KR20060028283A - Aparatus for removing protecting film of sunstrate and removing method protecting film of substrate using the same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 소음 발생이 적고, 기판으로부터 보호필름을 완벽하게 제거할 수 있는 기판의 보호필름 제거장치 및 이를 이용한 보호필름 제거방법에 관한 것으로, 보호필름이 부착된 기판과, 상기 기판을 이송하는 기판 이송롤러 및 상기 기판에 부착된 보호필름을 흡착하는 복수의 흡착바를 포함하여 구성된 기판의 보호필름 제거장치를 제공한다.The present invention relates to a protective film removing apparatus for a substrate capable of completely removing a protective film from a substrate and a method for removing a protective film using the same, the substrate having a protective film attached thereto, and a substrate transferring the substrate. It provides a protective film removing apparatus of a substrate comprising a transfer roller and a plurality of adsorption bars for adsorbing a protective film attached to the substrate.
보호필름, 흡착바, 이송롤러Protective film, adsorption bar, feed roller
Description
도 1은 일반적인 액정표시장치의 구조를 개략적으로 나타내는 단면도.1 is a cross-sectional view schematically showing a structure of a general liquid crystal display device.
도 2는 보호필름이 부착된 기판을 나타낸 도면.2 is a view showing a substrate with a protective film;
도 3은 종래 기판의 보호필름 제거장치를 개략적으로 나타낸 도면.Figure 3 is a schematic view showing a device for removing a protective film of a conventional substrate.
도 4는 본 발명에 의한 기판의 보호필름 제거장치를 개략적으로 나타낸 도면.Figure 4 is a schematic view showing a device for removing a protective film of the substrate according to the present invention.
도 5는 본 발명의 흡착바를 상세하게 나타내 도면.5 is a view showing in detail the adsorption bar of the present invention.
** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **** Explanation of symbols for main parts of drawings **
31: 기판 33: 이송롤러31: substrate 33: feed roller
35: 흡착바 35'; 지지바35: adsorption bar 35 '; Support bar
35a: 흡착홀 36: 보호필름 수거박스35a: adsorption hole 36: protective film collection box
37: 에어공급부 38: 진공펌프37: air supply unit 38: vacuum pump
본 발명은 기판의 보호필름 제거장치에 관한 것으로, 특히, 소음 발생을 줄여 작업환경을 개선할 수 있도록 한 기판의 보호필름 제거장치 및 이를 이용한 보호필름 제거방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for removing a protective film of a substrate, and more particularly, to an apparatus for removing a protective film of a substrate and a method of removing a protective film using the same to reduce a noise and improve a working environment.
근래, 핸드폰(Mobile Phone), PDA, 노트북컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 경박단소용의 평판표시장치(Flat Panel Display Device)에 대한 요구가 점차 증대되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등이 활발히 연구되고 있지만, 양산화 기술, 구동수단의 용이성, 고화질의 구현이라는 이유로 인해 현재에는 액정표시소자(LCD)가 각광을 받고 있다.Recently, with the development of various portable electronic devices such as mobile phones, PDAs, and notebook computers, there is a growing demand for flat panel display devices for light and thin applications. Such flat panel displays are being actively researched, such as LCD (Liquid Crystal Display), PDP (Plasma Display Panel), FED (Field Emission Display), VFD (Vacuum Fluorescent Display), but mass production technology, ease of driving means, Liquid crystal display devices (LCDs) are in the spotlight for reasons of implementation.
도1은 일반적인 액정표시소자의 단면을 개략적으로 나타낸 것이다. 도면에 도시한 바와 같이, 액정표시소자(1)는 하부기판(5)과 상부기판(3) 및 상기 하부기판(5)과 상부기판(3) 사이에 형성된 액정층(7)으로 구성되어 있다. 하부기판(5)은 구동소자 어레이(Array)기판으로써, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 하부기판(5)에는 복수의 화소가 형성되어 있으며, 각각의 화소에는 박막트랜지스터(Thin Film Transistor)와 같은 구동소자가 형성되어 있다. 상부기판(3)은 컬러필터(Color Filter)기판으로써, 실제 컬러를 구현하기 위한 컬러필터층이 형성되어 있다. 또한, 상기 하부기판(5) 및 상부기판(3)에는 각각 화소전극 및 공통전극이 형성되어 있으며 액정층(7)의 액정분자를 배향하기 위한 배향막이 도포되어 있다.1 schematically illustrates a cross section of a general liquid crystal display device. As shown in the figure, the liquid
상기 하부기판(5) 및 상부기판(3)은 실링재(Sealing material)(9)에 의해 합 착되어 있으며, 그 사이에 액정층(7)이 형성되어 상기 하부기판(5)에 형성된 구동소자에 의해 액정분자를 구동하여 액정층을 투과하는 광량을 제어함으로써 정보를 표시하게 된다.The
상기한 바와 같이, 액정표시소자는 투명한 유리기판 상에 형성되며, 상기 유리기판 상에 소자가 형성되기 전에 상기 기판을 보호하기 위한 보호필름이 부착되어 있다.As described above, the liquid crystal display device is formed on a transparent glass substrate, and a protective film for protecting the substrate is attached before the element is formed on the glass substrate.
