KR20060009468A - Lift device of semiconductor production device - Google Patents

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KR20060009468A
KR20060009468A KR1020040057467A KR20040057467A KR20060009468A KR 20060009468 A KR20060009468 A KR 20060009468A KR 1020040057467 A KR1020040057467 A KR 1020040057467A KR 20040057467 A KR20040057467 A KR 20040057467A KR 20060009468 A KR20060009468 A KR 20060009468A
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신금현
위성혁
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은 반도체 제조설비에서 웨이퍼를 업/다운 시키기 위한 리프트장치에 관한 것이다.The present invention relates to a lift apparatus for up / down a wafer in a semiconductor manufacturing facility.

반도체 제조설비에서 각종오염에 관계없이 과부하가 걸리지 않고 공정관리 를 년 1회 실시하여 생산성을 향상시킬 수 있는 본 발명의 반도체 제조설비의 리프트장치는, 리프트 업/다운 명령을 발생하는 콘트롤러와, 상기 콘트롤러로부터 업/다운 명령을 받아 미리 설정된 프로그램에 의해 실린더를 구동하는 리프트 콘트롤러와, 상기 리프트 콘트롤러의 구동에 따라 웨이퍼를 업/다운 시키는 실린더와, 상기 실린더의 지정된 위치 설치되어 상기 실린더의 위치이동상태를 검출하는 포지션센서를 포함하는 것을 특징으로 한다.The lift apparatus of the semiconductor manufacturing equipment of the present invention, which can improve productivity by performing process management once a year without overloading regardless of various pollutions in the semiconductor manufacturing equipment, includes a controller for generating a lift up / down command, and A lift controller for driving a cylinder by a preset program upon receiving an up / down command from a controller, a cylinder for up / down a wafer according to the driving of the lift controller, and a designated position of the cylinder to move the position of the cylinder. Characterized in that it comprises a position sensor for detecting.

반도체 제조설비에서 공정 진행 중에 웨이퍼를 이송하기 위해 리프트를 승하강 시킬 때 리프트를 모터타입에서 실린더 타입으로 변경하여 샤프트 유격이 없어 진공누설이 발생하지 않으며, 장시간 사용하더라도 리프트의 속도가 일정하게 유지할 수 있고 또한 고장율이 낮아져 생산성을 높일 수 있다.When lifting and lowering the lift to transfer the wafer during the process in the semiconductor manufacturing equipment, the lift is changed from the motor type to the cylinder type so that there is no shaft clearance and vacuum leakage does not occur. In addition, the failure rate can be lowered to increase productivity.

리프트, 웨이퍼 핸들러, 리프트 어셈블리, 웨이퍼 이송, 실린더 Lifts, Wafer Handlers, Lift Assemblies, Wafer Transport, Cylinders

Description

반도체 제조설비의 리프트장치{LIFT DEVICE OF SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE} LIFT DEVICE OF SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE}             

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 제조설비의 리프트장치의 블럭구성도1 is a block diagram of a lift apparatus of a semiconductor manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1 중 실린더 구동부(24)의 상세 구조도2 is a detailed structural diagram of the cylinder driving unit 24 in FIG.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *        Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10: 콘트롤러 20: 리프트 콘트롤러10: controller 20: lift controller

22: PLC콘트롤러 24: 실린더 구동부22: PLC controller 24: cylinder drive unit

30: 실린더 40, 42, 44: 제1 내지 제3 포지션센서
30: cylinder 40, 42, 44: first to third position sensor

본 발명은 반도체 제조설비의 리프트장치에 관한 것으로, 특히 반도체 제조설비에서 웨이퍼를 업/다운 시키기 위한 리프트장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lift apparatus for a semiconductor manufacturing facility, and more particularly to a lift apparatus for up / down a wafer in a semiconductor manufacturing facility.

