KR20050058907A - 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법 - Google Patents

횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 횡전계 방식 액정표시장치에 관한 것으로 특히, 액정패널 외곽에서 빛샘 현상이 발생하지 않는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판의 구조 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판은, 액정패널의 외곽에서 발생하는 빛샘현상을 방지하기 위해, 빛샘이 발생하는 부분에 대응하는 어레이기판에 더미 금속층을 더욱 구성하는 것을 특징으로 한다.
상기 더미 금속층은 다수 공통배선을 하나로 연결하는 금속배선과 동일층 동일물질로 형성하기 때문에 추가적인 마스크 공정없이 제작된다.
따라서, 액정패널 외곽의 빛샘현상을 방지하여 고화질의 횡전계 방식 액정표시장치를 제작할 수 있다.

Description

횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법{A substrate for In-Plane switching mode LCD and method for fabricating of the same}
본 발명은 액정표시장치(Liquid Crystal Display Device)에 관한 것으로 특히, 액정패널의 외곽에서 빛샘이 발생하지 않도록 구성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시장치의 구동원리는 액정의 광학적 이방성과 분극성질을 이용한다. 상기 액정은 구조가 가늘고 길기 때문에 분자의 배열에 방향성을 가지고 있으며, 인위적으로 액정에 전기장을 인가하여 분자배열의 방향을 제어할 수 있다.
따라서, 상기 액정의 분자배열 방향을 임의로 조절하면, 액정의 분자배열이 변하게 되고, 광학적 이방성에 의해 상기 액정의 분자배열 방향으로 빛이 굴절하여 화상정보를 표현할 수 있다.
현재에는 박막트랜지스터와 상기 박막트랜지스터에 연결된 화소 전극이 행렬방식으로 배열된 능동행렬 액정표시장치(AM-LCD : Active Matrix LCD 이하, 액정표시장치로 약칭함)가 해상도 및 동영상 구현능력이 우수하여 가장 주목받고 있다.
상기 액정표시장치는 공통 전극이 형성된 컬러필터 기판(상부기판)과 화소 전극이 형성된 어레이기판(하부기판)과, 상부 및 하부기판 사이에 충진된 액정으로 이루어지는데, 이러한 액정표시장치에서는 공통 전극과 화소 전극이 상-하로 걸리는 전기장에 의해 액정을 구동하는 방식으로, 투과율과 개구율 등의 특성이 우수하다.
그러나, 상-하로 걸리는 전기장에 의한 액정구동은 시야각 특성이 우수하지 못한 단점을 가지고 있다. 따라서, 상기의 단점을 극복하기 위해 새로운 기술이 제안되고 있다. 하기 기술될 액정표시장치는 횡전계에 의한 액정 구동방법으로 시야각 특성이 우수한 장점을 갖고 있다.
도 1은 일반적인 횡전계 방식 액정표시장치의 단면을 도시한 확대 단면도이다.
도시한 바와 같이, 횡전계 방식 액정표시장치(B)는 컬러필터기판(B1)과 어레이기판(B2)이 이격되어 구성되며, 컬러필터기판 및 어레이기판 (B1,B2)사이에는 액정층(90)이 개재되어 있다.
상기 어레이기판(B2)은 투명한 절연 기판(50)에 정의된 다수의 화소(P1,P2)마다 박막트랜지스터(T)와 공통 전극(58)과 화소 전극(72)이 구성된다.
상기 박막트랜지스터(T)는 게이트 전극(52)과, 게이트 전극(52) 상부에 절연막(60)을 사이에 두고 구성된 반도체층(62)과, 반도체층(62)의 상부에 서로 이격하여 구성된 소스 및 드레인 전극(64,66)을 포함한다.
전술한 구성에서, 상기 공통 전극(58)과 화소 전극(72)은 동일 기판 상에 서로 평행하게 이격하여 구성된다.
