KR20050039507A - Dispenser - Google Patents

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Abstract

본 발명의 과제는 구조가 간단하고, 기포의 발생을 억제할 수 있는 디스펜서 장치를 제공하는 것이다. An object of the present invention is to provide a dispenser device having a simple structure and capable of suppressing the generation of bubbles.

액제를 저류하는 배럴(1)과, 배럴(1)로부터 시린지(3)로의 액제 공급을 제어하는 공급 밸브와, 시린지(3)로부터 노즐(6)로의 액제 공급을 제어하는 선단부 밸브와, 선단부 밸브의 개로시에 시린지(3) 내의 액제를 노즐(6)을 향해 압박하는 플런저(7)를 구비한 디스펜서 장치에 있어서, 공급 밸브 및 선단부 밸브는 가요성을 구비한 튜브(11, 17)를 협착하거나 혹은 협착을 해제함으로써, 액제의 유로를 개폐하는 핀치 밸브(13a, 13b)로 구성하였다. A barrel 1 for storing liquid, a supply valve for controlling liquid supply from the barrel 1 to the syringe 3, a tip valve for controlling liquid supply from the syringe 3 to the nozzle 6, and a tip valve In the dispenser device provided with the plunger 7 which presses the liquid agent in the syringe 3 toward the nozzle 6 at the time of opening, the supply valve and the front end valve clamp the tubes 11 and 17 with flexibility. Or the pinch valves 13a and 13b which open and close the liquid flow path by releasing or narrowing.

Description

디스펜서 장치{DISPENSER}Dispenser unit {DISPENSER}

본 발명은, 액제를 피가공물에 대해 소정의 유량으로 적하시키는 디스펜서 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a dispenser device for dropping a liquid agent to a workpiece at a predetermined flow rate.

도5는 종래의 디스펜서 장치를 도시한다. 배럴(1) 내에는, 예를 들어 액정 등의 액제가 저류되고, 그 액제는 튜브(2)를 거쳐서 시린지(3)에 공급된다. 또한, 튜브(2)에는 공급 밸브로서 다이어프램 밸브(4)가 개재되고, 그 다이어프램 밸브(4)가 폐로되면 시린지(3)로 액제가 공급된다. 시린지(3) 내에는 약 1 ㏄ 정도의 소량의 액제가 저류 가능하다. 5 shows a conventional dispenser device. In the barrel 1, for example, a liquid agent such as a liquid crystal is stored, and the liquid agent is supplied to the syringe 3 via the tube 2. In addition, the tube 2 is provided with a diaphragm valve 4 as a supply valve, and when the diaphragm valve 4 closes, the liquid is supplied to the syringe 3. In the syringe 3, a small amount of liquid agent of about 1 kPa can be stored.

시린지(3)는 선단부 밸브로서 기능하는 플러그 밸브(5)를 거쳐서 노즐(6)에 접속된다. 그리고 플러그 밸브(5)가 개로되면, 플런저(7)에 의한 압박 조작에 의해 시린지(3) 내의 액제가 노즐(6)로부터 적하된다. The syringe 3 is connected to the nozzle 6 via a plug valve 5 which functions as a tip valve. And when the plug valve 5 is opened, the liquid agent in the syringe 3 is dripped from the nozzle 6 by the press operation by the plunger 7.

플러그 밸브(5)는, 로터리 액튜에이터(8)로 구동되는 로터리 밸브로 구성된다. The plug valve 5 is comprised by the rotary valve driven by the rotary actuator 8.

이와 같이 구성된 디스펜서 장치에서는, 플러그 밸브(5)를 폐쇄한 상태에서 다이어프램 밸브(4)가 개로되고, 플런저(7)가 상승함으로써 배럴(1)로부터 시린지(3)로 액제가 공급되어 시린지(3) 내에 소량의 액제가 저류된다. In the dispenser device configured as described above, the diaphragm valve 4 is opened while the plug valve 5 is closed, and the plunger 7 is raised to supply liquid to the syringe 3 from the barrel 1 to the syringe 3. A small amount of liquid is stored in).