일반적으로 반도체 생산 공장에서는, 연관된 생산 라인간 또는 공정간에 작 업 웨이퍼를 이송시키기 위하여 웨이퍼 반송 시스템을 이용하고 있다. In general, semiconductor production plants use wafer transfer systems to transfer working wafers between associated production lines or processes.

이러한 웨이퍼 반송 시스템은 생산 라인간 또는 공정간에 설치되어 있는 레일을 따라 이송하는 반송대차와, 상기 반송대차를 타고 이송되는 스토리지 박스(내부에 웨이퍼 카세트가 수납되어 있음)을 픽-업하여 저장하고 그 저장 공간의 스토리지 박스를 반송대차에 탑재시키는 피벗 아암장치와, 상기 피벗 아암장치를 Y측으로 승강시키기 위한 피벗 아암 리프트장치 및 X축 이동을 위한 피벗 아암 트랜스장치의 구성을 기본적으로 갖는다. The wafer transfer system picks up and stores a transfer truck for transporting along rails installed between production lines or processes, and a storage box (a wafer cassette is stored therein) transported on the transport truck. A pivot arm device for mounting a storage box of a storage space on a transport cart, a pivot arm lift device for raising and lowering the pivot arm device to the Y side, and a pivot arm transformer for X-axis movement are basically provided.

상기 피벗 아암 리프트장치는 피벗 아암장치를 수직으로 들어 올리거나 내림으로써 피벗 아암장치의 위치를 결정하여 주는 것으로, 피벗 아암 트랜스장치를 따라 직선 이동 가능하게 세워 설치되는 본체 프레임과, 피벗 아암장치를 고정하여 상기 본체 프레임에 상하 이동 가능하게 설치되는 수직이송 부재와, 상기 수직 이송 부재의 구동원인 모터와, 상기 모터의 동력을 감속하여 전달하는 감속수단 및 감속된 동력을 수직 이송 부재에 전달하는 동력 전달 수단으로 구성된다. The pivot arm lift device determines the position of the pivot arm device by vertically lifting or lowering the pivot arm device. The main body frame is installed to be linearly movable along the pivot arm transformer, and the pivot arm device is fixed. A vertical transfer member installed on the main frame so as to be movable up and down, a motor which is a driving source of the vertical transfer member, a deceleration means for reducing and transmitting the power of the motor, and a power transmission for transmitting the reduced power to the vertical transfer member. Means.

이와 같이 구성된 피벗 아암 리프트장치는 웨이퍼 반송 시스템의 제어부에 전기적으로 연결되어 오퍼레이터가 입력하는 데이터에 따라 모터가 구동하여 수직 이송 부재를 소정 위치로 이동시키는 것으로 피벗 아암장치의 Y축 위치를 결정한다. 이때 피벗 아암장치의 X축 위치는 입력 데이터에 따라 피벗 아암 트랜스장치가 구동하는 것에 의하여 본체 프레임이 이동하여 결정된다. 이와 같이 피벗 아암장치의 위치가 결정되면 피벗 아암장치의 자체 회전구성에 의해 회전 운동을 하면서 반송대차의 스토리지 박스를 픽-업하여 저장하거나 저장 공간의 스토리지 박스를 반 송대차에 탑재시키는 것이다. 이러한 피벗 아암리프트장치가 대한민국 실용신안등록번호 0119137호에 개시되어 있다. 상기 대한민국 실용신안등록번호 0119137호에 개시된 종래 웨이퍼 반송 시스템의 피벗 아암 리프트장치에 있어서는 피벗 아암이 회전하면서 발생하는 모멘트와 피벗 아암에 부착된 스텝핑 모터에 의한 진동이 발생하는 문제가 있었고, 모터의 스피드 감속 및 토크 증가에 한계가 따르는 문제가 있었으며, 각종 오염으로 인해 모터에 과부하가 걸리게 되어 수명이 짧아지고, 또한 정기적으로 분해하여 오염된 부분을 크리닝하여야 하므로 생산성이 감소되는 문제가 있었다. The pivot arm lift apparatus configured as described above is electrically connected to the control unit of the wafer transfer system to determine the Y-axis position of the pivot arm apparatus by driving the motor to move the vertical transfer member to a predetermined position according to data input by the operator. At this time, the X-axis position of the pivot arm device is determined by moving the main frame by driving the pivot arm transformer according to the input data. As such, when the position of the pivot arm device is determined, the storage box of the transport cart is picked up and stored or the storage box of the storage space is mounted on the transport cart while rotating by the pivot arm device. Such a pivot arm lift apparatus is disclosed in Korean Utility Model Registration No. 0119137. In the pivot arm lift apparatus of the conventional wafer conveying system disclosed in the Republic of Korea Utility Model Registration No. 0119137, there is a problem that the moment generated while the pivot arm rotates and the vibration caused by the stepping motor attached to the pivot arm is generated. There was a problem that there is a limit in deceleration and torque increase, and the motor is overloaded due to various pollutions, shortening the lifespan, and also needs to be periodically disassembled to clean the contaminated parts, thereby reducing productivity.

