KR20050108924A - Lcd with color-filter on tft and method of fabricating of the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 어레이기판에 컬러필터가 구성된 COT구조의 액정표시장치에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display device, and a liquid crystal display device having a COT structure in which a color filter is formed on an array substrate.

특히, 리페어 기능을 동시에 갖는 금속 재질의 블랙매트릭스를 포함하는 COT구조 액정표시장치와 그 제조방법에 관한 것이다.In particular, the present invention relates to a COT structure liquid crystal display device including a black matrix made of a metal having a repair function and a manufacturing method thereof.

본 발명에 따른 액정표시장치용 어레이기판은 데이터 배선 및 게이트 배선과 박막트랜지스터에 대응하여 금속재질의 블랙매트릭스를 구성하되, 데이터 배선의 상부에 위치한 블랙매트릭스는 데이터 배선과 접촉되도록 구성하고, 상기 게이트 배선의 상부에 위치하는 블랙매트릭스는 게이트 배선과 접촉되도록 구성한다.The array substrate for a liquid crystal display device according to the present invention constitutes a black matrix made of a metal material corresponding to the data line, the gate line and the thin film transistor, and the black matrix located above the data line is configured to be in contact with the data line. The black matrix located above the wiring is configured to be in contact with the gate wiring.

이와 같이 하면, 금속재질의 블랙매트릭스를 사용함으로써 발생하였던 신호 지연을 방지할 수 있고, 상기 데이터 배선 및 게이트 배선이 단선되었을 경우 리페어 배선(repair line)으로 사용할 수 있는 장점이 있다.In this way, a signal delay caused by using a metal black matrix can be prevented, and when the data line and the gate line are disconnected, it can be used as a repair line.

또한, 비용이 높은 수지재질의 블랙매트릭스를 사용하지 않아도 되므로 비용을 절감할 수 있는 장점이 있다.In addition, there is an advantage that can reduce the cost because it does not need to use a high-cost resin black matrix.

Description

씨오티 구조 액정표시장치 및 그 제조방법{LCD with color-filter on TFT and method of fabricating of the same} CIO structure liquid crystal display and manufacturing method thereof {LCD with color-filter on TFT and method of fabricating of the same}

본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로 특히, COT(color filter on TFT)구조의 액정표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly, to a liquid crystal display device having a color filter on TFT (COT) structure and a method of manufacturing the same.

일반적으로, 액정표시장치는 액정분자의 광학적 이방성과 복굴절 특성을 이용하여 화상을 표현하는 것으로, 전계가 인가되면 액정의 배열이 달라지고 달라진 액정의 배열 방향에 따라 빛이 투과되는 특성 또한 달라진다.In general, a liquid crystal display device displays an image by using optical anisotropy and birefringence characteristics of liquid crystal molecules. When an electric field is applied, the alignment of liquid crystals is changed, and the characteristics of light transmission vary according to the arrangement direction of the changed liquid crystals.

일반적으로, 액정표시장치는 전계 생성 전극이 각각 형성되어 있는 두 기판을 두 전극이 형성되어 있는 면이 마주 대하도록 배치하고 두 기판 사이에 액정 물질을 주입한 다음, 두 전극에 전압을 인가하여 생성되는 전기장에 의해 상기 액정 분자를 움직이게 함으로써, 이에 따라 달라지는 빛의 투과율에 의해 화상을 표현하는 장치이다.In general, a liquid crystal display device is formed by arranging two substrates on which electric field generating electrodes are formed so that the surfaces on which the two electrodes are formed face each other, injecting a liquid crystal material between the two substrates, and then applying a voltage to the two electrodes. By moving the liquid crystal molecules by the electric field is a device that represents the image by the transmittance of light that varies accordingly.

도 1은 종래에 따른 액정표시장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.1 is a view schematically showing a liquid crystal display according to the related art.

도시한 바와 같이, 일반적인 컬러 액정표시장치(11)는 서브 컬러필터(8)와 각 서브 컬러필터(8)사이에 구성된 블랙 매트릭스(6)를 포함하는 컬러필터(7)와 상기 컬러필터(7)의 상부에 증착된 공통전극(18)이 형성된 상부기판(5)과, 화소영역(P)이 정의되고 화소영역에는 화소전극(17)과 스위칭소자(T)가 구성되며, 화소영역(P)의 주변으로 어레이배선이 형성된 하부기판(22)과, 상부기판(5)과 하부기판(22) 사이에는 액정(14)이 충진되어 있다.As shown, a general color liquid crystal display 11 includes a color filter 7 and a color filter 7 including a black matrix 6 formed between a sub color filter 8 and each sub color filter 8. The upper substrate 5 having the common electrode 18 deposited thereon, the pixel region P, and the pixel electrode 17 and the switching element T formed in the pixel region, and the pixel region P The liquid crystal 14 is filled between the lower substrate 22 and the upper substrate 5 and the lower substrate 22 on which array wiring is formed.

상기 하부기판(22)은 어레이기판(array substrate)이라고도 하며, 스위칭 소자인 박막트랜지스터(T)가 매트릭스형태(matrix type)로 위치하고, 이러한 다수의 박막트랜지스터(T)를 교차하여 지나가는 게이트 배선(13)과 데이터 배선(15)이 형성된다.The lower substrate 22 is also referred to as an array substrate, and the thin film transistor T, which is a switching element, is positioned in a matrix type, and the gate wiring 13 passing through the plurality of thin film transistors T is crossed. ) And data wirings 15 are formed.

이때, 상기 화소영역(P)은 상기 게이트 배선(13)과 데이터 배선(15)이 교차하여 정의되는 영역이며, 상기 화소영역(P)상에는 전술한 바와 같이 투명한 화소전극(17)이 형성된다.In this case, the pixel area P is an area defined by the gate line 13 and the data line 15 crossing each other, and a transparent pixel electrode 17 is formed on the pixel area P as described above.

상기 화소전극(17)은 인듐-틴-옥사이드(indium-tin-oxide : ITO)와 같이 빛의 투과율이 비교적 뛰어난 투명 도전성금속을 사용한다. The pixel electrode 17 uses a transparent conductive metal having a relatively high transmittance of light, such as indium-tin-oxide (ITO).

상기 화소전극(17)과 병렬로 연결된 스토리지 캐패시터(CST)가 게이트 배선(13)의 상부에 구성되며, 스토리지 캐패시터(CST)의 제 1 전극으로 게이트 배선(13)의 일부를 사용하고, 제 2 전극으로 소스 및 드레인 전극과 동일층 동일물질로 형성된 아일랜드 형상의 금속패턴(30)을 사용한다.A storage capacitor C ST connected in parallel with the pixel electrode 17 is formed on the gate wiring 13, and a part of the gate wiring 13 is used as the first electrode of the storage capacitor C ST . As the second electrode, an island-shaped metal pattern 30 formed of the same material as the source and drain electrodes is used.

이때, 상기 금속패턴(30)은 화소 전극(17)과 접촉되어 화소전극의 신호를 받도록 구성된다. In this case, the metal pattern 30 is configured to be in contact with the pixel electrode 17 to receive a signal of the pixel electrode.

그런데, 전술한 바와 같이 상부 컬러필터 기판(5)과 하부 어레이기판(22)을 합착하여 액정패널을 제작하는 경우에는, 컬러필터 기판(5)과 어레이기판(22)의 합착 오차에 의한 빛샘 불량 등이 발생할 확률이 매우 높다.However, as described above, when the upper color filter substrate 5 and the lower array substrate 22 are bonded to each other to produce a liquid crystal panel, light leakage due to the bonding error between the color filter substrate 5 and the array substrate 22 is poor. There is a very high probability of occurrence.

이에 대해 이하, 도 2를 참조하여 설명한다.This will be described below with reference to FIG. 2.

도 2는 도 1의 액정표시장치의 단면구성을 도시한 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a cross-sectional structure of the liquid crystal display of FIG. 1.

도시한 바와 같이, 제 1 기판(22)은 스위칭 영역(S)을 포함하는 화소 영역(P)과 스토리지 영역(C)으로 정의된다.As illustrated, the first substrate 22 is defined as a pixel area P including a switching area S and a storage area C. FIG.

상기 스위칭 영역(S)에는 게이트 전극(32)과 액티브층(34)과 소스 전극(36)과 드레인 전극(38)으로 구성된 박막트랜지스터(T)가 구성되고, 상기 화소 영역(P)에는 투명한 화소 전극(17)이 구성된다.The switching region S includes a thin film transistor T including a gate electrode 32, an active layer 34, a source electrode 36, and a drain electrode 38, and a transparent pixel in the pixel region P. The electrode 17 is configured.

상기 스토리지 영역(C)에는 게이트 배선(13)을 제 1 전극으로 하고, 상기 게이트 배선(13)의 상부에 섬형상으로 구성되고 상기 화소 전극(17)과 접촉하는 금속패턴(30)을 제 2 전극으로 하는 스토리지 캐패시터(CST)가 구성된다.In the storage region C, the gate wiring 13 is used as the first electrode, and the metal pattern 30, which is formed in an island shape on the gate wiring 13 and contacts the pixel electrode 17, is formed in the second electrode. The storage capacitor C ST used as an electrode is comprised.

이때, 상기 스토리지 캐패시터(CST)는 다양한 구조 및 형태로 구성될 수 있다.In this case, the storage capacitor C ST may be configured in various structures and shapes.

상기 제 1 기판(22)과 액정층(14)을 사이에 두고 이격된 제 2 기판(5)의 마주보는 일면에는 상기 박막트랜지스터(T)와 게이트 배선 및 데이터 배선(13, 15)에 대응하여 블랙매트릭스(6)가 구성되고, 상기 화소 영역(P)에 대응하는 면에는 컬러필터(7a,7b,7c)가 구성된다.On one surface of the second substrate 5 spaced apart from each other with the first substrate 22 and the liquid crystal layer 14 interposed therebetween, the thin film transistor T, the gate wiring, and the data wiring 13 and 15 may correspond to each other. The black matrix 6 is configured, and the color filters 7a, 7b, and 7c are formed on the surface corresponding to the pixel region P. As shown in FIG.

