KR20050073172A - Test method for permeation of plating solution into terminal electrode of chip device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 칩 부품 등의 단자 전극 내부로의 도금액 침투를 검사하는 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for inspecting penetration of a plating liquid into terminal electrodes, such as chip components.

본 발명은, 단자 전극 및 상기 단자 전극의 외부면에 도금층이 형성된 칩 부품을 마련하는 단계와, 상기 단자 전극의 단면을 노출시키는 단계와, 상기 단자 전극을 구성하는 성분을 선택적으로 에칭하여 제거하는 단계 및 상기 단자 전극을 구성하는 성분이 제거되고 남은 부분을 검사하는 단계를 포함하는 칩 부품 단자 전극의 도금액 침투 검사 방법을 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a chip component having a plated layer formed on a terminal electrode and an outer surface of the terminal electrode, exposing a cross section of the terminal electrode, and selectively etching and removing components constituting the terminal electrode. It provides a method for testing the plating liquid penetration of the chip component terminal electrode comprising the step of removing the components constituting the terminal electrode and the remaining portion.

본 발명에 따르면, 짧은 시간 동안 저렴하면서도 정확하게 단자 전극 내의 도금액 침투 여부 및 침투 정도를 판별할 수 있는 장점이 있다.According to the present invention, it is inexpensive for a short time and has an advantage of accurately determining whether or not the penetration of the plating liquid in the terminal electrode.

Description

칩 부품 단자 전극의 도금액 침투 검사 방법{TEST METHOD FOR PERMEATION OF PLATING SOLUTION INTO TERMINAL ELECTRODE OF CHIP DEVICE} TEST METHOD FOR PERMEATION OF PLATING SOLUTION INTO TERMINAL ELECTRODE OF CHIP DEVICE}

본 발명은 칩 부품 등의 단자 전극 내부로의 도금액 침투를 검사하는 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 단자 전극으로 사용되는 구리의 내부에 존재하는 기공으로 니켈 성분의 도금액의 침투 정도를 저비용으로 정확하게 검사할 수 있는 칩 부품 단자 전극의 도금액 침투 검사 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for inspecting the penetration of a plating liquid into a terminal electrode such as a chip component. More specifically, the penetration of the plating liquid of a nickel component with pores existing in copper used as a terminal electrode can be accurately and at low cost. The present invention relates to a plating liquid penetration inspection method of a chip component terminal electrode that can be inspected.

일반적으로, 적층형 콘덴서와 같은 칩 부품은 도 1에 도시된 바와 같이, 패턴이 인쇄된 시트를 복수개 적층하여 소체(1)를 제조한 후, 소체(1) 표면에 외부 회로 등과의 전기적 연결을 위해 단자 전극(2)을 인쇄한다. 이어, 인쇄된 단자 전극(2)의 치밀화를 위해서 단자 전극 소부 공정을 진행한 후, 단자 전극의 납땜성을 부여하기 위해 니켈 도금층(3) 및 솔더(solder) 도금층(4)을 형성하여 칩 부품을 완성하게 된다.In general, as shown in FIG. 1, a chip component, such as a multilayer capacitor, fabricates a body 1 by stacking a plurality of sheets on which a pattern is printed, and then, for electrical connection with an external circuit or the like on the surface of the body 1. The terminal electrode 2 is printed. Subsequently, after the terminal electrode baking process is performed for densification of the printed terminal electrode 2, the nickel plating layer 3 and the solder plating layer 4 are formed to provide solderability of the terminal electrode, thereby forming chip components. Will complete.

종래에는 내부 전극의 재료로 팔라듐(Pd)을 사용하고, 단자 전극을 은(Ag) 또는 은-팔라듐을 사용하였으나, 최근에는 고가의 팔라듐 대신 니켈(Ni)을 내부전극의 재료로 사용하고 단자 전극의 재료로는 구리(Cu)에 소량의 글라스(glass) 플릿(frit)을 혼합하여 사용하고 있다. 이와 같은 구리를 재료로 하는 단자 전극에는 도 2에 도시된 바와 같이 다공성이 존재한다. 도 2는 도 1의 단자 전극과 도금층의 일부(A)를 확대한 것으로, 앞서 설명했던 것과 같이, 소체(1) 표면에 단자 전극(2)을 인쇄한 후 단자 전극(2)의 치밀화를 위해 단자 전극(2) 소부 공정을 진행한다고 하더라도 단자 전극의 주재료인 구리(21) 내부에 기공(22, 23)을 모두 제거하는 것은 불가능하다. 상기 기공의 일부는 구리와 함께 사용되는 글라스 플릿(22)이 연화되어 채워주기도 하지만, 단자 전극에는 여전히 기공이 존재하게 된다.Conventionally, palladium (Pd) is used as a material of the internal electrode, and silver (Ag) or silver-palladium is used as the terminal electrode, but recently, nickel (Ni) is used as the internal electrode material instead of expensive palladium and the terminal electrode is used. As a material of, a small amount of glass frit is mixed with copper (Cu) and used. In the terminal electrode made of such a copper material, porosity exists as shown in FIG. 2. FIG. 2 is an enlarged view of a portion A of the terminal electrode and the plating layer of FIG. 1, and as described above, the terminal electrode 2 is printed on the surface of the body 1 for densification of the terminal electrode 2. Even if the baking process of the terminal electrode 2 is performed, it is impossible to remove all the pores 22 and 23 in the copper 21 which is the main material of the terminal electrode. Some of the pores are softened and filled by the glass flit 22 used with copper, but the pores still exist in the terminal electrode.

