KR20060012465A - Emergency off switch - Google Patents

Emergency off switch Download PDF

Info

Publication number
KR20060012465A
KR20060012465A KR1020040061166A KR20040061166A KR20060012465A KR 20060012465 A KR20060012465 A KR 20060012465A KR 1020040061166 A KR1020040061166 A KR 1020040061166A KR 20040061166 A KR20040061166 A KR 20040061166A KR 20060012465 A KR20060012465 A KR 20060012465A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
switch
light emitting
emo
push button
push
Prior art date
Application number
KR1020040061166A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
조규태
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020040061166A priority Critical patent/KR20060012465A/en
Publication of KR20060012465A publication Critical patent/KR20060012465A/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H13/00—Switches having rectilinearly-movable operating part or parts adapted for pushing or pulling in one direction only, e.g. push-button switch
    • H01H13/02—Details
    • H01H13/023—Light-emitting indicators
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H13/00—Switches having rectilinearly-movable operating part or parts adapted for pushing or pulling in one direction only, e.g. push-button switch
    • H01H13/02—Details
    • H01H13/12—Movable parts; Contacts mounted thereon
    • H01H13/14—Operating parts, e.g. push-button
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H9/00—Details of switching devices, not covered by groups H01H1/00 - H01H7/00
    • H01H9/16—Indicators for switching condition, e.g. "on" or "off"
    • H01H9/161—Indicators for switching condition, e.g. "on" or "off" comprising light emitting elements

Abstract

본 발명은 EMO(emergency off) 스위치에 관한 것으로서, 제 1 푸시 버튼이 눌려진 상태에서 열린 상태가 되는 제 1 푸시 스위치와 제 2 푸시 버튼이 눌려진 상태에서 열린 상태가 되는 제 2 푸시 스위치가 병렬로 연결되어 있는 더블 푸시 스위치(double push switch)와, 제 1 푸시 버튼이 눌려진 상태에서 점등되는 제 1 발광 소자, 및 제 2 푸시 버튼이 눌려진 상태에서 점등되는 제 2 발광 소자를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따르면, 푸시 버튼을 실수로 1회 누르는 것으로 인한 반도체 제조 장치의 작동 정지를 방지할 수 있고, EMO 스위치의 동작 상태를 발광 소자를 통해 확인할 수 있으며, 반도체 제조 장치에 여러 개의 EMO 스위치가 설치되어 있는 경우 어느 EMO 스위치가 오프되어 있는 지를 쉽게 확인할 수 있다.The present invention relates to an EMO (emergency off) switch, the first push switch is in the open state when the first push button is pressed and the second push switch in the open state when the second push button is pressed in parallel And a double push switch, a first light emitting device that lights up when the first push button is pressed, and a second light emitting device that lights up when the second push button is pressed. According to this, it is possible to prevent the operation of the semiconductor manufacturing apparatus due to one push of the push button by mistake, the operation state of the EMO switch can be confirmed through the light emitting element, and several EMO switches are installed in the semiconductor manufacturing apparatus. If so, you can easily see which EMO switch is off.

푸시 스위치, 푸시 버튼, 발광 소자, 구동 전압, 발광 블록Push switch, push button, light emitting element, driving voltage, light emitting block

Description

ＥＭＯ 스위치{Emergency off switch}EMG switch {Emergency off switch}

도 1은 종래 기술에 따른 EMO 스위치의 회로도.1 is a circuit diagram of an EMO switch according to the prior art.

도 2는 종래 기술에 따른 EMO 스위치의 부분 단면도.2 is a partial cross-sectional view of an EMO switch according to the prior art.

도 3은 본 발명에 따른 EMO 스위치의 회로도.3 is a circuit diagram of an EMO switch according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 EMO 스위치의 버튼부를 나타낸 사시도.Figure 4 is a perspective view showing a button portion of the EMO switch according to the present invention.

도 5는 제 1 푸시 버튼이 눌려진 상태에 있는 본 발명에 따른 EMO 스위치의 버튼부를 나타낸 사시도.Figure 5 is a perspective view showing a button portion of the EMO switch according to the present invention in a state in which the first push button is pressed.

도 6은 제 2 푸시 버튼이 눌려진 상태에 있는 본 발명에 따른 EMO 스위치의 버튼부를 나타낸 사시도.Figure 6 is a perspective view of the button portion of the EMO switch according to the present invention in a state in which the second push button is pressed.

도 7은 제 1 푸시 버튼과 제 2 푸시 버튼이 눌려진 상태에 있는 본 발명에 따른 EMO 스위치의 버튼부를 나타낸 사시도.Figure 7 is a perspective view showing a button portion of the EMO switch according to the present invention in a state in which the first push button and the second push button is pressed.