도2는 소자가 만들어지기 전, 유리기판을 도시한 것으로, 도면에 도시된 바와 같이, 소자가 만들어지기 전, 상기 유리기판(10)은 그 상부 및 하부면에 상부보호필름(11A) 및 하부보호필름(11B)이 부착되어 있다. 상기 보호필름(11A,11B)은 유리기판(10)이 이물질로부터 오염되는 것을 방지하고, 표면을 보호하여 스크레치(scratch)가 발생하는 것을 방지하기 위한 것으로, 액정표시소자의 공정을 진행하기 전에 상기 보호필름은 제거된다. 또한, 상기 보호필름(11A,11B)은 기판(10)으로부터 용이하게 분리될 수 있도록, 보호필름의 일측이 기판을 모두 커버하고, 남은 더미영역이 형성되어 있다.2 shows a glass substrate before the device is made, and as shown in the drawing, before the device is made, the
상기 보호필름은 작업자에 의해 수동으로 제거될 수 있으나, 이러한 수작업은 작업자의 손에 의해 기판의 오염이 발생하고, 작업효율이 떨어지기 때문에, 상기 기판의 보호필름을 자동으로 제거하기 위한 기판의 보호필름 제거장치를 사용하게 된다.The protective film may be manually removed by an operator, but such manual work may cause contamination of the substrate by the operator's hands and reduce work efficiency, thereby protecting the substrate for automatically removing the protective film of the substrate. The film remover is used.
도3은 종래 기판의 보호필름 제거장치를 개략적으로 나타낸 것으로, 도면에 도시된 바와 같이, 종래 기판의 보호필름 제거장치(20)는 기판(21)에 부착된 보호 필름(29)을 흡입하는 필름 흡입롤(25)과 상기 보호필름(29)이 상기 필름 흡입롤(25)에 흡착될 수 있도록 에어를 공급하는 에어공급부(27)로 구성된다.Figure 3 schematically shows a conventional protective film removing device of the substrate, as shown in the drawing, the conventional protective
상기 필름 흡입롤(25)의 표면에는 상기 기판부터 분리된 보호필름(29)을 흡입할 수 있는 흡입구(25a)가 마련되어 있으며, 그 일측에는 상기 흡입구(25a)에 흡입된 보호필름(29)을 수거하는 필름 수거박스(26)이 구비되어 있다.The surface of the
보호필름(29)이 부착된 기판(21)이 상기와 같이 구성된 보호필름 제거장치(20)에 이송되어 오면, 상기 기판(21)의 앞단에 구비된 에어공급부(27)로부터 에어(화살표로 표기)가 배출되고, 기판(21)의 일측에 튀어나온 필름이 상기 필름 흡입롤(25)에 밀착된다. 계속해서, 상기 필름 흡입롤(25)은 상기 흡입구(25a)를 통해 필름 흡입롤(25) 표면에 근접하는 보호필름(29)을 흡입하고, 흡입된 보호필름(29)을 필름수거박스(26)에 자동투입 시키게 된다. 기판(21)이 이송로울러(25)에 의해 이송되어, 상기 보호필름 제거장치를 통과하게 되면, 상기 기판(21)에 부착된 보호필름(29)이 모두 분리되고, 보호필름이 제거된 기판은 다음공정(세정공정)을 위해 준비된다.When the
그러나, 상기한 바와 같은 종래 기판의 보호필름 제거장치는 기판으로부터 보호필름이 정상적으로 분리되지 않은 상태에서도 기판이 계속 이송되기 때문에, 기판으로부터 보호필름이 완벽하게 제거되는 않는 경우가 종종 발생하게 된다.However, since the substrate is continuously transported even when the protective film removing apparatus of the conventional substrate as described above is not normally separated from the substrate, the protective film is often not completely removed from the substrate.
