KR20050048900A - Memory module having the mirror type package of semiconductor memory chips - Google Patents

Memory module having the mirror type package of semiconductor memory chips Download PDF

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KR20050048900A
KR20050048900A KR1020030082643A KR20030082643A KR20050048900A KR 20050048900 A KR20050048900 A KR 20050048900A KR 1020030082643 A KR1020030082643 A KR 1020030082643A KR 20030082643 A KR20030082643 A KR 20030082643A KR 20050048900 A KR20050048900 A KR 20050048900A
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semiconductor memory
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metal redistribution
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memory chip
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정회주
이정배
오름
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삼성전자주식회사
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H05K1/00Printed circuits
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    • H05K1/181Printed circuits structurally associated with non-printed electric components associated with surface mounted components

Abstract

미러형 패키지의 반도체 메모리 칩들을 가지는 메모리 모듈이 개시된다. 메모리 모듈은 제1 반도체 메모리 칩 및 제2 반도체 메모리 칩을 포함한다. 제1 반도체 메모리 칩은 노멀형 금속 재배선 층을 포함하고, 제2 반도체 메모리 칩은 노멀형 금속 재배선 층의 본딩 패드에 대하여 대칭적으로 배열되는 미러형 금속 재배선 층의 본딩 패드를 포함한다. 노멀형 금속 재배선 층의 본딩 패드 및 미러형 금속 재배선 층의 본딩 패드는 메모리 모듈의 채널에 연결된 스터브에 연결된다. 메모리 모듈은, 금속 재배선 층을 이용한 미러형 패키지를 가지므로, 칩 설계의 부담을 감소시키고 스터브의 길이가 최소화됨으로써 채널상의 반사파를 감소시킬 수 있다.A memory module having semiconductor memory chips in a mirrored package is disclosed. The memory module includes a first semiconductor memory chip and a second semiconductor memory chip. The first semiconductor memory chip includes a normal metal redistribution layer and the second semiconductor memory chip includes a bonding pad of a mirrored metal redistribution layer symmetrically arranged with respect to the bonding pad of the normal metal redistribution layer. . The bonding pads of the normal metal redistribution layer and the bonding pads of the mirrored metal redistribution layer are connected to a stub connected to the channel of the memory module. Since the memory module has a mirrored package using a metal redistribution layer, the reflected wave on the channel can be reduced by reducing the burden of chip design and minimizing the length of the stub.

Description

미러형 패키지의 반도체 메모리 칩들을 가지는 메모리 모듈{Memory module having the mirror type package of semiconductor memory chips}Memory module having the mirror type package of semiconductor memory chips

본 발명은 메모리 모듈에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 금속 재배선 층(metal rerouting layer)을 이용한 미러형 패키지의 반도체 메모리 칩들을 가지는 메모리 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a memory module, and more particularly, to a memory module having semiconductor memory chips in a mirror type package using a metal rerouting layer.

일반적으로, 메모리의 용량을 증가시키기 위해, 복수개의 메모리들은 모듈(module)화되어 하나의 채널(channel)(또는 전송선(transmission line))에 연결된다. 상기 메모리 모듈(memory module)은 하나의 기능을 가진 반도체 소자들의 집합으로서, 인쇄 회로 기판(PCB: Printed Circuit Board) 상에 상호 연결된 복수개의 반도체 메모리 칩들이 실장(mounting)됨으로써 생성될 수 있다.Generally, to increase the capacity of a memory, a plurality of memories are modularized and connected to one channel (or transmission line). The memory module is a set of semiconductor devices having a single function, and may be generated by mounting a plurality of semiconductor memory chips interconnected on a printed circuit board (PCB).

