KR20050074188A - 약액 회수용 다단 침전장치 - Google Patents

Abstract

복수 개의 침전조가 오버 플로우 방식으로 연결 설치되어 이루어진 약액 회수용 다단 침전장치에 있어서, 침전조는 서랍형으로 이루어져 서랍장 형태의 케이스에 상하로 위치하여 위에서 볼 때 적어도 일부가 겹치도록 설치되고, 각 침전조 저면에는 아래쪽 침전조와 겹쳐지는 부분에 홀이 설치되며, 홀의 경계에는 침전조 측벽의 높이보다 낮은 물넘이벽이 홀과 연결되도록 위쪽으로 설치되고, 직근한 상하에 위치한 침전조의 홀들은 위에서 볼 때 겹치지 않도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 회수용 다단 침전장치가 개시된다.

본 발명에 따르면, 재생 공정에 사용되는 약액의 양을 줄일 수 있고, 기존의 수평형 다단 침전장치에 비해 침전 소요시간을 줄이는 효과도 가질 수 있다. 또한, 장치 설치에 필요한 소요 면적과 설치 및 보수 비용을 감소시키고, 유지보수 작업의 편의성과 유연성을 증대시킨다.

Description

약액 회수용 다단 침전장치 {Multi step precipitator for recycling chemical solutions}

본 발명은 재생 공정에 사용되는 약액 회수 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 재생 공정에 사용되는 약액 회수를 위한 다단 침전장치에 관한 것이다.

표시장치의 판넬 형성을 위해서 다수의 다양한 공정을 통해 기판을 가공하고, 기판에 전극용 도전막 패턴, 각 종의 형광체 패턴 등 여러 종류의 막을 형성하게 된다. 그런데 표시장치의 특성상 기판에 형성되는 막들은 통상 정확한 위치에 형성되지 않을 경우 표시장치의 불량을 발생시키게 된다. 따라서, 기판에 막들이 정위치에 형성되지 않을 경우 불량처리하게 된다.

그러나, 모든 불량처리된 기판을 폐기하는 것은 폐기물 비용을 증가시키고, 생산용 자재의 비용을 증가시키는 문제가 있다. 따라서, 기판에서 문제가 되는 특정 패턴 막을 제거하고 다시 패턴 막을 형성하거나, 모든 막을 제거하고 기판을 최초 상태부터 사용할 수 있다면 막을 제거하는 재생 공정 및 패턴 막 형성을 위한 재공정을 실시하게 된다.

불량이 발생된 공정 기판으로부터 필요한 막을 제거하고 세정하여 다시 막 형성 공정으로 투입시키는 재생 공정에서는 통상 막 제거를 위해 막을 용해시키거나 막의 기판에 대한 부착력을 약화시킬 수 있는 화학물질 약액을 사용하게 된다. 기판에 재생 공정이 진행되면 기판에서 분리된 막을 이루는 물질과 막을 분리시키기 위해 사용된 화학물질 약액이 혼합된 상태로 공정에서 수거된다.

이때, 혼합된 상태의 물질에는 유효 성분을 포함하는 상태의 약액이 상당 부분 포함된다. 약액에 대한 경비 절감과 자원 활용, 폐기물 감소의 면에서 바람직하므로 혼합된 상태의 물질에서 약액을 분리하여 재사용하게 된다.

도1은 종래에 사용된, 약액 회수를 위한 다단 침전장치의 통상적인 예를 나타내는 측단면도이다.

도1을 참조하면, 전체 다단 침전장치는 좌측단에서 우측단까지 다수의 격벽에 의해 분리된 다수의 침전조(11,13,15,17)를 가진다. 침전조를 분리시키는 격벽(21,23,250)은 좌측단에서 우측단으로 가면서 높이가 점차 줄어들며, 격벽의 높이에 비례하는 침전조의 형성 높이는 좌측으로 갈수록 높고, 우측이 낮게 된다.

따라서, 제일 높은 격벽(21)을 가진 제일 좌측의 제1 침전조(11)에 막성분과 약액의 혼합물이 투입되면, 혼합물로 제1 침전조(11)가 점차 채워진다. 혼합물이 계속 투입되면, 제1 침전조(11)가 채워지는 과정에서 막성분의 일부는 제1 침전조(11) 하부에 진하게 도시된 것과 같이 침전되고, 약액 성분 비율이 높아진 나머지 혼합물 가운데 일부가 격벽(21)을 넘어 제1 침전조(11)의 우측에 설치된 제2 침전조(13)로 오버 플로우(over flow) 된다.