계속해서, 다이어프램 밸브(4)가 폐로되는 동시에 플러그 밸브(5)가 개로되어, 이 상태에서 플런저(7)에 의해 시린지(3) 내의 액제가 압박된다. 그러면, 노즐(6)로부터 액제가 적하된다. Subsequently, the diaphragm valve 4 is closed and the plug valve 5 is opened. In this state, the liquid agent in the syringe 3 is urged by the plunger 7. Then, the liquid agent is dripped from the nozzle 6.

특허 문헌 1, 2에는 유사한 디스펜서 장치가 개시되어 있다. Patent documents 1 and 2 disclose similar dispenser devices.

[특허 문헌 1][Patent Document 1]

일본 특허 공개 평5-36741호 공보(제2 페이지 도2)Japanese Patent Laid-Open No. 5-36741 (Second page 2)

[특허 문헌 2][Patent Document 2]

일본 특허 공개 평6-126227호 공보(제3 페이지 도3)Japanese Patent Laid-Open No. 6-126227 (page 3 Fig. 3)

도5에 도시하는 디스펜서 장치에서는, 공급 밸브로서 사용하는 다이어프램 밸브(4)의 구조상 기포가 발생하기 쉽다. 또한, 선단부 밸브로서 사용하는 플러그 밸브(5)에 있어서도 밸브의 개폐 조작시에 로터리 밸브에 의한 캐비테이션 현상에 의해 기포가 발생하기 쉽다. In the dispenser device shown in FIG. 5, bubbles tend to be generated due to the structure of the diaphragm valve 4 used as the supply valve. In addition, even in the plug valve 5 used as the front end valve, bubbles are likely to occur due to the cavitation phenomenon caused by the rotary valve during the opening and closing operation of the valve.

그리고, 시린지(3) 내의 액제에 기포가 포함되어 있으면 플런저(7)에 의한 압박시에 기포가 수축하기 때문에, 액제가 안정적으로 적하되지 않는다는 문제점이 있다. And if bubbles are contained in the liquid agent in the syringe 3, since a bubble contracts at the time of the press by the plunger 7, there exists a problem that a liquid agent does not drop stably.

또한, 로터리 밸브로 구성되는 플러그 밸브(5)에서는 그 개폐 조작시에 밸브의 미끄럼 이동에 의한 파티클의 발생이 문제가 된다. Moreover, in the plug valve 5 comprised by a rotary valve, generation | occurrence | production of the particle by sliding of a valve at the time of the opening-closing operation becomes a problem.

또, 다이어프램 밸브(4) 및 플러그 밸브(5)는 구조가 복잡하기 때문에, 세정시의 분해 및 조립에 시간을 요한다. 또한, 다이어프램 밸브(4) 및 플러그 밸브(5)는 모두 기포가 걸리기 쉬운 간극이 많은 구성이다. 따라서, 세정 후의 재사용시에는 기포를 확실하게 제거할 필요가 있으므로, 그 준비 작업에 시간을 요한다는 문제점이 있다. Moreover, since the diaphragm valve 4 and the plug valve 5 are complicated in structure, it takes time to disassemble and assemble at the time of washing | cleaning. In addition, the diaphragm valve 4 and the plug valve 5 are the structures with many clearance gaps which are easy to catch air bubbles. Therefore, when reusing after washing, it is necessary to reliably remove the air bubbles, and thus there is a problem that time is required for the preparation work.

본 발명의 목적은 구조가 간단하고, 기포의 발생을 억제할 수 있는 디스펜서 장치를 제공하는 데 있다. An object of the present invention is to provide a dispenser device having a simple structure and capable of suppressing the generation of bubbles.