도 8은 본 발명에 따른 EMO 스위치들이 설치된 반도체 제조 장치의 일 예를 나타낸 회로도.8 is a circuit diagram illustrating an example of a semiconductor manufacturing apparatus provided with EMO switches according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

30: EMO 스위치 31a: 제 1 푸시 버튼30: EMO switch 31a: first push button

31b: 제 2 푸시 버튼 32a: 제 1 발광 소자31b: second push button 32a: first light emitting element

32b: 제 2 발광 소자 34a: 제 1 푸시 스위치 32b: second light emitting element 34a: first push switch                 

34b: 제 2 푸시 스위치 38: 발광 블록34b: second push switch 38: light emitting block

본 발명은 EMO 스위치에 관한 것으로서, 반도체 제조 공정 중 비상 사태가 일어날 경우 반도체 제조 장치의 작동을 정지시키기 위한 EMO 스위치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an EMO switch, and more particularly, to an EMO switch for stopping operation of a semiconductor manufacturing apparatus when an emergency occurs during a semiconductor manufacturing process.

반도체 제조 장치에는 비상 사태가 일어날 경우 전원의 공급을 차단시켜 반도체 제조 장치의 작동이 정지될 수 있도록 EMO 스위치가 설치되어 있다. 통상적으로 EMO 스위치로는 푸시 스위치가 사용되는데, 푸시 버튼을 누르면 스위치가 열린 상태가 되고, 푸시 버튼이 눌린 상태에서 푸시 버튼을 돌리면 다시 원상태로 복귀하는 구조로 되어 있다. 대표적인 EMO 스위치의 예를 도 1과 도 2를 참조하여 설명하기로 한다.The semiconductor manufacturing apparatus is provided with an EMO switch so that power supply can be cut off in case of an emergency so that the operation of the semiconductor manufacturing apparatus can be stopped. Typically, a push switch is used as an EMO switch. When the push button is pressed, the switch is opened, and when the push button is pressed, the push button is turned to return to the original state. An example of a representative EMO switch will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

도 1은 종래 기술에 따른 EMO 스위치의 회로도이고, 도 2는 종래 기술에 따른 EMO 스위치의 부분 단면도이다.1 is a circuit diagram of an EMO switch according to the prior art, and FIG. 2 is a partial cross-sectional view of the EMO switch according to the prior art.

도 1에서 예시되고 있는 EMO 스위치(10)는 푸시 버튼(11)과 스위치 단자(12)를 포함하는 구조로, 닫힌 상태에서는 구동 전압(Vcc)으로 인한 전류가 입력측 도선(13a)으로부터 스위치 단자(12)를 거쳐 출력측 도선(13b)으로 흐르며 푸시 버튼(11)이 눌린 상태에서 열린 상태가 된다.The EMO switch 10 illustrated in FIG. 1 includes a push button 11 and a switch terminal 12. In the closed state, the current due to the driving voltage V cc is switched from the input side lead 13a to the switch terminal. It flows to the output side conducting wire 13b via 12, and it is in the open state in the state which the push button 11 was pressed.

이 EMO 스위치(10)는, 도 2에 도시된 것처럼 스위치 접점 소켓부(15)에 분리 가능케 결합되어 있는 외부 소켓(17)과, 외부 소켓(17) 내에 전진과 후진이 가능하게 결합되어 있는 내부 소켓(18)과, 내부 소켓(18)에 분리가능케 나사 결합 방식으로 결합되어 있는 버튼(11)으로 이루어져 있는 구조이다. 도 2는 스위치의 일반적인 스위치 단자 구조는 생략하고 온/오프(on/off) 조작부의 내부 구조만을 표시한 것으로, 스위치 접점 소켓부(15)와 결합되어 있다. The EMO switch 10 has an external socket 17 detachably coupled to the switch contact socket portion 15 as shown in FIG. 2, and an internally coupled forward and reverse direction within the external socket 17. The socket 18 and the internal socket 18 is a structure consisting of a button 11 is detachably coupled to the screw. FIG. 2 shows only the internal structure of the on / off operation part without omitting the general switch terminal structure of the switch, and is coupled with the switch contact socket part 15.

