KR20050038847A - Circuit of generating high voltage in a semiconductor device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 소자의 고전압 생성 회로에 관한 것으로, 다수의 펌프를 포함하는 펌핑회로에 있어서 레귤레이션 동작동안 펌프를 순차적으로 인에이블 시켜 리플 발생을 줄일 수 있으며, 이로 인해 전력 소비를 줄일 수 있는 반도체 소자의 고전압 생성 회로를 제공한다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a high voltage generation circuit of a semiconductor device. In a pumping circuit including a plurality of pumps, a ripple may be reduced by sequentially enabling the pumps during a regulation operation, thereby reducing power consumption. To provide a high voltage generation circuit.

Description

반도체 소자의 고전압 생성 회로{Circuit of generating high voltage in a semiconductor device} Circuit of generating high voltage in a semiconductor device

본 발명은 반도체 소자의 고전압 생성 회로에 관한 것으로, 특히 펌프의 레귤레이션 동안 펌프 출력의 리플을 방지할 수 있는 반도체 소자의 고전압 생성 회로에 관한 것이다. The present invention relates to a high voltage generation circuit of a semiconductor device, and more particularly to a high voltage generation circuit of a semiconductor device that can prevent the ripple of the pump output during the regulation of the pump.

낸드 플래시의 펌핑동작 후 레귤레이션동안 각 단의 펌프가 동시에 인에이블 되어 리플 현상이 발생하게 되어, 이로 인한 커런트 소모가 크게 발생하는 문제점이 대두되었다. After the pumping operation of the NAND flash, the pumps of each stage are simultaneously enabled during the regulation, causing a ripple phenomenon, resulting in a large current consumption.

도 1은 종래의 고전압 생성 회로에 관한 블록도이다.1 is a block diagram of a conventional high voltage generation circuit.

도 2는 종래의 고전압 생성 회로의 출력을 나타낸 그래프이다.2 is a graph illustrating an output of a conventional high voltage generation circuit.

도 1 및 도 2를 참조하면, 종래의 고전압 생성 회로는 밴드갭 전압(Vbg)과 외부의 기준전압(Vref)에 따라 일정한 인에이블 신호(EN)를 출력하는 레귤레이터(10)와, 인에이블 신호(EN)와 클럭 신호(CLK)의 로직 상태에 따라 제어 클럭 신호(CCLK)를 출력하는 다수의 로직부(20)와, 제어 클럭 신호(CCLK)에 따라 펌핑전압(Vpumpout)을 생성하기 다수의 펌프(30)를 포함한다. Referring to FIGS. 1 and 2, a conventional high voltage generation circuit includes a regulator 10 that outputs a constant enable signal EN according to a band gap voltage Vbg and an external reference voltage Vref, and an enable signal. A plurality of logic units 20 for outputting the control clock signal CCLK according to the logic state of the EN and the clock signal CLK, and a plurality of pumping voltages Vpumpout according to the control clock signal CCLK. Pump 30.

종래의 고전압 생성 회로의 동작을 간략히 설명하면, 레귤레이터(10)는 외부의 밴드갭 전압(Vbg)과 기준 전압(Vref)을 레귤레이션하여 일정한 인에이블 신호(EN)를 생성한다. 다수의 로직부(20) 각각은 인에이블 신호(EN)와 클럭 신호(CLK)를 동시에 입력받아 동일한 주기의 제어 클럭 신호(CCLK)를 각기 생성한다. 펌핑전압(Vpumpout)을 생성하기 위한 펌프(30)는 각기 동일한 로직부(20)의 출력인 제어 클럭 신호(CCLK)를 인가 받아 동시에 동작하여 펌핑전압(Vpumpout)을 외부로 전송하게 된다. 하지만, 다수의 펌프(30)가 동시에 인에이블 되기 때문에 이로 인해 펌프의 출력인 펌핑 전압(Vpumpout)에 리플 현상이 발생하게 되는 문제점이 있다. The operation of the conventional high voltage generation circuit will be briefly described. The regulator 10 regulates an external band gap voltage Vbg and a reference voltage Vref to generate a constant enable signal EN. Each of the plurality of logic units 20 receives the enable signal EN and the clock signal CLK at the same time to generate the control clock signal CCLK of the same period. The pump 30 for generating the pumping voltage Vpumpout is simultaneously operated by receiving the control clock signal CCLK, which is the output of the same logic unit 20, to transmit the pumping voltage Vpumpout to the outside. However, since a plurality of pumps 30 are enabled at the same time, there is a problem that a ripple phenomenon occurs in the pumping voltage (Vpumpout) output of the pump.

따라서, 본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 레귤레이션 동안 펌프를 순차적으로 인에이블 시켜 리플 발생을 줄일 수 있는 반도체 소자의 고전압 생성 회로를 제공한다. Accordingly, the present invention provides a high voltage generation circuit of a semiconductor device that can reduce the occurrence of ripple by sequentially enabling the pump during regulation in order to solve the above problems.

