KR20050072969A - 멀티 레벨 초해상 광디스크 - Google Patents

멀티 레벨 초해상 광디스크 Download PDF

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KR20050072969A KR1020040001132A KR20040001132A KR20050072969A KR 20050072969 A KR20050072969 A KR 20050072969A KR 1020040001132 A KR1020040001132 A KR 1020040001132A KR 20040001132 A KR20040001132 A KR 20040001132A KR 20050072969 A KR20050072969 A KR 20050072969A
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Abstract

본 발명은, 멀티 레벨 기록용 초해상 광디스크에 관한 것으로, 2 개의 마스크(Mask) 층과, 그 마스크 층들 사이에 낮은 융점을 갖는 기록층 용 상변화 물질인 충격 흡수 층이 형성된 구조를, 하나의 세트로 하는 복수의 기록층을, 유전체 층으로 분리하여 적층함으로써, 마크의 형상이 지터 최적화에 보다 적합한 형상이 되도록 제어하여, 마크의 외곽 형상에 의한 지터 특성을 획기적으로 개선시킬 수 있게 되며, 또한 기록 레이저 빔의 파워를 조절하여, 복수의 기록층에 형성되는 기록 마크들을 멀티 레벨로 기록하여 다치 기록(Multi-Level Recording)에 의한 고밀도 기록이 가능하도록 하는 매우 유용한 발명인 것이다.

Description

멀티 레벨 초해상 광디스크 {Multi level super resolution optical disc}
본 발명은, 광디스크의 신호 품질 개선과 기록 밀도 향상을 위한 멀티 레벨 초해상 광디스크에 관한 것이다.
일반적으로, 현재까지 개발되어 상용화되고 있는 상변화형 광디스크의 저장용량은, 적색 레이저를 사용하는 DVD(Digital Versatile Disc) 급 4.7 GByte와, 최근에 개발 추진 중에 있는 청색 레이저를 사용하는 BD(Blu-ray Disc) 급 25 GByte 정도가 가능하다.
한편, 'HD-TV' 또는 'E-medicine' 등과 같은 엄청난 정보의 기록, 저장 및 재생을 위해서는, 더 높은 고밀도 정보 저장 기술이 요구되고 있는 데, 예를 들어 고 선명 디지털 비디오(High Density Digital Video)의 데이터 스트림을 기록 저장하기 위해서는, 20 GByte 이상의 저장 용량과 25 Mbps 이상의 데이터 전송 속도로 기록할 수 있는 기록매체가 필요하다.
또한, 2005년 이후에는 100 GB/CD-size 이상, 2010년 이후에는 Terabyte(TB) /CD-size 급 저장 용량의 정보 기록이 가능한 기술이 요구되는 데, 이를 위해서는 고밀도 기록과 고속 기록이 반드시 필요하게 되며, 다양한 멀티미디어 환경에서 다기능 정보 저장 기술의 여러 형태가 연구 개발되고 있다.
그리고, 광 기록 기술은, 착탈 가능하면서도 대용량의 정보 저장이 가능하고, 멀티미디어 환경에서 필수적인 랜덤 억세스(Random Access)와 데이터의 신뢰성을 가지며, 저 가격으로 이용이 가능하기 때문에, 여러 종류의 정보 저장 방식 중, 가장 보편적으로 사용되고 있다.
한편, 광 기록 매체의 기록 밀도를 높이기 위한 방안으로, 기록매체에 입사되는 레이저 빔 크기를 줄이기 위해 주로 개발되어 온 방법은, 레이저 파장을 줄이거나, 또는 대물렌즈 개구수(NA: Numerical Aperture)를 증가시키는 것으로, 기록 비트(Bit)의 크기는 레이저 파장에 비례하고, 개구수에 반비례하게 된다.
또한, 단파장 레이저를 이용한 기록과 재생이 가능한 기록매체는, 고밀도 저장매체로서 사용될 수 있으나, 단파장 레이저, 예를 들어 청색 레이저(405nm)와 고 개구수(NA=0.85) 사용으로 인해 고밀도화는, 거의 이론적인 한계에 도달하였으며, 그 이상의 저장 용량을 구현하기 위해서는 새로운 기술 개발이 요구되고 있는 실정이다.