EMO 스위치(10)는 평상시에는 도 1에 도시된 것처럼 닫힌 상태에 있으므로, 구동 전압(Vcc)으로 인한 전류가 입력측 도선(13a)과 출력측 도선(13b)을 통하여 반도체 제조 장치(도시되지 않음)로 흐르게 된다. EMO 스위치(10)는 비상시에 버튼(11)이 눌리면 내부 소켓(18)이 이동되면서 접점 단자(16)를 누르게 되어 오프 상태를 이루게 되며 도 2에 도시된 바와 같이 돌기(19)가 탄성편(14)에 걸려 오프 상태가 유지되고, 이에 따라 전원 공급이 차단된다. EMO 스위치(10)가 다시 온 상태를 이루게 하려면, 버튼(11)을 회전시켜 돌기(19)가 홈(도시되지 않음)을 따라 위로 올라가게 하여 접점 단자(16)가 원상태로 돌아오도록 하면 된다.Since the EMO switch 10 is normally in a closed state as shown in FIG. 1, the current due to the driving voltage V cc is transmitted through the input side lead 13a and the output side lead 13b (not shown). Will flow into. In the EMO switch 10, when the button 11 is pressed in an emergency, the internal socket 18 is moved and the contact terminal 16 is pressed to form an off state. As shown in FIG. 14), the off state is maintained, and thus the power supply is cut off. If the EMO switch 10 is to be turned on again, the button 11 may be rotated so that the protrusion 19 moves up along the groove (not shown) so that the contact terminal 16 returns to its original state.

이와 같은 EMO 스위치는 비상시에 손쉽게 반도체 제조 장치의 작동을 정지시킬 수 있도록 사람의 손에 쉽게 닿을 수 있는 곳에 설치되어 있기 때문에, 실수로 푸시 버튼이 눌려지기가 쉽다. 정상적인 반도체 제조 작업 중에 실수로 푸시 버튼이 눌려진 경우, 반도체 제조 장치에 전류가 흐르지 못하여 갑자기 반도체 제조 장치의 작동이 정지되어 작업이 중단되고 다시 반도체 제조 장치를 작동시켜야 하기 때문에, 작업의 연속성이 낮아져 작업 효율성이 저하되는 문제점이 있다. 예를 들어, 클리닝(cleaning) 장치에서 웨이퍼를 세정할 때에 실수로 EMO 스위치의 푸시 버튼을 누른 경우, 진공 펌프가 정지하고 처리 중인 웨이퍼에 불순물이 달라 붙어 웨이퍼에 손상이 가해져 웨이퍼를 다시 교체해야 하기 때문에 경제적 손실이 생기는 문제점이 있다. Since the EMO switch is installed in a place where a human hand can be easily touched so that the semiconductor manufacturing apparatus can be easily stopped in an emergency, it is easy to accidentally push the push button. If a push button is accidentally pressed during a normal semiconductor manufacturing operation, current cannot flow in the semiconductor manufacturing apparatus, and the operation of the semiconductor manufacturing apparatus is suddenly stopped because the operation of the semiconductor manufacturing apparatus is stopped and the semiconductor manufacturing apparatus must be operated again. There is a problem that the efficiency is lowered. For example, if you accidentally press the push button on the EMO switch while cleaning the wafer in a cleaning device, the vacuum pump will stop and impurities will adhere to the wafer being processed, causing damage to the wafer and requiring wafer replacement. Therefore, there is a problem that economic losses occur.

또한, 이 EMO 스위치들이 반도체 제조 장치를 구성하는 여러 개의 유닛(unit)마다 설치되어 있는 경우, 위와 같은 상황에서 EMO 스위치의 동작 상태에 대한 특별한 표시가 없기 때문에 어느 곳에 있는 EMO 스위치가 오프되어 있는 지를 확인하기가 어려운 문제점이 있다.In addition, when these EMO switches are installed in each unit constituting the semiconductor manufacturing apparatus, there is no special indication of the operation state of the EMO switch in the above situation, so it is determined where the EMO switches are turned off. There is a problem that is difficult to identify.

따라서, 본 발명의 목적은 실수로 푸시 버튼을 누르는 것으로 인한 반도체 제조 장치의 작동 정지를 방지하는 동시에 EMO 스위치의 동작 상태를 쉽게 확인할 수 있는 EMO 스위치를 제공하는 데에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an EMO switch which can easily check the operation state of the EMO switch while preventing the operation stop of the semiconductor manufacturing apparatus due to the pushing of a push button by mistake.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 EMO 스위치는 제 1 푸시 버튼이 눌려진 상태에서 열린 상태가 되는 제 1 푸시 스위치와 제 2 푸시 버튼이 눌려진 상태에서 열린 상태가 되는 제 2 푸시 스위치가 병렬로 연결되어 있는 더블 푸시 스위치(double push switch)와, 제 1 푸시 버튼이 눌려진 상태에서 점등되는 제 1 발광 소자, 및 제 2 푸시 버튼이 눌려진 상태에서 점등되는 제 2 발광 소자를 포함하는 것을 특징으로 한다.The EMO switch according to the present invention for achieving the above object is connected in parallel with the first push switch in the open state when the first push button is pressed and the second push switch in the open state when the second push button is pressed in parallel. And a double push switch, a first light emitting device that lights up when the first push button is pressed, and a second light emitting device that lights up when the second push button is pressed.