상기 컬러필터(7a,7b,7c)와 블랙매트릭스(6)가 구성된 기판(22)의 전면에는 투명한 공통전극(18)이 구성된다.A transparent common electrode 18 is formed on the entire surface of the substrate 22 including the color filters 7a, 7b, and 7c and the black matrix 6.

일반적으로, 전술한 제 1 기판(22)과 제 2 기판(5)은 별도의 제작되며 각각의 제작이 완료되면 합착하는 공정이 진행된다.In general, the first substrate 22 and the second substrate 5 described above are manufactured separately, and the process of adhering is performed when each production is completed.

이때, 합착오차가 발생하게 되면 상기 블랙매트릭스(6)의 위치가 최초 설계된 위치에서 벗어나게 되고 이로 인해, 상기 박막트랜지스터(T)에는 빛이 들어가 누설전류가 발생하게 되고, 상기 게이트 및 데이터 배선(13, 15)에 대응하는 영역 즉, 데이터 배선(15)과 화소 전극(17)의 이격된 영역(A)과 상기 게이트 배선(13)과 상기 화소 전극(17)사이의 이격된 영역(B)에서 빛샘 현상이 발생하는 문제가 있다.At this time, when a bonding error occurs, the position of the black matrix 6 is deviated from the originally designed position. As a result, light enters the thin film transistor T to generate a leakage current, and the gate and data lines 13 , In a region corresponding to 15, that is, in a space A spaced apart from the data line 15 and the pixel electrode 17 and in a space B spaced between the gate line 13 and the pixel electrode 17. There is a problem that light leakage occurs.

따라서, 종래에는 이를 해결하기 위해 합착공정시의 오차를 감안하여 최초 설계시 합착 마진을 더 두어 설계하게 된다.Therefore, conventionally, in order to solve this problem, in consideration of an error in the bonding process, the additional design margin is added to the initial design.

즉, 상기 블랙매트릭스(6)의 크기를 좀더 크게 설계하는 것이다.That is, the size of the black matrix 6 is designed to be larger.

이와 같이 하면, 합착 오차가 발생하더라도 위의 불량들이 발생하지 않는다.In this way, the above defects do not occur even when a bonding error occurs.

그러나, 그 만큼 개구영역을 잠식하는 문제가 있기 때문에, 휘도 및 개구율이 감소되는 문제가 있다.However, since there is a problem of encroaching on the opening area by that much, there is a problem that the luminance and the opening ratio are reduced.

본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위한 목적으로 제안된 것으로, 상기 컬러필터 및 블랙매트릭스를 하부기판에 형성하는 것을 특징으로 한다.The present invention has been proposed for the purpose of solving the above-mentioned problem, characterized in that the color filter and the black matrix is formed on the lower substrate.

특히, 블랙매트릭스를 불투명한 금속배선으로 형성하며, 이를 게이트 배선 및 데이터 배선에 대응하여 구성하는 동시에, 상기 각 배선과 접촉하도록 하는 것을 특징으로 한다.In particular, the black matrix is formed of an opaque metal wiring, which is configured to correspond to the gate wiring and the data wiring, and is in contact with each of the wirings.

이와 같이 구성함으로써, 상기 블랙매트릭스를 구성할 때 합착마진을 더 두어 설계할 필요가 없으므로 개구율이 크게 개선되는 장점이 있다.By constructing in this way, there is no need to design additional bonding margins when constructing the black matrix, so that the opening ratio is greatly improved.

이때, 블랙매트릭스를 하부기판에 구성할 경우 배선의 신호 지연을 방지하기 위해 절연성 블랙수지를 사용하지만, 전술한 바와 같이 게이트 및 데이터 배선과 직접 접촉하도록 구성하기 때문에 금속으로 형성하는 것이 가능하여 블랙수지를 이용하는 것 보다 비용을 줄일 수 있는 장점이 있고, 상기 블랙매트릭스를 상기 게이트 배선 및 데이터 배선의 수리 배선으로 사용하는 것이 가능하여, 배선 단선 시 별도의 수리 공정을 추가하지 않아도 되는 장점이 있다. In this case, when the black matrix is formed on the lower substrate, an insulating black resin is used to prevent signal delay of the wiring. However, as described above, since the black matrix is configured to be in direct contact with the gate and data wiring, it is possible to form a black resin. There is an advantage that the cost can be reduced than using the, and it is possible to use the black matrix as a repair wiring of the gate wiring and data wiring, there is an advantage that does not need to add a separate repair process when disconnection.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 씨.오.티(COT)구조 액정표시장치는 제 1 기판과 제 2 기판과; 상기 제 2 기판과 마주보는 제 1 기판의 일면에 서로 수직 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 구성된 스위칭 소자와; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 상부에 각각 독립적으로 위치하고, 상기 배선의 상부에 위치한 구성은 각각 그 하부의 게이트 배선 또는 데이터 배선과 접촉하는 제 1 블랙매트릭스와; 상기 화소 영역에 구성된 컬러필터와; 상기 컬러필터의 상부에 위치하고, 상기 스위칭 소자와 접촉하는 투명한 화소 전극과; 상기 제 1 기판과 마주보는 제 2 기판의 일면 중, 상기 스위칭 소자에 대응하는 부분에 구성된 제 2 블랙매트릭스와; 상기 제 2 블랙매트릭스를 포함하는 제 2 기판의 전면에 구성된 투명한 공통 전극을 포함한다.According to the present invention for achieving the above object, a C. structure (COT) liquid crystal display device comprising: a first substrate and a second substrate; A gate wiring and a data wiring defining a pixel area by vertically crossing each other on one surface of the first substrate facing the second substrate; A switching element configured at an intersection point of the gate line and the data line; A first black matrix positioned independently of the gate wiring and the data wiring, respectively, and configured to be in contact with the gate wiring or the data wiring below; A color filter configured in the pixel region; A transparent pixel electrode on the color filter and in contact with the switching element; A second black matrix formed on a portion of the second substrate facing the first substrate, the portion corresponding to the switching element; It includes a transparent common electrode configured on the front surface of the second substrate including the second black matrix.

상기 화소 영역에 대응하여 스토리지 배선을 구성하고, 상기 스토리지 배선의 상부에는 상기 드레인 전극과 접촉하면서 상기 블랙매트릭스와 동일층, 동일물질인 금속패턴을 더욱 구성한다.A storage wiring is formed corresponding to the pixel area, and a metal pattern, which is the same layer and the same material as the black matrix, is further formed on the storage wiring while contacting the drain electrode.

상기 블랙매트릭스는 불투명한 도전성 금속으로 형성한다.The black matrix is formed of an opaque conductive metal.

상기 제 2 기판의 블랙매트릭스는 상기 소스 및 드레인 전극 사이로 노출된 액티브층에 대응하여 구성한다.The black matrix of the second substrate is configured to correspond to the active layer exposed between the source and drain electrodes.

상기 제 1 기판과 제 2 기판의 갭(gap)을 유지하기 위해, 상기 스위칭 소자에 대응하여 구성된 기둥형상의 스페이서(spacer)를 더욱 구성한다.In order to maintain a gap between the first substrate and the second substrate, a columnar spacer configured to correspond to the switching element is further configured.

본 발명의 특징에 따른 씨.오.티 구조 액정표시장치의 제조방법은 제 1 기판과 제 2 기판을 준비하는 단계와; 상기 제 2 기판과 마주보는 제 1 기판의 일면에 서로 수직 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 배선과 데이터 배선을 형성하는 단계와; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 스위칭 소자를 형성하는 단계와; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 상부에 각각 독립적으로 위치하고, 각각 은 그 하부의 게이트 배선 또는 데이터 배선과 접촉하는 제 1 블랙매트릭스를 형성하는 단계와; 상기 화소 영역에 컬러필터를 형성하는 단계와; 상기 컬러필터의 상부에 위치하고, 상기 스위칭 소자와 접촉하는 투명한 화소 전극을 형성하는 단계와; 상기 제 1 기판과 마주보는 제 2 기판의 일면 중, 상기 스위칭 소자에 대응하는 부분에 제 2 블랙매트릭스를 형성하는 단계와; 상기 제 2 블랙매트릭스를 포함하는 제 2 기판의 전면에 투명한 공통 전극을 형성하는 단계를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a C. O structure liquid crystal display device, comprising: preparing a first substrate and a second substrate; Forming gate lines and data lines on one surface of the first substrate facing the second substrate so as to vertically cross each other to define pixel regions; Forming a switching element at an intersection point of the gate line and the data line; Forming a first black matrix positioned independently over the gate wiring and the data wiring, each of which is in contact with a gate wiring or a data wiring below; Forming a color filter in the pixel region; Forming a transparent pixel electrode on the color filter and in contact with the switching element; Forming a second black matrix on one surface of the second substrate facing the first substrate, the portion corresponding to the switching element; Forming a transparent common electrode on an entire surface of the second substrate including the second black matrix.

