KR20060029725A - Test fixture for application test and semiconductor device application tester having thereof - Google Patents

Test fixture for application test and semiconductor device application tester having thereof Download PDF

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KR20060029725A
KR20060029725A KR1020040078153A KR20040078153A KR20060029725A KR 20060029725 A KR20060029725 A KR 20060029725A KR 1020040078153 A KR1020040078153 A KR 1020040078153A KR 20040078153 A KR20040078153 A KR 20040078153A KR 20060029725 A KR20060029725 A KR 20060029725A
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Abstract

본 발명은 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐(test fixture)로서, 테스트될 반도체 소자를 삽입하고 배출하는 소켓 인터페이스가 장착되는 복수 개의 기준 전자장치와, 상기 복수 개의 기준 전자장치 각각에 연결되며 CPU를 포함하여 실장 테스트를 수행하는 복수 개의 메인보드와, 상기 복수 개의 메인보드 각각의 입출력 인터페이스를 통합하여 제공하는 인터페이스부와, 상기 복수 개의 메인보드 각각에 연결되며 상기 테스트 픽스쳐의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐에 관한 것이다.The present invention provides a test fixture for a mounting test, comprising: a plurality of reference electronic devices equipped with a socket interface for inserting and ejecting a semiconductor device to be tested, and a CPU connected to each of the plurality of reference electronic devices; A plurality of main boards for performing a mounting test, an interface unit integrating and providing input / output interfaces of the plurality of main boards, and a control unit connected to each of the plurality of main boards and controlling an operation of the test fixture. It relates to test fixtures for implementation tests.

본 발명에 따르면, 종래 실장 테스트를 수행하기 어려웠던 하드 디스크 드라이브에 사용되는 버퍼 메모리와 같은 전자 장치에 사용되는 반도체 소자를 실장 환경에서 테스트할 수 있다.According to the present invention, a semiconductor device used in an electronic device such as a buffer memory used in a hard disk drive, which has been difficult to perform a conventional mounting test, can be tested in a mounting environment.

테스트 픽스쳐, 소켓, 버퍼 메모리, 기준 전자장치Test fixtures, sockets, buffer memory, reference electronics

Description

실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐 및 이를 포함하는 반도체 소자 실장 테스터{TEST FIXTURE FOR APPLICATION TEST AND SEMICONDUCTOR DEVICE APPLICATION TESTER HAVING THEREOF}TEST FIXTURE FOR APPLICATION TEST AND SEMICONDUCTOR DEVICE APPLICATION TESTER HAVING THEREOF}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐의 블록도.1 is a block diagram of a test fixture for mounting test in accordance with one embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐의 블록도.2 is a block diagram of a test fixture for mounting test in accordance with another embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐의 외관을 나타내는 도면.3 is a view showing the appearance of a test fixture for mounting test according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐를 포함하는 반도체 소자 실장 테스터의 구성도.4 is a configuration diagram of a semiconductor device mounting tester including a test fixture for mounting testing according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

100: 테스트 픽스쳐 110: 기준 전자장치100: test fixture 110: reference electronics

130: 메인보드 150: 인터페이스부130: motherboard 150: interface unit

170: 제어부 190: 전원 공급부170: control unit 190: power supply unit

200: 외부 분석 장치 300: 스태커 장치200: external analysis device 300: stacker device

350: 트레이 트랜스퍼 장치 500: 테스트 픽스쳐350: tray transfer apparatus 500: test fixture

본 발명은 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐 및 이를 포함하는 반도체 소자 실장 테스터에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 하드 디스크 드라이브에 사용되는 버퍼 메모리와 같이 전자 장치에 사용되는 반도체 소자를 실장 환경에서 테스트하기 위한 것인 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐 및 이를 포함하는 반도체 소자 실장 테스터에 관한 것이다.The present invention relates to a test fixture for a mounting test and a semiconductor device mounting tester including the same. More particularly, to test a semiconductor device used in an electronic device, such as a buffer memory used in a hard disk drive, in a mounting environment. The present invention relates to a test fixture for an in-mount test and a semiconductor device mounting tester including the same.

종래 반도체 소자의 테스트를 위해서는 ATE(Automatic test equipment)를 사용하여 특정한 신호 패턴을 반도체 소자에 인가한 후 반도체 소자로부터 출력되는 신호를 분석함으로써 반도체 소자의 양호/불량 여부를 판단하였다.In order to test a conventional semiconductor device, it is determined whether a semiconductor device is good or bad by analyzing a signal output from the semiconductor device after applying a specific signal pattern to the semiconductor device using an automatic test equipment (ATE).

그러나 이러한 ATE와 같은 테스트 장치는 가격이 비싸므로 각각의 반도체 소자를 테스트하는 비용이 높아지게 되어 가격 경쟁력을 약화시키며, 또한 반도체 소자가 실제로 설치되어 사용되는 환경이 아니라 별도의 실험 환경에서 테스트가 수행되기 때문에 실제 사용 환경에서의 각종 잡음 등에 대한 특성을 구현하지 못하여 테스트의 정확도가 떨어지게 되어 양호/불량 여부의 정확한 판단이 힘든 단점이 있다.However, such a test device such as ATE is expensive, which increases the cost of testing each semiconductor device, and thus reduces the price competitiveness. Also, the test is performed in a separate experimental environment, not in the environment in which the semiconductor device is actually installed and used. As a result, the accuracy of the test is reduced due to failure to implement characteristics of various noises in an actual use environment, which makes it difficult to accurately determine whether it is good or bad.

