KR20050115637A

KR20050115637A - Interlock system of semiconductor manufacturing apparatus and method for interlocking thereby

Info

Publication number: KR20050115637A
Application number: KR1020040040833A
Authority: KR
Inventors: 양영남
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2004-06-04
Filing date: 2004-06-04
Publication date: 2005-12-08

Abstract

본 발명은 반도체 제조장비의 인터락(interlock) 시스템 및 이를 이용한 인터락 방법에 관한 것으로, 반도체 제조장비의 오동작(誤動作)을 감지하는 감지부와, 기설정(旣設定)된 설정범위와 그 오동작으로 인한 공정 신호를 비교하여 오동작 여부를 판단하는 제1제어부와, 반도체 제조장비의 오동작 횟수가 지정되는 카운터부(counter部)와, 카운터부로부터 오동작 횟수를 분석하여 기설정된 설정값보다 더 큰 경우에 반도체 제조장비의 가동을 중단시키는 제2제어부를 포함하는 구성 및 이러한 구성으로 인터락이 작동되는 방법을 특징으로 한다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an interlock system of a semiconductor manufacturing equipment and an interlocking method using the same. Comparing the process signal resulting from the first control unit to determine whether there is a malfunction, a counter unit to which the number of malfunctions of the semiconductor manufacturing equipment is designated, and the number of malfunctions from the counter unit are analyzed and larger than a preset value. And a second control unit for stopping the operation of the semiconductor manufacturing equipment.

이에 따라 제1제어부에 의해 사소한 공정 오류의 경우까지도 오동작 판정이 남발되어도 그 오동작이 소정 횟수 이상 반복되는 치명적인 공정 오류인 경우에만 제2제어부에 의해 인터락이 작동되므로 반도체 제조공정의 생산 효율이 향상되고 공정 오류에 의한 대형사고가 미연에 적절히 방지된다. As a result, the interlock is operated by the second controller only when the malfunction is repeated even a small number of process errors by the first controller, but only when the malfunction is a fatal process error that is repeated a predetermined number of times, thereby improving the production efficiency of the semiconductor manufacturing process. Large-scale accidents due to process errors are appropriately prevented.

Description

Interlock system of semiconductor manufacturing equipment and interlock method using same {Interlock system of semiconductor manufacturing apparatus and method for interlocking hence}

본 발명은 반도체 제조공정에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 반도체 제조장비의 인터락 시스템 및 이를 이용한 인터락 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a semiconductor manufacturing process, and more particularly to an interlock system of a semiconductor manufacturing equipment and an interlock method using the same.

일반적으로 반도체 제조장비에는 반도체 제조공정중 발생한 오동작을 감지하여 반도체 제조장비의 동작을 강제로 중단시키는 인터락 시스템이 구비되어 있다. 반도체 제조공정에서는 고전압을 이용하거나 인체에 해로운 유독가스 등을 사용하는 것이 통상적이기 때문에 반도체 제조장비가 오동작되는 경우 반도체 소자의 불량발생은 물론이거니와 인명·재산의 손실이 초래되는 큰 사고가 발생할 수도 있다. 따라서 대부분의 반도체 제조장비는 인터락 시스템이 가동된 상태로 반도체 제조공정을 수행한다. In general, the semiconductor manufacturing equipment is provided with an interlock system for detecting a malfunction occurring during the semiconductor manufacturing process to forcibly stop the operation of the semiconductor manufacturing equipment. In the semiconductor manufacturing process, it is common to use high voltage or toxic gas that is harmful to human body. If the semiconductor manufacturing equipment malfunctions, not only the semiconductor device may be defective, but also a great accident may result in loss of life and property. . Therefore, most semiconductor manufacturing equipment performs the semiconductor manufacturing process with the interlock system operating.

도 1은 종래의 인터락 시스템이 구비된 반도체 제조장비를 개략적으로 나타낸 개념도이다. 1 is a conceptual diagram schematically showing a semiconductor manufacturing apparatus equipped with a conventional interlock system.