본 발명의 EMO 스위치는 제 1 발광 소자와 제 2 발광 소자가 설치되어 있는 발광 블록을 포함하고, 제 1 푸시 버튼과 제 2 푸시 버튼은 발광 블록의 양측에 인 접하여 설치되어 있는 것이 바람직하다. The EMO switch of the present invention preferably includes a light emitting block provided with a first light emitting element and a second light emitting element, and the first push button and the second push button are preferably provided adjacent to both sides of the light emitting block.

본 발명의 EMO 스위치는 발광 블록이 투명한 재질로 이루어져 있고 제 1 발광 소자와 제 2 발광 소자는 발광 블록 내부에 설치되어 있는 것이 바람직하다.In the EMO switch of the present invention, the light emitting block is made of a transparent material, and the first light emitting device and the second light emitting device are preferably installed inside the light emitting block.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명에 따른 EMO 스위치의 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail an embodiment of the EMO switch according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 EMO 스위치의 회로도이고, 도 4는 본 발명에 따른 EMO 스위치의 버튼부를 나타낸 사시도이다. 도 3에 도시된 EMO 스위치(30)는 제 1 푸시 스위치(34a)와 제 2 푸시 스위치(34b)로 이루어진 더블 푸시 스위치(34)와, 제 1 발광 소자(32a), 및 제 2 발광 소자(32b)를 포함하여 구성된다.3 is a circuit diagram of an EMO switch according to the present invention, Figure 4 is a perspective view showing a button portion of the EMO switch according to the present invention. The EMO switch 30 shown in FIG. 3 includes a double push switch 34 including a first push switch 34a and a second push switch 34b, a first light emitting element 32a, and a second light emitting element ( 32b).

더블 푸시 스위치(34)는 제 1 푸시 스위치(34a)와 제 2 푸시 스위치(34b)가 병렬로 연결되어 있는 구조이다. 제 1 푸시 스위치(34a)와 제 2 푸시 스위치(34b)는 눌려진 상태에서 열린 상태가 되는 b 접점 푸시 스위치이다. The double push switch 34 has a structure in which the first push switch 34a and the second push switch 34b are connected in parallel. The first push switch 34a and the second push switch 34b are b contact push switches which are opened from the pressed state.

제 1 푸시 스위치(34a)는 제 1 푸시 버튼(31a)과 제 1 스위치 단자(31c)를 포함하고 있다. 제 1 스위치 단자(31c)의 일단은 제 1 입력 도선(33a)에 연결되어 있고 제 1 스위치 단자(31c)의 타단은 제 1 출력 도선(33b)에 연결되어 있다. 제 2 푸시 스위치(34b)는 제 2 푸시 버튼(31b)과 제 2 스위치 단자(31d)를 포함하고 있다. 제 2 스위치 단자(31d)의 일단은 제 2 입력 도선(35a)에 연결되어 있고 제 2 스위치 단자(31d)의 타단은 제 2 출력 도선(35b)에 연결되어 있다. 제 1 입력 도선(33a)과 제 2 입력 도선(35a)은 입력측 도선(39a)에 연결되어 있고, 제 1 출력 도선(33b)과 제 2 출력 도선(35b)은 출력측 도선(39b)에 연결되어 있다. 입력측 도선 (39a)과 출력측 도선(39b)에는 구동 전압(Vcc)이 인가된다.The first push switch 34a includes a first push button 31a and a first switch terminal 31c. One end of the first switch terminal 31c is connected to the first input lead 33a and the other end of the first switch terminal 31c is connected to the first output lead 33b. The second push switch 34b includes a second push button 31b and a second switch terminal 31d. One end of the second switch terminal 31d is connected to the second input lead 35a and the other end of the second switch terminal 31d is connected to the second output lead 35b. The first input lead 33a and the second input lead 35a are connected to the input side lead 39a, and the first output lead 33b and the second output lead 35b are connected to the output lead 39b. have. The driving voltage V cc is applied to the input side lead 39a and the output side lead 39b.

제 1 발광 소자(32a)와 제 2 발광 소자(32b)는 도 4에 도시된 것처럼 제 1 푸시 버튼(31a)과 제 2 푸시 버튼(31b) 사이에 설치되어 있다. 제 1 발광 소자(32a)와 제 2 발광 소자(32b)로서는 발광 다이오드가 적용될 수 있으며, 그 외에 다양한 종류의 발광 소자가 적용될 수 있다.The first light emitting element 32a and the second light emitting element 32b are provided between the first push button 31a and the second push button 31b as shown in FIG. As the first light emitting device 32a and the second light emitting device 32b, a light emitting diode may be applied, and various kinds of light emitting devices may be applied.

