KR20050043941A - 접촉식 프로브 - Google Patents

Abstract

제1 위치 설정 요소(23, 58)를 수납하는 프로브 본체(12, 52)와, 제2 위치 설정 요소(24, 57)를 구비하는 촉침 홀더(16, 54)로서, 이 제2 위치 설정 요소는 제1 위치 설정 요소와 연동하여 촉침 홀더를 프로브 본체 내에 배치하는 것인 촉침 홀더와, 제1 및 제2 위치 설정 요소를 컨택트 내로 강제하는 바이어스(36, 68, 86)를 포함하며, 프로브 본체와 촉침 홀더 사이에 이동 감쇠 요소(35, 50, 76, 90)가 제공되는 접촉식 프로브(10, 50)가 개시되어 있다. 이동 감쇠 요소는 바이어스의 강제를 저지함으로써 위치 설정 요소들 사이의 상대적인 이동 속도를 늦추거나 또는 프로브 본체와 촉침 홀더 사이의 상대적인 이동에 의해 생성되는 에너지를 흡수한다. 이동 감쇠 요소는 프로브 헤드와 촉침 홀더 중 하나에 대하여 활주 가능하게 또는 회전 가능하게 장착될 수 있다.

Description

접촉식 프로브{TOUCH PROBE}

본 발명은 접촉식 프로브에 관한 것이다.

프로브 내부에 있는 시트에 장착된 촉침을 구비하고, 시트 내로 편향되는 접촉식 프로브가 공지되어 있다. 촉침이 표면에 접촉할 때, 접촉식 프로브와 표면의 상대적인 운동에 의해 촉침은 바이어스의 작용에 대하여 시트로부터 편향되고, 이 이동이 장치를 통과하는 신호를 생성하여, 이 장치가 프로브/표면의 순간적인 위치를 기록할 수 있다.

표면은 치수를 측정할 공작물 또는 공작물을 성형하는 데에 사용되는 툴에 속할 수 있고, 이에 따라 표면은 툴의 마모를 고려하여 조정 가능하고 장치의 싸이클을 조정할 수 있다.

정확한 측정을 수행하기 위해서, 촉침은 접촉식 프로브 내의 중립 위치라고 불리는 반복 위치에 안착될 필요가 있다. 이것은 운동학적 시트 내에서 촉침을 지지함으로써 달성될 수 있다. 이러한 운동학적 시트의 예가 미국 특허 제4,153,998호에 기술되어 있으며, 이 특허에서 촉침은 반경 방향으로 연장되고 촉침의 축을 중심으로 120°이격되어 있는 세 개의 아암에 의해 지지된다. 아암은 프로브에 고정되고 인접하게 배치된 여러 쌍의 볼에 의해 형성되는 v형 노치에서 지지된다. 스프링이 아암을 v형 노치 내로 편향시킨다. 볼과 아암은 촉침이 구부러질 때에 손상되는 회로의 일부를 형성한다. 다른 측정 방법에서는, 운동학적 시트 자체를 사용하여 편향을 검지하는 대신에, 변형 게이지가 배치되어 중립 위치로부터의 이동을 검지할 수 있다. 이것은 미국 특허 제4,462,162호에 기술되어 있다.

촉침이 스프링에 의해 안착 위치로 다시 편향될 때에, 예컨대 촉침이 표면과 충돌하거나 또는 프로브가 수동으로 이동하는 동안에 프로브의 촉침이 편향되어 갑자기 해제되는 경우, 프로브에 대한 촉침의 이동은 운동학적 시트의 충격 하중을 유발할 수 있다. 이것은 측정 회로의 취약한 부분을 손상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 프로브의 단면도이고,

도 2는 도 1의 선 II-II를 따른 조립된 프로브의 단면도이며,

도 3은 본 발명에 따른 다른 인서트를 구비하는 프로브의 단면도이고,

도 4는 본 발명에 따른 다른 프로브의 단면도이며,

도 5는 본 발명에 따른 인서트의 단면도이다.

