KR20050101781A - 폐기가스 처리장치의 역류방지용 분배밸브 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 폐기가스 처리장치의 역류방지용 분배밸브에 관한 것으로, 종래의 분배밸브에 부착되는 실린더형 밸브는 사용하다보면 리턴스프링의 반발력이 감소되고, 또한 리턴스프링이 내장된 실린더측으로 파우더가 유입되어 실린더의 내벽에 흡착되며, 특히 폐기가스의 유입이 일시적으로 중단되면 배출되던 폐기가스가 역류되는 문제점이 있었다.
이에 본 발명은 예시도 3 내지 도 6에 표현된 바와 같이, 입구홀(102)과 서로 대향하는 두 개의 출구홀(104)(106)을 갖춘 육면체 형상의 밸브하우징(100)의 내부에 직각을 이루는 통로(240)를 갖추고 상부에 키홈(202)을 갖춘 구형상의 회전체(200)를 설치하고, 상기 밸브하우징(100)의 입구홀(102) 및 두개의 출구홀 (104)(106)과 결합을 이루는 가스흡입플랜지(300) 및 반응·크리닝가스배출플랜 지(400)(500)를 설치하여 밸브하우징(100) 내부에 설치한 회전체(200)가 90˚각도로 정역회전 함에 따라 흡입되는 폐기가스의 배출방향을 간단하게 전환시킬 수 있도록 한 것이다.

Description

폐기가스 처리장치의 역류방지용 분배밸브{Distributing valve of waste gas treating apparatus for preventing backward flow}
본 발명은 폐기가스 처리장치의 역류방지용 분배밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 밸브몸체의 내부에 역류방지수단을 갖춘 가동체를 설치하여 가동체가 좌우로 회전함에 따라 입구로부터 투입하는 폐기가스가 역류하지 않으면서 양측방향의 일측 출구로 배출시킬 수 있도록 한 폐기가스 처리장치의 폐기가스 역류방지용 분배밸브에 관한 것이다.
반도체 생산라인에서는 각종 반응가스와 크리닝가스를 사용하여 제품을 제조하게 되며, 이러한 반도체 제품의 제조공정에서 폐기가스가 배출되는 공정의 일예로는 웨이퍼 처리공정이 있으며, 이를 상세히 설명하면 챔버(진공상태)내의 웨이퍼에 다종의 반응가스를 공급 화학반응시켜 웨이퍼 상면에 산화막을 형성하는 산화막 증착 처리공정이 있다.
이때, 챔버내에서는 웨이퍼의 산화막 성장에 관여하면서 유독가스, 수분, 잔류가스와 분진형태의 산화규소 등의 잔류물질이 형성된다.
특히, 반도체 제조공정에서는 다종의 반응가스(프로세싱 가스)와 크리닝 가스를 사용되는데, 상기 가스들은 대개가 독성이 매우 강해서 인체에 치명적이고, 또한 서로 다른 성분의 가스가 혼합되거나 공기와 혼합되면 폭발할 위험성도 있어, 사용한 반응가스와 크리닝가스는 별개의 배출관을 통해 폐기가스 정화장치로 배출되어 인체에 무해하도록 정화된 후 대기 중으로 배출되고 있다.
상기 반도체 제조공정상에서 사용되는 프로세싱 가스와 크리닝 가스의 처리과정을 간단하게 설명하면 도 1에 표현된 바와 같이, 프로세싱 가스 흡인라인과 크리닝 가스 흡입라인을 갖춘 챔버(1)에 프로세싱 가스 흡입라인을 통해 프로세싱 가스가 흡입되어 챔버(1)에 들어있는 다량의 웨이퍼는 산화막처리가 된다.
상기 웨이퍼에 산화막처리를 한 챔버에 들어 있는 프로세싱가스는 배출라인에 설치되어 있는 진공펌프(2)의 부압에 의해 배출되어지되, 상기 프로세싱가스는 분할개폐식의 분배밸브(5)를 통해 정화장치인 스크로버(3)로 보내어 정화된다.
이어서 크리닝가스 흡입라인을 통해 세정용 크리닝가스를 주입하여 잔여 프로 세싱 가스를 배출하게 되고 이렇게 배출되는 크리닝가스와 잔여 프로세싱가스는 분할개폐식의 분배밸브(5)를 통해 또 다른 정화장치인 스크로버(4)로 보내어 정화된다.