제 1 발광 소자(32a)의 일단은 제 1 발광 소자측 도선(36b)에 연결되어 있고 제 1 발광 소자(32a)의 타단은 접지되어 있다. 제 1 푸시 버튼(31a)이 눌려지면 제 1 스위치 단자(31c)가 제 1 발광 소자 전압 인가측 도선(36a)과 제 1 발광 소자측 도선(36b)을 전기적으로 연결하여 전압(V1)으로 인한 전류가 제 1 발광 소자(32a)에 흘러 제 1 발광 소자(32a)가 점등된다.One end of the first light emitting element 32a is connected to the first light emitting element side conducting wire 36b, and the other end of the first light emitting element 32a is grounded. When the first push button 31a is pressed, the first switch terminal 31c electrically connects the first light emitting element voltage applying side lead 36a and the first light emitting element side conducting line 36b to voltage V 1 . The resulting current flows into the first light emitting element 32a to turn on the first light emitting element 32a.

제 2 발광 소자(32b)의 일단은 제 2 발광 소자측 도선(37b)에 연결되어 있고 제 2 발광 소자(32b)의 타단은 접지되어 있다. 제 2 푸시 버튼(31b)이 눌려지면 제 2 스위치 단자(31d)가 제 2 발광 소자 전압 인가측 도선(37a)과 제 2 발광 소자측 도선(37b)을 전기적으로 연결하여 전압(V2)으로 인한 전류가 제 2 발광 소자(32b)에 흘러 제 2 발광 소자(32b)가 점등된다.One end of the second light emitting element 32b is connected to the second light emitting element side conducting wire 37b, and the other end of the second light emitting element 32b is grounded. When the second push button 31b is pressed, the second switch terminal 31d electrically connects the second light emitting element voltage applying side lead 37a and the second light emitting element side lead 37b to the voltage V 2 . The resulting current flows into the second light emitting element 32b to turn on the second light emitting element 32b.

제 1 발광 소자(32a)와 제 2 발광 소자(32b)는 외부로부터 보호되기 위해 견고한 발광 블록(38) 내부에 설치되어 있다. 발광 블록(38)은, 제 1 발광 소자(32a)나 제 2 발광 소자(32b)가 점등되는 경우 외부에서 점등 상태를 볼 수 있도록 투명한 재질로 이루어져 있다. 또한, 발광 블록(38)은 손으로 발광 블록(38)에 압력을 가해도 눌리지 않게 고정되어 있다.The first light emitting device 32a and the second light emitting device 32b are provided inside the rigid light emitting block 38 to be protected from the outside. The light emitting block 38 is made of a transparent material so that the lighting state can be seen from the outside when the first light emitting device 32a or the second light emitting device 32b is turned on. The light emitting block 38 is fixed so as not to be pressed even when a pressure is applied to the light emitting block 38 by hand.

도 5는 제 1 푸시 버튼이 눌려진 상태에 있는 본 발명에 따른 EMO 스위치의 버튼부를 나타낸 사시도이다. 도 5에 도시된 것처럼, 화살표 방향으로 제 1 푸시 버튼(31a)이 눌려지면 제 1 푸시 스위치(34a)는 오프되지만, 구동 전압(Vcc)으로 인한 전류가 제 2 푸시 스위치(34b)를 통해 반도체 제조 장치에 흐르게 되므로 반도체 제조 장치의 작동 정지를 방지할 수 있다. 이 경우에는 제 1 발광 소자(32a)만 점등된다.5 is a perspective view showing a button portion of the EMO switch according to the present invention in a state in which the first push button is pressed. As shown in FIG. 5, when the first push button 31a is pressed in the direction of the arrow, the first push switch 34a is turned off, but current due to the driving voltage V cc is passed through the second push switch 34b. Since it flows into a semiconductor manufacturing apparatus, it can prevent the operation | movement stop of a semiconductor manufacturing apparatus. In this case, only the first light emitting element 32a is turned on.

