KR20060026726A - Printed circuit board having device and method for fabricating the same - Google Patents

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KR20060026726A
KR20060026726A KR1020040075576A KR20040075576A KR20060026726A KR 20060026726 A KR20060026726 A KR 20060026726A KR 1020040075576 A KR1020040075576 A KR 1020040075576A KR 20040075576 A KR20040075576 A KR 20040075576A KR 20060026726 A KR20060026726 A KR 20060026726A
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Abstract

본 발명은 수동소자 또는 능동소자 등의 소자를 인쇄회로기판에 실장 시에, 소자에 형성된 관통 홀을 따라 접착제가 상승하는 모세관 현상을 이용함으로써, 소자와 인쇄회로기판 간의 기계적 및 전기적 결합성을 향상시킨 소자를 실장한 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention improves mechanical and electrical coupling between a device and a printed circuit board by using a capillary phenomenon in which an adhesive rises along a through hole formed in the device when a device such as a passive device or an active device is mounted on a printed circuit board. The present invention relates to a printed circuit board on which the device is mounted and a method of manufacturing the same.

본 발명에 따른 소자 내장형 인쇄회로기판은 회로패턴이 형성된 베이스 기판; 상기 베이스 기판상에 도포 된 접착제; 및 적어도 하나 이상의 관통 홀이 형성되어 있고, 상기 접착제상에 부착되며, 상기 관통 홀의 내벽을 따라 상기 접착제가 상승되어 있으며, 단자가 상기 회로패턴과 전기적으로 연결되어 있는 소자;를 포함하는 것을 특징으로 한다.A device-embedded printed circuit board according to the present invention includes a base substrate on which a circuit pattern is formed; An adhesive applied on the base substrate; And an element having at least one through hole formed thereon, attached to the adhesive, the adhesive being raised along the inner wall of the through hole, and the terminal being electrically connected to the circuit pattern. do.

또한, 본 발명에 따른 소자 내장형 인쇄회로기판의 제조방법은 (A) 소자에 적어도 하나 이상의 관통 홀을 형성하는 단계; (B) 회로패턴이 형성된 베이스 기판에 접착제를 도포하는 단계; (C) 상기 소자를 상기 접착제에 부착시키는 단계; 및 (D) 상기 소자의 단자와 상기 베이스 기판의 회로패턴을 전기적으로 연결시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the method for manufacturing a device-embedded printed circuit board according to the present invention includes the steps of (A) forming at least one through hole in the device; (B) applying an adhesive to the base substrate on which the circuit pattern is formed; (C) attaching the device to the adhesive; And (D) electrically connecting the terminal of the device and the circuit pattern of the base substrate.

인쇄회로기판, 수동소자, 능동소자, 관통 홀, 모세관 현상Printed Circuit Board, Passive Device, Active Device, Through Hole, Capillary Phenomenon

Description

소자를 실장한 인쇄회로기판 및 그 제조방법{Printed circuit board having device and method for fabricating the same}Printed circuit board having device and method for fabricating the same}

도 1은 종래의 소자를 실장한 인쇄회로기판의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a printed circuit board on which a conventional device is mounted.

도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 소자를 실장한 인쇄회로기판의 제조방법의 흐름을 나타내는 단면도이다.2A to 2D are cross-sectional views illustrating a flow of a method of manufacturing a printed circuit board on which a device according to a first embodiment of the present invention is mounted.

도 3a 및 도 3b는 도 2a 내지 도 2d로 제작된 인쇄회로기판과 소자간의 전기적 연결을 도시한 단면도이다.3A and 3B are cross-sectional views illustrating electrical connections between a printed circuit board and the device fabricated in FIGS. 2A to 2D.

도 4a 내지 도 4g는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 소자를 실장한 인쇄회로기판의 제조방법의 흐름을 나타내는 단면도이다.4A to 4G are cross-sectional views illustrating a flow of a method of manufacturing a printed circuit board on which a device according to a second embodiment of the present invention is mounted.

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 제 3 및 제 4 실시예에 따른 소자를 실장한 인쇄회로기판의 단면도이다.5A and 5B are cross-sectional views of printed circuit boards in which devices according to third and fourth embodiments of the present invention are mounted.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

1100, 2100, 3100, 4100 : 수동소자 또는 능동소자 등의 소자1100, 2100, 3100, 4100: devices such as passive devices or active devices

1110, 2110, 3110, 4110 : 관통 홀1110, 2110, 3110, 4110: through hole

1120, 2130, 3120, 4120 : 산화층1120, 2130, 3120, 4120: oxide layer

1130, 3130, 4130 : 단자1130, 3130, 4130: Terminal

1200, 2200, 3200, 4200 : 베이스 기판1200, 2200, 3200, 4200: Base Board

1210, 1220, 3210, 4220 : 회로패턴1210, 1220, 3210, 4220: Circuit Pattern

1230, 2230 : 삽입홈1230, 2230: Insertion Groove

1300, 2300, 3300, 4300 : 접착제Adhesive: 1300, 2300, 3300, 4300

1400, 3400 : 와이어 본딩1400, 3400: Wire Bonding

2120 : 동도금층2120: copper plating layer

본 발명은 소자를 실장한 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 수동소자 또는 능동소자 등의 소자를 인쇄회로기판에 실장시에, 소자에 형성된 관통 홀을 따라 접착제가 상승하는 모세관 현상을 이용함으로써, 소자와 인쇄회로기판간의 기계적 및 전기적 결합성을 향상시킨 소자를 실장한 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a printed circuit board having a device mounted thereon and a method of manufacturing the same, and more particularly, an adhesive rises along a through hole formed in the device when a device such as a passive device or an active device is mounted on a printed circuit board. By using a capillary phenomenon, the present invention relates to a printed circuit board on which a device having improved mechanical and electrical coupling properties between the device and the printed circuit board and a manufacturing method thereof are provided.