본 발명의 특징에 따른 씨.오.티 구조 액정표시장치용 어레이기판의 제조방법은 기판 상에 스위칭 영역을 포함하는 화소 영역을 정의하는 단계와; 상기 스위칭 영역에 게이트 전극과, 게이트 전극과 연결되는 게이트 배선을 형성하는 제 1 마스크 공정 단계와; 상기 게이트 전극 및 게이트 배선의 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계와; 상기 게이트 전극에 대응하는 게이트 절연막의 상부에 적층된 제 1 반도체 패턴과 소스 및 드레인 전극과, 상기 제 1 반도체 패턴에 연결된 제 2 반도체 패턴과 제 2 반도체 패턴의 상부에 데이터 배선을 형성하는 제 2 마스크 공정 단계와; 상기 소스 및 드레인 전극과 데이터 배선이 형성된 기판의 전면에 보호막을 형성하고, 상기 데이터 배선과 게이트 배선의 일부를 노출하는 제 3 마스크 공정 단계와; 상기 게이트 배선 및 데이터 배선의 상부에 각각 독립적으로 구성되고, 각각은 하부의 노출된 게이트 배선 및 데이터 배선과 접촉하는 블랙매트릭스를 형성하는 제 4 마스크 공정 단계와; 상기 화소 영역에 대응하여 컬러필터를 형성하는 제 5 마스크 공정 단계와; 상기 드레인 전극을 노출하는 제 6 마스크 공정 단계와;According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an array substrate for a C. O structure liquid crystal display device, including: defining a pixel area including a switching area on a substrate; A first mask process step of forming a gate electrode and a gate wiring connected to the gate electrode in the switching region; Forming a gate insulating film over the gate electrode and the gate wiring; A second semiconductor pattern and a source and drain electrode stacked on an upper portion of the gate insulating layer corresponding to the gate electrode, and a second data line formed on the second semiconductor pattern and the second semiconductor pattern connected to the first semiconductor pattern. A mask processing step; A third mask process step of forming a protective film on an entire surface of the substrate on which the source and drain electrodes and the data wiring are formed, and exposing a portion of the data wiring and the gate wiring; A fourth mask process step of forming a black matrix independently formed on top of said gate wiring and data wiring, each forming a black matrix in contact with a lower exposed gate wiring and data wiring; A fifth mask process step of forming a color filter corresponding to the pixel region; A sixth mask process step of exposing the drain electrode;

상기 드레인 전극과 접촉하면서, 상기 화소 영역에 위치하는 투명한 화소 전극을 형성하는 제 7 마스크 공정 단계를 포함한다.And a seventh mask process step of forming a transparent pixel electrode in contact with the drain electrode and positioned in the pixel region.

상기 제 1 마스크 공정 단계에서, 상기 화소 영역의 일부에 대응하여 스토리지 배선을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 스토리지 배선의 상부에 상기 제 4 마스크 공정단계에서, 상기 블랙매트릭스와 동일층 동일물질로 형성되고 상기 드레인 전극과 접촉하는 금속패턴을 형성하는 단계를 더욱 포함한다.Forming a storage line corresponding to a portion of the pixel region in the first mask process step, and forming the same storage material on the storage line as the same material as the black matrix in the fourth mask process step And forming a metal pattern in contact with the drain electrode.

상기 제 3 마스크 공정단계에서, 상기 화소 영역에 대응하는 보호막을 제거하는 단계를 더욱 포함한다.The removing of the passivation layer corresponding to the pixel area may be further performed in the third mask process step.

상기 제 2 마스크 공정 단계는 상기 게이트 전극 및 게이트 배선이 형성된 기판의 전면에 게이트 절연막과 순수 비정질 실리콘층과 불순물이 포함된 비정질 실리콘층과 금속층을 적층하는 단계와; 상기 금속층의 상부에 감광층을 형성하고, 상기 감광층이 형성된 기판의 상부에 투과부와 반사부와 반투과부로 구성된 마스크를 위치시키는 단계와; 상기 마스크의 상부로 빛을 조사하여, 하부의 감광층을 노광하고 현상하여 상기 스위칭 영역과 상기 게이트 배선과 수직한 화소 영역의 일측에 대응하여 감광 패턴을 형성하는 단계와; 상기 감광패턴의 주변으로 노출된 상기 금속층과 불순물 비정질 실리콘층과 순수 비정질 실리콘층을 제거하는 단계와; 상기 감광패턴을 애싱하여, 상기 마스크의 반투과부에 대응하는 일부만 현상된 부분의 감광패턴을 완전히 제거하여 하부의 금속층을 노출하는 단계와; 상기 감광패턴의 주변으로 노출된 금속층을 제거하고, 그 하부의 불순물 비정질 실리콘층을 노출하는 단계와; 상기 감광패턴을 제거함으로써, 소스 및 드레인 전극과 데이터 배선과 상기 소스 및 드레인 전극 하부의 제 1 반도체 패턴과, 상기 데이터 배선 하부의 제 2 반도체 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.The second mask process may include stacking a gate insulating film, a pure amorphous silicon layer, an amorphous silicon layer containing an impurity, and a metal layer on an entire surface of the substrate on which the gate electrode and the gate wiring are formed; Forming a photosensitive layer on the metal layer, and placing a mask including a transmissive part, a reflective part, and a transflective part on the substrate on which the photosensitive layer is formed; Irradiating light to the upper portion of the mask, exposing and developing a lower photosensitive layer to form a photosensitive pattern corresponding to one side of the pixel region perpendicular to the switching region and the gate wiring; Removing the metal layer, the impurity amorphous silicon layer, and the pure amorphous silicon layer exposed to the periphery of the photosensitive pattern; Ashing the photosensitive pattern to completely remove a photosensitive pattern of a portion in which only a part corresponding to the transflective portion of the mask is developed to expose a lower metal layer; Removing the metal layer exposed to the periphery of the photosensitive pattern, and exposing an underlying impurity amorphous silicon layer; Removing the photosensitive pattern to form source and drain electrodes, data wirings, a first semiconductor pattern under the source and drain electrodes, and a second semiconductor pattern under the data wirings.

이하 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

-- 실시예 --Example

본 발명의 특징은, 게이트 배선 및 데이터 배선에 대응하여 블랙매트릭스를 형성할 때, 불투명한 금속을 이용하여 형성하고 상기 게이트 배선 및 데이터 배선과 접촉하도록 구성하는 것을 특징으로 한다.A feature of the present invention is characterized in that, when forming the black matrix corresponding to the gate wiring and the data wiring, it is formed by using an opaque metal and configured to be in contact with the gate wiring and the data wiring.

도 3은 본 발명에 따른 COT구조 액정표시장치용 어레이기판의 일부를 확대한 확대 평면도이다.3 is an enlarged plan view illustrating an enlarged portion of an array substrate for a COT structure liquid crystal display device according to the present invention.

도시한 바와 같이, 기판(100)상에 일 방향으로 연장되고 일 끝단에 게이트 패드(106)를 포함하는 게이트 배선(102)과, 상기 게이트 배선(102)과 수직하게 교차하여 화소영역(P)을 정의하고 일 끝단에 데이터 패드(134)를 포함하는 데이터 배선(132)을 구성한다.As shown, the gate wiring 102 extending in one direction on the substrate 100 and including the gate pad 106 at one end thereof, and perpendicularly intersects the gate wiring 102 to the pixel region P. As shown in FIG. And a data line 132 including a data pad 134 at one end thereof.

상기 게이트 배선(102)과 데이터 배선(132)의 교차지점에는 게이트 전극(104)과 액티브층(124)과 소스 전극(128)과 드레인 전극(130)을 포함하는 박막트랜지스터(T)를 구성한다.The thin film transistor T including the gate electrode 104, the active layer 124, the source electrode 128, and the drain electrode 130 is formed at the intersection of the gate wiring 102 and the data wiring 132. .

상기 박막트랜지스터(T)의 액티브층(124)과 동일물질인 반도체층(SL)을 상기 데이터 배선 및 데이터 패드(132,134)의 하부로 연장하여 구성한다. The semiconductor layer SL, which is the same material as the active layer 124 of the thin film transistor T, extends below the data line and the data pads 132 and 134.

이와 같은 구성은 상기 소스 및 드레인 전극과 반도체층이 동시에 하나의 마스크로 제작되는 것을 가능하도록 함으로써, 공정이 단순화 될 수 있도록 하는 장점이 있다.Such a configuration has an advantage that the process can be simplified by allowing the source and drain electrodes and the semiconductor layer to be manufactured in one mask at the same time.

상기 화소 영역(P)에는 상기 드레인 전극(130)과 접촉하는 투명한 화소 전극(154)을 구성하고, 상기 게이트 패드 및 데이터 패드(106,134)에 대응하는 상부에는 상기 게이트 패드(106)와 접촉하는 투명한 게이트 패드 단자(156)와 상기 데이터 패드(134)와 접촉하는 투명한 데이터 패드 단자(158)를 형성한다.The pixel region P includes a transparent pixel electrode 154 in contact with the drain electrode 130, and a transparent contact with the gate pad 106 on the gate pad and the data pads 106 and 134. A gate pad terminal 156 and a transparent data pad terminal 158 in contact with the data pad 134 are formed.

상기 박막트랜지스터(T)의 소스 및 드레인 전극(128,130)사이로 노출된 액티브층(124)과, 상기 게이트 배선(102)과 데이터 배선(132)에 대응하여 블랙매트릭스(202,140a)를 구성하며, 상기 게이트 배선(102)과 데이터 배선(132)에 대응하여 구성한 블랙매트릭스(140a)는 하부의 게이트 배선 및 데이터 배선(102,132)과 임의의 위치(G1,G2/H1,H2)에서 접촉하도록 한다.The active matrix 124 exposed between the source and drain electrodes 128 and 130 of the thin film transistor T and the black matrix 202 and 140a correspond to the gate line 102 and the data line 132. The black matrix 140a configured to correspond to the gate wiring 102 and the data wiring 132 is in contact with the lower gate wiring and the data wiring 102 and 132 at arbitrary positions G1, G2 / H1, and H2.

이때, 소스 및 드레인 전극(128,130)사이의 상기 액티브층(124)에 대응하여 패턴된 블랙매트릭스(202)는 상부기판에 구성된 것이다. In this case, the black matrix 202 patterned corresponding to the active layer 124 between the source and drain electrodes 128 and 130 is formed on the upper substrate.

상기 화소 영역(P)에는 컬러필터(142a,142b,142c)를 구성한다.Color filters 142a, 142b, and 142c are formed in the pixel area P.

또한, 화소 영역(P)에는 스토리지 배선(108)을 형성하고, 상기 스토리지 배선(108)의 상부에는 절연막(게이트 절연막, 미도시)을 사이에 두고 상기 블랙매트릭스(140a)와 동일층 동일물질로 형성되는 동시에 상기 드레인 전극(130)과 접촉하는 금속패턴(140b)을 형성한다.In addition, a storage wiring 108 is formed in the pixel region P, and an insulating film (gate insulating film, not shown) is interposed between the storage wiring 108 and the same material as that of the black matrix 140a. At the same time, the metal pattern 140b is formed to contact the drain electrode 130.

