KR20060010884A - 노치 필터를 갖는 이미지센서 및 그 제조 방법 - Google Patents

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홍희정
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Abstract

본 발명은 칼라 필터의 분광영역이 오버랩되는 부분을 최소화하여 색 재현 특성을 향상시킬 수 있는 이미지센서 및 그 제조 방법을 제공하기 위한 것으로, 이를 위해 본 발명은, 기판 상에 배치된 복수의 포토다이오드; 상기 포토다이오드 상부에 배치된 적, 녹, 청 칼라 필터; 및 상기 녹색 및 적색의 칼라 필터 영역에서 청색 칼라를 차단하기 위해 상기 녹색 및 적색 칼라 필터 하부에 배치된 노치 필터를 포함하는 이미지센서를 제공한다.
또한, 본 발명은, 기판 상에 복수의 포토다이오드를 형성하는 단계; 상기 복수의 포토다이오드 상에 절연막을 형성하는 단계; 상기 절연막 상에 산화막과 질화막을 교번적으로 복수회 증착하는 단계; 청색 칼라 필터 영역에서 교번적으로 증착된 상기 산화막 및 질화막을 선택적으로 제거하여 녹색과 적색 칼라 필터 영역에서 상기 산화막 및 질화막이 교번적으로 적층되어 녹색광을 차단하기 위한 노치 필터를 형성하는 단계; 상기 노치 필터 상에 평탄화막을 형성하는 단계; 및 상기 노치 필터 상에 적, 녹, 청 칼라 필터를 형성하는 단계를 포함하는 이미지센서 제조 방법을 제공한다.
노치 필터, 포토다이오드, 마이크로렌즈, RGB, 분광특성, QWRS.

Description

노치 필터를 갖는 이미지센서 및 그 제조 방법{IMAGE SENSOR HAVING NOTCH FILTER AND METHOD FOR FABRICATION OF THE SAME}
도 1은 CMOS 이미지센서의 단위화소의 배열을 도시한 평면도.
도 2는 RGB 색상이 모두 나타나도록 도 1을 a-a' 방향으로 절취한 이미지센서의 단위화소를 나타내는 단면도.
도 3은 종래의 이미지센서의 각 색상의 파장에 따른 투과 특성 즉, 분광특성을 도시한 그래프.
도 4는 본 발명의 일실시에에 따른 이미지센서를 도시한 단면도.
도 5는 본 발명의 멀티 레이어 구조의 노치 필터를 도시한 단면도.
도 6은 노치 필터의 분광특성을 도시한 그래프이며, 도 7은 본 발명에 따른 이미지센서의 분광특성을 도시한 그래프.
도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 일실시예에 따른 노치 필터를 갖는 이미지센서 제조 공정을 도시한 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
P++ : 고농도 P형 영역 P-epi :P-에피층
SUB : 기판 FD : 플로팅 확산영역
Tx : 트랜스퍼 게이트 PD : 포토다이오드
PMD : 메탈라인 형성 전 절연막 IMD1, IMD2 : 메탈라인 간 절연막
M1, M2, M3 : 메탈라인 PL : 보호막
OCL1, OCL2, OCL3 : 평탄화막 NF : 노치필터
CFA : 칼라필터 어레이 ML : 마이크로렌즈
Fox : 필드산화막
본 발명은 이미지센서에 관한 것으로 특히, 칼라 구현 능력을 향상시킬 수 있는 이미지센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 이미지센서라 함은 광학 영상(Optical image)을 전기 신호로 변환시키는 반도체 소자이다. 이 중 전하결합소자(CCD : Charge Coupled Device)는 개개의 MOS(Metal-Oxide-Silicon) 캐패시터가 서로 매우 근접한 위치에 있으면서 전하 캐리어가 캐패시터에 저장되고 이송되는 소자이며, CMOS(Complementary MOS; 이하 CMOS) 이미지센서는 제어회로(Control circuit) 및 신호처리회로(Signal processing circuit)를 주변회로로 사용하는 CMOS 기술을 이용하여 화소수만큼 MOS트랜지스터를 만들고 이것을 이용하여 차례차례 출력(Output)을 검출하는 스위칭 방식을 채용하는 소자이다.
