KR20050060530A - Electronic apparatus having flexible substrate - Google Patents
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Abstract
본 발명은 플렉서블 기판을 갖는 전자장치에 관한 것으로, 플렉서블 기판 상부에 구동할 수 있는 전자 소자들이 형성되어 있는 플렉서블 기판을 갖는 전자장치에 있어서, 상기 전자 소자들과 플렉서블 기판을 감싸서 형성되어 휘어짐에 따른 특성 저하를 방지할 수 있는 유기 보호막이 더 구비되어 있는 것을 특징으로 한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electronic device having a flexible substrate, wherein the electronic device having a flexible substrate having electronic devices capable of driving on the flexible substrate is formed. An organic protective film which can prevent a characteristic fall is further provided.
따라서, 본 발명은 전자 소자를 감싸며 플렉서블 기판 상부에 유기 보호막을 형성하여, 플렉서블 기판이 휘어질 때, 인가되는 충격으로부터 전자소자를 보호할 수 있으므로, 크랙 발생을 저하시켜, 기계적 특성을 우수할 수 있는 효과가 있다.Therefore, the present invention can form an organic protective film on the flexible substrate to surround the electronic device, it is possible to protect the electronic device from the impact applied when the flexible substrate is bent, thereby reducing the occurrence of cracks, excellent mechanical properties It has an effect.
Description
본 발명은 플렉서블(Flexible) 기판을 갖는 전자장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전자 소자를 감싸며 플렉서블 기판 상부에 유기 보호막을 형성하여, 플렉서블 기판이 휘어질 때, 인가되는 충격으로부터 전자소자를 보호할 수 있으므로, 크랙 발생을 저하시켜, 기계적 특성을 우수할 수 있는 플렉서블 기판을 갖는 전자장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electronic device having a flexible substrate, and more particularly, to surround an electronic device and form an organic protective film on the flexible substrate to protect the electronic device from an impact applied when the flexible substrate is bent. Therefore, the present invention relates to an electronic device having a flexible substrate capable of reducing crack generation and excellent mechanical properties.
일반적으로, 유리 기판은 화학적으로 안정하며 기계적으로 일정 강도와 평탄도를 가지고 있고, 공정 중 제어하기 쉽고 투과도가 우수한 장점이 있어 디스플레이의 기판으로 사용되고 있다. In general, glass substrates are used as substrates for displays because they are chemically stable, have mechanical strength and flatness, are easy to control during the process, and have excellent transmittance.
하지만, 유리 기판은 외부의 충격에 비교적 깨지기 쉬운 성질을 가지고 있어서 완제품 또는 제작 중간물이 파손될 가능성이 있으며, 또한 일정 강도를 가지고 있어서 구부리거나 접는 것은 극히 불가능하여 최근에 개발되고 있는 플렉서블 디스플레이의 기판으로 사용할 수 없다.However, the glass substrate has the property of being relatively fragile due to external impact, which may damage the finished product or the manufacturing intermediate, and also has a certain strength, making it extremely impossible to bend or fold it as a flexible display substrate. Can not use it.
한편, 플렉서블 디스플레이는 플렉서블 기판을 기반으로 제조되어, 접거나 말아서 사용할 수 있는 새로운 개념의 디스플레이이다.On the other hand, the flexible display is a display of a new concept that can be manufactured based on the flexible substrate and can be folded or rolled up.
그러므로, 전술된 바와 같은 유리 기판의 단점을 극복하기 위하여 유리 기판처럼 투명한 고분자 기판을 사용하여 플렉서블 디스플레이를 제조하려는 노력을 하고 있다.Therefore, in order to overcome the disadvantages of the glass substrate as described above, efforts have been made to manufacture a flexible display using a transparent polymer substrate such as a glass substrate.
향후, 플렉서블 기판을 이용한 다양한 형태의 응용제품들이 개발될 것으로 예상되고 있으며, 그 파장은 사회적으로 또는 경제적으로 매우 클 것으로 예측된다.In the future, various types of applications using flexible substrates are expected to be developed, and the wavelength is expected to be very large socially or economically.
현재, 플렉서블 디스플레이의 기판으로 제안되고 있는 고분자 필름으로는 여러 종류가 알려져 있으나, 대부분 유리 기판에 비하여 열적 및 화학적 안정성이 떨어지는 단점을 가지고 있다.Currently, various kinds of polymer films that are proposed as substrates for flexible displays are known, but most have disadvantages in that thermal and chemical stability are lower than those of glass substrates.
특히, 열에 의한 변형이 크므로, 공정 중 여러 어려움을 가지고 있으며 이에 따른 수율 저하 등의 문제를 초래되고 있는 것으로 보고되고 있다.In particular, since the deformation by heat is large, it has been reported to have various difficulties in the process and cause problems such as a decrease in yield.
또한, 고분자 기판의 단가는 아직까지 유리에 비하여 고가이며, 유연성을 가지고 있기는 하지만, 완전히 구부리거나 마는 등의 기계적 변형에 특성이 저하되는 한계를 가지고 있다.In addition, the unit cost of the polymer substrate is still more expensive than glass and has flexibility. However, the polymer substrate has a limitation in that the properties are deteriorated in mechanical deformation such as bending or rolling completely.
그리고, 기존의 유리에 비해 투습율 및 투산소율이 매우 높아 궁극적으로는 소자의 수명이 단축된다는 단점을 가지고 있다.In addition, the moisture permeability and oxygen permeability is very high compared to the conventional glass has the disadvantage of ultimately shortening the life of the device.
도 1은 종래 기술에 따른 플렉서블 기판을 이용한 디스플레이의 개략적인 단면도로서, 플렉서블 기판(10) 상부에 보호막(11)이 형성되어 있고, 이 보호막(11) 상부에 전자 소자들(12a,12b,12c)이 형성되어 있다.1 is a schematic cross-sectional view of a display using a flexible substrate according to the related art, in which a protective film 11 is formed on a flexible substrate 10, and electronic devices 12a, 12b, and 12c are disposed on the protective film 11. ) Is formed.
물론, 플렉서블 기판(10)과 보호막(11) 사이에는 금속 라인들이 배선되어 있어, 각각의 전자 소자들(12a,12b,12c)과 전기적으로 연결되어, 디스플레이로서 구동된다. (참고로, 디스플레이의 동작관계는 일반적인 기술에 해당된다.)Of course, metal lines are wired between the flexible substrate 10 and the passivation layer 11 to be electrically connected to the electronic elements 12a, 12b, and 12c, respectively, and driven as a display. (For reference, the operating relationship of the display is a general technology.)
이와 같이, 현재 개발 중인 대부분의 플렉서블 디스플레이는 소자를 외부의 환경으로부터 보호할 수 있는 보호막을 적용하지 않고 있으며, 대기 중에 노출될 경우 소자의 특성이 크게 변하게 되어 디스플레이용 소자로 적용하기 어려운 단점이 있다.As described above, most of the flexible displays currently under development do not apply a protective film that protects the device from the external environment, and when exposed to the air, the characteristics of the device change significantly, which makes it difficult to apply the display device. .
또한, 기판이 휘어질 경우 발생할 수 있는 금속막 및 무기질 막의 크랙 현상으로 인하여 소자의 전기적 특성이 크게 약화되는 문제점을 야기시킨다.In addition, due to cracking of the metal film and the inorganic film that may occur when the substrate is bent, it causes a problem that the electrical characteristics of the device is greatly weakened.
이에 본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 전자 소자를 감싸며 플렉서블 기판 상부에 유기 보호막을 형성하여, 플렉서블 기판이 휘어질 때, 인가되는 충격으로부터 전자소자를 보호할 수 있으므로, 크랙 발생을 저하시켜, 기계적 특성을 우수할 수 있는 플렉서블 기판을 갖는 전자장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the problems described above, by forming an organic protective film on the flexible substrate to surround the electronic device, it is possible to protect the electronic device from the impact applied when the flexible substrate is bent, It is an object of the present invention to provide an electronic device having a flexible substrate capable of reducing crack generation and excellent mechanical properties.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 양태(樣態)는, 플렉서블 기판 상부에 구동할 수 있는 전자 소자들이 형성되어 있는 플렉서블 기판을 갖는 전자장치에 있어서,According to a preferred aspect of the present invention, there is provided an electronic device having a flexible substrate having electronic elements capable of driving on the flexible substrate.
상기 전자 소자들과 플렉서블 기판을 감싸서 형성되어 휘어짐에 따른 특성 저하를 방지할 수 있는 유기 보호막이 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 플렉서블 기판을 갖는 전자장치가 제공된다.There is provided an electronic device having a flexible substrate, which is formed to surround the electronic elements and the flexible substrate, and further includes an organic protective layer that can prevent deterioration of characteristics due to bending.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명에 따른 플렉서블 기판을 이용한 디스플레이의 개략적인 단면도로서, 플렉서블 기판(100) 상부에 디스플레이를 구동할 수 있는 전자 소자들(110a,110b,110c)이 형성되어 있다.2 is a schematic cross-sectional view of a display using a flexible substrate according to the present invention, and electronic devices 110a, 110b, and 110c capable of driving the display are formed on the flexible substrate 100.
그리고, 휘어짐에 따른 특성 저하를 방지할 수 있는 유기 보호막(120)이 상기 전자 소자들(110a,110b,110c)과 플렉서블 기판(100)을 감싸서 형성되어 있다.In addition, an organic passivation layer 120 may be formed to surround the electronic devices 110a, 110b and 110c and the flexible substrate 100 to prevent deterioration of characteristics due to bending.
이 때, 상기 유기 보호막(120)은 폴리이미드(Polyimide), 폴리카보네이트(Polycarbonate)와 아크릴 중 어느 하나로 형성하는 것이 바람직하다.In this case, the organic passivation layer 120 may be formed of any one of polyimide, polycarbonate, and acryl.
또한, 유기 보호막(120)의 두께는 40 ~ 100㎚가 바람직하다. In addition, the thickness of the organic protective film 120 is preferably 40 to 100 nm.
여기서, 유기 보호막의 두께가 40㎚보다 작거나 100㎚ 크게 되면, 보호막의 역할을 수행할 수 없게 된다.Here, when the thickness of the organic protective film is less than 40nm or larger by 100nm, it is impossible to perform the role of the protective film.
한편, 상기 유기 보호막(120)을 자외선 레진(Resin)으로도 사용할 수 있는데, 이 자외선 레진을 플렉서블 기판(100)에 스핀 코팅 또는 닥터 블레이드 방식으로 상기 전자 소자들과 플렉서블 기판을 감싸도록 코팅한 후, 자외선 빔으로 조사하여 경화시키면 된다.Meanwhile, the organic passivation layer 120 may also be used as an ultraviolet resin (Resin), and the ultraviolet resin is coated on the flexible substrate 100 to surround the electronic devices and the flexible substrate by spin coating or a doctor blade method. What is necessary is just to irradiate and harden | cure by an ultraviolet beam.
따라서, 본 발명에서는 플렉서블 디스플레이의 기계적 및 전기적 특성 안정성 향상을 위해, 유기 보호막으로 전자 소자들과 플렉서블 기판 상부를 감싸서, 기판을 휘었을 때, 플렉서블 디스플레이에 크랙과 같은 결함을 줄일 수 있게 되어, 결국, 플렉서블 디스플레이의 기계적 및 전기적 특성을 향상시킬 수 있게 된다.Therefore, in the present invention, in order to improve the stability of the mechanical and electrical properties of the flexible display, the organic protective film may be wrapped around the electronic elements and the flexible substrate to reduce defects such as cracks in the flexible display when the substrate is bent. As a result, the mechanical and electrical properties of the flexible display can be improved.