즉 이러한 피벗 아암 리프트장치는 월 1회 정기적으로 조립분해하여 오염된 부분을 크리닝하게 되어 월 1회 전체 공정관리(Process Manigement) 480분 중에 380분이 리프트 공정관리에 소요되어 생산성이 떨어진다.
In other words, the pivot arm lift device is periodically assembled and disassembled once a month to clean the contaminated parts, and 380 minutes of the 480 minutes per month of total process management are required for the lift process management, thereby reducing productivity.

따라서 본 발명의 목적은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 반도체 제조설비에서 각종오염에 관계없이 과부하가 걸리지 않고 공정관리 횟수를 년 1회 실시하여 생산성을 향상시킬 수 있는 반도체 제조설비의 리프트장치를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a lift apparatus of a semiconductor manufacturing equipment that can improve productivity by performing a process management frequency once a year without overloading regardless of various pollutions in a semiconductor manufacturing equipment to solve the above problems. Is in.

본 발명의 다른 목적은 반도체 제조설비에서 에어실린더 타입으로 변경하여 분해조립에 의한 유지보수 관리시간을 감소시킬 수 있는 반도체 제조설비의 리프트장치를 제공함에 있다.
Another object of the present invention is to provide a lift apparatus of a semiconductor manufacturing equipment which can reduce maintenance management time by disassembly and assembly by changing from a semiconductor manufacturing equipment to an air cylinder type.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 제조설비의 리프트장치는, 리프트 업/다운 명령을 발생하는 콘트롤러와, 상기 콘트롤러로부터 업/다운 명령을 받아 미리 설정된 프로그램에 의해 실린더를 구동하는 리프트 콘트롤러와, 상기 리프트 콘트롤러의 구동에 따라 웨이퍼를 업/다운 시키는 실린더와, 상기 실린더의 지정된 위치 설치되어 상기 실린더의 위치이동상태를 검출하는 포지션센서를 포함하는 것을 특징으로 한다.A lift apparatus of a semiconductor manufacturing apparatus of the present invention for achieving the above object includes a controller for generating a lift up / down command, a lift controller for receiving a up / down command from the controller and driving a cylinder by a preset program; It characterized in that it comprises a cylinder for up / down the wafer in accordance with the drive of the lift controller, and a position sensor is installed in the designated position of the cylinder to detect the position movement state of the cylinder.