이러한 다양한 이미지센서를 제조함에 있어서, 이미지센서의 감광도(Photo sensitivity)를 증가시키기 위한 노력들이 진행되고 있는 바, 그 중 하나가 집광기술이다. 예컨대, CMOS 이미지센서는 빛을 감지하는 포토다이오드와 감지된 빛을 전기적 신호로 처리하여 데이터화하는 CMOS 로직회로부분으로 구성되어 있는 바, 광감도를 높이기 위해서는 전체 이미지센서 면적에서 포토다이오드의 면적이 차지하는 비율(이를 통상 Fill Factor"라 한다)을 크게 하려는 노력이 진행되고 있다.
이미지 센서는 적,녹,청(Red, Green, Blue)의 칼라 필터 어레이(Colour Filter Array; 이하 CFA라 함)를 구비함으로써 각각의 색상을 혼합하여 색상을 구현하도록 한다.
이러한 칼라 이미지센서의 분광 특성은 칼라 필터 물질의 특성에 직접적인 영향을 받으며, 이와 같은 특성은 이미지센서의 색 재현 특성, 색상 구현 능력에 반영이 된다. 현재 사용되고 있는 칼라 필터용 포토레지스트의 분광 특성은 이상적인 특성과는 거리가 있으며, RGB 각각에 대한 오버랩이 상당 수준 존재함으로써 감도(Sensitivity) 증가를 위한 필터 두께의 튜닝(Tuning)과 관련된 연구도 색 재현 특성의 열화에 따른 문제를 고려해야 한다.
도 1은 CMOS 이미지센서의 단위화소의 배열을 도시한 평면도이다.
도 1을 참조하면, 빛의 3원색인 RGB의 색상을 캡쳐하기 위한 각각의 단위화소가 격자 구조로 배치되어 있다.
도 2는 RGB 색상이 모두 나타나도록 도 1을 a-a' 방향으로 절취한 이미지센 서의 단위화소를 나타내는 단면도이다.
도 2를 참조하면, 고농도의 P형(P++) 영역과 에피층(P-epi)이 적층된 구조를 갖는 기판(SUB)에 국부적으로 필드산화막(FOX)이 형성되어 있으며, 기판(SUB) 상에는 트랜스퍼 게이트(Tx)를 포함한 복수의 게이트전극이 형성되어 있으며, 트랜스퍼 게이트(Tx)의 일측에 얼라인된 기판(SUB)의 표면 하부에 깊은 이온주입에 의한 N영 영역(DEEP N-)과 기판(SUB)의 표면과 접하는 영역에 위치한 P형 영역(P0)으로 이루어진 포토다이오드(PD)가 형성되어 있다. 트랜스퍼 게이트(Tx)의 타측에 얼라인된 기판(SUB)의 표면 하부에 이온주입에 의한 고농도 N형(N+)의 플로팅 확산영역(FD)이 형성되어 있다.
포토다이오드(PD) 및 트랜스퍼 게이트(Tx)가 형성된 전면에 메탈라인 형성 전 절연막(Pre-Metal Dielectric; 이하 PMD라 함)이 형성되어 있으며, PMD 상에 제1메탈라인(M1)이 형성되어 있다. 제1메탈라인(M1) 상에는 제1메탈라인 간 절연막(Inter-Metal Dielectric-1; 이하 IMD1이라 함)이 형성되어 있으며, IMD1 상에는 제2메탈라인(M2)이 형성되어 있다. 제2메탈라인(M2) 상에는 제2메탈라인 간 절연막(이하 IMD2 라 함)이 형성되어 있으며, IMD2 상에는 제3메탈라인(M3)이 형성되어 있다.
제1 ∼ 제3메탈라인(M1 ∼ M3)은 전원라인 또는 신호라인과 단위화소 및 로직회로의 접속시키기 위한 것으로, 포토다이오드(PD) 이외의 영역에 빛이 입사하는 것을 방지하기 위한 쉴드의 역할을 동시에 한다.