도 1은 미러형 패키지를 가지지 않는 반도체 메모리 칩들을 포함하는 메모리 모듈의 단면도이다. 도 1을 참조하면, 메모리 모듈(100)은 인쇄 회로 기판(110), 제1 반도체 메모리 칩(120), 및 제2 반도체 메모리 칩(130)을 포함한다. 제1 및 제2 반도체 메모리 칩들(120, 130)은 패키지 레벨(package level)의 칩들로서, 인쇄 회로 기판(110)의 양면에 실장된다.1 is a cross-sectional view of a memory module including semiconductor memory chips that do not have a mirrored package. Referring to FIG. 1, the memory module 100 includes a printed circuit board 110, a first semiconductor memory chip 120, and a second semiconductor memory chip 130. The first and second semiconductor memory chips 120 and 130 are package level chips and are mounted on both sides of the printed circuit board 110.

제1 반도체 메모리 칩(120)의 핀(121)들은 대응되는 제2 반도체 메모리 칩(130)의 핀(131)들에 스터브(stub)들을 통해 연결된다. 상기 핀(121, 131)은 볼 그리드 어레이(BGA) 형태 패키지(Ball Grid Array type package)에서는 솔더 볼(solder ball)이라고도 한다. 한편, 도 1에서, 상기 스터브들 중 일부만이 참조번호 111, 113 및 115로 도시되어 있다. 상기 스터브들은 도 1 에는 도시되지 않았지만 다른 메모리 모듈이 연결되는 채널에 연결된다.Pins 121 of the first semiconductor memory chip 120 are connected to the pins 131 of the corresponding second semiconductor memory chip 130 through stubs. The pins 121 and 131 may also be referred to as solder balls in a ball grid array type package. Meanwhile, in FIG. 1, only some of the stubs are shown by reference numerals 111, 113, and 115. Although not shown in FIG. 1, the stubs are connected to a channel to which another memory module is connected.

한편, 반도체 메모리 칩의 동작속도가 점점 고속화됨에 따라, 상기 스터브들이 연결되는 채널 상의 반사파를 최소화하기 위해서 스터브들의 길이가 최소가 되어야 한다. 상기 스터브들의 길이가 최소화되기 위해서, 반도체 메모리 칩들의 대응하는 핀들은 상기 스터브들을 통하여 최단거리로 연결되어야 한다. 이것에 대한 설명은 도 2를 참조하여 설명된다.On the other hand, as the operation speed of the semiconductor memory chip becomes faster, the length of the stubs should be minimized to minimize the reflected wave on the channel to which the stubs are connected. In order to minimize the length of the stubs, the corresponding pins of semiconductor memory chips must be connected at the shortest distance through the stubs. Description of this is described with reference to FIG. 2.

도 2는 미러형 패키지의 반도체 메모리 칩들을 포함하는 메모리 모듈의 단면도이다. 도 2를 참조하면, 메모리 모듈(200)은 인쇄 회로 기판(210), 제1 반도체 메모리 칩(220), 및 제2 반도체 메모리 칩(230)을 포함한다. 제1 및 제2 반도체 메모리 칩들(220, 230)은 패키지 레벨의 칩들로서, 인쇄 회로 기판(210)의 양면에 실장된다.2 is a cross-sectional view of a memory module including semiconductor memory chips of a mirrored package. Referring to FIG. 2, the memory module 200 includes a printed circuit board 210, a first semiconductor memory chip 220, and a second semiconductor memory chip 230. The first and second semiconductor memory chips 220 and 230 are package level chips and are mounted on both sides of the printed circuit board 210.

제1 반도체 메모리 칩(220)의 핀(221)들은 대응되는 제2 반도체 메모리 칩(230)의 핀(231)들에 스터브들(211 - 218)을 통해 최단거리로 연결된다. 상기 스터브들(211 - 218)은 다른 메모리 모듈이 연결된 채널(미도시)에 연결된다. 도 2에 도시된 바와 같이 메모리 모듈의 채널 상의 반사파를 감소시키기 위해, 제1 및 제2 반도체 메모리 칩들(220, 230)의 핀들(221, 231)이 서로 대칭적으로 배치(또는 배열)되는 방식을 미러형 패키지(mirror type package)라 한다.The pins 221 of the first semiconductor memory chip 220 are connected to the pins 231 of the corresponding second semiconductor memory chip 230 at the shortest distance through the stubs 211 to 218. The stubs 211-218 are connected to a channel (not shown) to which another memory module is connected. As shown in FIG. 2, the fins 221 and 231 of the first and second semiconductor memory chips 220 and 230 are symmetrically arranged (or arranged) with each other to reduce the reflected wave on the channel of the memory module. This is called a mirror type package.