이와 같은 단자 전극(2)의 재료로 사용되는 구리(21)의 내부에 존재하는 기공은 그 자체로서 칩 부품의 특성을 열화시키지는 않으나, 단자 전극(2)의 소부 공정 이후 단자 전극(2)의 외부면에 니켈을 이용하여 도금층(3)을 형성할 때, 액상의 도금액이 상기 단자 전극 내부의 기공에 침투하게 된다. 상기 기공에 침투한 도금액(23)으로 인해, 도금 후 칩 부품의 전기적 특성 및 납땜 특성을 열화시키고 제품의 신뢰성을 저하시키게 되는 문제가 발생한다. 따라서, 칩 부품을 제조한 후 단자 전극에 도금액의 침투 여부 및 그 정도를 확인 검사하여 제조된 칩 부품의 특성을 파악할 필요성이 있다.The pores present in the copper 21 used as the material of the terminal electrode 2 do not deteriorate the characteristics of the chip component by themselves, but after the baking process of the terminal electrode 2, When the plating layer 3 is formed on the outer surface using nickel, the liquid plating solution penetrates into pores inside the terminal electrode. Due to the plating solution 23 penetrating the pores, there is a problem that deteriorates the electrical characteristics and soldering characteristics of the chip component after plating and lowers the reliability of the product. Therefore, it is necessary to check the characteristics of the manufactured chip component by checking whether the plating liquid penetrates into the terminal electrode and the extent thereof after manufacturing the chip component.

통상, 도금이 완료된 단자 전극에서 도금층의 재료로 사용된 니켈과 그 내부의 단자 전극의 재료인 구리를 정확하게 구별하는 것은 매우 어려우며, 특히 상기 구리(단자 전극) 내부로 침투한 니켈(도금액)의 침투 정도를 확인하는 것은 더욱 어려운 분석이다. 종래에는 단자 전극 내부로의 도금액 침투 정도를 확인하기 위해서 EDS(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)라는 장비를 사용하여 단자 전극이 형성된 부분을 스캔함으로써 단자 전극 내부의 도금액 침투 분포를 분석하였다. 상기 EDS는 매우 정밀하게 단자 전극 내부의 도금액 침투 분포를 분석할 수 있으나, EDS 1기당 1개의 시편만을 분석할 수 있으며, 1회 분석에 1 내지 2시간의 장시간이 소요되는 문제점이 있다. 특히, 상기 EDS는 매우 고가의 분석 장비로서 실제로 제조 현장마다 사용될 수 없는 문제점이 있다.In general, it is very difficult to accurately distinguish between nickel used as a material of a plating layer and copper, which is a material of a terminal electrode, in a plated terminal electrode. Particularly, penetration of nickel (plating solution) penetrated into the copper (terminal electrode) is performed. Checking the degree is a more difficult analysis. Conventionally, in order to confirm the degree of penetration of the plating solution into the terminal electrode, the distribution of the penetration of the plating solution inside the terminal electrode was analyzed by scanning a portion where the terminal electrode is formed using an equipment called Energy Dispersive X-ray Spectroscopy (EDS). The EDS can analyze the plating solution penetration distribution inside the terminal electrode very precisely, but only one specimen per EDS can be analyzed, and there is a problem in that one analysis takes a long time of 1 to 2 hours. In particular, the EDS is a very expensive analysis equipment, which has a problem that cannot be actually used at each manufacturing site.