IC(Integrated Circuits)의 발전은 소형화와 동시에 고집적화 하여 다기능, 고성능을 향해 발전하고 있다. 이러한 IC를 실장 하여 또 다른 소자와의 전기적 연결을 목적으로 사용하는 인터포저(interposer), 인쇄회로기판(PCB; printed circuits board) 등은 이에 따라, 고집적화, 기생성분의 최소화를 지향해야 하며, 이를 실현하기 위한 칩(chips)의 실장에 관한 연구가 요구되고 있으며, 이러한 각종 수동 및 능동소자를 실장 하는 패키지(package)에 있어서, 상기의 요구를 충족시키기 위한 방법의 일환으로서 소자를 인쇄회로기판에 내장하는 연구가 최근 활발 하게 진행되고 있다.The development of ICs (Integrated Circuits) is miniaturizing and high-integration, and developing toward multifunction and high performance. Interposers, printed circuit boards (PCBs), etc., which use such ICs for the purpose of electrical connection with other devices, should be directed towards high integration and minimization of parasitic components. Research on mounting chips for realization is required, and in a package for mounting various passive and active devices, the device is mounted on a printed circuit board as part of a method for meeting the above requirements. Research into embedding is being actively conducted in recent years.

수동소자 또는 능동소자 등의 소자를 실장한 인쇄회로기판을 제조하는 방법으로, 완성부품(예를 들면, 반도체 칩)을 직접 유기 기판 또는 세라믹 기판에 실장 하는 방법, 및 인쇄회로기판 내에서 특정한 재료를 이용하여 소자를 제작하는 방법 등이 시도되고 있다.A method of manufacturing a printed circuit board on which a device such as a passive device or an active device is mounted, a method of directly mounting a finished component (for example, a semiconductor chip) on an organic substrate or a ceramic substrate, and a specific material in the printed circuit board. The method of manufacturing an element using the etc. is tried.

이러한 두 가지 방법에 있어서 이종 물질을 기판 내에 삽입함에 따라 발생하는 이종 물질간의 열적 및 기계적 응력(stress)은 인쇄회로기판의 신뢰성에 있어서 중요한 해결해야 하는 문제점을 상당부분 노출시키고 있다.In these two methods, thermal and mechanical stresses between heterogeneous materials generated by inserting dissimilar materials into a substrate expose a significant problem to be solved in the reliability of a printed circuit board.

도 1은 종래의 소자를 실장한 인쇄회로기판의 단면도로서, 미국특허등록번호 6,489,685에 개시되어 있다.1 is a cross-sectional view of a printed circuit board mounted with a conventional device, which is disclosed in US Pat. No. 6,489,685.

도 1에 나타낸 바와 같이, 종래의 소자를 실장한 인쇄회로기판은 절연층(101), 와이어 패턴(wiring pattern; 102a, 102b), 반도체 소자(103), 내부 비아홀(104) 및 범프(bump; 105)로 구성된다. 도시된 바와 같이, 미국특허등록번호 6,489,685에 개시된 인쇄회로기판은 반도체 소자(103)를 직접 실장하나, 기계적인 접합의 신뢰성보다 전기적인 연결에 중점을 두었다.As shown in FIG. 1, a printed circuit board on which a conventional device is mounted includes an insulating layer 101, a wiring pattern 102a and 102b, a semiconductor device 103, an internal via hole 104, and a bump; 105). As shown, the printed circuit board disclosed in US Pat. No. 6,489,685 directly mounts the semiconductor device 103, but focuses on electrical connection rather than reliability of mechanical bonding.

이로 인하여, 미국특허등록번호 6,489,685에 개시된 인쇄회로기판은 반도체 소자(103)와 인쇄회로기판간의 기계적인 접합력이 떨어지기 때문에, 통상적인 인쇄회로기판의 빌드업(build-up) 공정에서 위치 정합이 어려운 문제점이 있었다. 또한, 미국특허등록번호 6,489,685에 개시된 인쇄회로기판은 반도체 소자(103)와 인쇄회로기판간의 기계적인 접합력이 떨어지기 때문에, 제조과정 또는 제품 완성후에 외부 충격에 매우 약한 문제점도 있었다. 이는 제품의 불량률을 증가시키기 때문에, 최종 전자제품의 신뢰성을 떨어뜨리는 문제점으로 된다.As a result, the mechanical bonding force between the semiconductor device 103 and the printed circuit board is inferior in the printed circuit board disclosed in US Patent No. 6,489,685, so that the position matching in the conventional build-up process of the printed circuit board is difficult. There was a difficult problem. In addition, the printed circuit board disclosed in U.S. Patent No. 6,489,685 has a weak mechanical strength between the semiconductor element 103 and the printed circuit board, and thus has a very weak problem in external impact after the manufacturing process or the completion of the product. Since this increases the defective rate of the product, there is a problem of reducing the reliability of the final electronic product.

상기 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 기술적 과제는 수동소자 또는 능동소자 등의 소자와 인쇄회로기판간의 전기적인 연결의 신뢰성과 함께 기계적인 접합의 신뢰성을 제공하는 소자를 실장한 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.The technical problem of the present invention for solving the above problems is a printed circuit board mounted with a device that provides the reliability of the mechanical connection with the reliability of the electrical connection between the device such as passive or active devices and the printed circuit board and its manufacture To provide a way.