그런데 일반적으로, 상기 공통 전극(58)은 상기 게이트 전극(52)과 동일층 동일물질로 구성되고, 상기 화소 전극(72)은 상기 소스 및 드레인 전극(64,66)과 동일층 동일물질로 구성되나, 개구율을 높이기 위해 도시한 바와 같이, 상기 화소 전극(72)은 투명한 전극으로 형성할 수 있다.
도시하지는 않았지만, 상기 화소(P1,P2)의 일 측을 따라 연장된 게이트 배선(미도시)과, 이와는 수직한 방향으로 연장된 데이터 배선(미도시)이 구성되고, 상기 공통 전극(58)에 전압을 인가하는 공통 배선(미도시)이 구성된다.
상기 컬러필터 기판(B1)은 투명한 절연 기판(30) 상에 상기 게이트 배선(미도시)과 데이터 배선(미도시)과 박막트랜지스터(T)에 대응하는 부분에 블랙매트릭스(32)가 구성되고, 상기 화소(P1,P2)에 대응하여 컬러필터(34a,34b)가 구성된다.
상기 액정층(90)은 상기 공통 전극(58)과 화소 전극(72)의 수평전계(95)에 의해 동작된다.
전술한 바와 같은 구성에서, 횡전계 방식 액정패널은 블랙매트릭스(32)를 형성할 때 크롬(Cr)과 같은 불투명한 금속물질을 증착하지 않고, 블랙수지(black regin)를 스핀코팅(spin coating)방식으로 형성한다.
금속을 사용하게 되면, 어레이기판의 공통 전극(58)과 화소 전극(72)사이에서 발생하는 수평전계(95)에 영향을 미칠수 있으므로 절연물질인 블랙 수지계열의 물질을 사용하는 것이다.
그런데, 스핀 코팅방식의 단점은 코팅막의 두께가 기판의 중심과 외곽이 고르지 못하다는 것이다.
이에 대해, 도 2를 참조하여 설명한다.
도 2는 종래에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판의 일부를 개략적으로 도시한 확대 평면도이다.
도시한 바와 같이, 횡전계 방식 액정표시장치는 표시영역(DA)과 비 표시영역(NDA1,NDA2)으로 구분할 수 있으며, 상기 표시영역(DA)을 중심으로 일측 및 이와 평행하지 않은 타측의 비표시 영역(ND2)은 신호를 직접 인가 받을 수 있는 패드부가 구성되고, 나머지 영역은 메탈배선(ML)을 통해 연결되어 구성된다.
어레이기판의 구성을 상세히 설명하면, 어레이기판(50)에는 일 방향으로 연장되고 일 끝단에 게이트 패드 전극(GPE)을 포함하는 게이트 배선(54)과, 게이트 배선(54)과 수직하게 교차하여 화소 영역(P)을 정의하는 데이터 배선(68)이 구성된다.
상기 게이트 배선과 소정간격 평행하게 이격된 위치에 공통 배선(56)이 구성된다.
상기 게이트 패드 전극(GPE)이 형성되지 않은 게이트 배선(54)과 공통 배선(56)의 일 끝단은 금속배선(ML)으로 동시에 연결되며 이때, 상기 금속 배선(ML)과 게이트 배선(54)과의 사이에는 정전기 회로(90)가 구성된다.
상기 게이트 배선(54)과 데이터 배선(68)의 교차지점에는 게이트 전극(52)과 액티브층(62)과 소스 전극(64)과 드레인 전극(66)으로 구성된 박막트랜지스터(T)가 위치한다.
상기 화소 영역(P)에는 공통 전극(58)과 화소 전극(72)이 구성되며, 상기 공통 전극(58)은 공통 배선(56)과 연결되고, 상기 화소 전극(72)은 상기 드레인 전극(66)과 연결되어 구성된다.
전술한 구성에서, 상기 게이트 패드 전극(GPE)이 형성된 부분은 신호가 직접인가 되는 부분이며 보통은 별도로 제작한 구동 회로칩을 상기 게이트 패드 전극(GPE)에 부착하게 된다.