상기 실린더 구동부는, 에어를 공급받아 일정한 압력으로 조절하여 에어를 공급하는 정압 레귤레이터와, 상기 정압 레귤레이터로부터 압력이 조절되어 공급되는 에어를 받아 상기 PLC콘트롤러로부터 출력되는 솔레노이드 밸브 구동제어신호에 의해 에어를 공급하거나 차단하는 제1 솔레노이드 밸브와, 상기 제1 솔레노이드 밸브로부터 공급되는 에어를 공급받아 PLC콘트롤러로부터 출력된 솔레노이드 밸브 구동제어신호에 의해 실린더를 하강동작 하도록 하는 제2 솔레노이드 밸브와, 상기 제1 솔레노이드 밸브로부터 공급되는 에어를 공급받아 PLC콘트롤러로부터 출력된 솔레노이드 밸브 구동제어신호에 의해 실린더를 승강동작 하도록 하는 제3 솔레노이드 밸브와, 상기 제1 솔레노이드 밸브와 상기 제2 솔레노이드 밸브 사이에 연결되어 상기 제1 솔레노이드 밸브로부터 공급된 에어의 압력이나 상기 제2 솔레노이드 밸브로부터 배기되는 에어의 압력을 조절하는 제1 압력조절밸브와, 상기 제1 솔레노이드 밸브와 제3 솔레노이드 밸브 사이에 연결되어 상기 제1 솔레노이드 밸브로부터 공급된 에어의 압력이나 상기 제3 솔레노이드 밸브로부터 배기되는 에어의 압력을 조절하는 제2 압력조절밸브를 포함함을 특징으로 한다.The cylinder drive unit is supplied with air by a constant pressure regulator for supplying air by adjusting to a constant pressure, and receiving air supplied by adjusting the pressure from the constant pressure regulator to supply air by a solenoid valve driving control signal output from the PLC controller. A first solenoid valve for supplying or shutting off, a second solenoid valve for receiving the air supplied from the first solenoid valve and lowering the cylinder by a solenoid valve driving control signal output from a PLC controller, and the first solenoid A third solenoid valve configured to receive the air supplied from the valve to move the cylinder up and down by a solenoid valve driving control signal output from the PLC controller, and connected between the first solenoid valve and the second solenoid valve; Sole A first pressure regulating valve for regulating the pressure of air supplied from the id valve or the pressure of the air exhausted from the second solenoid valve, and connected between the first solenoid valve and the third solenoid valve, And a second pressure regulating valve for adjusting the pressure of the supplied air or the pressure of the air exhausted from the third solenoid valve.

상기 포지션센서는 상기 실린더의 상, 중, 하단부에 각각 설치되는 것이 바람직하다.The position sensor is preferably installed at the upper, middle and lower ends of the cylinder, respectively.

이하 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 제조설비의 리프트장치의 블럭구성도이다.1 is a block diagram of a lift apparatus of a semiconductor manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.

리프트 업/다운 명령을 발생하는 콘트롤러(10)와, 상기 콘트롤러(10)로부터 업/다운 명령을 받아 미리 설정된 프로그램에 의해 실린더(30)를 구동하는 리프트 콘트롤러(20)와, 상기 리프트 콘트롤러(20)의 구동에 따라 물체를 업/다운 시키는 실린더(30)와, 상기 실린더(30)의 상,중,하단부에 각각 설치되어 상기 실린더(30)의 위치이동상태를 검출하는 제1 내지 제3 포지션센서(40, 42, 44)로 구성되어 있다.A controller 10 for generating a lift up / down command, a lift controller 20 for receiving a up / down command from the controller 10 to drive a cylinder 30 by a preset program, and the lift controller 20 The first and third positions for detecting a position movement state of the cylinder 30 which is installed at the upper and lower ends of the cylinder 30 and the upper and lower ends of the cylinder 30 respectively. It consists of the sensors 40, 42, 44.

상기 리프트 콘트롤러(20)는 상기 콘트롤러(10)로부터 업/다운 명령을 받아 솔레노이드밸브 구동신호를 발생하는 PLC콘트롤러(22)와, 상기 PLC콘트롤러(22)로부터 솔레노이드밸브 구동신호를 받아 에어에 의해 실린더(30)를 구동하는 실린더 구동부(24)로 구성되어 있다.The lift controller 20 receives a up / down command from the controller 10 to generate a solenoid valve driving signal, and receives a solenoid valve driving signal from the PLC controller 22 to generate a cylinder by air. It consists of the cylinder drive part 24 which drives 30. As shown in FIG.