도 3은 종래 기술에 따른 미러형 패키지의 반도체 메모리 칩의 단면도이다. 도 3을 참조하면, 반도체 메모리 칩(300)은 웨이퍼 레벨(wafer level)인 반도체 메모리 칩(305), 전극 패드(310), 유전체 층(315), 금속 재배선 층(320), 본딩 와이어(bonding wire)들(325, 330), 본딩 패드들(bonding pad)들(335, 340), 패키지용 인쇄 회로 기판(345), 및 복수개의 핀들(351 - 358)들을 포함한다. 3 is a cross-sectional view of a semiconductor memory chip of a mirror type package according to the prior art. Referring to FIG. 3, the semiconductor memory chip 300 may be a wafer level semiconductor memory chip 305, an electrode pad 310, a dielectric layer 315, a metal redistribution layer 320, and a bonding wire ( bonding wires 325, 330, bonding pads 335, 340, printed circuit board 345 for packaging, and a plurality of pins 351-358.

상기 반도체 메모리 칩(300)은 도 2의 패키지 레벨인 제1 반도체 메모리 칩(220) 또는 제2 반도체 메모리 칩(230)에 해당된다. 그리고, 웨이퍼 레벨인 반도체 메모리 칩(305)은 미러형 패키지 기능을 구현하기 위한 논리 회로를 포함하고, 본딩 패드들(335, 340)은 금속선(metal line)에 의해 대응하는 복수개의 핀들(351 - 358)에 연결된다.The semiconductor memory chip 300 corresponds to the first semiconductor memory chip 220 or the second semiconductor memory chip 230, which is a package level of FIG. 2. In addition, the semiconductor memory chip 305 at the wafer level includes a logic circuit for implementing a mirrored package function, and the bonding pads 335 and 340 are connected to each other by a metal line. 358).

도 4는 도 3의 반도체 메모리 칩의 하부면을 나타내는 평면도이다. 도 4를 참조하면, 제1 또는 제2 반도체 메모리 칩들의 하부면에는 복수개의 핀들이 배치된다. 미러 패키지의 반도체 메모리 칩들을 구현하기 위해, 핀 배열(pin configuration 또는 ball configuration)의 A행 9열에 해당하는 위치에 미러 기능 인에이블 핀(Mirror Function enable pin, MF, 400)이 배치된다.4 is a plan view illustrating a bottom surface of the semiconductor memory chip of FIG. 3. Referring to FIG. 4, a plurality of pins are disposed on lower surfaces of the first or second semiconductor memory chips. In order to implement the semiconductor memory chips of the mirror package, a mirror function enable pin (MF, 400) is disposed at a position corresponding to A row 9 column of a pin configuration or ball configuration.

도 3 및 도 4를 참조하여, 미러형 패키지의 반도체 메모리 칩들이 구현되는 방식을 설명하면 다음과 같다. 즉, 웨이퍼 레벨인 반도체 메모리 칩(305)내부의 논리 회로는, 외부로부터 미러 기능 인에이블 핀(MF, 400)에 입력되는 신호에 응답하여, 스윙칭 동작(switching operation)을 수행하고, 그 수행의 결과로서 제1 반도체 메모리 칩(도 2의 220)의 본딩 패드에 대하여 제2 반도체 메모리 칩(도 2의 230)의 본딩 패드가 대칭적으로 배열되도록 한다.Referring to FIGS. 3 and 4, a method of implementing semiconductor memory chips of a mirror type package is as follows. That is, the logic circuit inside the semiconductor memory chip 305 at the wafer level performs a switching operation in response to a signal input to the mirror function enable pin MF 400 from the outside, and performs the switching operation. As a result, the bonding pads of the second semiconductor memory chip 230 of FIG. 2 are symmetrically arranged with respect to the bonding pads of the first semiconductor memory chip 220 of FIG. 2.

