and composite material. The branch is to provide a transfer girder.

이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은, 재료나 제품을 검사, 측정, 가공 또는 그 밖의 제조에 필요한 공정을 실시하는 장치가 공정을 위해 이송되는 경로상에 설치되며, 장치가 이송시 가이드되도록 설치되는 금속재질의 이송거더에 있어서, 내측면에 진동 감쇠를 위한 복합재료로 이루어지는 진동감쇠층이 적층되며, 진동감쇠층이 내측면으로부터 슬라이딩이 가능하도록 내측면과 진동감쇠층 사이에 점성유체 또는 폴리머 필름으로 이루어지는 슬라이딩유도층이 마련되는 것을 특징으로 한다. The present invention for realizing the above object is installed on a path where a device for performing a process necessary for inspecting, measuring, processing or otherwise manufacturing a material or a product is installed on a path to be transported for a process, and the device is installed to be guided during transport. In the metal transfer girder, a vibration damping layer made of a composite material for vibration damping is laminated on the inner surface, and a viscous fluid or polymer is provided between the inner surface and the vibration damping layer so that the vibration damping layer can slide from the inner surface. A sliding guide layer made of a film is provided.

이하, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention.

도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 진동감쇠기능을 가지는 이송거더를 도시한 사시도이고, 도 5는 도 4의 A-A'선에 따른 단면도이다. 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 진동감쇠기능을 가지는 이송거더(100)는 유리기판 등과 같은 재료나 제품을 검사나 측정 또는 가공 그 밖의 제조에 필요한 공정을 수행하는 장치(13)(도 1에 도시)가 공정을 위해 이송되는 경로상에 설치되고, 이러한 장치(13)(도 1에 도시)가 이송시 가이드되도록 설치되는 이송거더(100)의 내측면(113)에 진동감쇠층(120)이 적층되며, 내측면(113)과 진동감쇠층 사이에 점성유체 또는 폴리머 필름으로 이루어지는 슬라이딩유도층(130)이 마련된다.4 is a perspective view illustrating a transfer girder having a vibration damping function according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 4. As shown, the transfer girder 100 having a vibration damping function according to the present invention is an apparatus 13 for performing a process required for inspection, measurement or processing or other manufacture of materials or products, such as glass substrate (Fig. 1) The vibration damping layer 120 is installed on the inner side 113 of the transfer girder 100, which is installed on the path to be transported for the process, and the apparatus 13 (shown in FIG. 1) is guided during the transfer. The laminate is provided, and a sliding guide layer 130 made of a viscous fluid or a polymer film is provided between the inner surface 113 and the vibration damping layer.

이송거더(100)의 몸체(110)는 사각형상의 프레임(111)과 프레임(111) 내측에 외주면이 접하여 일체를 이루는 원통형의 보강파이프(112)로 이루어지고, 프레임(111)의 외측면에 길이방향을 따라 가이드홈(114)이 형성되며, 금속재질로 이루어지는데, 바람직하게는 알루미늄(Al) 재질로 형성된다. 따라서, 이송거더(100)의 몸체(110)가 알루미늄(Al) 재질로 형성됨으로써 우수한 가공성과 청정환경에서의 유연한 응용성을 가지게 된다.The body 110 of the transfer girder 100 is composed of a cylindrical frame 111 and a cylindrical reinforcement pipe 112 which is formed in contact with the outer circumferential surface of the frame 111 to form a single body, and has a length on the outer surface of the frame 111. The guide groove 114 is formed along the direction and is made of a metal material, preferably, made of aluminum (Al). Therefore, since the body 110 of the transfer girder 100 is formed of aluminum (Al), it has excellent processability and flexible application in a clean environment.

