KR20060028987A - Voice warning apparatus of semiconductor device fabrication equipment - Google Patents

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KR20060028987A KR1020040077932A KR20040077932A KR20060028987A KR 20060028987 A KR20060028987 A KR 20060028987A KR 1020040077932 A KR1020040077932 A KR 1020040077932A KR 20040077932 A KR20040077932 A KR 20040077932A KR 20060028987 A KR20060028987 A KR 20060028987A
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Abstract

본 발명은 반도체 제조 장비의 각 센서부의 고장감지를 청각적으로 작업자에게 인식시킬 수 있는 반도체 제조 장비의 음성 경고 장치에 관한 것이다. 본 발명의 반도체 제조 장비의 음성 경고장치는 반도체 제조 장비의 각부분의 이상상태를 검출하기 위한 센서들을 갖는 그리고 그 이상상태의 검출에 따른 신호를 출력하는 출력 센서부와; 상기 출력 센서부의 해당 고장 인식 신호에 따라 배터리로부터 전류를 공급받아 점등되는 다수개의 경고등이 구비된 경고부와; 상기 출력 센서부의 고장 인식 신호를 입력받아 보이스 롬에 저장된 해당 음성 경고 메시지 신호를 읽어들여 출력하는 제어부; 및 상기 제어부에서 출력되는 음성 경고 메시지 신호를 외부로 출력하는 스피커를 포함한다.The present invention relates to a voice warning device of semiconductor manufacturing equipment that can visually recognize a failure detection of each sensor unit of semiconductor manufacturing equipment. An audio warning device of semiconductor manufacturing equipment of the present invention comprises: an output sensor section having sensors for detecting an abnormal condition of each part of the semiconductor manufacturing equipment and outputting a signal according to the detection of the abnormal condition; A warning unit including a plurality of warning lamps which are turned on by receiving current from a battery according to a corresponding failure recognition signal of the output sensor unit; A controller which receives a failure recognition signal of the output sensor unit and reads and outputs a corresponding voice warning message signal stored in a voice ROM; And a speaker configured to output a voice warning message signal output from the controller to the outside.

Description

반도체 제조 장비의 음성 경고 장치{ VOICE WARNING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION EQUIPMENT}VOICE WARNING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION EQUIPMENT}

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 제조 장비의 음성 경고 장치의 구성도이다. 1 is a configuration diagram of a voice warning apparatus of a semiconductor manufacturing apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

110 : 출력 센서부110: output sensor

120 : 경고부120: warning unit

130 : 제어부130: control unit

140 : 스피커
140: speaker

본 발명은 반도체 제조 장비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 장비의 각 센서부의 고장감지를 청각적으로 작업자에게 인식시킬 수 있는 반도체 제조 장비의 음성 경고 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to semiconductor manufacturing equipment, and more particularly, to a voice warning device of semiconductor manufacturing equipment that can visually recognize a failure detection of each sensor unit of semiconductor manufacturing equipment.

종래에는 반도체 장비를 가동하는 중에 고장이 발생하게 되면 디스플레이장 치를 통해 고장여부 및 고장부위가 디스플레이 된다. 이때, 작업자가 다이 셋트(die set) 내에서 정비를 하고 있거나, 장비 곁에서 떨어져 있으면 디스플레이장치를 볼 수 없기 때문에 장비의 고장 유무를 확인하기 어려웠다.Conventionally, if a failure occurs while operating a semiconductor device, whether or not the failure is displayed through a display device. At this time, it is difficult to check the failure of the equipment because the operator cannot see the display device when the operator is performing maintenance in the die set or is separated from the equipment.