액제를 저류하는 배럴과, 상기 배럴로부터 시린지로의 상기 액제의 공급을 제어하는 공급 밸브와, 상기 시린지로부터 노즐로의 상기 액제의 공급을 제어하는 선단부 밸브와, 상기 선단부 밸브의 개로시에 상기 시린지 내의 액제를 상기 노즐을 향해 압박하는 플런저를 구비한 디스펜서 장치에 있어서, 상기 공급 밸브 및 선단부 밸브는 가요성을 구비한 튜브를 협착하거나 혹은 협착을 해제함으로써, 상기 액제의 유로를 개폐하는 핀치 밸브로 구성하였다. A barrel for storing liquid, a supply valve for controlling the supply of the liquid from the barrel to the syringe, a front end valve for controlling the supply of the liquid from the syringe to the nozzle, and the syringe at the time of opening of the tip valve. A dispenser device having a plunger for urging a liquid solution into the nozzle, wherein the supply valve and the front end valve are pinch valves that open and close the flow path of the liquid solution by narrowing or releasing the tube having flexibility. Configured.

또한, 상기 튜브는 상기 배럴과 상기 시린지 사이를 접속하는 제1 튜브와, 상기 시린지와 상기 노즐을 접속하는 제2 튜브로 구성하고, 상기 핀치 밸브는 상기 제1 튜브를 협착하는 제1 핀치 밸브와, 상기 제2 튜브를 협착하는 제2 핀치 밸브로 구성하였다. The tube may include a first tube for connecting the barrel and the syringe, a second tube for connecting the syringe and the nozzle, and the pinch valve may include a first pinch valve for narrowing the first tube. It consisted of the 2nd pinch valve which clamps the said 2nd tube.

또, 상기 제1 핀치 밸브는 상기 시린지의 근방, 즉 상기 시린지로부터 10 ㎜ 이내의 위치에서 상기 제1 튜브를 협착 가능하게 하였다. The first pinch valve made it possible to narrow the first tube in the vicinity of the syringe, that is, within a position of 10 mm from the syringe.

또한, 상기 제1 및 제2 튜브를 병설하여 상기 제1 및 제2 핀치 밸브를 공통의 액튜에이터부에서 구동하는 구성으로 하였다. Moreover, the said 1st and 2nd tube was provided in parallel and it was set as the structure which drives the said 1st and 2nd pinch valve by a common actuator part.

(제1 실시 형태) (1st embodiment)

이하, 본 발명을 구체화한 제1 실시 형태를 도1 및 도2에 따라서 설명한다. 상기 종래예와 동일 구성 부분은 동일 부호를 붙여 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, 1st Embodiment which actualized this invention is described according to FIG. The same components as in the conventional example will be described with the same reference numerals.

배럴(1) 내에는, 예를 들어 액정 등의 액제가 저류되고, 그 액제는 제1 튜브(11)를 거쳐서 시린지(3)로 공급된다. 상기 제1 튜브(11)는 가요성을 구비하고 또한 액제에 대해 내식성을 구비한 합성 고무로 형성되고, 예를 들어 실리콘 고무 등으로 형성된다. 그리고, 그 직경은 외경이 3 ㎜, 내경이 1 ㎜이다. In the barrel 1, for example, a liquid agent such as liquid crystal is stored, and the liquid agent is supplied to the syringe 3 via the first tube 11. The said 1st tube 11 is formed with the synthetic rubber which has flexibility and corrosion resistance with respect to liquid, For example, it is formed with silicone rubber etc. The outer diameter is 3 mm and the inner diameter is 1 mm.

상기 제1 튜브(11)의 양단부는, 각각 이음부(12a, 12b)를 거쳐서 상기 배럴(1) 및 시린지(3)에 접속되어 있다. Both ends of the first tube 11 are connected to the barrel 1 and the syringe 3 via joints 12a and 12b, respectively.