본 발명에 따르면,

제1 위치 설정 요소를 수납하는 프로브 본체와;

제2 위치 설정 요소를 구비하는 촉침 홀더로서, 이 제2 위치 설정 요소는 상기 제1 위치 설정 요소와 연동하여 상기 프로브 본체 내에 상기 촉침 홀더를 위치시키는 것인 촉침 홀더;그리고

상기 제1 및 제2 위치 설정 요소가 접하도록 강제하는 바이어스

를 포함하며, 상기 프로브 본체와 촉침 홀더 사이에 이동 감쇠 요소가 마련되는 것을 특징으로 하는 접촉식 프로브가 제공된다.

바람직하게는, 상기 제1 위치 설정 요소 각각은 v형 시트를 제공하는 한 쌍의 볼을 포함하고, 상기 제2 위치 설정 요소 각각은 시트 상에서 촉침을 지지하는 롤러를 포함한다.

바람직한 실시예에서, 이동 감쇠 요소는 상기 제1 및 제2 위치 설정 요소간의 상대적인 이동 속도를 늦춘다.

대안으로서, 상기 이동 감쇠 요소는 프로브 본체와 촉침 홀더 사이의 상대적인 이동에 의해 생성되는 에너지를 흡수한다. 예컨대, 고무와 같이 이력 현상을 나타내는 재료로 형성된 요소가 일례이다.

이제, 첨부 도면을 참조하여 예를 들어 본 발명을 설명하겠다.

도 1 및 도 3은 바람직하게는 강으로 제조된 외측 하우징(12)과 반경 방향 내측을 지향하는 환형 플랜지(14)를 구비하는 프로브(10)를 보여준다. 외측 하우징(12) 내에는 촉침(도시하지 않음)이 연결될 수 있는 촉침 홀더(16)가 장착된다.

촉침 홀더(16)는 프로브와 공작물 또는 공구 사이의 상대적인 이동이 발생하는 경우에 공작물 또는 공구의 접촉 및 촉침의 연결을 위한 개구(20)를 통해 외측 하우징(12)으로부터 돌출한다.

여섯 개의 오목부(22)가 환형 플랜지(14)에 형성되고 개구(20)로부터 멀어지는 방향으로 개방된다. 오목부는 복수 개의 쌍으로 배열되며, 복수 개의 쌍은 프로브의 종축(18A)을 중심으로 120°간격으로 이격되어 있다. 오목부는 볼(23)을 수용하며, 예컨대 원추형, 삼각형의 임의의 적합한 형상으로서, 볼이 오목부에 수용될 때에 안정적인 위치에 남아 있게 되며 운동학적으로 지지된다. 각 쌍에서의 볼의 간격은 촉침 홀더(16)에 의해 이동되는 롤러에 의해 가교되고, 이 롤러가 안정적으로 안착될 수 있도록 되어 있다.

롤러(24)는 종축(18A)를 중심으로 120°간격으로 이격되어 있는 촉침 홀더 내의 구멍(26)에 장착되며, 이 구멍은 플라스틱 인서트(28)와 초기에 정렬되고, 이 인서트는 그 길이를 따라 분활되고, 그 내부로 롤러가 가압된다.

볼은 경질 플라스틱으로 제조되고 단부가 개방된 원통형 플러그(30)에 의해 그들의 개별 오목부에 위치하고 클램핑된다. 플러그는 개방 단부의 환형 표면에 적절히 이격된 6개의 오목부(32)가 마련되며, 조립된 프로브에서 이 오목부에는 볼이 장착된다. 또한, 플러그(30)는 그 개방 단부에 세 개의 세장형 슬롯(34)이 형성되며, 이 슬롯은 촉침이 틸팅되고 촉침이 촉침의 단부에 작용하는 힘에 의해 수직으로 이동될 때, 롤러(24)를 위한 안내부로서의 역할을 한다.

촉침 홀더는 촉침에 아무런 힘도 인가되지 않을 때에는 스프링(36)에 의해서 중립 위치로 편향되는데, 이 스프링은 종축(18A) 방향의 힘을 생성하여 볼(23)들 사이 형성된 시트 내로 롤러를 강제한다.

촉침이 틸팅이나 수직 이동에 의해서 편향될 때에 프로브가 신호를 생성할 수 있도록, 볼은 전기적으로 직렬로 연결되어 각 쌍의 양측의 볼과 접촉하는 롤러에 의해 완성되는 회로를 형성한다.