도 3은 본 발명과 종래 기술의 휘어짐 특성을 측정하기 위하여, 복수의 TFT(Thin Film Transistor) 소자들이 형성된 플렉서블 기판의 평면도로서, 본 발명과 종래 기술에 따른 플렉서블 기판(100)은 상부에 10개의 TFT 소자들을 형성하였다.3 is a plan view of a flexible substrate on which a plurality of TFT (Thin Film Transistor) elements are formed, in order to measure the bending characteristics of the present invention and the prior art, wherein the flexible substrate 100 according to the present invention and the prior art has 10 TFT elements were formed.
이 때, 본 발명은 유기 보호막으로 TFT 소자들과 플렉서블 기판 상부를 감싸서 준비하였고, 종래기술은 유기 보호막을 TFT 소자들과 플렉서블 기판 상부에 형성하지 않고 준비하였다.At this time, the present invention was prepared by wrapping the TFT elements and the flexible substrate with an organic protective film, the prior art prepared without forming the organic protective film on the TFT elements and the flexible substrate.
도 4는 도 3의 플렉서블 기판에 형성된 TFT 소자의 단면도로서, 하나의 TFT 소자는 플렉서블 기판(100) 일부 상부에 형성된 게이트(131)와; 상기 플렉서블 기판(100) 상부에 게이트(131)를 감싸며 형성된 게이트 절연막(132)과; 상기 게이트 절연막(132) 상부에 상호 이격되어 형성된 소스(133) 및 드레인(134)과; 상기 소스(133)와 드레인(134)의 대향되는 측면을 감싸며 게이트 절연막(132) 상부에 형성된 활성층(135)과; 상기 활성층(135)을 감싸며 소스(133)와 드레인(134)의 일부 상부에 형성된 패시베이션(Passivation)층(136)으로 구성된다.4 is a cross-sectional view of a TFT device formed on the flexible substrate of FIG. 3, wherein one TFT device includes a gate 131 formed on a portion of the flexible substrate 100; A gate insulating layer 132 formed on the flexible substrate 100 to surround the gate 131; A source 133 and a drain 134 formed on the gate insulating layer 132 and spaced apart from each other; An active layer 135 formed on an upper side of the gate insulating layer 132 to surround opposite sides of the source 133 and the drain 134; The passivation layer 136 is formed on the active layer 135 and is formed on a portion of the source 133 and the drain 134.
통상, 디스플레이는 이러한 TFT 소자를 복수개로 플렉서블 기판에 형성하여 구성한다.In general, a display is formed by forming a plurality of such TFT elements on a flexible substrate.
이렇게, 도 3과 4와 같이 준비된 본 발명과 종래기술의 플렉서블 기판을 도 5에 도시된 바와 같이, 벤딩장치(200)에서 휘어지게 하고, 표 1과 같이 양자의 인장 스트레스(Tensile stress)(도 5와 같이 휘어짐이 상부로 되는 경우)와 압축 스트레스(Compressive stress)(휘어짐이 하부로 되는 경우)를 측정하였다.Thus, the flexible substrate of the present invention and the prior art prepared as shown in Figs. 3 and 4 are bent in the bending device 200, as shown in Figure 5, both tensile stress (Tensile stress) as shown in Table 1 (Fig. As shown in Fig. 5, the case where the bending becomes upper) and the compressive stress (when the bending becomes lower) were measured.
이 때, 플렉서블 기판의 길이는 40㎜이고, 제 1 인장 스트레스는 벤딩장치(200)에서 플렉서블 기판을 휘었을 때의 길이가 20㎜이고, 제 2 인장 스트레스와 압축 스트레스는 15㎜이다.At this time, the length of the flexible substrate is 40 mm, the first tensile stress is 20 mm when the flexible substrate is bent in the bending device 200, and the second tensile stress and the compressive stress are 15 mm.
