KR20050120872A - 약액의 기포제거를 위한 버퍼탱크 및 이를 이용한액정표시장치 제조용 약액 공급시스템 - Google Patents

약액의 기포제거를 위한 버퍼탱크 및 이를 이용한액정표시장치 제조용 약액 공급시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 액정표시장치 제조에 사용되는 PI 등의 소정 약액으로부터 기포를 제거한 후 이를 해당 장비로 공급하는 버퍼탱크 및 이를 이용한 액정표시장치 제조용 약액 공급시스템에 관한 것으로, 내부로 소정의 저장공간을 정의하는 본체와; 외부의 약액이 공급되도록 상기 본체 외 측면에 구비된 유입관과; 상기 저장공간 내의 약액이 배출되도록 상기 유입관 보다 낮은 위치의 상기 본체 외 측면에 구비된 유출관과; 상기 본체 내에 부설되어 상기 유입관을 통해서 공급된 상기 약액으로부터 기포를 걸러내는 기포제거수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 약액의 기포제거를 위한 버퍼탱크 및 이를 이용한 액정표시장치 제조용 약액공급시스템을 제공한다. 이에 구체적인 일례로 PI 등을 기판 일면에 균일하게 인쇄하는 배향막 형성공정에 있어서 기포가 제거된 약액을 이용할 수 있어 보다 균일하고 질 높은 배향막을 얻을 수 있고, 그 결과 보다 개선된 화질의 액정표시장치를 구현할 수 있는 장점이 있다.

Description

약액의 기포제거를 위한 버퍼탱크 및 이를 이용한 액정표시장치 제조용 약액 공급시스템{buffer tank for remove bubble from chemical used liquid crystal display device}
본 발명은 약액의 기포제거를 위한 버퍼탱크 및 이를 이용한 액정표시장치 제조용 약액 공급시스템에 관한 것으로, 좀더 자세하게는 액정표시장치 제조에 사용되는 PI 등의 소정 약액으로부터 기포를 제거한 후 이를 해당 장비로 공급하는 버퍼탱크 및 이를 이용한 액정표시장치 제조용 약액 공급시스템에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치는 사용자에게 보여지는 화상을 외부로 디스플레이(display)하는 액정패널(liquid crystal display panel)을 핵심적인 요소로 갖추며, 이는 액정층 및 이를 사이에 두고 서로 마주보는 면으로 각각 전계생성전극이 형성된 한 쌍의 기판을 포함한다.
잘 알려진 바와 같이 액정은 분자구조가 가늘고 길며 배열에 방향성을 갖는 광학적 이방성과 전기장 내에 놓일 경우에 그 크기에 따라 분자배열 방향이 변화되는 분극성질을 띤다.
이에 액정패널은 서로 대면되는 두 전계생성전극 사이의 전기장 변화를 통해서 그 사이로 개재된 액정분자 배열방향을 인위적으로 조절하고 이때 나타나는 빛의 투과율 변화로 여러 가지 화상을 표시하는 바, 최근에는 특히 화상표현의 기본 단위인 화소(pixel)를 행렬 방식으로 배열하고 이들과 일대일 대응되도록 박막트랜지스터(Thin Firm Transistor : TFT)를 구비하여 각각을 독립적으로 제어하는 능동행렬방식(active matrix type)이 해상도 및 동영상 구현능력에서 뛰어나 각광받고 있다.
이 경우 액정패널을 구성하는 두 장의 기판 중 하나에는 다수의 화소 그리고 이와 대응되는 박막트랜지스터 및 화소전극 등의 각종 어레이요소가 고밀도로 집적되어 어레이기판을 이루며 다른 하나에는 각 화소에 대응되는 적, 녹, 청 컬러필터 그리고 공통전극이 구비되어 컬러필터기판을 이루는 바, 이들은 각각 소정물질을 박막으로 증착한 후 이를 부분적으로 식각하여 패터닝하는 공정을 수 차례 반복 포함하는 별도의 제조공정을 통해서 완성된다. 그리고 이들 양 기판의 서로 마주보는 내면으로는 각각 액정분자의 배열방향을 결정하는 배향막이 형성되고, 후속하여 액정층을 사이에 두고 이들 두 기판이 서로 합착되어 액정패널을 이룬다.