그리고, 일반적인 씨디(CD) 및 디브이디(DVD) 재생기들과 호환성을 가지면서도, 씨디(CD)의 저장 용량인 650 MBytes보다 수백 배 높은 고밀도 정보 저장이 가능한 광 기록매체로서, 초해상(Super-Resolution) 현상을 이용한 광디스크, 즉 초해상 광디스크의 연구 개발이 추진 중에 있다.
한편, 상기 초해상 광디스크의 기술은, 일반 레이저 광 픽업 시스템을 사용하면서도 기록 마크(Mark)의 크기를 획기적으로 줄여, 기록 밀도를 증가시킬 수 있으리라 기대되고 있는 데, 이는 집속된 레이저 빔의 근접장(Near-Field) 효과를 이용하게 된다.
또한, WORM(Write Once Read Many) 형태의 초해상 방법은, 기록 가능한 광디스크에서, 디브이디(DVD)에 사용되던 결정/비결정 가역적 상변화형 기록층에 마크를 형성하는 것이 아니라, 마스크(Mask) 층의 AgOx, PtOx 등의 산화물 박막의 레이저광에 의한 분해(Decomposition)로 형성되는 공동(Cavity)과, 그 안에 석출된 나노 크기의 금속 입자들이 산란 중심체(Scattering) 역할을 하면서, 주위에 근접장을 만들어 기록층 역할을 하는 것을 이용한다.
그리고, 상기 마스크 산화물 박막의 상하에는, 광학적, 열적, 기계적 특성을 고려하여, ZnS-SiO2 계 조성의 유전체 박막 등이 사용되며, 기판은 가벼우면서, 사출성이 양호하고, 레이저 입사 때 복굴절(Birefringence)이 작은 특성을 이용하여 신호 대 잡음비(CNR; Carrier-to Noise Ratio) 증가를 위해 폴리카보네이트(PC: Polycarbonate)를 많이 사용하고 있다.
예를 들어, 도 1은 일반적인 초해상 광디스크의 구조를 도시한 것으로, 상기 초해상 광디스크(100)에 레이저를 조사함으로써, 그루브(Groove) 또는 랜드(Land) 위에 적층된 박막 내부에 국부적으로 분해된 마크를 기록하고, 낮은 출력의 레이저를 조사하여 마크와 나머지 기지(배경) 사이의 반사도 차이를 이용하여, 신호를 재생하게 된다.
이때, 재생 품질을 나타내는 지표로 지터(Jitter) 값이 중요하게 되는 데, 상기 지터 값은, 신호로부터 만들어진 클럭(예: PLL Clock)과 기록 마크 사이의 통계적 편차를 나타내는 양으로서, 마크의 시작 부분과 클럭, 그리고 끝 부분과 클럭간의 차이(Data to Clock Jitter)를 표준편차로 구하고, 1T 시간으로 나눈 백분율 값으로 나타낸다.
한편, 상기 지터에 영향을 주는 원인은, 매우 다양하고 복잡하지만, 기록 마크의 형상과, 각 T의 마크와 마크 사이(Space)의 관계에 의한 영향(ISI: Inter-Symbol Interference)이 주는 비율이 매우 중요하고, 거의 대부분을 차지하게 되므로, 마크의 형상이 지터 최적화에 보다 적합한 형상이 되도록 제어하는 기술이 매우 중요하게 된다.
또한, 상기 마크를 광픽업에서 읽어 들여 신호를 해석하는 과정에서, 마크의 형상과 마크간 공간(Space) 사이의 관계가 신호의 품질을 결정하게 되는 데, 도 2에 도시한 바와 같이, 단일 마스크(Mask) 층을 사용한 초해상 광디스크(100)의 연구결과에서는, 기록 과정을 거치면서 수 나노 두께의 마스크 층(예: PtOx(4nm))이, 열 배 이상의 두께로 팽창되며, 그 팽창된 부분은 일반 상변화형 광디스크에서 기록층으로 사용되는 Ge-Sb-Te 또는 Ag-In-Sb-Te 박막 층이 된다.
한편, 그 이유는, 집속되는 레이저 빔에 의해 마스크 층의 분해와 함께 낮은 융점을 가진 상변화 물질이 부분적으로 녹거나 점도(Viscosity)가 낮아져서 해당 부위로 마스크 층이 더욱 쉽게 팽창하기 때문이다.