상기 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 일실시예에 따른 소자를 실장한 인쇄회로기판은 회로패턴이 형성된 베이스 기판; 상기 베이스 기판상에 도포된 접착제; 및 적어도 하나 이상의 관통 홀이 형성되어 있고, 상기 접착제상에 하부면이 부착되며, 상기 관통 홀의 내벽을 따라 상기 접착제가 상승되어 있으며, 단자가 상기 회로패턴과 전기적으로 연결되어 있는 소자;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above technical problem, a printed circuit board mounted with a device according to an embodiment of the present invention includes a base substrate having a circuit pattern; An adhesive applied on the base substrate; And an element having at least one through hole formed thereon, the lower surface being attached to the adhesive, the adhesive being raised along the inner wall of the through hole, and the terminal being electrically connected to the circuit pattern. It is characterized by.

본 발명에 다른 실시예에 따른 소자를 실장한 인쇄회로기판은 회로패턴이 형성된 베이스 기판; 상기 베이스 기판에 형성되어 있는 삽입홈; 상기 삽입홈의 하단부에 도포된 접착제; 및 적어도 하나 이상의 관통 홀이 형성되어 있고, 상기 삽입홈에 삽입되어 상기 접착제상에 하부면이 부착되며, 상기 관통 홀의 내벽을 따라 상기 접착제가 상승되어 있으며, 단자가 상기 회로패턴과 전기적으로 연결되어 있는 소자;를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a printed circuit board including a base substrate on which a circuit pattern is formed; An insertion groove formed in the base substrate; Adhesive applied to the lower end of the insertion groove; And at least one through hole is formed, the bottom surface is attached to the adhesive to be inserted into the insertion groove, the adhesive is raised along the inner wall of the through hole, and the terminal is electrically connected to the circuit pattern. Characterized in that it comprises a.

본 발명에 따른 소자를 실장한 인쇄회로기판의 상기 소자는 상기 관통 홀의 내벽에 형성되는 저표면 에너지 물질층(low surface energy material layer)을 더 포함하는 것이 바람직하다.Preferably, the device of the printed circuit board having the device according to the present invention further includes a low surface energy material layer formed on the inner wall of the through hole.

본 발명에 따른 소자를 실장한 인쇄회로기판의 상기 저표면 에너지 물질층은 산화층인 것이 바람직하다.본 발명에 따른 소자를 실장한 인쇄회로기판의 상기 소자는 상기 관통 홀의 내벽을 포함하는 표면에 형성되는 도금층, 및 상기 도금층상에 형성되는 산화층을 더 포함하는 것이 바람직하다.Preferably, the low surface energy material layer of the printed circuit board mounted with the device according to the present invention is an oxide layer. The device of the printed circuit board mounted with the device according to the present invention is formed on a surface including an inner wall of the through hole. It is preferable to further include a plating layer to be formed, and an oxide layer formed on the plating layer.

상기 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 소자를 실장한 인쇄회로기판의 제조방법은 (A) 소자에 적어도 하나 이상의 관통 홀을 형성하는 단계; (B) 회로패턴이 형성된 베이스 기판에 접착제를 도포하는 단계; (C) 상기 관통 홀의 내벽을 따라 상기 접착제가 상승하도록 상기 소자의 하부면을 상기 접착제에 부착시키는 단계; 및 (D) 상기 소자의 단자와 상기 베이스 기판의 회로패턴을 전기적으로 연결시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.본 발명에 따른 소자를 실장한 인쇄회로기판의 제조방법은 상기 (A) 단계 이후에, (E) 상기 관통 홀의 내벽에 저표면 에너지 물질층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.In order to solve the above technical problem, a method of manufacturing a printed circuit board mounted with the device according to the invention (A) forming at least one through hole in the device; (B) applying an adhesive to the base substrate on which the circuit pattern is formed; (C) attaching a bottom surface of the device to the adhesive such that the adhesive rises along the inner wall of the through hole; And (D) electrically connecting the terminal of the device and the circuit pattern of the base substrate. The method of manufacturing a printed circuit board on which the device according to the present invention is mounted may be performed after step (A). (E) preferably forming a low surface energy material layer on the inner wall of the through hole.

본 발명에 따른 소자를 실장한 인쇄회로기판의 제조방법의 상기 저표면 에너지 물질층은 산화층인 것이 바람직하다.The low surface energy material layer of the method of manufacturing a printed circuit board having the device according to the present invention is preferably an oxide layer.

본 발명에 따른 소자를 실장한 인쇄회로기판의 제조방법은 상기 (A) 단계 이후에, (E) 상기 관통 홀의 내벽에 도금층을 형성하는 단계; 및 (F) 상기 도금층상에 산화층을 형성하는 단계;를 더 포함하는 것이 바람직하다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a printed circuit board having a device mounted thereon, the method including: (E) forming a plating layer on an inner wall of the through hole; And (F) forming an oxide layer on the plating layer.

본 발명에 따른 소자를 실장한 인쇄회로기판의 제조방법의 상기 (A) 단계는 기계적 드릴링 방식, 레이저 드릴링 방식, 습식 에칭 방식 및 건식 에칭 방식 중 적어도 하나의 방식을 이용하여 상기 소자에 적어도 하나 이상의 관통 홀을 형성하는 것이 바람직하다.이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 소자를 실장한 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 상세히 설명하기로 한다.The step (A) of the method of manufacturing a printed circuit board having the device mounted thereon may include at least one of at least one of mechanical drilling, laser drilling, wet etching, and dry etching. It is preferable to form a through hole. Hereinafter, a printed circuit board on which an element according to the present invention and a manufacturing method thereof will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2a 내지 도 2b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 소자를 실장한 인쇄회로기판의 제조방법의 흐름을 나타내는 단면도이고, 도 3a 및 도 3b는 도 2a 내지 도 2d로 제작된 인쇄회로기판과 소자간의 전기적 연결을 도시한 단면도이다.도 2a에서와 같이, 수동소자 또는 능동소자 등의 소자(1100)에 관통 홀(through hole; 1110)을 형성한다.2A and 2B are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a printed circuit board on which a device according to a first embodiment of the present invention is mounted, and FIGS. 3A and 3B illustrate a printed circuit board manufactured with FIGS. 2A to 2D. 2A, a through hole 1110 is formed in a device 1100 such as a passive device or an active device.