이러한 문제점을 개선하기 위하여 반도체 소자의 실제 사용 환경, 즉 실장 환경에서 실제로 반도체 소자를 전자 장치에 부착하여 테스트를 수행하는 실장 테스트를 채택하는 경우가 증가하고 있다. 예컨대, PC에 사용되는 DRAM 소자의 테스 트를 수행하는 경우라면 실제로 DRAM 모듈을 PC 메인보드에 삽입하고 실제 환경에 따른 테스트 프로그램을 구동하여 구동이 정상적으로 이루어지면 이를 양호로 판단하고 구동이 비정상적으로 이루어지면 이를 불량으로 판단하는 것이다. In order to improve such a problem, mounting tests for actually attaching a semiconductor device to an electronic device and performing a test in an actual use environment of the semiconductor device, that is, a mounting environment, are increasingly adopted. For example, in the case of testing the DRAM devices used in the PC, the DRAM module is actually inserted into the PC main board and the test program according to the actual environment is driven to determine that the drive is successful and the drive is abnormal. It is judged that the ground is bad.

이러한 PC에 사용되는 실장 테스트 장치의 예는 예컨대 주식회사 실리콘테크에 의해서 2002년 1월 25일자로 출원된 "반도체 메모리 테스트 장치"라는 명칭의 특허출원번호 제10-2002-0004428호에 개시되어 있다.An example of a mounting test apparatus for use in such a PC is disclosed in, for example, patent application No. 10-2002-0004428 filed "Semiconductor Memory Test Device" filed on January 25, 2002 by Silicon Tech.

상기 제10-2002-0004428호에 개시된 기술은 특히 PC의 메인보드에 사용되는 DRAM 모듈을 테스트하기 위한 반도체 테스터 구조로서, PC 내의 메인보드 상에 구비된 모듈 소켓에 모듈 피씨비가 삽입되어 장착되며, 상기 모듈 피씨비의 각 디바이스의 위치에는 테스트 소켓이 장착되며, 상기 테스트 소켓에 테스트될 메모리 소자 각각을 로딩하여서 실장 환경에서 메모리 소자를 테스트하는 구성을 취한다.The technology disclosed in No. 10-2002-0004428 is a semiconductor tester structure for testing a DRAM module used in a main board of a PC, in which a module PC is inserted into a module socket provided on a main board in a PC. A test socket is mounted at a location of each device of the module PCB, and each of the memory devices to be tested is loaded into the test socket to test the memory devices in a mounting environment.

그러나 종래의 실장 테스트를 수행하는 장치들은 대부분 PC 메인보드에 삽입되는 DRAM 모듈의 테스트를 수행하는 것으로서, 예컨대 하드 디스크 드라이브에 사용되는 버퍼 메모리를 테스트하는 경우와 같이 실제 전자장치 내에 포함되는 메모리를 테스트하기 위한 테스트 구조는 개발이 되지 않은 상황이다.However, most of the devices that perform the conventional mounting test perform a test of a DRAM module inserted into a PC main board, and test a memory included in an actual electronic device, for example, when testing a buffer memory used in a hard disk drive. The test structure is not developed.

PC 내부에 들어가는 메모리 모듈 뿐만 아니라 각종 전자 장치에 포함되는 메모리에 대한 테스트 수요 역시 증가하고 있는 상황에서 PC용 DRAM 모듈의 실장 테스트와 마찬가지로 다른 전자장치 내부에 포함되는 버퍼 메모리와 같은 반도체 소자의 실장 테스트를 수행할 수 있는 방안에 대해서 그 필요성이 커지고 있다.As the test demand for the memory included in various electronic devices as well as the memory module inside the PC is increasing, the mounting test of semiconductor devices such as the buffer memory included in other electronic devices is similar to the mounting test of the DRAM module for the PC. There is a growing need for ways to do this.

본 발명의 목적은 종래 실장 테스트를 수행하기 어려웠던 하드 디스크 드라이브에 사용되는 버퍼 메모리와 같은 전자 장치에 사용되는 반도체 소자를 실장 환경에서 테스트할 수 있는 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐 및 이를 포함하는 반도체 소자 실장 테스터를 제공하는 데 있다. Disclosure of Invention An object of the present invention is a test fixture for mounting test for testing a semiconductor device used in an electronic device such as a buffer memory used in a hard disk drive, which has been difficult to perform a conventional mounting test in a mounting environment, and a semiconductor device mounting including the same. To provide a tester.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐로서, 테스트될 반도체 소자를 삽입하고 배출하는 소켓 인터페이스가 장착되는 복수 개의 기준 전자장치와, 상기 복수 개의 기준 전자장치 각각에 연결되며 CPU를 포함하여 실장 테스트를 수행하는 복수 개의 메인보드와, 상기 복수 개의 메인보드 각각의 입출력 인터페이스를 통합하여 제공하는 인터페이스부와, 상기 복수 개의 메인보드 각각에 연결되며 상기 테스트 픽스쳐의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐를 제공한다.In order to achieve the above technical problem, the present invention is a test fixture for a mounting test, a plurality of reference electronics equipped with a socket interface for inserting and ejecting the semiconductor device to be tested, and is connected to each of the plurality of reference electronics A plurality of main boards including a CPU to perform a mounting test, an interface unit integrating and providing input / output interfaces of each of the plurality of main boards, and connected to each of the plurality of main boards to control the operation of the test fixture. A test fixture for an implementation test including a control unit is provided.

