KR20060000007A - Cassette loader and method for testing lcd - Google Patents

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KR20060000007A
KR20060000007A KR1020040048800A KR20040048800A KR20060000007A KR 20060000007 A KR20060000007 A KR 20060000007A KR 1020040048800 A KR1020040048800 A KR 1020040048800A KR 20040048800 A KR20040048800 A KR 20040048800A KR 20060000007 A KR20060000007 A KR 20060000007A
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이재봉
조원진
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

본 발명은 액정표시장치의 검사 공정을 진행하기 전에 기판을 완전히 건조시킴으로써, 검사 불량을 줄이고, 검사 공정 시간을 줄일 수 있는 카세트 로더 및 액정표시장치 검사방법을 개시한다. 개시된 본 발명은 복수개의 기판들이 적층된 카세트들을 보관하는 제 1, 제 2 카세트 버퍼와; 상기 제 1 , 제 2 카세트 버퍼를 지지하면서, 상기 카세트들을 컨트롤하는 로더 베이스와; 상기 카세트들을 지지하기 위해서 상기 제 1, 제 2 카세트 버퍼 내측에 배치되어 있는 제 1, 제 2 포트와; 상기 제 1, 제 2 카세트 버퍼에 각각 배치되어 있는 에어바와; 상기 에어바에 에어를 공급하는 에어 공급부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention discloses a cassette loader and a liquid crystal display device inspection method which can completely reduce the inspection defect and reduce the inspection process time by completely drying the substrate before the liquid crystal display device undergoes the inspection process. The disclosed invention includes a first and second cassette buffer for storing cassettes in which a plurality of substrates are stacked; A loader base for controlling the cassettes while supporting the first and second cassette buffers; First and second ports disposed inside the first and second cassette buffers for supporting the cassettes; An air bar disposed in the first and second cassette buffers, respectively; It characterized in that it comprises an air supply for supplying air to the air bar.

여기서, 상기 에어바는 상기 제 1, 제 2 카세트 버퍼의 양측 벽에 상기 카세트를 사이에 두고 배치되어 있고, 상기 에어바에서는 상기 카세트가 배치되어 있는 방향으로 에어를 분사하여, 상기 카세트에 적재되어 있는 기판 표면의 이물질 및 수분을 제거하며, 상기 에어바에 에어를 공급하는 에어 공급부에서는 분사되는 에어 압력, 에어 공급 온/오프를 조절하도록 되어 있는 것을 특징으로 한다.Here, the air bar is disposed on both walls of the first and second cassette buffers with the cassette interposed therebetween, and the air bar ejects air in the direction in which the cassette is disposed, and is loaded in the cassette. Removes foreign substances and moisture on the surface of the substrate, the air supply for supplying air to the air bar is characterized in that the air pressure to be injected, the air supply on / off is adjusted.

액정표시장치, 카세트, 로더, 건조, 에어LCD, Cassette, Loader, Dry, Air

Description

카세트 로더 및 액정표시장치 검사방법{CASSETTE LOADER AND METHOD FOR TESTING LCD}Cassette Loader and Liquid Crystal Display Device Inspection Method {CASSETTE LOADER AND METHOD FOR TESTING LCD}

도 1은 일반적인 게이트 쇼트 불량 테스트 공정과 어레이 테스트 공정을 도시한 플로챠트.1 is a flow chart illustrating a general gate short failure test process and an array test process.

도 2는 일반적으로 액정표시장치 제조공정에서 각각의 공정 챔버로 기판을 이동시키는 과정을 설명하기 위한 도면.2 is a view for explaining a process of moving a substrate to each process chamber in a liquid crystal display manufacturing process in general.

도 3은 일반적으로 액정표시장치 제조공정에서 기판을 적재하는 카세트 로더의 구조를 도시한 도면.3 is a view illustrating a structure of a cassette loader for loading a substrate in a liquid crystal display manufacturing process in general.

도 4는 본 발명에 따른 카세트 로더의 구조를 도시한 도면.4 shows the structure of a cassette loader according to the invention.

도 5는 본 발명의 카세트 로더를 이용한 액정표시장치의 제조 공정을 설명하기 위한 도면.5 is a view for explaining a manufacturing process of the liquid crystal display device using the cassette loader of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100: 카세트 로더 101: 로더 베이스100: cassette loader 101: loader base

112a: 제 1 포트 112b: 제 2 포트112a: first port 112b: second port

115a: 제 1 카세트 로더 115b: 제 2 카세트 로더115a: first cassette loader 115b: second cassette loader

120: 카세트 130: 센서120: cassette 130: sensor

150a, 150b: 에어바 200: 에어 공급부150a, 150b: Air bar 200: Air supply part

본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 액정표시장치의 검사 공정을 진행하기 전에 기판을 완전히 건조시킴으로써, 검사 불량을 줄이고, 검사 공정 시간을 줄일 수 있는 카세트 로더 및 액정표시장치 검사방법에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly, a cassette loader and a liquid crystal display device inspection method, which can completely reduce the inspection defect and reduce the inspection process time by completely drying the substrate before the inspection process of the liquid crystal display device. It is about.

최근 들어 급속한 발전을 거듭하고 있는 반도체 산업의 기술 개발에 의하여 액정표시장치는 소형, 경량화 되면서 성능은 더욱 강력해진 제품들이 생산되고 있다. 지금까지 정보 디스플레이 장치에 널리 사용되고 있는 CRT(Cathode Ray Tube)가 성능이나 가격 측면에서 많은 장점을 갖고 있지만, 소형화 또는 휴대성의 측면에서는 많은 단점을 갖고 있었다.Recently, due to the rapid development of technology in the semiconductor industry, liquid crystal display devices are being manufactured with smaller and lighter weight and more powerful products. The CRT (Cathode Ray Tube), which is widely used in information display devices, has many advantages in terms of performance and price, but has many disadvantages in terms of miniaturization or portability.