제2 침전조(13)에서도 제1 침전조(11)에 혼합물이 투입된 경우와 유사한 작용이 이루어지고, 약액 성분 비율이 보다 높아진 나머지 혼합물 가운데 일부가 격벽(23)을 넘어 제3 침전조(15)로 간다. 동일한 방식으로 혼합물은 점차 약액 성분 비율이 높아가면서 제일 우측의 제N 번째 침전조(17)로 투입된다.

제N 번째 침전조(17)의 혼합물은 배출배관(39)을 통해 필터(37)를 거치며, 필터(37)를 거친 약액은 다시 재생 공정에 투입되어 불량 기판에서 목표 막을 제거하는 데 사용된다. 약액의 이송을 위해 통상적으로 배출배관(39) 등에는 펌프(P)가 설치된다. 한편, 이상의 방식으로 회수된 약액은 재생 공정에 거듭 투입되면 유효 성분이 필요 이하의 수준이 되므로 일정 기간 혹은 일정 사이클 재활용된 약액은 폐기된다.

그런데, 이런 종래의 다단 침전장치에서는 혼합물이 전체적으로 볼 때 좌에서 우로 일방으로 오버 플로우되도록 다수의 침전조가 격벽의 높이를 낮추어 가며 차례로 설치되어야 한다. 그리고, 상당량의 혼합물을 처리하기 위해서는 침전조의 규모가 커져야 한다. 특히, 혼합물에서 막성분이 침전되는 속도가 느릴 경우, 약액 회수에 필요한 시간은 늘어나고, 원활한 약액 재생 사이클을 위해서는 침전조의 규모는 커지게 되어 약액 회수를 위해 많은 공간이 소요된다.

또한, 재생 공정에 사용되는 약액은 제거할 막의 종류에 따라 다르지만 휘발성 유기용매를 사용하는 경우가 많다. 약액이 휘발성이 있는 유해성분이나 발화성분을 포함하는 경우, 안전과 환경의 문제로 인하여 침전조를 개방된 공간에 설치할 수 없으므로 실내에 설치해야 하고 환기 및 배기 혹은 포집 시설을 해야 하므로 그 설치 비용 및 관리 비용은 상당히 높아진다.

그리고, 이런 종래의 다단 침전장치에서 침전조에 쌓인 침전물을 회수하기 위해서는 침전장치에 혼합물 투입을 중단시켜야 한다. 재생 공정이 원활하게 이루어지기 위해서는 여분의 다단 침전장치 혹은 침전조를 설치하여 사용하여야 하며, 여분의 침전장치를 설치하기 위해 전체 필요 공간 및 설치, 관리 비용은 배가된다.

본 발명은 종래의 기판 재생 공정에서 약액 회수를 위한 다단 침전장치의 설치 및 관리상의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 설치에 소요되는 공간을 줄일 수 있는 약액 회수용 다단 침전장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 재생 공정용 약액에 유해성분이나 발화성분이 포함되는 경우에도 이들 성분의 외부로의 유출 위험을 줄일 수 있고 관리 비용을 줄일 수 있는 약액 회수용 다단 침전장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 또한 침전된 막성분을 침전조에서 제거하는 작업을 용이하게 할 수 있는 약액 회수용 다단 침전장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 복수 개의 침전조가 오버 플로우 방식으로 연결 설치되어 이루어진 약액 회수용 다단 침전장치에 있어서, 침전조는 서랍형으로 이루어져 서랍장 형태의 케이스에 상하로 위치하여 위에서 볼 때 적어도 일부가 겹치도록 설치되고, 각 침전조 저면에는 아래쪽 침전조와 겹쳐지는 부분에 홀이 설치되며, 홀의 경계에는 침전조 측벽의 높이보다 낮은 물넘이벽이 홀과 연결되도록 위쪽으로 설치되고, 직근한 상하에 위치한 침전조의 홀들은 위에서 볼 때 겹치지 않도록 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명에서 물넘이벽은 상단이 연결된 이중벽으로 이루어지고 이중벽 가운데 외측 벽의 하단이 물넘이벽이 연결될 홀의 경계와 용접 등의 방법으로 결합되는 것이 바람직하다.