본 발명에 따른 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐에 있어서, 상기 소켓 인터페이스는, 테스트될 반도체 소자의 복수 개의 핀과 각각 접촉하는 복수 개의 핀을 포함하는 소켓과, 복수 개의 소켓 접촉단과 복수 개의 연결 블록 접촉단을 포함하며 상기 복수 개의 소켓 접촉단은 상기 복수 개의 핀과 각각 접촉하며 상기 복수 개의 연결 블록 접촉단은 상기 복수 개의 소켓 접촉단과 내부 배선을 통하여 각각 연결되는 것인 테스트 인터페이스 보드와, 상기 복수 개의 연결 블록 접촉단에 접촉하는 복수 개의 포고(POGO) 핀을 포함하며 상기 복수 개의 포고 핀은 각각 실장 테스트가 수행될 기준 전자 장치의 접촉 수단에 접촉되는 것인 연결 블록을 포함하 는 것이 바람직하다.In a test fixture for a mounting test according to the present invention, the socket interface includes a socket including a plurality of pins respectively contacting a plurality of pins of a semiconductor device to be tested, a plurality of socket contact ends and a plurality of connection block contact ends. And a plurality of socket contact ends respectively contacting the plurality of pins, and the plurality of connection block contact ends are respectively connected to the plurality of socket contact ends through an internal wiring. Preferably, the plurality of pogo pins are in contact with the block contact end, and the plurality of pogo pins each include a connection block which is in contact with the contact means of the reference electronic device on which the mounting test is to be performed.

또한 본 발명에 따른 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐에 있어서, 상기 기준 전자장치는 하드 디스크 드라이브이며, 상기 테스트 픽스쳐는 4개의 하드 디스크 드라이브를 포함하는 것이고, 상기 테스트될 반도체 소자는 상기 하드 디스크 드라이브에 사용되는 버퍼 메모리인 것이 바람직하다.In addition, in a test fixture for mounting test according to the present invention, the reference electronic device is a hard disk drive, the test fixture comprises four hard disk drives, the semiconductor device to be tested is used for the hard disk drive It is preferable that it is a buffer memory.

또한 본 발명에 따른 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐에 있어서, 상기 인터페이스부는, 상기 복수개의 메인보드 각각을 위한 키보드 입출력, 모니터 입력, 전원 입력 등을 포함하는 다수의 입출력 인터페이스 각각을 하나의 인터페이스 보드의 해당 입출력 인터페이스에 연결하도록 구현함으로써 내부의 연결선 배선을 간단하게 할 수 있는 것이 바람직하다.In addition, in the test fixture for the mounting test according to the present invention, the interface unit, each of the plurality of input and output interfaces including a keyboard input and output, monitor input, power input for each of the plurality of motherboards corresponding to one interface board It is desirable to simplify the internal connection wiring by implementing the connection to the input / output interface.

또한 본 발명에 따른 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐에 있어서, 상기 제어부는, 외부 분석장치와의 연결을 위한 통신 인터페이스를 포함하는 것이 바람직하다. In addition, in the test fixture for mounting test according to the present invention, the control unit preferably comprises a communication interface for connection with an external analysis device.

또한 본 발명은 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐로서, 테스트될 반도체 소자를 삽입하고 배출하는 소켓 인터페이스가 장착되는 복수 개의 기준 전자장치와, 상기 복수 개의 기준 전자장치 각각에 연결되며 상기 복수 개의 기준 전자장치 각각의 테스트 동작을 제어하며 상기 기준 전자장치 각각으로부터 테스트된 신호를 출력받아 분석하는 제어부와, 상기 복수 개의 기준 전자장치 및 상기 제어부에 전원을 공급하는 전원 공급부를 포함하는 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐를 제공한다.The present invention also provides a test fixture for mounting test, comprising: a plurality of reference electronic devices equipped with a socket interface for inserting and discharging a semiconductor element to be tested, and connected to each of the plurality of reference electronic devices, respectively; And a control unit configured to control a test operation of the control unit, and to receive and analyze a test signal from each of the reference electronic devices, and a plurality of reference electronic devices and a power supply unit to supply power to the control unit. do.

본 발명에 따른 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐에 있어서, 상기 제어부는, 외부 분석장치와의 연결을 위한 통신 인터페이스를 포함하는 것이 바람직하다.In the test fixture for mounting test according to the present invention, the control unit preferably includes a communication interface for connection with an external analysis device.

본 발명은 공정용 트레이(tray)들을 수납하는 스태커로서 테스트될 반도체 소자를 수납하는 공정용 트레이와 양호로 판단된 반도체 소자를 수납하는 공정용 트레이와 불량으로 판단된 반도체 소자를 수납하는 공정용 트레이와 비어 있는 공정용 트레이를 각각 적재하는 스태커 장치와, 상기 공정용 트레이를 이동시키는 트레이 트랜스퍼(tray transfer) 장치와, 테스트될 소자의 로딩을 위한 셋플레이트와 테스트된 소자의 언로딩을 위한 셋플레이트를 포함하며 상기 트레이 트랜스퍼 장치에 의해 이동된 공정용 트레이를 픽업(pickup) 위치까지 이동시키는 셋플레이트(set plate) 장치와, 상기 테스트될 소자의 로딩을 위한 셋플레이트 내의 공정용 트레이 내의 테스트될 반도체 소자를 로딩하여 이송하고 테스트된 반도체 소자를 테스트된 소자의 언로딩을 위한 셋플레이트로 이송하는 피커로봇(picker robot)과, 상기 피커로봇에 의해서 이송된 반도체 소자를 테스트하고 테스트된 반도체 소자는 상기 피커로봇에 의해서 이송시키는 한 개 이상의 테스트 픽스쳐로서, 제1항 내지 제7항에 기재된 한 개 이상의 테스트 픽스쳐와, 상기 각 장치를 제어하는 제어부를 포함하는 반도체 소자 실장 테스터를 제공한다.The present invention provides a stacker for accommodating process trays, a process tray for accommodating a semiconductor device to be tested, a process tray for accommodating a semiconductor device judged as good, and a process tray for accommodating a semiconductor device determined to be defective. A stacker device for loading and empty process trays, a tray transfer device for moving the process tray, a set plate for loading the device to be tested, and a set plate for unloading the device to be tested. And a set plate apparatus for moving the process tray moved by the tray transfer apparatus to a pickup position, and a semiconductor to be tested in a process tray in a set plate for loading the device to be tested. For loading and transferring devices and for unloading the tested semiconductor devices. A picker robot for transferring to a set plate and one or more test fixtures for testing and testing a semiconductor device carried by the picker robot and being transported by the picker robot, the apparatus comprising: 1 to 7 Provided is a semiconductor device mounting tester comprising one or more test fixtures described in any of claims, and a control unit for controlling each device.

