KR20060020841A - Apparatus for assisting test of a ic film - Google Patents
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Abstract
본 발명은 액정디스플레이 패널의 가장자리에 배열되어 화상을 구현하는 필름 아이씨(IC)의 양/불량을 검사하기 위하여 필름 아이씨를 측정핀 측으로 푸시하는 장비에 있어서: 작업대의 소정위치에 고정 설치된 수평테이블; 상기 수평테이블에 수평 이동이 가능하도록 결합되어 x축 또는 y축으로 이동하는 리어프레임; 상기 수평테이블에 설치되어 리어프레임을 x축 또는 y축으로 수평 이동시키는 수평구동수단; 상기 리어프레임에 일측에 수직 이동이 가능하도록 결합되되 좌우측에 위치한 필름 아이씨를 잡아주는 프론트프레임; 상기 리어프레임의 일측에 설치되어 프론트프레임을 수직 이동시키는 제 1 수직구동수단; 상기 프론트프레임의 일측에 수직 이동이 가능하도록 결합되되 외부로부터 공급된 필름 아이씨의 회로패턴을 영상으로 촬영하기 위하여 필름 아이씨를 눌러 지지하는 푸시부재; 상기 프론트프레임의 일측에 설치되어 푸시부재를 수직 이동시키는 제 2 수직구동수단; 및 상기 수평구동수단의 각 축에 대한 좌표값 지령과 필름 아이씨를 보호하기 위하여 제 1 및 제 2 수직구동수단의 수직 이동을 초정밀 제어하는 컨트롤러;를 구비함으로써, 푸시장비를 측정자 측으로 수직이동시키는 수직구동수단을 복수개로 설치한 후 각 수직구동수단을 순차적으로 제어하여 푸시장비를 수직으로 이동함에 따라 푸시장비를 보다 정밀하게 제어하여 검사 불량률을 대폭적으로 감소시켰고, 또한 z축이 하나일 경우에 하강하는 위치결정이 대략 10㎛이상일 경우에는 측정자의 손상이나 장비에 무리가 감으로 해서 제조원가 상승의 요인이 되므로 복수의 z축 모터로 장비를 보 다 정밀하게 제어하여 생산성을 향상시킴과 아울러 제조단가를 낮출 수 있는 엘씨디구동 아이씨의 검사 보조장치를 제공한다.The present invention is a device arranged to the edge of the liquid crystal display panel to push the film IC to the measuring pin side for inspecting the quantity / defect of the film IC (IC) for realizing an image, comprising: a horizontal table fixedly fixed to a predetermined position of the work table; A rear frame coupled to the horizontal table to move horizontally in an x-axis or y-axis; Horizontal driving means installed on the horizontal table to horizontally move the rear frame on the x-axis or y-axis; A front frame coupled to the rear frame so as to vertically move to one side, and holding a film IC located at left and right sides; First vertical driving means installed at one side of the rear frame to vertically move the front frame; A push member coupled to one side of the front frame to support the film IC in order to capture a circuit pattern of the film IC supplied from the outside as an image; A second vertical driving means installed at one side of the front frame to vertically move the push member; And a controller for ultra-precise control of vertical movement of the first and second vertical driving means to protect the coordinate value command and the film IC for each axis of the horizontal driving means. After installing a plurality of driving means, each vertical driving means is sequentially controlled to move the pusher vertically, so the control of the pusher is more precisely controlled, which greatly reduces the inspection failure rate. If the positioning is about 10㎛ or more, it may cause the increase of manufacturing cost due to the damage of the measurer or the equipment and increase the productivity by controlling the equipment more precisely with multiple z-axis motors. Provides a low-cost PCD inspection aid.
Description
도 1은 본 발명에 의한 엘씨디구동 아이씨의 검사 보조장치를 도시한 개념도이고,1 is a conceptual diagram showing a test aid device of the LCD driving IC according to the present invention,
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 엘씨디구동 아이씨의 검사 보조장치를 도시한 단면도이고,Figure 2 is a cross-sectional view showing the inspection assistant device of the LCD driving IC according to an embodiment of the present invention,
도 3은 도 2의 수평테이블을 도시한 분리 사시도이고,3 is an exploded perspective view of the horizontal table of FIG.