여기서 소자(1100)내에 회로 등이 형성되지 않은 부분에 관통 홀(1110)을 형성하는 것이 바람직하며, 통상적으로 소자(1100)의 외곽부분에 형성한다. 형성되는 관통 홀(1110)의 개수는 적어도 하나 이상을 형성하며, 이후 소자(1100)가 베이스 기판(1200)에 접합한 후 사전에 설정된 기계적인 접합력을 제공할 수 있는 개수의 관통 홀(1110)을 형성한다. 이러한 소자(1100)에 관통 홀(1110)을 가공하는 방식은 기계적 드릴링 방식, 레이저 드릴링 방식, 습식 에칭 방식, 건식 에칭 방식 등을 이용할 수 있다.Here, it is preferable to form the through hole 1110 in a portion where a circuit or the like is not formed in the element 1100, and is typically formed in the outer portion of the element 1100. The number of the through holes 1110 formed is at least one, and the number of through holes 1110 may be provided after the device 1100 is bonded to the base substrate 1200 to provide a predetermined mechanical bonding force. To form. The through hole 1110 may be processed in the device 1100 by using a mechanical drilling method, a laser drilling method, a wet etching method, a dry etching method, or the like.

도 2b에서와 같이, 소자(1100)의 관통 홀(1110) 내벽에 산화층(1120)(예를 들면, 소자(1100)가 실리콘 반도체 칩인 경우, SiO2층)을 형성한다. 이러한 산화층 (1120)을 관통 홀(1110)의 내벽에 형성함으로써, 관통 홀(1110) 내벽에 표면 에너지(surface energy)는 낮아진다.As illustrated in FIG. 2B, an oxide layer 1120 (eg, an SiO 2 layer when the device 1100 is a silicon semiconductor chip) is formed on an inner wall of the through hole 1110 of the device 1100. By forming the oxide layer 1120 on the inner wall of the through hole 1110, the surface energy on the inner wall of the through hole 1110 is lowered.

여기서 관통 홀(1110) 내벽에 산화층(1120)을 형성하는 방법은 대기중에 소자(1100)가 노출됨에 따라 형성되는 자연 산화 층일 수 있고, 화학기상증착 (CVD; chemical vapor deposition) 법 방식으로 형성된 산화층 일 수 있고, 전기로에 소자(1100)를 삽입한 후 고온의 산소분위기에서 형성되는 열산화층일 수 있다.Here, the method of forming the oxide layer 1120 on the inner wall of the through hole 1110 may be a natural oxide layer formed by the exposure of the device 1100 in the air, and an oxide layer formed by a chemical vapor deposition (CVD) method. It may be a thermal oxidation layer formed in a high temperature oxygen atmosphere after inserting the device 1100 in the electric furnace.

다른 실시예에서, 관통 홀(1110) 내벽에 산화층(1120)을 형성하지 않고, 관통 홀(1110) 내벽에 표면 에너지를 낮출 수 있는 물질인 저표면 에너지 물질(low surface energy material)을 도포할 수 있다.도 2c에서와 같이, 소정의 패턴이 형성된 베이스 기판(1200)에 삽입홈(1230)을 형성한 후, 삽입홈(1230)의 하단에 접착제(1300)를 도포한다.In another embodiment, a low surface energy material may be applied to the inner wall of the through hole 1110 without lowering the oxide layer 1120 to the inner wall of the through hole 1110. As shown in FIG. 2C, after the insertion groove 1230 is formed in the base substrate 1200 on which the predetermined pattern is formed, the adhesive 1300 is applied to the lower end of the insertion groove 1230.

여기서 삽입홈(1230)은 라우터 드릴(router drill) 또는 레이저 드릴 등을 사용하여 가공하며, 이후 삽입되는 소자(1100)의 제품 공차에 맞추어 가공하는 것이 바람직하다.Here, the insertion groove 1230 is processed using a router drill or a laser drill, and the like, and then preferably processed according to the product tolerance of the device 1100 to be inserted.

한편, 접착제(1300)는 액체 상태의 접착제를 사용할 수 있고, 반경화 상태의 프리프레그(B-stage prepreg)를 사용할 수 있다.Meanwhile, the adhesive 1300 may use a liquid adhesive, and may use a B-stage prepreg in a semi-cured state.

도 2d에서와 같이, 베이스 기판(1200)의 삽입홈(1230)에 관통 홀(1110) 내벽에 산화층(1120)이 형성된 소자(1100)를 삽입한다.As shown in FIG. 2D, the device 1100 having the oxide layer 1120 formed on the inner wall of the through hole 1110 is inserted into the insertion groove 1230 of the base substrate 1200.

여기서 액체 상태의 접착제를 사용하는 경우, 모세관 현상에 의하여 액체 상태의 접착제가 소자(1100)의 관통 홀(1110)의 내벽을 따라 상승하여, 소자(1100)와 베이스 기판(1200)간의 기계적인 접합력을 향상시킨다.In the case where the liquid adhesive is used, the liquid adhesive rises along the inner wall of the through hole 1110 of the device 1100 due to capillary action, and thus the mechanical bonding force between the device 1100 and the base substrate 1200 is increased. To improve.