이에 반하여, 액정표시장치(Liquid Crystal Display Device : 'LCD')는 소형화, 경량화, 저 전력소비화 등의 장점을 갖고 있어 CRT의 단점을 극복할 수 있는 대체 수단으로 점차 주목받아 왔고, 현재는 디스플레이 장치를 필요로 하는 거의 모든 정보 처리 기기에 장착되고 있는 실정이다.On the contrary, liquid crystal display devices (LCDs) have been attracting attention as an alternative means of overcoming the shortcomings of CRTs because they have advantages such as miniaturization, light weight, and low power consumption. It is installed in almost all information processing equipment that needs a.

이러한 액정표시장치는 일반적으로 액정의 특정한 분자배열에 전압을 인가하여 다른 분자배열로 변환시키고, 이러한 분자배열에 의해 발광하는 액정 셀의 복굴절성, 선광성, 2색성 및 광산란 특성 등의 광학적 성질의 변화를 시각 변화로 변환하는 것으로, 액정 셀에 의한 빛의 변조를 이용한 디스플레이 장치이다. Such liquid crystal displays generally apply voltages to specific molecular arrays of liquid crystals to convert them into other molecular arrays, and change optical properties such as birefringence, photoreactivity, dichroism, and light scattering characteristics of liquid crystal cells that emit light by such molecular arrays. Is a display device using modulation of light by a liquid crystal cell by converting the light into a visual change.                         

상기 액정표시장치는 화소 단위를 이루는 액정 셀의 형성 공정을 동반하는 패널 상판 및 하판의 제조 공정과, 액정 배향을 위한 배향막의 형성 및 러빙(Rubbing) 공정과, 상판 및 하판의 합착 공정과, 합착된 상판 및 하판 사이에 액정을 주입하고 봉지 하는 공정 등의 여러 과정을 거쳐 완성된다.The liquid crystal display includes a manufacturing process of the upper and lower panels of the panel, and a process of forming and rubbing the alignment layer for liquid crystal alignment, bonding the upper and lower plates together, It is completed through a number of processes, such as the process of injecting and encapsulating liquid crystal between the upper and lower plates.

그리고 각각의 제조 공정 사이에는 제조 과정에서 발생된 불량을 검사한 다음, 다음 공정으로 진행하도록 하여 생산 수율을 높이고 있다.And between each manufacturing process to inspect the defects generated in the manufacturing process, and then proceed to the next process to increase the production yield.

도 1은 일반적인 게이트 쇼트 불량 테스트 공정과 어레이 테스트 공정을 도시한 플로챠트이다.1 is a flowchart illustrating a general gate short failure test process and an array test process.

도 1에 도시된 바와 같이, 게이트 쇼트 불량 테스트(Short-Tester) 공정은 최초 글라스 기판 상에 게이트 금속막을 증착하고, 이를 식각하여 박막 트랜지스터의 게이트 전극, 게이트 배선 및 공통 배선을 형성한 다음, 이들의 쇼트 불량을 검사하는 공정이다.As shown in FIG. 1, the gate short-tester process first deposits a gate metal film on a glass substrate, etches it, and forms a gate electrode, a gate wiring, and a common wiring of a thin film transistor, This is a process to check for short defects.

먼저, 글라스 기판 상에 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금을 상기 글라스 기판 전 영역 상에 증착한 다음, 증착된 금속막 상에 감광막(photoresistor)을 도포한다.(a1)First, aluminum (Al) or an aluminum alloy is deposited on the glass substrate over the entire area of the glass substrate, and then a photoresistor is coated on the deposited metal film (a 1 ).

이를, 포토리소그라피(photolithography) 공정이라고 하는데, 감광막이 도포되면, 마스크를 이용하여 노광 및 현상 공정을 진행하여, 게이트 전극, 게이트 배선 및 공통 배선을 형성하기 위한 패터닝(pattering)을 진행한다.This is called a photolithography process. When a photosensitive film is applied, exposure and development processes are performed using a mask, and patterning is performed to form a gate electrode, a gate wiring, and a common wiring.

상기와 같이 감광막이 패터닝 되면, 식각 용액에 넣고 게이트 전극, 게이트 배선 및 공통 배선을 형성한다.(a2)When the photoresist is patterned as described above, the photoresist is patterned into an etching solution to form a gate electrode, a gate wiring, and a common wiring. (A 2 )

그런 다음, 패터닝된 감광막을 제거하기 위해서 스트립(strip) 공정을 진행한다.(a3) 상기와 같이 스트립 공정이 끝나게 되면, 게이트 배선 쇼트 불량을 검사하기 위해서 테스트 공정(short test)을 진행하는데(a5), 이에 앞서 상기 스트립 공정 중에서 상기 글라스 기판 상에 잔존하는 수분을 제거하기 위해서 열처리 공정(baker)을 진행한다.(a4)Then, a strip process is performed to remove the patterned photoresist film. (A 3 ) When the strip process is completed as described above, a test process (short test) is performed to check a shorted gate wiring ( a 5), the process proceeds prior to the heat treatment process (baker) in order to remove the water remaining on the glass substrate from the strip step. (a 4)

또한, 어레이 테스트 공정은 글라스 기판 상에 박막 트랜지스터와 화소 전극이 완성되면, 각각의 단위화소의 점등 상태 및 패턴 불량을 검사하는 공정이다.In addition, the array test process is a process of checking the lighting state and pattern defect of each unit pixel, when a thin film transistor and a pixel electrode are completed on a glass substrate.