본 발명에 따른 밴드갭 전압과 기준전압에 따라 일정한 인에이블 신호를 출력하는 레귤레이터과, 상기 인에이블 신호를 지연시켜 다수의 지연 신호를 출력하는 지연수단과, 상기 인에이블 신호, 상기 다수의 지연 신호 및 클럭 신호의 로직 조합을 통해 다수의 제어 클럭 신호를 출력하는 로직수단 및 상기 다수의 제어 클럭 신호 각각에 따라 각기 지연되어 동작하는 다수의 펌프에 의해 펌핑전압을 출력하는 펌프수단을 포함하는 반도체 소자의 고전압 생성 회로를 제공한다. A regulator for outputting a constant enable signal according to a bandgap voltage and a reference voltage according to the present invention, delay means for delaying the enable signal and outputting a plurality of delay signals, the enable signal, the plurality of delay signals, A logic means for outputting a plurality of control clock signals through a logic combination of clock signals and a pump means for outputting a pumping voltage by a plurality of pumps that are respectively delayed and operated according to each of the plurality of control clock signals. Provide a high voltage generation circuit.

또한, 인에이블 신호를 출력하는 레귤레이터와, 펌프 전압을 생성하는 제 1 내지 제 6 펌프를 포함하는 반도체 소자의 고전압 생성 회로에 있어서, 상기 인에이블 신호와 클럭 신호에 따라 상기 제 1 펌프를 제어하는 제 1 클럭 제어신호를 생성하는 제 1 로직부와, 상기 인에이블 신호를 지연시켜 제 1 지연신호를 인가하는 제 1 지연부와, 상기 제 1 지연신호와 상기 클럭 신호에 따라 상기 제 2 펌프를 제어하는 제 2 클럭 제어신호를 생성하는 제 2 로직부와, 상기 제 1 지연신호를 지연시켜 제 2 지연신호를 인가하는 제 2 지연부와, 상기 제 2 지연신호와 상기 클럭 신호에 따라 상기 제 3 펌프를 제어하는 제 3 클럭 제어신호를 생성하는 제 3 로직부와, 상기 제 2 지연신호를 지연시켜 제 3 지연신호를 인가하는 제 3 지연부와, 상기 제 3 지연신호와 상기 클럭 신호에 따라 상기 제 4 펌프를 제어하는 제 4 클럭 제어신호를 생성하는 제 4 로직부와, 상기 제 3 지연신호를 지연시켜 제 4 지연신호를 인가하는 제 4 지연부와, 상기 제 4 지연신호와 상기 클럭 신호에 따라 상기 제 5 펌프를 제어하는 제 5 클럭 제어신호를 생성하는 제 5 로직부와, 상기 제 4 지연신호를 지연시켜 제 5 지연신호를 인가하는 제 5 지연부 및 상기 제 5 지연신호와 상기 클럭 신호에 따라 상기 제 6 펌프를 제어하는 제 6 클럭 제어신호를 생성하는 제 6 로직부를 포함하는 반도체 소자의 고전압 생성 회로를 제공한다. A high voltage generation circuit of a semiconductor device comprising a regulator for outputting an enable signal and first to sixth pumps for generating a pump voltage, wherein the first pump is controlled according to the enable signal and a clock signal. A first logic unit generating a first clock control signal, a first delay unit delaying the enable signal to apply a first delay signal, and a second pump according to the first delay signal and the clock signal. A second logic section for generating a second clock control signal to control; a second delay section for delaying the first delay signal to apply a second delay signal; and the second delay section according to the second delay signal and the clock signal. A third logic section for generating a third clock control signal for controlling a third pump, a third delay section for delaying the second delay signal and applying a third delay signal, the third delay signal and the clock signal; A fourth logic section for generating a fourth clock control signal for controlling the fourth pump according to the call; a fourth delay section for applying a fourth delay signal by delaying the third delay signal; and the fourth delay signal. And a fifth logic unit for generating a fifth clock control signal for controlling the fifth pump according to the clock signal, a fifth delay unit for delaying the fourth delay signal, and applying a fifth delay signal; A high voltage generation circuit of a semiconductor device includes a sixth logic unit configured to generate a sixth clock control signal for controlling the sixth pump according to a delay signal and the clock signal.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described an embodiment of the present invention in more detail. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various forms, and only the embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention, and to those skilled in the art to fully understand the scope of the invention. It is provided to inform you. Like numbers refer to like elements in the figures.

도 3은 본 발명에 따른 반도체 소자의 고전압 생성 회로의 블록도이다. 3 is a block diagram of a high voltage generation circuit of a semiconductor device according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 고전압 생성 회로의 출력을 나타낸 그래프이다.4 is a graph showing the output of the high voltage generation circuit according to the present invention.