본 발명에 따른 반도체 소자 실장 테스터에 있어서, 상기 제어부는, 테스트의 수행 도중에 상기 한 개 이상의 테스트 픽스쳐 중 일부에 불량이 발생하는 경우 해당 테스트 픽스쳐의 동작을 중단시키고 해당 테스트 픽스쳐를 꺼내어 내부의 불량이 발생한 부분을 교체하고 다시 테스트 픽스쳐를 삽입하면 내장된 센서로 삽입 을 감지하여 다시 해당 테스트 픽스쳐의 동작을 재개하도록 하는 것이 바람직하다.In the semiconductor device mounting tester according to the present invention, when a failure occurs in a part of the one or more test fixtures during the test, the controller stops the operation of the test fixture and removes the test fixture so that internal defects are eliminated. If you replace the part and insert the test fixture again, it is desirable to detect the insertion with the built-in sensor and resume the operation of the test fixture again.

이하, 본 발명의 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐 및 이를 포함하는 반도체 소자 실장 테스터를 도면을 참조로 하여 보다 구체적으로 설명한다.Hereinafter, a test fixture for a mounting test of the present invention and a semiconductor device mounting tester including the same will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐의 블록도이다.1 is a block diagram of a test fixture for a mounting test according to an embodiment of the present invention.

도시되듯이, 본 발명의 일 실시예에 따른 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐(100)는, 복수개의 기준 전자장치(110a 내지 110n)와, 복수개의 메인보드(130a 내지 130n)와, 인터페이스부(150)와, 제어부(170)를 포함한다.As shown, the test fixture 100 for a mounting test according to an embodiment of the present invention, a plurality of reference electronic devices (110a to 110n), a plurality of main boards (130a to 130n), the interface unit 150 ) And a control unit 170.

복수 개의 기준 전자장치(110a 내지 110n)는 내부에 테스트될 반도체 소자를 삽입하고 배출하는 소켓 인터페이스를 장착하도록 되어 있으며 동일한 기준 전자장치이다.The plurality of reference electronics 110a to 110n are equipped with a socket interface for inserting and discharging a semiconductor device to be tested therein and are the same reference electronics.

상기 기준 전자장치(110)는 예컨대 메인보드(130)와 연결되어 PC에서 동작하는 하드 디스크 드라이브로서 케이스를 제거하고 내부 회로 중에서 테스트될 반도체 소자에 대응되는 소자를 제거한 장치일 수 있으며, 테스트될 반도체 소자는 상기 하드 디스크 드라이브 내에 장착되는 버퍼 메모리일 수 있다. 또한 상기 기준 전자장치(110)는 메인보드(130)에 연결되어 동작하는 CD 드라이브, DVD 드라이브, 그래픽 보드 등의 다양한 장치일 수 있다.The reference electronic device 110 may be, for example, a hard disk drive connected to the main board 130 to remove a case and remove a device corresponding to a semiconductor device to be tested among internal circuits, and may be a semiconductor to be tested. The device may be a buffer memory mounted in the hard disk drive. In addition, the reference electronic device 110 may be a variety of devices, such as a CD drive, a DVD drive, a graphics board connected to the main board 130 to operate.

상기 기준 전자장치(110)의 테스트될 반도체 소자에 대응되는 소자를 제거한 부분에는 소켓 인터페이스를 장착하여 반도체 소자의 테스트를 수행할 수 있도록 구성된다.The socket interface is mounted on a portion of the reference electronic device 110 from which the device corresponding to the semiconductor device to be tested is removed to perform the test of the semiconductor device.

상기 소켓 인터페이스는 예컨대 종래의 번인 소켓을 삽입하여 사용할 수 있다. 또한 이러한 종래의 번인 소켓이 가지는 내구성과 접촉 불량 등의 문제를 해결하기 위해서 새로운 소켓 인터페이스를 사용할 수도 있다. The socket interface can be used, for example, by inserting a conventional burn-in socket. In addition, a new socket interface may be used to solve problems such as durability and poor contact of the conventional burn-in socket.

새로운 소켓 인터페이스는 테스트될 반도체 소자의 복수 개의 핀과 각각 접촉하는 복수 개의 핀을 포함하는 소켓과, 복수 개의 소켓 접촉단과 복수 개의 연결 블록 접촉단을 포함하며 상기 복수 개의 소켓 접촉단은 상기 복수 개의 핀과 각각 접촉하며 상기 복수 개의 연결 블록 접촉단은 상기 복수 개의 소켓 접촉단과 내부 배선을 통하여 각각 연결되는 것인 테스트 인터페이스 보드와, 상기 복수 개의 연결 블록 접촉단에 접촉하는 복수 개의 포고(POGO) 핀을 포함하며 상기 복수 개의 포고 핀은 각각 실장 테스트가 수행될 기준 전자 장치의 접촉 수단에 접촉되는 것인 연결 블록으로 구성된다. The new socket interface comprises a socket comprising a plurality of pins each contacting a plurality of pins of a semiconductor device to be tested, a plurality of socket contacts and a plurality of connection block contacts, the plurality of socket contacts being the plurality of pins And a plurality of connection block contact ends respectively connected to the test interface board and the plurality of pogo pins contacting the plurality of connection block contact ends. And the plurality of pogo pins each comprising a connection block which contacts the contact means of the reference electronic device on which the mounting test is to be performed.