도 1에서 도시된 바와 같이, 반도체 제조장비(1)는 장비본체(2)와 인터락 시스템(10)을 포함한다. 인터락 시스템(10)은 반도체 제조장비(1)내에 내장된 일종의 콘트롤러(controller)로서 감지부(11) 및 제어부(12)를 포함한다. As shown in FIG. 1, the semiconductor manufacturing equipment 1 includes an equipment body 2 and an interlock system 10. The interlock system 10 is a kind of controller embedded in the semiconductor manufacturing equipment 1, and includes a detector 11 and a controller 12.

도 2는 종래 반도체 제조장비의 인터락 시스템을 이용한 인터락 방법을 나타낸 흐름도이다. 이하에서는 도 1 및 도 2를 참조하여 종래 반도체 제조장비의 인터락 시스템의 작동방법을 설명한다. 2 is a flowchart illustrating an interlock method using an interlock system of a conventional semiconductor manufacturing apparatus. Hereinafter, a method of operating an interlock system of a conventional semiconductor manufacturing apparatus will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

먼저 반도체 제조장비(1)를 가동시킨다(S11단계). 다음으로, 감지부(11)가 장비본체(2)의 오동작으로 인한 이상 징후를 감지하여 제어부(12)로 제1신호(E1)를 출력한다(S12단계). 다음으로 제어부(12)에서 제1신호(E1)와 정상신호로 기설정된 설정범위를 비교한다(S13단계). 이때 제1신호(E1)가 설정범위내인 경우에는 설비가 계속 가동된다(S14단계). 그러나 제1신호(E1)가 설정범위를 벗어나는 경우에는 제2신호(E2)를 장비본체(2)로 출력하여 장비본체(2)의 가동이 중단되도록 한다(S15단계). 이후로는 반도체 제조장비(1)의 가동이 중단된 것을 인지한 작업자가 장비를 점검한 후 작업자가 직접 오동작 문제의 경중(輕重)을 판단하여 반도체 제조장비(1)를 재가동 시키는 등의 방법을 강구한다.First, the semiconductor manufacturing equipment 1 is operated (step S11). Next, the sensing unit 11 detects an abnormal indication due to a malfunction of the equipment main body 2 and outputs the first signal E1 to the control unit 12 (step S12). Next, the control unit 12 compares the first signal E1 with a preset range set as the normal signal (S13). At this time, if the first signal E1 is within the set range, the equipment continues to operate (step S14). However, when the first signal E1 is out of the setting range, the second signal E2 is output to the equipment main body 2 so that the operation of the equipment main body 2 is stopped (step S15). After that, a worker who checks that the operation of the semiconductor manufacturing equipment 1 has been stopped and inspects the equipment, and the worker directly judges the weight of the malfunction problem and restarts the semiconductor manufacturing equipment 1, etc. Take a look.

일반적으로 반도체 소자를 제조하는데는 무수한 공정이 요구되고 이러한 각각의 공정 내에서도 무수한 공정 파라미터(process parameter)가 존재한다. 따라서 무수한 공정 파라미터 중에서 어느 하나가 문제되어 반도체 제조장비에 이상 징후가 발생될 가능성이 매우 높으며 전술한 종래 인터락 시스템 및 그 작동방법에 의해서 이러한 이상 징후가 자주 감지되면 인터락 시스템에 의해 반도체 제조장비가 자주 중단되게 된다. In general, a number of processes are required to manufacture a semiconductor device, and there are countless process parameters within each of these processes. Therefore, any one of a myriad of process parameters is very likely to cause abnormal signs in the semiconductor manufacturing equipment. If such abnormal signs are frequently detected by the above-described conventional interlock system and its operation method, the semiconductor manufacturing equipment is interlocked by the interlock system. Will often be interrupted.