도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 고전압 생성 회로는 외부의 밴드갭 전압(Vbg)과 기준전압(Vref)에 따라 일정한 인에이블 신호(EN)를 출력하는 레귤레이터(100)와, 인에이블 신호(EN)를 지연시켜 다수의 지연 신호(DEN<0:N>)를 출력하는 지연수단(200)과, 인에이블 신호(EN), 다수의 지연 신호(DEN<0:N>) 및 클럭 신호(CLK)의 로직 조합을 통해 다수의 제어 클럭 신호(CCLK<0:M>)를 출력하는 로직수단(300)과, 다수의 제어 클럭 신호(CCLK<0:M>)에 따라 펌핑전압(Vpumpout)을 출력하는 펌프수단(400)을 포함한다.3 and 4, the high voltage generation circuit of the present invention includes a regulator 100 that outputs a constant enable signal EN according to an external band gap voltage Vbg and a reference voltage Vref. A delay means 200 for delaying the signal EN and outputting a plurality of delay signals DEN <0: N>, an enable signal EN, a plurality of delay signals DEN <0: N>, and a clock. Logic means 300 for outputting a plurality of control clock signals CCLK <0: M> through a logic combination of the signals CLK, and pumping voltages according to the plurality of control clock signals CCLK <0: M>. And pump means (400) for outputting Vpumpout.

지연수단(200)은 레귤레이터(100)의 출력단자와 지연수단(200)의 제 5 출력단자 사이에 직렬로 연결된 제 1 내지 제 5 지연부(210 내지 250)를 포함한다. 제 1 지연부(210)는 레귤레이터(110)의 출력단자와 지연수단(200)의 제 1 출력단자 사이에 접속되어 인에이블 신호(EN)를 지연하여 제 1 지연 신호(DEN1)를 출력한다. 제 2 지연부(220)는 제 1 출력단자와 제 2 출력단자 사이에 접속되어 제 1 지연 신호(DEN1)를 다시 지연하여 제 2 지연신호(DEN2)를 출력한다. 제 3 지연부(230)는 제 2 출력단자와 제 3 출력단자 사이에 접속되어 제 2 지연신호(DEN2)를 다시 지연하여 제 3 지연신호(DEN3)를 출력한다. 제 4 지연부(240)는 제 3 출력단자와 제 4 출력단자 사이에 접속되어 제 3 지연신호(DEN3)를 다시 지연하여 제 4 지연신호(DEN4)를 출력한다. 제 5 지연부(250)는 제 4 출력단자와 제 5 출력단자 사이에 접속되어 제 4 지연신호(DEN4)를 다시 지연하여 제 5 지연신호(DEN5)를 출력한다. The delay means 200 includes first to fifth delay parts 210 to 250 connected in series between the output terminal of the regulator 100 and the fifth output terminal of the delay means 200. The first delay unit 210 is connected between the output terminal of the regulator 110 and the first output terminal of the delay means 200 to delay the enable signal EN and output the first delay signal DEN1. The second delay unit 220 is connected between the first output terminal and the second output terminal to delay the first delay signal DEN1 again and output the second delay signal DEN2. The third delay unit 230 is connected between the second output terminal and the third output terminal to delay the second delay signal DEN2 again and output the third delay signal DEN3. The fourth delay unit 240 is connected between the third output terminal and the fourth output terminal to delay the third delay signal DEN3 again and output the fourth delay signal DEN4. The fifth delay unit 250 is connected between the fourth output terminal and the fifth output terminal to delay the fourth delay signal DEN4 again and output the fifth delay signal DEN5.