볼은, 예컨대 강 또는 텅스텐 카바이드와 같은 경질의 전기 전도성 재료로 제조되며, 따라서 이들 볼은 오목부(22)에서 외측 하우징과 접촉하는 경우에 외측 하우징(12)으로부터 절연되어야 한다. 이것은 두 개의 층으로 이루어진 얇은 가요성의 전기 전도성 요소(40)를 사용함으로써 달성된다(도 2 참조). 제1 층(42)은 절연재로 형성되고, 제2 층(44)은 부분적으로 환형인 전기 전도성 재료로 형성된다.

프로브가 조립되었을 때, 얇은 환형 요소는 절연측이 오목부(22)의 전도성 영역과 접촉하도록 환형 플랜지(14) 상에 배치된다. 두 개의 접속핀(46)이 볼, 롤러 및 얇은 가요성 요소에 의해 완성되는 회로의 대향 단부에 접속하며, 이들 접속 핀은 원위 단부에서 프로브의 외측으로부터 회로에 접근할 수 있다. 볼은 환형 플랜지(14) 내에 있는 오목부(22)와 플러그 내에 있는 오목부(32)에 수용된다. 볼은 얇은 가요성 요소(40)에 의해 환형 플랜지로부터 전기적으로 절연된다. 얇은 가요성 요소는 운동학적으로 위치하는 볼에 의해 변형된다. 이 가요성 요소의 다양한 실시예가 유럽 특허 제0967455호에 기술되어 있다.

이제 도 1을 참조하면, 플러그(30)는 스프링(36) 내측에 배치되고 하방으로 연장되는 중심부(31)를 구비하고 있다. 중심부(31)는 플라스틱 인서트(35)의 일단부가 활주 가능하게 수납되는 오목부(33)를 갖고 있다. 플라스틱 인서트(35)의 타단부는 하우징의 개구(20)로부터 돌출하는 촉침 홀더(16)의 원위 단부가 있는 오목부(17) 내에 위치한다. 플라스틱 인서트(35)의 각 단부에는 이 인서트가 수납되는 오목부의 직경과 거의 유사한 직경을 갖는 플랜지가 마련되어 있다. 촉침 홀더(16)의 오목부(17)는 플라스틱 인서트(35)가 촉침 오목부(17)로부터 분리되는 것을 방지하는 립(19)을 갖고 있다.

촉침 편향시, 촉침 홀더(16)는 스프링(36)에 대하여 이동하여 플라스틱 인서트(35)를 플러그(30)의 오목부(33) 내로 [그리고 극히 작은 정도로 촉침 오목부(17) 내로] 가압한다. 힘이 제거되면, 스프링(36)은 촉침 홀더(16)를 중립 위치로 다시 강제한다. 플라스틱 인서트(35)는 스프링(36)의 작용을 저지하여 촉침 홀더가 중립 위치로 복귀하는 속도를 늦추고 , 따라서 이 경우에는 얇은 가요성 요소(40)의 손상이 방지된다.

플라스틱 인서트(35)의 각 단부 상의 플랜지는 플라스틱 인서트의 나머지 부분과 일체로 형성되거나 또는, 예컨대 플라스틱 인서트에 접착되는 플라스틱 스커트에 의해 형성된다.

플라스틱 인서트는 폴리프로필렌 등의 임의의 적절한 플라스틱 재료로 제조될 수 있으며, 가요성이 충분하여 촉침이 편향하는 동안에 오목부 내에서 활주하지만, 충분히 강하고 튼튼해서 촉침 홀더가 중립 위치로 복귀하는 동안에 플랜지가 과도하게 변형되거나 또는 마모되지 않는다. 플랜지는 각 오목부(17, 33) 내를 밀봉한다. 밀봉이 너무 완벽하게 이루어지면, 유체가 각 플랜지의 엣지 주위로 배출되는 것이 불가능하고, 따라서 플랜지는 스프링(36)이 촉침 홀더를 중립 위치로 복귀시키는 것을 방해한다. 따라서, 플랜지는 그 원주 둘레에 배출 구역이 마련되거나 또는 대안으로서, 하나 이상의 배출 구멍(37)이 마련될 수 있다. 배출 구멍의 사용이 바람직한데, 그 이유는 유체 흐름이 보다 큰 정확도로 제어되기 때문이다.

