KR20050090273A - 캔티레버를 구비하는 전자기기 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 캔티레버를 구비하는 전자기기에 있어서,상기 캔티레버는(1) 장방향의 형상으로 구비되고, 장방향을 장축으로 정의하고 이와 수직되는 방향을 단축으로 특성지어지는 표면;(2) 상기 표면상에 형성되는 제 1전극;(3) 상기 표면상에 상기 제 1전극과 소정의 거리를 두고 서로 마주 보도록 형성되는 제 2전극; 및(4) 상기 제 1전극과 상기 제 2전극 사이에서 상기 표면과 결합하면서 형성되는 제 1 압전 소자를 구비함으로써, 상기 제 1전극에서 상기 제 1 압전 소자를 관통하여 상기 제 2전극에 도달하는 직선이 표면과 평행한 방향을 이루는 것을 특징으로 하고,상기 캔티레버를 구동시키는 구동부; 및상기 캔티레버의 움직임을 감지하는 감지부를 구비하는 것을 특징으로 하는 캔티레버를 구비하는 전자기기.
- 제 1항에 있어서,상기 제 2전극은 포크 형상의 전극으로 구비되고, 상기 제 1 전극은 포크 형상 사이에 구비되는 것을 특징으로 하는 캔티레버를 구비하는 전자기기.
- 제 1항에 있어서,상기 표면상에 상기 제 2전극과 소정의 거리를 두고 상기 제 1전극과 대향되는 반대편으로 형성되는 제 3전극; 및상기 제 2전극과 상기 제 3전극 상이에 상기 표면과 결합하면서 형성되는 제 2 압전 소자를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 캔티레버를 구비하는 전자기기.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1전극 및 상기 제 2전극은 복수 개 포크 형상의 전극을 구비하고, 상기 제 1전극에 형성된 포크 형상 전극과 상기 제 2전극에 형성된 포크 형상 전극이 서로 엇갈리면서 배치되는 것을 특징으로 하는 캔티레버를 구비하는 전자기기.
- 제 3항에 있어서,상기 제 1전극 및 상기 제 3전극은 복수 개 포크 형상의 전극을 구비하고, 상기 제 1전극에 형성된 포크 형상 전극과 상기 제 3전극에 형성된 포크 형상 전극이 서로 마주 보도록 배치되고, 상기 제 2전극에는 상기 제 1전극 및 상기 제 3전극의 포크 형상 전극 사이 사이에 구비되는 복수 개 날개 전극이 구비되는 것을 특징으로 하는 캔티레버를 구비하는 전자기기.
- 제 1항에 있어서,샘플을 지지하는 샘플 지지부 및상기 감지부로부터 출력되는 신호를 이용하여 움직임을 산술하는 산술부를 더 구비하고, 상기 전자기기가 원자 현미경인 것을 특징으로 하는 캔티레버를 구비하는 전자기기.
- 제 1항에 있어서,상기 감지부로부터 출력되는 신호를 이용하여 움직임을 산술하는 산술부를 더 구비하고, 상기 전자기기가 센서 시스템인 것을 특징으로 하는 캔티레버를 구비하는 전자기기.
- 제 1항에 있어서,데이터를 저장하기 위한 저장 매체를 더 구비하고, 상기 전자기기가 데이터 저장 시스템인 것을 특징으로 하는 캔티레버를 구비하는 전자기기.
- 캔티레버를 구비하는 전자기기에 있어서,상기 캔티레버는(1) 장방향의 형상으로 구비되고, 장방향을 장축으로 정의하고 이와 수직되는 방향을 단축으로 특성지어지는 표면;(2) 상기 표면상에 형성되는 제 1전극;(3) 상기 표면상에 상기 제 1전극과 소정의 거리를 두고 서로 마주 보도록 형성되는 제 2전극; 및(4) 상기 제 1전극과 상기 제 2전극 사이에서 상기 표면과 결합하면서 형성되는 제 1 압전 소자를 구비함으로써, 상기 제 1전극에서 상기 제 1 압전 소자를 관통하여 상기 제 2전극에 도달하는 직선이 표면과 평행한 방향을 이루고, 전하를 수집하는 것을 특징으로 하고,상기 캔티레버가 수집하는 전하를 공급하는 전하 소스; 및상기 캔티레버에 수집된 전하를 외부 장치에 출력하는 출력기기를 구비하는 것을 특징으로 하는 캔티레버를 구비하는 전자기기.
- 제 9항에 있어서,상기 전자기기가 파워 소스인 것을 특징으로 하는 캔티레버를 구비하는 전자기기.
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