상기 각종 프로세싱가스를 분할 개폐하는 분배밸브(5)는 도 2에 표현된 바와 같이, 1개소의 흡입구(6)와 2개소의 배출구(7) 및 세정용 질소가스 유입구(8)가 형성된 금속경통(9)으로 이루어진 밸브몸체(10)와, 상기 금속경통(9)의 양측에 형성된 배출구(7)를 개폐시키도록 설치된 공압제어식의 실린더밸브(20)로 이루어져 있다.
상기 실린더밸브(20)는 리턴스브링(11)이 안치된 스프링실린더(12)와, 공압이 주입되는 구동포트(13)를 갖춘 부싱플랜지(14)와, 상기 스프링실린더(12)와 부싱플랜지(14)를 보울트로 금속경통(9)에 함께 장착시키는 실린더플랜지(15)와, 양측으로 패킹(16)과 개폐패킹(18)이 갖춰진 샤프트(17), 그리고 부싱플랜지(14)와 샤프트(17)의 사이틈을 밀폐하기 위한 0-링(19)으로 이루어져 있다.
이러한 종래의 분배밸브(5)의 동작을 설명하면, 공정후 폐기가스를 지정된 배출구(7)로 배출하기 위해서는 일측 부싱플랜지(14)의 구동보트(13)로 공압을 주입하면 패킹(16)이 리턴스프링(11)을 압축시키면서 샤프트(17)가 스프링실린더(12)측으로 이동함으로 개폐패킹(18)이 통로를 열어주게 되어 흡입구(6)를 통해 유입된 폐기가스는 지정된 배출구(7)로 빠져나가게 된다.
이때, 타측 통로는 도면에 표현된 바와 같이 구동포트(13))에 공압이 가해지지 않은 상태에서는 리턴스프링(11)에 의해 샤프트(17)의 일측에 형성된 개폐패킹(18)이 통로를 폐쇄시킨 상태를 이루게 됨으로서, 유입된 폐기가스는 지정된 배출구(7)만으로 배출되어 정화장치로 이송되고, 정화장치로 이송된 폐기가스는 인체에 무해한 가스로 정화되어 대기중으로 배출된다.
그러나, 상기와 같은 종래의 분배밸브(5)는 흡입구(6)와 양측의 배출구(7)가 설치되는 위치가 직각을 이루고 있고, 또한 실린더밸브(20) 자체의 구조가 매우 복잡하여 여러 가지 문제점이 있었다.
상기 분배밸브(5)의 여러 가지 문제점을 상세히 설명하면, 첫째, 챔버(1)에서 배출되는 폐기가스는 정화장치(4)로 이송중 화학적변화 또는 온도변화로 인해 자연적으로 파우더가 생성되는데, 이렇게 생성된 파우더는 분배밸브(5)의 내부벽에 흡착돠고, 특히 직각을 이루는 곡관부분에 파우더가 집중적으로 흡착되어 곡관부분의 통로가 협소해지면서 폐기가스가 원활하게 이송되지 못하는 문제점이 있었다.
둘째, 밸브몸체(10)의 양측으로 돌출되도록 실린더밸브(20)가 부착됨으로 해서 분배밸브(5)의 전체적인 부피가 늘어나게 되어 설비라인의 공간활용이 효율적이지 못한 문제점이 있었다.
셋째, 구조적으로 실린더밸브(20)는 장시간 사용하다보면 리턴스프링(11)의 반발력이 감소되어 제기능을 다하지 못하고, 또한 리턴스프링(11)이 내장된 스프링실린더(12)측으로 파우더가 유입되어 스프링실린더(12)의 내벽에 흡착되면서 일정한 공압이 가해져도 패킹(16)이 리턴스프링(11)을 압축시키지 못해 실린더밸브(20)의 기능을 다하지 못하는 문제점이 있었다.
넷째, 분배밸브(5)의 흡입구(6)를 통해 흡입되던 폐기가스가 일시적으로 중단되었을 때, 분배밸브(5)의 내부에 흡입되었던 폐기가스가 순간적으로 역류되는 문제점이 있었다.