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 도 2의 리어프레임과 제 1 및 제 2 수직구동수단, 프론트프레임 및 푸시부재를 도시한 사시도이다.4 is a perspective view illustrating the rear frame, the first and second vertical driving means, the front frame, and the push member of FIG. 2 according to an embodiment of the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 * Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10: 필름 아이씨 50: 측정핀10: film IC 50: measuring pin
100: 수평테이블 110: 테이블베이스100: horizontal table 110: table base
112: 구동베이스 140: 커버112: driving base 140: cover
150: 수평구동수단 160: x축구동수단150: horizontal driving means 160: x-axis driving means
163: x축 모터 180: y축구동수단163: x-axis motor 180: y-axis driving means
183: y축 모터 161,181: 가이드레일183: y-axis motor 161,181: guide rail
165,185: 커플링 167,187: 볼스크류165,185 coupling 167,187 ball screw
169,189: 모터브래킷 200: 리어프레임169,189: Motor bracket 200: Rear frame
250: 제 1 수직구동수단 251: 제 1 수직모터250: first vertical driving means 251: first vertical motor
253: 모터베이스 255: 지지체253: motor base 255: support
261: 커플링 263: 볼스크류261
265: 이동수단 300: 프론트프레임265: vehicle 300: front frame
350: 제 2 수직구동수단 351: 제 2 수직모터350: second vertical driving means 351: second vertical motor
353: 모터베이스 355: 지지체353: motor base 355: support
361: 커플링 363: 볼스크류361
365: 이동수단 400: 푸시부재365: moving means 400: push member
본 발명은 액정디스플레이를 구동하는 아이씨를 검사하기 위한 보조장비로서, 특히 액정디스플레이 패널의 가장자리에 배열되어 화상을 구현하는 필름 아이씨(IC)의 양/불량을 검사하기 위하여 외부로부터 공급된 롤 형태의 필름 아이씨를 측정핀 측으로 푸시(Push)하는 엘씨디구동 아이씨의 검사 보조장치에 관한 것이다.The present invention is an auxiliary device for inspecting the IC driving the liquid crystal display, in particular in the form of a roll supplied from the outside to inspect the quantity / defect of the film IC (IC) arranged on the edge of the liquid crystal display panel to implement the image The present invention relates to an inspection aid for an LCD drive IC that pushes a film IC to a measuring pin side.
최근 액정디스플레이(LCD) 산업분야에 초초정밀(±3㎛이내) 장비들이 많이 사용되고 있으나, 국내에서는 초초정밀 제작이 불가능하여 대부분의 장비를 외국에서 수입하고 있는 실정이다.Recently, ultra-high precision (within ± 3㎛) equipment is widely used in the liquid crystal display (LCD) industry, but ultra-precision is impossible in Korea, so most of the equipment is imported from foreign countries.
액정디스플레이 패널의 가장자리에 배열되어 화상을 구현하는 필름 아이씨(IC)의 양/불량을 검사하기 위해서는 외부로부터 공급된 롤 형태의 필름 아이씨를 측정핀 측으로 푸시(Push)하여야 하는 데, 엘씨디구동 아이씨와 같은 측정자는 매우 작고 충격에 약하기 때문에 장비를 정밀하게 제어하여 측정자를 측정핀 측으로 푸시하여야 한다.In order to inspect the quantity / defect of the film IC (IC) arranged on the edge of the liquid crystal display panel, it is necessary to push the roll-type film IC supplied from the outside to the measuring pin side. The same measuring instrument is very small and susceptible to shock, so the instrument must be precisely controlled and pushed to the measuring pin.
현재, 장비를 엘씨디구동 아이씨와 같은 측정자로 이동하여 측정자를 측정핀 측으로 푸시할 경우 측정자에 흠집을 내거나 측정자가 너무 작기 때문에 측정시 위치 이탈이 많이 발생하여 불량률이 15% 내지 20% 이상이나 발생하는 문제점이 있었고, 이는 푸시 장비를 수직으로 정밀하게 제어하지 못하기 때문에 발생되는 것이다.At present, when the equipment is moved to a measuring device such as an LCD drive IC and the measuring device is pushed to the measuring pin side, the measuring device is scratched or the measuring device is too small. There was a problem, which is caused by the inability to precisely control the push equipment vertically.