한편, 이 같은 액정표시장치의 제조에는 여러 가지 약액을 이용하는 공정이 다수 포함되는데, 일례로 배향막 형성공정은 복수개의 서로 연동하는 롤러와 전사판을 사용하여 각 기판 내면으로 PI(Poly-Imide) 등의 액상 고분자 화합물을 고르게 전사하는 인쇄단계와, 이를 경화시키는 소성단계 그리고 이의 표면을 러빙포로 마찰시켜 일정한 방향으로 정렬하는 러빙단계로 이루어진다.
이때 PI 등의 약액은 약액공급부에서부터 디스펜스노즐을 통해서 해당 롤러로 공급 토출되는데, 이에 대하여 일반적인 액정표시장치 제조용 PI 공급방법을 간략하게 나타낸 도 1의 시스템도를 참조하여 설명한다.
나타낸 바와 같이 액상의 PI(2)는 통상 병 등의 단위 저장용기(10)에 저장되며, 이러한 저장용기(10)는 입구가 오픈된 상태로 가압컨테이터(20)에 수용된다. 그리고 솔레노이드밸브와 같은 유압제어수단(32)을 구비한 공급관(30) 일단이 가압컨테이너(20) 일 측을 관통해서 저장용기(10) 입구로부터 그 내부로 삽입되어 있고 이의 타단에는 디스펜스노즐(34)이 부설되어 있다.
이에 가압컨테이너(20) 일측으로 마련된 가압관(22)으로 질소(N2) 등의 불활성 가스를 주입하여 내부 압력을 상승시키면 저장용기(10)에 담긴 액상의 PI(2)는 공급관(30)과 디스펜스노즐(34)을 통해서 외부로 토출되고, 이어서 상호 연동되는 구동롤러 및 전사판에 의해 기판 표면으로 고르게 전사된다.
그러나 이 같은 일반적인 PI 공급은 몇 가지 문제점을 나타내는데, 대표적인 한 가지가 관리자의 부주의 내지는 운반 과정에서의 흔들림 등에 기인하여 저장용기(10)에 담긴 액상의 PI(2)에 기포가 발생될 경우 이를 제거할 수 있는 방법이 없고, 따라서 기포가 함유된 상태 그대로 기판에 전사되어 소성 및 러빙단계를 거쳐 최종 완성된 배향막에 여전히 기포 또는 이의 흔적이 남는 현상이다.
이 같은 현상은 액정표시장치 제조공정에서 흔히 관찰되지만 이로 인한 배향막의 결함은 액정표시장치의 신뢰성을 크게 위협하는 원인으로 작용되는 바, 액정분자의 초기 배열방향을 결정하는 배향막 고유의 역할을 감안하면 이 같은 기포 내지는 이의 흔적으로 인한 결함은 부분적으로 액정분자의 배열방향에 차이를 주어 화질저하로 직결되는 문제점이 있다.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 PI 등의 약액을 사용하는 액정표시장치의 제조공정에 있어서 상기 약액 내의 기포를 제거할 수 있는 구체적인 방도를 제시하여 보다 개선된 액정표시장치의 제조를 가능케 하는데 그 목적이 있다.
이를 위해 구체적으로는 기포제거수단이 부설된 버퍼탱크를 제공하는 바, 외부의 약액을 상기 버퍼탱크에 경유시켜 기포를 제거한 후 해당장비로 공급함으로서 보다 안정적인 액정표시장치의 제조공정을 구현하는데 그 목적이 있으며, 아울러 이와 같은 버퍼탱크를 이용한 액정표시장치의 약액 공급시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 내부로 소정의 저장공간을 정의하는 본체와; 외부의 약액이 공급되도록 상기 본체 외 측면에 구비된 유입관과; 상기 저장공간 내의 약액이 배출되도록 상기 유입관 보다 낮은 위치의 상기 본체 외 측면에 구비된 유출관과; 상기 본체 내에 부설되어 상기 유입관을 통해서 공급된 상기 약액으로부터 기포를 걸러내는 기포제거수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 약액의 기포제거를 위한 버퍼탱크를 제공한다.