이에 본 발명은 육면체를 이루는 밸브하우징 내부에 직각의 통로를 갖춘 볼밸브를 설치하고, 밸브하우징 상부에는 구동액츄에이터의 구동력을 전달하는 구동축을 설치하며, 밸브하우징의 하면에는 고압의 질소가스를 투입하는 공압포트를 설치하여 볼밸브가 회전됨에 따라 폐기가스의 배출방향을 전환시킬 수 있도록 한 폐기가스 처리장치의 역류방지용 분배밸브를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 입구홀과 서로 대향하는 두 개의 출구홀을 갖춘 육면체 형상의 밸브하우징과; 직각을 이루는 통로를 갖추고 상부에 키홈을 갖춘 구형상의 회전체와; 상기 밸브하우징의 입구홀 및 두개의 출구홀과 결합을 이루는 가스흡입플랜지 및 반응·크리닝가스배출플랜지와; 상기 회전체와 플랜지 사이의 기밀성을 갖추면서 마찰력을 최소화하기 위해 설치하는 환형시트와 환형링으로 이루어지되, 상기 밸브하우징의 상부에는 회전체를 일정각도 회전시키는 회전축을 설치하고, 하부에는 공압포트를 설치하며, 밸브하우징의 내부 일면에는 안착홈을 형성하여 환형지지시트를 갖춘 지지플랜지를 설치하며, 상기 지지플랜지에 의해 밸브하우징 내부에 설치한 회전체의 위치를 안정된 상태를 이루게 하면서 회전체가 90˚각도로 정역회전 할 때 회전체의 통로에 의해 흡입하는 폐기가스의 배출방향이 전환될 수 있도록 한 것이다.
이하, 본 발명을 첨부된 예시도면을 참고로 하여 그 구성과 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.
예시도 3 은 본 발명에 따른 분배밸브의 사시도이고, 예시도 4 는 본 발명에 따른 분배밸브의 분해사시도 이며, 예시도 5 는 본 발명에 따른 분배밸브를 통해 반응가스를 배출시키는 것을 나타낸 일부 확대 단면도이고, 예시도 6 은 본 발명에 따른 분배밸브를 통해 크리닝가스를 배출시키는 것을 나타낸 일부확대 단면도이다.
상기 예시도에 표현된 바와 같이, 본 발명은 입구홀(102)과 서로 대향하는 두 개의 출구홀(104)(106)을 갖춘 육면체 형상의 밸브하우징(100)과; 직각을 이루는 통로(240)를 갖추고 상부에 키홈(202)을 갖춘 구형상의 회전체(200)와; 상기 밸브하우징(100)의 입구홀(102) 및 두개의 출구홀(104)(106)과 결합을 이루는 가스흡입플랜지(300) 및 반응가스·크리닝가스배출플랜지(400)(500)와; 상기 회전체(200)와 각각의 가스흡입·반응가스배출·크리닝가스배출플랜지(300)(400)(500) 사이의 기밀성을 갖추면서 마찰력을 최소화하기 위해 설치하는 환형시트(310)(410)(510)와 환형링(210)(220)으로 이루어지되, 상기 밸브하우징(100)의 상부에는 정역회전이 가능한 공지의 액츄에이터(60)를 설치하기 위한 플랜지(110)를 설치하여 회전체(200)를 일정각도 회전시키는 회전축(230)을 설치하고, 하부에는 공압포트(112)를 설치하며, 밸브하우징(100)의 내부 일면에는 안착홈(122)을 형성하여 환형지지시트(124)를 갖춘 지지플랜지(120)를 설치하고, 상기 지지플랜지 (120)에 의해 밸브하우징(100) 내부에 설치한 회전체(200)는 일정한 위치에서 안정된 상태를 이루면서 회전체(200)가 90˚각도로 정역회전 할 때 회전체(200)의 통로(240)에 의해 폐기가스의 배출방향이 전환될 수 있도록 한 것이다.
상기 회전축(230)은 하단부에 회전체(200)의 키홈(202)과 끼움결합을 이루는 돌부(232)가 형성되어 있고, 상단부는 사각봉형상을 이루되, 상기 사각봉의 각모서리부를 포함한 하부의 원봉형 외주에는 나사부(234)가 형성되어 있으며, 상기 나사부(234)에 개스킷(235)과 환링(236) 및 한쌍의 접시와샤(237)가 순차적으로 끼워져 고정너트(238)에 의해 기밀성을 갖추며 회전가능하도록 밸브하우징(100)에 설치된다.