도 6은 제 2 푸시 버튼이 눌려진 상태에 있는 본 발명에 따른 EMO 스위치의 버튼부를 나탄낸 사시도이다. 도 6에 도시된 것처럼, 화살표 방향으로 제 2 푸시 버튼(31b)이 눌려지면 제 2 푸시 스위치(34b)는 오프되지만, 구동 전압(Vcc)으로 인한 전류가 제 1 푸시 스위치(34a)를 통해 반도체 제조 장치에 흐르게 되므로 반도체 제조 장치의 작동 정지를 방지할 수 있다. 이 경우에는 제 1 발광 소자(32b)만 점등된다.Figure 6 is a perspective view showing the button portion of the EMO switch according to the present invention in a state in which the second push button is pressed. As shown in FIG. 6, when the second push button 31b is pressed in the direction of the arrow, the second push switch 34b is turned off, but current due to the driving voltage V cc is passed through the first push switch 34a. Since it flows into a semiconductor manufacturing apparatus, it can prevent the operation | movement stop of a semiconductor manufacturing apparatus. In this case, only the first light emitting element 32b is turned on.

도 7은 제 1 푸시 버튼과 제 2 푸시 버튼이 눌려진 상태에 있는 본 발명에 따른 EMO 스위치의 버튼부를 나타낸 사시도이다. 도 7에 도시된 것처럼, 화살표 방향으로 제 1 푸시 버튼(31a)과 제 2 푸시 버튼(31b)이 눌려지면 도 3에 도시된 제 1 푸시 스위치(34a)와 제 2 푸시 스위치(34b) 모두 오프 상태가 되어 구동 전압(Vcc)으로 인한 전류가 반도체 제조 장치에 흐르지 못하게 되기 때문에 반도체 제조 장치의 작동이 정지된다. 이 경우에 제 1 발광 소자(32a)와 제 2 발광 소자(32b)는 모두 점등된다. 7 is a perspective view showing the button portion of the EMO switch according to the present invention in a state in which the first push button and the second push button are pressed. As shown in FIG. 7, when the first push button 31a and the second push button 31b are pressed in the direction of the arrow, both the first push switch 34a and the second push switch 34b shown in FIG. 3 are turned off. The operation of the semiconductor manufacturing apparatus is stopped because it is in a state and the current due to the driving voltage V cc does not flow to the semiconductor manufacturing apparatus. In this case, both the first light emitting element 32a and the second light emitting element 32b are turned on.

이와 같은 본 발명에 따른 EMO 스위치는 제 1 푸시 버튼과 제 2 푸시 버튼이 모두 눌려진 경우에만 오프 상태가 되게 함으로써 제 1 푸시 스위치와 제 2 푸시 스위치 중 하나가 실수로 눌려진 경우에도 반도체 제조 장치의 작동 정지를 방지할 수 있고, 발광 블록이 제 1 푸시 버튼과 제 2 푸시 버튼 사이에 고정되게 설치됨으로써 제 1 푸시 버튼과 제 2 푸시 버튼이 동시에 실수로 눌려지는 것을 방지할 수 있으며, 푸시 스위치가 열린 상태가 되는 경우에 전압이 인가되어 점등되는 발광 소자가 제공됨으로써 EMO 스위치의 동작 상태를 쉽게 확인할 수 있다. The EMO switch according to the present invention is turned off only when both the first push button and the second push button are pressed to operate the semiconductor manufacturing apparatus even when one of the first push switch and the second push switch is accidentally pressed. Stoppage can be prevented, and the light emitting block is fixedly installed between the first push button and the second push button, thereby preventing the first push button and the second push button from being accidentally pressed at the same time, and the push switch is opened. When a state is provided, a light emitting device that is turned on by applying a voltage can easily check the operation state of the EMO switch.

도 8은 본 발명에 따른 EMO 스위치들이 설치된 반도체 제조 장치의 일 예를 나타낸 회로도이다. 도 8에 예시되는 반도체 제조 장치(D)는 직렬로 연결된 제 1 EMO 스위치(E1)와, 제 1 반도체 제조 유닛(U1)과, 제 2 EMO 스위치(E2), 및 제 2 반도체 제조 유닛(U2)을 포함하는 구조로 되어 있다.8 is a circuit diagram illustrating an example of a semiconductor manufacturing apparatus provided with EMO switches according to the present invention. The semiconductor manufacturing apparatus D illustrated in FIG. 8 includes a first EMO switch E 1 , a first semiconductor manufacturing unit U 1 , a second EMO switch E 2 , and a second semiconductor manufacturing connected in series. It has a structure including the unit U 2 .