본 발명에서 침전조는 투명의 재질로 이루어지는 것이 침전조의 상황을 파악하기 용이하게 하므로 바람직하다. 이때, 침전조가 외부에서 관찰되기 용이하도록 약액 회수용 다단 침전장치의 케이스도 투명한 재질로 이루어지거나, 케이스는 침전조를 상하에 설치할 수 있도록 하는 프레임만으로 이루어지는 것일 수 있다.

본 발명에서 케이스의 최하부에는 역시 서랍 형태이나 저면에 홀이 형성되지 않는 버퍼 탱크가 위치하는 것이 바람직하다.

이하 도면을 참조하면서 실시예를 통해 본 발명을 보다 상세히 설명하기로 한다.

도2는 본 발명에 따른 약액 회수용 다단 침전장치의 일 실시예를 나타내는 사시도이며, 도3은 도2의 약액 회수용 다단 침전장치를 이루는 두 침전조 세트 가운데 하나의 측단면도, 도4는 본 발명에 따른 약액 회수용 다단 침전장치의 일 실시예에서의 개별 침전조를 나타내는 사시도, 도5는 본 발명에 따른 일 실시예에서 각 침전조의 저면 홀에 결합되는 물넘이벽의 투시도 및 AA방향 단면도이다.

도면을 참조하여 설명하면, 본 실시예의 약액 회수용 다단 침전장치는 크게 두 개의 서랍장형(서랍이 포함된) 침전조 세트(50)로 이루어진다. 각 침전조 세트(50)는 서랍장 형태의 케이스를 가진다. 케이스에는 위쪽에 복수의 서랍형 침전조(51)가 설치된다. 각 침전조 세트(50)의 케이스의 상면에는 혼합물 투입 배관(41)이 연결된다. 두 침전조 세트(50)에 연결된 혼합물 투입 배관(41)의 가지 각각에는 개폐밸브(43)가 설치된다.

한편, 각 침전조 세트(50)의 케이스 하부 측면에는 약액을 배출하는 배출배관(45)이 설치된다. 배출배관(45)은 도시되지 않지만 종래의 경우와 같이 필터로 연결되고, 필터를 거친 약액은 다시 재생 공정에서 기판의 막을 제거하기 위해 투입된다.

서랍형 침전조(51)는 통상 직방형 저면과 저면의 4변에서 위로 형성되는 벽체를 가져 투입되는 약액과 막성분의 혼합물을 수용할 수 있는 용기 구조를 가진다. 전면쪽 벽체의 외측에는 케이스에서 침전조를 빼기 쉽게 손잡이(55)가 설치된다. 침전조를 케이스에 설치하기 위해서 통상 상하의 침전조 사이에는 케이스 양측 내벽에 수평으로 슬라이딩 가이드(미도시)가 설치된다. 침전조의 양 측벽과 저면이 닿는 모서리는 슬라이딩 가이드에 얹혀 미끄러지면서 케이스에 장착되거나 탈착된다. 침전조가 케이스에 장착된 상태에서 침전조들은 위에서 볼 때 겹쳐지는 형태를 취한다.

침전조 저면은 저면 일부가 원형으로 제거되어 저면 홀(57)을 가진다. 그리고, 홀(57)의 경계에는 침전조 측벽의 높이보다 낮은 높이를 가지는 물넘이벽(59)이 홀(57)과 연결되도록 결합되어 있다. 이때, 직접적으로 상하에 위치하는 침전조의 홀(57)들이 위에서 볼 때 겹쳐지면 위쪽 침전조에서 물넘이벽(59)을 넘어 아래쪽 침전조로 투입되어야 할 혼합물의 일부가 아래쪽 침전조의 홀(57)을 통해 직접 차하의 침전조로 투입될 수 있으므로 직근한 상하에 위치한 침전조의 홀(57)들은 위에서 볼 때 겹치지 않도록 위치되어야 한다.

한편, 위쪽 침전조에서 물넘이벽(59)을 넘은 혼합물은 물넘이벽(59)의 벽체를 타고 내려가 아래쪽 침전조로 투입되어야 하나 위쪽 침전조 저면을 타고 수평으로 이동하여 케이스와 침전조 사이의 공간으로 누출될 가능성을 가진다. 이런 문제를 해결하기 위해서는 도3에 도시되는 것과 같이 홀(57) 위쪽으로 물넘이벽(59)을 만드는 외에 홀(57) 아래쪽으로도 턱을 형성하는 방법을 생각할 수 있다. 그러나, 턱을 형성할 경우, 서랍형 침전조(51)를 케이스에서 탈착하기 위해 빼낼 때 턱이 아래쪽 침전조의 전방 벽체에 걸려 파손되거나 잘 빠지지 않는 등의 문제를 유발시킬 수 있다.