이제 다른 인서트(50)를 구비하는 프로브(10)를 보여주는 도 3을 참조한다. 인서트(50)는 이력 현상을 나타내는 재료, 이 경우에는 탄화불소 고무로 제조된다. 큰 곁사슬(side chain)을 갖는 고무가 보다 작은 곁사슬을 갖는 고무보다 큰 손실을 나타낸다. 인서트(50)는 일단부가 부분적으로 플러그(30)의 오목부(33) 내에 수납된다. 인서트의 타단부에는 촉침 홀더(16)가 중립 위치에 있을 때에 이 촉침 홀더와 접촉하는 니플(52)이 형성되어 있다. 이로 인하여, 운동학적 위치가 인서트(50)의 존재에 의해 거의 영향을 받지 않으며, 인서트(50)는 촉침이 트리거링(triggering)될 때에 최대 에너지 흡수 효과를 갖는다.

촉침(도시하지 않음) 편향시, 촉침 홀더는 수직 방향(z)으로 이동 및/또는 틸팅한다. 인서트(50)는 이 이동에 의해 압축되고 에너지를 흡수한다. 인서트(50)는 고무로 제조된다. 인서트(50)는 이력 현상을 나타내는데, 즉 고무가 압축될 때, 이에 후속하는 고무의 이완시에 방출되는 에너지보다 많은 에너지가 사용된다(이들 에너지의 차이는 주로 열로 전환됨). 이 효과는 고무 내에 충전제를 사용함으로써 증대될 수 있다. 한 가지 적절한 충전제는 탄소 분말로서, 이것은 고무의 압축으로 인해 다른 탄소 분말 입자 사이에 마찰이 발생할 때에 잔여 압축 에너지의 일부를 열로 전환한다. 적절한 탄소의 양은 10 내지 120 백분율(pph)이고 보다 바람직하게는 20 내지 100 pph이다. 고무제 인서트(50)의 압축시에는 에너지를 흡수하며, 이 에너지는 다른 경우에는 스프링(36)을 압축하는 것이다. 이것은 스프링이 촉침 홀더(16)를 중립 위치로 복귀시킬 때에 운동 에너지가 보다 적다는 것을 의미한다.

고무제 인서트(50)는 에너지 손실이 큰 경우에 열로 전환되어 시스템으로부터 제거되는 고비율의 에너지를 커버하지만, 촉침 홀더를 중립 위치로 복귀시키는 데에는 작은 비율의 에너지가 사용되도록 하여, 볼(23) 상의 롤러, 그리고 가요성 요소(40) 상의 롤러의 충격을 감소시킨다. 어떤 고무재는 저속으로 압축 상태에서 원래 상태로 돌아가고, 따라서 이 에너지 방출이 최소인 추가적인 장점을 지니는데, 이런 경우에도 스프링을 해제시켜서 촉침 홀더를 중립 위치로 복귀시킬 수 있는 효과에 기여한다. 이러한 고무의 예로는 소르보테인(Sorbothane)이 있다. 이것은 프로브 부분의 통상적인 마멸과 인열을 감소시킬 뿐만 아니라, 촉침이 임의의 물체에 충돌하는 경우 등의 예외적인 상황에서의 손상을 방지한다.

요소의 감쇠를 증대시키기 위해서 하나 이상의 충전제 또는 다른 물질이 고무에 첨가될 수 있다.

편향 중에 인서트에 의해 생성되는 열은 운동학적 위치 또는 프로브 또는 촉침의 열적 변형을 유발할 정도는 아니다. 오일 등의 히트 싱크가 이러한 위험을 최소화하기 위해 프로브 공동 내에 사용될 수 있으며, 이것은 공기보다 높은 점도를 지닌 오일이 감쇠 작용을 돕는 추가적인 장점을 갖는다.

인서트(50)는 고무제 볼로 대체될 수도 있다. 플러그(30)의 하방으로 연장되는 부분(31)은 볼을 정확히 안착시키기 위하여 변형될 필요가 있다.