그러나 사소한 문제로도 장비중단이 빈번하여 작업자가 타성에 젖어 장비점검없이 그대로 반도체 제조장비를 재가동시키는 경우가 허다하다. 이 경우 장비중단 요인이 중대한 경우에도 그 반도체 제조장비를 재가동 시킨다면 심각한 대형사고가 초래되는 문제점이 있다. However, even with minor problems, the equipment is frequently interrupted and the worker is inertia, so the semiconductor manufacturing equipment is restarted without any inspection. In this case, even if the equipment interruption factor is serious, if the semiconductor manufacturing equipment is restarted, there is a problem that a serious accident occurs.

따라서 본 발명은 작업자 등의 인위적 조작없이 시스템 내부의 작동에 의해 반도체 제조공정중의 오동작 상태에 대한 경중(輕重)을 판단하여 반도체 제조장비를 진행 또는 중단시키도록 하는 반도체 제조장비의 인터락 시스템과 이를 이용한 인터락 방법을 제공하는데 목적이 있다. Therefore, the present invention provides an interlock system of semiconductor manufacturing equipment for judging the weight of a malfunctioning state in a semiconductor manufacturing process by operating inside a system without an artificial manipulation of an operator or the like. The purpose is to provide an interlock method using the same.

본 발명에 따른 반도체 제조장비의 인터락 시스템은, 반도체 제조장비의 오동작(誤動作)을 감지하여 제1신호를 출력하는 감지부; 그 제1신호를 입력받아 기설정(旣設定)된 제1설정범위와 그 제1신호의 제1신호값을 비교하여 그 제1신호값이 그 제1설정범위를 벗어나는 경우에 제2신호를 출력하는 제1제어부; 그 제2신호의 입력횟수가 지정되는 카운터부(counter部); 및 그 카운터부로부터 그 제2신호의 입력횟수를 분석하여 그 제2신호의 입력횟수가 기설정된 설정값보다 더 큰 경우에 그 반도체 제조장비의 가동을 중단시키는 제4신호를 출력하는 제2제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.The interlock system of the semiconductor manufacturing equipment according to the present invention, the sensing unit for detecting a malfunction of the semiconductor manufacturing equipment and outputs a first signal; The first signal is input and the predetermined first setting range is compared with the first signal value of the first signal. When the first signal value is out of the first setting range, the second signal is received. A first control unit for outputting; A counter unit for specifying an input frequency of the second signal; And a second controller for analyzing the number of times of input of the second signal from the counter and outputting a fourth signal for stopping operation of the semiconductor manufacturing equipment when the number of times of input of the second signal is larger than a predetermined set value. It characterized by including.

본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 그 제1신호를 입력받아 그 제1설정범위보다 더 폭 넓게 완화된 제2설정범위와 그 제1신호값을 비교하여 그 제1신호값이 그 제2설정범위를 벗어나는 경우에 그 반도체 제조장비의 가동을 중단시키는 제5신호를 출력하는 제3제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.According to a preferred embodiment of the present invention, the first signal value is received and the first signal value is compared with the second setting range relaxed more broadly than the first setting range, and the first signal value is set as the second signal value. And a third controller for outputting a fifth signal for stopping the operation of the semiconductor manufacturing equipment when it is out of range.