상기 회전체(200)의 통로(240) 일측 입출구(241)에는 환형홈(242)과 환형돌부(243)가 다른 일측 입출구(244)에는 환형홈(245)과 단차환형돌부(246)가 형성되어 있고, 환형홈(242)과 환형돌부(243)가 형성된 입출구(241)에 내면이 수직부(212)를 이루는 환형링(210)이 결합되고, 환형홈(242)과 단차환형돌부(246)가 형성된 입출구(244)에는 내면이 경사부(222)를 이루는 환형링(220)이 강제 끼움식으로 결합되어 지되, 상기 환형링(210)(220)의 외면은 회전체(200)의 외주면과 동일한 볼록곡면을 이루고, 등간격을 이루는 다수의 링홀(214)(224)이 형성되어 있다.
또한, 상기 환형시트(310)(410)는 등간격을 이루는 다수의 시트홀(312)(412)이 형성되어 있고, 내면을 제외한 외주면에 통기홈(314)(414)이 형성되어 있으며, 환형링(210)(220)과 접하는 면은 오목곡면을 이루면서 통기환홈(316)(416)이 형성되어 환형링(210)(220)의 링홀(214)(224)과 시트홀(312)(412)이 연통되도록 되어 있다.
도면중 미 설명부호 50·51·52는 밸브하우징(100)의 입구홀(102)과 서로 대응하는 출구홀(104)(106)에 결합되는 가스흡입플랜지(300)와 반응가스배출플랜지 (400) 및 크리닝가스배출플랜지(500)에 설치되는 개스킷이고, 53과 54는 회전축 (230)의 나사부(234)하단에 설치되는 오링과 개스킷 이다.
상기와 같이 이루어진 본 발명은 예시도 3과 예시도 5에 표현된 바와 같이, 입구홀(102)과 서로 대향하는 두 개의 출구홀(104)(106)을 갖춘 육면체 형상의 밸브하우징(100)과; 직각을 이루는 통로(240)를 갖추고 상부에 키홈(202)을 갖춘 구형상의 회전체(200)와; 상기 밸브하우징(100)의 입구홀(102) 및 두개의 출구홀 (104)(106)과 결합을 이루는 가스흡입플랜지(300) 및 반응가스·크리닝가스배출플랜지(400)(500)와; 상기 회전체(200)와 각각의 가스흡입·반응가스배출·크리닝가스배출플랜지(300)(400)(500) 사이의 기밀성을 갖추면서 마찰력을 최소화하기 위해 설치하는 환형시트(310)(410)(510)와 환형링(210)(220)으로 이루어져 있다.
상기 밸브하우징(100)의 상부에는 정역회전이 가능한 공지의 액츄에이터(60)가 설치되는 플랜지(110)가 일체를 이루고 있으며, 상기 플랜지(110)에 회전체 (200)를 일정각도 회전시키는 회전축(230)이 설치되고, 하부에는 공압포트(112)가 갖춰지고, 밸브하우징(100)의 내부 일면에는 안착홈(122)이 형성되어 환형지지시트 (124)를 갖춘 지지플랜지(120)가 설치되고, 상기 지지플랜지(120)에 의해 밸브하우징(100) 내부에 설치되는 회전체(200)는 일정한 위치에서 안정된 상태를 이루면서 회전체(200)가 90˚각도로 정역회전 할 때 회전체(200)의 통로(202)에 의해 폐기가스의 배출방향이 전환될 수 있도록 되어 있다.
이를 보다 구체적으로 설명하면, 육면체 형상의 밸브하우징(100)에 가스흡입플랜지(300)가 설치되고, 양측으로 반응가스배출플랜지(400)와 크리닝가스배출플랜지(500)가 설치되며, 상부에 공지의 액츄에이터(60)와 회전축(230)이 설치되는 플랜지(110)가 설치되어 일체를 이루고, 하부에는 인체에 무해한 가스인 질소가스를 주입하는 공압포트(112)가 설치된다.