대안으로서, 인서트는 적절한 이력 현상을 나타내지 않는 압축성 재료로 제조될 수 있으며, 에너지가 탄소와 같은 충전제의 사용에 의하여 시스템(인서트는 손실이 큼)으로부터 제거된다. 적절한 탄소의 양은 압축성 재료의 10 내지 120 pph이고, 바람직하게는 20 내지 100 pph이다.

인서트 또는 볼(50)이 촉침 홀더와 항상 접촉할 필요는 없다. 이것은 운동학적 위치가 댐퍼에 의해 영향을 받는 임의의 방식으로 위치되지 않도록 한다. 인서트와, 특정 프로브를 위한 상시 편향의 크기에 상응하는 촉침 홀더 사이에 갭이 존재할 수 있어, 감쇠 효과가 단지 예외적인 상황에서만 적용될 수 있다. 이것은 물론, 특정 인서트의 효율성을 감소시키는데, 이것은 이 특정 인서트가 압축되고 또한 프로브의 정상 사용중에 이 인서트로부터의 분리를 방지하도록 오목부에 견고히게 고정되는 것을 요할 때까지 에너지를 흡수할 수 없기 때문이다.

당업자라면 많은 다른 재료가 이력 효과를 나타내고 흡수되는 에너지의 비율은 사용된 재료의 기능과 첨가제 및 사용 조건에 의존한다는 것을 이해할 것이다. 따라서, 인서트는 공지된 재료 이상의 특성을 이용하는 일 없이 특정 조건에 적합하게 제조될 수 있다.

도 4는 하우징(52)을 구비하는 다른 프로브(50)의 단면도이다. 촉침 홀더(54)는 각기 v형 홈(57)을 갖는 세 개의 아암(56)에 의해 프로브 내에 운동학적으로 위치한다. 각각의 v형 홈(57)은 중앙 보스(62)의 외측 링에 장착된 세 개의 볼(58) 중 하나를 부분적으로 수납한다. 따라서, 촉침 홀더(54)는 세 개의 아암에 의해서 볼(58) 상에서 지지된다. 두께가 감소된 세 개의 웨브재(64)가 외측 링(60)을 중앙 보스(62)에 연결한다. 중앙 보스(62)는 프로브 하우징(52)에 견고하게 고정된다. 각 웨브(64) 상에 변형 게이지(66)가 위치한다. 아암(56)의 v형 홈은 플라스틱 플러그(70)에 의해 프로브 하우징(52) 내의 소정 위치에 유지되는 코일 스프링(68)에 의해서 볼(58)과 접촉하도록 편향된다. 감쇠 인서트(76)는 제1 단부가 플라스틱 플러그(70)의 하방으로 연장되는 부분(72) 내에 있는 오목부(74)에 위치하고, 타단부가 촉침 홀더(54)에 있는 오목부(78)에 위치함으로써 코일 스프링(68) 내측에 유지된다.

촉침이 편향될 때, 촉침 홀더(54)는 코일 스프링의 작용에 반하여 프로브 하우징(52) 내에서 이동한다. 이 이동은 외측 링(60) 상의 하중에 어떠한 변화로 인하여 얇은 웨브재(64)의 굴곡이 발생할 때에 변형 게이지(66)에 의해서 검지된다. 웨브재(64) 각각은 볼(58)에 인접하게 위치하여 변형 게이지가 틸팅 이동에 대해 보다 민감하게 반응한다. 변형 게이지(66)로부터의 신호는 변형 게이지와 전기 접속하는 접속핀(79)을 통해서 장치 제어기 또는 장치 인터페이스로 다시 중계된다.

프로브를 민감하게 하고, 이에 따라 가능한 한 정확하게 하기 위해서, 웨브재(64)는 가능한 한 얇고 좁다. 그러나, 이것은 중앙 보스(62)에 대한 외측 링(60)의 이동이 증대할 때에 변형 게이지의 손상을 유발할 수 있는데, 이는 웨브(64)의 단면적이 감소하기 때문이다. 손상 가능성은 고속 측정이 일어나거나 또는 프로브가 표면에 충돌하는 경우에 증가한다.