이때 상기 약액은 상기 저장영역 내에서 상기 유입관 보다 높은 수위를 유지하는 것을 특징으로 하고, 상기 기포제거수단은 상기 유입관을 향하는 하단의 일 가장자리가 상기 유입관과 유출관 사이에서 상기 본체 내면과 일정거리를 두고 이격되고, 이로부터 비스듬하게 상승된 상단의 반대편 타 가장자리가 상기 수위 보다 높게 노출되도록 경사진 판 상의 필터플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
더불어 상기 필터플레이트는 양 측면이 각각 상기 본체의 서로 대향하는 내 측면으로 밀착되어 상기 본체를 가로지르는 것을 특징으로 하고, 상기 필터플레이트는 상기 일 가장자리로부터 타 가장자리로 갈수록 경사가 급해지도록 곡선형태로 구부러진 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 약액은 PI인 것을 특징으로 하고, 상기 본체 내부 압력을 높이기 위해 상기 수위보다 높은 본체 일측으로 구비되어 기체가 주입되는 기체주입구를 더욱 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명은 상술한 버퍼탱크를 구비한 액정표시장치용 약액 공급시스템으로서, 상기 약액을 저장 및 공급하는 약액공급부와; 일단이 상기 약액공급부에 연결되고 타단이 상기 버퍼탱크의 유입관에 연결되는 제 1 공급관과; 일단이 상기 버퍼탱크의 유출관에 연결되어 타단으로 상기 약액이 토출되는 제 2 공급관을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조용 약액 공급시스템을 제공한다.
이 경우 상기 약액공급부는 상기 약액이 충만되고 입구가 개방된 저장용기와; 상기 저장용기를 내부로 실장시키며 일측으로 가압관이 구비된 가압 컨테이너를 포함하여, 상기 제 1 공급관 일단은 상기 가압 컨테이너를 관통해서 상기 입구를 통해 상기 저장용기 내로 삽입된 것을 특징으로 한다.
그리고 이 경우 상기 제 1 공급관에 부설된 유압제어수단과; 상기 제 2 공급관 타단에 부설된 디스펜스노즐을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하고, 특히 상기 유압제어수단은 솔레노이드밸브인 것을 특징으로 하는 바, 이하 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다.
첨부된 도 2는 본 발명에 따른 액정표시장치 제조용 약액 공급시스템의 일례를 나타낸 도면으로서, 크게 액정표시장치 제조에 사용되는 소정의 약액을 저장하는 약액공급부(60) 그리고 상기 약액으로부터 기포를 제거하는 버퍼탱크(70)를 포함하며, 이 같은 약액을 해당 수요장비로 공급하기 위해서 약액공급부(60)와 버퍼탱크(70)를 연결하는 제 1 공급관(82) 그리고 버퍼탱크(70) 내의 약액을 외부로 토출시키기 위한 제 2 공급관(84)을 구비하고 있다.
따라서 약액공급부(60)에 저장된 약액은 제 1 공급관(82)을 통해서 버퍼탱크(70)로 공급되어 내부의 기포가 제거되고, 이 같이 기포가 제거된 약액은 제 2 공급관(84)을 통해서 외부로 토출되어 해당 수요장비로 공급된다.
이때 약액은 일례로 배향막 형성을 위한 액상의 PI일 수 있는데, 이는 통상 병과 같은 단위 저장용기(62)에 저장된 상태로 공급 및 사용됨을 감안하면 약액공급부(60)에는 내부 밀폐된 가압영역을 정의하는 가압컨테이너(66)가 포함될 수 있고, 액상의 PI(2)가 충만된 저장용기(62)는 입구가 개방된 상태로 그 내부로 실장된다.
그리고 제 1 공급관(82) 일단은 가압컨테이너(66) 일 측을 관통하여 저장용기(62) 입구를 통해서 그 내부로 삽입되며 타단은 버퍼탱크(70)에 연결되는데, 이 경우 바람직하게는 가압컨테이너(66)의 내부압력을 상승시킬 수 있도록 일측으로 가압관(68)이 구비될 수 있으며, 여기에 질소(N2) 등의 불활성 가스를 주입하면 가압컨테이너(66) 내부압력이 대기압 보다 상승하여 저장용기(62)에 담긴 액상 PI(2)가 제 1 공급관(82)을 통해서 버퍼탱크(70)로 공급된다.
이때 보다 원활한 약액 공급을 위하여 제 1 공급관(82)에는 별도의 유압제어수단(80)이 구비될 수 있는데, 이는 일례로 전자석(솔레노이드)의 흡인력을 이용하여 유체의 흐름 방향을 전환하는 솔레노이드밸브가 사용될 수 있다.