상기 밸브하우징(100)의 일면과 양측면에 설치되는 가스흡입플랜지(300)와 반응가스배출플랜지(400) 및 크리닝가스배출플랜지(500)는 각각의 개스킷 (50) (51)(52)을 매개로 결합을 이루게 되어 기밀성을 유지할 수 있도록 결합을 이루고 있으며, 구형상의 회전체(200)와 접하게 되는 가스흡입플랜지(300)와 반응가스배출플랜지(400) 및 크리닝가스배출플랜지(500)의 단부에는 각각의 환형시트 (310) (410)(510)가 설치된다.
상기 환형시트(310)(410)(510)는 회전체(200)와 접하는 면이 오목형의 곡면을 이루고 있어 기밀성을 유지하면서 회전체(200)가 회전할 때 마찰력을 최소화 할 수 있어 회전체(200)는 원활히 회전할 수 있도록 되어 있다.
여기서 회전체(200)는 회전축(230)에 의해 90˚각도로 정역회전을 하게 되는데 이를 구체적으로 설명하면, 상기 회전축(230)은 밸브하우징(100)의 내부로부터 회전축(230)의 상부인 나사부(234)가 돌출되도록 끼워지고, 돌출된 나사부(234)에 개스킷(235)과 환링(236) 및 한쌍의 접시와샤(237)가 순차적으로 끼워지며 고정너트(238)에 의해 고정되어 회전가능하면서 기밀성이 유지되도록 회전축(230)은 설치된다.
특히, 회전축(230)의 나사부(234) 하단에 설치되는 고무재질의 오링(53)과 개스킷(54) 그리고 상부에 설치되는 개스킷(235)과 환링(236) 및 한 쌍의 접시와샤 (237)에 의해 기밀성은 확보되며, 한 쌍의 접시와샤(237)에 의해 회전축(230)은 수직방향으로 탄력성을 갖추게 되어 회전가능 하도록 결합을 이루게 된다.
즉, 나사부(234)의 하단에 설치된 오링(53)과 개스킷(54), 상부에 순차적으로 끼워지는 개스킷(235)과 환링(236)에 의해 기밀성을 유지되고, 한 쌍의 접시와샤(237)에 의한 탄력성에 의해 회전축(230)이 수직방향으로 유동성을 갖추게 됨으로 회전축(230)은 기밀성을 갖추면서도 회전이 가능하게 되는 것이다.
상기와 같이 밸브하우징(100)의 내부에 설치된 회전체(200)는 그 상부에 형성된 키홈(202)에 공지의 액츄에이터(60)에 의해 일정각도 정역회전을 하는 회전축(230)의 돌부(232)가 결합되어 액츄에이터(60)의 작동에 따라 연동되는 회전축(230)에 의해 회전체(200)는 회전을 하게 되어 흡입되는 가스의 방향이 전환된다.
이와 같이 이루어진 본 발명에 의해 가스의 흐름이 전환되는 것을 예시도 5와 예시도 6을 참고로 하여 구체적으로 설명하면, 밸브하우징(100)의 내부공간에는 공압포트(112)를 통해 고압의 질소가스가 주입되어 각각의 환형시트(310)(410)의 통기홈(314)(414)과 시트홀(312)(412)을 통해 회전체(200)의 통로(240)로 유입되어 가스흡입플랜지(300)를 통해 흡입된 가스(반응가스)가 회전체(200)의 통로(240)를 거처 반응가스배출플랜지(400)측으로 배출되는 것을 보다 원활히 배출되게 한다.
즉, 반도체 제조과정에서 발생된 반응가스가 가스흡입플랜지(300)를 통해 밸브하우징(100)으로 유입되면, 회전체(200)의 통로(240)를 통해 반응가스배출플랜지 (400)으로 배출되는데, 이때 밸브하우징(100)의 공압포트(112)를 통해 고압으로 주입되는 질소가스가 회전체(200)의 통로(240)를 이루고 있는 입출구(241)(244)에 설치된 환형링(210)(220)의 링홀(214)(224)을 통해 유입됨으로 배출되는 반응가스의 흐름을 원활히 함과 동시에 반응가스가 배출되는 과정에서 발생될 수 있는 파우더가 회전체(200)의 통로(240)내면에 흡착되는 것을 방지할 수 있다.