제3메탈라인(M3) 상에는 하부 구조의 보호(Passivation)를 위한 보호막 (Passivation Layer; 이하 PL이라 함)이 형성되어 있으며, PL 상에는 칼라필터 형성시 공정 마진 확보를 위한 제1평탄화막(제1오버코팅 레이어(Over Coating Layer); 이하 OCL1이라 함)이 형성되어 있고, OCL1 상에는 각 단위화소 별로 RGB 색상 구현을 위한 칼라필터 어레이(Color Filter Array; 이하 CFA라 함)가 형성되어 있다. 여기서, PL은 통상 질화막/산화막의 2중 구조를 갖는다.
통상의 빛의 3원색인 R(Red)G(Green)B(Blue)를 사용하나, 이외에도 보색인 옐로우(Y; Yellow), 마젠타(Magenta; Mg), 시안(Cyan; Cy)을 사용할 수 있다.
CFA 상에는 마이크로렌즈 형성시 공정 마진 확보를 위한 제2평탄화막(이하 OCL2라 함)이 형성되어 있으며, OCL2 상에는 마이크로렌즈(Micro-Lens; 이하 ML이라 함)가 형성되어 있다.
입사된 빛은 마이크로렌즈(ML)에 의해 포커싱되어 포토다이오드(PD)로 입사한다.
전술한 이미지센서의 칼라 특성은 R,G,B 칼라 물질막을 사용하여 구현한 것으로 R,G,B 각각의 필터 특성은 이상적인 컷오프(Cutoff) 특성과는 거리가 있고, 서로의 분광영역이 근원적으로 오버랩되는 부분이 존재하게 된다. 이는 칼라 처리 단계에서 순수 칼라 성분을 줄이는 역할을 하게 되고, 칼라 신호대잡음비에 영향을 주어 동적영역(Dynamic range)의 감소를 초래하게 된다.
도 3은 종래의 이미지센서의 각 색상의 파장에 따른 투과 특성 즉, 분광특성을 도시한 그래프이다.
도 3을 참조하면, R은 600nm(0.6㎛) 이상의 파장 영역에서 광 투과도가 높으 며, G는 050nm ∼ 600nm(0.5㎛ ∼ 0.6㎛)의 파장 영역에서 광 투과도가 높으며, B는 400nm ∼ 550nm(0.4㎛ ∼ 0.55㎛)의 파장 영역에서 광 투과도가 높음을 알 수 있다.
한편, B에 해당하는 0.45㎛ ∼ 0.55㎛의 빛이 G 칼라 영역에서도 나타나며, 많게는 약 40%의 상대적인 응답 특성을 나타내는 것을 알 수 있다.
B의 이러한 넓은 오버랩 특성으로 인해 순수 칼라 성분의 비율이 상대적으로 낮아지고, 이로 인해 색 재현 특성에 문제가 발생한다.
한편, 각 칼라 성분의 응답 특성을 증가시키기 위해 각 칼라 필터의 두께를 낮게할 경우에는 오버랩의 증가 범위를 더욱 넓히는 문제가 발생한다.
상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 제안된 본 발명은, 칼라 필터의 분광영역이 오버랩되는 부분을 최소화하여 색 재현 특성을 향상시킬 수 있는 이미지센서 및 그 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판 상에 배치된 복수의 포토다이오드; 상기 포토다이오드 상부에 배치된 적, 녹, 청 칼라 필터; 및 상기 녹색 및 적색의 칼라 필터 영역에서 청색 칼라를 차단하기 위해 상기 녹색 및 적색 칼라 필터 하부에 배치된 노치 필터를 포함하는 이미지센서를 제공한다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판 상에 복수의 포토다이오드를 형성하는 단계; 상기 복수의 포토다이오드 상에 절연막을 형성하는 단계; 상기 절연막 상에 산화막과 질화막을 교번적으로 복수회 증착하는 단계; 청색 칼라 필터 영역에서 교번적으로 증착된 상기 산화막 및 질화막을 선택적으로 제거하여 녹색과 적색 칼라 필터 영역에서 상기 산화막 및 질화막이 교번적으로 적층되어 녹색광을 차단하기 위한 노치 필터를 형성하는 단계; 상기 노치 필터 상에 평탄화막을 형성하는 단계; 및 상기 노치 필터 상에 적, 녹, 청 칼라 필터를 형성하는 단계를 포함하는 이미지센서 제조 방법을 제공한다.