이와 같이 고가의 EDS 장비를 사용할 수 없는 경우, 칩 부품 제조 현장에서 간단하게 도금액 침투 여부를 측정하는 방법으로 소위 팝콘 테스트라고 불리는 간이적인 방법이 사용되기도 한다. 상기 팝콘 테스트는 도금이 완료된 칩 부품을 촛불 등으로 직접 가열하면서 내부의 도금액 성분이 터지는 현상을 관찰하는 방법으로, 고가의 장비를 사용하지 않고서도 도금액의 침투 여부를 간단하게 검사할 수 있다. 그러나, 관찰하는 방법이 도금층이 터지는 소리 및 발열 현상 등을 검사자의 청각 및 시각에 의존하는 원시적인 방법이기 때문에 그 정확도가 매우 떨어지며, 검사자마다 그 판단 기준이 일정하지 않은 문제점이 있다. 특히, 도금액의 침투 여부는 파악할 수 있으나, 정확하게 어느 정도의 침투가 발생하였는지를 정확하게 검사할 수 없는 문제점이 있다.When such expensive EDS equipment is not available, a simple method called popcorn test is sometimes used to measure the penetration of plating solution simply at the chip component manufacturing site. The popcorn test is a method of observing a phenomenon in which the plating liquid component bursts while directly heating a plated chip component with a candle or the like, and can easily check whether the plating liquid penetrates without using expensive equipment. However, since the method of observation is a primitive method of relying on the auditor's hearing and vision of the sound and heating phenomenon of the plating layer, the accuracy is very low, and the criterion of the tester is not constant. In particular, the penetration of the plating liquid can be grasped, but there is a problem in that it is not possible to accurately check how much penetration has occurred.

따라서, 당 기술분야에서는 고가의 장비를 사용하지 않고서도 단시간 내에 단자 전극 내부로의 도금액 침투를 검사할 수 있으면서, 동시에 도금액 침투 여부 및 침투 정도를 정확하게 파악할 수 있는 새로운 칩 부품 단자 전극의 도금액 침투 검사 방법이 요구되고 있는 실정이다.Therefore, in the art, it is possible to inspect the plating liquid penetration into the terminal electrode within a short time without using expensive equipment, and at the same time, the plating liquid penetration inspection of the new chip component terminal electrode capable of accurately identifying the plating liquid penetration and the degree of penetration. There is a need for a method.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 칩 부품의 단자 전극만을 선택적으로 에칭하여 제거함으로써 그 내부에 침투된 도금액 성분을 광학 현미경으로 간단하게 검사할 수 있는 칩 부품 단자 전극의 도금액 침투 검사 방법을 제공하는데 그 목적이 있다. The present invention has been made to solve the above problems, the plating solution penetration inspection of the chip component terminal electrode that can easily inspect the plating liquid component penetrated therein by an optical microscope by selectively etching and removing only the terminal electrode of the chip component The purpose is to provide a method.

상기 목적을 달성하기 위한 기술적 구성으로서 본 발명은,The present invention as a technical configuration for achieving the above object,

단자 전극 및 상기 단자 전극의 외부면에 도금층이 형성된 칩 부품을 마련하는 단계;Providing a chip component having a plating layer formed on a terminal electrode and an outer surface of the terminal electrode;

상기 단자 전극의 단면을 노출시키는 단계;Exposing a cross section of the terminal electrode;

상기 단자 전극을 구성하는 성분을 선택적으로 에칭하여 제거하는 단계; 및Selectively etching and removing components constituting the terminal electrode; And

상기 단자 전극을 구성하는 성분이 제거되고 남은 부분을 검사하는 단계를 포함하는 칩 부품 단자 전극의 도금액 침투 검사 방법을 제공한다.It provides a plating solution penetration inspection method of the chip component terminal electrode comprising the step of removing the components constituting the terminal electrode and the remaining portion.

상기 단자 전극의 단면을 노출시키는 단계 이전에 칩 부품의 외부를 몰딩하는 단계와, 상기 선택적으로 에칭하여 제거하는 단계 이후에 에칭된 부분을 순수 세척하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.Preferably, the method further comprises molding the exterior of the chip component prior to exposing the cross section of the terminal electrode, and net cleaning the etched portion after the selectively etching and removing.