이때, 상기 구동회로 칩(미도시)은 보통 256개의 배선과 연결되기 때문에, 배선간의 피치를 작게하여 구성해야만 상기 구동회로 칩(미도시)과 다수의 배선이 연결될 수 있다.
따라서, 상기 게이트 패드 전극(GPE)이 구성되는 비표시 영역(NDA2)은 배선의 밀집도가 크기 때문에 하부의 백라이트로부터 입사한 빛의 대부분을 사실상 차폐하게 된다.
그러나, 패드 전극이 구성되지 않은 부분의 비표시 영역(ND1)은 배선간의 피치가 상당히 넓기 때문에 배선 사이로 빛이 투과된다.
따라서, 전술한 빛샘을 방지하기 위해 상기 비표시 영역(ND1,ND2)에 대응하는 상부 기판(30)의 일면에 블랙매트릭스(32)를 형성한다.
도시하지는 않았지만 상기 블랙매트릭스(32)는 도 1에 설명한 바와 같이, 박막트랜지스터(T) 및 게이트 배선(54)과 데이터 배선(68)에 대응하는 부분에도 형성한다.
그런데, 상기 블랙매트릭스(32)를 형성하기 위해서는, 블랙수지(black resin)를 스핀코팅방식으로 기판(50)에 형성하고 이를 패턴하는 공정을 거치게 되는데, 스핀 코팅방식의 특성상 가운데 부분과 주변부를 비교하였을 경우 도포된 물질의 두께가 고르지 못하다.
즉, 중앙에 비해 기판(50)의 주변은 아주 얇게 도포 되며, 도포된 막의 두께가 1.1㎛이하인 경우는 빛이 통과하게 된다. 따라서, 상기 패드 전극이 형성되지 않은 배선의 일 끝단에 해당하는 비표시 영역(NDA1)에서 빛샘이 발생하게 된다.
이러한 문제는 상기 게이트 배선(54)의 경우뿐 아니라, 데이터 배선(68)의 경우에도 동일하게 발생한다. 따라서 액정패널의 일측과 이와 평행하지 않은 타측에서 빛샘이 발생하는 샘이다.
전술한 바와 같은 액정패널의 외곽에서 발생하는 빛샘현상을 방지하기 위해서는, 상기 블랙수지를 여러번 코팅하여 기판(50)의 비표시 영역(NDA1,NDA2)에 도포되는 블랙수지의 두께를 두껍게 해야 하기 때문에 공정시간 및 공정비용의 손실이 발생하는 문제가 있다.
본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위한 목적으로 제안된 것으로, 액정패널의 비표시 영역에 대응하여 구성된 배선들의 사이영역에, 더미 금속층을 더욱 구성하는 것을 특징으로 한다.
상기 더미 금속층은 비표시 영역에 구성한 금속배선과 동일한 포토 공정으로 형성하기 때문에 추가적인 공정이 필요 없으며 효과적으로 빛을 방지하는 역할을 하게 된다.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판은 기판 상에 일 방향으로 구성되고 일 끝단에 게이트 패드 전극을 포함하는 게이트 배선과; 상기 게이트 배선과는 평행하게 이격하여 구성된 공통 배선과; 상기 게이트 배선과 수직하게 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 배선과; 상기 게이트 패드 전극이 구성되지 않은 게이트 배선의 일 끝단에 위치하고, 다수 배선의 이격영역 사이에 구성된 더미 금속층과; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 구성된 스위칭 소자와; 상기 화소 영역에 평행하게 이격된 공통 전극과 다수의 화소 전극을 포함한다.
상기 게이트 패드 전극이 구성되지 않은 게이트 배선의 일 끝단에 상기 공통 배선을 하나로 연결하여 구성된 금속배선을 포함하고, 상기 게이트 배선은 상기 금속배선과 정전기 회로를 통해 연결된다.