이러한 구성으로, 상기 스토리지 배선(108)을 제 1 전극으로 하고 상기 금속패턴(140b)을 제 2 전극으로 하는 스토리지 캐패시터(CST)가 형성된다.In this configuration, a storage capacitor C ST having the storage wiring 108 as a first electrode and the metal pattern 140b as a second electrode is formed.

전술한 구성에서, 특징적인 것은 상기 블랙매트릭스(140a,202)를 블랙수지가 아닌 불투명한 금속으로 형성한 것이고, 상기 데이터 배선 및 게이트 배선(132,102)에 대응하여 구성한 블랙매트릭스(140a)는 그 하부의 게이트 배선(102)과 데이터 배선(132)과 접촉하도록 구성한 것을 특징으로 한다. In the above-described configuration, the characteristic is that the black matrices 140a and 202 are formed of an opaque metal rather than a black resin, and the black matrix 140a corresponding to the data and gate lines 132 and 102 has a lower portion. The gate wiring 102 and the data wiring 132 are configured to be in contact with each other.

도 4a와 도 4b를 참조하여, 본 발명에 따른 COT 구조 액정표시장치의 구성을 개략적으로 설명한다.4A and 4B, a configuration of a COT structure liquid crystal display device according to the present invention will be schematically described.

도 4a는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ를 따라 절단한 단면도이고, 도 4b는 도 3의 Ⅴ-Ⅴ를 따라 절단하여 이를 참조로 표현한 액정표시장치의 단면도이다.(도 4a는 박막트랜지스터를 포함하는 화소영역의 단면도이고, 도 4b는 블랙매트릭스와 데이터 배선이 구성된 부분의 단면도이다.)FIG. 4A is a cross-sectional view taken along line IV-IV of FIG. 3, and FIG. 4B is a cross-sectional view of a liquid crystal display device taken along line V-V of FIG. 3 and described with reference thereto. FIG. 4A is a pixel including a thin film transistor. 4B is a cross-sectional view of the portion where the black matrix and the data wiring are formed.)

도 4a와 도 4b에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 COT 구조 액정표시장치는 이격하여 합착된 제 1 기판(100)과 제 2 기판(200)을 포함한다.As shown in FIGS. 4A and 4B, the COT structure liquid crystal display according to the present invention includes a first substrate 100 and a second substrate 200 which are spaced apart and bonded.

상기 제 1 기판(100)상에 스위칭 영역(S)을 포함하는 화소 영역(P)을 정의하고, 화소 영역(P)의 일부에 대응하여 스토리지 영역(ST)을 정의한다.A pixel area P including a switching area S is defined on the first substrate 100, and a storage area ST is defined corresponding to a portion of the pixel area P. FIG.

상기 스위칭 영역(S)에는 게이트 전극(104)과, 게이트 전극(104)과는 게이트 절연막(110)을 사이에 두고 적층된 액티브층(124)과 오믹 콘택층(126)과, 오믹 콘택층(126)의 상부에 이격하여 구성된 소스 전극(128)과 드레인 전극(130)을 포함하는 박막트랜지스터(T)를 구성한다.In the switching region S, a gate electrode 104, a gate electrode 104, and an active layer 124 and an ohmic contact layer 126 stacked between the gate insulating layer 110 and an ohmic contact layer ( A thin film transistor T including a source electrode 128 and a drain electrode 130 spaced apart from the upper portion 126 is configured.

상기 화소 영역(P)에는 컬러필터(142a,142b)를 구성하고, 컬러필터(142a,142b)의 상부에는 평탄화층(146)을 사이에 두고 투명한 화소 전극(154)을 구성한다.Color filters 142a and 142b are formed in the pixel region P, and transparent pixel electrodes 154 are formed on the color filters 142a and 142b with the planarization layer 146 interposed therebetween.

상기 화소 영역(P)의 일측에 대응하는 기판(100)상에는 게이트 배선(102)을 구성하고, 이와 수직한 화소 영역(P)의 타측에는 데이터 배선(132)을 구성한다.The gate wiring 102 is formed on the substrate 100 corresponding to one side of the pixel region P, and the data wiring 132 is formed on the other side of the pixel region P which is perpendicular to the pixel region P. FIG.

이때, 상기 데이터 배선(132)의 하부에는 반도체층(SL)이 위치한다.In this case, the semiconductor layer SL is positioned under the data line 132.

상기 데이터 배선(132)과 게이트 배선(102)에 대응하는 상부에 불투명한 금속으로 블랙매트릭스(140a)를 형성하되, 상기 게이트 배선(102)과 데이터 배선(132)에 대응한 블랙매트릭스(140a)는 하부의 게이트 및 데이터 배선(102,132)과 접촉하도록 구성한다.The black matrix 140a is formed of an opaque metal on the upper portion corresponding to the data line 132 and the gate line 102, but the black matrix 140a corresponding to the gate line 102 and the data line 132 is formed. Is configured to contact lower gates and data lines 102 and 132.

전술한 바와 같이 제 1 기판(100)을 구성할 수 있으며, 상기 제 1 기판(100)과 마주보는 제 2 기판(200)의 일면에는 상기 액티브층에 대응하여 블랙매트릭스(202)를 형성하고, 상기 블랙매트릭스(202)가 형성된 기판(200)의 전면에는 투명한 공통전극(204)을 구성한다.As described above, the first substrate 100 may be configured, and a black matrix 202 is formed on one surface of the second substrate 200 facing the first substrate 100 to correspond to the active layer. A transparent common electrode 204 is formed on the entire surface of the substrate 200 on which the black matrix 202 is formed.

이때, 상기 제 1 기판과 제 2 기판(100,200)의 사이에는 두 기판의 갭을 유지하기 위해, 상기 액티브층(124)에 대응하여 기둥형상의 스페이서(300)를 형성한다.In this case, in order to maintain a gap between the two substrates between the first substrate and the second substrates 100 and 200, a columnar spacer 300 is formed to correspond to the active layer 124.

이하, 공정도면을 참조하여 본 발명에 따른 COT 구조의 액정표시장치용 어레이기판의 제조공정을 설명한다.Hereinafter, a manufacturing process of an array substrate for a liquid crystal display device having a COT structure according to the present invention will be described with reference to the process drawings.

도 5a내지 도 5g와 도 6a 내지 도 6g와 도 7a 내지 도 7g는 도 8a 내지 도 8g는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ,Ⅵ-Ⅵ,Ⅶ-Ⅶ과 Ⅴ-Ⅴ를 따라 절단하여 박막트랜지스터 어레이배선을 형성하는 공정을 공정순서에 따라 도시한 단면도이다.5A to 5G, 6A to 6G, 7A to 7G, and FIGS. 8A to 8G are cut along the lines IV-IV, VI-VI, VIII-V and V-V of FIG. 3 to thin-film transistor array wiring. Is a cross-sectional view showing a step of forming a film according to the process sequence.

도 5a와 도 6a와 도 7a와 도 8a에 도시한 바와 같이, 기판(100)상에 스위칭 영역(S)과 스토리지 영역(ST)을 포함하는 화소 영역(P)을 정의한다.5A, 6A, 7A, and 8A, a pixel region P including a switching region S and a storage region ST is defined on the substrate 100.

상기 다수의 영역(S,ST,P)이 정의된 기판(100)상에 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 텅스텐(W), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo)등을 포함하는 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나 또는 그 이상의 물질을 증착하고 패턴하여, 상기 화소 영역(P)의 일 측을 따라 구성되고 일 끝단에 게이트 패드(106)를 포함하는 게이트 배선(102)과, 상기 게이트 배선(102)과 연결되면서 상기 스위칭 영역(S)에 위치하는 게이트 전극(104)을 형성한다.Aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), copper (Cu), tungsten (W), chromium (Cr), and molybdenum (Mo) on the substrate 100 in which the plurality of regions S, ST, and P are defined Depositing and patterning one or more materials selected from the group of conductive metals including a gate, and the like, the gate wiring 102 including one side of the pixel region P and a gate pad 106 at one end thereof; The gate electrode 104 is formed to be connected to the gate line 102 and positioned in the switching region S.

동시에, 상기 스토리지 영역(ST)에 대응하는 스토리지 배선(108)을 형성한다.At the same time, the storage wiring 108 corresponding to the storage area ST is formed.

다음으로, 상기 게이트 패드 및 게이트 배선(106,102)과 게이트 전극(104)과 스토리지 배선(108)이 형성된 기판(100)의 전면에 질화 실리콘(SiNx)과 산화 실리콘(SiO2)을 포함하는 무기절연물질그룹 중 선택된 하나 또는 그 이상의 물질을 증착하여 게이트 절연막(110)을 형성한다.Next, an inorganic material including silicon nitride (SiN x ) and silicon oxide (SiO 2 ) on the entire surface of the substrate 100 on which the gate pad and the gate wiring 106 and 102, the gate electrode 104, and the storage wiring 108 are formed. The gate insulating layer 110 is formed by depositing one or more materials selected from the group of insulating materials.

도 5b와 도 6b와 도 7b와 도 8b에 도시한 바와 같이, 상기 게이트 절연막(110)의 상부에 제 1 반도체층(112)과 제 2 반도체층(114)을 적층하여 형성한다.As shown in FIGS. 5B, 6B, 7B, and 8B, the first semiconductor layer 112 and the second semiconductor layer 114 are stacked on the gate insulating layer 110.

상기 제 1 반도체층(112)은 순수 비정질 실리콘(a-Si:H)을 증착하여 형성하고, 상기 제 2 반도체층(114)은 불순물이 포함된 비정질 실리콘층(n+ 또는 p+ a-Si:H)을 증착하여 형성한다.The first semiconductor layer 112 is formed by depositing pure amorphous silicon (a-Si: H), and the second semiconductor layer 114 is an amorphous silicon layer (n + or p + a-Si: H) containing impurities. ) Is formed by vapor deposition.