본 실시예에서는 물넘이벽(59)을 도5와 같은 상단이 연결된 이중벽으로 형성하여 이런 문제를 해결하고 있다. 이중벽에서 통상의 원통형으로 이루어진 외벽의 하단이 물넘이벽(59) 전체가 연결될 홀(57)의 경계와 용접 등의 방법으로 결합되어 있다. 이중벽의 내벽(591)은 경사를 가져 외벽과 일정 각도를 이루는 콘형 벽체로 이루어져 있다.

이런 구성에서는 물넘이벽(59)을 넘는 혼합물은 이중벽 가운데 내벽(591) 내면을 타고 아래로 내려간다. 내벽(591) 하단은 다른 구조물과 단절되어 침전조 저면과 이어지지 못하므로 혼합물은 아래쪽 침전조로만 투입된다.

본 발명에서 서랍형 침전조(51)는 적어도 일부면이 투명의 재질로 이루어지는 것이 침전조의 상황을 파악하기 용이하게 하므로 바람직하다. 이때, 침전조는 케이스에 끼워져 작용하게 되므로, 침전조가 외부에서 관찰되기 위해서 약액 회수용 다단 침전장치의 케이스도 침전조와 관련하여 적어도 일부 면으로 형성되는 부분은 투명한 재질로 이루어지도록 한다.

한편, 케이스의 면으로 형성된 부분은 제거된 채 케이스는 전체 윤곽을 형성하는 모서리 부분들과 서랍형 침전조를 케이스에 설치하기 위해 있어야 하는 슬라이딩 가이드 등만을 프레임으로 하여 형성될 수도 있을 것이다. 그러나 이런 구성에서는 상하에 설치된 서랍형 침전조 사이로 약액의 휘발성 유해물질이나 발화물질이 누출될 수 있으므로 약액의 종류에 따라 선택되어야 한다.

본 발명에서 케이스의 최하부에는 침전조와 같이 서랍 형태를 가지나 저면에는 홀이 형성되지 않는 버퍼 탱크(53)가 위치할 수 있다. 통상적으로, 버퍼 탱크(53)의 벽체 일부와 이에 해당하는 케이스 부분에는 별도의 홀이 형성되어 약액을 외부로 배출시키는 배출배관(45)이 연결된다. 버퍼 탱크(53)가 별도로 없는 경우에는 최하부의 서랍형 침전조(51)의 홀(57)을 저면 대신 측벽에 형성하여 배출배관(45)과 연결시키거나, 저면에 형성된 침전조의 홀(57)과 배출배관(45)을 직접 연결시켜 사용할 수 있다.

도3을 참조하면, 홀(57)은 침전조 세트(50) 내에서 아래로 한 단씩 서랍형 침전조(51)를 내려가면서 침전조 내에서의 위치가 엇갈리도록 형성된다. 이런 형태의 침전조 세트(50)를 구성하기 위해 침전조는 홀(57)의 위치를 달리하는 두 종류만으로 형성하고, 상하로 바로 접하는 침전조는 홀(57)의 위치를 달리하는 다른 종류의 침전조가 되도록 한다. 이 경우, 침전조를 홀(57)의 위치에 따라 두 종류만으로 형성하면 되므로 제작에 편리하나 케이스에 끼우는 순서를 주의해야 한다.

도시되지 않으나, 케이스의 상하와 양 측면만 폐쇄면으로 하고, 전후면을 개방면으로 하고, 서랍형 침전조(51)의 손잡이(55)를 침전조 벽체 전후면에 형성하고, 침전조 내의 홀(57)의 위치를 침전조 전후 가운데 한 쪽으로 치우치게 한 종류로 형성하는 경우도 상정할 수 있다. 이 경우, 동일한 홀(57) 위치를 가지는 한 종류의 침전조를 전후면을 바꾸어 가면서 케이스에 차례로 끼울 수 있다. 결과적으로 손잡이(55)를 제외하고는 도3과 유사한 측단면을 가지게 된다.