제 1 EMO 스위치(E1)와 제 2 EMO 스위치(E2)는 도 3에 도시된 EMO 스위치(30)의 구성과 같다. 제 1 EMO 스위치(E1)의 출력측 도선(39b)은 제 1 제조 유닛(U1)의 입력측 도선(41a)에 연결되어 있고, 제 1 제조 유닛(U1)의 출력측 도선(41b)은 제 2 EMO 스위치(E2)의 입력측 도선(40a)에 연결되어 있으며, 제 2 EMO 스위치(E2)의 출력측 도선(40b)은 제 2 제조 유닛(U2)의 입력측 도선(42a)에 연결되어 있다. The first EMO switch E 1 and the second EMO switch E 2 are the same as the configuration of the EMO switch 30 shown in FIG. 3. First EMO switch output lead (39b) comprises a first and connected to the input-side conductors (41a) of the manufacturing unit (U 1), a first output-side conductors (41b) of the manufacturing unit (U 1) of the (E 1) is the 2 EMO is connected to the input-side conductors (40a) of the switch (E 2), output-side conductors (40b) of the second EMO switch (E 2) is connected to the input-side conductors (42a) of a second production unit (U 2) have.

제 1 EMO 스위치(E1)의 입력측 도선(39a)과 제 2 제조 유닛(U2)의 출력측 도선(42b)에는 구동 전압(Vcc)이 인가되어 반도체 제조 장치(D) 내에 전류가 흐르고 반도체 제조 장치(D)가 작동한다. A driving voltage V cc is applied to the input side conductor 39a of the first EMO switch E 1 and the output side conductor 42b of the second manufacturing unit U 2 so that a current flows in the semiconductor manufacturing apparatus D, and the semiconductor The manufacturing apparatus D operates.

이와 같은 반도체 제조 장치(D)에서는 제 1 반도체 제조 유닛(U1)에서의 작업과 제 2 반도체 제조 유닛(U2)에서의 작업이 연계되어 있기 때문에 제 1 반도체 제조 유닛(U1)과 제 2 반도체 제조 유닛(U2) 중 하나만 작동이 정지되는 경우에는 문제가 생기게 된다. 따라서, 제 1 EMO 스위치(E1)와 제 2 EMO 스위치(E2) 중 하나만 오프되어도 구동 전압(Vcc)으로 인한 전류가 제 1 반도체 제조 유닛(U1)과 제 2 반도체 제조 유닛(U2)에 흐르지 못하게 되어 반도체 제조 장치(D) 전체의 작동이 정지될 수 있도록 제 1 EMO 스위치(E1)와, 제 1 반도체 제조 유닛(U1)과, 제 2 EMO 스위치(E2), 및 제 2 반도체 제조 유닛(U2)이 직렬로 연결되어 있다. 또한, 비상시에 작업자가 신속히 반도체 제조 장치의 작동을 정지시킬 수 있도록 EMO 스위치(E1,E2)가 각각의 반도체 제조 유닛(U1, U2)마다 설치되어 있다.Such a semiconductor manufacturing apparatus (D), the first semiconductor manufacturing units (U 1) a first semiconductor manufacturing units (U 1) Since the operation and the second operation of the semiconductor manufacturing units (U 2) is linked in with the If only one of the two semiconductor manufacturing units U 2 is stopped, a problem arises. Therefore, even when only one of the first EMO switch E 1 and the second EMO switch E 2 is turned off, the current due to the driving voltage V cc remains in the first semiconductor manufacturing unit U 1 and the second semiconductor manufacturing unit U. 2 ) the first EMO switch E 1 , the first semiconductor manufacturing unit U 1 , the second EMO switch E 2 , and the second EMO switch E 1 so that the entire semiconductor manufacturing apparatus D can be stopped. And the second semiconductor manufacturing unit U 2 are connected in series. In addition, EMO switches E 1 and E 2 are provided for each of the semiconductor manufacturing units U 1 and U 2 so that an operator can quickly stop the operation of the semiconductor manufacturing apparatus in an emergency.

한편, 본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시예들은 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명할 것이다.On the other hand, the embodiments of the present invention disclosed in the specification and drawings are merely presented specific examples to aid understanding and are not intended to limit the scope of the present invention. It will be apparent to those skilled in the art that other modifications based on the technical idea of the present invention can be carried out in addition to the embodiments disclosed herein.

이상과 같은 본 발명의 EMO 스위치에 따르면, 2개의 푸시 버튼을 모두 누른 경우에만 EMO 스위치가 오프되게 함으로써 푸시 버튼을 실수로 1회 누르는 것으로 인한 반도체 제조 장치의 작동 정지를 방지할 수 있다. According to the EMO switch of the present invention as described above, it is possible to prevent the operation stop of the semiconductor manufacturing apparatus by accidentally pressing the push button once by pressing the EMO switch off only when both push buttons are pressed.