본 발명은, 기본적인 칼라 필터용 포토레지스트는 정상적으로 사용하면서 색 재현 특성의 개선 즉, 칼라 오버랩 부분의 최소화를 위해 RGB의 경우 G와 R 칼라 필터 하부에 멀티 레이어 구조의 필터를 형성하여 두 칼라 영역에서의 B만을 필터링하여 제거하는 노치 필터(Notch filter)를 구현한다.
따라서, 기존의 R과 G 칼라 영역으로 분포되는 B의 응답(Response)을 자신의 영역에만 한정시켜 줌으로써 순수 신호 성분의 비율을 증가시켜 이미지 센서의 칼라 구현 능력을 향상시킬 수 있다.
이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.
도 4는 본 발명의 일실시에에 따른 이미지센서를 도시한 단면도이며, 도 5는 본 발명의 멀티 레이어 구조의 노치 필터를 도시한 단면도이며, 도 6은 노치 필터의 분광특성을 도시한 그래프이며, 도 7은 본 발명에 따른 이미지센서의 분광특성을 도시한 그래프이다.
도 4를 참조하면, 고농도의 P형(P++) 영역과 에피층(P-epi)이 적층된 구조를 갖는 기판(SUB)에 국부적으로 필드산화막(FOX)이 형성되어 있으며, 기판(SUB) 상에는 트랜스퍼 게이트(Tx)를 포함한 복수의 게이트전극이 형성되어 있으며, 트랜스퍼 게이트(Tx)의 일측에 얼라인된 기판(SUB)의 표면 하부에 깊은 이온주입에 의한 N영 영역(DEEP N-)과 기판(SUB)의 표면과 접하는 영역에 위치한 P형 영역(P0)으로 이루어진 포토다이오드(PD)가 형성되어 있다. 트랜스퍼 게이트(Tx)의 타측에 얼라인된 기판(SUB)의 표면 하부에 이온주입에 의한 고농도 N형(N+)의 플로팅 확산영역(FD)이 형성되어 있다.
포토다이오드(PD) 및 트랜스퍼 게이트(Tx)가 형성된 전면에 메탈라인 형성 전 절연막(이하 PMD라 함)이 형성되어 있으며, PMD 상에 제1메탈라인(M1)이 형성되어 있다. 제1메탈라인(M1) 상에는 제1메탈라인 간 절연막(이하 IMD1이라 함)이 형성되어 있으며, IMD1 상에는 제2메탈라인(M2)이 형성되어 있다. 제2메탈라인(M2) 상에는 제2메탈라인 간 절연막(이하 IMD2라 함)이 형성되어 있으며, IMD2 상에는 제3메탈라인(M3)이 형성되어 있다.
제1 ∼ 제3메탈라인(M1 ∼ M3)은 전원라인 또는 신호라인과 단위화소 및 로직회로의 접속시키기 위한 것으로, 포토다이오드(PD) 이외의 영역에 빛이 입사하는 것을 방지하기 위한 쉴드의 역할을 동시에 한다.
제3메탈라인(M3) 상에는 하부 구조의 보호를 위한 보호막(이하 PL이라 함)이 형성되어 있으며, PL 상에는 칼라필터 형성시 공정 마진 확보를 위한 제1평탄화막(이하 OCL1이라 함)이 형성되어 있고, OCL1 상에는 G 및 R 칼라 영역에서의 B 칼라 성분을 차단하기 이한 노치 필터(이하 NF라 함)가 형성되어 있으며, NF 상에는 제2평탄화막(이하 OCL2라 함)이 형성되어 있다.
OCL2 상에는 각 단위화소 별로 RGB 색상 구현을 위한 칼라필터 어레이(이하 CFA라 함)가 형성되어 있다. 여기서, PL은 통상 질화막/산화막의 2중 구조를 갖는다.
통상의 빛의 3원색인 R(Red)G(Green)B(Blue)를 사용하나, 이외에도 보색인 옐로우(Y; Yellow), 마젠타(Magenta; Mg), 시안(Cyan; Cy)을 사용할 수 있다.