본 발명에 따른 반도체 제조장비의 인터락 시스템을 이용한 인터락 방법은, 반도체 제조장비가 가동되는 단계; 그 반도체 제조장비의 오동작 횟수에 대한 오동작 횟수 데이터를 초기화하는 단계; 그 반도체 제조장비의 오동작을 감지하여 제1신호를 출력하는 단계; 그 제1신호의 제1신호값과 기설정된 제1설정범위를 비교하는 단계; 그 제1신호값이 그 제1설정범위를 벗어나는 경우에 그 오동작 횟수 데이터에서의 오동작 횟수를 증가시키고 기설정된 설정값을 그 증가된 오동작 횟수와 비교하는 단계; 및 그 오동작 횟수가 그 제2설정값보다 더 큰 경우에 그 반도체 제조장비의 가동을 중단시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다. An interlock method using an interlock system of a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention includes the steps of operating the semiconductor manufacturing equipment; Initializing malfunction count data with respect to the malfunction count of the semiconductor manufacturing equipment; Detecting a malfunction of the semiconductor manufacturing equipment and outputting a first signal; Comparing a first signal value of the first signal with a preset first setting range; Increasing the number of malfunctions in the malfunction count data when the first signal value is out of the first set range and comparing the preset setting value with the increased number of malfunctions; And stopping the operation of the semiconductor manufacturing equipment when the number of malfunctions is greater than the second set value.

본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 그 제1설정범위보다 더 폭넓게 완화된 제2설정범위와 그 제1신호값을 비교하여 그 제1신호값이 그 제2설정범위를 벗어나는 경우에 그 반도체 제조장비의 가동을 중단시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.According to a preferred embodiment of the present invention, the semiconductor manufacturing is performed when the first signal value is out of the second setting range by comparing the first signal value with the second setting range relaxed more broadly than the first setting range. It further comprises the step of stopping the operation of the equipment.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 제조장비의 인터락 시스템을 자세하게 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the interlock system of the semiconductor manufacturing equipment according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 인터락 시스템이 구비된 반도체 제조장비를 개략적으로 나타낸 개념도이다. 3 is a conceptual diagram schematically showing a semiconductor manufacturing apparatus equipped with an interlock system according to the present invention.

도 3에서 도시된 바와 같이, 반도체 제조장비(3)는 장비본체(2)와 인터락 시스템(20)을 포함한다. 인터락 시스템(20)은 반도체 제조장비(3)내에 내장된 일종의 콘트롤러(controller)로서 감지부(21), 제1제어부(22), 카운터부(23), 제2제어부(24), 제3제어부(25)를 포함한다. As shown in FIG. 3, the semiconductor manufacturing equipment 3 includes an equipment body 2 and an interlock system 20. The interlock system 20 is a kind of controller embedded in the semiconductor manufacturing equipment 3, and includes a detector 21, a first controller 22, a counter 23, a second controller 24, and a third controller. The control unit 25 is included.

감지부(21)는 장비본체(2)의 오동작을 감지하여 제1신호(F1)를 출력한다. The detector 21 detects a malfunction of the equipment main body 2 and outputs a first signal F1.

제1제어부(22)는 제1신호(F1)를 입력받아 기설정된 제1설정범위와 제1신호(F1)의 제1신호값을 비교하여 그 제1신호값이 그 제1설정범위를 벗어나는 경우에 제2신호(F2)를 출력한다. 여기서 제1설정범위는 반도체 제조장비(3)의 정상동작을 나타내는 신호 범위에 해당한다. 즉, 제1설정범위는 반도체 제조장비(3)의 정상동작을 보증하는 허용범위를 말한다. The first controller 22 receives the first signal F1 and compares the preset first setting range with the first signal value of the first signal F1 so that the first signal value is out of the first setting range. In this case, the second signal F2 is output. Here, the first setting range corresponds to a signal range indicating normal operation of the semiconductor manufacturing equipment 3. That is, the first setting range refers to an allowable range that guarantees the normal operation of the semiconductor manufacturing equipment 3.

카운터부(23)에는 제2신호(F2)의 입력횟수가 지정된다. 바람직하게는 카운터부(23)가 제2신호(F2)를 입력받아 제2신호(F2)의 입력횟수에 대한 데이터를 나타내는 오동작 횟수 데이터를 저장한다. The counter unit 23 designates the number of times of input of the second signal F2. Preferably, the counter unit 23 receives the second signal F2 and stores the malfunction count data indicating the data on the number of times the second signal F2 is input.