다음으로, 상기 제 2 반도체층(114)의 상부에 앞서 언급한 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나 또는 그 이상의 물질을 증착하여 금속층(116)을 형성한다.Next, the metal layer 116 is formed by depositing one or more materials selected from the aforementioned conductive metal groups on the second semiconductor layer 114.

상기 금속층(116)이 형성된 기판(100)의 전면에 포토레지스트(photoresist)를 도포하여 감광층(118)을 형성하고, 상기 감광층(118)이 형성된 기판(100)의 이격된 상부에는 마스크(M)를 위치시킨다.A photoresist is formed on the entire surface of the substrate 100 on which the metal layer 116 is formed to form a photosensitive layer 118, and a mask (or mask) is disposed on the spaced upper portion of the substrate 100 on which the photosensitive layer 118 is formed. Place M).

상기 마스크(M)는 투과부(B1)와 반사부(B2)와 반투과부(B3)로 구성되고, 상기 반투과부(B3)는 도시한 바와 같이 슬릿(slit)을 구성하거나, 반투명막을 사용할 수 있다.The mask M may include a transmissive part B1, a reflective part B2, and a transflective part B3, and the transflective part B3 may form a slit as shown, or a translucent film may be used. .

이때 특히, 상기 스위칭 영역(S)은 중심부에 대응하여 반투과부(B3)가 구성되고, 반투과부(B3)의 양측으로 반사부(B2)가 구성되도록 마스크(M)를 위치시킨다.In this case, in particular, the switching region S may include the transflective portion B3 corresponding to the center portion, and the mask M may be positioned such that the reflective portions B2 are formed on both sides of the transflective portion B3.

상기 마스크(M)의 상부로 빛을 조사하여 하부의 감광층(118)을 노광하게 되면, 상기 마스크(M)의 투과부(B1)에 대응하는 감광층(118)은 완전히 노광하게 되지만, 상기 반투과부(B3)에 대응하는 감광층(118)은 일부만이 노광된다.When the upper portion of the mask M is irradiated with light to expose the lower photosensitive layer 118, the photosensitive layer 118 corresponding to the transmissive portion B1 of the mask M is completely exposed, but the half Only part of the photosensitive layer 118 corresponding to the transmissive portion B3 is exposed.

또한, 상기 반사부(B2)에 대응하는 감광층(118)은 노광되지 않는다.In addition, the photosensitive layer 118 corresponding to the reflector B2 is not exposed.

상기 부분적으로 노광된 감광층(118)을 현상하는 공정을 진행한다.The process of developing the partially exposed photosensitive layer 118 is performed.

도 5c와 도 6c와 도 7c와 도 8c에 도시한 바와 같이, 상기 현상공정을 진행하게 되면 상기 스위칭 영역(S)과, 상기 게이트 배선(102)과 수직한 화소 영역(P)의 일측에 대응하여 감광패턴(120)이 형성된다.As shown in FIGS. 5C, 6C, 7C, and 8C, when the developing process is performed, one side of the switching region S and the pixel region P perpendicular to the gate wiring 102 may be corresponded. Thus, the photosensitive pattern 120 is formed.

다음으로, 상기 감광패턴(120)의 외부로 노출된 금속층을 제거하여 감광패턴의 하부에만 패턴된 금속층(116)이 남겨지도록 한다.Next, the metal layer exposed to the outside of the photosensitive pattern 120 is removed to leave the patterned metal layer 116 only at the bottom of the photosensitive pattern.

도 5d와 도 6d와 도 7d와 도 8d에 도시한 바와 같이, 상기 제거된 금속층의 하부로 노출된 제 2 반도체층(114)과 제 1 반도체층(112)을 순차 제거하는 공정을 진행하여 이 또한 감광층(120)의 하부에만 패턴된 제 1 반도체층(112)과 제 2 반도체층(114)이 남겨지도록 한다.As shown in FIGS. 5D, 6D, 7D, and 8D, a process of sequentially removing the second semiconductor layer 114 and the first semiconductor layer 112 exposed to the lower portion of the removed metal layer is performed. In addition, the first semiconductor layer 112 and the second semiconductor layer 114 patterned on only the lower portion of the photosensitive layer 120 is left.

도 5e와 도 6e와 도 7e와 도 8e에 도시한 바와 같이, 상기 감광패턴(120)을 애싱(ashing)하는 공정을 진행하여, 스위칭 영역(S)의 중심부에 대응하여 표면으로부터 일부만 노광된 부분의 감광층이 완전히 제거되어 하부의 금속층(116)이 노출되도록 한다.As shown in FIGS. 5E, 6E, 7E, and 8E, the process of ashing the photosensitive pattern 120 is performed to expose only a portion of the surface from the surface corresponding to the center of the switching region S. Referring to FIGS. The photosensitive layer of is completely removed so that the underlying metal layer 116 is exposed.

이때, 애싱 공정 중 감광패턴(120)은 표면 및 측면이 모두 깍이면서 진행되기 때문에 애싱공정이 완료되면 전체 감광패턴의 주변(F)으로 금속층(116)이 노출되는 현상이 발생하게 된다. At this time, the photosensitive pattern 120 during the ashing process proceeds while both the surface and the side are sharpened so that when the ashing process is completed, the metal layer 116 is exposed to the periphery F of the entire photosensitive pattern.

도 5f와 도 6f와 도 7f와 도 8f에 도시한 바와 같이, 상기 스위칭 영역(S)의 중심부에 대응하여 노출된 금속층(116)을 패턴하는 공정을 진행한다.As shown in FIGS. 5F, 6F, 7F, and 8F, a process of patterning the exposed metal layer 116 corresponding to the center of the switching region S is performed.

연속하여, 상기 노출된 금속층 하부로 노출된 제 2 반도체층(114)을 제거하는 공정을 진행한다.Subsequently, a process of removing the exposed second semiconductor layer 114 under the exposed metal layer is performed.

이러한 공정이 진행되는 동안 감광패턴(120)의 주변으로 동시에 동일한 공정이 진행되어 제 1 반도체층(112)이 노출되는 형상이 된다. While the process is in progress, the same process is simultaneously performed to the periphery of the photosensitive pattern 120 to form a shape in which the first semiconductor layer 112 is exposed.

전술한 바와 같은 식각공정을 진행한 후, 상기 감광패턴(120)을 제거하는 공정을 진행한다.After the etching process as described above, the process of removing the photosensitive pattern 120 is performed.

도 5g와 도 6g와 도 7g와 도 8g에 도시한 바와 같이, 상기 스위칭 영역(S)에는 패턴된 제 1 반도체층과 제 2 반도체층이 적층되어 구성되고, 상기 제 2 반도체층의 상부에는 노출된 제 1 반도체층을 사이에 두고 소스 전극(128)과 드레인 전극(130)이 구성되고, 상기 화소 영역(P)의 일 측에는 상기 소스 전극(128)과 연결되고 상기 게이트 배선(102)과 수직하게 교차하면서 구성되고 일 끝단에 데이터 패드(134)를 포함하는 데이터 배선(132)이 구성된다.As shown in FIGS. 5G, 6G, 7G, and 8G, a patterned first semiconductor layer and a second semiconductor layer are stacked in the switching region S, and an upper portion of the second semiconductor layer is exposed. The source electrode 128 and the drain electrode 130 are formed with the first semiconductor layer interposed therebetween, and one side of the pixel region P is connected to the source electrode 128 and is perpendicular to the gate wiring 102. The data line 132 is configured to cross each other and includes a data pad 134 at one end.

또한, 상기 데이터 배선(132)과 데이터 패드(134)의 하부 또한 제 1 반도체층과 제 2 반도체층이 존재하게 된다.In addition, a lower portion of the data line 132 and the data pad 134 also include a first semiconductor layer and a second semiconductor layer.

여기서, 그 기능에 따라 상기 스위칭 영역(S)에 구성된 제 1 반도체층을 액티브층(124)이라 하고, 그 상부의 제 2 반도체층을 오믹 콘택층(126)이라 한다.According to the function, the first semiconductor layer formed in the switching region S is called an active layer 124, and the second semiconductor layer thereon is called an ohmic contact layer 126.

그리고, 상기 데이터 배선(132)의 하부에 적층된 제 1 및 제 2 반도체층은 함께 반도체 패턴(SL)이라 하자. The first and second semiconductor layers stacked below the data line 132 are referred to as a semiconductor pattern SL.

상기 반도체 패턴(SL)은 상부의 데이터 배선(132)이 들뜨는 것을 방지하는 기능을 한다.The semiconductor pattern SL functions to prevent the upper data line 132 from floating.

이상으로, 기판 상에 박막트랜지스터와 어레이배선을 형성하는 공정을 설명하였다.The process of forming the thin film transistor and the array wiring on the substrate has been described above.

이하, 도면을 참조하여 상기 박막트랜지스터 어레이부의 상부에 컬러필터를 형성하는 공정을 설명한다.Hereinafter, a process of forming a color filter on the thin film transistor array unit will be described with reference to the drawings.

도 9a 내지 도 9e와 도 10a 내지 도 10e와 도 11a 내지 도 11e와 도 12a 내지 도 12e는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ,Ⅵ-Ⅵ,Ⅶ-Ⅶ와 Ⅴ-Ⅴ를 따라 절단한 단면도이고, 박막트랜지스터 어레이배선을 형성하는 공정에 이은 컬러필터 형성공정을 공정순서에 따라 도시한 단면도이다.9A to 9E, 10A to 10E, 11A to 11E, and 12A to 12E are cross-sectional views taken along line IV-IV, VI-VI, VIII-V and V-V of FIG. A color filter forming step following the step of forming the transistor array wiring is a sectional view showing the process sequence.