도4를 참조하면, 각 서랍형 침전조(51)는 전면 벽체 외측에 손잡이(55)가 형성된다. 전면 벽체는 편의상 다른 벽체에 비해 높게 형성되어 케이스에서 침전조가 슬라이딩 가이드를 따라 지나치게 끼워지는 것을 방지할 수 있다.

침전조 내부에는 홀(57) 경계에 결합되는 물넘이벽(59)과 별도로 중앙을 가로질러 침전조를 이분하는 보조 물넘이벽이 형성되어 있다. 보조 물넘이벽의 높이는 벽체 높이보다 낮고 홀(57) 경계의 물넘이벽(59)보다는 높게 형성되는 것이 바람직하다. 보조 물넘이벽이 홀(57) 경계의 물넘이벽(59)보다 낮으면 침전조를 분할하는 의미가 떨어진다. 침전조 저면에는 가이드 레일이 형성되어 보조 물넘이벽의 홈과 결합하여 보조 물넘이벽의 위치를 필요에 따라 옮길 수 있도록 이루어진다. 보조 물넘이벽은 한 단의 서랍형 침전조(51)를 두개로 나누어 침전조의 갯수를 늘리는 역할을 할 수 있다.

침전조는 홀(57)들의 위치에 따라 두 종류로 나뉘어 도시되었고, 종류에 따라 홀(57)들은 위치면에서 서로 대각선의 반대편쪽에 형성되어 상하단의 침전조에서 엇갈리게 위치한다.

도면을 참조하면서 본 발명의 실시예에서의 구성에 따른 작용을 살펴보면, 우선 재생공정에서 막성분과 막 제거용 약액의 혼합물이 혼합물 투입 배관(41)을 통해 공급된다. 약액 회수용 다단 침전장치는 두 개의 침전조 세트(50)로 구성되므로 혼합물 투입 배관(41)도 단부에서 두 가지로 나뉘어지고 각 가지마다 개폐밸브(43)가 설치된다.

우선 한 개폐밸브(43)가 열려 연결된 침전조 세트(50)의 케이스 상부 벽체의 홀을 통해 최상단의 서랍형 침전조(51)로 혼합물이 투입된다. 투입 위치는 침전조의 홀(57) 위치와 겹치지 않도록 침전조가 설치된다. 혼합물로 최상단 침전조가 점차 채워진다. 혼합물이 계속 투입되면, 최상단 침전조가 채워지는 과정에서 막성분의 일부는 최상단 침전조 하부에 침전되고, 약액 성분 비율이 높아진 나머지 혼합물 가운데 일부가 물넘이벽(59)을 넘어 최상단 침전조 하부에 설치된 차상단 침전조로 오버 플로우(over flow) 된다.

차상단 침전조에서도 최상단 침전조에 혼합물이 투입된 경우와 동일한 방식으로 침전 작용이 이루어지고, 약액 성분 비율이 보다 높아진 나머지 혼합물 가운데 일부가 물넘이벽을 넘어 제3단 침전조로 간다. 동일한 방식으로 혼합물은 점차 약액 성분 비율이 높아가면서 최하단의 침전조를 거쳐 케이스 최하부에 설치된 버퍼 탱크(53)로 유입된다.

버퍼 탱크(53)의 혼합물은 대부분 막성분이 제거된 약액이며, 배출배관(45)을 통해 필터(미도시)로 간다. 필터는 자연침전 방식을 거친 뒤 버퍼 탱크(53)의 약액에 남아있는 미세한 막성분 물질을 제거하기 위한 것이며 일정 주기로 교체 사용되어야 한다. 필터 교체시의 공정 중단을 방지하기 위해 3개의 메쉬 필터를 배관에 병렬로 연결하여 사용할 수 있다.

필터를 거친 약액은 다시 탱크 등에 저장되고 재생 공정에 재투입되어 불량 기판에서 목표 막을 제거하는 데 사용된다. 이런 방식으로 재사용되는 약액은 유효 성분이 필요 이하의 수준이 되는 일정 기간 혹은 일정 사이클 후에 모아져 폐기된다.

한편, 도2에서 한쪽 침전조 세트에 각 침전조에 막성분 물질이 누적되는 경우, 누적된 물질을 제거하기 위해 각 서랍형 침전조를 케이스에서 빼내게 된다. 이런 침전장치 유지 보수 작업이 이루어질 때 이 침전조 세트는 사용될 수 없으므로 이 침전조 세트에 연결된 개폐밸브를 잠그고 다른 침전조 세트에 연결된 혼합물 투입 배관의 가지에 설치된 개폐밸브를 연다. 그러면 재생 공정의 심각한 중단 없이 다른 침전조 세트를 이용하여 약액 회수가 원활히 이루어질 수 있다.