이러한 새로운 소켓 인터페이스에 대한 상세한 사항은 본 출원과 동일자로 출원하는 본 출원인의 다른 특허출원인 "반도체 소자의 실장 테스트를 위한 소켓 인터페이스"라는 명칭의 특허출원에 상세히 개시되어 있으며 상기 "반도체 소자의 실장 테스트를 위한 소켓 인터페이스" 특허 출원의 내용이 본 명세서에 참조로서 병합된다.Details of this new socket interface are disclosed in detail in the patent application entitled "Socket Interface for Semiconductor Device Mounting Test," another patent application filed by the same applicant as the present application, and the "test for mounting semiconductor devices." The contents of the "Socket Interface for" patent application are incorporated herein by reference.

복수 개의 메인보드(130a 내지 130n)는 각각 상기 복수 개의 기준 전자장치(110a 내지 110n)에 연결되며, 메인 보드(130) 각각은 내부에 CPU를 포함하여 실장 테스트를 수행할 수 있도록 한다.A plurality of main boards 130a to 130n are connected to the plurality of reference electronic devices 110a to 110n, respectively, and each of the main boards 130 includes a CPU therein to perform a mounting test.

즉 상기 기준 전자장치가 하드 디스크 드라이브인 경우 CPU의 제어에 의해서 상기 하드 디스크 드라이브를 동작시킴에 의해서 상기 하드 디스크 드라이브에 장착된 소켓 인터페이스에 삽입되는 반도체 소자의 동작의 양호/불량 여부를 판단하는 것이다.That is, when the reference electronic device is a hard disk drive, the operation of the hard disk drive under the control of a CPU determines whether the semiconductor device inserted into the socket interface mounted on the hard disk drive is good or bad. .

인터페이스부(150)는 상기 복수 개의 메인보드(130a 내지 130n) 각각의 입출력 인터페이스를 통합하여 제공한다.The interface unit 150 integrates and provides an input / output interface of each of the plurality of main boards 130a to 130n.

예컨대, 상기 복수 개의 메인보드(130a 내지 130n)는 키보드 입출력, 모니터 입력, 전원 입력 등을 포함하는 다수의 입출력 인터페이스를 각각 포함하고 있으며, 이러한 메인보드 각각에 대해서 키보드 입출력, 모니터 입력, 전원 입력 등을 포함하는 다수의 입출력 인터페이스를 별도로 설정하여 연결한다면 내부 배선이 매우 복잡하게 될 것이다. 따라서 하나의 인터페이스 보드 형태로 상기 복수 개의 메인보드(130a 내지 130n) 각각의 인터페이스를 통합하여 제공한다면 내부 배선이 간결하게 되고 또한 테스트 픽스쳐 장치의 부피 역시 줄어들 수 있을 것이다.For example, the plurality of main boards 130a to 130n each include a plurality of input / output interfaces including a keyboard input / output, a monitor input, a power input, and the like. Internal wiring will be very complicated if multiple I / O interfaces are configured and connected separately. Therefore, if the integrated interface of each of the plurality of main boards 130a to 130n is provided in the form of one interface board, the internal wiring can be simplified and the volume of the test fixture device can be reduced.

제어부(170)는 상기 복수 개의 메인보드(130a 내지 130n) 각각에 연결되며 상기 테스트 픽스쳐(100)의 동작을 전체적으로 제어한다. 상기 제어부(170)는 또한 도시되지는 않았지만 외부 분석장치(200)와의 연결을 위한 통신 인터페이스를 포함할 수 있다. 상기 테스트 픽스쳐(100)는 실장 테스트를 수행하기 위한 기본 구조이며, 실제 테스트를 수행하기 위해서는 반도체 소자의 로딩 등을 위한 장치를 포함하는 테스터가 필요하다. 상기 제어부(170)는 상기 테스터와의 연결을 통해서 테스트 픽스쳐(100)의 전체적인 동작을 제어하는 역할을 수행한다.The controller 170 is connected to each of the plurality of main boards 130a to 130n and controls the operation of the test fixture 100 as a whole. Although not shown, the controller 170 may include a communication interface for connecting to the external analyzer 200. The test fixture 100 is a basic structure for performing a mounting test, and in order to perform an actual test, a tester including a device for loading a semiconductor device is required. The controller 170 controls the overall operation of the test fixture 100 through connection with the tester.

도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐의 블록도이다. 도시되듯이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐(100')는, 복수개의 기준 전자장치(110'a 내지 110'n)와, 제어부(170')와 전원 공급부(190)를 포함한다.2 is a block diagram of a test fixture for mounting test according to another embodiment of the present invention. As illustrated, the test fixture 100 ′ for a test for mounting according to another embodiment of the present invention includes a plurality of reference electronic devices 110 ′ a through 110 ′ n, a controller 170 ′, and a power supply unit 190. ).

복수 개의 기준 전자장치(110'a 내지 110'n)는 내부에 테스트될 반도체 소자를 삽입하고 배출하는 소켓 인터페이스를 장착하도록 되어 있으며 동일한 기준 전자장치이다.The plurality of reference electronics 110'a to 110'n are equipped with a socket interface for inserting and discharging a semiconductor device to be tested therein and are the same reference electronics.