도 9a와 도 10a와 도 11a와 도 12a에 도시한 바와 같이, 앞선 공정에서 상기 소스 및 드레인 전극(128,130)과 데이터 배선(132)과 데이터 패드(134)가 형성된 기판(100)의 전면에 질화 실리콘(SiNX)과 산화 실리콘(SiO2)을 포함하는 무기절연물질 그룹 중 선택된 하나 또는 그 이상의 물질을 증착하고 패턴하여 보호막(136)을 형성한다.As shown in FIGS. 9A, 10A, 11A, and 12A, nitride is formed on the entire surface of the substrate 100 on which the source and drain electrodes 128 and 130, the data line 132, and the data pad 134 are formed. The protective layer 136 is formed by depositing and patterning one or more materials selected from the group of inorganic insulating materials including silicon (SiN X ) and silicon oxide (SiO 2 ).

다음으로, 상기 보호막(136)을 패턴하여 상기 드레인 전극(124)의 일부를 노출하는 제 1 콘택홀(138)과, 임의의 위치(도 3의 G1,G2)에서 상기 데이터 배선(132)의 일부를 노출하는 제 2 콘택홀(140)과, 임의의 위치(도 3의 H1,H2)에서 상기 게이트 배선(102)의 일부를 노출하는 이격된 다수의 제 3 콘택홀(미도시)을 형성한다.Next, the passivation layer 136 may be patterned to expose a portion of the drain electrode 124, and the data line 132 may be disposed at an arbitrary position (G1 and G2 of FIG. 3). A second contact hole 140 exposing a part and a plurality of spaced apart third contact holes (not shown) exposing a part of the gate wiring 102 at an arbitrary position (H1, H2 of FIG. 3). do.

동시에, 상기 화소 영역(P)에 대응하는 보호막(136)을 제거하는 공정을 진행한다.At the same time, a process of removing the protective film 136 corresponding to the pixel region P is performed.

도 9b와 도 10b와 도 11b와 도 12b에 도시한 바와 같이, 상기 보호막(136)이 형성된 기판(100)의 전면에 전술한 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나를 증착하고 패턴하여, 상기 데이터 배선(132)과 게이트 배선(102)에 대응하여 각각 이들과 접촉하는 블랙매트릭스(140a)를 형성하고, 상기 노출된 드레인 전극(130)과 접촉하면서 상기 스토리지 배선(108)의 상부에 섬형상으로 금속패턴(140b)을 형성한다.9B, 10B, 11B, and 12B, one of the above-described conductive metal groups is deposited and patterned on the entire surface of the substrate 100 on which the passivation layer 136 is formed to form the data line 132. ) And a black matrix 140a in contact with the gate wiring 102, respectively, and contact the exposed drain electrode 130 to form an island pattern on the storage wiring 108 in an island shape. 140b).

이때, 상기 게이트 배선(102)과 데이터 배선(132)이 교차하는 부분에서 상기 게이트 배선 및 데이터 배선(102,132)의 상부에 구성된 블랙매트릭스(140a)를 서로 이격되도록 구성해야 한다.In this case, the black matrix 140a formed on the gate line and the data line 102 and 132 is spaced apart from each other at a portion where the gate line 102 and the data line 132 cross each other.

왜냐하면, 각각은 상기 게이트 배선(102)과 데이터 배선(132)과 접촉하도록 구성하였기 때문이다.This is because each is configured to be in contact with the gate wiring 102 and the data wiring 132.

전술한 구성에서, 상기 스토리지 영역(ST)에는 스토리지 캐패시터(CST)가 구성되는데, 상기 스토리지 배선(108)의 상부에 위치하는 금속패턴(140b)은 상기 드레인 전극(132)과 접촉하여 빛을 차단하는 역할이 아닌 스토리지 캐패시터(CST)의 제 2 전극의 역할을 하게 되고, 그 하부의 스토리지 배선(108)은 제 1 전극의 역할을 하게 된다.In the above-described configuration, a storage capacitor C ST is formed in the storage area ST, and the metal pattern 140b disposed on the storage wire 108 contacts the drain electrode 132 to emit light. The second electrode of the storage capacitor C ST is not a blocking function, and the lower storage wiring 108 serves as the first electrode.

이와 같은 구성은 상기 제 1 전극(108)과 제 2 전극(화소 영역의 금속패턴,140b) 사이에 반도체층이 존재하지 않고 높은 유전율을 갖는 무기절연물질만이 유전체로 존재하기 때문에 면적이 작아도 충분한 스토리지 용량을 얻을 수 있는 장점이 있다. This configuration is sufficient even if the area is small because there is no semiconductor layer between the first electrode 108 and the second electrode (metal pattern 140b in the pixel region) and only an inorganic insulating material having a high dielectric constant exists as a dielectric. There is an advantage to getting storage capacity.

또한, 상기 게이트 배선(102)과 데이터 배선(132)의 상부에 구성한 블랙매트릭스(140a)는 각각 그 하부의 배선과 접촉하면서 구성되었기 때문에 빛을 차단하거나 화소 영역간의 서로 다른 빛이 혼합되는 것을 방지하는 역할을 하는 동시에, 상기 게이트 배선 또는 데이터 배선(102,132)이 절단되었을 때 이를 수리할 수 있는 수리배선(repair line)의 역할을 하게 된다.In addition, since the black matrix 140a formed on the upper portion of the gate line 102 and the data line 132 is in contact with the lower line, the black matrix 140a blocks the light or prevents different light from being mixed between the pixel areas. At the same time, the gate line or data line 102 and 132 may be repaired when the gate line or data line 102 is cut.

도 9c와 도 10c와 도 11c와 도 12c에 도시한 바와 같이, 상기 블랙매트릭스(140a)와 금속패턴(140b)이 형성된 기판(100)의 화소 영역(P)에 대응하여 적색과 녹색과 청색 컬러필터(142a,142b,미도시)를 소정의 순서로 순차 형성하는 공정을 진행한다.9C, 10C, 11C, and 12C, red, green, and blue colors corresponding to the pixel region P of the substrate 100 on which the black matrix 140a and the metal pattern 140b are formed. A process of sequentially forming the filters 142a and 142b (not shown) in a predetermined order is performed.

도 9d와 도 10d와 도 11d와 도 12d에 도시한 바와 같이, 상기 컬러필터(142a,142b)가 형성된 기판(100)의 전면에 벤조사이클로부텐(BCB)과 아크릴(acryl)계 수지(resin)를 포함하는 유기절연물질 그룹 중 선택된 하나 또는 그 이상의 물질을 도포하여, 평탄화층(146)을 형성한다. As shown in FIGS. 9D, 10D, 11D, and 12D, benzocyclobutene (BCB) and acrylic resin (resin) on the entire surface of the substrate 100 on which the color filters 142a and 142b are formed. The planarization layer 146 is formed by coating one or more materials selected from the group of organic insulating materials including a.

이때, 상기 평탄화층(146)은 질화 실리콘(SiNX)과 산화 실리콘(SiO2)을 포함하는 무기절연물질 그룹 중 선택된 하나를 증착하여 형성할 수 있다.In this case, the planarization layer 146 may be formed by depositing one selected from the group of inorganic insulating materials including silicon nitride (SiN X ) and silicon oxide (SiO 2 ).

다음으로, 상기 평탄화층(146)을 식각하여 상기 드레인 전극(130)과 접촉하는 부분의 금속패턴(140b)을 노출하는 드레인 콘택홀(148)과, 상기 게이트 패드(106)를 노출하는 게이트 패드 콘택홀(150)과, 상기 데이터 패드(134)를 노출하는 데이터 패드 콘택홀(152)을 형성한다.Next, the planarization layer 146 is etched to expose the drain contact hole 148 exposing the metal pattern 140b in contact with the drain electrode 130, and the gate pad exposing the gate pad 106. A contact hole 150 and a data pad contact hole 152 exposing the data pad 134 are formed.

도 9e와 도 10e와 도 11e와 도 12e에 도시한 바와 같이, 상기 평탄화층(146)이 형성된 기판(100)의 전면에 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 포함하는 투명한 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나를 증착하고 패턴하여, 상기 드레인 전극(130)과 접촉하는 노출된 금속패턴(140b)과 접촉하는 화소 전극(154)과, 상기 노출된 게이트 패드(106)와 접촉하는 게이트 패드 단자(156)와, 상기 데이터 패드(134)와 접촉하는 데이터 패드 단자(158)를 형성한다.As shown in FIGS. 9E, 10E, 11E, and 12E, indium tin oxide (ITO) and indium zinc oxide (IZO) may be formed on the entire surface of the substrate 100 on which the planarization layer 146 is formed. Depositing and patterning a selected one of a transparent conductive metal group including a pixel electrode 154 in contact with the exposed metal pattern 140b in contact with the drain electrode 130, and the exposed gate pad 106. A gate pad terminal 156 in contact with each other and a data pad terminal 158 in contact with the data pad 134 are formed.

전술한 바와 같은 공정을 통해 본 발명에 따른 COT 구조 액정표시장치용 어레이기판을 제작할 수 있다.Through the process as described above it is possible to manufacture an array substrate for a COT structure liquid crystal display device according to the present invention.

따라서, 본 발명에 따라 제작된 COT 구조의 액정표시장치는 불투명한 도전성 금속으로 블랙매트릭스를 형성하는 동시에 이를 게이트 및 데이터 배선에 연결하는 구조를 도입하여, 상기 게이트 배선 및 데이터 배선의 신호 지연을 방지하는 효과가 있다.Accordingly, the liquid crystal display of the COT structure manufactured according to the present invention introduces a structure in which a black matrix is formed of an opaque conductive metal and is connected to the gate and the data line, thereby preventing signal delay of the gate line and the data line. It is effective.

따라서, 게이트 배선 및 데이터 배선의 폭을 작게 설계하는 것이 가능하여 대면적 및 고개구율 화소 설계가 용이한 효과가 있다.Therefore, the width of the gate wiring and the data wiring can be designed small, and the large area and the high-aperture pixel design can be easily performed.

또한, 상기 게이트 배선과 데이터 배선이 단선되었을 경우 상기 블랙매트릭스를 리페어배선으로 사용할 수 있기 때문에, 배선이 단선되었을 경우 이를 수리하기 위한 추가적인 공정이 필요치 않는 효과가 있다.In addition, since the black matrix can be used as a repair wiring when the gate wiring and the data wiring are disconnected, there is an effect that an additional process for repairing the wiring is disconnected.