진동감쇠층(120)은 이송거더(100)의 내측면(113) 즉, 몸체(110)의 내주면(113)에 적층되며, 복합재료로 이루어진다. 진동감쇠층(120)을 이루는 복합재료는 성분이나 형태가 다른 두 종류 이상의 소재가 거시적으로 조합되어 일정의 유효한 기능을 가지는 재료로서, 두 종류의 이상의 재료가 미시적으로 조합되어 거시적으로 균질성을 가지는 합금과는 다르며, 구성 소재들 사이에 거시적으로 균질성을 가지고 있다는 점에서도 합금과는 다르다. The vibration damping layer 120 is laminated on the inner surface 113 of the transfer girder 100, that is, the inner circumferential surface 113 of the body 110, and is made of a composite material. The composite material constituting the vibration damping layer 120 is a material having a certain effective function by combining two or more kinds of materials having different components or shapes macroscopically, and an alloy having macroscopic homogeneity by microscopically combining two or more kinds of materials. It differs from an alloy in that it is macroscopically homogeneous among the constituent materials.

이러한 복합재료의 구성요소로는 섬유(fiber), 입자(particle), 층(lamina), 모재(matrix) 등이 있으며, 이러한 요소들로 구성된 복합재료는 일반적으로 층상 복합재료, 입자강화 복합재료, 섬유강화 복합재료 등으로 구분할 수 있는데, 이들 중 진동감쇠층(130)을 이루는 재질은 탄소섬유에폭시 복합재료와 같은 섬유강화 복합재료가 바람직하다. 섬유강화 복합재료는 유리섬유(Fiber-Glass)를 주보강재로 하여 불포화 폴리에스터 수지(Unsaturated Polyester Resin)를 합침 가공한 복합 구조재로서 알루미늄(Al)보다 가볍고 철(Fe)보다 강한 내식, 내열 및 내부식성이 우수한 반영구적인 소재로 매우 큰 강도를 지니고 있을뿐만 아니라 감쇠능력이 뛰어나다.Components of such composite materials include fibers, particles, lamina, matrix, and the like, and composites composed of these elements generally include layered composites, particle-reinforced composites, Fiber reinforced composite materials and the like, of which the vibration damping layer 130 is preferably made of a fiber reinforced composite material such as carbon fiber epoxy composite material. Fiber-reinforced composite material is a composite structure made of glass fiber (Fiber-Glass) as the main reinforcing material and combined with unsaturated polyester resin, which is lighter than aluminum (Al) and stronger than iron (Fe). It is a semi-permanent material with excellent corrosiveness and not only has great strength but also excellent damping ability.

슬라이딩유도층(130)은 몸체(110)의 내측면(113)과 진동감쇠층(120) 사이에 마련되는 점성유체 또는 폴리머 필름으로서, 이송거더(100)의 몸체(110)와 진동감쇠층(120)이 서로 슬라이딩이 되도록 함으로써 몸체(110)의 진동과 진동감쇠층(120)이 진동이 슬립 댐핑(slip damping)에 의해 감쇠되도록 한다.Sliding induction layer 130 is a viscous fluid or polymer film provided between the inner surface 113 of the body 110 and the vibration damping layer 120, the body 110 and the vibration damping layer of the transfer girder 100 ( By allowing the 120 to slide together, the vibration of the body 110 and the vibration damping layer 120 allow the vibration to be attenuated by slip damping.

슬라이딩유도층(130)이 점성유체인 경우 이러한 점성유체는 진동감쇠층(120)이 몸체(110)의 내측면으로부터 슬라이딩을 일으킬 수 있을 정도의 점도를 가지는 유체로서, 1,000poise 이상의 점성계수를 가지는 고점도의 유체를 사용함으로써 진동감쇠층(120)의 감쇠 효과를 극대화시킴이 바람직하며, 점성 계수가 1,000poise 미만이더라도 계면의 분리만으로도 진동감쇠층(120)의 진동 감쇠 효과를 증진시킬 수 있다. 또한 점성유체로는 그리스 등이 사용될 수 있다.When the sliding induction layer 130 is a viscous fluid, the viscous fluid is a fluid having a viscosity enough to cause the vibration damping layer 120 to slide from the inner surface of the body 110, and has a viscosity coefficient of 1,000 poise or more. It is preferable to maximize the damping effect of the vibration damping layer 120 by using a high viscosity fluid, and even if the viscosity coefficient is less than 1,000 poise, the vibration damping effect of the vibration damping layer 120 may be enhanced only by separation of the interface. In addition, a grease or the like may be used as the viscous fluid.