상기 기준 전자장치(110')는 예컨대 휴대폰과 같은 이동통신 단말기로서 케이스를 제거하고 내부 회로 중에서 테스트될 반도체 소자에 대응되는 소자를 제거한 장치일 수 있으며, 테스트될 반도체 소자는 상기 휴대폰 내에 장착되는 버퍼 메모리일 수 있다. 상기 기준 전자장치(110')의 테스트될 반도체 소자에 대응되는 소자를 제거한 부분에는 소켓 인터페이스를 장착하여 반도체 소자의 테스트를 수행할 수 있도록 구성된다. 소켓 인터페이스에 대한 설명은 본 발명의 일 실시예에 따른 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐(100')와 동일하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 기준 전자장치(110')와 본 발명의 일 실시예에 따른 기준 전자장치(110)와의 차이점은 본 발명의 일 실시예에 따른 기준 전자장치(110)는 PC의 메인보드에 장착되어 PC의 제어에 의해서 동작하는 전자장치라는 점이며, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기준 전자장치(110')는 이에 한정되지 않은 전자장치이다.The reference electronic device 110 ′ may be, for example, a mobile communication terminal such as a mobile phone, and a device that removes a case and removes a device corresponding to a semiconductor device to be tested from an internal circuit. It may be a memory. A socket interface may be mounted on a portion of the reference electronic device 110 ′ in which a device corresponding to the semiconductor device to be tested is removed to test the semiconductor device. Since the description of the socket interface is the same as the test fixture 100 ′ for the mounting test according to the embodiment of the present invention, a detailed description thereof will be omitted. The difference between the reference electronic device 110 ′ according to another embodiment of the present invention and the reference electronic device 110 according to an embodiment of the present invention is that the reference electronic device 110 according to the embodiment of the present invention is a PC. It is an electronic device mounted on a main board and operated under the control of a PC, and the reference electronic device 110 ′ according to another embodiment of the present invention is not limited thereto.

제어부(170')는 상기 복수 개의 기준 전자장치(110'a 내지 110'n) 각각에 연결되며 상기 테스트 픽스쳐(100')의 동작을 전체적으로 제어한다. 상기 제어부 (170')는 또한 도시되지는 않았지만 외부 분석장치(200)와의 연결을 위한 통신 인터페이스를 포함할 수 있다. 상기 테스트 픽스쳐(100')는 실장 테스트를 수행하기 위한 기본 구조이며, 실제 테스트를 수행하기 위해서는 반도체 소자의 로딩 등을 위한 장치를 포함하는 테스터가 필요하다. 상기 제어부(170')는 상기 테스터와의 연결을 통해서 테스트 픽스쳐(100')의 전체적인 동작을 제어하는 역할을 수행한다.The controller 170 ′ is connected to each of the plurality of reference electronic devices 110 ′ a to 110 ′ n and controls the operation of the test fixture 100 ′ as a whole. Although not shown, the controller 170 ′ may also include a communication interface for connecting to the external analyzer 200. The test fixture 100 ′ is a basic structure for performing a mounting test, and a tester including a device for loading a semiconductor device is required to perform an actual test. The controller 170 ′ controls the overall operation of the test fixture 100 ′ through connection with the tester.

상기 전원 공급부(190)는 상기 복수 개의 기준 전자장치(110'a 내지 110'n) 및 상기 제어부(170')에 전원을 공급한다.The power supply unit 190 supplies power to the plurality of reference electronic devices 110 ′ a through 110 ′ n and the controller 170 ′.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐의 외관을 나타내는 도면이다.3 is a view showing the appearance of a test fixture for the mounting test according to an embodiment of the present invention.

도시되듯이 케이스에 수납이 되어 있으며, 4개의 기준 전자장치(110a 내지 110d) 상에는 테스트될 반도체 소자를 삽입하고 배출하는 소켓 인터페이스(115a 내지 115d)가 각각 배치되어 있으며, 인터페이스부(150)는 도시되듯이 각각의 메인보드와의 입출력을 위한 인터페이스를 포함하고 있다.As shown, the case is housed in a case, and the socket interfaces 115a to 115d are respectively disposed on the four reference electronic devices 110a to 110d to insert and discharge the semiconductor devices to be tested, and the interface unit 150 is illustrated. As such, it includes an interface for input and output to each motherboard.

도 4는 본 발명에 따른 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐를 포함하는 반도체 소자 실장 테스터의 구성도이다.4 is a configuration diagram of a semiconductor device mounting tester including a test fixture for a mounting test according to the present invention.

도시되듯이 반도체 소자 실장 테스터는, 스태커 장치(300a 내지 300d)와, 트레이 트랜스퍼 장치(350)와, 피커로봇(450)과, 테스트 픽스쳐(500a 내지 500m)를 포함한다. 또한 도시되지는 않았지만 셋플레이트 장치와 상기 각 장치를 제어하는 제어부를 포함한다.As illustrated, the semiconductor device mounting tester includes a stacker device 300a to 300d, a tray transfer device 350, a picker robot 450, and a test fixture 500a to 500m. Although not shown, it includes a set plate device and a control unit for controlling each device.

스태커 장치(300a 내지 300d)는 공정용 트레이들을 수납하는 것으로서, 도 3 에 도시되듯이 4가지의 스태커로 구성된다. The stacker devices 300a to 300d accommodate process trays, and are composed of four stackers as shown in FIG. 3.

즉 테스트될 반도체 소자를 수납하는 공정용 트레이를 적재하는 스태커(300a)와, 비어 있는 공정용 트레이를 적재하는 스태커(300b)와, 양호로 판단된 반도체 소자를 수납하는 공정용 트레이를 적재하는 스태커(300c)와, 불량으로 판단된 반도체 소자를 수납하는 공정용 트레이를 적재하는 스태커(300d)로 구성되어 있다.That is, a stacker 300a for stacking a process tray for accommodating a semiconductor device to be tested, a stacker 300b for stacking an empty process tray, and a stacker for stacking a process tray for storing a semiconductor device judged to be good. 300c and the stacker 300d which mounts the process tray which accommodates the semiconductor element judged to be defective.

상기 스태커 장치(300)에는 수동 또는 자동으로 공정용 트레이가 로딩되고 언로딩될 수 있다.The stacker device 300 may be loaded or unloaded a process tray manually or automatically.

트레이 트랜스퍼 장치(350)는 상기 각 공정용 트레이를 이동시키게 된다. 즉 스태커 장치(300)내의 공정용 트레이를 셋플레이트 장치까지 이송시키는 역할을 수행한다.The tray transfer device 350 moves the trays for each process. That is, it serves to transfer the process tray in the stacker device 300 to the set plate device.