상기 이음부(12b)의 근방에는, 제1 핀치 밸브(13a)가 공급 밸브로서 배치되어 있다. 이 핀치 밸브(13a)는 액튜에이터부(14)로부터 아암(15)이 돌출되고, 그 아암(15)으로부터 3개의 협착 부재(16a 내지 16c)가 나란히 돌출되어 있다. In the vicinity of the joint part 12b, the 1st pinch valve 13a is arrange | positioned as a supply valve. As for this pinch valve 13a, the arm 15 protrudes from the actuator part 14, and three clamping members 16a-16c protrude side by side from the arm 15. As shown in FIG.

상기 협착 부재(16a 내지 16c) 중, 양측의 협착 부재(16a, 16c)는 아암(15)에 대해 고정되고, 중앙의 협착 부재(16b)는 협착 부재(16a) 혹은 협착 부재(16c)를 향해 이동 가능하다. 그리고, 액튜에이터부(14)는 제어부(도시하지 않음)에 의해 그 동작이 제어되고, 협착 부재(16b)는 그 액튜에이터부(14)에 의해 구동된다. Of the confinement members 16a to 16c, the constriction members 16a and 16c on both sides are fixed to the arm 15, and the central constriction member 16b is directed toward the constriction member 16a or the constriction member 16c. It is movable. And the actuator part 14 is controlled by the control part (not shown), and the clamping member 16b is driven by the actuator part 14. As shown in FIG.

상기 제1 튜브(11)는, 도2에 도시한 바와 같이 협착 부재(16a, 16b) 사이에 삽통되어 있다. 그리고, 협착 부재(16b)가 협착 부재(16a)를 향해 이동하면, 제1 튜브(11)가 양 협착 부재(16a, 16b) 사이에 협착되어 액제의 유로가 차단되도록 되어 있다. 따라서, 제1 튜브(11)가 양 협착 부재(16a, 16b) 사이에 협착되지 않을 때, 플런저(7)가 상승하면 상기 배럴(1)로부터 시린지(3)로 액제가 공급된다. The first tube 11 is inserted between the constricting members 16a and 16b as shown in FIG. When the constricting member 16b moves toward the constricting member 16a, the first tube 11 is constricted between both the constricting members 16a and 16b so that the flow path of the liquid agent is blocked. Therefore, when the first tube 11 is not caught between both the narrowing members 16a and 16b, when the plunger 7 rises, the liquid is supplied from the barrel 1 to the syringe 3.

또한, 양 협착 부재(16a, 16b)는 이음부(12b)로부터 10 ㎜ 이내의 위치에서, 즉 시린지(3)의 근방에서 제1 튜브(11)를 협착하도록 배치되어 있다. In addition, both the narrowing members 16a and 16b are arrange | positioned so that the 1st tube 11 may be clamped in the position within 10 mm from the joint part 12b, ie, in the vicinity of the syringe 3.

상기 시린지(3)는, 상기 제1 튜브(11)와 동일한 구성의 제2 튜브(17)를 거쳐서 노즐(6)에 접속된다. 상기 제2 튜브(17)의 양단부는, 각각 이음부(18a, 18b)를 거쳐서 시린지(3) 및 노즐(6)에 접속된다. The syringe 3 is connected to the nozzle 6 via a second tube 17 having the same configuration as the first tube 11. Both ends of the second tube 17 are connected to the syringe 3 and the nozzle 6 via joints 18a and 18b, respectively.

상기 이음부(18a, 18b) 사이에는, 제2 핀치 밸브(13b)가 선단부 밸브로서 배치되어 있다. 제2 핀치 밸브(13b)는 상기 제1 핀치 밸브(13a)와 동일한 구성이다. 즉, 제2 핀치 밸브(13b)는 제어부에 의해 제어되어, 이음부(18a)로부터 10 ㎜ 이내의 위치에서 제2 튜브(17)를 협착 가능하게 되어 있다. Between the said coupling parts 18a and 18b, the 2nd pinch valve 13b is arrange | positioned as a front end valve. The 2nd pinch valve 13b is the same structure as the said 1st pinch valve 13a. That is, the 2nd pinch valve 13b is controlled by a control part, and the 2nd tube 17 can be narrowed in the position within 10 mm from the joint part 18a.