제2제어부(24)는 카운터부(23)로부터 전술한 오동작 횟수 데이터를 분석하여 장비본체(2)의 오동작 횟수가 기설정된 설정값보다 더 큰 경우에 반도체 제조장비(3)의 가동을 중단시키는 제4신호(F4)를 출력한다. 여기서 전술한 설정값은 반도체 제조장비(3)의 오동작이 반복되어도 정상상태로 용인될 수 있는 허용범위의 최대 횟수를 나타낸다. 앞서 제1신호값이 제1설정범위를 벗어나는 경우에는 반도체 제조장비(3)의 오동작으로 판명되는데 이때 바로 종래와 같이 반도체 제조장비(3)의 가동을 중단시키면 사소한 공정 오류의 경우에까지 오동작이 남발되는 문제가 있으므로, 전술한 설정값보다 더 큰 횟수의 오동작이 반복되는 치명적인 경우에만 반도체 제조장비(3)의 가동을 중단시킬 수 있도록 하기 위해서 제2제어부(24)가 필요하게 된다. 결국 제2제어부(24)는 반도체 제조장비(3)의 오동작 상태에 대한 경중(輕重)을 판단하는 역할을 한다. The second controller 24 analyzes the above-described malfunction count data from the counter 23 to stop the operation of the semiconductor manufacturing equipment 3 when the malfunction count of the equipment main body 2 is larger than a preset value. The fourth signal F4 is output. Herein, the above-described set value indicates the maximum number of allowable ranges that can be tolerated to a normal state even if the malfunction of the semiconductor manufacturing equipment 3 is repeated. If the first signal value is out of the first setting range, the semiconductor manufacturing equipment 3 turns out to be malfunctioning. At this time, if the operation of the semiconductor manufacturing equipment 3 is stopped as in the prior art, the malfunction may occur until a minor process error occurs. Since there is a problem, the second control unit 24 is required to stop the operation of the semiconductor manufacturing equipment 3 only in the event of a fatal error in which the number of malfunctions larger than the set value is repeated. As a result, the second control unit 24 serves to determine the weight of the malfunction state of the semiconductor manufacturing equipment 3.

제3제어부(25)는 제1신호(F1)를 입력받아 전술한 제1설정범위보다 더 폭 넓게 완화된 제2설정범위와 전술한 제1신호값을 비교하여 그 제1신호값이 그 제2설정범위를 벗어나는 경우에 반도체 제조장비(3)의 가동을 중단시키는 제5신호(F5)를 출력한다. 여기서의 제2설정범위는 반도체 제조장비(3)의 오동작에는 해당되지만 치명적인 경우까지는 이르지 아니한 허용 범위를 말한다. 따라서, 제3제어부(25)는 치명적인 오동작인 경우에 반도체 제조장비(3)의 가동을 중단시키는 역할을 한다. 제2제어부(24)와 마찬가지로 제3제어부(25)도 반도체 제조장비(3)의 오동작 상태에 대한 경중(輕重)을 판단하는 역할을 한다. 제3제어부(25)는 본 발명에서 반드시 설치되어야 하는 것은 아니며 제2제어부(24)와 별개로 반도체 제조장비(3)에 설치될 수도 있다. The third control unit 25 receives the first signal F1 and compares the first signal value with the second setting range relaxed more broadly than the first setting range. When the second setting range is out of range, the fifth signal F5 for stopping the operation of the semiconductor manufacturing equipment 3 is output. The second setting range herein refers to an allowable range that corresponds to a malfunction of the semiconductor manufacturing equipment 3 but is not reached until a fatal case. Therefore, the third control unit 25 serves to stop the operation of the semiconductor manufacturing equipment 3 in the case of fatal malfunction. Like the second control unit 24, the third control unit 25 also serves to determine the light weight of the malfunction state of the semiconductor manufacturing equipment 3. The third controller 25 is not necessarily installed in the present invention, and may be installed in the semiconductor manufacturing equipment 3 separately from the second controller 24.