CFA 상에는 마이크로렌즈 형성시 공정 마진 확보를 위한 제3평탄화막(이하 OCL3이라 함)이 형성되어 있으며, OCL3 상에는 마이크로렌즈(이하 ML이라 함)가 형성되어 있다. 입사된 빛은 마이크로렌즈(ML)에 의해 포커싱되어 포토다이오드(PD)로 입사한다.
NF는 특수한 파장의 빛을 차단(Cut-off)하는 특징이 있는 바, 도 5를 참조하면, NF는 질화막(a)과 산화막(b)이 교번적으로 적층된 바이 레이어 구조를 이루고 있으며, NF는 질화막(a)과 산화막(b)이 적어도 20번 정도 반복적으로 적층되도록 하는 것이 바람직하다.
이는 반사 증가 코팅(Reflectance enhancing coating)의 원리를 이용한 것으 로, 반사가 잘 일어나도록 하는 조건은 하기의 수학식1과 같다.
n_H d_H = n_L d_L = 파장/4
여기서,n은 굴절률(Refraction index)를 나타내고, d는 매질의 두께를 나타내며, H는 High, L은 Low를 나타낸다.
따라서, NF는 굴절율이 1.96 ∼ 2.01인 질화막(a)과 굴절율이 1.45 ∼ 1.488인 산화막(b)이 적층되어 도 6에 도시된 바와 같이 0.5 이하의 B 칼라를 거의 차단하는 분광 특성을 갖는 0.43㎛ 기준파장의 QWRS(Quarter Wavelength Reflector Stack)이다. 각 질화막(a)은 300Å ∼ 700Å, 산화막(b)은 700Å ∼ 800Å의 두께를 갖도록 하는 것이 바람직하다.
도 7을 참조하면, 전술한 본 발명의 일실시예에서 사용한 노치 필터에 의해 G 및 R 칼라 영역에서 B 칼라 성분이 거의 제거되고 G와 R 칼라에 대한 영향은 거의 없으므로, 분광특성이 개선되어 B와 G의 분광영역이 오버랩되는 부분을 최소화할 수 있음을 알 수 있다.
한편, 전술한 본 발명의 일실시예에서는 마이크로렌즈가 볼록 형상인 것을 그 일예로 하였으나, 오목 형상인 경우에도 적용이 가능하다.
도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 일실시예에 따른 노치 필터를 갖는 이미지센서 제조 공정을 도시한 단면도이다.
도 8a를 참조하면, 각 RGB 칼라 필터 형성 영역(rgb)으로 구획된 기판(80)에 포토다이오드(도시하지 않음)와 트랜지스터 등을 형성한 다음, 절연막(81)을 형성한다.
여기서, 절연막(81)은 PMD, M1, M2, M2, IMD1, IMD2, PL 등을 모두 포함하고 구조이다.
이어서, 절연막(81) 상에 산화막(82a)과 질화막(82b)을 교번적으로 복수회 증착하여 산화막(82a)과 질화막(82b)의 바이레이어(적층) 구조를 형성한다.
이 때, 산화막(82a)과 질화막(82b)을 20회 이상 반복하여 적층하며, 질화막(82b)은 300Å ∼ 7000Å, 산화막(82a)은 700Å ∼ 800Å의 두께가 되도록 한다. 따라서, 굴절율이 1.96 ∼ 2.01인 질화막(82b)과 굴절율이 1.45 ∼ 1.488인 산화막(82a)이 적층되어 0.5㎛ 이하의 B 칼라 거의 차단하는 분광 특성을 갖는 0.43㎛ 기준파장의 QWRS을 이루는 노치 필터를 형성할 수 있다.
이어서, B 칼라 영역(b)에서 교번적으로 적층된 산화막(82a) 및 질화막(82b)을 제거하기 위한 포토레지스트 패턴(도시하지 않음)을 형성한다. 포토레지스트 패턴은 교번적으로 적층된 산화막(82a) 및 질화막(82b)을 패터닝할 수 있을 정도인 2㎛ ∼ 3㎛) 정도의 두께로 형성한다. 이 때, 하부의 어택을 방지하기 위해 최하부의 산화막(82a) 하부에 식각정지막을 추가로 사용할 수 있다.