도 2는 도 1 중 실린더 구동부(24)의 상세 구조도이다. FIG. 2 is a detailed structural diagram of the cylinder drive unit 24 in FIG. 1.                     

에어를 공급받아 일정한 압력으로 조절하여 에어를 공급하는 정압 레귤레이터(50)와, 상기 정압 레귤레이터(50)로부터 압력이 조절되어 공급되는 에어를 받아 상기 PLC콘트롤러(22)로부터 출력되는 솔레노이드 밸브 구동제어신호에 의해 에어를 공급하거나 차단하는 제1 솔레노이드 밸브(52)와, 상기 제1 솔레노이드 밸브(52)로부터 공급되는 에어를 공급받아 PLC콘트롤러(22)로부터 출력된 솔레노이드 밸브 구동제어신호에 의해 실린더(30)를 하강동작 하도록 하는 제2 솔레노이드 밸브(56)와, 상기 제1 솔레노이드 밸브(52)로부터 공급되는 에어를 공급받아 PLC콘트롤러(22)로부터 출력된 솔레노이드 밸브 구동제어신호에 의해 실린더(30)를 승강동작 하도록 하는 제3 솔레노이드 밸브(60)와, 상기 제1 솔레노이드 밸브(52)와 제2 솔레노이드 밸브(56) 사이에 연결되어 상기 제1 솔레노이드 밸브(52)로부터 공급된 에어의 압력이나 상기 제2 솔레노이드 밸브(56)로부터 배기되는 에어의 압력을 조절하는 제1 압력조절밸브(54)와, 상기 제1 솔레노이드 밸브(52)와 제3 솔레노이드 밸브(60) 사이에 연결되어 상기 제1 솔레노이드 밸브(52)로부터 공급된 에어의 압력이나 상기 제3 솔레노이드 밸브(60)로부터 배기되는 에어의 압력을 조절하는 제2 압력조절밸브(58)로 구성되어있다.The solenoid valve driving control signal output from the PLC controller 22 receives the air supplied by adjusting the pressure from the constant pressure regulator 50 and the air supplied by adjusting the pressure from the constant pressure regulator 50 by supplying the air to adjust to a constant pressure The cylinder 30 by the solenoid valve driving control signal output from the PLC controller 22 by receiving the first solenoid valve 52 for supplying or blocking air by the air and the air supplied from the first solenoid valve 52. The cylinder 30 by the solenoid valve driving control signal output from the PLC controller 22 by receiving the second solenoid valve 56 and the air supplied from the first solenoid valve 52. It is connected between the third solenoid valve 60 and the first solenoid valve 52 and the second solenoid valve 56 to move up and down A first pressure regulating valve 54 for adjusting the pressure of the air supplied from the first solenoid valve 52 or the pressure of the air exhausted from the second solenoid valve 56, and the first solenoid valve 52. And a second pressure regulating valve connected between the third solenoid valve 60 and controlling the pressure of the air supplied from the first solenoid valve 52 or the air exhausted from the third solenoid valve 60. 58).

상술한 도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예의 동작을 상세히 한다.1 and 2 will be described in detail the operation of the preferred embodiment of the present invention.