또한, 도 3에 도시한 바와 같이, 마스크 층(예: PtOx)의 위/아래에 기록층(예: AglnSbTe)을, 유전체 층(예: ZnS-SiO2)과 함께 대칭 구조로 제조한 초해상 광디스크(101)의 경우에도, 마크의 형상이 타원형 모양으로 팽창된다.
그리고, 상기와 같은 마크의 형상은, 기록용 레이저 빔의 가우시안 열 분포로 인해, 마크의 중심과 외곽간의 부피 팽창 차이가 상당히 크며, 외곽으로 갈수록 점차적으로 감소하게 되므로, 지터의 증가로 인해 신호 품질과 안정성이 극히 저조해지는 문제점이 발생하게 된다.
또한, 최근에는, 초해상 광디스크에 보다 많은 용량의 데이터 스트림을 기록 저장할 수 있도록 하기 위한 해결 방안이 요구되고 있는 데, 이에 대한 효율적인 해결 방안이 아직 마련되어 있지 않은 실정이다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점 및 실정을 감안하여 창작된 것으로서, 2 개의 마스크(Mask) 층과, 그 마스크 층들 사이에 낮은 융점을 갖는 기록층 용 상변화 물질인 충격 흡수 층이 형성된 구조를, 하나의 세트로 하는 복수의 기록층을, 유전체 층으로 분리하여 적층함으로써, 마크의 외곽 형상에 의한 지터 특성을 획기적으로 개선시킴과 아울러, 다치 기록(Multi-Level Recording)에 의한 고밀도 기록화를 극적으로 향상시킬 수 있도록 하기 위한 멀티 레벨 초해상 광디스크를 제공하는 데, 그 목적이 있는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 멀티 레벨 초해상 광디스크는, 초해상 광디스크에 있어서, 2 개의 마스크 층과, 그 마스크 층들 사이에 기록층 용 상변화 물질인 충격 흡수 층이 형성된 구조를 하나의 세트로 하는 복수의 기록층이 적층됨과 아울러, 상기 복수의 기록층이, 유전체 층에 의해 분리되어 있는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명에 따른 멀티 레벨 초해상 광디스크에 대한 바람직한 실시예에 대해, 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
우선, 본 발명에 따른 멀티 레벨 초해상 광디스크에는, 2 개의 마스크 층과, 그 사이에 기록층 용 상변화 물질인 충격 흡수 층이 형성된 구조를 하나의 세트로 하는 복수의 기록층들이, 유전체 층에 의해 분리되어 적층되는 것으로, 상기 마스크 층과 충격 흡수 층 사이에는, 확산 방지 층이 별도로 추가 형성될 수 있다.
한편, 상기 마스크 층은, Ox 또는 Nx를 포함한 금속 화합물(MOx 또는 MNx)로서, 특정 온도 이상 가열시, 금속 나노 입자와 가스로 분리되는 물질이 사용되고, 상기 충격 흡수 층은, 낮은 융점을 지닌 기록층 용 상변화 물질, 예를 들어 Ge,Sb,Te,Ag,In,Sn,Zn,Pb,Bi,Ti,Se,S,Al,Ga,Cd,l 들이 사용될 수 있다.
또한, 상기 확산 방지 층은, ZnS, SiOx, GeN, SiNx 들이 사용될 수 있으며, 상기 복수의 기록층들을 분리 적층시키는 유전체 층은, ZnS-SiO2 또는 SiNx 등이 사용되는 데, 본 발명에 따른 멀티 레벨 초해상 광디스크의 구조에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 4는, 본 발명에 따른 멀티 레벨 초해상 광디스크의 구조를 도시한 것으로, 예를 들어 상기 멀티 레벨 초해상 광디스크(200)에는, 유전체 층(20,24,28, 32), 마스크 층(21,23,25,27,29,31), 그리고 충격 흡수 층(22,26,30)이 형성되며, 각 박막 층의 물질과 두께는, 일 실시예로서 광학적 특성 향상을 위해 임의로 변경될 수 있다.