포토레지스트 패턴을 식각마스크로 B 칼라 영역(b)에서 교번적으로 적층된 산화막(82a) 및 질화막(82b)을 식각하여 제거함으로써, G 및 R 칼라 영역(g, r)에서 산화막(82a) 및 질화막(82b)의 적층 구조를 갖는 노치 필터(82)를 형성한다.
이어서, 포토레지스트 패턴을 제거한 다음, 평탄화층 예컨대, OCL을 형성한 다음, 그 상부에 통상적인 공정을 통해 GBR 칼라 필터를 형성한다.
이어서, 칼라필터 사에 마이크로렌즈를 형성함으로써, 이미지센서 형성 공정이 완료된다.
전술한 본 발명은, 기본적인 칼라 필터용 포토레지스트는 정상적으로 사용하면서 색 재현 특성의 개선 즉, 칼라 오버랩 부분의 최소화를 위해 RGB 칼라에서 G와 R의 칼라 필터 하부에 멀티 레이어 구조의 노치 필터를 형성하여 두 칼라 영역에서의 B 칼라 만을 필터링하여 제거하는 노치 필터를 형성하여 기존의 G칼라 영역까지 분포되는 B의 응답을 자신의 영역에만 한정시켜 줌으로써, 순수 신호 성분의 비율을 증가시켜 이미지 센서의 칼라 구현 능력을 향상시킬 수 있음을 실시예를 통해 알아 보았다.
본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
상술한 본 발명은, 이미지센서의 칼라 구현 능력을 향상시킬 수 있어, 궁극적으로 이미지센서의 성능을 크게 향상시킬 수 있는 탁월한 효과를 기대할 수 있 다.

Claims (11)

  1. 기판 상에 배치된 복수의 포토다이오드;
    상기 포토다이오드 상부에 배치된 적, 녹, 청 칼라 필터; 및
    상기 녹색 및 적색의 칼라 필터 영역에서 청색 칼라를 차단하기 위해 상기 녹색 및 적색 칼라 필터 하부에 배치된 노치 필터
    를 포함하는 이미지센서.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 노치 필터는 질화막과 산화막이 교번적으로 적층된 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지센서.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 노치 필터는 질화막과 산화막이 교번하여 적어도 20번 적층된 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지센서.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 질화막의 굴절율은 1.96 내지 2.01 이며, 상기 산화막의 굴절율은 1.45 내지 1.488인 것을 특징으로 하는 이미지센서.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 질화막은 300Å 내지 700Å의 두께이며, 상기 산화막은 700Å 내지 800Å인 것을 특징으로 하는 이미지센서.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 칼라필터 상에 배치된 복수의 마이크로렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지센서.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 마이크로렌즈는 볼록 또는 오목 형상인 것을 특징으로 하는 이미지센서.
  8. 기판 상에 복수의 포토다이오드를 형성하는 단계;
    상기 복수의 포토다이오드 상에 절연막을 형성하는 단계;
    상기 절연막 상에 산화막과 질화막을 교번적으로 복수회 증착하는 단계;
    청색 칼라 필터 영역에서 교번적으로 증착된 상기 산화막 및 질화막을 선택적으로 제거하여 녹색과 적색 칼라 필터 영역에서 상기 산화막 및 질화막이 교번적으로 적층되어 녹색광을 차단하기 위한 노치 필터를 형성하는 단계;
    상기 노치 필터 상에 평탄화막을 형성하는 단계; 및
    상기 노치 필터 상에 적, 녹, 청 칼라 필터를 형성하는 단계
    를 포함하는 이미지센서 제조 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 노치 필터는 질화막과 산화막이 교번하여 적어도 20번 적층된 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지센서 제조 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 질화막은 300Å 내지 700Å의 두께이며, 상기 산화막은 700Å 내지 800Å인 것을 특징으로 하는 이미지센서 제조 방법.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 각 칼라 필터를 형성하는 단계 후, 상기 칼라 필터 상에 복수의 마이크로렌즈를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지센서 제조 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100790981B1 (ko) * 2006-02-13 2008-01-02 삼성전자주식회사 칼라필터, 칼라필터 어레이 및 그의 제조방법과 이미지센서

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