변형 게이지의 손상 가능성을 감소시키기 위해서, 플라스틱 인서트(76) 형태의 댐퍼를 사용하여 촉침 홀더(54)가 중립 위치 또는 운동학적으로 배치되는 위치로 복귀 이동하는 속도를 낮춘다. 인서트는 각 단부가 플라스틱 형상으로, 이로 인해 촉침 변형이 일어나고 코일 스프링(68)이 압축될 때에 개별 오목부(74, 78) 내로의 플랜지의 이동이 용이해진다. 그러나, 편향력이 제거되고, 중립 위치를 향해 스프링 바이어스가 복귀할 때, 인서트(76)의 플랜지가 이 복귀 이동을 저지하여 스프링에 의한 중립 위치로의 복귀 속도 및 복귀력의 감소를 초래한다. 따라서, 많은 촉침 변형(과 이에 따른 촉침 홀더의 변형) 또는 고력(高力) 충격이 있는 경우에는 촉침 홀더를 중립 위치로 복귀시키는 데 있어서의 스프링의 효율성이 감소된다.

도 5는 본 발명에 따른 다른 인서트(90)의 단면도이다. 인서트(90)의 제1 단부(92)는 사용중에 프로브(도시하지 않음) 내에 수납되는 플라스틱 플러그(80)의 하방으로 연장되는 부분(82)에 있는 오목부(84)에 활주 가능하게 수납된다. 인서트(90)의 제1 단부(92)는 오목부(84)에 대한 인서트의 하방 이동을 저지하는 플랜지를 구비한다. 인서트(90)의 제2 단부는 볼(94)이다. 볼(94)은 촉침 홀더(88)의 볼 조인트 공동(96) 내에 수납되고, 따라서 이 공동에 대한 볼의 회전 이동이 가능하다.

전술한 바와 같이 다른 물체에 대한 한 물체의 운동학적 위치 설정에 있어서, 운동학적 조인트에서의 두 부분 사이의 마찰을 최소로 유지하는 것이 바람직하다. 이것은 프로브의 종축을 따라 작용하지 않는 힘이 최소로 유지되어야 한다는 것을 의미한다. 인서트의 일단부에 볼 조인트를 사용함으로써, 촉침 홀더가 프로브 축에 수직인 평면에서 프로브에 대하여 원활하게 이동할 수 있다. 이것은 운동학적 조인트의 반복성에 있어서도 도움이 될 뿐만 아니라, 프로브 공동 내에서의 촉침 홀더의 틸팅과 같은 축외(軸外) 이동에 대한 저항이 보다 적고, 이에 따라 프로브 민감도를 유지하는 데에 도움이 된다.

프로브 내에 사용되는 이러한 유형의 인서트는 이러한 유형의 프로브 및 촉침의 기능이며, 이들의 특징이다. 몇몇 촉침, 예컨대 정사각형 또는 디스크형 촉침은 주로 x-y 평면에 접촉하도록 설계된다. 이러한 경우, 프로브 내에서의 z-방향으로 요구되는 과다 이동량은, 통상 x-y 평면에서의 촉침 편향에 의해 제한된다. 이러한 상황에서, 안착 위치로의 복귀 이동을 제어하는 에너지 흡수 인서트나 인서트 중 하나를 사용할 수 있다.

과다 이동은 촉침 홀더가 프로브 내측의 일부와 접촉하기 전에 z-방향으로 이동할 수 있는 프로브 내의 공간이다. 임의의 방향으로 편향되는 별형 또는 볼형 등의 촉침 또는 고속 스캐닝의 경우에 있어서, 프로브의 손상을 방지하기 위해서 보다 많은 양의 과다 이동이 요구된다. 이로 인하여, 기록되는 편향과 프로브 중지 사이에는 과다 이동이 감소된 프로브 보다 많은 시간이 걸린다. 이러한 환경에서는 복귀 이동을 제어하는 인서트가 보다 적절하다.

여기서 설명한 운동학적 위치 설정 요소는 바람직한 예이며, 다른 구성물을 사용할 수 있다. 이들 예는 1960년, 런던에 소재하는 Hall Ltd와 H Braddick에 의해 편찬된 "실험실 장비의 기계적 설계"에 제시되어 있다.