슬라이딩유도층(130)이 폴리머 필름인 경우 이러한 폴리머 필름은 분자가 중합하여 생기는 화합물로 이루어진 얇은 박막으로서, 강도와 유연성을 동시에 지니므로 강도를 유지한 상태에서 몸체(110)와 진동감쇠층(120)간의 슬라이딩이 가능하도록 한다.In the case where the sliding induction layer 130 is a polymer film, the polymer film is a thin thin film made of a compound formed by polymerization of molecules, and has a strength and flexibility at the same time. Thus, the body 110 and the vibration damping layer 120 are maintained in a state of strength. Sliding between) is possible.

슬라이딩유도층(130)은 진동감쇠층(120)이 몸체(110)의 내측면(113)으로부터 슬라이딩을 유발시킬 수 있는 두께를 가지며, 바람직하게는 5㎛ ∼ 20㎛이다. 따라 서, 슬라이딩유도층(130)이 5㎛미만인 경우 너무 얇기 때문에 진동감쇠층(120)이 몸체(110)의 내측면(113)으로부터 슬라이딩을 일으킬 수 있는 유격을 확보하지 못하게 되며, 슬라이딩유도층(130)이 20㎛를 초과하는 경우 슬라이딩유도층(130)에 의해 차지하는 체적이 오히려 진동감쇠층(120)의 슬라이딩을 저해하여 진동 감쇠에 도움을 주지 못하게 된다.The sliding induction layer 130 has a thickness that the vibration damping layer 120 can cause sliding from the inner surface 113 of the body 110, preferably 5㎛ ~ 20㎛. Therefore, when the sliding induction layer 130 is less than 5 ㎛ because the vibration damping layer 120 does not secure the clearance that can cause sliding from the inner surface 113 of the body 110, the sliding induction layer If the 130 exceeds 20 μm, the volume occupied by the sliding induction layer 130 is rather inhibited from sliding of the vibration damping layer 120, thereby preventing the vibration attenuation.

이와 같은 본 발명에 따른 진동감쇠기능을 가지는 이송거더(100)를 제작하기 위해서, 먼저 알루미늄(Al) 재료를 인발 성형에 의해 몸체(110)를 제작한 다음 설계사양에 맞게 제단된 복합재료 프리프레그(Prepreg)를 몸체(110)의 내부공간과 상응하는 형상을 가지는 맨드랠에 적당한 두께까지 적층한 후, 적층 완료된 복합재료의 외측면 또는 몸체(110)의 내측면(113)에 그리스 등과 같은 점성유체를 도포하거나 복합재료의 외측면에 폴리머 필름을 감은 다음 맨드랠을 몸체(110) 내측으로 삽입한다. 그런 다음 몸체(110) 내측으로부터 맨드랠을 제거한 후에 진공백으로 포장 후 진공백 성형함으로써 본 발명에 따른 이송거더(100)를 완성시킨다.In order to fabricate the transfer girder 100 having the vibration damping function according to the present invention, first, the aluminum (Al) material is manufactured by drawing the body 110 by drawing and then the composite material prepreg cut according to the design specifications (Prepreg) is laminated to a mandrel having a shape corresponding to the interior space of the body 110 to a suitable thickness, and then viscous, such as grease, on the outer surface of the laminated composite material or the inner surface 113 of the body 110 The fluid is applied or the polymer film is wound around the outer surface of the composite material and then the mandrel is inserted into the body 110. Then, after removing the mandrel from the inside of the body 110, the vacuum girder after packaging by vacuum bag molding to complete the transfer girder 100 according to the present invention.