상기 시린지(3)에는 플런저(7)가 삽입되고, 그 플런저(7)의 압박 조작에 의해 시린지(3) 내에 저류된 액제가 노즐(6)로부터 적하된다. The plunger 7 is inserted into the syringe 3, and the liquid stored in the syringe 3 by the pressing operation of the plunger 7 is dripped from the nozzle 6.

상기한 바와 같이 구성된 디스펜서 장치에서는, 제1 핀치 밸브(13a)에 의해 제1 튜브(11)가 개로되고, 제2 핀치 밸브(13b)에 의해 제2 튜브(17)가 폐로되어 플런저(7)가 상승하면, 시린지(3) 내에 소량의 액제가 저류된다. In the dispenser device configured as described above, the first tube 11 is opened by the first pinch valve 13a, the second tube 17 is closed by the second pinch valve 13b, and the plunger 7 is closed. When is raised, a small amount of liquid is stored in the syringe 3.

계속해서, 제1 핀치 밸브(13a)로 제1 튜브(11)를 폐로하고, 제2 핀치 밸브(13b)로 제2 튜브(17)를 개로하고, 이 상태에서 플런저(7)로 시린지(3) 내의 액제를 압박하면, 노즐(6)로부터 액제가 일정 속도로 적하된다. Subsequently, the first tube 11 is closed with the first pinch valve 13a, the second tube 17 is opened with the second pinch valve 13b, and the syringe 3 is opened with the plunger 7 in this state. When the liquid agent in) is pressed, the liquid agent is dropped from the nozzle 6 at a constant speed.

상기한 바와 같이 구성된 디스펜서 장치에서는, 다음에 나타내는 작용 효과를 얻을 수 있다. In the dispenser device configured as described above, the following operational effects can be obtained.

(1) 공급 밸브 및 선단부 밸브로서 동작하는 제1 및 제2 핀치 밸브(13a, 13b)는, 제1 및 제2 튜브(11, 17)를 협착할 뿐인 간단한 구성으로 액제의 유로를 차단할 수 있다. 따라서, 제1 및 제2 핀치 밸브(13a, 13b)에 의한 유로의 개폐 조작시에 있어서의 기포의 발생을 방지할 수 있다. (1) The 1st and 2nd pinch valves 13a and 13b which operate as a supply valve and a front-end valve can block the flow path of a liquid liquid by the simple structure which only clamps the 1st and 2nd tubes 11 and 17. FIG. . Therefore, generation | occurrence | production of the bubble at the time of opening / closing operation of the flow path by the 1st and 2nd pinch valves 13a and 13b can be prevented.

(2) 공급 밸브 및 선단부 밸브가 간단한 구성이므로, 세정 시간 및 세정시의 분해 혹은 조립 시간을 단축할 수 있다. (2) Since the supply valve and the tip valve are simple in structure, the cleaning time and disassembly or assembly time at the time of cleaning can be shortened.

(3) 공급 밸브 및 선단부 밸브가 간단한 구성이므로, 기포가 걸리기 쉬운 간극을 삭감할 수 있다. 따라서, 세정 후의 사용 재개까지의 준비 시간을 삭감할 수 있다. 또, 휘발성이 높고 기포가 발생하기 쉬운 액제를 사용해도 안정되게 적하시킬 수 있다. (3) Since the supply valve and the tip valve are simple in structure, the clearance which is easy to catch a bubble can be reduced. Therefore, the preparation time until resumption of use after washing can be reduced. Moreover, even if it uses the liquid substance which has high volatility and is easy to generate | occur | produce a bubble, it can stably drip.