그러므로 어레이 테스트 공정은 글라스 기판 상에 ITO 투명 금속막을 증착하고,(b1) 이를 포토리소그라피 공정에 따라 감광막을 패터닝한 다음, 식각 공정을 진행하여 화소 전극을 형성한다.(b2)Therefore array testing process is a vapor deposition film ITO transparent metal on the glass substrate, patterning a photosensitive film in accordance with this, a photolithographic process (b 1), and then forming the pixel electrode by an etching process in progress. (B 2)

상기 화소 전극이 형성되면, 상기 화소 전극 상에 존재하는 패터닝된 감광막을 제거하는 스트립 공정을 진행하고,(b3) 상기 게이트 쇼트 불량 테스트에서와 마찬가지로 스트립 공정을 진행한 후 검사(test) 공정을 진행하기 전에 기판 상에 잔존하는 수분을 제거하기 위한 열처리 공정을 진행한다.(b4)When the pixel electrode is formed, a strip process of removing the patterned photoresist existing on the pixel electrode is performed, and (b 3 ) a test process is performed after the strip process is performed as in the gate short defect test. Before proceeding, a heat treatment process is performed to remove moisture remaining on the substrate. (B 4 )

상기 열처리 진행 후에 어레이 테스트 공정 챔버로 글라스 기판들을 이동시켜, 화소 점등 및 패턴 불량을 육안과 광학 현미경을 이용해서 검사를 진행한다.(b5)After the heat treatment proceeds, the glass substrates are moved to the array test process chamber, and pixel lighting and pattern defects are inspected using the naked eye and an optical microscope. (B 5 )

상기 어레이 테스트 공정에서는 보통 육안으로 기판 상에 존재하는 이물질, 패턴 불량을 검사하는 메크로(macro) 검사 공정과 광학 현미경으로 정밀 검사를 하는 마이크(micro) 검사 공정으로 나뉜다.The array test process is generally divided into a macro inspection process for inspecting foreign matter and pattern defects present on the substrate with a naked eye and a micro inspection process for precise inspection with an optical microscope.

상기에서 설명한 게이트 쇼트 불량 테스트 공정과 어레이 테스트 공정은 모두 감광막을 제거하는 스트립(strip) 공정을 진행한 다음, 열처리 공정 후에 각각 테스트 공정으로 진행하게 된다.The gate short defect test process and the array test process described above are all performed after the strip process of removing the photoresist film, and then the test process is performed after the heat treatment process.

도 2는 일반적으로 액정표시장치 제조 공정에서 각각의 공정 챔버로 기판을 이동시키는 과정을 설명하기 위한 도면이다.FIG. 2 is a diagram for describing a process of moving a substrate to each process chamber in a liquid crystal display manufacturing process.

도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도 1에서와 같이 스트립 공정 후, 열처리 공정이 진행되면, 글라스 기판들을 카세트에 적재시킨 다음, AGV(AGV: Auto Guide Vehicle) 또는 MGV(MGV: Manual Guide Vehicle)와 같은 반송대차를 이용하여 검사(test) 공정을 진행하기 위해서 공정 챔버로 기판들을 이동시킨다.As shown in FIG. 2, after the strip process as shown in FIG. 1, when the heat treatment process is performed, the glass substrates are loaded into a cassette, and then AGV (Auto Guide Vehicle) or MGV (Manual Guide Vehicle) is provided. The substrates are moved to the process chamber in order to proceed with the test process using a transfer balance such as the above.

도면에 도시된 바와 같이, 각각의 공정이 완료되면 다음 공정으로 카세트를 이동시키기 위해서 글라스 기판들을 반송대차에 적재시킨 다음, 다음 공정 챔버로 이동시킨다.As shown in the figure, when each process is completed, the glass substrates are loaded in the transport cart to move the cassette to the next process, and then moved to the next process chamber.

즉, 게이트 배선 공정과 화소 전극 형성 공정이 완료되면, 검사 공정을 진행하기 위해서 검사 공정 챔버로 이동시켜, 불량 검사를 진행한다.That is, when the gate wiring process and the pixel electrode forming process are completed, the process is moved to the inspection process chamber to proceed the inspection process, and the defect inspection is performed.

상기 AGV 또는 MGV에 의해서 글라스 기판들이 적재된 카세트는 검사(테스트) 공정 챔버의 입구에 마련된 카세트 로더에 순차적으로 적재된다. 그런 다음, 테스트 챔버에서는 로봇을 이용해서 상기 카세트 로더에 적재된 카세트로부터 순차적으로 글라스 기판을 반송하여 불량 검사를 진행한다.Cassettes loaded with glass substrates by the AGV or MGV are sequentially loaded in a cassette loader provided at the inlet of the test (test) process chamber. Then, in the test chamber, the glass substrate is sequentially conveyed from the cassette loaded in the cassette loader using a robot to perform a defect inspection.

도 3은 일반적으로 액정표시장치 제조공정에서 기판을 적재하는 카세트 로더의 구조를 도시한 도면이다.3 is a diagram illustrating a structure of a cassette loader for loading a substrate in a liquid crystal display manufacturing process.

도 3에 도시된 바와 같이, 카세트 로더(cassette loader: 10)는 글라스 기판들이 적층되어 있는 카세트들(20)을 보관하기 위한 제 1, 제 2 카세트 버퍼(15a, 15b)와, 상기 제 1, 제 2 카세트 버퍼(15a, 15b)를 지지하면서 카세트 버퍼(15a, 15b) 내의 카세트들(20)을 컨트롤하는 로더 베이스(101)와, 상기 카세트 버퍼(15a, 15b) 하측에 카세트(20)를 안착시키기 위하여 배치되어 있는 제 1 포트(12a)와 제 2 포트(12b)로 구성되어 있다.As shown in FIG. 3, a cassette loader 10 includes first and second cassette buffers 15a and 15b for storing cassettes 20 in which glass substrates are stacked, and the first and second cassette buffers 15a and 15b. A loader base 101 which controls the cassettes 20 in the cassette buffers 15a and 15b while supporting the second cassette buffers 15a and 15b, and a cassette 20 below the cassette buffers 15a and 15b. It consists of the 1st port 12a and the 2nd port 12b arrange | positioned for seating.