또한, 발광 소자가 제공됨으로써, EMO 스위치의 동작 상태를 쉽게 확인할 수 있고, 반도체 제조 장치에 여러 개의 EMO 스위치가 설치되어 있는 경우 어느 EMO 스위치가 오프되어 있는 지를 쉽게 확인할 수 있다.In addition, since the light emitting device is provided, the operation state of the EMO switch can be easily confirmed, and when a plurality of EMO switches are provided in the semiconductor manufacturing apparatus, it is easy to check which EMO switch is turned off.

Claims (3)

제 1 푸시 버튼이 눌려진 상태에서 열린 상태가 되는 제 1 푸시 스위치와 제 2 푸시 버튼이 눌려진 상태에서 열린 상태가 되는 제 2 푸시 스위치가 병렬로 연결되어 있는 더블 푸시 스위치(double push switch)와;A double push switch having a first push switch in an open state when the first push button is pressed and a second push switch in an open state when the second push button is pressed in parallel; 상기 제 1 푸시 버튼이 눌려진 상태에서 점등되는 제 1 발광 소자; 및A first light emitting device that is lit when the first push button is pressed; And 상기 제 2 푸시 버튼이 눌려진 상태에서 점등되는 제 2 발광 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 EMO 스위치.And a second light emitting device that is lit when the second push button is pressed. 제 1 항에 있어서, 상기 EMO 스위치는 상기 제 1 발광 소자와 상기 제 2 발광 소자가 설치되어 있는 발광 블록을 포함하고, 상기 제 1 푸시 버튼과 상기 제 2 푸시 버튼은 상기 발광 블록의 양측에 인접하여 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 EMO 스위치.The light emitting device of claim 1, wherein the EMO switch includes a light emitting block in which the first light emitting device and the second light emitting device are installed, and the first push button and the second push button are adjacent to both sides of the light emitting block. EMO switch characterized in that the installation. 제 2 항에 있어서, 상기 발광 블록은 투명한 재질로 이루어져 있고 상기 제 1 발광 소자와 상기 제 2 발광 소자는 상기 발광 블록 내부에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 EMO 스위치.The EMO switch according to claim 2, wherein the light emitting block is made of a transparent material, and the first light emitting element and the second light emitting element are provided inside the light emitting block.
KR1020040061166A 2004-08-03 2004-08-03 Emergency off switch KR20060012465A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040061166A KR20060012465A (en) 2004-08-03 2004-08-03 Emergency off switch

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040061166A KR20060012465A (en) 2004-08-03 2004-08-03 Emergency off switch

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20060012465A true KR20060012465A (en) 2006-02-08

Family

ID=37122140

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040061166A KR20060012465A (en) 2004-08-03 2004-08-03 Emergency off switch

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20060012465A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180096411A (en) 2017-02-21 2018-08-29 에이피시스템 주식회사 Emergency Off Apparatus And Method for the same
KR102233524B1 (en) * 2020-10-02 2021-03-29 (주)엔씨테크 Dual emo switch and system comprising the same

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180096411A (en) 2017-02-21 2018-08-29 에이피시스템 주식회사 Emergency Off Apparatus And Method for the same
US10490370B2 (en) 2017-02-21 2019-11-26 Ap Systems Inc. Emergency stop apparatus and method
KR102233524B1 (en) * 2020-10-02 2021-03-29 (주)엔씨테크 Dual emo switch and system comprising the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8519855B2 (en) Electric receptacle apparatus with replaceable protection module
US20160308312A1 (en) Power Supply Connection Structure Device
KR102024295B1 (en) Light Emitting Module
WO2015145959A1 (en) Switch device
US20150236455A1 (en) Power Supply Connection Structure Device
US7045917B2 (en) Circuit arrangement for an electric appliance
CN102436218B (en) Output circuit and output device
KR20060012465A (en) Emergency off switch
CN102255612A (en) Full-electronic solid-state relay
CN102419568A (en) Input circuit and input device
TWM526647U (en) Lamp with multiple connecting points
WO2015145960A1 (en) Switch device
ATE355600T1 (en) ELECTRICAL SWITCHES
KR20150053041A (en) Standby power cut-off swich module, and electronic appliances having the same
CN100466129C (en) Switch with luminescent function
KR100830159B1 (en) Electronic switch built in manual switch
KR200403401Y1 (en) Control Switch for Plug Board
KR102117845B1 (en) Standby power cut-off switch module, and electronic appliances having the same
CN206135872U (en) Touch -sensitive formula button switch
WO2022257022A1 (en) Electrical module and associated backplane
KR200337006Y1 (en) Electrical plug displaying connection and cord-extension device having the electrical plug
KR200310900Y1 (en) Switch&#39;s connection structure for multitap
KR940003284Y1 (en) Relay
KR101888669B1 (en) Assistance switch for earth leakage breaker
US6538587B1 (en) Analog to digital converting device with multiple channels

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination