KR20050069868A - 씨모스 이미지 센서 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (29)
- 포토다이오드가 구비된 반도체 기판;상기 반도체 기판 전면에 형성된 층간 절연막;상기 층간 절연막상에 상기 포토 다이오드에 상응한 부분에 형성된 제 1 유전막 패턴과 상기 제 1 유전막 패턴의 측벽에 형성된 제 2 유전막 패턴으로 구성된 마이크로 렌즈;상기 마이크로 렌즈를 포함한 상기 층간 절연막위에 형성된 제 3 유전막을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 2 유전막 패턴은 상기 제 1 유전막 패턴보다 더 높은 굴절률을 갖음을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 2 유전막 패턴의 높이는 5000~15000Å 인 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 유전막 패턴과 제 3 유전막 패턴은 굴절률이 동일한 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서.
- I제 1 항에 있어서,상기 제 1 유전막의 굴절률은 1.3~1.7이고, 상기 제 2 유전막의 굴절률은 1.8~2.2 인 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 유전막 패턴의 사이즈는 상기 포토다이오드 영역의 폭과 동일함을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 유전막 패턴은 산화막 재질로 형성되며, 상기 제 2 유전막 패턴은 질화막 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서.
- 제 1 항에 있어서,상기 포토다이오드에 상응하는 상기 제 3 유전막위에 칼라 필터층이 더 형성됨을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서.
- 포토다이오드가 구비된 반도체 기판;상기 반도체 기판 전면에 형성된 층간 절연막;상기 포토 다이오드에 상응한 부분의 상기 층간 절연막상에 적층되어 형성된 제 1, 제 2 유전막 패턴과 상기 제 1, 제 2 유전막 패턴의 측벽에 형성된 제 3 유전막 패턴으로 구성된 마이크로 렌즈;상기 마이크로 렌즈를 포함한 상기 층간 절연막위에 형성된 제 4 유전막을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서.
- 제 9 항에 있어서,상기 제 1, 제 3 유전막 패턴은 상기 제 2, 제 4 유전막 패턴보다 더 높은 굴절률을 갖음을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서.
- 제 9 항에 있어서,상기 제 1 유전막 패턴과 제 3 유전막 패턴의 굴절율은 동일함을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서.
- 제 9 항에 있어서,상기 제 1, 제 3 유전막의 굴절률은 1.8 ~ 2.2 이고, 상기 제 2, 제 4 유전막의 굴절률은 1.3~1.7인 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서.
- 제 9 항에 있어서,상기 제 1, 제 2 유전막 패턴의 사이즈는 상기 포토다이오드 영역과 상응함을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서.
- 제 9 항에 있어서,상기 제 1, 제 3 유전막 패턴은 질화막 재질로 형성되며, 상기 제 2, 제 4 유전막 패턴은 산화막 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서.
- 제 9 항에 있어서,상기 포토다이오드에 상응하는 상기 제 3 유전막위에 칼라 필터층이 더 형성됨을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서.
- 반도체 기판의 소정 영역에 불순물 이온주입으로 포토다이오드를 형성하는 단계;상기 반도체 기판상에 층간 절연막을 형성하는 단계;상기 포토다이오드 상측에 상응하는 상기 층간 절연막위에 제 1 유전막 패턴을 형성하는 단계;상기 제 1 유전막 패턴의 사방 측벽에 제 2 유전막 패턴을 형성하여 상기 제 1, 제 2 유전막 패턴으로 구성되는 마이크로 렌즈를 형성하는 단계;상기 마이크로 렌즈를 포함한 층간 절연막위에 제 3 유전막을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서의 제조방법.
- 제 16 항에 있어서,상기 제 2 유전막 패턴은 상기 제 1 유전막보다 높은 굴절률을 갖음을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서의 제조방법.
- 제 16 항에 있어서,상기 제 1 유전막과 제 3 유전막은 굴절률이 동일한 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서의 제조방법.
- 제 16 항에 있어서,상기 제 1 유전막의 굴절률은 1.3~1.7이고, 상기 제 2 유전막의 굴절률은 1.8~2.2인 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서의 제조방법.
- 제 16 항에 있어서,상기 제 1 유전막 패턴은 산화막 재질로 형성하며, 상기 제 2 유전막 패턴은 질화막 재질로 형성하는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서의 제조방법.
- 제 16 항에 있어서,상기 제 1 유전막 패턴의 크기는 상기 포토다이오드에 상응하는 크기로 형성함을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서의 제조방법.
- 제 16 항에 있어서,상기 포토다이오드 상측의 상기 제 3 유전막위에 칼라필터층을 형성하는 단계를 더 포함함을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서의 제조방법.
- 반도체 기판의 소정 영역에 불순물 이온주입으로 포토다이오드를 형성하는 단계;상기 반도체 기판상에 층간 절연막을 형성하는 단계;상기 층간 절연막위에 제 1, 제 2 유전막을 차례로 형성하고 상기 포토다이오드 상측에 상응하는 상기 층간 절연막위에만 남도록 상기 제 1, 제 2 유전막 패턴을 형성하는 단계;상기 제 1, 제 2 유전막 패턴의 사방 측벽에 제 3 유전막 패턴을 형성하여 상기 제 1, 제 2, 제 3 유전막 패턴으로 구성되는 마이크로 렌즈를 형성하는 단계;상기 마이크로 렌즈를 포함한 층간 절연막위에 제 4 유전막을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서의 제조방법.
- 제 23 항에 있어서,상기 제 1, 제 3 유전막 패턴은 상기 제 2, 제 4 유전막보다 높은 굴절률을 갖는 물질로 형성함을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서의 제조방법.
- 제 23 항에 있어서,상기 제 1 유전막 패턴과 제 3 유전막 패턴은 굴절률이 동일한 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서의 제조방법.
- 제 23 항에 있어서,상기 제 1, 제 3 유전막의 굴절률은 1.8~2.2이고, 상기 제 2, 제 4 유전막의 굴절률은 1.3~1.7인 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서의 제조방법.
- 제 23 항에 있어서,상기 제 1, 제 3 유전막 패턴은 질화막 재질로 형성하고, 상기 제 2, 제 4 유전막 패턴은 산화막 재질로 형성함을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서의 제조방법.
- 제 16 항에 있어서,상기 제 1, 제 2 유전막 패턴의 크기는 상기 포토다이오드에 상응하는 크기로 형성함을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서의 제조방법.
- 제 23 항에 있어서,상기 포토다이오드 상측의 상기 제 4 유전막위에 칼라필터층을 형성하는 단계를 더 포함함을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서의 제조방법.
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