셋플레이트 장치는 공정용 트레이를 피커로봇(450)이 픽업 할수 있는 위치까지 상향/하향 운동과 위치 고정을 수행한다.The set plate apparatus performs the up / down movement and position fixing up to a position where the picker robot 450 can pick up the process tray.

피커로봇(450)은 셋플레이트 장치에 안착된 공정용 트레이 내의 반도체 소자를 테스트 픽스쳐(500) 내의 번인 소켓으로 이송한다. 이 경우 피커로봇(450)은 내부에 피커헤드를 포함하고 있어서 반도체 소자를 흡착하여 이동시킬 수 있다.The picker robot 450 transfers the semiconductor device in the process tray seated on the set plate apparatus to the burn-in socket in the test fixture 500. In this case, the picker robot 450 includes a picker head therein, so that the picker robot 450 can absorb and move the semiconductor device.

테스트 픽스쳐(500a 내지 500m)는 상기 피커로봇(450)에 의해서 이송된 반도체 소자를 테스트하고 테스트된 반도체 소자는 상기 피커로봇에 의해서 이송시키며, 복수의 테스트 픽스쳐를 포함하여 동시에 다수의 반도체 소자의 테스트를 수행할 수 있도록 한다.Test fixtures 500a to 500m test the semiconductor devices transferred by the picker robot 450 and the tested semiconductor devices are transferred by the picker robot, and test a plurality of semiconductor devices at the same time including a plurality of test fixtures. To do this.

비록 본원 발명이 구성이 예시적으로 설명되었지만 이는 단지 본 발명을 예 시하기 위한 것이며, 본 발명의 보호 범위가 이들 예시에 의해 제한되는 것은 아니며, 본원 발명의 보호 범위는 청구범위의 기재를 통하여 정하여진다.Although the present invention has been described by way of example only, it is for the purpose of illustrating the invention only, and the protection scope of the present invention is not limited by these examples, the protection scope of the present invention is defined by the description of the claims Lose.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 종래 실장 테스트를 수행하기 어려웠던 하드 디스크 드라이브에 사용되는 버퍼 메모리와 같은 전자 장치에 사용되는 반도체 소자를 실장 환경에서 테스트할 수 있다.As described above, according to the present invention, a semiconductor device used in an electronic device such as a buffer memory used in a hard disk drive, which has been difficult to perform a conventional mounting test, may be tested in a mounting environment.

Claims (9)