이에 대한 보완책으로 경고등이나 알람장치를 사용하고 있으나, 이것들 역시 반도체 장비의 고장유무만 알려줄 뿐, 고장종류나 고장부위에 대한 정보는 전달해 주지 않고 있다. 따라서, 기존에는 장비의 고장이 발생된 즉시 신속한 조치가 이루어지지 못하여 반도체 공정의 원활한 진행이 곤란해지는 문제점이 있다. As a countermeasure, warning lamps and alarm devices are used, but they also provide only information on the failure of the semiconductor equipment and do not transmit information on the type of failure or the location of the failure. Therefore, there is a problem that it is difficult to proceed smoothly of the semiconductor process due to the rapid action is not made immediately after the failure of the equipment.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 반도체 제조 장비의 각 요소에 설치된 고장감지 센서가 고장을 감지하면, 각각의 고장감지에 해당하는 경고 메시지를 음성으로도 출력하여 작업자가 경고등이 점등된 것을 간과하더라도 즉시조치를 요하는 장비의 상태 변화를 인식할 수 있는 새로운 형태의 반도체 제조 장비의 음성 경고 장치를 제공하는데 있다. The present invention is to solve such a conventional problem, the object is that when the failure detection sensor installed in each element of the semiconductor manufacturing equipment detects a failure, by outputting a warning message corresponding to each failure detection by voice It is to provide a new type of voice warning device for semiconductor manufacturing equipment that can recognize a change in the state of equipment requiring immediate action even if the warning light is turned on.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 제조 장비의 음성 경고장치는 반도체 제조 장비의 각부분의 이상상태를 검출하기 위한 센서들을 갖는 그리고 그 이상상태의 검출에 따른 신호를 출력하는 출력 센서부와; 상기 출력 센서부의 해당 고장 인식 신호에 따라 배터리로부터 전류를 공급받아 점등되는 다수개의 경고등이 구비된 경고부와; 상기 출력 센서부의 고장 인식 신호를 입력받아 보이스 롬에 저장된 해당 음성 경고 메시지 신호를 읽어들여 출력하는 제어부; 및 상기 제 어부에서 출력되는 음성 경고 메시지 신호를 외부로 출력하는 스피커를 포함한다.The voice warning device of the semiconductor manufacturing equipment of the present invention for achieving the above object has an output sensor unit having sensors for detecting an abnormal state of each part of the semiconductor manufacturing equipment and outputting a signal according to the detection of the abnormal state; ; A warning unit including a plurality of warning lamps which are turned on by receiving current from a battery according to a corresponding failure recognition signal of the output sensor unit; A controller which receives a failure recognition signal of the output sensor unit and reads and outputs a corresponding voice warning message signal stored in a voice ROM; And a speaker configured to output a voice warning message signal output from the control unit to the outside.

예컨대, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다. For example, the embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. These examples are provided to more fully explain the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shape of the elements in the drawings and the like are exaggerated to emphasize a clearer description.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1에 의거하여 상세히 설명한다. Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 제조 장비의 음성 경고 장치의 구성도이다. 1 is a configuration diagram of a voice warning apparatus of a semiconductor manufacturing apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 제조 장비의 음성경고장치(100)는 출력 센서부(110)와 경고부(120), 제어부(130) 그리고 스피커(140)를 포함한다. Referring to FIG. 1, the voice warning apparatus 100 of a semiconductor manufacturing apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention includes an output sensor unit 110, a warning unit 120, a control unit 130, and a speaker 140. .

상기 출력 센서부(110)는 반도체 제조 장비의 각부분의 이상상태(에러)를 검출하기 위한 센서(112)들을 갖으며, 각 센서들은 이상상태의 검출에 따른 신호를 출력하게 된다.The output sensor unit 110 has sensors 112 for detecting an abnormal state (error) of each part of the semiconductor manufacturing equipment, and each sensor outputs a signal according to the detection of the abnormal state.

상기 경고부(120)는 상기 출력 센서부(110)의 해당 이상상태 검출 신호에 따라 배터리로부터 전류를 공급받아 점등되는 다수개의 경고등(122)들을 갖는다. The warning unit 120 has a plurality of warning lamps 122 that are turned on by receiving current from a battery according to a corresponding abnormal state detection signal of the output sensor unit 110.