아울러, 상기 필름 흡입롤에 형성된 필름 흡입구가 상기 보호필름을 기판으로부터 분리시키고, 이를 흡입시킬 수 있을 정도의 흡입력이 필요로하기 때문에, 필름이 상기 필름흡입구에 흡입되는 동안 작업장 내부의 소음 발생이 큰 문제점이 있었다.In addition, since the film suction port formed in the film suction roll needs a suction force enough to separate the protective film from the substrate and suck the film, the noise inside the workplace is large while the film is sucked into the film suction port. There was a problem.
따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 기판에 부착된 보호필름을 완벽하게 제거할 수 있는 기판의 보호필름 제거장치를 제공하는 데 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the problems described above, an object of the present invention to provide a protective film removing apparatus of the substrate that can completely remove the protective film attached to the substrate.
또한, 본 발명의 다른 목적은 소음을 줄일수 있는 기판의 보호필름 제거장치를 제공하는 데 있다.In addition, another object of the present invention to provide a protective film removing device of the substrate that can reduce the noise.
기판, 발명의 다른 목적 및 특징들은 후술되는 발명의 구성 및 특허청구범위에서 더욱 상세하게 설명될 것이다.The substrate, other objects and features of the invention will be described in more detail in the configuration and claims of the invention described below.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기판의 보호필름 제거장치는 보호필름이 부착된 기판과, 상기 기판을 이송하는 기판 이송롤러 및 상기 기판에 부착된 보호필름을 흡착하는 복수의 흡착바를 포함하여 구성된다.Apparatus for removing the protective film of the substrate of the present invention for achieving the above object includes a substrate with a protective film, a substrate transfer roller for transporting the substrate and a plurality of adsorption bars for adsorbing the protective film attached to the substrate; It is composed.
상기 보호필름은 상기 기판의 일측으로 튀어나온 더미필름을 가지고 있으며, 상기 더미필름이 흡착바에 밀착되도록 에어를 공급하는 에어공급부가 마련된다.The protective film has a dummy film protruding toward one side of the substrate, and is provided with an air supply unit for supplying air such that the dummy film is in close contact with the adsorption bar.
그리고, 상기 흡착바와 연결되어, 상기 흡착바가 더미필름을 흡착할 수 있도록 하는 진공펌프가 구성되어 있으며, 상기 흡착바는 지지바에 의해 지지된다.In addition, a vacuum pump is configured to be connected to the adsorption bar to allow the adsorption bar to adsorb the dummy film, and the adsorption bar is supported by the support bar.
또한, 상기 흡착바에 흡착된 보호필름을 수거하는 보호필름 수거박스를 더 포함하여 구성될 수 있다.In addition, it may be configured to further include a protective film collection box for collecting the protective film adsorbed on the adsorption bar.
또한, 본 발명에 의한 기판의 보호필름 제거방법은 보호필름이 부착되어 있 으며, 일측에 더미필름을 가지는 기판이 기판 이송롤러에 의해 흡착바까지 이송되는 단계와, 에어공급부로부터 상기 더미필름에 에어를 공급하여, 상기 흡착바에 더미필름을 흡착시키는 단계와, 상기 기판 이송롤에 의해 기판을 이송하면서, 상기 기판으로부터 보호필름을 분리시키는 단계로 이루어진다. 그리고, 상기 흡착바에 흡착된 보호필름을 보호필름 수거박스에 수거하는 단계를 더 포함할 수 있다.In addition, the method of removing the protective film of the substrate according to the present invention is a protective film is attached, the substrate having a dummy film on one side is transferred to the suction bar by the substrate feed roller, and air from the air supply to the dummy film Supplying the adsorbed dummy film to the adsorption bar, and separating the protective film from the substrate while transporting the substrate by the substrate transfer roll. The method may further include collecting the protective film adsorbed on the adsorption bar to the protective film collection box.
이때, 상기 흡착바와 일체로 형성되며, 상기 흡착바를 지지하는 지지바를 회전시켜, 상기 흡착바를 상기 보호필름 수거박스 상부에 위치시키는 단계 및 상기 흡착바로부터 보호필름을 분리시킴으로써, 상기 보호필름 수거박스 내부에 수거하는 단계로 이루어진다.At this time, it is formed integrally with the adsorption bar, by rotating the support bar for supporting the adsorption bar, positioning the adsorption bar on the protective film collection box and separating the protective film from the adsorption bar, inside the protective film collection box The collection step is made.