도 6은 본 발명과 종래기술에 따른 플렉서블 기판을 각각 휘었을 때, 측정된 스트레스 분포도로서, 본 발명은 플렉서블 기판 상부에 상호 이격된 복수개의 ITO막들을 형성하고, ITO막들을 감싸며 플렉서블 기판 상부에 유기 보호막을 형성한 것이고, 종래 기술은 플렉서블 기판 상부에 상호 이격된 복수개의 ITO막들만 형성한 것이다.6 is a stress distribution measured when each flexible substrate according to the present invention and the prior art is bent, the present invention forms a plurality of ITO films spaced apart from each other on top of the flexible substrate, wraps the ITO films on the flexible substrate An organic protective film is formed, and the prior art is formed of only a plurality of ITO films spaced apart from each other on the flexible substrate.
상기 ITO막은 디스플레이의 화소에 대부분 형성되므로, 도 6은 디스플레이를 휘었을 때 ITO막에 인가되는 스트레스를 알아보기 위한 그래프이다.Since the ITO film is mostly formed on the pixels of the display, FIG. 6 is a graph for determining the stress applied to the ITO film when the display is bent.
이 그래프에서 'A와 B'는 본 발명에 따른 플렉서블 기판이 휘어짐(곡률(R, Radius of curvurture))에 따라 플렉서블 기판의 ITO막에 인가된 스트레스 분포도이고, 'A'는 유기 보호막인 폴리이미드의 영률(Young's Modulus)은 5GPa이고, 'B'는 유기 보호막인 폴리이미드의 영률은 16GPa이다.In this graph, 'A' and 'B' are stress distributions applied to the ITO film of the flexible substrate according to the bending (curvature (R) of the flexible substrate) according to the present invention, and 'A' is the polyimide which is an organic protective film. The Young's Modulus of 5GPa, 'B' is the organic protective film of the polyimide, the Young's modulus is 16GPa.
그리고, 'C'는 종래 기술에 따른 플렉서블 기판이 곡률에 따라 플렉서블 기판의 ITO막에 인가된 스트레스 분포도이다.'C' is a stress distribution diagram in which the flexible substrate according to the prior art is applied to the ITO film of the flexible substrate according to the curvature.
또한, 'D'는 비교예로, ITO막들을 감싸며 플렉서블 기판 상부에 무기 보호막을 형성한 것이고, 무기 보호막인 SiO2막의 영률은 120GPa이다.In addition, 'D' is a comparative example, in which an inorganic protective film is formed on the flexible substrate while surrounding the ITO films, and the Young's modulus of the SiO 2 film, which is the inorganic protective film, is 120 GPa.
여기서, 'A,B,C,D'는 플렉서블 기판에 형성된 복수개의 ITO막들 중, 중간에 형성된 ITO막의 스트레스이다.Here, 'A, B, C, D' is the stress of the ITO film formed in the middle of the plurality of ITO films formed on the flexible substrate.
도 6의 그래프에서 곡률이 작아지는 것은 휘어짐이 커지는 것이고, 'A,B,C,D'의 그래프와 같이, ITO막에 인가되는 스트레스는 커진다.The smaller the curvature in the graph of FIG. 6, the larger the curvature, and the stress applied to the ITO film becomes larger, as in the graphs of 'A, B, C, and D'.
그러므로, 측정된 그래프에서는 곡률에 따른 스트레스가 D＞C＞B＞A 이므로, 본 발명과 같이, 유기 보호막을 사용한 플렉서블 기판은 종래의 플렉서블 기판보다 전자소자에 인가하는 스트레스를 줄일 수 있게 되고, 영률이 120GPa인 무기 보호막을 사용한 경우는 종래 기술보다도 스트레스를 더 받게된다.Therefore, since the stress according to curvature is D> C> B> A in the measured graph, as in the present invention, the flexible substrate using the organic protective film can reduce the stress applied to the electronic device than the conventional flexible substrate, and the Young's modulus When the inorganic protective film of 120 GPa is used, more stress is applied than in the prior art.