반도체 제조공정 시 웨이퍼를 이송하기 위해 콘트롤러(50)는 업(UP) 명령을 발생하여 PLC콘트롤러(22)로 인가한다. PLC콘트롤러(22)는 프로그램 로직에 의해 제1 및 제3 솔레노이드밸브 구동 제어신호를 발생하여 제1 솔레노이드밸브(52) 및 제3 솔레노이드 밸브(60)로 인가한다. 그리고 정압 레귤레이터(50)는 도시하지 않은 에어공급부로부터 100psi의 압력을 갖는 에어를 공급받아 설정된 압력 예를들어 60psi의 압력으로 조절된 에어를 제1 솔레노이드밸브(52)로 공급한다. 이때 제1 솔레노이드밸브(52)는 개방되어 상기 정압레귤레이터(50)로부터 압력이 조절되어 공급되는 에어를 제2 압력조절밸브(58)로 인가한다. 상기 제2 압력조절밸브(58)는 공급에어 압력이나 배기에어의 압력을 조절한다. 상기 제1 솔레노이드 밸브(52)를 통해 공급되는 에어는 제2 압력조절밸브(58)를 통해 제3 솔레노이드 밸브(60)로 인가된다. 그러면 제3 솔레노이드 밸브(60)는 상기 PLC콘트롤러(22)로부터 출력된 제3 솔레노이드 밸브 구동제어신호에 의해 개방되어 실린더(30)를 상승시킨다. 이때 제1 및 제2 포지션센서(40, 42)는 실린더(30)가 상승되는 상태를 검출하여 PLC콘트롤러(22)로 제공한다. PLC콘트롤러(22)는 제2 포지션센서(42)로부터 실린더(30)의 상승상태가 검출된 후 설정된 시간이 경과되면 제1 및 제3 솔레노이드밸브(52, 60)가 일부 닫히도록 하여 상승속도를 감소시킨 후 제1 포지션센서(40)에 의해 실린더(30)의 상승상태가 검출되면 제1 및 제3 솔레노이드밸브(52, 60)가 완전히 닫히도록 하여 실린더(30)의 상승동작을 정지시킨다. In order to transfer the wafer in the semiconductor manufacturing process, the controller 50 generates an UP command and applies it to the PLC controller 22. The PLC controller 22 generates the first and third solenoid valve driving control signals by the program logic and applies them to the first solenoid valve 52 and the third solenoid valve 60. In addition, the constant pressure regulator 50 receives air having a pressure of 100 psi from an air supply unit (not shown) and supplies the air adjusted to a predetermined pressure, for example, a pressure of 60 psi, to the first solenoid valve 52. At this time, the first solenoid valve 52 is opened to apply air supplied by adjusting the pressure from the positive pressure regulator 50 to the second pressure regulating valve 58. The second pressure regulating valve 58 adjusts the supply air pressure or the exhaust air pressure. Air supplied through the first solenoid valve 52 is applied to the third solenoid valve 60 through the second pressure control valve 58. Then, the third solenoid valve 60 is opened by the third solenoid valve driving control signal output from the PLC controller 22 to raise the cylinder 30. In this case, the first and second position sensors 40 and 42 detect the state in which the cylinder 30 is raised and provide the same to the PLC controller 22. The PLC controller 22 causes the first and third solenoid valves 52 and 60 to partially close when the set time elapses after the rising state of the cylinder 30 is detected from the second position sensor 42. After the reduction, if the rising state of the cylinder 30 is detected by the first position sensor 40, the first and third solenoid valves 52 and 60 are completely closed to stop the raising operation of the cylinder 30.