본 발명의 바람직한 실시형태에서, 상기 도금층의 성분은 니켈(Ni)이고, 상기 단자 전극의 성분은 구리(Cu)이며, 상기 선택적으로 에칭하여 제거하는 단계는, 증류수와 암모니아 및 과산화수소를 혼합한 에칭액에 상기 단자 전극의 단면이 노출된 칩 부품을 잠입시켜 상기 단자 전극 성분을 구성하는 성분을 선택적으로 에칭하여 제거하는 단계이다.In a preferred embodiment of the present invention, the component of the plating layer is nickel (Ni), the component of the terminal electrode is copper (Cu), and the step of selectively etching to remove, the etching liquid mixed with distilled water, ammonia and hydrogen peroxide The chip component exposed to the end surface of the terminal electrode is immersed in the step, thereby selectively etching and removing the components constituting the terminal electrode component.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 칩 부품 단자 전극의 도금액 침투 검사 방법의 일실시형태를 보다 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, an embodiment of a plating liquid penetration test method of a chip component terminal electrode according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명에 따른 칩 부품 단자 전극의 도금액 침투 검사 방법의 일실시형태의 플로우 차트로서, 도 3을 참조하면, 본 발명의 일실시형태에 따른 칩 부품 단자 전극의 도금액 침투 검사 방법은, 먼저 단자 전극 및 상기 단자 전극의 외부면에 도금층이 형성된 칩 부품을 마련하는 단계(미도시)와, 상기 칩 부품의 외부를 몰딩하는 단계(S31)와, 단자 전극의 단면을 노출시키기 위해 상기 칩 부품을 절단하는 단계(S32)와, 상기 단자 전극을 구성하는 성분을 선택적으로 에칭하여 제거하는 단계(S33)와, 상기 에칭된 부분을 순수세척하는 단계(S34) 및 상기 단자 전극을 구성하는 성분이 제거되고 남은 부분을 검사하는 단계(S36)를 포함하여 구성된다.3 is a flow chart of an embodiment of a plating liquid penetration test method of a chip component terminal electrode according to the present invention. Referring to FIG. 3, a plating solution penetration inspection method of a chip component terminal electrode according to an embodiment of the present invention may be described in detail. First, a step of preparing a chip component having a plating layer formed on a terminal electrode and an outer surface of the terminal electrode (not shown), molding the outside of the chip component (S31), and exposing the chip to expose a cross section of the terminal electrode. Cutting the component (S32), selectively etching and removing the components constituting the terminal electrode (S33), purely washing the etched portion (S34) and the components constituting the terminal electrode It is configured to include a step (S36) to check the remaining portion is removed.

먼저, 상기 단자 전극 및 상기 단자 전극의 외부면에 도금층이 형성된 칩 부품을 마련하는 단계(미도시)에서는 적층형 콘덴서와 같은 외부에 단자 전극과 상기 단자 전극의 외부면이 도금처리된 일반적인 칩 부품을 마련한다. 통상 상기 단자 전극을 구성하는 성분은 구리(Cu)이며, 상기 도금층을 구성하는 성분은 니켈(Ni)이다. 이하에서 설명되는 본 발명의 일실시형태는, 단자 전극의 재료로 구리를 사용하고 도금층의 재료로 니켈을 사용하는 적층형 콘덴서에 대한 것으로 한다.First, in the step (not shown) of preparing a chip component having a plating layer formed on an outer surface of the terminal electrode and the terminal electrode, a general chip component in which a terminal electrode and an outer surface of the terminal electrode are plated on an exterior, such as a multilayer capacitor, may be used. Prepare. Usually, the component which comprises the said terminal electrode is copper (Cu), and the component which comprises the said plating layer is nickel (Ni). One embodiment of the present invention described below relates to a multilayer capacitor in which copper is used as a material of a terminal electrode and nickel is used as a material of a plating layer.

칩 부품을 마련한 이후, 상기 칩 부품의 외부를 몰딩할 수 있다(S31). 칩 부품의 외부를 몰딩하는 것은, 이후 에칭액에 상기 칩 부품을 잠입시킬 때, 에칭을 통해 원하는 부분만을 제거하고, 나머지 부분은 제거되지 않도록 하기 위한 것이다. 상기 몰딩은 일반적인 에폭시(epoxy)계 몰딩액을 이용하여 이루어질 수 있다.After preparing the chip component, the outside of the chip component may be molded (S31). Molding the outside of the chip component is intended to remove only the desired portion through etching and not to remove the remaining portion when the chip component is subsequently immersed in the etching liquid. The molding may be performed using a general epoxy-based molding liquid.

이어, 상기 칩 부품 단자 전극의 단면을 노출시킨다(S32). 단자 전극의 단면을 노출시키는 것은 단자 전극 내부로 잠입한 도금액 성분을 관찰하기 위한 것으로, 관찰하기 원하는 부분까지 단자 전극의 단면을 노출시킨다. 단자 전극의 단면을 노출시키는 방법으로는, SiC 연마지를 이용하여 관찰할 위치까지 칩 부품을 연마해내는 방법과, 레이저를 이용하여 칩 부품을 절단하는 방법이 사용될 수 있다.Next, the cross section of the chip component terminal electrode is exposed (S32). Exposing the end face of the terminal electrode is for observing a plating liquid component immersed in the inside of the terminal electrode, and exposes the end face of the terminal electrode to the portion to be observed. As a method of exposing the end surface of the terminal electrode, a method of polishing the chip component to a position to be observed using SiC abrasive paper and a method of cutting the chip component using a laser may be used.