따라서, 본 발명의 목적은 푸시장비를 측정자 측으로 수직이동시키는 수직구동수단을 복수개로 설치한 후 각 수직구동수단을 순차적으로 제어하여 푸시장비를 수직으로 이동함으로써, 푸시장비를 보다 정밀하게 제어할 수 있는 엘씨디구동 아이씨의 검사 보조장치를 제공하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to install a plurality of vertical driving means for vertically moving the push equipment to the measuring device side and then to control each vertical driving means sequentially to move the push equipment vertically, it is possible to control the push equipment more precisely It is to provide the inspection aid of the CD drive IC.
본 발명의 다른 목적은 z축이 하나일 경우에 하강하는 위치결정이 대략 10㎛이상일 경우에는 측정자의 손상이나 장비에 무리가 감으로 해서 제조원가 상승의 요인이 되므로 복수의 z축 모터로 장비를 보다 정밀하게 제어하여 생산성을 향상시킴과 아울러 제조단가를 낮출 수 있는 엘씨디구동 아이씨의 검사 보조장치를 제공하는 데 있다.
Another object of the present invention is that if the positioning is lowered in the case of one z-axis is about 10㎛ or more, because the damage of the measuring device or the excessive force on the equipment is a factor of the increase in manufacturing cost, more than one z-axis motor In order to improve productivity by precisely controlling and lowering manufacturing costs, it is to provide an inspection aid for an LCD drive IC.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기술적 수단은, 액정디스플레이 패널의 가장자리에 배열되어 화상을 구현하는 필름 아이씨(IC; 10)의 양/불량을 검사하기 위하여 필름 아이씨(10)를 측정핀(50) 측으로 푸시하는 장비에 있어서: 작업대의 소정위치에 고정 설치된 수평테이블(100); 상기 수평테이블(100)에 수평 이동이 가능하도록 결합되어 x축 또는 y축으로 이동하는 리어프레임(200); 상기 수평테이블(100)에 설치되어 리어프레임(200)을 x축 또는 y축으로 수평 이동시키는 수평구동수단(150); 상기 리어프레임(200)에 일측에 수직 이동이 가능하도록 결합되되 좌우측에 위치한 필름 아이씨(10)를 잡아주는 프론트프레임(300); 상기 리어프레임(200)의 일측에 설치되어 프론트프레임(300)을 수직 이동시키는 제 1 수직구동수단(250); 상기 프론트프레임(300)의 일측에 수직 이동이 가능하도록 결합되되 외부로부터 공급된 필름 아이씨(10)의 회로패턴을 영상으로 촬영하기 위하여 필름 아이씨(10)를 눌러 지지하는 푸시부재(400); 상기 프론트프레임(300)의 일측에 설치되어 푸시부재(400)를 수직 이동시키는 제 2 수직구동수단(350); 및 상기 수평구동수단(150)의 각 축에 대한 좌표값 지령과 필름 아이씨(10)를 보호하기 위하여 제 1 및 제 2 수직구동수단(250, 350)의 수직 이동을 초정밀 제어하는 컨트롤러(500);로 이 루어진 것을 특징으로 한다.Technical means of the present invention for achieving the above object, the film IC (10) arranged on the edge of the liquid crystal display panel to implement the image to check the quantity / defect of the film IC (10) measuring pin (50) In the equipment for pushing to the side: Horizontal table 100 fixedly installed at a predetermined position of the work table; A
구체적으로, 상기 제 1 수직구동수단(250)은, 리어프레임(200)의 상단에 설치된 제 1 수직모터(251); 상기 제 1 수직모터(251)의 하단에 설치되어 제 1 수직모터(251)의 회전력을 전달하는 커플링(261); 상기 커플링(261)에 결합되어 제 1 수직모터(251)의 회전력에 따라 회전 운동하는 볼스크류(263); 및 상기 리어프레임(200)에 고정 설치되되 볼스크류(263)와 나선 결합되어 볼스크류(263)의 회전에 따라 프론트프레임(300)을 수직 이동시키는 이동수단(265);으로 이루어져 있고, 상기 제 1 수직모터(251)는, 모터가 안착되는 모터베이스(253)와, 상기 모터베이스(253)를 해당 프레임과 일정간격 이격된 채로 유지 지지하는 지지체(255)를 통해 리어프레임(200)에 설치되어 있다.Specifically, the first vertical driving means 250, the first