게이트 배선 공정 또는 어레이 공정이 완성되면, 게이트 쇼트 불량 테스트 및 어레이 테스트 공정을 진행하기 위해서 글라스 기판들을 카세트에 적층한 다음, AGV 또는 MGV로 이동시킨다.When the gate wiring process or the array process is completed, the glass substrates are stacked in a cassette and then moved to AGV or MGV to proceed with the gate short failure test and the array test process.

상기 카세트 로더(10)의 상기 제 1 카세트 버퍼(15a)의 제 1 포트(12a)와 제 2 카세트 버퍼(15b)의 제 2 포트(12b)에 카세트들(20)이 투입되면, 검사 공정 챔버에서는 카세트(20)에 적재되어 있는 각각의 글라스 기판들을 순차적으로 반출 및 반입하는 공정을 반복하면서 검사 공정을 진행한다.When the cassettes 20 are inserted into the first port 12a of the first cassette buffer 15a of the cassette loader 10 and the second port 12b of the second cassette buffer 15b, an inspection process chamber In the inspecting process, the glass substrates stacked on the cassette 20 are repeatedly carried out and carried out sequentially.

도면에서는 도시하였지만, 설명하지 않은 30은 센서로써, 상기 카세트(20)에 적재되어 있는 글라스 기판의 반출 및 반입을 체킹(checking)하는 기능을 한다. Although shown in the figure, 30, which has not been described, functions as a sensor to check the carrying out and carrying in of the glass substrate loaded on the cassette 20.                         

그러나, 상기와 같은 종래의 게이트 쇼트 불량 테스트와 어레이 테스트 공정에서는 다음과 같은 문제점이 있다.However, the above conventional gate short failure test and array test process have the following problems.

첫째, 게이트 쇼트 불량 테스트 공정을 진행하기 전에 스트립(strip) 공정을 진행하고 기판 표면상의 수분 제거를 위한 열처리(baker) 공정을 진행하는데, 이와 같은 열처리 공정의 진행으로 액정표시장치 제조 시간이 길어지고, 생산 비용이 높아지는 단점이 있다.First, before the gate short defect test process, a strip process is performed and a heat treatment (baker) process is performed to remove moisture on the surface of the substrate. This has the disadvantage of increasing production costs.

둘째, 어레이 테스트 공정에서도 화소 전극을 형성한 다음, 스트립 공정을 진행하고, 기판 표면 상에 수분을 제거하기 위한 열처리 공정을 진행하는데, 이 때, 수분이 완전히 제거되지 않아 잘못된 불량(false defect)을 검사하게 되는 문제가 있다.Second, the pixel electrode is also formed in the array test process, followed by a stripping process, and a heat treatment process for removing moisture on the surface of the substrate. At this time, moisture is not completely removed and false defects are generated. There is a problem being examined.

즉, 기판 상에 잔존하는 수분이 불량이 아님에도 불구하고, 메크로(macro) 검사 또는 마이크로(micro) 검사 과정에서 불량으로 검출되어, 검사 신뢰도를 떨어뜨리는 문제가 있다.That is, even though the moisture remaining on the substrate is not a defect, it is detected as a defect in a macro inspection or a micro inspection process, thereby deteriorating inspection reliability.

본 발명은, 기판들이 적재된 카세트를 보관하는 카세트 로더에 에어바(air bar)를 이용한 건조 기구를 부착함으로써, 기판 표면에 존재하는 이물질 및 수분을 제거하여 액정표시장치 검사 작업의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 카세트 로더 및 액정표시장치 검사방법을 제공함에 그 목적이 있다.The present invention, by attaching a drying mechanism using an air bar to the cassette loader for storing the cassette on which the substrates are loaded, to remove foreign substances and moisture existing on the surface of the substrate to improve the reliability of the liquid crystal display inspection operation It is an object of the present invention to provide a cassette loader and a liquid crystal display device inspection method.

상기한 목적을 달성하기 위한, 본 발명에 따른 카세트 로더는, In order to achieve the above object, the cassette loader according to the present invention,                     

복수개의 기판들이 적층된 카세트들을 보관하는 1, 제 2 카세트 버퍼와;First and second cassette buffers for storing cassettes in which a plurality of substrates are stacked;

상기 제 1 , 제 2 카세트 버퍼를 지지하면서, 상기 카세트들을 컨트롤하는 로더 베이스와;A loader base for controlling the cassettes while supporting the first and second cassette buffers;

상기 카세트들을 지지하기 위해서 상기 제 1, 제 2 카세트 버퍼 내측에 배치되어 있는 제 1, 제 2 포트와;First and second ports disposed inside the first and second cassette buffers for supporting the cassettes;

상기 제 1, 제 2 카세트 버퍼에 각각 배치되어 있는 에어바와; 및An air bar disposed in the first and second cassette buffers, respectively; And

상기 에어바에 에어를 공급하는 에어 공급부를 포함하는 것을 특징으로 한다.It characterized in that it comprises an air supply for supplying air to the air bar.