한편, 상기 멀티 레벨 초해상 광디스크(200)에는, 도 4에 도시한 바와 같이, 2 개의 마스크 층과, 그 사이에 충격 흡수층이 형성된 구조를 하나의 세트로 하는 복수의 기록층들이, 유전체 층에 의해 분리되어 적층되는 데, 기록 신호를 위해서 사용되는 마스크 층(21,23,25,27,29,31)은, 레이저 빔으로 인해 나노 크기의 금속 입자와 산소 또는 질소로 부분적으로 열분해 되어, 급격한 부피 팽창을 하게 된다.
예를 들어, 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 마스크 층(29,31)은, 주변에 상대적으로 낮은 융점을 지닌 충격 흡수 층, 즉, 상변화형 광디스크에서 기록층 용 상변화 물질로 사용되던 박막의 충격 흡수 층(30)은, 기록용 레이저 빔에 의해 녹거나 점도가 낮아져, 마스크 층의 부피 팽창을 돕게 되는 충격 흡수 역할을 충분히 하게 된다.
만일, 도 2에 도시한 바와 같이, 한 쪽에만 충격 흡수 역할을 하는 박막이 있는 경우, 그 쪽으로만 부피 팽창이 일어나게 되며, 또한 도 3에 도시한 바와 같이, 마스크 층 양쪽에 유전체 층을 경계로 충격 흡수 역할을 하는 박막이 대칭적으로 있는 경우, 부피 팽창도 대칭적으로 일어나게 되므로, 결국 기록 마크의 형상이 지터 최적화에 적합한 형상을 갖지 못하게 된다.
반면, 본 발명에 따른 멀티 레벨 초해상 광디스크(200)의 경우, 도 5에 도시한 바와 같이, 2 개의 마스크 층(29,31) 사이에, 충격 흡수 층(30)이 형성되어 있기 때문에, 기록 마크의 형상이 지터 최적화에 적합한 형상을 갖게 되는 데, 기록 직후에는, 기록용 레이저 광원에 의해 2 개의 마스크 층(29,31)이 열분해로 인해 충격 흡수 층(30) 쪽으로 급격한 부피 팽창이 이루어지게 된다.
그리고, 기록 이후에는, 상기 상하 마스크 층 서로 간의 급격한 부피팽창이, 상기 충격 흡수 층(30)을 상하로 밀어내면서 커져 결국 겹치게 되며, 이때 생성된 산소 혹은 질소에 의해 더욱 높은 압력을 가지면서 충격 흡수 층을 좌우로 밀게 되고, 이러한 일련의 폭발적인 부피 팽창의 결과로 인해, 지터 최적화에 적합한 최종 기록마크 형상(50)이 만들어지게 된다.
한편, 도 4에 도시한 바와 같이, 기록 레이저 빔의 파워를 높게 조절하여 조사하는 경우, 유전체 층에 의해 분리 적층된 복수의 기록층에는, 서로 다른 기록 마크들(50,51,52)이 각각 멀티 레벨로 기록되는 데, 기록 레이저 빔이 가장 먼저 조사되는 제1 기록층에 형성된 기록 마크(50)는, 그 다음 번째의 제2 기록층에 형성된 기록 마크(51) 보다 긴 마크 크기와 높은 반사도를 갖게 되고, 기록 레이저가 마지막으로 조사되는 제3 기록층에 형성된 기록 마크(52)는, 상기 제2 기록층에 형성된 기록 마크(51) 보다 짧은 마크 크기와 낮은 반사도를 갖게 된다.
또한, 도 6에 도시한 바와 같이, 기록 레이저 빔의 파워를 중간으로 조절하여 조사하거나, 또는 기록 레이저를 낮게 조절하여 조사하는 경우, 기록 레이저 빔의 파워에 따라, 제1 기록층 내지 제3 기록층에 형성되는 기록 마크는, 멀티 레벨로 서로 다른 형상을 갖게 되므로, 각 기록층에 형성된 멀티 레벨의 기록 마크들에 대한 마크 크기와 반사도가 서로 달라지게 되어, 재생 레이저에 의해 읽혀질 때 기존의 '0'과 '1'의 신호뿐만 아니라 다양한 멀티 레벨의 신호로 되기 때문에, 동일한 길이의 디스크 트랙 상에, 다수의 기록 마크들을 멀티 레벨로 기록함으로써, 광디스크의 기록 밀도를 획기적으로 증가시킬 수 있게 된다.