또한, 상기 제 2 수직구동수단(350)은, 프론트프레임(300)의 상단에 설치된 제 2 수직모터(351); 상기 제 2 수직모터(351)의 하단에 설치되어 제 2 수직모터(351)의 회전력을 전달하는 커플링(361); 상기 커플링(361)에 결합되어 제 2 수직모터(351)의 회전력에 따라 회전 운동하는 볼스크류(363); 및 상기 프론트프레임(300)에 고정 설치되되 볼스크류(363)와 나선 결합되어 볼스크류(363)의 회전에 따라 푸시부재(400)를 수직 이동시키는 이동수단(365);으로 이루어져 있고, 상기 제 2 수직모터(351)는, 모터가 안착되는 모터베이스(353)와, 상기 모터베이스를 해당 프레임과 일정간격 이격된 채로 유지 지지하는 지지체(355)를 통해 프론트프레임(300)에 설치되어 있다.In addition, the second vertical driving means 350, the second
바람직하게는 상기 제 1 수직구동수단(250)을 통해 프론트프레임(300)을 수 직 이동시킨 후 제 2 수직구동수단(350)을 통해 푸시부재(400)를 수직 이동시키도록 구성하는 것이 좋으며, 상기 제 1 수직구동수단(250) 및 제 2 수직구동수단(350)은 해당 프레임을 제어펄스당 대략 2㎛정도 수직 이동시키도록 구성하는 것이 좋다.Preferably, the
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 살펴보고자 한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명에 의한 엘씨디구동 아이씨의 검사 장치를 도시한 개념도로서, 수평테이블(100), 수평구동수단(150), 리어프레임(200), 제 1 수직구동수단(250), 프론트프레임(300), 제 2 수직구동수단(350), 푸시부재(400), 및 컨트롤러(500)로 이루어져 있다.1 is a conceptual diagram illustrating an inspection apparatus of an LCD driving IC according to the present invention, the horizontal table 100, the horizontal driving means 150, the
상기 수평테이블(100)은 작업테이블의 소정위치에 고정 설치되되 각종 구동수단이 배치되어 있고, 수평구동수단(150)은 수평테이블(100)에 설치되어 리어프레임(200)을 수평이동시키는 복수의 구동수단으로 이루어져 있고, 리어프레임(200)은 수평테이블(100)에 수평 이동이 가능하도록 결합되어 소정의 제어신호에 따라 수평테이블(100)의 상단에서 x축 또는 y축으로 수평이동하도록 구성되어 있다.The horizontal table 100 is fixedly installed at a predetermined position of the work table, and various driving means are arranged, and the horizontal driving means 150 is installed on the horizontal table 100 to move the
또한, 제 1 수직구동수단(250)은 리어프레임(200)의 일측에 설치되어 프론트프레임(300)을 수직 이동시키도록 구성되어 있고, 프론트프레임(300)은 리어프레임(200)에 일측에 수직 이동이 가능하도록 결합되되 좌우측에 위치한 필름 아이씨(10)를 잡아주도록 구성되어 있고, 제 2 수직구동수단(350)은 프론트프레임(300)의 일측에 설치되어 푸시부재(400)를 상하 이동시키도록 구성되어 있고, 푸시부재 (400)는 프론트프레임(300)의 일측에 수직 이동이 가능하도록 결합되되 외부로부터 공급된 필름 아이씨(10)의 회로패턴을 영상으로 촬영하기 위하여 필름 아이씨(10)를 눌러 지지하도록 구성되어 있고, 컨트롤러(500)는 외부에 설치되어 수평구동수단(150)의 각 축에 대한 좌표값 지령과 필름 아이씨(10)를 보호하기 위하여 제 1 및 제 2 수직구동수단(250, 350)의 수직 이동을 초정밀 제어하는 퍼스널 컴퓨터와 같은 제어수단으로 구성되어 있다.In addition, the first vertical driving means 250 is installed on one side of the
상기와 같이 구성된 수평구동수단(150)과 제 1 수직구동수단(250)은 후단의 각 프레임(200, 300)을 작동시키는 것이지만, 궁극적으로는 각 프레임(200, 300)과 연동하는 푸시부재(400)를 측정자(10)의 상단으로 정밀하게 이동시키기 위한 것이다.The horizontal driving means 150 and the first vertical driving means 250 configured as described above operate each of the