여기서, 상기 에어바는 상기 제 1, 제 2 카세트 버퍼의 양측벽에 상기 카세트를 사이에 두고 배치되어 있고, 상기 에어바에서는 상기 카세트가 배치되어 있는 방향으로 에어를 분사하여, 상기 카세트에 적재되어 있는 기판 표면의 이물질 및 수분을 제거하며, 상기 에어바에 에어를 공급하는 에어 공급부에서는 분사되는 에어 압력, 에어 공급 온/오프를 조절하도록 되어 있는 것을 특징으로 한다.Here, the air bar is disposed on both side walls of the first and second cassette buffers with the cassette interposed therebetween, and the air bar ejects air in the direction in which the cassette is arranged and is loaded into the cassette. Removes foreign substances and moisture on the surface of the substrate, the air supply for supplying air to the air bar is characterized in that the air pressure to be injected, the air supply on / off is adjusted.

본 발명에 따른 액정표시장치 검사 방법은,The liquid crystal display device inspection method according to the present invention,

기판 상에 액정표시장치의 소자를 형성하기 위하여 감광막을 도포하고, 패터닝하는 단계와;Applying and patterning a photosensitive film to form an element of a liquid crystal display device on a substrate;

상기 감광막 패턴후 식각 공정을 진행한 다음, 계속해서 스트립 공정을 진행하는 단계와;Performing an etching process after the photoresist pattern, and then continuously performing a strip process;

상기 스트립 공정 후 기판들을 검사 공정에 배치되어 있는 카세트 로더로 이동시키는 단계와; Moving the substrates after the strip process to a cassette loader disposed in an inspection process;                     

상기 카세트 로더에서 에어 크린 공정을 진행한 다음, 기판들을 반출하여 검사 공정을 진행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.After the air cleaner process in the cassette loader, characterized in that it comprises a step of carrying out the inspection process by taking out the substrates.

여기서, 상기 에어 크린 공정은 스트립 공정 중에서 기판 상에 잔존하는 이물질 또는 수분을 제거하기 위해서 건조된 공기를 분사시키고, 상기 에어 크린 공정은 카세트 로더에 기판들이 적재된 카세트가 탑재된 상태에서 검사 공정을 진행하기 전에 진행되는 것을 특징으로 한다.Here, the air clean process is sprayed with dried air to remove foreign matter or moisture remaining on the substrate during the strip process, the air clean process is carried out the inspection process in the state where the cassette is loaded on the cassette loader It is characterized by proceeding before proceeding.

그리고 상기 기판 상에 액정표시장치의 소자를 형성하기 위하여 감광막을 도포하고, 패터닝하는 단계에서는 액정표시장치의 게이트 배선 또는 화소 전극을 형성하기 위한 공정이고, 상기 카세트 로더에서 에어 크린 공정을 진행한 다음, 기판들을 반출하여 검사 공정을 진행하는 단계에서는 게이트 배선의 쇼트 불량 검사 또는 어레이 공정후 진행하는 어레이 테스트 공정인 것을 특징으로 한다.In the step of coating and patterning a photoresist film to form an element of the liquid crystal display device on the substrate, a process of forming a gate wiring or a pixel electrode of the liquid crystal display device is performed, and the air conditioner process is performed in the cassette loader. In the step of carrying out the inspection process by taking out the substrates, the short defect inspection or the array process of the gate wiring may be performed.

본 발명에 의하면, 기판들이 적재된 카세트를 보관하는 카세트 로더에 에어바(air bar)를 이용한 건조 기구를 부착함으로써, 기판 표면에 존재하는 이물질 및 수분을 제거하여 액정표시장치 검사 작업의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.According to the present invention, by attaching a drying mechanism using an air bar to the cassette loader for storing the cassette on which the substrates are loaded, to remove foreign substances and moisture present on the surface of the substrate to improve the reliability of the inspection operation of the liquid crystal display device You can.

이하, 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 자세히 설명하도록 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명에 따른 카세트 로더의 구조를 도시한 도면이다.4 is a view showing the structure of a cassette loader according to the present invention.

도 4에 도시된 바와 같이, 액정표시장치 제조 공정마다 공정이 완료된 기판들을 다음 공정을 진행하기 위해서 카세트 로더(100)에 보관해 놓는다.As shown in FIG. 4, the substrates in which the processes are completed for each liquid crystal display manufacturing process are stored in the cassette loader 100 in order to proceed to the next process.

본 발명에서는 특히, 게이트 배선 형성 공정이 완료되고, 게이트 절연막 도 포 공정을 진행하기 전에 실시하는 게이트 쇼트 불량을 검사하는 공정과, 화소 전극 형성후 합착 공정을 진행하기 전에 실시하는 어레이 테스트 공정에서 사용되는 카세트 로더(100)를 중심으로 설명한다.In particular, the present invention is used in a process of inspecting a gate short defect performed before the gate wiring forming process is completed and before the gate insulating film coating process is performed, and in an array test process performed before the bonding process after forming the pixel electrode. The cassette loader 100 is described.

하지만, 액정표시장치의 각각의 공정에서 본 발명을 적용할 수 있다.However, the present invention can be applied to each process of the liquid crystal display device.