이어, 상기 단자 전극을 구성하는 성분을 선택적으로 에칭하여 제거한다(S34). 에칭을 통해 단자 전극을 구성하는 성분(본 실시형태에서는 구리)을 제거하는 단계는 본 발명의 주된 특징으로, 에칭액의 성분 조절을 통해 구리 성분만을 선택적으로 제거하고, 단자 전극 내부에 침투된 도금층의 성분(본 실시형태에서는 니켈)은 제거하지 않음으로써, 단자 전극 내부의 기공에 침투된 도금액을 검사할 수 있다. 상기 에칭은 도금층을 제거하여 단자 전극이 노출된 칩 부품을 소정의 에칭액에 잠입시켜 이루어진다. Subsequently, the components constituting the terminal electrode are selectively etched and removed (S34). Removing the components constituting the terminal electrode through the etching (copper in this embodiment) is a main feature of the present invention, by selectively removing only the copper component through the component control of the etching solution, the plating layer penetrated inside the terminal electrode By not removing the component (nickel in this embodiment), the plating liquid penetrated into the pores inside the terminal electrode can be inspected. The etching is performed by removing the plating layer and immersing the chip component with the terminal electrode exposed in a predetermined etching solution.

이와 같이 본 발명에 의하면, 에칭액에 칩 부품을 잠입시켜 단자 전극에 침투된 도금액 성분을 검출할 수 있으므로, 비교적 간단하게 단자 전극 내부에 침투된 도금액 성분을 검사할 수 있게되며, 특히 에칭액에 복수개의 시료를 잠입시킬 수 있으므로 동시에 많은 개수의 시료를 검사할 수 있게된다. As described above, according to the present invention, the plating liquid component penetrated into the terminal electrode can be detected by immersing the chip component in the etching liquid, so that the plating liquid component penetrated into the terminal electrode can be inspected relatively simply. Samples can be immersed, allowing a large number of samples to be examined at the same time.

또한, 상기 에칭하는 과정에서, 에칭액의 성분 및 에칭 시간에 따라 에칭 두께를 조절할 수 있다. 따라서, 에칭액의 성분 및 에칭 시간의 조절을 통해, 칩 부품 단자 전극의 위치에 따른 도금액의 침투 정도를 검사할 수 있다.In addition, in the etching process, the etching thickness may be adjusted according to the components of the etching solution and the etching time. Therefore, the penetration of the plating liquid according to the position of the chip component terminal electrode can be inspected by adjusting the components of the etching solution and the etching time.

본 발명에 적용될 수 있는 에칭액의 성분 및 에칭 시간에 대해서는 하기에 설명되는 실시예를 통해 보다 상세하게 설명하기로 한다.Component and etching time of the etching solution that can be applied to the present invention will be described in more detail with reference to the examples described below.

이어, 에칭된 칩 부품의 표면에 잔재하는 에칭액을 제거하기 위해 증류수 등을 사용하여 칩 부품의 에칭된 부분을 순수세척한다.Subsequently, the etched portion of the chip component is purely washed using distilled water or the like to remove the etchant remaining on the surface of the etched chip component.

이어, 상기 칩 부품의 에칭된 부분을 광학 현미경 등을 사용하여 남아 있는 도금층 성분을 검사한다. 상기 에칭을 통해 단자 전극을 형성하는 구리 성분이 제거되므로, 칩 부품의 에칭된 부분에는 단자 전극 내부의 기공에 침투해 있던 도금액 성분(니켈)이 외부로 노출되어 남게된다. 이와 같이 단자 전극 내부에 침투해 있던 니켈 성분이 그대로 노출되기 때문에, 별다를 분석 장비를 사용하지 않고, 일반적인 광학 현미경 등을 통해 쉽게 니켈 성분을 관찰할 수 있게된다.The etched portions of the chip components are then inspected for remaining plating layer components using an optical microscope or the like. Since the copper component forming the terminal electrode is removed through the etching, the plating liquid component (nickel) that has penetrated the pores inside the terminal electrode remains exposed to the outside in the etched portion of the chip component. In this way, since the nickel component that has penetrated into the terminal electrode is exposed as it is, the nickel component can be easily observed through a general optical microscope without using an analytical equipment.