한편, 반경화 상태의 프리프레그를 사용하는 경우, 프리프레그의 유리전이 온도 Tg(glass transition temperature)보다 높은 온도로 프리프레그를 가열함으로써, 모세관 현상에 의하여 프리프레그의 수지가 소자(1100)의 관통 홀(1110)의 내벽을 따라 상승하게 한다. 이후, 온도를 낮춤으로써, 소자(1100)와 베이스 기판(1200)을 접합시킨다. 여기서 프리프레그를 가열하는 방식은 프리프레그의 접합부분만 국부적으로 가열할 수 있는 레이저 유도 가열(laser induced heating) 방식, 인쇄회로기판 전체를 가열하는 방식 등을 사용할 수 있다.On the other hand, when using a prepreg in the semi-cured state, by heating the prepreg to a temperature higher than the glass transition temperature (Tg) of the prepreg, the resin of the prepreg penetrates the element 1100 by capillary action Ascending along the inner wall of the hole 1110. Thereafter, by lowering the temperature, the device 1100 and the base substrate 1200 are bonded to each other. Herein, the prepreg may be heated by a laser induced heating method that locally heats only the junction portion of the prepreg, a method of heating the entire printed circuit board, or the like.

이후, 베이스 기판(1200)과 소자(1100)간의 전기적인 연결은 소자(1100)의 단자가 상부에 형성되어 있는 경우, 또는 소자(1100)의 단자가 하부에 형성되어 있는 경우 모두 가능하다. 여기서 소자(1100)의 단자가 하부에 형성되어 있는 경우, 소자(1100)를 접합하는 과정에서 베이스 기판(1200)과 소자(1100)간에 압력을 가하거나, 소자(1100)의 단자가 형성되어 있는 부분의 접착제(1300)를 제거하기 위하여 특수한 화학적 표면처리를 실시해야 하는 단점이 있다. 따라서, 소자(1100)의 상부에 단자가 형성되어 있는 경우가 전기적 연결의 신뢰성을 확보하는데 바람직하다.Subsequently, electrical connection between the base substrate 1200 and the device 1100 may be performed when the terminal of the device 1100 is formed at the top or the terminal of the device 1100 is formed at the bottom. Here, when the terminal of the device 1100 is formed in the lower portion, in the process of bonding the device 1100, the pressure is applied between the base substrate 1200 and the device 1100, or the terminal of the device 1100 is formed There is a disadvantage that a special chemical surface treatment must be performed to remove the adhesive 1300 of the portion. Therefore, the case where the terminal is formed on the upper portion of the device 1100 is preferable to ensure the reliability of the electrical connection.

도 3a에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 소자를 실장한 인쇄회로기판은 회로패턴이 형성된 베이스 기판(1200), 상기 베이스 기판(1200)에 형성된 삽입홈(1230), 상기 삽입홈(1230)의 하단에 도포된 접착제(1300) 및 상기 접착제(1300) 상에 하부면이 부착되는 소자(1100)를 포함하고, 상기 소자(1100)에 형성된 관통 홀(1110) 내벽의 산화층(1120)을 따라 상기 접착제(1300)의 일부가 상승되어 있다. 여기서 베이스 기판(1200)의 상부면에 형성된 회로패턴(1210)과 소자(1100)의 상부면에 형성된 단자(1130)는 와이어 본딩(wire bonding; 1400)이 형성되어 상호 전기적 신호를 전달할 수 있다.다른 방법으로, 도 3b에 나타낸 바와 같이, 통상적인 빌드업 방식에 따라 절연층 적층 공정, 비아홀 가공 공정, 동도금 공정 및 회로패턴 형성 공정 등을 수행함으로써, 소자(1100)의 상부면에 형성된 단자(1130)와 베이스 기판(1200)에 형성된 회로패턴(1220)과 전기적으로 연결할 수도 있다.As shown in FIG. 3A, the printed circuit board on which the device according to the present invention is mounted includes a base substrate 1200 having a circuit pattern, an insertion groove 1230 formed in the base substrate 1200, and an insertion groove 1230. An adhesive 1300 applied to the bottom and a device 1100 having a lower surface attached to the adhesive 1300, and along the oxide layer 1120 of the inner wall of the through hole 1110 formed in the device 1100. A part of the adhesive 1300 is raised. The circuit pattern 1210 formed on the upper surface of the base substrate 1200 and the terminal 1130 formed on the upper surface of the device 1100 may be wire bonded to form a wire bonding 1400 to transmit electrical signals. Alternatively, as illustrated in FIG. 3B, the terminal formed on the upper surface of the device 1100 may be formed by performing an insulation layer stacking process, a via hole processing process, a copper plating process, and a circuit pattern forming process according to a conventional build-up method. 1130 and the circuit pattern 1220 formed on the base substrate 1200 may be electrically connected to each other.

도 4a 내지 도 4g는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 소자를 실장한 인쇄회로기판의 제조방법의 흐름을 나타내는 단면도이다.도 4a에서와 같이, 수동소자 또는 능동소자 등의 소자(2100)내에 회로 등이 형성되지 않은 부분에 적어도 하나 이상의 관통 홀(2110)을 형성한다.4A to 4G are cross-sectional views showing the flow of a method of manufacturing a printed circuit board on which a device according to a second embodiment of the present invention is mounted. As shown in FIG. 4A, a device 2100 such as a passive device or an active device is shown. At least one through hole 2110 is formed in a portion where a circuit or the like is not formed.