그런데, 종래 기술에 따른 미러형 패키지의 반도체 메모리 칩들은 별도의 핀과 논리 회로를 가지므로, 반도체 칩을 설계할 때 부담이 되고 상기 논리 회로내의 트랜지스터로 인하여 전송되는 신호의 질(signal quality)이 저하될 수 있다.However, since the semiconductor memory chips of the mirror-type package according to the related art have separate pins and logic circuits, it is a burden when designing a semiconductor chip and the signal quality due to the transistors in the logic circuits is reduced. Can be degraded.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 미러형 패키지를 구현하기 위해 별도의 핀 및 논리 회로를 이용하지 않고 금속 재배선 층을 이용하여 미러형 패키지의 반도체 메모리 칩들을 포함하는 메모리 모듈을 제공하는 데 있다. Accordingly, an aspect of the present invention is to provide a memory module including semiconductor memory chips of a mirror package using a metal redistribution layer without using a separate pin and logic circuit to implement a mirror package. have.

상기의 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일면에 따른 메모리 모듈은 노멀형 금속 재배선 층을 포함하는 제1 반도체 메모리 칩과, 상기 노멀형 금속 재배선 층의 본딩 패드에 대하여 대칭적으로 배열되는 미러형 금속 재배선 층의 본딩 패드를 포함하는 제2 반도체 메모리 칩을 구비하며, 상기 노멀형 금속 재배선 층의 본딩 패드 및 상기 미러형 금속 재배선 층의 본딩 패드는 메모리 모듈의 채널에 연결된 스터브에 연결되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, a memory module includes a first semiconductor memory chip including a normal metal redistribution layer and symmetrically arranged with respect to a bonding pad of the normal metal redistribution layer. And a second semiconductor memory chip comprising bonding pads of the mirrored metal redistribution layer, wherein the bonding pads of the normal metal redistribution layer and the bonding pads of the mirrored metal redistribution layer are stubs connected to the channels of the memory module. It is characterized in that connected to.

바람직한 실시예에 따르면, 상기 메모리 모듈은 상기 제1 및 제2 반도체 메모리 칩들이 실장되고, 상기 스터브를 포함하는 인쇄 회로 기판을 더 구비한다.In example embodiments, the memory module may further include a printed circuit board on which the first and second semiconductor memory chips are mounted and including the stub.

상기의 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 다른 일면에 따른 메모리 모듈은 웨이퍼 레벨의 반도체 메모리 칩 위에 생성되는 노멀형 금속 재배선 층을 포함하는 패키지 레벨의 제1 반도체 메모리 칩과, 상기 노멀형 금속 재배선 층의 제1 본딩 패드들에 대하여 대칭적으로 배열된 웨이퍼 레벨의 반도체 메모리 칩 위에 생성되는 미러형 금속 재배선 층의 제1 본딩 패드들을 포함하는 제2 반도체 메모리 칩과, 상기 제1 및 제2 반도체 메모리 칩들이 실장되며, 상기 노멀용 금속 재배선 층의 제1 본딩 패드들에 연결된 핀들 및 상기 핀들에 대응되는 미러형 금속 재배선 층의 제1 본딩 패드들에 연결된 핀들을 최단거리로 상호 연결하는 스터브들을 포함하는 인쇄 회로 기판을 구비하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, a memory module includes a package level first semiconductor memory chip including a normal metal redistribution layer formed on a wafer level semiconductor memory chip, and the normal metal. A second semiconductor memory chip comprising first bonding pads of a mirrored metal redistribution layer produced on a wafer-level semiconductor memory chip symmetrically arranged with respect to the first bonding pads of the redistribution layer; Second semiconductor memory chips are mounted, and pins connected to the first bonding pads of the normal metal redistribution layer and pins connected to the first bonding pads of the mirrored metal redistribution layer corresponding to the pins are disposed at the shortest distance. And a printed circuit board comprising interconnecting stubs.