그리고, 본 발명에 따른 다른 실시예로서, 도 7에 도시한 바와 같이, 2 개의 마스크 층(29,31) 사이에 충격 흡수 층(30)을 형성하되, 상기 마스크 층과 충격 흡수 층 사이에, 낮은 융점의 박막과 확산 방지 층(33,34)이 추가 형성될 수 있다.
한편, 상기 마스크 층은, 기록용 레이저 광원에 의해 국부적으로 금속 나노 입자와 산소 또는 질소로 분해되어 회절 한계 이하 크기로 기록 마크가 생성되는 데, 상기 기록 마크의 재생은, 낮은 에너지의 레이저 빔을 주사하여, 금속 나노 입자로부터 발생되는 근접장 효과와, 산소 또는 질소 공동의 급격한 굴절률 변화를 이용하여 신호를 얻게 된다.
그러나, 실제 신호로 이용되는 영역은, 기록 마크의 중심 영역이고, 그 이외의 외곽부는, 길게 신호 기록방향으로 늘어지게 되므로, 본 발명에 얻어지는 재생 신호는, 마크 외곽부의 영역이 신호에 주는 영향이 상대적으로 줄어들고, 신호로 얻어지는 영역이 늘어날 뿐만 아니라, 그 영역이 보다 뚜렷하게 구분되어 진다.
따라서, 이를 통해 지터 값을 혁신적으로 줄일 수 있게 되며, 이러한 결과를 이용하여, 적은 기록 시간을 주었을 때도, 안정된 잡음 대 신호 비(CNR)와 양호한 지터 값을 얻을 수 있게 되어, 본 발명에 따른 멀티 레벨 초해상 광디스크(200, 210)의 지터 특성은, 종래의 초해상 광디스크(100,101)의 지터 특성보다 훨씬 양호한 특성을 갖게 된다.
즉, 기록 마크의 리딩 에지(Leading Edge) 부분과 트레이링 에지(Trailing Edge) 부분에서, 각 마크의 끝단 모양이 경사가 급할수록 좋은 지터 값을 갖게 되므로, 단일 마스크 층을 사용하였을 때의 광학적 리딩 신호는, 마크 중심부에서 많은 반사량을 보이지만, 외곽 부분으로 감에 따라 점차적으로 감소함을 보이게 되며, 이러한 외곽 형상은 마크간 간섭(ISI)에 영향을 주어 신호 품질 감소의 원인이 된다.
반면, 이를 개선하기 위해 복수의 마스크 층이 유전체 층을 경계로 제작되었을 때 신호의 중심에서 외곽으로 감소하는 기울기를 상당히 높일 수 있으며, 본 발명에서와 같은 광디스크의 구조를 갖는 경우, 종래의 초해상 광디스크에 비해, 반사량이 전체적으로 많고, 중심에서 외곽으로 가면서 반사량이 급격하게 감소하게 된다.
따라서, 기록 마크의 형상과, 여러 마크들간의 상호 간섭으로 인한 에러로 생기는 신호의 지터 특성이 상당히 향상되며, 또한 안정적인 마크 형상으로 인해 열적 안정성을 보다 많이 확보할 수 있게 된다.
그리고, 도 8에 도시한 바와 같이, 멀티 레벨로 형성된 기록 마크들간의 반사도와 최소 기록 마크의 크기가 각각 서로 다르기 때문에, 가장 높은 파워의 기록 레이저 빔이 조사되어 기록 마크가 여러 층에 걸쳐 형성된 경우(a)에는, 상대적으로 낮은 파워의 기록 레이저 빔이 조사되어 기록 마크가 형성된 경우(b,c)에 비해, 보다 많은 반사도가 재생용 레이저 빔에 의해 읽혀지게 된다.
따라서, 기록 마크는 디스크의 트랙을 따라 길이가 바뀔 뿐만 아니라, 동일한 길이의 마크에서도 재생용 레이저 빔에 의해 읽혀질 때 기존의 '0'과 '1'의 신호뿐만 아니라 다양한 멀티 레벨의 신호들로 구분 재생할 수 있게 되는 다치 기록(Multi-Level Recording)이 가능하게 되어, 광디스크의 기록 밀도를 극적으로 크게 향상시킬 수 있게 된다.