먼저, 본 발명에 따른 카세트 로더(cassette loader: 100)는, 액정표시장치의 게이트 배선 형성 공정 또는 화소 전극 형성 공정이 완료된 글라스 기판들을 적재한 카세트(120)들을 보관하는 제 1, 제 2 카세트 버퍼(115a, 115b)와, 상기 제 1, 제 2 카세트 버퍼(115a, 115b)를 지지하면서 카세트 버퍼(115a, 115b) 내의 카세트들(120)을 컨트롤하는 로더 베이스(loader base: 101)와, 상기 카세트 버퍼(115a, 115b) 하측에 카세트(120)를 안착시키기 위해서 배치되어 있는 제 1 포트(112a) 및 제 2 포트(112b)와, 상기 제 1 , 제 2 카세트 버퍼(115a, 115b) 양측 벽에 각각 배치되어 있는 에어바(air bar: 150a, 150b)와, 상기 에어바(150a, 150b)에 공기(air)를 공급하는 에어 공급부(CDA: Clean Dry Air: 200)로 구성되어 있다.First, the cassette loader 100 according to the present invention includes first and second cassette buffers for storing cassettes 120 having glass substrates on which a gate wiring forming process or a pixel electrode forming process of a liquid crystal display device is completed. A loader base 101 for supporting the cassettes 120 in the cassette buffers 115a and 115b while supporting the first and second cassette buffers 115a and 115b; First and second ports 112a and 112b, which are arranged to seat the cassette 120 under the cassette buffers 115a and 115b, and both walls of the first and second cassette buffers 115a and 115b. Air bar (150a, 150b) disposed in each of the air bar (CDA: Clean Dry Air: 200) for supplying air (air) to the air bar (150a, 150b).

상기와 같은 구조를 갖는 카세트 로더(100)는 게이트 쇼트 불량 검사 공정 또는 어레이 테스트 공정에 배치되고, 게이트 배선 공정 또는 어레이 공정이 완료되면, 카세트(120)에 기판들을 적재한 다음, AGV 또는 MGV를 사용하여 상기 카세트 로더(100)로 이동한다.The cassette loader 100 having the above structure is disposed in the gate short defect inspection process or the array test process, and when the gate wiring process or the array process is completed, the substrates are loaded into the cassette 120 and then AGV or MGV is loaded. To move to the cassette loader 100.

상기와 같이 카세트 로더(100)에 카세트(120)가 탑재되면, 검사 공정을 진행하기 위해서 로봇이 카세트(120)에 적재되어 있는 기판들을 순차적으로 반출하여 공정 챔버에 공급하고, 이후 검사 공정이 완료되면 다시 카세트(120) 내로 기판들을 반입한다.When the cassette 120 is mounted on the cassette loader 100 as described above, in order to proceed with the inspection process, the robot sequentially takes out substrates loaded in the cassette 120 and supplies them to the process chamber, and then the inspection process is completed. The substrates are brought back into the cassette 120.

이때, 본 발명에서는 식각공정 후 스트립 공정을 진행한 다음, 열처리 공정 없이 곧바로 카세트(120)에 기판들을 적재하고, 검사 공정에서 기판 표면의 수분을 제거할 수 있도록 함으로써, 공정을 단순화시켰다.At this time, in the present invention, after performing the strip process after the etching process, the substrates are immediately loaded into the cassette 120 without the heat treatment process, and the process can be simplified by removing moisture from the surface of the substrate in the inspection process.

따라서, 본 발명에서는 기판 상에 잔존하는 이물질 또는 수분을 제거하기 위한 열처리 공정을 생략하고, 상기 카세트 로더(100)에 설치되어 있는 에어 바(150a, 150b)에 의해서 건조 공정이 진행되도록 하였다.Therefore, in the present invention, the heat treatment process for removing foreign matter or moisture remaining on the substrate is omitted, and the drying process is performed by the air bars 150a and 150b provided in the cassette loader 100.

그러므로 스트립 공정을 진행한 다음, 검사 공정으로 이동한 기판들은 검사를 위하여 대기하고 있는 동안 카세트 로더(100)에 설치되어 있는 에어바(air bar: 150a, 150b)와 에어 공급부(200)에서 공급되는 공기 분사(blowing)에 의해서 건조 공정이 진행된다.Therefore, the substrates moved to the inspection process after the strip process are supplied from the air bars 150a and 150b and the air supply unit 200 installed in the cassette loader 100 while waiting for the inspection. The drying process proceeds by blowing.

상기 에어바(150a, 150b)는 카세트 버퍼(115a, 115b) 내측 벽에 배치되면서, 상기 카세트(120)의 양측에 배치되기 때문에, 상기 카세트(120)에 적재되어 있는 기판들을 양측에서 건조시킨다.Since the air bars 150a and 150b are disposed on the inner walls of the cassette buffers 115a and 115b and are disposed on both sides of the cassette 120, the substrates loaded on the cassette 120 are dried on both sides.

따라서, 본 발명에서는 카세트 로더(100) 자체에 기판 표면 상에 존재하는 이물질 제거와 수분 제거를 할 수 있어, 열처리 공정을 진행하지 않을 수 있다.Therefore, in the present invention, the cassette loader 100 itself may remove foreign substances and moisture from the substrate surface, and thus may not proceed with the heat treatment process.

도면에서는 도시하였지만 설명하지 않은 130은 센서를 나타낸다.Although not shown in the drawing, 130 represents a sensor.

도 5는 본 발명의 카세트 로더를 이용한 액정표시장치의 제조 공정을 설명하기 위한 도면이다. 5 is a view for explaining the manufacturing process of the liquid crystal display device using the cassette loader of the present invention.                     

도 5에 도시된 바와 같이, 게이트 배선 형성 공정과 게이트 쇼트 불량 테스트(Short-Tester) 공정을 진행하는 순서는 다음과 같다.As shown in FIG. 5, the gate wiring forming process and the gate short-tester process are performed in the following order.

먼저, 글라스 기판 상에 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금을 증착한 다음, 증착된 금속막 상에 감광막(photoresistor)을 도포한다.(x1)First, aluminum (Al) or an aluminum alloy is deposited on a glass substrate, and then a photoresistor is applied on the deposited metal film. (X 1 )

이를, 포토리소그라피(photolithography) 공정이라고 하는데, 감광막이 도포되면, 마스크를 이용하여 노광 및 현상 공정을 진행하고, 게이트 전극, 게이트 배선 및 공통 배선을 형성하기 위한 감광막 패터닝(pattering)을 진행한다.This is called a photolithography process. When a photoresist film is applied, an exposure and development process are performed using a mask, and a photoresist patterning process for forming a gate electrode, a gate wiring, and a common wiring is performed.