(4) 제1 핀치 밸브(13a)는 이음부(12b)로부터 10 ㎜ 정도의 위치에서 제1 튜브(11)를 협착하게 하였다. 이러한 구성에 의해, 플런저(7)에 의한 액제의 압박 조작시에 압박력에 의한 제1 튜브(11)의 팽창을 가능한 한 억제하여, 제1 튜브(11)에 의한 압박력의 흡수를 억제하고 있다. 따라서, 플런저(7)의 압박 조작에 의한 액제의 적하량을 안정화시킬 수 있다. (4) The first pinch valve 13a squeezed the first tube 11 at a position about 10 mm from the joint 12b. By this structure, the expansion of the 1st tube 11 by the press force at the time of the press operation of the liquid agent by the plunger 7 is suppressed as much as possible, and the absorption of the press force by the 1st tube 11 is suppressed. Therefore, the dripping amount of the liquid agent by the press operation of the plunger 7 can be stabilized.

(5) 배럴(1)로부터 시린지(3)로의 액제 공급 시간이 노즐(6)로부터 액제를 적하시키는 토출 시간보다 긴 경우에는, 제1 핀치 밸브(13a)를 노멀 오픈 타입으로 하고, 제2 핀치 밸브(13b)를 노멀 클로우즈 타입으로 한다. 또한, 배럴(1)로부터 시린지(3)로의 액제 공급 시간이 노즐(6)로부터 액제를 적하하는 토출 시간보다 짧은 경우에는, 제1 핀치 밸브(13a)를 노멀 클로우즈 타입으로 하고, 제2 핀치 밸브(13b)를 노멀 오픈 타입으로 한다. 이러한 구성으로 함으로써, 제1 및 제2 핀치 밸브(13a, 13b)로의 통전 시간을 짧게 하고, 양 핀치 밸브(13a, 13b)의 발열을 억제하여 소비 전력을 저감할 수 있다. (5) When the liquid supply time from the barrel 1 to the syringe 3 is longer than the ejection time for dropping the liquid from the nozzle 6, the first pinch valve 13a is a normal open type, and the second pinch The valve 13b is a normal closed type. In addition, when the liquid supply time from the barrel 1 to the syringe 3 is shorter than the discharge time which dripping liquid from the nozzle 6, the 1st pinch valve 13a is set as a normal closed type, and the 2nd pinch valve Let 13b be a normal open type. By setting it as such a structure, the electricity supply time to the 1st and 2nd pinch valves 13a and 13b can be shortened, heat_generation | fever of both pinch valves 13a and 13b can be suppressed, and power consumption can be reduced.

(제2 실시 형태) (2nd embodiment)

도3 및 도4는 제2 실시 형태를 도시한다. 본 실시 형태는, 상기 제1 실시 형태의 공급 밸브 및 선단부 밸브, 즉 제1 및 제2 핀치 밸브(13a, 13b)를 공통의 1개의 핀치 밸브(19)로 구성한 것이다. 3 and 4 show a second embodiment. In this embodiment, the supply valve and the front end valve of the first embodiment, that is, the first and second pinch valves 13a and 13b are configured by one common pinch valve 19.

즉, 제1 튜브(11)의 이음부(12b)측을 제2 튜브(17)에 병설한다. 그리고, 도4에 도시한 바와 같이 제1 튜브(11)를 핀치 밸브(19)의 협착 부재(16a, 16b) 사이에 삽통하고, 제2 튜브(17)를 협착 부재(16b, 16c) 사이에 삽통한다. 핀치 밸브(19)는, 협착 부재(16b)가 협착 부재(16a, 16b) 사이의 중간 위치와 협착 부재(16a)측 및 협착 부재(16c)측에 각각 구동 가능하게 한다. That is, the joint part 12b side of the 1st tube 11 is attached to the 2nd tube 17 side by side. And as shown in FIG. 4, the 1st tube 11 is inserted between the clamping members 16a and 16b of the pinch valve 19, and the 2nd tube 17 is clamped between the clamping members 16b and 16c. Shovel. The pinch valve 19 enables the clamping member 16b to be driven to the intermediate position between the clamping members 16a and 16b, the clamping member 16a side, and the clamping member 16c side, respectively.