도 4는 본 발명에 따른 반도체 제조장비의 인터락 시스템을 이용한 인터락 방법을 나타낸 흐름도이다. 이하에서는 도 3 및 도 4를 참조하여 본 발명에 따른 반도체 제조장비의 인터락 시스템을 이용한 인터락 방법을 설명한다. 4 is a flowchart illustrating an interlock method using an interlock system of a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention. Hereinafter, an interlock method using an interlock system of a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS. 3 and 4.

먼저 반도체 제조장비(3)가 가동된다(S21단계). 이때 반도체 제조장비(3)의 오동작 횟수에 대한 오동작 횟수 데이터를 초기화하여 카운터부(23)에 그 횟수값을 지정한다(예로서, n=0 으로 지정함). First, the semiconductor manufacturing equipment 3 is operated (step S21). At this time, the malfunction count data for the malfunction count of the semiconductor manufacturing equipment 3 is initialized and the count value is assigned to the counter unit 23 (for example, n = 0).

다음으로 감지부(21)가 반도체 제조장비(3)의 오동작을 감지하여 제1신호(F1)를 출력한다(S22단계). Next, the detection unit 21 detects a malfunction of the semiconductor manufacturing equipment 3 and outputs a first signal F1 (step S22).

다음으로 제1제어부(22)가 제1신호(F1)의 제1신호값과 기설정된 제1설정범위를 비교한다(S23단계). Next, the first controller 22 compares the first signal value of the first signal F1 with the preset first setting range (S23).

이때 그 제1신호값이 그 제1설정범위내인 경우에는 반도체 제조장비(3)가 계속 가동된다(S24단계). At this time, when the first signal value is within the first setting range, the semiconductor manufacturing equipment 3 continues to operate (step S24).

그러나 그 제1신호값이 그 제1설정범위를 벗어나는 경우에는 전술한 오동작 횟수 데이터에서의 오동작 횟수를 증가시켜 카운터부(23)에 지정하고(S25단계)(예로서, n=n+1 로 지정함), 기설정된 설정값을 증가된 오동작 횟수와 비교한다(S26단계). 이때 전술한 비교와는 별개로 그 제1설정범위보다 더 폭넓게 완화된 제2설정범위와 그 제1신호값을 비교할 수도 있다. 제2설정범위에 대해서는 앞서 도 3에서 자세히 설명하였으므로 생략한다. 여기서 기설정된 설정값으로서 3을 지정한다. However, if the first signal value is out of the first setting range, the number of malfunctions in the above-described malfunction count data is increased and assigned to the counter unit 23 (step S25) (for example, n = n + 1). Designation), and compares the preset value with the increased number of malfunctions (step S26). In this case, the first signal value may be compared with the second set range relaxed more broadly than the first set range separately from the above comparison. Since the second setting range has been described in detail with reference to FIG. 3, it will be omitted. 3 is specified here as a preset setting value.

다음으로 전술한 오동작 횟수가 그 설정값보다 더 큰 경우에 반도체 제조장비(3)의 가동을 중단시킨다. 즉 오동작 횟수가 3보다 큰 경우에는 반도체 제조장비(3)의 가동이 중단된다(S27단계). 이때 전술한 조건과는 선택적으로 그 제2설정범위와 그 제1신호값을 비교하여 그 제1신호값이 그 제2설정범위를 벗어나는 경우에 반도체 제조장비(3)의 가동을 중단시킬 수도 있다. Next, the operation of the semiconductor manufacturing equipment 3 is stopped when the aforementioned number of malfunctions is larger than the set value. That is, when the number of malfunctions is greater than 3, the operation of the semiconductor manufacturing equipment 3 is stopped (step S27). In this case, the second condition may be selectively compared with the first signal value and the operation of the semiconductor manufacturing equipment 3 may be stopped when the first signal value is out of the second setting range. .