상기 회전체(200)의 통로(240)인 일측 입출구(241)에 형성된 환형홈(242)과 환형돌부(243)에 결합되는 환형링(210)은 내면이 수직부(212)를 이루고 있어 통로(240)로 유입되는 질소가스의 방향이 화살표와 같이 통로(240)측으로 유입됨으로 결과적으로 가스흡입플랜지(300)를 통해 유입되는 반응가스를 흡입하는 작용을 하게 되고, 다른 일측 입출구(244)에 형성된 환형홈(245)과 단차형환형돌부(246)에 결합되는 환형링(220)은 내면이 경사부(222)를 이루고 있어 유입되는 질소가스의 방향이 반응가스배출플랜지(400)측으로 유입되어 반응가스의 배출을 원활히 함은 물론 배출되던 반응가스의 역류를 방지하는 작용을 하게 된다.(예시도 5 참조)
상기와 같은 상태에서 가스흡입플랜지(300)를 통해 유입되는 가스가 크리닝가스로 전환되면 공지의 액츄에이터(60)가 작동되면서 회전축(230)이 회전체(200)를 90˚각도 회전(도면상 반시계방향)시키게 되어 회전체(200)의 통로(240)인 일측 입출구(244)는 가스흡입플랜지(300)와 연통되고, 다른 일측 입출구(241)는 크리닝가스배출플랜지(500)와 연통되어 흡입되는 크리닝가스는 크리닝가스배출플랜지 (500)를 통해 배출된다.
이때, 밸브하우징(100)의 공압포트(112)를 통해 유입되는 질소가스는 질소가스의 공급을 제어하는 별개의 컨트롤로에 의해 유입이 차단되어 밸브하우징(100)의 내부공간에는 질소가스의 공압이 발생하지 않게 됨으로 회전체(200)의 통로(240)에는 질소가스가 유입되지 않아 가스흡입플랜지(300)를 통해 유입되는 크리닝가스는 회전체(200)의 통로(240)를 통해 크리닝가스배출플랜지(500) 측으로 원활히 배출된다.(예시도 6 참조)
이상과 같이 본 발명은 입구홀(102)과 서로 대향하는 두 개의 출구홀 (104)(106)을 갖춘 육면체 형상의 밸브하우징(100)의 내부에 직각을 이루는 통로 (240)를 갖추고 상부에 키홈(202)을 갖춘 구형상의 회전체(200)를 설치하고, 상기 밸브하우징(100)의 입구홀(102) 및 두개의 출구홀(104)(106)과 결합을 이루는 가스흡입플랜지(300) 및 반응·크리닝가스배출플랜지(400)(500)를 설치하여 밸브하우징 (100) 내부에 설치한 회전체(200)가 90˚각도로 정역회전 함에 따라 흡입되는 폐기가스의 배출방향을 간단하게 전환시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1 은 반도체 생산라인의 공정도,
도 2 는 반도체 생산라인에 설치되는 종래의 분배밸브를 나타낸 종단면도,
도 3 은 본 발명에 따른 분배밸브의 사시도,
도 4 은 본 발명에 따른 분배밸브의 분해사시도,
도 5 는 본 발명에 따른 분배밸브를 통해 반응가스를 배출시키는 것을 나타낸 일부 확대 단면도,
도 6 는 본 발명에 따른 분배밸브를 통해 크리닝가스를 배출시키는 것을 나타낸 일부확대 단면도이다.
- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 -
100 - 밸브하우징, 102 - 입구홀,
104·106 - 출구홀, 110 - 플랜지,
112 - 공압포트, 120 - 지지플랜지,
122 - 안착홈, 124 - 환형지지시트,
200 - 회전체, 202 - 키홈,
210·220 - 환형링, 212 - 수직부,
214·224 - 링홀, 222 - 경사부,
230 - 회전축, 232 - 돌부,
234 - 나사부, 235 - 개스킷,
236 - 환링, 237 - 접시와샤,
238 - 고정너트, 240 - 통로,
241·244 - 입출구, 242·245 - 환형홈,
243 - 환형돌부, 246 - 단차환형돌부,
300 - 가스흡입플랜지,
400 - 반응가스배출플랜지,
500 - 크리닝가스배출플랜지,
310·410·510 - 환형시트, 312·412 - 시트홀,
314·414 - 통기홈, 316·416 - 통기환홈.