이와 같이 형성된 디스펜서 장치에서는, 상기 제1 실시 형태에서 얻어진 작용 효과 외에, 다음에 나타내는 작용 효과를 얻을 수 있다. In the dispenser apparatus thus formed, in addition to the effect obtained in the first embodiment, the following effect can be obtained.

(1) 공급 밸브 및 선단부 밸브를 1개의 핀치 밸브(19)로 구성할 수 있으므로, 부품 개수의 삭감 및 부품 비용의 저감을 도모할 수 있다. (1) Since the supply valve and the front end valve can be constituted by one pinch valve 19, the number of parts and the cost of parts can be reduced.

상기 각 실시 형태는, 이하의 형태로 실시해도 된다. Each said embodiment may be implemented with the following forms.

제1 및 제2 튜브(11, 17)는 가요성을 구비하고, 또한 액제에 대해 내식성을 구비한 재질이면 상기 이외의 재질이라도 좋다. The first and second tubes 11 and 17 may be materials other than the above as long as they are flexible and have corrosion resistance to the liquid.

본 발명에 따르면, 구조가 간단하고 기포의 발생을 억제할 수 있는 디스펜서 장치를 제공할 수 있다. According to the present invention, it is possible to provide a dispenser device having a simple structure and capable of suppressing the generation of bubbles.

도1은 제1 실시 형태를 도시하는 구성도. 1 is a configuration diagram showing a first embodiment.

도2는 제1 실시 형태의 핀치 밸브를 도시하는 설명도. 2 is an explanatory diagram showing a pinch valve of a first embodiment;

도3은 제2 실시 형태를 도시하는 구성도. 3 is a configuration diagram showing a second embodiment;

도4는 제2 실시 형태의 핀치 밸브를 도시하는 설명도. 4 is an explanatory diagram showing a pinch valve of a second embodiment;

도5는 종래예를 도시하는 구성도. 5 is a configuration diagram showing a conventional example.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1 : 배럴1: barrel

3 : 시린지3: syringe

6 : 노즐6: nozzle

7 : 플런저7: plunger

11 : 제1 튜브11: first tube

13a : 제1 핀치 밸브13a: first pinch valve

13b : 제2 핀치 밸브13b: second pinch valve

17 : 제2 튜브17: second tube

Claims (7)