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 엘씨디구동 아이씨의 검사 보조장치를 도시한 단면도이고, 도 3은 도 2의 수평테이블(100)을 도시한 사시도이고, 도 4는 도 2의 요부를 도시한 사시도로서, 수평테이블(100), 수평구동수단(150), 리어프레임(200), 제 1 수직구동수단(250), 프론트프레임(300), 제 2 수직구동수단(350), 및 푸시부재(400)로 이루어져 있다.Figure 2 is a cross-sectional view showing the inspection aids of the LCD driving IC according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a perspective view showing a horizontal table 100 of Figure 2, Figure 4 shows the main portion of Figure 2 As a perspective view, the horizontal table 100, the horizontal driving means 150, the
상기 수평테이블(100)은 작업테이블의 소정위치에 고정 설치되되 일측에 수평구동수단(150) 등이 배치된 플레이트로 구성되어 있고, 수평구동수단(150)은 수평테이블(100)에 설치되어 리어프레임(200)을 x축 또는 y축으로 수평 이동시키는 x축 모터(163)와 y축 모터(183)를 포함한 복수의 구동수단(160, 180)으로 이루어져 있는 데, x축 모터(163)와 y축 모터(183)는 수평테이블(100)의 일정 위치에 형성되 어 소정의 구동수단을 통해 리어프레임(200)을 x축 또는 y축으로 이동시키도록 구성되어 있고, 리어프레임(200)은 수평테이블(100)에 수평 이동이 가능하도록 결합되어 소정의 제어신호에 따라 수평테이블(100)의 상단에서 x축 또는 y축으로 수평 이동하도록 구성되어 있다.The horizontal table 100 is fixedly installed at a predetermined position of the work table, and consists of a plate on which one side of the horizontal driving means 150 is disposed, and the horizontal driving means 150 is installed on the horizontal table 100 to the rear. It consists of a plurality of drive means (160, 180) including the
또한, 제 1 수직구동수단(250)은 리어프레임(200)의 일측에 설치되어 프론트프레임(300)을 수직 이동시키는 모터와 그 구동수단으로 구성되어 있고, 프론트프레임(300)은 리어프레임(200)에 일측에 수직 이동이 가능하도록 결합되되 좌우측에 위치한 필름 아이씨(10)를 잡아주도록 구성되어 있고, 제 2 수직구동수단(350)은 프론트프레임(300)의 일측에 설치되어 푸시부재(400)를 상하 이동시키는 모터와 그 구동수단으로 구성되어 있고, 푸시부재(400)는 프론트프레임(300)의 일측에 수직 이동이 가능하도록 결합되되 외부로부터 공급된 필름 아이씨(10)의 회로패턴을 영상으로 촬영하기 위하여 필름 아이씨(10)를 측정핀(50) 측으로 눌러 지지하도록 구성되어 있다.In addition, the first vertical driving means 250 is installed on one side of the
상기 수평테이블(100)은 도 3에 도시된 바와 같이, 테이블베이스(110)와 구동베이스(112), 리어프레임(200)을 x축, y축으로 이동시키기 위한 수평구동수단(150), 및 커버(140)로 이루어져 있으며, 상기 수평구동수단(150)은 리어프레임(200)을 x축으로 이동시키기 위한 x축구동수단(160)과 리어프레임(200)을 y축으로 이동시키기 위한 y축구동수단(180)으로 이루어져 있다.As shown in FIG. 3, the horizontal table 100 includes a horizontal driving means 150 for moving the
먼저, 테이블베이스(110)는 작업테이블에 고정 설치되는 플레이트 형태로 이루어져 있고, 구동베이스(112)는 테이블베이스(110)의 상단에 설치되어 각종 구동 수단을 고정시키기 위한 플레이트로 형성되어 있고, 커버(140)는 수평구동수단(150)의 상단과 리어프레임(200)의 저면에 결합되어 수평구동수단(150)에 따라 리어프레임(200)을 수평으로 이동시키도록 구성되어 있다.First, the