이와 같이, 본 발명에 따른 진동감쇠기능을 가지는 이송거더(100)는 몸체(110)에 진동감쇠층(120)을 동시경화(Co-cure)하여 한 번에 제작하게 됨으로써 몸체(110)와 진동감쇠층(120)을 각각 제작하여 결합하는 방법에 비해 편리하고도 쉽게 제작함으로써 제조비용을 줄일 수 있다.As described above, the transfer girder 100 having the vibration damping function according to the present invention is manufactured by the co-cure of the vibration damping layer 120 on the body 110 at the same time, thereby vibrating the body 110 and the vibration. Compared to the method of fabricating and combining the attenuation layers 120, the manufacturing cost can be reduced by convenient and easy fabrication.

도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 진동감쇠기능을 가지는 이송거더를 도시한 단면도이고, 도 7은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 진동감쇠기능을 가지는 이송거더를 도시한 단면도이다. 제 2 및 제 3 실시예에 따른 진동감쇠기능을 가지는 이송거더(200,300)는 제 1 실시예의 진동감쇠기능을 가지는 이송거더(100)와 마찬가지로, 금속재질의 몸체(210,310) 내측면(211,311)에 복합재료로 이루어지는 진동감쇠층(220,320)이 적층되되, 몸체(210,310) 내측면(211,311)과 진동감쇠층(220,320)사이에 고점도의 유체 또는 폴리머 필름인 슬라이딩유도층(230,330)이 마련되나, 제 1 실시예의 진동감쇠기능을 가지는 이송거더(100)와 달리 몸체(210,310)는 사각형의 빔으로만 이루어지며, 특히 제 2 실시예에서의 몸체(210)는 외측면에 길이방향을 따라 가이드홈(212)이 형성된다. 따라서, 제 2 및 제 3 실시예에 따른 진동감쇠기능을 가지는 이송거더(200,300)에서 진동감쇠층(220,320)과 슬라이딩유도층(230,330)은 사각형의 관형상을 이룬다.6 is a cross-sectional view showing a transfer girder having a vibration damping function according to a second embodiment of the present invention, Figure 7 is a cross-sectional view showing a transfer girder having a vibration damping function according to a third embodiment of the present invention. The feed girders 200 and 300 having the vibration damping function according to the second and third embodiments are similar to the feed girders 100 having the vibration damping function of the first embodiment, on the inner surfaces 211 and 311 of the metal bodies 210 and 310. The vibration damping layers 220 and 320 made of a composite material are stacked, and sliding induction layers 230 and 330, which are fluids or polymer films of high viscosity, are provided between the inner surfaces 211 and 311 of the bodies 210 and 310 and the vibration damping layers 220 and 320. Unlike the feed girder 100 having the vibration damping function of the first embodiment, the bodies 210 and 310 are made of only a rectangular beam, and in particular, the body 210 of the second embodiment has guide grooves along the longitudinal direction on the outer surface thereof. 212) is formed. Therefore, in the transfer girders 200 and 300 having the vibration damping function according to the second and third embodiments, the vibration damping layers 220 and 320 and the sliding induction layers 230 and 330 form a rectangular tubular shape.

이와 같은 구조로 이루어진 진동감쇠기능을 가지는 이송거더의 작용은 다음과 같이 이루어진다.The action of the transfer girder having a vibration damping function made of such a structure is made as follows.

금속재질, 특히 알루미늄(Al)재질로 제작되는 몸체(110,210,310) 내측면에 복합재료로 이루어지는 진동감쇠층(120,220,320)이 적층됨으로써 몸체(110,210,310)의 뛰어난 굽힘 강성과 진동감쇠층(120,220,320)의 뛰어난 진동 감쇠능력이 최적으로 조화를 이룸으로써 유리기판 등과 같은 재료나 제품을 검사나 측정, 또는 가공 등 그 밖의 제조공정을 실시하게 되는 장치(13)(도 1에 도시)가 이송거더(100,200,300)에 가이드되어 이동시 처짐은 물론 진동이 최소화됨으로써 정밀한 검사나 가공을 가능하도록 한다. The vibration damping layers 120, 220 and 320 made of a composite material are laminated on the inner surfaces of the bodies 110, 210 and 310 made of a metal material, in particular, aluminum (Al), thereby providing excellent bending rigidity of the bodies 110, 210 and 310 and excellent vibration of the vibration damping layers 120, 220 and 320. The optimum balance of damping capacity allows the device 13 (shown in FIG. 1) to guide the transfer girders 100, 200 and 300 to perform other manufacturing processes such as inspection, measurement, or processing of materials or products such as glass substrates. It is possible to precisely inspect or process by minimizing vibration as well as vibration during movement.