이상, 전술한 본 발명의 바람직한 실시예는, 예시의 목적을 위해 개시된 것으로, 당업자라면, 이하 첨부된 특허청구범위에 개시된 본 발명의 기술적 사상과 그 기술적 범위 내에서, 또다른 다양한 실시예들을 개량, 변경, 대체 또는 부가 등이 가능할 것이다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 초해상 광디스크는, 멀티 레벨 초해상 광디스크에 관한 것으로, 2 개의 마스크(Mask) 층과, 그 마스크 층들 사이에 낮은 융점을 갖는 기록층 용 상변화 물질인 충격 흡수 층이 형성된 구조를, 하나의 세트로 하는 복수의 기록층을, 유전체 층으로 분리하여 적층함으로써, 마크의 형상이 지터 최적화에 보다 적합한 형상이 되도록 제어하여, 마크의 외곽 형상에 의한 지터 특성을 획기적으로 개선시킬 수 있게 되며, 또한 기록 레이저 빔의 파워를 조절하여, 복수의 기록층에 형성되는 기록 마크들을 멀티 레벨로 기록하여 다치 기록(Multi-Level Recording)에 의한 고밀도 기록화를 극적으로 향상시킬 수 있게 되는 매우 유용한 발명인 것이다.
도 1은 일반적인 초해상 광디스크의 구조를 도시한 것이고,
도 2 및 도 3은 일반적인 초해상 광디스크들에 대한 전자투과 현미경 사진을 각각 도시한 것이고,
도 4는 본 발명에 따른 멀티 레벨 초해상 광디스크의 구조를 도시한 것이고,
도 5는 본 발명에 따른 단일 기록층 세트의 초해상 광디스크에 기록 마크가 형성되는 과정을 도시한 것이고,
도 6은 본 발명에 따른 멀티 레벨 초해상 광디스크에 다수의 기록 마크들이 멀티 레벨로 형성되는 실시예를 도시한 것이고,
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 단일 기록층 세트의 초해상 광디스크에 기록 마크가 형성되는 과정을 도시한 것이고,
도 8은 본 발명에 따라 멀티 레벨로 기록된 마크들에 대한 반사도 및 마크 크기를 각각 도시한 것이다.
?? 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
200 : 멀티 레벨 초해상 광디스크 20,24,28,32 : 유전체 층
21,23,25,27,29,31 : 마스크 층 22,26,30 : 충격 흡수 층
210 : 멀티 레벨 초해상 광디스크 33,34 : 확산 방지 층
50,51,52 : 기록 마크

Claims (6)

  1. 초해상 광디스크에 있어서,
    2 개의 마스크 층과, 그 마스크 층들 사이에 기록층 용 상변화 물질인 충격 흡수 층이 형성된 구조를 하나의 세트로 하는 복수의 기록층이 적층됨과 아울러,
    상기 복수의 기록층이, 유전체 층에 의해 분리되어 있는 것을 특징으로 하는 멀티 레벨 초해상 광디스크.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 유전체 층은, ZnS-SiO2 또는 SiNx인 것을 특징으로 하는 멀티 레벨 초해상 광디스크.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 마스크 층은, Ox 또는 Nx를 포함한 금속 화합물(MOx 또는 MNx)로, 특정 온도 이상 가열시, 금속 나노 입자와 가스로 분리되는 물질인 것을 특징으로 하는 멀티 레벨 초해상 광디스크.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 충격 흡수 층은, 낮은 융점을 지닌 물질인 Ge, Sb, Te, Ag, In, Sn, Zn, Pb, Bi, Ti, Se, S, Al, Ga, Cd, l 중, 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 멀티 레벨 초해상 광디스크.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 마스크 층과 충격 흡수 층 사이에, 확산 방지 층이 추가 형성되는 것을 특징으로 하는 멀티 레벨 초해상 광디스크.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 확산 방지 층은, ZnS, SiOx, GeN, SiNx 중 어느 하나 이상의 물질인 것을 특징으로 하는 멀티 레벨 초해상 광디스크.
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KR101536373B1 (ko) * 2008-03-07 2015-07-13 톰슨 라이센싱 다중레벨 데이터 층을 포함하는 광학 저장 매체

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