바람직한 실시예에 따르면, 상기 제1 반도체 메모리 칩은 상기 웨이퍼 레벨의 반도체 메모리 칩이 장착되며, 상기 노멀형 금속 재배선 층의 제1 본딩 패드들에 연결되는 제2 본딩 패드들 및 상기 제2 본딩 패드들에 연결된 상기 노멀형 금속 재배선 층의 제1 본딩 패드들에 연결된 핀들을 포함하는 패키지용 인쇄 회로 기판을 더 구비한다.According to a preferred embodiment, the first semiconductor memory chip is mounted on the wafer level semiconductor memory chip, the second bonding pads and the second bonding are connected to the first bonding pads of the normal metal redistribution layer. And a printed circuit board for a package including pins connected to first bonding pads of the normal metal redistribution layer connected to the pads.

바람직한 실시예에 따르면, 상기 제2 반도체 메모리 칩은 상기 웨이퍼 레벨의 반도체 메모리 칩이 장착되며, 상기 미러형 금속 재배선 층의 제1 본딩 패드들에 연결되는 제2 본딩 패드들 및 상기 제2 본딩 패드들에 연결된 상기 미러형 금속 재배선 층의 제1 본딩 패드들에 연결된 핀들을 포함하는 패키지용 인쇄 회로 기판을 더 구비한다.According to a preferred embodiment, the second semiconductor memory chip is mounted on the wafer level semiconductor memory chip, the second bonding pads and the second bonding are connected to the first bonding pads of the mirrored metal redistribution layer. And a printed circuit board for a package including pins connected to first bonding pads of the mirrored metal redistribution layer connected to the pads.

이러한 본 발명에 따른 메모리 모듈은, 별도의 핀 및 논리 회로를 포함하지 않고 금속 재배선 층을 이용하여 미러형 패키지를 구현할 수 있으므로, 칩 설계의 부담을 감소시키고 스터브의 길이가 최소화됨으로써 채널상의 반사파를 감소시킬 수 있다.The memory module according to the present invention can implement a mirror-type package using a metal redistribution layer without including a separate pin and logic circuit, thereby reducing the burden of chip design and minimizing the length of the stub, thereby reducing the reflected wave on the channel. Can be reduced.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 미러형 패키지의 반도체 메모리 칩의 단면도이다. 도 5를 참조하면, 미러형 패키지의 반도체 메모리 칩(500)은 웨이퍼 레벨(wafer level)인 반도체 메모리 칩(505), 전극 패드(510), 유전체 층(515), 금속 재배선 층(520), 본딩 와이어(bonding wire)들(525, 530), 본딩 패드들(bonding pad)들(535, 540), 패키지용 인쇄 회로 기판(545), 및 복수개의 핀들(551 - 558)들을 포함한다. 금속 재배선 층(520)의 본딩 패드들은 본딩 와이어들(525, 530)을 통하여 본딩 패드들(535, 540)에 연결된다. 본딩 패드들(535, 540)은 금속선을 통해 대응하는 복수개의 핀들(551 - 558)에 연결된다.5 is a cross-sectional view of a semiconductor memory chip of a mirror type package according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 5, the semiconductor memory chip 500 of the mirrored package includes a semiconductor memory chip 505, an electrode pad 510, a dielectric layer 515, and a metal redistribution layer 520 at a wafer level. , Bonding wires 525, 530, bonding pads 535, 540, printed circuit board 545 for the package, and a plurality of pins 551-558. The bonding pads of the metal redistribution layer 520 are connected to the bonding pads 535, 540 through the bonding wires 525, 530. The bonding pads 535 and 540 are connected to the corresponding plurality of pins 551 to 558 through metal wires.

상기 반도체 메모리 칩(500)은 도 2의 패키지 레벨인 제1 반도체 메모리 칩(220) 또는 제2 반도체 메모리 칩(230)에 해당된다. 따라서, 금속 재배선 층(520)은 다음에 설명될 노멀형(normal type) 금속 재배선 층 또는 미러형 금속 재배선 층일 수 있다.The semiconductor memory chip 500 corresponds to the first semiconductor memory chip 220 or the second semiconductor memory chip 230, which is a package level of FIG. 2. Accordingly, the metal redistribution layer 520 may be a normal type metal redistribution layer or a mirrored metal redistribution layer, which will be described later.