상기한 바와 같이, 본 발명은 흡착바를 이용하여 기판에 부착된 보호필름을 제거함으로써, 기판으로부터 보호필름을 완전히 제거하고, 소음을 줄일 수 있도록 한다. 즉, 본 발명은 보호필름을 흡입하지 않고, 상기 흡착바에 흡착시킨 상태에서 기판을 이송시킴에 따라, 기판으로부터 보호필름이 자동으로 분리되기 때문에 종래에 비해 소음을 줄일 수가 있다. 또한, 본 발명은 상기 흡착바에 흡착된 보호필름을 시작점으로 하여 기판에 걸쳐 일괄적으로 분리되기 때문에, 기판에 보호필름이 잔류하는 것을 막을 수가 있다.As described above, the present invention is to remove the protective film attached to the substrate by using the adsorption bar, to completely remove the protective film from the substrate, to reduce the noise. That is, according to the present invention, since the protective film is automatically separated from the substrate as the substrate is transported in the state of being adsorbed on the adsorption bar without inhaling the protective film, the noise can be reduced as compared with the conventional art. In addition, the present invention can be prevented from remaining on the substrate because the protective film adsorbed on the adsorption bar is separated in a batch over the substrate as a starting point.
이하, 첨부한 도면을 통하여 상기한 바와 같은 본 발명에 대하여 더욱 상세하게 설명하도록 한다.Hereinafter, the present invention as described above will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
도4는 본 발명에 의한 기판의 보호필름 제거장치를 개략적으로 나타낸 것이고, 도5는 본 발명의 흡착바의 상세도이다. Figure 4 is a schematic view showing a protective film removing apparatus of the substrate according to the present invention, Figure 5 is a detailed view of the adsorption bar of the present invention.
먼저, 도4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 기판의 보호필름 제거장치(30)는 기판(31)에 부착된 보호필름(39)을 흡착하는 흡입바(35)와 상기 보호필름(39)이 상기 흡입바(35)에 정상적으로 흡착될 수 있도록 에어를 공급하는 에어공급부(37)로 구성된다. 그리고, 상기 보호필름(39)이 부착된 기판(31)은 기판 이송롤러(33)에 의해 흡착바(39)까지 이송된다.First, as shown in Figure 4, the protective
상기 흡착바(35)는 흡착바(35)와 일체로 구성된 지지바(35')에 지지되어 있으며, 상기 지지바(35')의 일단부에는 상기 흡착바(35)가 보호필름(39)을 흡착할 수 있도록 하는 진공펌프(38)가 설치되어 있다. 즉, 상기 전공펌프(38)의 구동에 의해서 상기 흡착바(35)가 외부 공기를 흡입하게 되며, 외부 공기의 흡입에 의해 보호필름(39)이 흡착바(35)에 흡착된다. 따라서, 상기 흡착바(35)의 일단부에는 외부공기를 흡입하기 위한 흡입홀(35a; 도5 참조)이 형성되어 있으며, 상기 흡입홀(35a)은 하나 또는 그 이상 형성될 수 있다. 그리고, 그 형태도 스트라이프(stripe), 원형(circle)등 다양하게 형성될 수 있다.The
한편, 상기 흡착바(35)의 전단에는 에어를 공급하는 에어공급부(37)가 설치되어 있으며, 상기 에어공급부(37)는 기판(31)이 흡착바(35)의 위치에 이송되면, 상기 기판(31)에 부착된 보호필름(39)의 일측에 에어를 공급함으로써, 상기 보호필름(39)이 흡착바(35)에 흡착되는 것을 도와준다. 그리고, 상기 지지바(35')와 인접하는 영역에 상기 기판으로부터 보호필름을 제거하고, 상기 제거된 보호필름을 수거하기 위한 보호필름 수거박스(26)가 설치되어 있다.On the other hand, an
상기한 바와 같이 구성된 기판의 보호필름 제거장치는, 다음과 같은 과정을 통해 기판에 부착된 보호필름을 제거하게 된다. The protective film removing apparatus of the substrate configured as described above, removes the protective film attached to the substrate through the following process.