본 발명의 발명자는 상기 단자 전극 성분을 선택적으로 제거하는데 사용되는 바람직한 에칭액의 성분 및 에칭 시간을 조사하기 위해 반복적으로 실험을 하였다. 이하, 두가지 실시예를 통해 본 발명에 사용되는 에칭액의 성분 및 에칭 시간에 대해 설명하기로 한다.The inventors of the present invention have repeatedly experimented to investigate the components and etching times of the preferred etchant used to selectively remove the terminal electrode components. Hereinafter, the components and the etching time of the etching solution used in the present invention will be described through two examples.

[실시예 1]Example 1

본 실시예는 단자 전극 성분을 선택적으로 제거하는데 사용되는 애칭액의 성분을 조사하기 위한 실험이다. 본 발명에 사용되는 에칭액은 증류수, 암모니아, 과산화수소(H2O2)를 혼합하여 사용하였다. 산화제로 과산화수소 이외에 염산, 황산 등이 사용될 수도 있으나 염산 또는 황산은 급격한 산화를 일으켜 구리로 이루어진 단자 전극뿐만 아니라 그 내부에 침투된 도금액 성분인 니켈까지 제거할 수 있으므로, 본 발명에서는 과산화수소를 산화제로 사용하는 것이 바람직하다. 하기 표 1에 도시된 결과는 증류수와 암모니아의 양을 25g으로 동일하게 하고 과산화수소의 양을 0g 내지 20g으로 변동시키면서 애칭액의 성분을 변화시킬 때, 단자 전극 성분인 구리와 단자 전극에 침투된 도금액 성분인 니켈의 에칭 정도를 나타낸 것이다. 하기 표 1에서 증류수, 암모니아 및 과산화수소의 양은 중량%로 표시하였으며, 애칭액에 시료(단자 전극의 단면이 노출되도록 절단된 적층형 콘덴서)를 잠입시킨 시간은 30초이다.This embodiment is an experiment for investigating the components of the etch solution used to selectively remove the terminal electrode components. The etchant used in the present invention was used by mixing distilled water, ammonia and hydrogen peroxide (H 2 O 2 ). In addition to hydrogen peroxide, hydrochloric acid and sulfuric acid may be used as the oxidizing agent, but hydrochloric acid or sulfuric acid may cause rapid oxidation to remove not only copper terminal electrodes but also nickel, which is a plating solution component penetrated therein, and thus, hydrogen peroxide may be used as an oxidizing agent. It is desirable to. The results shown in Table 1 below show that the amount of distilled water and ammonia equal to 25 g and the amount of hydrogen peroxide changed from 0 g to 20 g while changing the components of the nicking liquid, the plating liquid penetrating into the terminal electrode components and copper The etching degree of nickel which is a component is shown. In Table 1, the amounts of distilled water, ammonia, and hydrogen peroxide were expressed in weight%, and the time of immersing the sample (the multilayer capacitor cut to expose the cross section of the terminal electrode) in the nicking liquid was 30 seconds.

순번turn 증류수의 양(중량%)Amount of distilled water (% by weight) 암모니아의 양(중량%)Amount of ammonia (% by weight) 과산화수소의 양(중량%)Amount of hydrogen peroxide (% by weight) 구리의 에칭두께(㎛)Copper etching thickness (㎛) 니켈의 에칭두께(㎛)Nickel Etching Thickness (㎛) 1One 5050 5050 00 00 00 22 4848 4848 44 00 00 33 4646 4646 88 00 00 44 4545 4545 1010 3.13.1 00 55 4343 4343 1414 7.87.8 00 66 4242 4242 1616 13.213.2 00 77 4040 4040 2020 15.315.3 0.10.1 88 3939 3939 2222 19.219.2 0.20.2 99 3838 3838 2424 23.123.1 0.50.5 1010 3737 3737 2626 28.628.6 0.80.8 1111 3636 3636 2828 35.435.4 1.31.3

상기 표 1에 나타난 바와 같이, 과산화수소의 성분이 10 중량% 미만일 경우에는 구리의 에칭이 거의 발생하지 않았으며, 과산화수소의 성분이 20 중량% 이상이 되는 경우 니켈의 에칭이 발생하였다. 본 실시예는 에칭액에 시료를 30초간 잠입시킨 경우이므로, 잠입 시간을 증가시키거나 감소시키는 경우, 그에 따라 과산화수소의 성분비를 감소 또는 증가시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 사용되는 에칭액은 증류수, 암모니아 및 과산화수소의 혼합액이며, 상기 과산화수소의 성분은 5 중량% 내지 35 중량%인 것이 바람직하며, 10 중량% 내지 20 중량%인 것이 가장 바람직하다.As shown in Table 1, when the component of the hydrogen peroxide is less than 10% by weight, the etching of copper hardly occurs, when the component of the hydrogen peroxide is more than 20% by weight of nickel etching occurs. In this embodiment, when the sample is immersed in the etchant for 30 seconds, when the immersion time is increased or decreased, the component ratio of hydrogen peroxide can be reduced or increased accordingly. Therefore, the etching solution used in the present invention is a mixture of distilled water, ammonia and hydrogen peroxide, the component of the hydrogen peroxide is preferably 5% to 35% by weight, most preferably 10% to 20% by weight.