본 발명에 따르면, 종래의 대형 대면적을 요구하는 수평형 다단 침전장치에 비해 약액 사이클에 사용되는 약액의 양을 줄일 수 있고, 기존의 수평형 다단 침전장치에 비해 침전 소요시간을 줄이는 효과도 가질 수 있다.

본 발명은 또한, 장치 설치에 필요한 소요 면적과 설치 및 보수 비용을 감소시키고, 장치의 유지, 보수 작업에서의 편의성과 유연성을 증대시키는 효과를 가진다.

도1은 종래에 사용된, 약액 회수를 위한 다단 침전장치의 통상적인 예를 나타내는 측단면도,

도2는 본 발명에 따른 약액 회수용 다단 침전장치의 일 실시예를 나타내는 사시도이며,

도3은 도2의 약액 회수용 다단 침전장치를 이루는 두 침전조 세트 가운데 하나의 측단면도,

도4는 본 발명에 따른 약액 회수용 다단 침전장치의 일 실시예에서의 개별 침전조를 나타내는 사시도,

도5는 본 발명에 따른 일 실시예에서 각 침전조의 저면 홀에 결합되는 물넘이벽의 투시도 및 AA 방향 단면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

11,13,15,17: 침전조 21,23,25: 격벽

30,45: 배출배관 37: 필터

41: 혼합물 투입 배관 43: 개폐밸브

50: 침전조 세트 51: 서랍형 침전조

53: 버퍼 탱크 55: 손잡이

57: 홀 59: 물넘이벽

591: 내벽

Claims (7)

1. 복수 개의 침전조들이 오버 플로우 방식으로 연결 설치되어 이루어진 약액 회수용 다단 침전장치에 있어서,

   상기 침전조들은 각각의 저면에 홀을 가지는 서랍형으로 이루어져 서랍장 형태의 케이스에 상하로 위치하여 위에서 볼 때 상기 침전조들 가운데 직근 상하에 위치하는 두 침전조 사이에는 적어도 겹치는 부분이 일부 존재하도록 설치되고,

   상기 두 침전조 가운데 위쪽에 위치하는 침전조의 저면에는 상기 겹치는 부분에서 상기 홀이 설치되며,

   상기 홀의 경계에는 상기 침전조들 가운데 상기 홀이 형성되는 침전조의 측벽의 높이보다 낮은 물넘이벽이 상기 홀과 연결되도록 상기 홀 위쪽으로 설치되고,

   상기 두 침전조 가운데 아래쪽에 위치하는 침전조의 저면에 설치되는 상기 홀은 위에서 볼 때 위쪽에 위치하는 침전조의 저면에 설치되는 상기 홀과 겹치지 않도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 회수용 다단 침전장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 물넘이벽은 상단이 연결된 이중벽으로 이루어지고 상기 이중벽을 이루는 외벽의 하단이 상기 홀의 경계와 연결되는 것을 특징으로 하는 약액 회수용 다단 침전장치.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 케이스와 상기 침전조는 적어도 일부면이 투명의 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 회수용 다단 침전장치.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 약액은 휘발성의 유해 물질이나 발화성 물질을 포함하여 이루어지는 것임을 특징으로 하는 약액 회수용 다단 침전장치.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 케이스의 최하부에는 상기 침전조들의 아래쪽으로 저면에 홀이 형성되지 않는 서랍형 버퍼 탱크가 위치하는 것을 특징으로 하는 약액 회수용 다단 침전장치.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 케이스가 복수 개가 구비되고,

   상기 케이스 각각에는 재생 공정에서 나온 약액 포함 혼합물을 공급하는 배관과 침전을 거쳐 최하단의 침전조에 모인 혼합물을 필터로 배출하는 배관이 연결되는 것을 특징으로 하는 약액 회수용 다단 침전장치.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 침전조들 가운데 적어도 일부의 침전조에는 내부 공간을 구분하는 보조 물넘이벽이 벽체보다 낮고 상기 홀보다 높게 형성됨을 특징으로 하는 약액 회수용 다단 침전장치.