또한 반도체 제조공정 시 웨이퍼를 이송하기 위해 콘트롤러(50)는 다운(DOWN) 명령을 발생하여 PLC콘트롤러(22)로 인가한다. PLC콘트롤러(22)는 프로그램 로직에 의해 제1 및 제2 솔레노이드밸브 구동 제어신호를 발생하여 제1 솔레노이드밸브(52) 및 제2 솔레노이드 밸브(56)로 인가한다. 그리고 정압 레귤레이터(50)는 도시하지 않은 에어공급부로부터 100psi의 압력을 갖는 에어를 공급받아 설정된 압 력 예를들어 60psi의 압력으로 조절된 에어를 제1 솔레노이드밸브(52)로 공급한다. 이때 제1 솔레노이드밸브(52)는 개방되어 상기 정압레귤레이터(50)로부터 압력이 조절되어 공급되는 에어를 제1 압력조절밸브(54)로 인가한다. 상기 제1 압력조절밸브(54)는 공급에어 압력이나 배기에어의 압력을 조절한다. 상기 제1 솔레노이드 밸브(52)를 통해 공급되는 에어는 제1 압력조절밸브(54)를 통해 제2 솔레노이드 밸브(56)로 인가된다. 그러면 제2 솔레노이드 밸브(56)는 상기 PLC콘트롤러(22)로부터 출력된 제2 솔레노이드 밸브 구동제어신호에 의해 개방되어 실린더(30)를 하승시킨다. 이때 제2 및 제3 포지션센서(42, 44)는 실린더(30)가 하강되는 상태를 검출하여 PLC콘트롤러(22)로 제공한다. PLC콘트롤러(22)는 제2 포지션센서(42)로부터 실린더(30)의 하강상태가 검출된 후 설정된 시간이 경과되면 제1 및 제2 솔레노이드밸브(52, 56)가 일부 닫히도록 하여 하강속도를 감소시킨 후 제3 포지션센서(44)에 의해 실린더(30)의 하강상태가 검출되면 제1 및 제2 솔레노이드밸브(52, 56)가 완전히 닫히도록 하여 실린더(30)의 하강동작을 정지시킨다.
In addition, in order to transfer the wafer during the semiconductor manufacturing process, the controller 50 generates a DOWN command and applies it to the PLC controller 22. The PLC controller 22 generates the first and second solenoid valve driving control signals by the program logic and applies them to the first solenoid valve 52 and the second solenoid valve 56. In addition, the constant pressure regulator 50 receives air having a pressure of 100 psi from an air supply unit (not shown), and supplies the air adjusted to a predetermined pressure, for example, a pressure of 60 psi to the first solenoid valve 52. At this time, the first solenoid valve 52 is opened to apply air supplied by adjusting the pressure from the positive pressure regulator 50 to the first pressure regulating valve 54. The first pressure control valve 54 controls the pressure of the supply air or the exhaust air. Air supplied through the first solenoid valve 52 is applied to the second solenoid valve 56 through the first pressure control valve 54. Then, the second solenoid valve 56 is opened by the second solenoid valve driving control signal output from the PLC controller 22 to lower the cylinder 30. At this time, the second and third position sensors 42 and 44 detect the state in which the cylinder 30 is lowered and provide it to the PLC controller 22. The PLC controller 22 causes the first and second solenoid valves 52 and 56 to partially close when the set time elapses after the falling state of the cylinder 30 is detected from the second position sensor 42. After the reduction, when the lowered state of the cylinder 30 is detected by the third position sensor 44, the first and second solenoid valves 52 and 56 are completely closed to stop the lowering operation of the cylinder 30.

상술한 바와 같이 본 발명은 반도체 제조설비에서 공정 진행 중에 웨이퍼를 이송하기 위해 리프트를 승하강 시킬 때 리프트를 모터타입에서 실린더 타입으로 변경하여 샤프트 유격이 없어 진공누설이 발생하지 않으며, 장시간 사용하더라도 리프트의 속도가 일정하게 유지할 수 있고 또한 고장율이 낮아져 생산성을 높일 수 있는 이점이 있다. As described above, the present invention changes the lift from the motor type to the cylinder type when the lift is moved up and down to transfer the wafer during the process in the semiconductor manufacturing equipment, so that there is no shaft clearance and vacuum leakage does not occur. Speed can be kept constant and the failure rate is lowered to increase productivity.                     

또한 본 발명에서는 실린더 타입의 리프트를 적용하여 모터타입과 같이 각 부분의 오염으로 인해 자주 분해조립하여 오염된 부분을 크리닝하지 않아도 일정한 속도가 유지되어 공정관리 유지보수 비용 및 시간을 절약할 수 있는 효과가 있다.In addition, in the present invention, by applying a cylinder-type lift, it is often disassembled and assembled due to contamination of each part, such as a motor type, so that a constant speed is maintained without cleaning the contaminated parts, thereby saving process management maintenance costs and time. There is.