상기 더미 금속층은 상기 금속배선에서 다수 배선의 사이 영역으로 연장 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 데이터 배선의 일 끝단에 상기 데이터 패드 전극이 더욱 구성되고, 상기 데이터 패드 전극이 구성되지 않은 타 끝단에 대응하는 데이터 배선 사이에 상기 더미 금속층이 더욱 구성된다.
상기 더미 금속층과 게이트 배선과 공통 배선은 동일층 동일물질로 구성된다.
상기 공통 전극은 공통 배선과 연결되고, 상기 화소 전극은 상기 스위칭 소자와 연결된다.
본 발명의 특징에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판의 제조방법은 기판 상에 일 방향으로 구성되고 일 끝단에 게이트 패드 전극을 포함하는 게이트 배선과, 상기 게이트 배선과는 평행하게 이격하여 구성된 공통 배선과, 상기 게이트 패드 전극이 구성되지 않은 게이트 배선의 일 끝단에 위치하고, 다수 배선의 이격영역 사이에 구성된 더미 금속층을 형성하는 단계와; 상기 게이트 배선과 수직하게 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 배선을 형성하는 단계와; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 스위칭 소자를 형성하는 단계와; 상기 화소 영역에 평행하게 이격되어 구성된 공통 전극과, 화소 전극을 형성하는 단계를 포함한다.
상기 데이터 배선의 일 끝단에 상기 데이터 패드 전극이 더욱 형성되고, 상기 데이터 패드 전극이 형성되지 않은 타 끝단에 대응하는 데이터 배선 사이에 상기 더미 금속층이 더욱 형성된다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.
-- 실시예 --
본 발명은 액정패널의 비표시 영역에 빛샘 방지를 위한 더미 금속층을 더욱 구성하는 것을 특징으로 한다.
도 3은 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정표시장치의 일부를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도시한 바와 같이, 횡전계 방식 액정표시장치는 표시영역(DA)과 비 표시영역(NDA1,NDA2)으로 구분할 수 있으며, 상기 표시영역(DA)을 중심으로 일측 및 이와 평행하지 않은 타측의 비표시 영역(ND2)은 신호를 직접 인가 받을 수 있는 패드부가 구성되고, 나머지 영역은 메탈배선(ML)을 통해 연결되어 구성된다.
어레이기판의 구성을 상세히 설명하면, 어레이기판(100)에는 일 방향으로 연장되고 일 끝단에 게이트 패드 전극(GPE)을 포함하는 게이트 배선(104)과, 게이트 배선(104)과 수직하게 교차하여 화소 영역(P)을 정의하고 일 끝단에 데이터 패드 전극(미도시)을 포함하는 데이터 배선(120)을 구성한다.
상기 게이트 배선(104)과 소정간격 평행하게 이격된 위치에 공통 배선(106)을 구성한다.
상기 게이트 패드 전극(GPE)이 형성되지 않은 게이트 배선(104)과 공통 배선(106)의 일 끝단은 금속배선(ML)으로 동시에 형성하며 이때, 상기 금속 배선(ML)과 게이트 배선(104)은 정전기 회로(200)를 사이에 두고 구성한다.
이때, 특징적인 것은 배선(104,106) 사이의 이격영역에 상기 금속배선(ML)과 동일층 동일물질로 더미 금속층(DML)을 더욱 구성하는 것이다.
상기 더미 금속층(DML)은 바람직하게 상기 금속배선(ML)과 연결되도록 구성하여, 상기 더미 금속층(ML)으로부터 발생할 수 있는 국부적인 정전기발생을 방지하도록 한다.
상기 게이트 배선(104)과 데이터 배선(120)의 교차지점에는 게이트 전극(102)과 액티브층(112)과 소스 전극(116)과 드레인 전극(118)으로 구성된 박막트랜지스터(T)가 위치한다.
상기 화소 영역(P)에는 공통 전극(108)과 화소 전극(126a,126b)이 구성되며, 상기 공통 전극(108)은 공통 배선(106)과 연결되고, 상기 화소 전극(126a,126b)은 상기 드레인 전극(118)과 연결되어 구성된다.