상기 x축구동수단(160)은, 구동베이스(112)의 상단 양측에 설치되어 커버(140)가 x축으로 이동할 수 있도록 하는 x축 가이드레일(161)과, 상기 구동베이스(112)의 일측에 설치된 x축 모터(163)와, 상기 x축 모터(163)의 전단에 설치되어 x축 모터(163)의 회전력을 전달하는 커플링(165)과, 상기 커플링(165)에 결합되어 x축 모터(163)의 회전력에 따라 회전 운동하는 볼스크류(167), 및 상기 테이블베이스(110)에 고정 설치되되 볼스크류(167)와 나선 결합된 x축 모터브래킷(169)으로 이루어져 있다.The x-axis driving means 160 is installed on both sides of the upper end of the
그리고, y축구동수단(180)은, 상기 구동베이스(112)의 상단 양측에 설치되어 커버(140)가 y축으로 이동할 수 있도록 하는 y축 가이드레일(181)과, 상기 구동베이스(112)의 일측에 설치된 y축 모터(183)와, 상기 y축 모터(183)의 전단에 설치되어 y축 모터(183)의 회전력을 전달하는 커플링(185)과, 상기 커플링(185)에 결합되어 y축 모터(183)의 회전력에 따라 회전 운동하는 볼스크류(187), 및 상기 테이블베이스(110)에 고정 설치되되 볼스크류(187)와 나선 결합된 y축 모터브래킷(189)으로 이루어져 있다.In addition, the y-axis driving means 180 is provided on both sides of the upper end of the
상기의 구성 이외에도 커버(140)의 하단에 부착되어 커버(140)를 가이드레일(161)(181)과 각각 결합하여 수평 이동이 가능하도록 하는 가이드부(120)와, 구동베이스(112)의 일측에 설치되어 볼스크류(167)의 오버런을 방지하는 스토퍼(122) 와, 커버(140)의 운동거리를 결정해 주는 센서가 고정된 센서가이드(114)와, 상기 볼스크류(167)를 커버(140)에 부착해주는 스크류너트(171)(191)와, 상기 각 스크류너트(171)(191)와 커버(140)를 각각 고정시키는 너트하우징(173)과, 커버(140)의 시작위치와 끝의 위치를 알려주는 센서브래킷(116), 및 볼스크류를 고정시켜 주는 지지체(118) 등을 더 포함하고 있다.In addition to the above configuration, the
아울러, 상기 x축 모터(163) 및 y축 모터(183)는 스테핑모터이며, 상기 x축구동수단(160) 및 y축구동수단(180)은 커버(140)를 제어펄스당 대략 2㎛정도씩 수평 이동하도록 구성되어 있다.In addition, the
그리고, 도 4는 본 발명의 실시예에 의한 리어프레임(200)과 제 1 및 제 2 수직구동수단(250, 350), 프론트프레임(300) 및 푸시부재(400)에 대한 외형적인 형상을 도시하였는바, 제 1 수직구동수단(250)과 제 2 수직구동수단(350)의 내부 구동수단은 도 2의 단면도에 도시되어 있다.And, Figure 4 shows the external shape of the
먼저, 상기 제 1 수직구동수단(250)은 리어프레임(200)의 상단에 설치된 제 1 수직모터(251)와, 상기 모터(251)가 안착되는 모터베이스(253)와, 상기 모터베이스(253)를 해당 프레임과 일정간격 이격된 채로 유지 지지하는 지지체(255), 및 각종 구동수단이 내장된 하우징(257)을 통해 리어프레임(200)에 설치되어 있다.First, the first vertical driving means 250 includes a first
상기 제 1 수직구동수단(250)의 각 구동수단은 상세하게 도시하지 않았지만, 도 2에 도시된 바와 같이, 수직모터(251)의 하단에 설치되어 수직모터(251)의 회전력을 전달하는 커플링(261)과, 상기 커플링(261)에 결합되어 수직모터(251)의 회전력에 따라 회전 운동하는 볼스크류(263), 및 상기 볼스크류(263)와 나선 결합되어 볼스크류(263)의 회전에 따라 프론트프레임(300)을 수직 이동시키는 이동수단(265)으로 이루어져 있다.Although each driving means of the first vertical driving means 250 is not shown in detail, as shown in FIG. 2, the coupling is installed at the lower end of the
그리고, 상기 제 2 수직구동수단(350)은, 프론트프레임(300)의 상단에 설치된 제 2 수직모터(351)와, 상기 제 2 수직모터(351)가 안착되는 모터베이스(353)와, 상기 모터베이스(353)를 해당 프레임과 일정간격 이격된 채로 유지 지지하는 지지체(355), 및 각종 구동수단이 내장된 하우징(365)을 통해 프론트프레임(300)에 설치되어 있다.The second vertical driving means 350 may include a second
상기 제 2 수직구동수단(350)은 도 2에 도시된 바와 같이, 수직모터(351)의 하단에 설치되어 수직모터(351)의 회전력을 전달하는 커플링(361)과, 상기 커플링(361)에 결합되어 수직모터(351)의 회전력에 따라 회전 운동하는 볼스크류(363), 및 상기 볼스크류(363)와 나선 결합되어 볼스크류(363)의 회전에 따라 푸시부재(400)를 수직 이동시키는 이동수단(365)으로 이루어져 있다.As shown in FIG. 2, the second vertical driving