Claims (5)

  1. 입구홀(102)과 서로 대향하는 두 개의 출구홀(104)(106)을 갖춘 육면체 형상의 밸브하우징(100)과; 직각을 이루는 곡관형의 통로(240)를 갖추고 상부에 키홈 (202)을 갖춘 구형상의 회전체(200)와; 상기 밸브하우징(100)의 입구홀(102) 및 두개의 출구홀(104)(106)과 결합을 이루는 가스흡입플랜지(300) 및 반응가스·크리닝가스배출플랜지(400)(500)와; 상기 회전체(200)와 각각의 가스흡입·반응가스배출·크리닝가스배출플랜지(300)(400)(500) 사이의 기밀성을 갖추면서 마찰력을 최소화하기 위해 설치하는 환형시트(310)(410)(510)와 환형링(210)(220)으로 이루어지되, 상기 밸브하우징(100)의 상부에는 정역회전이 가능한 공지의 액츄에이터(60)를 설치하기 위한 플랜지(110)를 설치하여 회전체(200)를 일정각도 회전시키는 회전축(230)을 설치하고, 하부에는 공압포트(112)를 설치하며, 밸브하우징(100)의 내부 일면에는 안착홈(122)을 형성하여 환형지지시트(124)를 갖춘 지지플랜지(120)를 설치하고, 상기 지지플랜지(120)에 의해 밸브하우징(100) 내부에 설치한 회전체(200)는 일정한 위치에서 안정된 상태를 이루면서 회전체(200)가 90˚각도로 정역회전 할 때 회전체(200)의 통로(240)에 의해 폐기가스의 배출방향이 전환될 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 폐기가스 처리장치의 역류방지용 분배밸브.
  2. 제 1 항에 있어서, 회전축(230)은 하단부에 회전체(200)의 키홈(202)과 끼움결합을 이루는 돌부(232)가 형성되어 있고, 상단부는 사각봉형상을 이루되, 상기 사각봉의 각모서리부를 포함한 하부의 원봉형 외주에는 나사부(234)가 형성되어 있으며, 상기 나사부(234)에 개스킷(235)과 환링(236) 및 한쌍의 접시와샤(237)가 순차적으로 끼워져 고정너트(238)에 의해 기밀성을 갖추며 회전가능하도록 밸브하우징(100)에 설치되는 것을 특징으로 하는 폐기가스 처리장치의 역류방지용 분배밸브.
  3. 제 1 항에 있어서, 회전체(200)의 통로(240) 일측 입출구(241)에는 환형홈 (242)과 환형돌부(243)가 다른 일측 입출구(244)에는 환형홈(245)과 단차환형돌부 (246)가 형성되어 있고, 환형홈(242)과 환형돌부(243)가 형성된 입출구(241)에 내면이 수직부(212)를 이루는 환형링(210)이 결합되고, 환형홈(242)과 단차환형돌부 (246)가 형성된 입출구(244)에는 내면이 경사부(222)를 이루는 환형링(220)이 강제 끼움식으로 결합되는 것을 특징으로 하는 폐기가스 처리장치의 역류방지용 분배밸브.
  4. 제 1항 또는 제 2 항에 있어서, 환형링(210)(220)의 외면은 회전체(200)의 외주면과 동일한 볼록곡면을 이루고, 등간격을 이루는 다수의 링홀(214)(224)이 형성된 것을 특징으로 하는 폐기가스 처리장치의 역류방지용 분배밸브.
  5. 제 1 항에 있어서, 환형시트(310)(410)는 등간격을 이루는 다수의 시트홀 (312)(412)이 형성되어 있고, 내면을 제외한 외주면에 통기홈(314)(414)이 형성되어 있으며, 환형링(210)(220)과 접하는 면은 오목곡면을 이루면서 통기환홈 (316)(416)이 형성되어 환형링(210)(220)의 링홀(214)(224)과 시트홀(312)(412)이 연통되도록 되는 것을 특징으로 하는 폐기가스 처리장치의 역류방지용 분배밸브.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100674084B1 (ko) * 2005-12-27 2007-01-29 주식회사 에스티에스 파우더 흡착 방지용 폐가스 분배밸브
CN105321841A (zh) * 2014-07-29 2016-02-10 盛美半导体设备（上海）有限公司 酸气碱气分离装置
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