또한, 상기 블랙매트릭스를 상기 스토리지 캐패시터의 제 2 전극으로 사용함으로써, 상기 제 2 전극의 하부에 반도체층이 존재하지 않고 게이트 절연막 만이 존재할 수 있으므로, 스토리지 캐패시터의 면적을 크게하지 않고도 충분한 보조 용량을 확보할 수 있는 효과가 있다.In addition, since the black matrix is used as the second electrode of the storage capacitor, only a gate insulating layer may exist in the lower portion of the second electrode, thereby ensuring sufficient storage capacity without increasing the area of the storage capacitor. It can work.

따라서, 화소 영역에 스토리지 영역이 구성된 구조에 있어서, 개구율을 개선할 수 있는 효과가 있다.Therefore, in the structure in which the storage area is formed in the pixel area, the aperture ratio can be improved.

도 1은 일반적인 액정표시장치의 구성을 개략적으로 도시한 분해 사시도이고,1 is an exploded perspective view schematically illustrating a configuration of a general liquid crystal display device;

도 2는 일반적인 컬러액정표시장치의 구성을 개략적으로 도시한 단면도이고,2 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a general color liquid crystal display device;

도 3은 본 발명에 따른 COT 구조 액정표시장치용 어레이기판의 일부를 도시한 확대 평면도이고,3 is an enlarged plan view showing a part of an array substrate for a COT structure liquid crystal display device according to the present invention;

도 4a와 도 4b는 각각 도 3의 Ⅳ-Ⅳ,Ⅴ-Ⅴ를 절단하여 이를 참조로 도시한 본 발명에 따른 COT 구조 액정표시장치의 구성을 개략적으로 도시한 단면도이고,4A and 4B are cross-sectional views schematically illustrating a configuration of a liquid crystal display (COT) structure according to the present invention, in which IV-IV and V-V of FIG.

도 5a 내지 도 5g와 도 6a 내지 도 6g와 도 7a 내지 도 7g와 도 8a 내지 도 8g는 각각 도 3의 Ⅳ-Ⅳ, Ⅵ-Ⅵ과 Ⅶ-Ⅶ과 Ⅴ-Ⅴ를 따라 절단하여, 본 발명에 따른 COT구조 액정표시장치용 어레이기판의 박막트랜지스터 및 어레이 배선 공정을 공정순서에 따라 도시한 공정 단면도이고,5A to 5G, 6A to 6G, 7A to 7G, and 8A to 8G are cut along the lines IV-IV, VI-VI, VIII-V and V-V of FIG. 3, respectively. Is a cross-sectional view showing a thin film transistor and an array wiring process of an array substrate for a COT structure liquid crystal display according to a process sequence,

도 9a 내지 도 9e와 도 10a 내지 도 10e와 도 11a 내지 도 11e와 도 12a 내지 도 12e는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ, Ⅵ-Ⅵ과 Ⅶ-Ⅶ과 Ⅴ-Ⅴ를 따라 절단하여, 본 발명에 따른 COT구조 액정표시장치용 어레이기판의 컬러필터 형성공정을 공정순서에 따라 도시한 공정 단면도이다.9A to 9E, 10A to 10E, 11A to 11E, and 12A to 12E are cut along the lines IV-IV, VI-VI, VIII-V and V-V of FIG. The cross-sectional view of the color filter forming process of the array substrate for a COT structure liquid crystal display device according to the process sequence is shown.

<도면의 주요부분에 대한 간단한 설명><Brief description of the main parts of the drawing>

100 : 기판 102 : 게이트 배선100: substrate 102: gate wiring

104 : 게이트 전극 106 : 게이트 패드104: gate electrode 106: gate pad

108 : 스토리지 배선 124 : 액티브층108: storage wiring 124: active layer

128 : 소스 전극 130 : 드레인 전극128: source electrode 130: drain electrode

132 : 데이터 배선 134 : 데이터 패드132: data wiring 134: data pad

140 : 블랙매트릭스 142a,b,c : 컬러필터140: black matrix 142a, b, c: color filter

154 : 화소 전극 156 : 데이터 패드 단자154: pixel electrode 156: data pad terminal

158 : 게이트 패드 단자158: gate pad terminals

Claims (25)