[실시예 2]Example 2

본 실시예는 상기 실시예 1에 제시된 성분의 에칭액에 시료를 잠입시키는 시간을 변동시켜 구리 및 니켈의 에칭 두께를 조사하기 위한 실험이다. 하기 표 2는, 증류수 42 중량%, 암모니아 42 중량%, 과산화수소 16 중량%의 비율로 혼합된 에칭액에 시료(단자 전극의 단면이 노출되도록 절단된 적층형 콘덴서)를 1초 내지 600초 동안 잠입시킬 때 구리 및 니켈의 에칭 두께를 기록한 것이다. 하기 표 2에서 에칭 경과 시간은 초로 표시하였으며, 구리와 니켈의 에칭 두께는 ㎛로 표시하였다.This example is an experiment for examining the etching thickness of copper and nickel by varying the time for immersing the sample in the etchant of the component shown in Example 1. Table 2 shows a sample (multilayer capacitor cut to expose the end face of the terminal electrode) in an etching solution mixed at a ratio of 42% by weight of distilled water, 42% by weight of ammonia and 16% by weight of hydrogen peroxide for 1 second to 600 seconds. The etching thicknesses of copper and nickel are recorded. In Table 2, the elapsed time of etching was expressed in seconds, and the etching thicknesses of copper and nickel were expressed in μm.

순번turn 에칭 경과시간(초)Etching Elapsed Time (sec) 구리의 에칭두께(㎛)Copper etching thickness (㎛) 니켈의 에칭두께(㎛)Nickel Etching Thickness (㎛) 1One 1One 0.50.5 00 22 55 1.31.3 00 33 1010 3.73.7 00 44 1515 6.26.2 00 55 2020 8.68.6 00 66 3030 13.213.2 00 77 4040 16.516.5 0.10.1 88 5050 18.818.8 0.30.3 99 7070 22.122.1 0.30.3 1010 9090 26.526.5 0.40.4 1111 110110 30.830.8 0.60.6 1212 150150 38.838.8 0.90.9 1313 190190 48.548.5 1.31.3 1414 230230 59.159.1 2.52.5 1515 310310 75.375.3 3.43.4 1616 390390 91.291.2 6.26.2 1717 470470 120.5120.5 9.39.3 1818 600600 165.5165.5 12.312.3

상기 표 2에 나타난 바와 같이 칭 시간은 적어도 10초 이상 진행되어야 구리가 에칭된 것을 광학 현미경으로 관찰이 가능한 정도(약 3㎛ 이상)까지 에칭이 진행된다. 또한, 310초 동안 에칭이 진행된 경우, 니켈이 과도하게 에칭되어 실제 구리로 이루어진 단자 전극에 니켈이 침투되었어도 니켈의 침투현상이 관찰되지 않을 수 있으므로, 약 300초 이상 에칭이 진행되는 것은 바람직하지 않다. 따라서, 본 발명에서 단자전극 성분인 구리만을 선택적으로 에칭하기 위해서는 약 10초 내지 300초 동안 에칭을 진행하는 것이 바람직하다.As shown in Table 2, the quenching time should be performed for at least 10 seconds until the copper is etched to an extent that can be observed with an optical microscope (about 3 µm or more). In addition, when etching is performed for 310 seconds, even though nickel is excessively etched so that nickel does not penetrate into the terminal electrode made of copper, the penetration of nickel may not be observed. Therefore, etching is not performed for about 300 seconds or more. . Therefore, in order to selectively etch only copper as the terminal electrode component in the present invention, the etching is preferably performed for about 10 seconds to 300 seconds.

이와 같이, 본 발명에 따른 칩 부품 단자 전극의 도금액 침투 검사 방법은 수십초 내지 수백초의 시간이면 단자 전극 내부에 침투한 도금액 성분을 관찰할 수 있게되므로 짧은 시간에 칩 부품 단자 전극의 도금액 침투를 검사할 수 있다.As described above, the plating solution penetration inspection method of the chip component terminal electrode according to the present invention can observe the plating liquid component penetrating into the terminal electrode within a few tens of seconds to several hundred seconds, thereby inspecting the plating liquid penetration of the chip component terminal electrode in a short time. can do.