상기 제어부(130)는 상기 출력 센서부의 센서(112)로부터 출력되는 이상상태(에러) 검출신호를 입력받아, 그 입력된 신호에 대응되는 음성신호를 출력하도록 구비된다. 상기 음성신호들은 각 센서들에 대응되어 미리 보이스 롬(132)에 저장된 다. 상기 제어부(130)는 상기 센서들로부터 이상상태 검출 신호를 입력받아 보이스 롬(132)에 저장된 해당 음성 경고 메시지 신호를 읽어들여 출력하게 되며, 스피커(140)는 상기 제어부(130)에서 출력되는 음성 경고 메시지 신호를 외부로 출력하게 된다The controller 130 receives an abnormal state (error) detection signal output from the sensor 112 of the output sensor unit, and outputs a voice signal corresponding to the input signal. The voice signals are stored in the voice ROM 132 in advance in correspondence with the respective sensors. The controller 130 receives an abnormal state detection signal from the sensors and reads and outputs a corresponding voice warning message signal stored in the voice ROM 132, and the speaker 140 outputs the voice output from the controller 130. Output warning message signal to outside

예를 들어, 반도체 제조 장비의 진공펌프가 고장이 나서 정지한 경우, 출력 센서부(110)의 첫 번째 센서가 on 상태로 스위칭되고, 그 첫 번째 센서로부터 출력되는 이상상태 검출신호는 제어부(130)로 제공되는 것이다. For example, when the vacuum pump of the semiconductor manufacturing equipment fails and stops, the first sensor of the output sensor unit 110 is switched on, and the abnormal state detection signal output from the first sensor is controlled by the controller 130. ) Is provided.

상기 제어부(130)는 첫 번째 센서가 on 상태로 스위칭됨에 따라 그에 따른 검출신호가 제공되었음을 인식하여, 진공펌프에 고장이 난 것으로 판단하고, 상기 진공펌프의 고장에 대응된 음성 신호를 보이스 롬(132)으로부터 받아서 출력하게 된다. 상기 음성신호는 스피커(140)를 통해 작업자에게 청각적으로 인식된다. 즉, 스피커를 통해 '진공펌프에 고장이 발생하였습니다. 신속하게 조치하여 주시기 바랍니다.' 라는 음성 신호가 출력된다.The controller 130 recognizes that the detection signal is provided as the first sensor is switched on, determines that the vacuum pump has failed, and generates a voice signal corresponding to the failure of the vacuum pump. 132) to output. The voice signal is acoustically recognized by the operator through the speaker 140. In other words, the speaker failed. Please take action promptly. ' Voice signal is output.

이상에서, 본 발명에 따른 반도체 제조 장비의 음성 경고 장치의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다. In the above, the configuration and operation of the voice warning device of the semiconductor manufacturing equipment according to the present invention have been shown according to the above description and drawings, but this is merely described, for example, and various changes and changes without departing from the technical spirit of the present invention. Of course, change is possible.

이와 같은 본 발명에 의하면, 각각의 이상상태(에러) 검출신호에 해당하는 경고 메시지를 음성으로도 출력하여 작업자가 경고등이 점등된 것을 간과하더라도 즉시조치를 할 수 있는 효과가 있다. According to the present invention as described above, the warning message corresponding to each abnormal state (error) detection signal is also output by voice so that the operator can take immediate action even if the operator overlooks that the warning light is turned on.

Claims (1)

반도체 제조 장비의 각부분의 이상상태를 검출하기 위한 센서들을 갖는 그리고 그 이상상태의 검출에 따른 신호를 출력하는 출력 센서부와;An output sensor section having sensors for detecting an abnormal state of each part of the semiconductor manufacturing equipment and outputting a signal according to the detection of the abnormal state; 상기 출력 센서부의 해당 고장 인식 신호에 따라 배터리로부터 전류를 공급받아 점등되는 다수개의 경고등이 구비된 경고부와; A warning unit including a plurality of warning lamps which are turned on by receiving current from a battery according to a corresponding failure recognition signal of the output sensor unit; 상기 출력 센서부의 고장 인식 신호를 입력받아 보이스 롬에 저장된 해당 음성 경고 메시지 신호를 읽어들여 출력하는 제어부; 및A controller which receives a failure recognition signal of the output sensor unit and reads and outputs a corresponding voice warning message signal stored in a voice ROM; And 상기 제어부에서 출력되는 음성 경고 메시지 신호를 외부로 출력하는 스피커를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비의 음성 경고장치.And a speaker configured to output a voice warning message signal output from the controller to the outside.
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