상기와 같이 감광막이 패터닝되면, 식각 용액에 기판을 넣고 상기 감광막 패터닝을 마스크로하여 게이트 전극, 게이트 배선 및 공통 배선을 형성한다.(x2)When the photoresist film is patterned as described above, a substrate is placed in an etching solution and a gate electrode, a gate wiring, and a common wiring are formed using the photoresist patterning as a mask. (X 2 )

그런 다음, 감광막 패턴을 제거하기 위해서 스트립(strip) 공정을 진행한다.(x3) 상기와 같이 스트립 공정이 끝나게 되면, 기판들을 카세트에 적재한 다음, AGV 또는 MGV를 이용해서 게이트 배선 쇼트 불량 검사 공정(short test)으로 기판들을 이동시킨다.Then, a strip process is performed to remove the photoresist pattern. (X 3 ) When the strip process is completed as described above, the substrates are loaded into a cassette, and then the gate wiring short inspection is performed using AGV or MGV. The substrates are moved in a short test.

상기 카세트에 적재된 기판들은 게이트 배선 쇼트 불량 검사 공정에 배치되어 있는 카세트 로더에 적재되고, 각각의 기판에 대해서 순차적으로 에어 크린(air clean) 공정을 진행한다.(x4)The substrates loaded in the cassette are loaded in a cassette loader disposed in a gate wiring short defect inspection process, and an air clean process is sequentially performed for each substrate. (X 4 )

상기와 같이 기판 상에 이물질을 제거하거나 수분을 제거하기 위한 에어 크린 공정은 별도의 프로세서에서 진행되는 것이 아니라, 게이트 쇼트 불량 검사 공정을 진행할 때, 기판들이 적재되어 있는 카세트 로더에 에어 크린 공정을 할 수 있도록 하였다.As described above, the air clean process for removing foreign matter or water on the substrate is not performed by a separate processor, but when the gate short defect inspection process is performed, the air clean process is performed on the cassette loader on which the substrates are loaded. To make it possible.

따라서, 상기 카세트 로더에 적재되어 있는 동안에 에어 크린 공정이 기판 전체에 대해서 진행되기 때문에 액정표시장치 제조 공정이 단순해지는 장점이 있다.Therefore, there is an advantage that the liquid crystal display manufacturing process is simplified because the air clean process is performed on the entire substrate while being loaded in the cassette loader.

이렇게 에어 크린 공정이 진행중인 카세트 로더로부터 기판을 반출하여 게이트 배선 쇼트 불량 검사를 진행하게 된다.In this way, the substrate is removed from the cassette loader in which the air clean process is in progress and the gate wiring short defect inspection is performed.

또한, 어레이 공정에서는 글라스 기판 상에 ITO 투명 금속막을 증착하고,(y1) 이를 포토리소그라피(photolithography) 공정에 따라 감광막을 패터닝한 다음, 식각 공정을 진행하여 화소 전극을 형성한다.(y2)In addition, the array step, the deposited film is an ITO transparent metal on a glass substrate, and, (y 1) by patterning the photosensitive film according to this photo-lithography (photolithography) process, and then forming a pixel electrode goes to an etching process. (Y 2)

상기와 같이 화소 전극이 형성되면 상기 화소 전극 상에 존재하는 감광막 패턴을 제거하는 스트립 공정을 진행하고,(y3) 상기 게이트 쇼트 불량 테스트에서와 마찬가지로 스트립(strip) 공정을 진행 한 후, 기판들을 카세트에 적재시킨 다음, 어레이 테스트 공정으로 카세트를 이동시킨다.(y4)When the pixel electrode is formed as described above, the strip process of removing the photoresist pattern existing on the pixel electrode is performed (y 3 ) and the substrates are removed after the strip process is performed as in the gate short failure test. After loading into the cassette, the cassette is moved to the array test process (y 4 ).

상기 카세트에 적재된 기판들은 게이트 배선 쇼트 불량 검사 공정에 배치되어 있는 카세트 로더에 적재되고, 각각의 기판에 대해서 순차적으로 에어 크린(air clean) 공정을 진행한다.(x4)The substrates loaded in the cassette are loaded in a cassette loader disposed in a gate wiring short defect inspection process, and an air clean process is sequentially performed for each substrate. (X 4 )

마찬가지로 상기 어레이 테스트 공정에서도 게이트 쇼트 불량 검사 공정에서와같이, 기판 상에 이물질을 제거 또는 수분을 제거를 위해서 에어 크린 공정은 별 도 추가하는 것이 아니라, 어레이 테스트 공정을 진행하기 위해서 카세트 로더에 기판들이 대기 상태일 때, 에어 크린 공정을 할 수 있도록 하였다.Likewise, in the array test process, as in the gate short defect inspection process, an air clean process is not added to remove foreign substances or moisture on the substrate, but the substrates are placed in the cassette loader to proceed with the array test process. When in the standby state, the air cleaning process can be performed.