액제를 저류하는 배럴과, A barrel for storing the liquid, 상기 배럴로부터 시린지로의 상기 액제의 공급을 제어하는 공급 밸브와, A supply valve for controlling the supply of the liquid agent from the barrel to the syringe; 상기 시린지로부터 노즐로의 상기 액제의 공급을 제어하는 선단부 밸브와, A tip valve for controlling the supply of the liquid agent from the syringe to the nozzle, 상기 선단부 밸브의 개로시에, 상기 시린지 내의 액제를 상기 노즐을 향해 압박하는 플런저를 구비한 디스펜서 장치에 있어서, In the dispenser device provided with the plunger which presses the liquid agent in the said syringe toward the said nozzle at the time of the opening of the said front-end valve, 상기 공급 밸브 및 선단부 밸브는 가요성을 구비한 튜브를 협착하거나 혹은 협착을 해제함으로써, 상기 액제의 유로를 개폐하는 핀치 밸브로 구성한 것을 특징으로 하는 디스펜서 장치. And the supply valve and the front end valve are configured as pinch valves that open and close the fluid flow path by narrowing or releasing the tube having flexibility. 제1항에 있어서, 상기 튜브는 상기 배럴과 상기 시린지 사이를 접속하는 제1 튜브와, 상기 시린지와 상기 노즐을 접속하는 제2 튜브로 구성하고, 상기 핀치 밸브는 상기 제1 튜브를 협착하는 제1 핀치 밸브와 상기 제2 튜브를 협착하는 제2 핀치 밸브로 구성한 것을 특징으로 하는 디스펜서 장치. 2. The tube of claim 1, wherein the tube comprises a first tube connecting the barrel and the syringe, and a second tube connecting the syringe and the nozzle, wherein the pinch valve narrows the first tube. A dispenser device comprising one pinch valve and a second pinch valve for narrowing the second tube. 제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2 핀치 밸브는 상기 시린지의 근방에 있어서, 상기 제1 및 제2 튜브를 협착 가능하게 한 것을 특징으로 하는 디스펜서 장치. The dispenser device according to claim 2, wherein the first and second pinch valves enable the first and second tubes to be narrowed in the vicinity of the syringe. 제3항에 있어서, 상기 제1 및 제2 핀치 밸브는 상기 시린지로부터 1O ㎜ 이내의 위치에서 상기 제1 및 제2 튜브를 협착 가능하게 한 것을 특징으로 하는 디스펜서 장치. 4. The dispenser device of claim 3, wherein the first and second pinch valves enable the first and second tubes to be narrowed at a position within 10 mm from the syringe. 제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2 튜브는 테플론계 고무 혹은 실리콘 고무로 구성한 것을 특징으로 하는 디스펜서 장치. The dispenser device of claim 2, wherein the first and second tubes are made of Teflon-based rubber or silicone rubber. 제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2 핀치 밸브는 상기 배럴로부터 시린지로의 액제의 공급 시간이 상기 시린지로부터 노즐로의 액제 공급 시간보다 길 때, 상기 제1 핀치 밸브를 노멀 오픈 타입으로 하는 동시에 제2 핀치 밸브를 노멀 클로우즈 타입으로 하고, 상기 배럴로부터 시린지로의 액제 공급 시간이 상기 시린지로부터 노즐로의 액제의 공급 시간보다 짧을 때, 상기 제1 핀치 밸브를 노멀 클로우즈 타입으로 하는 동시에 제2 핀치 밸브를 노멀 오픈 타입으로 하는 것을 특징으로 하는 디스펜서 장치. The first and second pinch valves of claim 2, wherein the first and second pinch valves are configured to be normally open when the liquid supply time from the barrel to the syringe is longer than the liquid supply time from the syringe to the nozzle. At the same time, the second pinch valve is a normal closed type, and when the liquid supply time from the barrel to the syringe is shorter than the supply time of the liquid from the syringe to the nozzle, the second pinch valve is normally closed and the second A dispenser device comprising a pinch valve as a normal open type. 제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2 튜브를 병설하여 상기 제1 및 제2 핀치 밸브를 공통의 액튜에이터부에서 구동하는 것을 특징으로 하는 디스펜서 장치.The dispenser device of claim 2, wherein the first and second pinch valves are connected together to drive the first and second pinch valves in a common actuator unit.
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5234709B2 (en) * 2006-09-29 2013-07-10 株式会社アルバック Liquid agent dropping device and defoaming method for liquid agent dropping device
JP5203685B2 (en) * 2007-11-30 2013-06-05 株式会社アルバック Liquid dropping device and substrate processing apparatus
KR102191782B1 (en) * 2019-07-19 2020-12-16 주식회사 성우하이텍 Adhesive applicator

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0536741A (en) * 1991-07-30 1993-02-12 Disco Abrasive Syst Ltd Resin sealing device for semiconductor chip
JP2706023B2 (en) * 1992-10-13 1998-01-28 武蔵エンジニアリング株式会社 Liquid ejection device
JP2003126749A (en) * 2001-10-25 2003-05-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd Coating apparatus and coating method

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