도 6a는 도 5에 도시된 노멀형 금속 재배선 층의 평면도이다. 도 5 및 도 6a를 참조하면, 노멀형 금속 재배선 층(도 5의 520에 대응한다.)에는 전극 패드들(611 - 620), 금속 재배선들(641 - 650), 및 본딩 패드들(621 - 630)이 생성된다. 금속 재배선들(641 - 650)은 본딩 패드들의 위치를 변경하여 본딩 패드들(621 - 630)이 미러형 금속 재배선 층의 가장자리(edge)에 배치되도록 한다.FIG. 6A is a plan view of the normal metal redistribution layer shown in FIG. 5. 5 and 6A, the normal metal redistribution layer (corresponding to 520 of FIG. 5) includes electrode pads 611-620, metal redistributions 641-650, and bonding pads 621. 630) is generated. The metal redistributions 641-650 change the position of the bonding pads so that the bonding pads 621-630 are disposed at the edge of the mirrored metal redistribution layer.

전극 패드들(611 - 620)은 도 5의 전극 패드(510)에 대응된다. 전극 패드들(611 - 620)은 금속 재배선들(641 - 650)을 통하여 본딩 패드들(621 - 630)에 연결된다. 본딩 패드들(621 - 630)은 도 5의 본딩 와이어들(525, 530)을 통해 도 5의 본딩 패드들(535, 540)에 연결된다.The electrode pads 611-620 correspond to the electrode pad 510 of FIG. 5. The electrode pads 611-620 are connected to the bonding pads 621-630 through metal redistributions 641-650. The bonding pads 621-630 are connected to the bonding pads 535, 540 of FIG. 5 through the bonding wires 525, 530 of FIG. 5.

도 6b는 도 5에 도시된 미러형 금속 재배선 층의 평면도이다. 도 5 및 도 6b를 참조하면, 노멀형 금속 재배선 층(도 5의 520에 대응한다.)에는 전극 패드들(711 - 720), 금속 재배선들(741 - 750), 및 본딩 패드들(721 - 730)이 생성된다. 금속 재배선들(741 - 750)은 본딩 패드들의 위치를 변경하여 본딩 패드들(721 - 730)이 미러형 금속 재배선 층의 가장자리(edge)에 배치되도록 한다.FIG. 6B is a top view of the mirrored metal redistribution layer shown in FIG. 5. 5 and 6B, the normal metal redistribution layer (corresponding to 520 of FIG. 5) includes electrode pads 711-720, metal redistributions 741-750, and bonding pads 721. 730) is generated. The metal redistributions 741-750 change the position of the bonding pads such that the bonding pads 721-730 are disposed at the edge of the mirrored metal redistribution layer.

전극 패드들(711 - 720)은 도 5의 전극 패드(510)에 대응된다. 전극 패드들(711 - 720)은 금속 재배선들(741 - 750)을 통하여 본딩 패드들(721 - 730)에 연결된다. 본딩 패드들(721 - 730)은 도 5의 본딩 와이어들(525, 530)을 통해 도 5의 본딩 패드들(535, 540)에 연결된다.The electrode pads 711-720 correspond to the electrode pad 510 of FIG. 5. The electrode pads 711-720 are connected to the bonding pads 721-730 through the metal redistributions 741-750. The bonding pads 721-730 are connected to the bonding pads 535, 540 of FIG. 5 through the bonding wires 525, 530 of FIG. 5.