그리고 버퍼탱크(70)는 해당부분에서 보다 상세하게 설명하겠지만 내부로 소정의 저장공간을 정의하는 본체(72) 및 이의 외 측면으로부터 각각 분기된 유입관(74)과 유출관(76) 그리고 본체(72) 내부에 마련된 기포제거수단(90)을 포함하며, 이중 유입관(74)은 제 1 공급관(82) 타단에 연결되어 약액을 공급받고 본체(72) 내부의 기포제거수단(90)은 이 같은 약액 내의 기포를 제거하며 유출관(76)은 제 2 공급관(84) 일단에 연결되어 기포가 제거된 본체(72) 내부의 약액을 배출하게 된다.
또한 제 2 공급관(84)의 타단은 해당 수요장비로 연결되어 기포가 제거된 약액을 공급하며, 특히 앞서 설명에서와 같이 약액으로 액상의 PI(2)가 사용될 경우에는 제 2 공급관(84) 타단으로 디스펜스노즐(86)이 부설되어 배향막 형성을 위한 롤러를 향해 액상의 PI(2)를 토출시키게 된다.
한편, 앞서 구체적인 설명을 유보한 본 발명에 따른 버퍼탱크(70)에 대하여 분해사시도인 도 3과, 이의 기포제거 작용을 알기 쉽게 나타낸 단면구조도인 도 4를 함께 참조하여 설명한다.
보이는 바와 같이 본 발명에 따른 버퍼탱크(70)는 크게 내부로 소정의 저장공간을 정의하는 본체(72) 그리고 이의 외측면으로 구비되어 약액을 공급받는 유입관(74) 및 내부의 약액을 배출하는 유출관(76)을 포함하며, 본체(72) 내부로는 기포제거수단(90)이 구비되어 유입관(74)으로 공급된 약액 중 기포를 제거함은 앞서 잠시 언급한 바 있다.
이때 도시된 바와 같이 유입관(74)은 유출관(76) 보다 높은 위치를 점하고 본체(72) 내부로 공급된 약액은 유입관(74) 보다 높은 수위를 유지하는 것을 특징으로 하는 바, 이 경우 기포제거수단(90)은 유입관(74)을 향하는 하단의 일 가장자리가 유입관(74)과 유출관(76) 사이에서 본체(72) 내면과 일정거리를 두고 이격되며 이로부터 비스듬하게 상승된 상단의 반대편 타 가장자리가 약액 수위 보다 높게 노출되도록 경사진 판 형태의 필터플레이트(92)를 포함할 수 있다.
즉, 본 발명에 따른 버퍼탱크(70)의 본체(72) 내에 마련된 필터플레이트(92)는 유입관(74)으로부터 공급되는 약액 내에서 기포만을 걸러 제거하는 역할을 하는데, 이를 위하여 하단의 일 가장자리는 유입관(74) 보다 낮은 높이를 점하며 이의 반대편 상단의 타 가장자리는 약액 수위보다 높도록 비스듬하게 상승된 판 형태를 갖게 된다.
이에 유입관(74)으로부터 공급되어진 약액 중 상대적으로 무게가 가벼운 기포성분(a)은 필터플레이트(92)를 따라 상승되는 반면 그 외의 액체성분(b)은 하중에 의해 하방으로 이동되며, 이중 액체성분(b) 만을 수집할 수 있도록 필터플레이트(92)의 일 가장자리는 이와 대면되는 유입관(74) 방향의 본체(72) 내면과 일정거리를 두고 이격되는 것이다.
이때 약액흐름에 편승된 기포성분(a)이 필터플레이트(92)로부터 빠져나가지 못하도록 상기 필터플레이트(92)의 하단 일 가장자리는 유출관(76) 보다 높아야하고 상단 타 가장자리는 약액 수면 위로 상승되어야 하며 양 측면은 각각 본체(72)의 서로 대향하는 내 측면을 따라 밀착되는 것이 바람직하다.
따라서 필터플레이트(92)는 본체(72) 내부를 가로지르고 있다.
더불어 유입관(74)과 유출관(76)은 서로 가급적 멀리 떨어지는 것이 혹시 발생될지 모르는 기포의 유출을 방지할 수 있어 유리한데, 이를 위해 나타낸 바와 같이 유입관(74)과 유출관(76)은 각각 본체(72) 외측의 서로 반대방향을 향한 상태에서 유입관(74)은 약액 수위보다 낮은 상단으로 치우치고 유출관(76)은 이보다 낮은 하단으로 치우치는 것이 바람직하다.