아울러, 상기 제 1 수직모터(251) 및 제 2 수직모터(351)는 스테핑모터이며, 상기 프론트프레임(300)은 제 1 수직구동수단(250)의 작동에 따라 소정의 이동수단(265)을 통해 수직 이동되도록 구성되어 있고, 상기 푸시부재(400)는 제 2 수직구동수단(350)의 작동에 따라 소정의 이동수단(365)을 통해 수직 이동되도록 구성된 것이다.In addition, the first
상기 제 1 수직구동수단(250)을 통해 프론트프레임(300)을 수직 이동시킨 후 제 2 수직구동수단(350)을 통해 푸시부재(400)를 수직 이동시키도록 구성되어 있고, 상기 제 1 수직구동수단(250) 및 제 2 수직구동수단(350)은 해당 프레임을 제 어펄스당 대략 2㎛정도씩 수직 이동된다.The
그리고, 부가적으로 상기 제 1 수직모터(251)와 제 2 수직모터(351)의 상단에 모터 캠(259)(359)을 각각 설치하여 각 z축의 상하 이동을 손으로 확인 가능하다. 즉 손으로 모터 캠(259)(359)을 파지하여 돌리면 각 모터(251)(351)에 의해 프론트프레임(300)이나 푸시부재(400)가 상하로 수직 이동된다.In addition,
이와 같이 구성된 본 발명의 작동과정을 간단하게 살펴보고자 한다.The operation of the present invention configured as described above will be described briefly.
먼저, 푸시부재(400)의 하단으로 엘씨디구동 아이씨(10)와 같은 측정자(10)가 공급되면, 컨트롤러(500)는 수평구동수단(150)인 x축 및 y축구동수단(160, 180)을 각각 제어하여 리어프레임(200)을 x축 또는/및 y축으로 수평이동하여 푸시부재(400)를 측정자(10) 측으로 이동시킨다. 상기 리어프레임(200)의 이동 거리는 대략 10mm 정도이며, 그 이상 이동하는 것을 방지하기 위하여 구동수단에 인접하여 스토퍼(122)를 설치하는 것이 바람직하고, 상기 스토퍼(122)에 의해서 리어프레임(200)의 이동 거리가 물리적으로 제한된다.First, when the
이어, 컨트롤러(500)는 리어프레임(200)에 설치된 제 1 수직모터(251)로 소정의 제어펄스를 출력하여 제 1 수직모터(251)를 구동시키며, 상기 제 1 수직모터(251)의 회전에 따라 이동수단(265)에 의해 프론트프레임(300)은 수직으로 하강된다. 상기 제 1 수직모터(251)는 푸시부재(400)가 측정자(10)를 기준으로 대략 500㎛정도의 높이까지 하강하도록 제어된다.Subsequently, the
상기와 같이 제 1 수직모터(251)를 1차로 제어하여 푸시부재(400)를 측정자(10)를 기준으로 소정 높이로 하강한 후 컨트롤러(500)는 프론트프레임(300)에 설 치된 제 2 수직모터(351)를 2차로 제어하게 된다. 즉, 컨트롤러(500)는 프론트프레임(300)에 설치된 제 2 수직모터(351)로 소정의 제어펄스를 출력하여 제 2 수직모터(351)를 구동시키며, 상기 제 2 수직모터(351)의 회전에 따라 이동수단(365)에 의해 푸시부재(400)는 수직으로 하강된다. 상기 제 2 수직모터(351)는 푸시부재(400)가 대략 550㎛를 다시 하강하도록 제어된다. 이와 같이 푸시부재(400)를 하강하여 측정자(10)를 대략 50㎛ 정도를 누른 상태에서 하단의 측정핀(50)을 통해 측정 및 검사를 시작하게 된다.As described above, the first
상기 푸시부재(400)의 수직이동 높이도 대략 10mm 정도이며, 그 이상 수직이동하는 것을 방지하기 위하여 구동수단에 인접하여 스토퍼를 설치하는 것이 바람직하고, 상기 스토퍼에 의해서 푸시부재(400)의 수직이동 길이를 물리적으로 제한하는 것이 바람직하다. 따라서, 상기 푸시부재(400)의 총 수직이동거리는 프론트프레임(300)의 이동거리를 합하여 대략 20mm정도가 되는 것이다.The vertical movement height of the
아울러, 상기 수평모터(163, 183), 제 1 수직모터(251) 및 제 2 수직모터(351)는 컨트롤러(500)에서 출력되는 제어펄스당 대략 2㎛를 이동시키는 스테핑 모터로서, 미소거리를 정밀하게 제어할 수 있다.In addition, the
이와 같이 z축 구동수단(250, 350)을 복수개로 구성함에 따라 푸시부재(400)를 정밀하게 제어하는 것이 가능하여 측정자(10)의 흠집 방지나 위치 결정 능력이 상당히 뛰어나 불량률을 0.4%이하로 줄일 수 있으며, 이는 종래의 15% 내지 20%의 불량률에 대비해 상당히 개선됨을 알 수 있다.As described above, the plurality of z-axis driving means 250 and 350 can be used to precisely control the