여기서 소자(2100)에 관통 홀(2110)을 가공하는 방식은 기계적 드릴링 방식, 레이저 드릴링 방식, 습식 에칭 방식, 건식 에칭 방식 등을 이용할 수 있다.The method of processing the through hole 2110 in the device 2100 may be a mechanical drilling method, a laser drilling method, a wet etching method, a dry etching method, or the like.

도 4b에서와 같이, 소자(2100)의 상하부면 및 관통 홀(2110)의 내벽에 동도금층(2120)을 형성한다.여기서 소자(2100)의 상하부면 및 관통 홀(2110)이 전도성 물질로만 이루어진 경우, 물성이 좋은 전해 동도금을 수행한다. 그러나, 소자(2100)의 상하부면 및 관통 홀(2110)에 절연물질이 노출된 경우, 무전해 동도금을 수행한 후 물성이 좋은 전해 동도금을 수행하는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 4B, a copper plating layer 2120 is formed on the upper and lower surfaces of the device 2100 and the inner wall of the through hole 2110. Here, the upper and lower surfaces and the through hole 2110 of the device 2100 are made of only a conductive material. In this case, electrolytic copper plating with good physical properties is performed. However, when an insulating material is exposed to the upper and lower surfaces of the device 2100 and the through hole 2110, it is preferable to perform electroless copper plating after electroless copper plating and having good physical properties.

본 발명의 실시예에서, 소자(2100)의 상하부면 및 관통 홀(2110)의 내벽에 형성되는 도금층(2120)은 동(Cu)에 한정되는 것이 아니고, 사용 목적 또는 용도에 따라 금(Au), 니켈(Ni), 주석(Sn) 등의 도전성 물질을 주성분으로 도금층을 형성할 수 있다.도 4c에서와 같이, 에칭 레지스트를 이용한 노광, 현상 및 에칭 공정을 수행함으로써, 소자(2100)의 상하부면에 소정의 동도금층(2120) 패턴을 형성한다. 이때, 소자(2100)의 회로가 형성된 부분은 단락 등이 발생하지 않도록 동도금층(2120)을 제거한다.In an embodiment of the present invention, the plating layer 2120 formed on the upper and lower surfaces of the device 2100 and the inner wall of the through hole 2110 is not limited to copper, and gold may be used depending on the purpose or purpose of use. The plating layer may be formed of a conductive material such as nickel (Ni), tin (Sn), or the like as a main component. As shown in FIG. 4C, the upper and lower parts of the device 2100 may be formed by performing exposure, development, and etching processes using an etching resist. A predetermined copper plating layer 2120 pattern is formed on the surface. In this case, the copper plating layer 2120 is removed in a portion where the circuit of the device 2100 is formed so that a short circuit does not occur.

다른 실시예에서, 상술한 도 4b 및 도 4c의 과정 대신에, 소자(2100)의 상하부면 및 관통 홀(2110)에 소정의 도금 레지스트 패턴를 형성한 후, 국부적으로 동도금층(2120)을 형성할 수도 있다.In another embodiment, instead of the above-described process of FIGS. 4B and 4C, after forming a predetermined plating resist pattern on the upper and lower surfaces of the device 2100 and the through holes 2110, the copper plating layer 2120 may be locally formed. It may be.

도 4d에서와 같이, 소자(2100)의 상하부면 및 관통 홀(2110)의 내벽에 형성된 동도금층(2120)상에 산화층(2130)을 형성한다.As shown in FIG. 4D, an oxide layer 2130 is formed on the copper plating layer 2120 formed on the upper and lower surfaces of the device 2100 and the inner wall of the through hole 2110.

여기서 동도금층(2120)상에 산화층(2130)을 형성하는 방법은 대기중에 소자(2100)가 노출됨에 따라 형성되는 자연산화층일 수 있고, 전기로에 소자(2100)를 삽입한 후 고온의 산소분위기에서 형성되는 열산화층일 수 있다. 또는, 다양한 CVD 공정을 이용하여 성장시킨 산화층(예를 들면, SiO2층)일 수도 있다.Here, the method of forming the oxide layer 2130 on the copper plating layer 2120 may be a natural oxide layer formed as the device 2100 is exposed to the atmosphere, and after inserting the device 2100 into an electric furnace, in a high temperature oxygen atmosphere. It may be a thermal oxidation layer formed. Alternatively, the oxide layer may be an oxide layer (eg, an SiO 2 layer) grown using various CVD processes.

도 4e에서와 같이, 소자(2100)의 상하부면에 형성된 산화층(2130)을 선택적으로 에칭하여 소정의 패턴을 형성한다.As shown in FIG. 4E, the oxide layer 2130 formed on the upper and lower surfaces of the device 2100 is selectively etched to form a predetermined pattern.

여기서 산화층(2130)을 에칭하는 방식은 스퍼터(sputter) 장비 등을 이용한 건식 에칭 방식을 이용할 수 있고, 또는 에칭 레지스트 패턴을 형성한 후 에칭액을 분무시키는 습식 에칭 방식을 이용할 수 있다.도 4f에서와 같이, 소정의 패턴이 형 성된 베이스 기판(2200)에 삽입홈(2230)을 형성한 후, 삽입홈(2230)의 하단에 접착제(2300)를 도포한다.The etching method of the oxide layer 2130 may be a dry etching method using a sputtering equipment or the like, or a wet etching method of spraying etching liquid after forming an etching resist pattern may be used. Likewise, after the insertion grooves 2230 are formed in the base substrate 2200 having a predetermined pattern, the adhesive 2300 is applied to the lower ends of the insertion grooves 2230.