더불어 필터플레이트(92)는 유입관(74)을 향하는 일 가장자리로부터 반대편의 타 가장자리로 갈수록 경사가 급해지도록 곡선형태로 구부러진 형태를 갖는 것이 기포성분(a)의 포집에 유리하며, 이 같은 구성의 필터플레이트(92)에 의해 유입관(74)으로부터 공급되는 약액 내의 기포성분(a)과 액체성분(b)은 상하로 서로 분리되어 이중 액체성분(b)만이 유출관(76)을 통해서 외부로 토출될 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명에 따른 버퍼탱크(70)를 구비한 약액 공급시스템의 구체적인 동작관계를 전술한 도 2 내지 도 4를 함께 참조하여 정리한다.
먼저 일측에 가압관(68)이 형성된 가압컨테이너(66)로 액상의 PI(2)와 같은 약액이 충만된 저장용기(62)를 넣는다. 이때 저장용기(62) 입구는 개방된 상태이다.
이어서 제 1 공급관(82) 일단을 가압컨테이터(66) 일측으로부터 관통 삽입시켜 저장용기(62) 입구를 통해서 약액에 잠기도록 하며, 이 경우 제 1 공급관(82)에는 솔레노이드밸브와 같은 유압제어수단(80)이 부설된 상태로 타단은 버퍼탱크(70) 유입관(74)에 연결된 상태이다.
그리고 버퍼탱크(70)의 유출관(76)에는 제 2 공급관(84) 일단이 연결되고 이 같은 제 2 공급관(84) 타단에는 디스펜스노즐(86)이 부설되어 롤러 등의 배향막 형상을 위한 수요장비로 도달되는 바, 가압컨테이너(66) 일 측의 가압관(68)으로 질소(N2) 등의 불활성 가스를 주입하여 내부 압력을 상승시키면 저장용기(62) 내의 액상 PI(2)는 제 1 공급관(82)을 통해서 버퍼탱크(70)로 공급된다.
또한 제 1 공급관(82)을 통해서 버퍼탱크(70)로 공급된 액상의 PI(2)는 본체(72) 내부의 필터플레이트(92)에 의해 기포성분(a)과 액체성분(b)이 상하로 분리되며, 이중 액체성분(b) 만이 유출관(76)으로 배출되어 제 2 공급관(84)을 통해 디스펜스노즐(86)로 토출된다.
이 경우 미설명부호 78은 약액 수위보다 높은 본체(72) 일측으로 구비된 기체주입구를 나타낸 것으로, 이는 가압컨테이너(66)의 가압관(68)과 마찬가지로 버퍼탱크(70) 내부 압력을 높일 수 있도록 질소(N2) 등의 불활성 가스가 공급 주입되는 부분이다. 이를 통해서 버퍼탱크(70)의 본체(72) 내부 압력을 상승시켜 액체성분(b)의 원활한 배출을 도울 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 기술하였으나 이는 어디까지나 예시에 불과한 것으로 본 발명의 정신을 훼손하지 않는 범위 내에서 다양한 변형과 변경이 가능하다. 그러나, 그와 같은 변형과 변경은 본 발명의 권리범위에 속한다는 사실은 이하의 청구 범위를 통하여 보다 분명해질 것이다.
상술한 설명과 같은 본 발명에 따른 버퍼탱크 및 이를 이용한 액정표시장치용 약액공급시스템은 약액 내의 기포를 제거할 수 있어 이를 이용하는 액정표시장치의 제조공정 신뢰도를 향상시키는 잇점이 있다. 구체적인 일례로 PI 등을 기판 일면에 균일하게 인쇄하는 배향막 형성공정에 적용될 경우에 기포가 제거된 PI를 이용할 수 있으므로 보다 균일하고 질 높은 배향막을 얻을 수 있고, 그 결과 보다 개선된 화질의 액정표시장치를 구현할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 일반적인 액정표시장치 제조용 약액공급에 대한 간략한 시스템도.
도 2는 본 발명에 따른 버퍼탱크를 이용한 액정표시장치 제조용 약액공급에 대한 간략한 시스템도.
도 3은 본 발명에 따른 버퍼탱크에 대한 분해사시도.