제 1 기판과 제 2 기판과;A first substrate and a second substrate; 상기 제 2 기판과 마주보는 제 1 기판의 일면에 서로 수직 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과;A gate wiring and a data wiring defining a pixel area by vertically crossing each other on one surface of the first substrate facing the second substrate; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 구성된 스위칭 소자와;A switching element configured at an intersection point of the gate line and the data line; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 상부에 각각 독립적으로 위치하고, 상기 배선의 상부에 위치한 구성은 각각 그 하부의 게이트 배선 또는 데이터 배선과 접촉하는 제 1 블랙매트릭스와;A first black matrix positioned independently of the gate wiring and the data wiring, respectively, and configured to be in contact with the gate wiring or the data wiring below; 상기 화소 영역에 구성된 컬러필터와;A color filter configured in the pixel region; 상기 컬러필터의 상부에 위치하고, 상기 스위칭 소자와 접촉하는 투명한 화소 전극과;A transparent pixel electrode on the color filter and in contact with the switching element; 상기 제 1 기판과 마주보는 제 2 기판의 일면 중, 상기 스위칭 소자에 대응하는 부분에 구성된 제 2 블랙매트릭스와;A second black matrix formed on a portion of the second substrate facing the first substrate, the portion corresponding to the switching element; 상기 제 2 블랙매트릭스를 포함하는 제 2 기판의 전면에 구성된 투명한 공통 전극을 포함하는 씨.오.티(COT)구조 액정표시장치.A COT structure liquid crystal display device comprising a transparent common electrode formed on an entire surface of a second substrate including the second black matrix. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 화소 영역에 대응하여 스토리지 배선이 더욱 구성된 씨.오.티(COT)구조 액정표시장치.A COT structure liquid crystal display device further comprising a storage wiring corresponding to the pixel area. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 스토리지 배선의 상부에 위치하고, 상기 드레인 전극과 접촉하면서 상기 블랙매트릭스와 동일층, 동일물질인 금속패턴이 더욱 구성된 씨.오.티(COT)구조 액정표시장치.A COT structure liquid crystal display device positioned above the storage wiring and contacting the drain electrode, the metal pattern being the same layer and the same material as the black matrix. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 블랙매트릭스는 불투명한 도전성 금속인 것을 특징으로 하는 씨.오.티(COT)구조 액정표시장치. The black matrix is a C. O. (COT) structure liquid crystal display, characterized in that the opaque conductive metal. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 컬러필터는 화소 영역에 순차 대응되어 구성된 적색과 녹색과 청색의 컬러필터인 씨.오.티(COT)구조 액정표시장치.The color filter is a C. O. (COT) structure liquid crystal display device which is a color filter of red, green, and blue sequentially formed corresponding to the pixel area. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 스위칭 소자는 게이트 전극과, 게이트 전극 상부에 절연막을 사이에 두고 위치한 액티브층과, 상기 액티브층의 상부에 이격된 소스 및 드레인 전극을 포함하는 씨.오.티(COT)구조 액정표시장치. The switching element includes a gate electrode, an active layer positioned over the gate electrode with an insulating layer interposed therebetween, and source and drain electrodes spaced apart from each other on the active layer. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 제 2 기판의 블랙매트릭스는 상기 소스 및 드레인 전극 사이로 노출된 액티브층에 대응하여 구성된 것을 특징으로 하는 씨.오.티(COT)구조 액정표시장치. The black matrix of the second substrate is configured to correspond to the active layer exposed between the source and drain electrodes. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 기판과 제 2 기판의 갭(gap)을 유지하기 위해, 상기 스위칭 소자에 대응하여 구성된 기둥형상의 스페이서(spacer)가 구성된 씨.오.티(COT)구조 액정표시장치. A COT structure liquid crystal display device comprising a columnar spacer configured to correspond to the switching element to maintain a gap between the first substrate and the second substrate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 화소 전극과 컬러필터 사이에 평탄화층이 더욱 구성된 씨.오.티(COT)구조 액정표시장치. A COT structure liquid crystal display device further comprising a planarization layer between the pixel electrode and the color filter. 제 1 기판과 제 2 기판을 준비하는 단계와;Preparing a first substrate and a second substrate; 상기 제 2 기판과 마주보는 제 1 기판의 일면에 서로 수직 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선을 형성하는 단계와;Forming gate lines and data lines on one surface of the first substrate facing the second substrate to vertically cross each other to define pixel regions; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 스위칭 소자를 형성하는 단계와;Forming a switching element at an intersection point of the gate line and the data line; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 상부에 각각 독립적으로 위치하고, 각각 은 그 하부의 게이트 배선 또는 데이터 배선과 접촉하는 제 1 블랙매트릭스를 형성하는 단계와;Forming a first black matrix positioned independently over the gate wiring and the data wiring, each of which is in contact with a gate wiring or a data wiring below; 상기 화소 영역에 컬러필터를 형성하는 단계와;Forming a color filter in the pixel region; 상기 컬러필터의 상부에 위치하고, 상기 스위칭 소자와 접촉하는 투명한 화소 전극을 형성하는 단계와;Forming a transparent pixel electrode on the color filter and in contact with the switching element; 상기 제 1 기판과 마주보는 제 2 기판의 일면 중, 상기 스위칭 소자에 대응하는 부분에 제 2 블랙매트릭스를 형성하는 단계와;Forming a second black matrix on one surface of the second substrate facing the first substrate, the portion corresponding to the switching element; 상기 제 2 블랙매트릭스를 포함하는 제 2 기판의 전면에 투명한 공통 전극을 형성하는 단계Forming a transparent common electrode on an entire surface of a second substrate including the second black matrix 를 포함하는 씨.오.티(COT)구조 액정표시장치 제조방법.C. O. (COT) structure liquid crystal display device manufacturing method comprising a. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 화소 영역에 대응하여 스토리지 배선이 더욱 형성된 씨.오.티(COT)구조 액정표시장치 제조방법.A COT structure liquid crystal display device further comprising a storage wiring corresponding to the pixel area. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 스토리지 배선의 상부에 위치하고, 상기 드레인 전극과 접촉하면서 상기 제 1 블랙매트릭스와 동일층, 동일물질로 금속패턴을 형성하는 단계를 포함하는 씨.오.티(COT)구조 액정표시장치 제조방법.And forming a metal pattern on the storage wiring, the metal pattern being made of the same layer and the same material as the first black matrix while being in contact with the drain electrode. 제 12 항에 있어서,The method of claim 12, 상기 스토리지 배선과 상기 금속패턴 사이에는 무기 절연막이 개재되어 있는 씨.오.티(COT)구조 액정표시장치 제조방법.A COT structure liquid crystal display device having an inorganic insulating film interposed between the storage wiring and the metal pattern. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 블랙매트릭스는 불투명한 도전성 금속으로 형성된 것을 특징으로 하는 씨.오.티(COT)구조 액정표시장치 제조방법. And wherein the black matrix is formed of an opaque conductive metal. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 컬러필터는 화소 영역에 순차 대응되어 형성된 적색과 녹색과 청색의 컬러필터인 씨.오.티(COT)구조 액정표시장치 제조방법.And the color filter is a red, green, and blue color filter formed sequentially corresponding to the pixel area. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 스위칭 소자는 게이트 전극과, 게이트 전극 상부에 절연막을 사이에 두고 위치한 액티브층과, 상기 액티브층의 상부에 이격된 소스 및 드레인 전극을 포함하는 씨.오.티(COT)구조 액정표시장치 제조방법. The switching device includes a gate electrode, an active layer disposed over the gate electrode with an insulating layer interposed therebetween, and a source and drain electrode spaced apart from each other on the active layer. Way. 제 16 항에 있어서,The method of claim 16, 상기 제 2 기판의 블랙매트릭스는 상기 소스 및 드레인 전극 사이로 노출된 액티브층에 대응하여 형성된 것을 특징으로 하는 씨.오.티(COT)구조 액정표시장치 제조방법.And a black matrix of the second substrate is formed corresponding to an active layer exposed between the source and drain electrodes. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 컬러필터와 상기 화소 전극 사이에 평탄화층을 형성하는 단계를 더욱 포함하는 씨.오.티(COT)구조 액정표시장치 제조방법.And forming a planarization layer between the color filter and the pixel electrode. 제 18 항에 있어서,The method of claim 18, 상기 평탄화층은 벤조사이클로부텐(BCB)과 아크릴(acryl)계 수지(resin)를 포함하는 유기절연물질 그룹 또는 질화 실리콘(SiNX)과 산화 실리콘(SiO2)을 포함하는 무기 절연물질 그룹 중 선택된 하나로 형성된 씨.오.티(COT)구조 액정표시장치 제조방법.The planarization layer is selected from an organic insulating material group including benzocyclobutene (BCB) and an acrylic resin (resin) or an inorganic insulating material group including silicon nitride (SiN X ) and silicon oxide (SiO 2 ). Manufacturing method of C. O. structure liquid crystal display device formed as one. 기판 상에 스위칭 영역을 포함하는 화소 영역을 정의하는 단계와;Defining a pixel region comprising a switching region on the substrate; 상기 스위칭 영역에 게이트 전극과, 게이트 전극과 연결되는 게이트 배선을 형성하는 제 1 마스크 공정 단계와;A first mask process step of forming a gate electrode and a gate wiring connected to the gate electrode in the switching region; 상기 게이트 전극 및 게이트 배선의 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계와;Forming a gate insulating film over the gate electrode and the gate wiring; 상기 게이트 전극에 대응하는 게이트 절연막의 상부에 적층된 제 1 반도체 패턴과 소스 및 드레인 전극과, 상기 제 1 반도체 패턴에 연결된 제 2 반도체 패턴과 제 2 반도체 패턴의 상부에 데이터 배선을 형성하는 제 2 마스크 공정 단계와;A second semiconductor pattern and a source and drain electrode stacked on an upper portion of the gate insulating layer corresponding to the gate electrode, and a second data line formed on the second semiconductor pattern and the second semiconductor pattern connected to the first semiconductor pattern. A mask processing step; 상기 소스 및 드레인 전극과 데이터 배선이 형성된 기판의 전면에 보호막을 형성하고, 상기 데이터 배선과 게이트 배선의 일부를 노출하는 제 3 마스크 공정 단계와;A third mask process step of forming a protective film on an entire surface of the substrate on which the source and drain electrodes and the data wiring are formed, and exposing a portion of the data wiring and the gate wiring; 상기 게이트 배선 및 데이터 배선의 상부에 각각 독립적으로 구성되고, 각각은 하부의 노출된 게이트 배선 및 데이터 배선과 접촉하는 블랙매트릭스를 형성하는 제 4 마스크 공정 단계와;A fourth mask process step of forming a black matrix independently formed on top of said gate wiring and data wiring, each forming a black matrix in contact with a lower exposed gate wiring and data wiring; 상기 화소 영역에 대응하여 컬러필터를 형성하는 제 5 마스크 공정 단계와;A fifth mask process step of forming a color filter corresponding to the pixel region; 상기 드레인 전극을 노출하는 제 6 마스크 공정 단계와;A sixth mask process step of exposing the drain electrode; 상기 드레인 전극과 접촉하면서, 상기 화소 영역에 위치하는 투명한 화소 전극을 형성하는 제 7 마스크 공정 단계A seventh mask process step of forming a transparent pixel electrode in contact with the drain electrode and positioned in the pixel region 를 포함하는 씨.오.티 구조 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.C. O. structure structure array substrate manufacturing method for a liquid crystal display device comprising a. 제 20 항에 있어서,The method of claim 20, 상기 제 1 마스크 공정 단계에서, 상기 화소 영역의 일부에 대응하여 스토리지 배선을 형성하는 단계를 포함하는 씨.오.티 구조 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.And forming a storage wiring corresponding to a portion of the pixel region in the first mask process step. 제 21 항에 있어서,The method of claim 21, 상기 스토리지 배선의 상부에 상기 제 4 마스크 공정단계에서, 상기 블랙매트릭스와 동일층 동일물질로 형성되고 상기 드레인 전극과 접촉하는 금속패턴을 형성하는 단계를 더욱 포함하는 씨.오.티 구조 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.And forming a metal pattern formed on the same layer as the black matrix and in contact with the drain electrode in the fourth mask process step on the storage wiring. Method for manufacturing an array substrate for use. 제 22 항에 있어서,The method of claim 22, 상기 제 3 마스크 공정단계에서, 상기 화소 영역에 대응하는 보호막을 제거하는 단계를 더욱 포함하는 씨.오.티 구조 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.And removing the protective layer corresponding to the pixel area in the third mask process step. 제 23 항에 있어서,The method of claim 23, wherein 상기 게이트 절연막은 질화 실리콘(SiNX)과 산화 실리콘(SiO2)을 포함하는 무기 절연물질 그룹 중 선택된 하나를 증착하여 형성한 씨.오.티 구조 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.The gate insulating layer is formed by depositing one selected from the group of inorganic insulating materials including silicon nitride (SiN X ) and silicon oxide (SiO 2 ). 제 20 항에 있어서,The method of claim 20, 상기 제 2 마스크 공정 단계는 The second mask process step 상기 게이트 전극 및 게이트 배선이 형성된 기판의 전면에 게이트 절연막과 순수 비정질 실리콘층과 불순물이 포함된 비정질 실리콘층과 금속층을 적층하는 단계와;Stacking a gate insulating film, a pure amorphous silicon layer, an amorphous silicon layer containing impurities, and a metal layer on an entire surface of the substrate on which the gate electrode and the gate wiring are formed; 상기 금속층의 상부에 감광층을 형성하고, 상기 감광층이 형성된 기판의 상부에 투과부와 반사부와 반투과부로 구성된 마스크를 위치시키는 단계와;Forming a photosensitive layer on the metal layer, and placing a mask including a transmissive part, a reflective part, and a transflective part on the substrate on which the photosensitive layer is formed; 상기 마스크의 상부로 빛을 조사하여, 하부의 감광층을 노광하고 현상하여 상기 스위칭 영역과 상기 게이트 배선과 수직한 화소 영역의 일측에 대응하여 감광 패턴을 형성하는 단계와;Irradiating light to the upper portion of the mask, exposing and developing a lower photosensitive layer to form a photosensitive pattern corresponding to one side of the pixel region perpendicular to the switching region and the gate wiring; 상기 감광패턴의 주변으로 노출된 상기 금속층과 불순물 비정질 실리콘층과 순수 비정질 실리콘층을 제거하는 단계와;Removing the metal layer, the impurity amorphous silicon layer, and the pure amorphous silicon layer exposed to the periphery of the photosensitive pattern; 상기 감광패턴을 애싱하여, 상기 마스크의 반투과부에 대응하는 일부만 현상된 부분의 감광패턴을 완전히 제거하여 하부의 금속층을 노출하는 단계와;Ashing the photosensitive pattern to completely remove a photosensitive pattern of a portion in which only a part corresponding to the transflective portion of the mask is developed to expose a lower metal layer; 상기 감광패턴의 주변으로 노출된 금속층을 제거하고, 그 하부의 불순물 비정질 실리콘층을 노출하는 단계와;Removing the metal layer exposed to the periphery of the photosensitive pattern, and exposing an underlying impurity amorphous silicon layer; 상기 감광패턴을 제거함으로써, 소스 및 드레인 전극과 데이터 배선과 상기 소스 및 드레인 전극 하부의 제 1 반도체 패턴과, 상기 데이터 배선 하부의 제 2 반도체 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 씨.오.티 구조 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.Forming a source and drain electrode, a data line, a first semiconductor pattern under the source and drain electrode, and a second semiconductor pattern under the data line by removing the photosensitive pattern. Method of manufacturing array substrate for liquid crystal display device.
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