몸체(110,210,310)와 진동감쇠층(120,220,320)사이에 존재하는 슬라이딩유도층(130,230,330)에 의해 몸체(110,210,310)와 진동감쇠층(120,220,320)이 서로 슬 라이딩이 가능하게 됨으로써 몸체(110,210,310)의 진동과 진동감쇠층(120,220,320)의 진동이 슬립 댐핑(slip damping)에 의해 감쇠되어 진동 감쇠능력을 극대화시킨다.Vibration and vibration of the body (110,210,310) by the sliding induction layer (130,230,330) existing between the body (110,210,310) and the vibration damping layer (120,220,320) and the body (110,210,310) and the vibration damping layer (120,220,320) Vibration of the damping layer (120, 220, 320) is attenuated by slip damping (maximum) to maximize the vibration damping ability.

또한, 슬라이딩유도층(130,230,330)은 금속재질의 몸체(110,210,310)와 복합재료의 진동감쇠층(120,220,320)간의 열적 불균형, 즉 열팽창 계수의 차이로 인한 균열의 발생을 방지한다. 따라서, 금속재질의 몸체(110,210,310)와 진동감쇠층(120,220,320)이 서로 부착되거나 서로간에 큰 마찰력을 가질 경우 상기와 같은 균열 발생을 방지하기 위하여 몸체(110,210,310)의 길이방향으로 압축을 하여 프리로드(Preload, 예압)를 인가하는 방법을 사용하게 될 경우 지그 등의 제작으로 인한 번거로움과 공정이 복잡해지는데, 슬라이딩유도층(130,230,330)에 의해 이러한 번거로움이나 공정의 복잡성을 방지할 수 있다.In addition, the sliding induction layer (130, 230, 330) prevents the occurrence of cracking due to the thermal imbalance, that is, the difference in thermal expansion coefficient between the metal body (110, 210, 310) and the vibration damping layer (120, 220, 320) of the composite material. Therefore, when the body (110, 210, 310) and the vibration damping layer (120, 220, 320) of the metal material is attached to each other or have a large friction between each other in order to prevent the occurrence of the crack as described above in the longitudinal direction of the body (110,210,310) When using a method of applying a preload (preload), the hassle and the process is complicated due to the production of jigs, etc., such a hassle or the complexity of the process can be prevented by the sliding induction layer (130, 230, 330).