상기에서 본 발명의 특정한 실시예가 설명 및 도시되었지만, 장비의 구조는 설계에 따라 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다. 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 본 발명에 첨부된 청구범위 안에 속한다 해야 할 것이다.While specific embodiments of the present invention have been described and illustrated above, it is obvious that the structure of the equipment may be implemented in various modifications depending on the design. Such modified embodiments should not be understood individually from the technical spirit or the prospect of the present invention, but should fall within the claims appended to the present invention.
따라서, 본 발명에서는 푸시장비를 측정자 측으로 수직이동시키는 수직구동수단을 복수개로 설치한 후 복수의 수직구동수단을 순차적으로 제어하여 푸시장비를 수직으로 이동함으로써, 푸시장비를 보다 정밀하게 제어하여 검사 불량률을 대폭적으로 감소시켰고, 또한 z축이 하나일 경우에 하강하는 위치결정이 대략 10㎛이상일 경우에는 측정자의 손상이나 장비에 무리가 감으로 해서 제조원가 상승의 요인이 되므로 복수의 z축 모터로 장비를 보다 정밀하게 제어하여 생산성을 향상시킴과 아울러 제조단가를 낮출 수 있는 이점이 있다.Therefore, in the present invention, by installing a plurality of vertical drive means for vertically moving the push device to the measurer side by sequentially controlling the plurality of vertical drive means to move the push device vertically, more precise control of the push device to control the inspection failure rate Significantly reduced and if the descending positioning of one z-axis is about 10㎛ or more, it may cause the increase of manufacturing cost due to the damage of the measuring instrument or the equipment. More precise control has the advantage of improving the productivity and lowering the manufacturing cost.
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KR100837372B1 (en) * | 2006-08-30 | 2008-06-12 | 노우철 | A Variable Stage System |
KR101327192B1 (en) * | 2012-08-23 | 2013-11-06 | 문동윤 | Robot carrier for tape reel for semiconductor package |
Family Cites Families (4)
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JPH09145722A (en) * | 1995-11-29 | 1997-06-06 | Shimadzu Corp | Scanning probe microscope |
JP2000009624A (en) | 1998-06-22 | 2000-01-14 | Seiko Instruments Inc | Scanning probe microscope |
JP2000206024A (en) | 1999-01-19 | 2000-07-28 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | Wide-area three-dimensional scanning device for spm |
JP4300003B2 (en) | 2002-08-07 | 2009-07-22 | 東京エレクトロン株式会社 | Mounting table driving apparatus and probe method |
-
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100837372B1 (en) * | 2006-08-30 | 2008-06-12 | 노우철 | A Variable Stage System |
KR101327192B1 (en) * | 2012-08-23 | 2013-11-06 | 문동윤 | Robot carrier for tape reel for semiconductor package |
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