도 6a 및 도 6b를 참조하여, 미러형 패키지의 반도체 메모리 칩들이 구현되는 방식을 설명하면 다음과 같다. 도 6b의 미러형 금속 재배선 층을 뒤집어서 도 6a의 노멀형 금속 재배선 층에 맞대어 보면, 전극 패드들([611 - 620], [711 - 720]), 금속 재배선들([641 - 650], [741 - 750]), 및 본딩 패드들([621 - 630], [721 - 720]) 각각이 거울(mirror)과 같이 서로 대칭적으로 겹쳐진다. 따라서, 전극 패드들에 금속 재배선들을 통해 연결된 본딩 패드들([621 - 630], [721 - 720])이 서로 대칭적인 배열을 가지므로, 미러형 패키지의 반도체 메모리 칩들을 포함하는 메모리 모듈이 구현될 수 있다.6A and 6B, a method of implementing semiconductor memory chips of a mirror type package will be described below. Turning over the mirrored metal redistribution layer of FIG. 6B and facing the normal metal redistribution layer of FIG. 6A, the electrode pads [611-620], [711-720], the metal redistributions [641-650]. , [741-750]), and bonding pads [621-630], [721-720] each symmetrically overlap each other like a mirror. Accordingly, since the bonding pads [621-630] and [721-720] connected to the electrode pads through metal redistributions have a symmetrical arrangement with each other, a memory module including semiconductor memory chips in a mirrored package is provided. Can be implemented.

이상에서와 같이 도면과 명세서에서 최적의 실시예들이 개시되었다. 여기서, 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.As described above, optimal embodiments have been disclosed in the drawings and the specification. Herein, specific terms have been used, but they are used only for the purpose of illustrating the present invention and are not intended to limit the scope of the present invention as defined in the claims or the claims. Therefore, those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible from this. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

본 발명에 따른 메모리 모듈은, 별도의 핀 및 논리 회로를 포함하지 않고 금속 재배선 층을 이용하여 미러형 패키지를 구현할 수 있으므로, 칩 설계의 부담을 감소시키고 스터브의 길이가 최소화됨으로써 채널상의 반사파를 감소시킬 수 있다.The memory module according to the present invention can implement a mirrored package using a metal redistribution layer without including a separate pin and logic circuit, thereby reducing the burden of chip design and minimizing the length of the stub, thereby reducing the reflected wave on the channel. Can be reduced.

본 발명의 상세한 설명에서 인용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여 각 도면의 상세한 설명이 제공된다.The detailed description of each drawing is provided in order to provide a thorough understanding of the drawings cited in the detailed description of the invention.

도 1은 미러형 패키지를 가지지 않는 반도체 메모리 칩들을 포함하는 메모리 모듈의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a memory module including semiconductor memory chips that do not have a mirrored package.

도 2는 미러형 패키지의 반도체 메모리 칩들을 포함하는 메모리 모듈의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of a memory module including semiconductor memory chips of a mirrored package.

도 3은 종래 기술에 따른 미러형 패키지의 반도체 메모리 칩의 단면도이다.3 is a cross-sectional view of a semiconductor memory chip of a mirror type package according to the prior art.

도 4는 도 3의 반도체 메모리 칩의 하부면을 나타내는 평면도이다.4 is a plan view illustrating a bottom surface of the semiconductor memory chip of FIG. 3.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 미러형 패키지의 반도체 메모리 칩의 단면도이다.5 is a cross-sectional view of a semiconductor memory chip of a mirror type package according to an embodiment of the present invention.

도 6a는 도 5에 도시된 노멀형 금속 재배선 층의 평면도이다.FIG. 6A is a plan view of the normal metal redistribution layer shown in FIG. 5.

도 6b는 도 6a에 대응되는 미러형 금속 재배선 층의 평면도이다.FIG. 6B is a plan view of a mirror metal redistribution layer corresponding to FIG. 6A.