본 발명에 따른 반도체 제조장비의 인터락 시스템 및 이를 이용한 인터락 방법은 제1제어부에 의해 사소한 공정 오류의 경우까지도 오동작 판정이 남발되어도 그 오동작이 소정 횟수 이상 반복되거나 공정의 안정범위를 크게 벗어나는 치명적인 공정 오류인 경우에만 각각 제2 및 제3제어부에 의해 인터락이 작동되므로 반도체 제조공정의 생산 효율이 향상되고 공정 오류에 의한 대형사고가 미연에 적절히 방지되는 이점이 있다.The interlock system of the semiconductor manufacturing equipment and the interlock method using the same according to the present invention are fatal in that the malfunction is repeated more than a predetermined number of times or greatly out of the stability range of the process even when a malfunction is determined even by the first controller. Since the interlock is operated by the second and third controllers only in the case of a process error, the production efficiency of the semiconductor manufacturing process is improved and a large accident due to the process error is prevented in advance.

이상, 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다. 오히려, 첨부된 특허청구범위의 사상 및 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다양한 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 그러한 모든 적절한 변경과 수정 및 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다. As mentioned above, although the preferred embodiment for illustrating the principle of this invention was shown and demonstrated, this invention is not limited to the structure and operation as it was shown and described. Rather, those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made to the present invention without departing from the spirit and scope of the appended claims. Accordingly, all such suitable changes, modifications, and equivalents should be considered to be within the scope of the present invention.

도 2는 종래 반도체 제조장비의 인터락 시스템을 이용한 인터락 방법을 나타낸 흐름도이다. 2 is a flowchart illustrating an interlock method using an interlock system of a conventional semiconductor manufacturing apparatus.

도 4는 본 발명에 따른 반도체 제조장비의 인터락 시스템을 이용한 인터락 방법을 나타낸 흐름도이다. 4 is a flowchart illustrating an interlock method using an interlock system of a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

3: 반도체 제조장비 2: 장비본체3: semiconductor manufacturing equipment 2: equipment body

20: 인터락 시스템 21: 감지부20: interlock system 21: detector

22: 제1제어부 23: 카운터부22: first control unit 23: counter unit

24: 제2제어부 25: 제3제어부24: second control unit 25: third control unit

Claims

A detector for detecting a malfunction of the semiconductor manufacturing equipment and outputting a first signal;

The second signal is received when the first signal value is out of the first setting range by comparing the first signal with a predetermined first setting range with the first signal. A first control unit for outputting;

A counter unit for specifying an input frequency of the second signal; And

A second controller configured to analyze the number of times of input of the second signal from the counter and output a fourth signal for stopping operation of the semiconductor manufacturing equipment when the number of times of input of the second signal is greater than a preset value;

Interlock system of the semiconductor manufacturing equipment comprising a.

The method of claim 1,

The semiconductor manufacturing equipment when the first signal value is out of the second setting range by comparing the first signal value with a second setting range relaxed more broadly than the first setting range by receiving the first signal. And a third controller for outputting a fifth signal for stopping operation of the semiconductor manufacturing equipment.

Operating the semiconductor manufacturing equipment;

Initializing malfunction count data with respect to the malfunction count of the semiconductor manufacturing equipment;

Detecting a malfunction of the semiconductor manufacturing equipment and outputting a first signal;

Comparing a first signal value of the first signal with a preset first setting range;

Increasing the number of malfunctions in the malfunction count data when the first signal value is out of the first setting range and comparing a preset set value with the increased number of malfunctions; And

Stopping the operation of the semiconductor manufacturing equipment when the number of malfunctions is greater than the second set value;

Interlock method using an interlock system of the semiconductor manufacturing equipment comprising a.

The method of claim 3, wherein

Comparing the first signal value with the second setting range relaxed more broadly than the first setting range, and stopping the operation of the semiconductor manufacturing equipment when the first signal value is out of the second setting range. Interlock method using an interlock system of the semiconductor manufacturing equipment comprising a.