이상과 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 본 발명은, 기존의 금속재질로 형성되는 이송거더 내측에 복합재료로 이루어지는 진동감쇠층이 적층됨으로써 금속재질로 인한 굽힘 강성뿐만 아니라 진동의 감쇠능력이 향상됨으로써 재료나 제품의 검사나 가공 등을 수행하는 장치의 이송을 정확하게 가이드하여 정밀한 검사나 가공 등을 수행하도록 하며, 이송거더의 내측면과 진동감쇠층 사이에 점성유체나 폴리머 필름로 이루어진 슬라이딩유도층을 마련함으로써 외란 및 진동에 대한 마찰감쇠로 진동의 감쇠능력을 극대화시킴과 동시에 금속재질과 복합재료 사이에 열팽창계수의 상이로 인한 계면분리 및 균열의 발생을 방지하는 효과를 가지고 있다.According to a preferred embodiment of the present invention as described above, the present invention, the vibration damping layer made of a composite material is laminated inside the transfer girder formed of the existing metal material as well as the bending rigidity due to the metal material as well as the damping ability of the vibration As a result of the improvement, the device accurately guides the transfer of a device that performs inspection or processing of a material or a product to perform precise inspection or processing, and a sliding induction made of a viscous fluid or polymer film is provided between the inner side of the transfer girder and the vibration damping layer. By providing a layer, it has the effect of maximizing the damping ability of vibration by friction attenuation against disturbance and vibration, and at the same time, preventing the occurrence of interfacial separation and cracking due to the difference of the coefficient of thermal expansion between the metal material and the composite material.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 진동감쇠기능을 가지는 이송거더는 본 발명은, 기존의 금속재질로 형성되는 이송거더 내측에 복합재료로 이루어지는 진동감쇠층이 적층됨으로써 금속재질로 인한 굽힘 강성뿐만 아니라 진동의 감쇠능력이 향상됨으로써 재료나 제품의 검사나 가공 등을 수행하는 장치의 이송을 정확하게 가이드하여 정밀한 검사나 가공 등을 수행하도록 하며, 이송거더의 내측면과 진동감쇠층 사이에 점성유체나 폴리머 필름로 이루어진 슬라이딩유도층을 마련함으로써 외란 및 진동에 대한 마찰감쇠로 진동의 감쇠능력을 극대화시킴과 동시에 금속재질과 복합재료 사이에 열팽창계수의 상이로 인한 계면분리 및 균열의 발생을 방지하는 효과를 가지고 있다.As described above, the transfer girder having a vibration damping function according to the present invention is not only the bending rigidity due to the metal material by laminating a vibration damping layer made of a composite material inside the transfer girder formed of the existing metal material The vibration damping ability is improved to precisely guide the transfer of equipment that inspects or processes materials or products, so that precise inspections or processing can be performed. Viscous fluids or polymers are provided between the inner surface of the transfer girder and the vibration damping layer. By providing a sliding guide layer made of film, it maximizes the damping ability of vibration by friction attenuation against disturbance and vibration, and prevents the occurrence of interface separation and cracking due to the difference of thermal expansion coefficient between metal and composite material. Have.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 진동감쇠기능을 가지는 이송거더를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.What has been described above is just one embodiment for carrying out the transfer girder having a vibration damping function according to the present invention, the present invention is not limited to the above embodiment, as claimed in the following claims Without departing from the gist of the invention, anyone of ordinary skill in the art to which the present invention will have the technical spirit of the present invention to the extent that various modifications can be made.

Claims (2)

재료나 제품을 검사, 측정, 가공 또는 그 밖의 제조에 필요한 공정을 실시하는 장치가 공정을 위해 이송되는 경로상에 설치되며, 상기 장치가 이송시 가이드되도록 설치되는 금속재질의 이송거더에 있어서,In the transfer girder of the metal material that is installed on the path to be transported for the process, the device for performing the process necessary for the inspection, measurement, processing or other manufacturing of the material or product, 내측면에 진동 감쇠를 위한 복합재료로 이루어지는 진동감쇠층이 적층되며,The vibration damping layer made of a composite material for vibration damping is laminated on the inner side, 상기 진동감쇠층이 상기 내측면으로부터 슬라이딩이 가능하도록 상기 내측면과 상기 진동감쇠층 사이에 점성유체 또는 폴리머 필름으로 이루어지는 슬라이딩유도층이 마련되는A sliding induction layer made of a viscous fluid or a polymer film is provided between the inner surface and the vibration damping layer so that the vibration damping layer can slide from the inner surface. 진동감쇠기능을 가지는 이송거더.Feed girder with vibration damping function. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 슬라이딩유도층은,The sliding induction layer, 두께가 5㎛ ∼ 20㎛인 것Having a thickness of 5 μm to 20 μm 을 특징으로 하는 진동감쇠기능을 가지는 이송거더.Transfer girder having a vibration damping function characterized in that.
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KR100798702B1 (en) * 2006-08-24 2008-01-28 (주)라컴텍 A hybrid girder using composite materials

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