전술한 바와 같이 구성된 어레이기판(100)은 컬러필터 기판(300)과 실런트(미도시)를 통해 합착되며, 상기 컬러필터(미도시)는 상기 화소 영역(P)에 대응하여 적색과 녹색과 청색의 컬러필터가 위치하며, 상기 화소 영역(P)의 박막트랜지스터(P)및 상기 비표시 영역(DN1,DN2)에 대응하여 블랙매트릭스(302)를 구성한다.
전술한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정표시장치는 게이트 패드전극(GPE)이 구성되지 않은 게이트 배선의 일 끝단에 대응하는 비표시 영역(NDA1)에 구성된 배선(104,106)의 사이 영역에 상기 공통 배선(106)을 하나로 연결하는 금속배선(ML)과 동일층 동일물질로 더미 금속층(DML)을 더욱 구성함으로써 하부의 백라이트(미도시)로부터 출사한 빛을 차폐하도록 하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 상기 컬러필터 기판(300)에 블랙매트릭스(302)를 형성하는 공정 중, 기판의 비표시 영역(ND1,ND2)에 코팅되는 블랙매트릭스(302)의 두께를 두껍게 하기 위해 여러번의 코팅공정을 진행하지 않아도 좋다.
이미, 어레이기판(100)에 구성한 상기 더미 금속층(DML)에 의해 대부분의 빛이 차단되기 때문에 비표시 영역(ND1)에 대응하여 코팅된 블랙매트릭스(302)의 두께를 인위적으로 두껍게 형성할 필요가 없다.
이하, 도 4와 도 5와 도 6을 참조하여, 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판의 제조방법을 설명한다.
도 4a 내지 도 4e와 도 5a 내지 도 5e와 도 6a 내지 도 6e는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ,Ⅴ-Ⅴ,Ⅵ-Ⅵ을 따라 절단하여, 본 발명의 공정순서에 따라 도시한 공정 단면도이다.
도 4a와 도 5a와 도 6a에 도시한 바와 같이, 기판(100)상에 스위칭 영역(TA)과 화소영역(PA)을 포함하는 표시 영역과, 표시영역(DA)의 주변을 비표시 영역(ND1)으로 정의한다.
다음으로, 알루미늄(Al)과 이를 포함한 알루미늄 계열의 금속을 증착하고 패턴하여, 상기 화소 영역(PA)의 일측에 게이트 배선(104)과 이것에 연결되고 상기 스위칭 영역(TA)에 위치하는 게이트 전극(102)을 형성한다.
동시에, 상기 게이트 배선(104)과 평행하게 이격하여 공통 배선(106)을 구성하고, 공통 배선(106)으로부터 상기 화소 영역(PA)으로 수직하게 연장된 다수의 공통 전극(108)을 형성한다.
상기 게이트 배선(104)의 일 끝단에는 게이트 패드 전극(도 3의 GPE)이 구성되고, 상기 게이트 패드 전극(GPE)이 구성되지 않은 게이트 배선(104)의 타 끝단은 상기 공통 배선(106)을 하나로 연결하는 금속배선(도 3의 ML)을 구성한다.
이때, 상기 게이트 배선(104)은 상기 금속배선(도 3의 ML)과 정전기 회로(도 3의 200)를 통해 하나로 연결 형성된다. 다시 말하면 상기 금속배선은 상기 정전기 회로에 의해 상기 게이트 배선(104)과는 전기적으로 격리된 샘이 된다.
전술한 공정에서 특징적인 것은, 상기 공통 배선(106)을 하나로 연결하는 금속배선(ML)으로부터 배선(104,106)사이의 이격영역으로 연장한 더미금속층(DML)을 더욱 형성하는 것이다.
다음으로, 상기 게이트 배선(104)과, 공통 배선(106)과, 더미 금속층(DML)이 형성된 기판(100)의 전면에 질화 실리콘(SiNX)과 산화 실리콘(SiO2)을 포함하는 무기절연물질 그룹 중 선택된 하나를 증착하여 게이트 절연막(110)을 형성한다.