도 4g에서와 같이, 베이스 기판(2200)의 삽입홈(2230)에 소자(2100)를 삽입한다. 이때, 접착제(2300)가 소자(2100)의 관통 홀(2110) 내벽의 산화층(2130)을 따라 상승함으로써, 소자(2100)와 베이스 기판(2200)간의 기계적인 접합력을 향상시킨다.이후, 베이스 기판(2200)과 소자(2100)간의 전기적인 연결은 도 3a 및 도 3b의 제 1 실시예와 동일하다.As shown in FIG. 4G, the device 2100 is inserted into the insertion groove 2230 of the base substrate 2200. At this time, the adhesive 2300 rises along the oxide layer 2130 of the inner wall of the through hole 2110 of the device 2100, thereby improving the mechanical bonding force between the device 2100 and the base substrate 2200. The electrical connection between the 2200 and the device 2100 is the same as the first embodiment of FIGS. 3A and 3B.

상술한 제 1 및 제 2 실시예에서 수동소자 또는 능동소자 등의 소자(1100, 2100)를 삽입하고, 베이스 기판(1200, 2200)의 최종두께를 감소시키기 위하여, 베이스 기판(1200, 2200)에 삽입홈(1230, 2230)을 형성하였다. 그러나, 사용 목적 또는 용도에 따라 삽입홈(1230, 2230)이 형성되지 않은 인쇄회로기판상에 소자를 접합시킬 수 있다.In the above-described first and second embodiments, in order to insert elements 1100 and 2100, such as passive elements or active elements, and reduce the final thickness of the base substrates 1200 and 2200, the base substrates 1200 and 2200 are provided. Insertion grooves 1230 and 2230 were formed. However, the device may be bonded to a printed circuit board on which the insertion grooves 1230 and 2230 are not formed, depending on the purpose or purpose of use.

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 제 3 및 제 4 실시예에 따른 소자를 실장한 인쇄회로기판의 단면도이다.5A and 5B are cross-sectional views of printed circuit boards in which devices according to third and fourth embodiments of the present invention are mounted.

도 5a에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 소자를 실장한 인쇄회로기판은 회로패턴이 형성된 베이스 기판(3200), 상기 베이스 기판(3200)상에 도포된 접착제(3300) 및 상기 접착제(3300)상에 하부면이 부착되는 소자(3100)를 포함하고, 상기 소자(3100)에 형성된 관통 홀(3110) 내벽의 산화층(3120)을 따라 상기 접착제(3300)의 일부가 상승되어 있다. 이 실시예에서, 베이스 기판(3200)의 상부면에 형성된 회로패턴(3210)과 소자(3100)의 상부면에 형성된 단자(3130)는 와 이어 본딩(3400)으로 전기적인 연결을 이룬다.한편, 도 5b에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 제 4 실시예에 따른 소자를 실장한 인쇄회로기판은 소자(4100)가 접착제(4300)에 의해 접합된 베이스 기판(4200)상에 통상적인 빌드업 방식에 따라 절연층 적층 공정, 비아홀 가공 공정, 동도금 공정 및 회로패턴 형성 공정 등을 수행함으로써, 소자(4100)의 상부면에 형성된 단자(4130)와 베이스 기판(4200)에 형성된 회로패턴(4220)과 전기적으로 연결할 수도 있다.As shown in FIG. 5A, a printed circuit board on which a device according to a third exemplary embodiment of the present invention is mounted includes a base substrate 3200 having a circuit pattern, an adhesive 3300 coated on the base substrate 3200, and And a lower portion of the adhesive 3300 attached to the adhesive 3300, and a portion of the adhesive 3300 is raised along the oxide layer 3120 of the inner wall of the through hole 3110 formed in the device 3100. . In this embodiment, the circuit pattern 3210 formed on the upper surface of the base substrate 3200 and the terminal 3130 formed on the upper surface of the device 3100 form an electrical connection with the wire bonding 3400. As shown in FIG. 5B, a printed circuit board on which a device according to a fourth embodiment of the present invention is mounted has a conventional build-up method on a base substrate 4200 in which the device 4100 is bonded by an adhesive 4300. Accordingly, the insulating layer stacking process, the via hole processing process, the copper plating process, and the circuit pattern forming process may be performed to electrically connect the terminal 4130 formed on the upper surface of the device 4100 and the circuit pattern 4220 formed on the base substrate 4200. You can also connect

이상에서 본 발명에 대하여 설명하였으나, 이는 일실시예에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 얼마든지 다양한 변화 및 변형이 가능함은 본 기술분야에서 통상적으로 숙련된 당업자에게 분명할 것이다. 하지만, 이러한 변화 및 변형이 본 발명의 범위 내에 속한다는 것은 이하 특허청구범위를 통하여 확인될 것이다.Although the present invention has been described above, this is only one embodiment, and it will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. . However, it will be confirmed through the claims that such changes and modifications fall within the scope of the present invention.

상술한 바와 같이, 본 발명은 소자에 형성된 관통 홀을 따라 접착제가 상승하는 모세관 현상을 이용함으로써, 소자와 인쇄회로기판간의 기계적 및 전기적 결합성을 향상시킨 소자를 실장한 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 제공한다.As described above, the present invention uses a capillary phenomenon in which the adhesive rises along the through-holes formed in the device, thereby providing a printed circuit board and a method for manufacturing the device, which improve the mechanical and electrical coupling between the device and the printed circuit board. To provide.