Claims (3)

반도체 제조설비의 리프트장치에 있어서,In the lift apparatus of the semiconductor manufacturing equipment, 리프트 업/다운 명령을 발생하는 콘트롤러와, A controller that issues lift up / down commands, 상기 콘트롤러로부터 업/다운 명령을 받아 미리 설정된 프로그램에 의해 실린더를 구동하는 리프트 콘트롤러와, A lift controller which receives a up / down command from the controller and drives a cylinder by a preset program; 상기 리프트 콘트롤러의 구동에 따라 웨이퍼를 업/다운 시키는 실린더와,Cylinder for up / down the wafer in accordance with the drive of the lift controller, 상기 실린더의 지정된 위치 설치되어 상기 실린더의 위치이동상태를 검출하는 포지션센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 리프트장치.And a position sensor installed at a designated position of the cylinder to detect a position movement state of the cylinder. 제1항에 있어서, 상기 실린더 구동부는, The method of claim 1, wherein the cylinder drive unit, 에어를 공급받아 일정한 압력으로 조절하여 에어를 공급하는 정압 레귤레이터와, A constant pressure regulator that supplies air by adjusting the air to a constant pressure, 상기 정압 레귤레이터로부터 압력이 조절되어 공급되는 에어를 받아 상기 PLC콘트롤러로부터 출력되는 솔레노이드 밸브 구동제어신호에 의해 에어를 공급하거나 차단하는 제1 솔레노이드 밸브와, A first solenoid valve receiving air supplied by adjusting pressure from the constant pressure regulator and supplying or blocking air by a solenoid valve driving control signal output from the PLC controller; 상기 제1 솔레노이드 밸브로부터 공급되는 에어를 공급받아 PLC콘트롤러로부터 출력된 솔레노이드 밸브 구동제어신호에 의해 실린더를 하강동작 하도록 하는 제2 솔레노이드 밸브와, A second solenoid valve which receives the air supplied from the first solenoid valve and moves the cylinder down by a solenoid valve driving control signal output from a PLC controller; 상기 제1 솔레노이드 밸브로부터 공급되는 에어를 공급받아 PLC콘트롤러로부터 출력된 솔레노이드 밸브 구동제어신호에 의해 실린더를 승강동작 하도록 하는 제3 솔레노이드 밸브와, A third solenoid valve configured to receive the air supplied from the first solenoid valve and move the cylinder up and down by a solenoid valve driving control signal output from a PLC controller; 상기 제1 솔레노이드 밸브와 상기 제2 솔레노이드 밸브 사이에 연결되어 상기 제1 솔레노이드 밸브로부터 공급된 에어의 압력이나 상기 제2 솔레노이드 밸브로부터 배기되는 에어의 압력을 조절하는 제1 압력조절밸브와, A first pressure regulating valve connected between the first solenoid valve and the second solenoid valve to adjust the pressure of air supplied from the first solenoid valve or the pressure of air exhausted from the second solenoid valve; 상기 제1 솔레노이드 밸브와 제3 솔레노이드 밸브 사이에 연결되어 상기 제1 솔레노이드 밸브로부터 공급된 에어의 압력이나 상기 제3 솔레노이드 밸브로부터 배기되는 에어의 압력을 조절하는 제2 압력조절밸브를 포함함을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 리프트장치.And a second pressure regulating valve connected between the first solenoid valve and the third solenoid valve to adjust the pressure of air supplied from the first solenoid valve or the pressure of air exhausted from the third solenoid valve. Lift device for semiconductor manufacturing equipment. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 포지션센서는 상기 실린더의 상, 중, 하단부에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 리프트장치.The position sensor is a lift device of a semiconductor manufacturing equipment, characterized in that installed in the upper, middle, lower end of the cylinder, respectively.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN115597993A (en) * 2022-09-27 2023-01-13 凯睿达（苏州）新能源科技有限公司（Cn） Cylinder type dynamic load testing machine

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