따라서, 플렉서블 디스플레이에 적용되는 보호막은 무기 보호막을 사용하는 것이 아니라, 유기 보호막이 바람직하고, 그 유기 보호막의 영률은 1GPa ~ 20GPa 정도가 바람직하다.Therefore, the protective film applied to the flexible display does not use an inorganic protective film, but an organic protective film is preferable, and the Young's modulus of the organic protective film is preferably about 1 GPa to about 20 GPa.
여기서, 유기 보호막의 영률이 20GPa보다 크게 되면, 종래의 디스플레이와 같이, 전자소자에는 스트레스가 동일하게 인가되거나 더 크게 인가된다.Here, when the Young's modulus of the organic protective film is greater than 20 GPa, the stress is applied to the electronic device in the same way or larger than the conventional display.
도 7은 본 발명과 종래기술에 따른 플렉서블 기판을 각각 휘었을 때, 기판 중간영역의 ITO막에 생성된 크랙수를 측정한 그래프로서, 'E,F,G'는 플렉서블 기판에 상호 이격된 35개의 ITO막들을 형성하고, 10번째의 ITO막에 생성된 크랙수를 표시한 것이다.7 is a graph measuring the number of cracks generated in the ITO film in the intermediate region of the substrate when the flexible substrate according to the present invention and the prior art are each bent, wherein 'E, F, and G' are 35 spaced apart from each other on the flexible substrate. ITO films are formed, and the number of cracks generated in the 10th ITO film is displayed.
먼저, 'E'는 본 발명의 디스플레이를 나타내어 폴리이미드/ITO/플렉서블 기판으로 구성하고, 'F'는 종래 기술의 디스플레이를 나타내어 ITO/플렉서블 기판으로 구성하고, 'G'는 비교예로 실리콘산화막/ITO/플렉서블 기판으로 구성하였다.First, 'E' represents a display of the present invention and constitutes a polyimide / ITO / flexible substrate, 'F' represents a prior art display and constitutes an ITO / flexible substrate, and 'G' represents a silicon oxide film as a comparative example. It consisted of a / ITO / flexible substrate.
즉, 도 7의 그래프와 같이, 본 발명인 'E'에서는 크랙이 발생되지 않았고, 종래 기술인 'F'에서는 2개이며, 비교예로 'G'에서는 14개이다.That is, as shown in the graph of FIG. 7, no crack was generated in the present invention 'E', two in the prior art 'F', and 14 in the 'G' as a comparative example.
그러므로, 본 발명의 유기 보호막을 갖는 플렉서블 디스플레이는 휘었을 때, 종래 기술에 비하여 크랙 생성이 줄어듬을 알 수 있다.Therefore, it can be seen that when the flexible display having the organic protective film of the present invention is bent, crack generation is reduced as compared with the prior art.
따라서, 본 발명에 따라 유기 보호막을 적용하면, 플렉서블 기판을 기반으로 제작된 전자장치가 휘어질 때, 인가되는 충격으로부터 구동 소자 및 화소 등과 같은 전자소자를 보호할 수 있어 크랙 발생을 저하시키게 됨으로, 기계적 특성을 우수할 수 있게 된다.Therefore, when the organic protective film is applied according to the present invention, when the electronic device manufactured based on the flexible substrate is bent, the electronic device such as the driving device and the pixel may be protected from the applied shock, thereby reducing the occurrence of cracks. Mechanical properties can be excellent.
이와 같이, 본 발명은 플렉서블 기판을 이용하여 TFT(Thin Film Transistor) 또는 유기전계 발광소자 등으로 구현된 디스플레이 및 다른 전자장치에 유기 보호막을 형성하는 것이다.As described above, the present invention is to form an organic passivation layer on a display and other electronic devices implemented by a thin film transistor (TFT) or an organic light emitting device using a flexible substrate.