본 발명은 상술한 실시형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 하며, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다.The present invention is not limited by the above-described embodiment and the accompanying drawings, but is intended to be limited by the appended claims, and various forms of substitution, modification, and within the scope not departing from the technical spirit of the present invention described in the claims. It will be apparent to those skilled in the art that changes are possible.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 종래 EDS와 같은 고가의 장비를 사용하지 않고서 단자 전극의 도금액 침투를 검사할 수 있으므로 검사에 따른 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다. 또한 종래의 EDS과 같은 분석 장비는 수시간 동안 단지 1개의 시료만을 검사할 수 있었던 반면, 본 발명에 따르면 수십초 내지 수백초의 짧은 시간동안 복수개의 시료에 대한 검사를 동시에 수행할 수 있어 도금액 침투를 검사하는 시간을 절약할 수 있는 장점이 있다. 나아가 짧은 시간 동안 저비용으로 정확하게 도금액 침투 여부 및 침투 정도를 판별할 수 있는 장점이 있다.As described above, according to the present invention, the penetration of the plating liquid of the terminal electrode can be inspected without using expensive equipment such as the conventional EDS, thereby reducing the cost of the inspection. In addition, the conventional analytical equipment, such as EDS was able to inspect only one sample for several hours, while according to the present invention can test a plurality of samples at the same time for a short time of tens of seconds to hundreds of seconds to prevent the penetration of the plating liquid This has the advantage of saving time for inspection. Furthermore, there is an advantage that can accurately determine whether the plating solution penetrates and the degree of penetration at low cost for a short time.

도 1은 일반적인 칩 부품의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a general chip component.

도 2는 도금액 침투가 발생한 단자 전극의 확대 단면도이다.2 is an enlarged cross-sectional view of a terminal electrode in which plating liquid permeation has occurred.

도 3은 본 발명에 따른 칩 부품 단자 전극의 도금액 침투 검사 방법의 일실시형태의 플로우 차트이다.3 is a flowchart of an embodiment of a plating liquid penetration inspection method of a chip component terminal electrode according to the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

1 : 소체 2 : 단자 전극(Cu)1: body 2: terminal electrode (Cu)

3 : 도금층(Ni) 22 : 기공에 채워진 글라스 성분3: plating layer (Ni) 22: glass component filled in the pores

23 : 기공에 잠입된 도금층 성분23: plating layer component immersed in the pores

Claims (5)

단자 전극 및 상기 단자 전극의 외부면에 도금층이 형성된 칩 부품을 마련하는 단계;Providing a chip component having a plating layer formed on a terminal electrode and an outer surface of the terminal electrode; 상기 단자 전극의 단면을 노출시키는 단계;Exposing a cross section of the terminal electrode; 상기 단자 전극을 구성하는 성분을 선택적으로 에칭하여 제거하는 단계; 및Selectively etching and removing components constituting the terminal electrode; And 상기 단자 전극을 구성하는 성분이 제거되고 남은 부분을 검사하는 단계를 포함하는 칩 부품 단자 전극의 도금액 침투 검사 방법.And inspecting a remaining portion after the components constituting the terminal electrode are removed. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 단자 전극의 단면을 노출시키는 단계 이전에 칩 부품의 외부를 몰딩하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 칩 부품 단자 전극의 도금액 침투 검사 방법.And molding the outside of the chip component prior to exposing the cross section of the terminal electrode. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 선택적으로 에칭하여 제거하는 단계 이후에 에칭된 부분을 순수세척하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 칩 부품 단자 전극의 도금액 침투 검사 방법.And selectively washing the etched portion after the selectively etching and removing the plating liquid penetration test method of the chip component terminal electrode. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 도금층의 성분은 니켈(Ni)이고, 상기 단자 전극의 성분은 구리(Cu)인 것을 특징으로 하는 칩 부품 단자 전극의 도금액 침투 검사 방법.The plating layer component is nickel (Ni), and the component of the terminal electrode is copper (Cu), the plating solution penetration inspection method of the chip component terminal electrode. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 선택적으로 에칭하여 제거하는 단계는, 증류수와 암모니아 및 과산화수소를 혼합한 에칭액에 상기 단자 전극의 단면이 노출된 칩 부품을 잠입시켜 상기 단자 전극 성분을 구성하는 성분을 선택적으로 에칭하여 제거하는 단계인 것을 특징으로 하는 칩 부품 단자 전극의 도금액 침투 검사 방법.The step of selectively etching removes the chip component having the end surface of the terminal electrode exposed to an etchant mixed with distilled water, ammonia and hydrogen peroxide to selectively etch and remove the components constituting the terminal electrode component. Plating solution penetration inspection method of the chip component terminal electrode, characterized in that.
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