실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐(test fixture)로서,As a test fixture for implementation tests, 테스트될 반도체 소자를 삽입하고 배출하는 소켓 인터페이스가 장착되는 복수 개의 기준 전자장치와,A plurality of reference electronics equipped with socket interfaces for inserting and ejecting semiconductor devices to be tested; 상기 복수 개의 기준 전자장치 각각에 연결되며 CPU를 포함하여 실장 테스트를 수행하는 복수 개의 메인보드와,A plurality of main boards connected to each of the plurality of reference electronic devices and including a CPU to perform a mounting test; 상기 복수 개의 메인보드 각각의 입출력 인터페이스를 통합하여 제공하는 인터페이스부와,An interface unit for integrating and providing input / output interfaces of each of the plurality of mainboards; 상기 복수 개의 메인보드 각각에 연결되며 상기 테스트 픽스쳐의 동작을 제어하는 제어부A control unit connected to each of the plurality of main boards and controlling an operation of the test fixture 를 포함하는 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐.Test fixtures for mounting test including. 제1항에 있어서, 상기 소켓 인터페이스는, The method of claim 1, wherein the socket interface, 테스트될 반도체 소자의 복수 개의 핀과 각각 접촉하는 복수 개의 핀을 포함하는 소켓과,A socket comprising a plurality of pins each of which contacts a plurality of pins of the semiconductor device to be tested, 복수 개의 소켓 접촉단과 복수 개의 연결 블록 접촉단을 포함하며 상기 복수 개의 소켓 접촉단은 상기 복수 개의 핀과 각각 접촉하며 상기 복수 개의 연결 블록 접촉단은 상기 복수 개의 소켓 접촉단과 내부 배선을 통하여 각각 연결되는 것인 테스트 인터페이스 보드와,And a plurality of socket contact ends and a plurality of connection block contact ends, wherein the plurality of socket contact ends contact the plurality of pins, respectively, and the plurality of connection block contact ends are respectively connected to the plurality of socket contact ends through an internal wiring. Test interface board, 상기 복수 개의 연결 블록 접촉단에 접촉하는 복수 개의 포고(POGO) 핀을 포함하며 상기 복수 개의 포고 핀은 각각 실장 테스트가 수행될 기준 전자 장치의 접촉 수단에 접촉되는 것인 연결 블록A connection block comprising a plurality of pogo pins contacting the plurality of connection block contacts, wherein the plurality of pogo pins are respectively in contact with the contact means of the reference electronic device on which the mounting test is to be performed. 을 포함하는 것인 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐.The test fixture for mounting test that includes. 제1항에 있어서, 상기 기준 전자장치는 하드 디스크 드라이브이며, 상기 테스트 픽스쳐는 4개의 하드 디스크 드라이브를 포함하는 것이고, 상기 테스트될 반도체 소자는 상기 하드 디스크 드라이브에 사용되는 버퍼 메모리인 것인 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐.The test of claim 1, wherein the reference electronics is a hard disk drive, the test fixture comprises four hard disk drives, and the semiconductor device to be tested is a buffer memory used in the hard disk drive. Test fixtures. 제1항에 있어서, 상기 인터페이스부는,The method of claim 1, wherein the interface unit, 상기 복수개의 메인보드 각각을 위한 키보드 입출력, 모니터 입력, 전원 입력 등을 포함하는 다수의 입출력 인터페이스 각각을 하나의 인터페이스 보드의 해당 입출력 인터페이스에 연결하도록 구현함으로써 내부의 연결선 배선을 간단하게 할 수 있는 것인 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐.A plurality of input / output interfaces including keyboard input / output, monitor input, power input, etc. for each of the plurality of mainboards can be connected to corresponding input / output interfaces of one interface board, thereby simplifying internal wiring wiring. Fixture for in-place test. 제1항에 있어서, 상기 제어부는,The method of claim 1, wherein the control unit, 외부 분석장치와의 연결을 위한 통신 인터페이스를 포함하는 것인 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐.A test fixture for mounting test comprising a communication interface for connection to an external analyzer. 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐(test fixture)로서,As a test fixture for implementation tests, 테스트될 반도체 소자를 삽입하고 배출하는 소켓 인터페이스가 장착되는 복수 개의 기준 전자장치와,A plurality of reference electronics equipped with socket interfaces for inserting and ejecting semiconductor devices to be tested; 상기 복수 개의 기준 전자장치 각각에 연결되며 상기 복수 개의 기준 전자장치 각각의 테스트 동작을 제어하며 상기 기준 전자장치 각각으로부터 테스트된 신호를 출력받아 분석하는 제어부와,A control unit connected to each of the plurality of reference electronic devices and controlling a test operation of each of the plurality of reference electronic devices, and receiving and analyzing a test signal from each of the reference electronic devices; 상기 복수 개의 기준 전자장치 및 상기 제어부에 전원을 공급하는 전원 공급부A power supply unit supplying power to the plurality of reference electronic devices and the control unit 를 포함하는 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐.Test fixtures for mounting test including. 제6항에 있어서, 상기 제어부는,The method of claim 6, wherein the control unit, 외부 분석장치와의 연결을 위한 통신 인터페이스를 포함하는 것인 실장 테스트를 위한 테스트 픽스쳐.A test fixture for mounting test comprising a communication interface for connection to an external analyzer. 공정용 트레이(tray)들을 수납하는 스태커로서 테스트될 반도체 소자를 수납하는 공정용 트레이와 양호로 판단된 반도체 소자를 수납하는 공정용 트레이와 불량으로 판단된 반도체 소자를 수납하는 공정용 트레이와 비어 있는 공정용 트레이를 각각 적재하는 스태커 장치와,As a stacker for storing process trays, a process tray for storing a semiconductor element to be tested, a process tray for accommodating a semiconductor element judged good, and a process tray for accommodating a semiconductor element judged defective and an empty tray A stacker device for loading a tray for each process, 상기 공정용 트레이를 이동시키는 트레이 트랜스퍼(tray transfer) 장치와,A tray transfer device for moving the process tray, 테스트될 소자의 로딩을 위한 셋플레이트와 테스트된 소자의 언로딩을 위한 셋플레이트를 포함하며 상기 트레이 트랜스퍼 장치에 의해 이동된 공정용 트레이를 픽업(pickup) 위치까지 이동시키는 셋플레이트(set plate) 장치와, A set plate device comprising a set plate for loading the device to be tested and a set plate for unloading the device to be tested and for moving the process tray moved by the tray transfer device to a pickup position Wow, 상기 테스트될 소자의 로딩을 위한 셋플레이트 내의 공정용 트레이 내의 테스트될 반도체 소자를 로딩하여 이송하고 테스트된 반도체 소자를 테스트된 소자의 언로딩을 위한 셋플레이트로 이송하는 피커로봇(picker robot)과,A picker robot which loads and transfers the semiconductor device to be tested in the process tray in the set plate for loading the device to be tested and transfers the tested semiconductor device to the set plate for unloading the tested device; 상기 피커로봇에 의해서 이송된 반도체 소자를 테스트하고 테스트된 반도체 소자는 상기 피커로봇에 의해서 이송시키는 한 개 이상의 테스트 픽스쳐로서, 제1항 내지 제7항중 어느 한 항에 기재된 한 개 이상의 테스트 픽스쳐와,The semiconductor device tested by the picker robot and the tested semiconductor device are at least one test fixture to be transferred by the picker robot, the at least one test fixture according to any one of claims 1 to 7, 상기 각 장치를 제어하는 제어부Control unit for controlling each device 를 포함하는 반도체 소자 실장 테스터.Semiconductor device mounting tester comprising a. 제8항에 있어서, 상기 제어부는,The method of claim 8, wherein the control unit, 테스트의 수행 도중에 상기 한 개 이상의 테스트 픽스쳐 중 일부에 불량이 발생하는 경우 해당 테스트 픽스쳐의 동작을 중단시키고 해당 테스트 픽스쳐를 꺼내어 내부의 불량이 발생한 부분을 교체하고 다시 테스트 픽스쳐를 삽입하면 내장된 센서로 삽입을 감지하여 다시 해당 테스트 픽스쳐의 동작을 재개하도록 하는 것인 반도체 소자 실장 테스터.If some of the one or more test fixtures fail during the test, stop the operation of the test fixtures, take out the test fixtures, replace the defective parts inside, and insert the test fixtures again. A semiconductor device mounting tester that detects an insertion and resumes operation of that test fixture.
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KR20180115564A (en) * 2017-04-13 2018-10-23 주식회사 이노비즈 Semiconductor device pick-up module and apparatus testing semiconductor devices having the same

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7751265B2 (en) 2007-02-16 2010-07-06 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor device including a plurality of memory units and method of testing the same
KR101534163B1 (en) * 2009-04-01 2015-07-06 삼성전자주식회사 Main board applicable to real test, memory real test system having the same
KR20180115564A (en) * 2017-04-13 2018-10-23 주식회사 이노비즈 Semiconductor device pick-up module and apparatus testing semiconductor devices having the same

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