전술한 프로브는 스캐닝 또는 재생용 대상 측정[좌표 측정기(CCM)] 또는 기계 가공 공정의 정확도를 확인하는 측정(CCM 또는 공작 기계) 또는 공구 세팅에 사용되어 대상을 기계 가공하거나 또는 로봇으로 가공할 때에 공구의 마모를 해결한다. 따라서, 프로브는 대상에 대해 이동 가능하고 스핀들 장착될 수 있거나 또는 대상에 대해 고정되고 머쉰 베드에 장착될수 있거나 또는 장치의 작업 공간 내에,예컨대 선반 상에 분리 가능하게 위치하는 아암 상에 장착될 수 있다.

Claims (13)

1. 제1 위치 설정 요소(23, 58)를 수납하는 프로브 본체와;

   제2 위치 설정 요소(24, 57)을 구비하는 촉침 홀더(16, 54)로서, 상기 제2 위치 설정 요소는 상기 제1 위치 설정 요소와 연동하여 상기 촉침 홀더를 상기 프로브 본체 내에 배치하는 것인 촉침 홀더;그리고

   상기 제1 및 제2 위치 설정 요소가 접하도록 강제하는 바이어스(36, 68, 86)

   를 포함하며, 상기 프로브 본체와 상기 촉침 홀더 사이에 이동 감쇠 요소(35, 50, 76, 90)가 제공되는 것인 접촉식 프로브(10, 50).
2. 제1항에 있어서, 상기 이동 감쇠 요소(35, 50, 76, 90)는 상기 제1 및 제2 위치 설정 요소 사이의 상대적인 이동 속도를 늦추는 것인 접촉식 프로브.
3. 제2항에 있어서, 상기 이동 감쇠 요소(35, 50, 76, 90)는 바이어스의 강제를 저지함으로써 상대적인 이동 속도를 늦추는 것인 접촉식 프로브.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 이동 감쇠 요소(35, 50, 76, 90)는 프로브 헤드와 촉침 홀더 중 하나에 대해 활주 가능하게 장착되는 것인 접촉식 프로브.
5. 제4항에 있어서, 상기 이동 감쇠 요소(35, 76)는 상기 프로브 헤드와 촉침 홀더 양자에 대하여 활주 가능하게 장착되는 것인 접촉식 프로브.
6. 제4항에 있어서, 상기 이동 감쇠 요소(90)는 상기 프로브 헤드와 촉침 홀더 중 하나에 대하여 회전 가능하게 장착되는 것인 접촉식 프로브.
7. 제1항에 있어서, 상기 이동 감쇠 요소(50)는 상기 프로브 본체와 촉침 홀더 사이의 상대적인 이동에 의해 생성되는 에너지를 흡수하는 것인 접촉식 프로브.
8. 제7항에 있어서, 상기 이동 감쇠 요소는 손실성 요소인 것인 접촉식 프로브.
9. 제8항에 있어서, 상기 이동 감쇠 요소는 두 개 이상의 재료를 포함하며, 이들 중 하나 이상은 손실성 재료인 것인 접촉식 프로브.
10. 제9항에 있어서, 상기 손실성 재료는 탄소 분말인 것인 접촉식 프브.
11. 제10항에 있어서, 상기 탄소 분말은 10 내지 120 pph 범위로 사용되는 것인 접촉식 프로브.
12. 제1항 내지 제11항에 있어서, 상기 제1 위치 설정 요소 각각은 v형 시트를 형성하는 한 쌍의 볼(23)로 이루어지고, 상기 제2 위치 설정 요소 각각은 상기 촉침 홀더(16)를 상기 v형 시트 상에서 지지하는 롤러(24)로 이루어지는 것인 접촉식 프로브.
13. 제1항 내지 제11항에 있어서, 상기 제1 위치 설정 요소 각각은 볼(58)로 이루어지며, 상기 제2 위치 설정 요소 각각은 볼을 부분적으로 수납하고, 볼 상에서 지지되는 v형 홈(57)으로 이루어지는 것인 접촉식 프로브.