이상 상술한 바와 같이, 본 발명은 전자 소자를 감싸며 플렉서블 기판 상부에 유기 보호막을 형성하여, 플렉서블 기판이 휘어질 때, 인가되는 충격으로부터 전자소자를 보호할 수 있으므로, 크랙 발생을 저하시켜, 기계적 특성을 우수할 수 있는 효과가 있다. As described above, the present invention forms an organic protective film on the flexible substrate and surrounds the electronic device, thereby protecting the electronic device from an applied shock when the flexible substrate is bent, thereby reducing the occurrence of cracks and mechanical properties. There is an effect that can be excellent.
본 발명은 구체적인 예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the invention has been described in detail only with respect to specific examples, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the spirit of the invention, and such modifications and variations belong to the appended claims.
도 1은 종래 기술에 따른 플렉서블 기판을 이용한 디스플레이의 개략적인 단면도1 is a schematic cross-sectional view of a display using a flexible substrate according to the prior art
도 2는 본 발명에 따른 플렉서블 기판을 이용한 디스플레이의 개략적인 단면도2 is a schematic cross-sectional view of a display using a flexible substrate according to the present invention.
도 3은 본 발명과 종래 기술의 휘어짐 특성을 측정하기 위하여, 복수의 TFT(Thin Film Transistor) 소자들이 형성된 플렉서블 기판의 평면도3 is a plan view of a flexible substrate on which a plurality of TFT (Thin Film Transistor) elements are formed to measure the bending characteristics of the present invention and the prior art.
도 4는 도 3의 플렉서블 기판에 형성된 TFT 소자의 단면도4 is a cross-sectional view of a TFT device formed on the flexible substrate of FIG. 3.
도 5는 도 3과 같은 플렉서블 기판을 벤딩(Bending) 장치에서 휘는 상태를 도시한 사시도FIG. 5 is a perspective view illustrating a state in which the flexible substrate as illustrated in FIG. 3 is bent in a bending device.
도 6은 본 발명과 종래기술에 따른 플렉서블 기판을 각각 휘었을 때, 측정된 스트레스 분포도Figure 6 is a stress distribution measured when the flexible substrate according to the present invention and the prior art, respectively
도 7은 본 발명과 종래기술에 따른 플렉서블 기판을 각각 휘었을 때, 기판 중간영역의 ITO막에 생성된 크랙수를 측정한 그래프Figure 7 is a graph measuring the number of cracks generated in the ITO film in the intermediate region of the substrate when the flexible substrate according to the present invention and the prior art, respectively
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
100 : 플렉서블 기판 110a,110b,110c : 전자소자100: flexible substrate 110a, 110b, 110c: electronic device
120 : 유기 보호막 131 : 게이트120: organic protective film 131: gate
132 : 게이트 절연막 133 : 소스132: gate insulating film 133: source
134 : 드레인 135 : 활성층134: drain 135: active layer
136 : 패시베이션(Passivation)층 200 : 벤딩(Bending) 장치136: passivation layer 200: bending device
Claims (7)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020030092166A KR20050060530A (en) | 2003-12-16 | 2003-12-16 | Electronic apparatus having flexible substrate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020030092166A KR20050060530A (en) | 2003-12-16 | 2003-12-16 | Electronic apparatus having flexible substrate |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20050060530A true KR20050060530A (en) | 2005-06-22 |
Family
ID=37253224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020030092166A KR20050060530A (en) | 2003-12-16 | 2003-12-16 | Electronic apparatus having flexible substrate |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20050060530A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007078130A1 (en) * | 2005-12-30 | 2007-07-12 | Lg Chem. Ltd. | Flexible display apparatus and method for producing the same |
| KR20130092706A (en) * | 2012-02-13 | 2013-08-21 | 한국과학기술원 | Manufacturing method for flexible device and flexible device manufactured by the same |
-
2003
- 2003-12-16 KR KR1020030092166A patent/KR20050060530A/en not_active Application Discontinuation
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