먼저, 상기 보호필름(39)이 부착된 기판(31)이 이송롤러(33)에 의해 흡착바(35)의 위치에 이송된다. 이때, 도면에는 구체적으로 도시하지 않았으나, 상기 보호필름(39)은 기판(31)의 상부 및 하부면에 각각 부착되어 있으며, 상부 및 하부면에 부착된 상,하부 보호필름이 기판의 일측으로 일정한 폭을 가지고 튀어나와 있다(도2 참조). First, the
상기 흡착바(35)에 이송된 기판(31)의 일측에 에어공급부(37)을 통해 에어를 공급한다. 이때, 상기 에어공급부(37)에서 공급된 에어에 의해서 상기 기판의 일측으로 튀어나온 더미필름이 수직방향으로 세워져, 흡착바의 위치까지 올라오게 된다. 그리고, 상기 흡착바(35)에 의해 더미필름이 흡착바(35)에 흡착된다. 여기서, 더미필름은 기판의 일측으로 튀어나온 영역의 보호필름을 의미하며, 상기 더미필름은 상기 흡착바에 보호필름이 정상적으로 흡착되는 것을 용이하게 하기 위해 만들어 놓은 것이다.Air is supplied to one side of the
상기 흡착바(35)에 보호필름(39)이 흡착된 상태에서 상기 기판 이송롤러(33)의 회전에 의해 기판(31)이 이동하여, 상기 흡착바(35)를 통과하게 되면, 상기 보호필름(39)이 기판으로 부터 완전히 분리된다. 이때, 상기 흡착바(35)는 진공펌프(38)의 구동에 의해 보호필름(39)을 흡착하기 때문에, 종래에 비해 소음발생이 매우 적다. 즉, 종래에는 흡입롤에 형성된 흡입구를 통해 보호필름이 흡입되기 때문에, 상기 보호필름이 흡입되면서 발생되는 소음이 매우 컷으나, 본 발명에서는 보호필름이 단순히 흡착바에 흡착된 상태에서 기판의 이동에 의해 기판으로부터 보호 필름이 제거되기 때문에 종래에 비해 발생되는 소음이 적다.When the
아울러, 상기 흡착바에 흡착된 보호필름을 시작점으로하여 기판이 이동함에 따라, 보호필름이 연속적, 일괄적으로 제거되기 때문에, 기판으로부터 보호필름을 완전히 제거할 수가 있다.In addition, since the protective film is continuously and collectively removed as the substrate moves with the protective film adsorbed on the adsorption bar as a starting point, the protective film can be completely removed from the substrate.
또한, 상기 흡착바(35)에 흡착된 보호필름(39)은 미리 마련된 보호필름 수거박스(36)에 버려지게 된다. 상기 지지바(35')가 회전하여, 상기 보호필름 수거박스(36)가 위치한 곳에 흡착바(35)을 위치시킨 후, 상기 진공펌프의 구동을 정지시킴으로써, 흡착바(35)로부터 보호필름(39)을 분리시킬 수가 있으며, 상기 흡착바(35)로부터 분리된 보호필름(39)은 그 하부에 위치하는 보호필름 수거박스(36)에 버려지게 된다.In addition, the
한편, 상기 보호필름 수거박스(36)을 별도로 두지 않고, 기판에서 완전히 분리된 보호필름(39)을 작업자가 직접 흡착바(35)로부터 제거할 수도 있으나, 지지바(35')가 회전하는 경우, 작업자가 불필요하기 때문에, 생산성 향상을 꾀할 수 있다.On the other hand, without the protective
상기한 바와 같이, 보호필름(39)이 완전히 제거된 기판(31)은 다음 공정(예를들면, 세정공정등..)을 위해 준비되며, 계속해서 다음 기판이 보호필름을 제거하기 위해 이송롤러(33)에 의해 흡착바의 위치로 이송되고, 상기한 바와 같은 과정을 진행하여 보호필름을 제거하게 된다.As described above, the
한편, 본 발명의 실시예에는 설명되어 있지 않지만, 기판의 상부면 및 하부면에 부착된 보호필름을 동시에 제거할 수도 있다. 즉, 기판이 상부 및 하부에 흡 착바를 동시에 형성하는 경우, 상하부 보호필름을 동시에 제거할 수 있게 된다.On the other hand, although not described in the embodiment of the present invention, the protective film attached to the upper surface and the lower surface of the substrate may be removed at the same time. That is, when the substrate is formed at the same time the adsorption bar on the upper and lower, it is possible to remove the upper and lower protective film at the same time.