Claims (5)

노멀형 금속 재배선 층을 포함하는 제1 반도체 메모리 칩; 및A first semiconductor memory chip comprising a normal metal redistribution layer; And 상기 노멀형 금속 재배선 층의 본딩 패드에 대하여 대칭적으로 배열되는 미러형 금속 재배선 층의 본딩 패드를 포함하는 제2 반도체 메모리 칩을 구비하며,A second semiconductor memory chip comprising bonding pads of the mirror metal redistribution layer symmetrically arranged with respect to the bonding pads of the normal metal redistribution layer, 상기 노멀형 금속 재배선 층의 본딩 패드 및 상기 미러형 금속 재배선 층의 본딩 패드는 메모리 모듈의 채널에 연결된 스터브에 연결되는 것을 특징으로 하는 메모리 모듈.And bonding pads of the normal metal redistribution layer and bonding pads of the mirrored metal redistribution layer are connected to a stub connected to a channel of the memory module. 제1항에 있어서, 상기 메모리 모듈은 The method of claim 1, wherein the memory module 상기 제1 및 제2 반도체 메모리 칩들이 실장되며, 상기 스터브를 포함하는 인쇄 회로 기판을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 메모리 모듈.And a printed circuit board on which the first and second semiconductor memory chips are mounted and including the stub. 웨이퍼 레벨의 반도체 메모리 칩 위에 생성되는 노멀형 금속 재배선 층을 포함하는 패키지 레벨의 제1 반도체 메모리 칩;A package level first semiconductor memory chip comprising a normal metal redistribution layer formed on a wafer level semiconductor memory chip; 상기 노멀형 금속 재배선 층에 대하여 대칭적으로 배열된 웨이퍼 레벨의 반도체 메모리 칩 위에 생성되는 미러형 금속 재배선 층을 포함하는 제2 반도체 메모리 칩; 및A second semiconductor memory chip comprising a mirrored metal redistribution layer formed on a wafer level semiconductor memory chip symmetrically arranged with respect to the normal metal redistribution layer; And 상기 제1 및 제2 반도체 메모리 칩들이 실장되며, 상기 노멀형 금속 재배선 층의 제1 본딩 패드들에 연결된 핀들 및 상기 핀들에 대응되는 미러형 금속 재배선 층의 제1 본딩 패드들에 연결된 핀들을 최단거리로 상호 연결하는 스터브들을 포함하는 인쇄 회로 기판을 구비하는 것을 특징으로 하는 메모리 모듈.Fins connected to the first and second semiconductor memory chips and mounted to the first bonding pads of the normal metal redistribution layer and the first bonding pads of the mirrored metal redistribution layer corresponding to the fins. And a printed circuit board comprising stubs for interconnecting the shortest distances. 제3항에 있어서, 상기 제1 반도체 메모리 칩은The semiconductor memory chip of claim 3, wherein the first semiconductor memory chip is 상기 웨이퍼 레벨의 반도체 메모리 칩이 장착되며, 상기 노멀형 금속 재배선 층의 제1 본딩 패드들에 연결되는 제2 본딩 패드들 및 상기 제2 본딩 패드들에 연결된 상기 노멀형 금속 재배선 층의 제1 본딩 패드들에 연결된 핀들을 포함하는 패키지용 인쇄 회로 기판을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 메모리 모듈.A second bonding pad connected to the first bonding pads of the normal metal redistribution layer and the normal metal redistribution layer connected to the second bonding pads, mounted on the wafer level semiconductor memory chip. 1. The memory module of claim 1, further comprising a printed circuit board for packaging including pins connected to the bonding pads. 제4항에 있어서, 상기 제2 반도체 메모리 칩은 The method of claim 4, wherein the second semiconductor memory chip is 상기 웨이퍼 레벨의 반도체 메모리 칩이 장착되며, 상기 미러형 금속 재배선 층의 제1 본딩 패드들에 연결되는 제2 본딩 패드들 및 상기 제2 본딩 패드들에 연결된 상기 미러형 금속 재배선 층의 제1 본딩 패드들에 연결된 핀들을 포함하는 패키지용 인쇄 회로 기판을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 메모리 모듈.A second bonding pad connected to the first bonding pads of the mirrored metal redistribution layer and the mirrored metal redistribution layer connected to the second bonding pads, mounted on the wafer level semiconductor memory chip. 1. The memory module of claim 1, further comprising a printed circuit board for packaging including pins connected to the bonding pads.
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