도 4b와 도 5b와 도 6b에 도시한 바와 같이, 상기 게이트 절연막(110)의 상부에 비정질 실리콘(a-Si:H)과 불순물이 포함된 비정질 실리콘(n+a-Si:H)을 적층한 후 패턴하여, 상기 게이트 전극(102)에 대응하는 게이트 절연막(110)의 상부에 액티브층(active layer, 112)과 오믹 콘택층(ohmic contact layer, 114)을 형성한다.
도 4c와 도 5c와 6c에 도시한 바와 같이, 상기 액티브층(112)과 오믹 콘택층(114)이 형성된 기판(100)의 전면에 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 티타늄(Ti), 구리(Cu) 등을 포함하는 도전성 금속 그룹 중 선택된 금속을 증착하고 패턴하여, 상기 오믹 콘택층(112)의 상부에 서로 이격하여 구성되도록 소스 전극(116)과 드레인 전극(118)과, 상기 소스 전극(114)과 연결되고 상기 게이트 배선(104)과는 수직방향으로 교차하여 화소 영역(PA)을 정의하는 데이터 배선(120)을 형성한다.
도 4d와 도 5d와 도 6d에 도시한 바와 같이, 상기 소스 전극 및 드레인 전극(116,118)과 데이터 배선(120)이 형성된 기판(100)의 전면에 벤조사이클로부텐(BCB)과 아크릴(acryl)계 수지(resin)와 같이 유전율이 작은 유기절연막을 도포하여 보호막(122)을 형성한 후 이를 패턴하여, 상기 드레인 전극(118)을 노출하는 드레인 콘택홀(124)을 형성한다.
도 4e와 도 5e와 6e에 도시한 바와 같이, 상기 보호막(126)의 상부에 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 포함하는 투명한 도전성 금속그룹 중 선택된 하나를 증착하고 패턴하여, 상기 드레인 전극(118)과 접촉하는 화소 전극(126a,126b)을 형성한다.
상기 화소 전극(도 3의 126a,126b)은 상기 드레인 전극(118)과 접촉하여 화소 영역(PA)으로 연장된 수평부(도 3의 126a)와, 상기 수평부(도 3의 126a)에서 상기 다수의 공통 전극(108)사이에 이와는 평행하게 이격하여 위치하는 다수의 수직부(126b)를 포함한다.
전술한 바와 같은 공정을 통해 본 발명에 따른 더미 금속층을 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판을 제작할 수 있다.
전술한 공정에서, 상기 더미 금속층은 상기 데이터 배선의 일 끝단에 대응하는 비표시 영역(데이터 패드 전극이 형성되지 않은 영역)에도 형성됨은 당연하다.
따라서, 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판은 게이트 패드 전극 및 데이터 패드 전극이 형성되지 않은 게이트 배선 및 데이터 배선의 일끝단에 대응하는 비표시 영역에 추가적인 마스크 공정없이 더미 금속층을 더욱 구성함으로써, 게이트 패드 전극 및 데이터 패드 전극이 형성되지 않은 액정패널의 일측과 이와 평행하지 않은 타측의 비표시 영역에서 발생하였던 빛샘현상을 방지할 수 있어 고화질을 구현하는 횡전계 방식 액정표시장치를 제작할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 일반적인 횡전계 방식 액정표시장치의 일부를 개략적으로 도시한 단면도이고,
도 2는 종래에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판을 개략적으로 도시한 평면도이고,
도 3은 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정표시장치를 개략적으로 도시한 평면도이고,
도 4a 내지 도 4e와 도 5a 내지 도 5e와 도 6a 내지 도 6e는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ,Ⅴ-Ⅴ,Ⅵ-Ⅵ을 따라 절단하여, 본 발명의 공정순서에 따라 도시한 공정 단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 간단한 설명>
100 : 어레이 기판 102 : 게이트 전극
104 : 게이트 배선 106 : 공통 배선
108 : 공통 전극 112 : 액티브층
114 : 소스 전극 116 : 드레인 전극
120 : 데이터 배선 126a.126b : 화소 전극
300 : 컬러필터 기판 302 : 블랙 매트릭스

Claims (16)

  1. 기판 상에 일 방향으로 구성되고 일 끝단에 게이트 패드 전극을 포함하는 게이트 배선과;
    상기 게이트 배선과는 평행하게 이격하여 구성된 공통 배선과;
    상기 게이트 배선과 수직하게 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 배선과;
    상기 게이트 패드 전극이 구성되지 않은 게이트 배선의 일 끝단에 위치하고, 다수 배선의 이격영역 사이에 구성된 더미 금속층과;