도 4는 본 발명에 따른 버퍼탱크의 기포제거 작용을 나타낸 단면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
2 : 액상의 PI 60 : 약액공급부
62 : 저장용기 66 : 가압컨테이터
68 : 가압관 70 : 버퍼탱크
72 : 본체 74 : 유입관
76 : 유출관 78 : 기체유입관
80 : 유압제어수단 82 : 제 1 공급관
84 : 제 2 공급관 86 : 디스펜스노즐
90 : 기포제거수단 92 : 필터플레이트

Claims (11)

  1. 내부로 소정의 저장공간을 정의하는 본체와;
    외부의 약액이 공급되도록 상기 본체 외 측면에 구비된 유입관과;
    상기 저장공간 내의 약액이 배출되도록 상기 유입관 보다 낮은 위치의 상기 본체 외 측면에 구비된 유출관과;
    상기 본체 내에 부설되어 상기 유입관을 통해서 공급된 상기 약액으로부터 기포를 걸러내는 기포제거수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 약액의 기포제거를 위한 버퍼탱크.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 약액은 상기 저장영역 내에서 상기 유입관 보다 높은 수위를 유지하는 것을 특징으로 하는 약액의 기포제거를 위한 버퍼탱크.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 기포제거수단은 상기 유입관을 향하는 하단의 일 가장자리가 상기 유입관과 유출관 사이에서 상기 본체 내면과 일정거리를 두고 이격되고, 이로부터 비스듬하게 상승된 상단의 반대편 타 가장자리가 상기 수위 보다 높게 노출되도록 경사진 판 상의 필터플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액의 기포제거를 위한 버퍼탱크.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 필터플레이트는 양 측면이 각각 상기 본체의 서로 대향하는 내 측면으로 밀착되어 상기 본체를 가로지르는 것을 특징으로 하는 약액의 기포제거를 위한 버퍼탱크.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 필터플레이트는 상기 일 가장자리로부터 타 가장자리로 갈수록 경사가 급해지도록 곡선형태로 구부러진 것을 특징으로 하는 약액의 기포제거를 위한 버퍼탱크.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 약액은 PI인 것을 특징으로 하는 약액의 기포제거를 위한 버퍼탱크.
  7. 제 2항에 있어서,
    상기 본체 내부 압력을 높이기 위해 상기 수위보다 높은 본체 일측으로 구비되어 기체가 주입되는 기체주입구를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 약액의 기포제거를 위한 버퍼탱크.
  8. 제 1항 내지 7항 중 어느 하나의 선택된 항의 기재에 따른 버퍼탱크를 구비한 액정표시장치용 약액 공급시스템으로서,
    상기 약액을 저장 및 공급하는 약액공급부와;
    일단이 상기 약액공급부에 연결되고 타단이 상기 버퍼탱크의 유입관에 연결되는 제 1 공급관과;
    일단이 상기 버퍼탱크의 유출관에 연결되어 타단으로 상기 약액이 토출되는 제 2 공급관을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조용 약액 공급시스템.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 약액공급부는 상기 약액이 충만되고 입구가 개방된 저장용기와;
    상기 저장용기를 내부로 실장시키며 일측으로 가압관이 구비된 가압 컨테이너를 포함하여, 상기 제 1 공급관 일단은 상기 가압 컨테이너를 관통해서 상기 입구를 통해 상기 저장용기 내로 삽입된 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조용 약액 공급시스템.
  10. 제 8항에 있어서,
    상기 제 1 공급관에 부설된 유압제어수단과;
    상기 제 2 공급관 타단에 부설된 디스펜스노즐을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조용 약액 공급시스템.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 유압제어수단은 솔레노이드밸브인 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조용 약액 공급시스템.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100043701A1 (en) * 2008-08-21 2010-02-25 United Microelectronics Corp. Buffer apparatus and thin film deposition system
KR101374298B1 (ko) * 2010-07-29 2014-03-14 세메스 주식회사 기판 처리 장치
KR102289467B1 (ko) * 2021-02-08 2021-08-11 원종호 약품 저장용 드럼의 체크밸브 유닛

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100043701A1 (en) * 2008-08-21 2010-02-25 United Microelectronics Corp. Buffer apparatus and thin film deposition system
US8328938B2 (en) * 2008-08-21 2012-12-11 United Microelectronics Corp. Buffer apparatus and thin film deposition system
KR101374298B1 (ko) * 2010-07-29 2014-03-14 세메스 주식회사 기판 처리 장치
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