따라서, 상기 카세트 로더에 적재되어 있는 동안에 에어 크린 공정이 기판 전체에 대해서 진행된 상태에서 순차적으로 어레이 테스트 공정이 진행되므로 액정표시장치 제조 공정이 단순해지는 장점이 있다.(y5)Therefore, since the array test process is sequentially performed while the air clean process is performed on the entire substrate while being loaded in the cassette loader, the manufacturing process of the liquid crystal display is simplified. (Y 5 )

따라서, 본 발명에서는 게이트 쇼트 불량 검사와 어레이 테스트 공정에서 스트립 공정 후 기판 상에 존재하는 이물질 또는 수분을 제거시키기 위해서 에어 크린 공정을 진행하기 때문에 생산 공정이 단순하고, 불량 검사의 신뢰도를 높힐 수 있는 이점이 있다.Therefore, in the present invention, since the air clean process is performed to remove foreign substances or moisture present on the substrate after the strip process in the gate short defect inspection and the array test process, the production process is simple and the reliability of the defect inspection can be improved. There is an advantage.

이상에서 자세히 설명된 바와 같이, 본 발명은 기판들이 적재된 카세트를 보관하는 카세트 로더에 에어바(air bar)를 이용한 건조 기구를 부착함으로써, 기판 표면에 존재하는 이물질 및 수분을 제거하여 액정표시장치 검사 작업의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.As described in detail above, the present invention attaches a drying mechanism using an air bar to a cassette loader for storing a cassette on which substrates are loaded, thereby removing foreign substances and moisture present on the surface of the liquid crystal display device. There is an effect that can improve the reliability of the inspection work.

본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않고, 이하 청구 범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various changes can be made by those skilled in the art without departing from the gist of the present invention as claimed in the following claims.

Claims (9)

복수개의 기판들이 적층된 카세트들을 보관하는 제 1, 제 2 카세트 버퍼와;First and second cassette buffers for storing cassettes in which a plurality of substrates are stacked; 상기 제 1 , 제 2 카세트 버퍼를 지지하면서, 상기 카세트들을 컨트롤하는 로더 베이스와;A loader base for controlling the cassettes while supporting the first and second cassette buffers; 상기 카세트들을 지지하기 위해서 상기 제 1, 제 2 카세트 버퍼 내측에 배치되어 있는 제 1, 제 2 포트와;First and second ports disposed inside the first and second cassette buffers for supporting the cassettes; 상기 제 1, 제 2 카세트 버퍼에 각각 배치되어 있는 에어바와; 및An air bar disposed in the first and second cassette buffers, respectively; And 상기 에어바에 에어를 공급하는 에어 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 로더.Cassette loader, characterized in that it comprises an air supply for supplying air to the air bar. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 에어바는 상기 제 1, 제 2 카세트 버퍼의 양측 벽에 상기 카세트를 사이에 두고 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 카세트 로더.And the air bar is disposed on both walls of the first and second cassette buffers with the cassette interposed therebetween. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 에어바에서는 상기 카세트가 배치되어 있는 방향으로 에어를 분사하여, 상기 카세트에 적재되어 있는 기판 표면의 이물질 및 수분을 제거하는 것을 특징으로 하는 카세트 로더.The air bar is a cassette loader, characterized in that to eject the air in the direction in which the cassette is disposed, to remove foreign substances and water on the surface of the substrate loaded on the cassette. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 에어바에 에어를 공급하는 에어 공급부에서는 분사되는 에어 압력, 에어 공급 온/오프를 조절하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 카세트 로더.The air supply unit for supplying air to the air bar cassette loader, characterized in that to adjust the air pressure, the air supply on / off sprayed. 기판 상에 액정표시장치의 소자를 형성하기 위하여 감광막을 도포하고, 패터닝하는 단계와;Applying and patterning a photosensitive film to form an element of a liquid crystal display device on a substrate; 상기 감광막 패턴후 식각 공정을 진행한 다음, 계속해서 스트립 공정을 진행하는 단계와;Performing an etching process after the photoresist pattern, and then continuously performing a strip process; 상기 스트립 공정 후 기판들을 검사 공정에 배치되어 있는 카세트 로더로 이동시키는 단계와;Moving the substrates after the strip process to a cassette loader disposed in an inspection process; 상기 카세트 로더에서 에어 크린 공정을 진행한 다음, 기판들을 반출하여 검사 공정을 진행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 검사 방법.And carrying out an inspection process by carrying out an air clean process in the cassette loader and then removing the substrates. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 에어 크린 공정은 스트립 공정 중에서 기판 상에 잔존하는 이물질 또는 수분을 제거하기 위해서 건조된 공기를 분사시키는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 검사 방법. The air cleaning process is a liquid crystal display device inspection method, characterized in that for spraying dried air to remove foreign matter or moisture remaining on the substrate during the strip process. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 에어 크린 공정은 카세트 로더에 기판들이 적재된 카세트가 탑재된 상 태에서 검사 공정을 진행하기 전에 진행되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 검사 방법.The air cleaning process is a liquid crystal display device inspection method, characterized in that is carried out before the inspection process in a state where the cassette is loaded on the cassette loader is mounted. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 기판 상에 액정표시장치의 소자를 형성하기 위하여 감광막을 도포하고, 패터닝하는 단계에서는 액정표시장치의 게이트 배선 또는 화소 전극을 형성하기 위한 공정인 것을 특징으로 하는 액정표시장치 검사 방법.And coating and patterning a photosensitive film to form an element of the liquid crystal display device on the substrate, wherein the liquid crystal display device inspection method comprises forming a gate wiring or a pixel electrode of the liquid crystal display device. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 카세트 로더에서 에어 크린 공정을 진행한 다음, 기판들을 반출하여 검사 공정을 진행하는 단계에서는 게이트 배선의 쇼트 불량 검사 또는 어레이 공정후 진행하는 어레이 테스트 공정인 것을 특징으로 하는 액정표시장치 검사 방법.And a step of carrying out an inspection process by carrying out an air cleaning process in the cassette loader, and then performing an inspection process by performing a short defect inspection or an array process of a gate wiring.
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