따라서, 본 발명에 따른 소자를 실장한 인쇄회로기판 및 그 제조방법은 소자와 인쇄회로기판간의 기계적인 접합성이 강하므로, 이후 인쇄회로기판의 빌드업 공정에서 그 위치가 이탈하지 않고, 소자의 단자와 인쇄회로기판의 회로패턴간의 전기적인 연결이 용이한 효과가 있다.Therefore, the printed circuit board mounted with the device and the manufacturing method thereof according to the present invention have a strong mechanical bond between the device and the printed circuit board, so that the position of the device does not deviate in a subsequent build-up process of the printed circuit board, And the electrical connection between the circuit pattern of the printed circuit board is easy.

또한, 본 발명에 따른 소자를 실장한 인쇄회로기판 및 그 제조방법은 소자와 인쇄회로기판간의 기계적인 접합성이 강하므로, 제조과정 또는 제품 완성후에 외부 충격에 매우 강한 효과도 있다.In addition, the printed circuit board mounted with the device according to the present invention and its manufacturing method have a strong mechanical bond between the device and the printed circuit board, there is also a very strong effect against external impact after the manufacturing process or product completion.

Claims (10)

회로패턴이 형성된 베이스 기판;A base substrate on which a circuit pattern is formed; 상기 베이스 기판상에 도포된 접착제; 및An adhesive applied on the base substrate; And 적어도 하나 이상의 관통 홀이 형성되어 있고, 상기 접착제상에 하부면이 부착되며, 상기 관통 홀의 내벽을 따라 상기 접착제가 상승되어 있으며, 단자가 상기 회로패턴과 전기적으로 연결되어 있는 소자;를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자를 실장한 인쇄회로기판.At least one through hole is formed, a bottom surface is attached to the adhesive, the adhesive is raised along the inner wall of the through hole, and a terminal is electrically connected to the circuit pattern. Printed circuit board mounted with the element. 회로패턴이 형성된 베이스 기판;A base substrate on which a circuit pattern is formed; 상기 베이스 기판에 형성되어 있는 삽입홈;An insertion groove formed in the base substrate; 상기 삽입홈의 하단부에 도포된 접착제; 및Adhesive applied to the lower end of the insertion groove; And 적어도 하나 이상의 관통 홀이 형성되어 있고, 상기 삽입홈에 삽입되어 상기 접착제상에 하부면이 부착되며, 상기 관통 홀의 내벽을 따라 상기 접착제가 상승되어 있으며, 단자가 상기 회로패턴과 전기적으로 연결되어 있는 소자;를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자를 실장한 인쇄회로기판.At least one through hole is formed, the bottom surface is attached to the adhesive is inserted into the insertion groove, the adhesive is raised along the inner wall of the through hole, the terminal is electrically connected to the circuit pattern Printed circuit board mounted with the device, characterized in that it comprises a device. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 소자는 상기 관통 홀의 내벽에 형성되는 저표면 에너지 물질층(low surface energy material layer)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소자를 실장한 인쇄회로기판.The device further comprises a low surface energy material layer (low surface energy material layer) formed on the inner wall of the through hole. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 저표면 에너지 물질층은 산화층인 것을 특징으로 하는 소자를 실장한 인쇄회로기판.And the low surface energy material layer is an oxide layer. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 소자는 상기 관통 홀의 내벽을 포함하는 표면에 형성되는 도금층, 및 상기 도금층상에 형성되는 산화층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소자를 실장한 인쇄회로기판.And the device further comprises a plating layer formed on a surface including an inner wall of the through hole, and an oxide layer formed on the plating layer. (A) 소자에 적어도 하나 이상의 관통 홀을 형성하는 단계;(A) forming at least one through hole in the device; (B) 회로패턴이 형성된 베이스 기판에 접착제를 도포하는 단계;(B) applying an adhesive to the base substrate on which the circuit pattern is formed; (C) 상기 관통 홀의 내벽을 따라 상기 접착제가 상승하도록 상기 소자의 하부면을 상기 접착제에 부착시키는 단계; 및(C) attaching a bottom surface of the device to the adhesive such that the adhesive rises along the inner wall of the through hole; And (D) 상기 소자의 단자와 상기 베이스 기판의 회로패턴을 전기적으로 연결시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자를 실장한 인쇄회로기판의 제조방법.(D) electrically connecting the terminal of the device and the circuit pattern of the base substrate; a method of manufacturing a printed circuit board mounted with the device. 제 6 항에 있어서, 상기 (A) 단계 이후에,The method of claim 6, wherein after step (A), (E) 상기 관통 홀의 내벽에 저표면 에너지 물질층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소자를 실장한 인쇄회로기판의 제조방법.And (E) forming a low surface energy material layer on the inner wall of the through hole. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 저표면 에너지 물질층은 산화층인 것을 특징으로 하는 소자를 실장한 인쇄회로기판의 제조방법.The low surface energy material layer is an oxide layer manufacturing method of a printed circuit board mounted device. 제 6 항에 있어서, 상기 (A) 단계 이후에,The method of claim 6, wherein after step (A), (E) 상기 관통 홀의 내벽에 도금층을 형성하는 단계; 및(E) forming a plating layer on the inner wall of the through hole; And (F) 상기 도금층상에 산화층을 형성하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소자를 실장한 인쇄회로기판의 제조방법.(F) forming an oxide layer on the plating layer; the manufacturing method of a printed circuit board mounted with the device further comprising. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 (A) 단계는 기계적 드릴링 방식, 레이저 드릴링 방식, 습식 에칭 방식 및 건식 에칭 방식 중 적어도 하나 이상의 방식을 이용하여 상기 소자에 적어도 하나 이상의 관통 홀을 형성하는 것을 특징으로 하는 소자를 실장한 인쇄회로기판의 제조방법.In the step (A), at least one through hole is formed in the device using at least one of mechanical drilling, laser drilling, wet etching, and dry etching. Method of manufacturing a substrate.
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