    상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 구성된 스위칭 소자와;
    상기 화소 영역에 평행하게 이격된 공통 전극과 다수의 화소 전극을 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 게이트 패드 전극이 구성되지 않은 게이트 배선의 일 끝단에 상기 공통 배선을 하나로 연결하여 구성된 금속배선을 포함하는 액정표시장치용 어레이기판.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 게이트 배선은 상기 금속배선과 정전기 회로를 통해 연결된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 더미 금속층은 상기 금속배선에서 다수 배선의 사이 영역으로 연장 구성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 데이터 배선의 일 끝단에 상기 데이터 패드 전극이 더욱 구성되고, 상기 데이터 패드 전극이 구성되지 않은 타 끝단에 대응하는 데이터 배선 사이에 상기 더미 금속층이 더욱 구성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 스위칭 소자는 게이트 전극과, 게이트 전극 상에 절연막을 사이에 두고 위치한 액티브층과, 액티브층 상에 소정간격 이격된 소스 전극과 드레인 전극을 포함하는 박막트랜지스터인 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 더미 금속층과 게이트 배선과 공통 배선은 동일층 동일물질로 구성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 공통 전극은 공통 배선과 연결되고, 상기 화소 전극은 상기 스위칭 소자와 연결된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.
  9. 기판 상에 일 방향으로 구성되고 일 끝단에 게이트 패드 전극을 포함하는 게이트 배선과, 상기 게이트 배선과는 평행하게 이격하여 구성된 공통 배선과, 상기 게이트 패드 전극이 구성되지 않은 게이트 배선의 일 끝단에 위치하고, 다수 배선의 이격영역 사이에 구성된 더미 금속층을 형성하는 단계와;
    상기 게이트 배선과 수직하게 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 배선을 형성하는 단계와;
    상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 스위칭 소자를 형성하는 단계와;
    상기 화소 영역에 평행하게 이격되어 구성된 공통 전극과, 화소 전극을 형성하는 단계
    를 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 게이트 패드 전극이 형성되지 않은 게이트 배선의 일 끝단에 상기 공통 배선을 하나로 연결하는 금속배선을 형성하는 단계를 포함하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 게이트 배선은 상기 금속배선과 정전기 회로를 통해 연결된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 더미 금속층은 상기 금속배선에서 다수 배선의 사이 영역으로 연장 형성된 것인 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
  13. 제 9 항에 있어서,
    상기 데이터 배선의 일 끝단에 상기 데이터 패드 전극이 더욱 형성되고, 상기 데이터 패드 전극이 형성되지 않은 타 끝단에 대응하는 데이터 배선 사이에 상기 더미 금속층이 더욱 형성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
  14. 제 9 항에 있어서,
    상기 스위칭 소자는 게이트 전극과, 게이트 전극 상에 절연막을 사이에 두고 위치한 액티브층과, 액티브층 상에 소정간격 이격된 소스 전극과 드레인 전극을 포함하는 박막트랜지스터인 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
  15. 제 9 항 내지 제 13 항에 있어서,
    상기 더미 금속층과 게이트 배선과 공통 배선은 동일층 동일물질로 형성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
  16. 제 9 항에 있어서,
    상기 공통 전극은 공통 배선과 연결되고, 상기 화소 전극은 상기 스위칭 소자와 연결된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
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