상술한 바와 같이, 본 발명은 기판의 보호필름 제거장치와 이를 이용한 보호필름 제거방법에 관한 것으로, 특히, 소음이 적고, 기판으로부터 보호필름을 남기지 않고 완전히 제거할 수 있는 보호필름 제거장치 및 그 제거방법을 제공한다. 종래에는 흡입롤 표면에 형성된 흡입구에 보호필름을 흡입시킴으로써, 기판으로부터 보호필름을 제거하였다. 그러나, 기판에 부착된 보호필름을 기판으로부터 분리시키고, 이를 다시 흡입구에 흡입하기 위해서는 흡입구의 흡입능력이 매우 우수해야 하며, 이에따라, 소음 발생이 매우 큰 문제점이 있었다. 반면에, 본 발명에서는 종래 흡입롤 대신에 흡착바를 사용하여, 보호필름을 흡착바에 흡착시킨 후, 기판의 이동을 통해 보호필름을 제거하기 때문에, 종래에 비해 소음 발생이 적다.As described above, the present invention relates to a protective film removing apparatus of a substrate and a protective film removing method using the same, in particular, less noise, the protective film removing apparatus that can be completely removed without leaving a protective film from the substrate and its removal Provide a method. Conventionally, the protective film is removed from the substrate by suctioning the protective film into the suction port formed on the suction roll surface. However, in order to separate the protective film attached to the substrate from the substrate, and to suck it back to the suction port, the suction capacity of the suction port should be very excellent, and accordingly, there was a very big problem of noise generation. On the other hand, in the present invention, the adsorption bar is used instead of the conventional suction roll, and the protective film is adsorbed to the adsorption bar, and thus the protective film is removed through the movement of the substrate.
또한, 종래에는 단순히 흡입롤의 흡입에 의해 보호필름이 기판으로부터 분리되었으나, 본 발명에서는 흡착바를 사용하여 더미필름을 흡착시킨 후, 기판을 이동에 의해, 보호필름을 분리하기 때문에, 기판으로부터 보호필름을 완벽하게 제거할 수가 있다.In addition, in the prior art, the protective film was separated from the substrate by simply suctioning the suction roll, but in the present invention, after adsorbing the dummy film using the suction bar, the protective film is separated by moving the substrate, thereby removing the protective film from the substrate Can be removed completely.
전술한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 흡착바를 사용하여 기판에 부착된 보호필름을 제거함으로써, 소음발생을 줄일 수가 있다. 이와 같이, 작업장의 소음발생을 줄임으로써, 작업환경을 개선할 수 있는 효과가 있다. As described above, according to the present invention, noise generation can be reduced by removing the protective film attached to the substrate using the adsorption bar. In this way, by reducing the noise generated in the workplace, there is an effect that can improve the working environment.
또한, 본 발명은 흡착바를 사용하여 기판에 부착된 보호필름을 제거함으로써, 기판으로부터 보호필름을 완벽하게 제거할 수 있으며, 이에 따라, 생산성을 더 욱 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention by removing the protective film attached to the substrate using the adsorption bar, it is possible to completely remove the protective film from the substrate, thereby, there is an effect that can further improve the productivity.
Claims (9)
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Cited By (3)
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---|---|---|---|---|
KR101277046B1 (en) * | 2013-04-03 | 2013-06-20 | 주식회사 트레이스 | Device for removing the protection tape of a display panel |
KR20150139148A (en) * | 2014-06-02 | 2015-12-11 | (주)드림텍 | Method of manufacturing home key module for mobile device |
CN113129742A (en) * | 2019-12-31 | 2021-07-16 | 乐金显示有限公司 | Display device and method for replacing protective film |
-
2004
- 2004-09-24 KR KR1020040077380A patent/KR20060028283A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101277046B1 (en) * | 2013-04-03 | 2013-06-20 | 주식회사 트레이스 | Device for removing the protection tape of a display panel |
KR20150139148A (en) * | 2014-06-02 | 2015-12-11 | (주)드림텍 | Method of manufacturing home key module for mobile device |
CN113129742A (en) * | 2019-12-31 | 2021-07-16 | 乐金显示有限公司 | Display device and method for replacing protective film |
US11700745B2 (en) | 2019-12-31 | 2023-07-11 | Lg Display Co., Ltd. | Display device and method for replacing protective film |
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