로직 수단(300)은 인에이블 신호(EN) 및 클럭 신호(CLK) 입력단자와 로직 수단(300)의 제 1 출력 단자 사이에 접속되어 인에이블 신호(EN) 및 클럭 신호(CLK)를 로직 조합하여 제 1 제어 클럭 신호(CCLK1)를 출력하는 제 1 앤드 게이트(310)와, 클럭 신호 입력단자 및 로직 수단(300)의 제 1 내지 제 5 지연신호 입력단자와, 제 2 내지 제 6 출력단자 각각에 직렬로 접속된 제 2 내지 제 6 앤드 게이트(320 내지 360)를 포함한다. 제 2 앤드 게이트(320)는 클럭 신호(CLK)와 제 1 지연신호(DEN1)에 따라 제 2 제어 클럭 신호(CCLK2)를 출력한다. 제 3 앤드 게이트(330)는 클럭 신호(CLK)와 제 2 지연신호(DEN2)에 따라 제 3 제어 클럭 신호(CCLK3)를 출력한다. 제 4 앤드 게이트(340)는 클럭 신호(CLK)와 제 3 지연신호(DEN3)에 따라 제 4 제어 클럭 신호(CCLK4)를 출력한다. 제 5 앤드 게이트(350)는 클럭 신호(CLK)와 제 4 지연신호(DEN4)에 따라 제 5 제어 클럭 신호(CCLK5)를 출력한다. 제 6 앤드 게이트(360)는 클럭 신호(CLK)와 제 5 지연신호(DEN5)에 따라 제 6 제어 클럭 신호(CCLK6)를 출력한다. The logic means 300 is connected between the enable signal EN and the clock signal CLK input terminal and the first output terminal of the logic means 300 to logically combine the enable signal EN and the clock signal CLK. The first AND gate 310 to output the first control clock signal CCLK1, the first to fifth delay signal input terminals of the clock signal input terminal and the logic unit 300, and the second to sixth output terminals. Each of the second to sixth end gates 320 to 360 connected in series. The second AND gate 320 outputs the second control clock signal CCLK2 according to the clock signal CLK and the first delay signal DEN1. The third and gate 330 outputs the third control clock signal CCLK3 according to the clock signal CLK and the second delay signal DEN2. The fourth AND gate 340 outputs the fourth control clock signal CCLK4 according to the clock signal CLK and the third delay signal DEN3. The fifth and gate 350 outputs the fifth control clock signal CCLK5 according to the clock signal CLK and the fourth delay signal DEN4. The sixth AND gate 360 outputs the sixth control clock signal CCLK6 according to the clock signal CLK and the fifth delay signal DEN5.

펌프수단(400)은 제 1 내지 제 6 제어 클럭 신호(CCLK1 내지 CCLK6) 입력단자와 펌프수단(400)의 출력단자 사이에 각기 접속되어 소정의 펌핑 전압을 출력하는 제 1 내지 제 6 펌프(410 내지 460)를 포함한다. The pump means 400 is connected between an input terminal of the first to sixth control clock signals CCLK1 to CCLK6 and an output terminal of the pump means 400, respectively, and outputs a predetermined pumping voltage. To 460).

지연수단(200)내의 다수의 지연부(210 내지 240)는 클럭 신호(CLK)의 한주기를 펌프 수단(400) 내의 펌프의 개수만큼 나눈 값만큼 신호를 지연시키는 것이 바람직하다. 예들 들어 펌프수단(400)의 펌프가 6개 이면, 지연부(210 내지 240) 각각은 한클럭의 1/6만큼 지연시킨다. 이로써, 클럭의 한주기 내에서 순차적으로 펌프수단 내의 펌프들을 구동시킬 수 있다. 레귤레이션 동작동안 펌프전압의 리플 발생을 줄일 수 있게 된다. The plurality of delay units 210 to 240 in the delay unit 200 may delay the signal by a value obtained by dividing one cycle of the clock signal CLK by the number of pumps in the pump unit 400. For example, if there are six pumps of the pump means 400, each of the delay units 210 to 240 delays by one sixth of one clock. Thereby, the pumps in the pump means can be driven sequentially within one period of the clock. It is possible to reduce the ripple of the pump voltage during the regulation operation.

상술한 구성을 갖는 본 발명의 고전압 생성 회로의 동작을 설명하면 다음과 같다. The operation of the high voltage generation circuit of the present invention having the above-described configuration will be described below.

외부의 밴드겝 전압(Vbg)과 기준전압(Vref)이 레귤레이터(100)에 인가되면 레귤레이터(100)는 일정한 레벨의 인에이블 신호(EN)를 생성한다. 밴드겝 전압(Vbg)은 약 1V의 전압을 사용하는 것이 바람직하다. 기준전압(Vref)은 외부의 기준전압 생성부(미도시)에서 이를 생성하여 인가되는 것이 바람직하다. 레귤레이터(100)는 저항 디바이어드를 이용하여 일정한 레벨의 인에이블 신호(EN)를 생성하는 것이 바람직하다. When an external band voltage Vbg and a reference voltage Vref are applied to the regulator 100, the regulator 100 generates an enable signal EN having a constant level. It is preferable to use a voltage of about 1V as the band voltage Vbg. The reference voltage Vref is preferably generated by an external reference voltage generator (not shown) and applied thereto. The regulator 100 may generate the enable signal EN having a constant level using the resistor divider.

인에이블 신호(EN)는 제 1 지연부(210)와 제 1 앤드 게이트(310)에 전송된다. 제 1 앤드 게이트(310)는 인에이블 신호(EN)와 클럭 신호(CLK)에 따라 제 1 제어 클럭 신호(CCLK1)를 생성한다. 제 1 제어 클럭 신호(CCLK)에 의해 제 1 펌프(410)가 인에이블 된다. The enable signal EN is transmitted to the first delay unit 210 and the first and gate 310. The first AND gate 310 generates the first control clock signal CCLK1 according to the enable signal EN and the clock signal CLK. The first pump 410 is enabled by the first control clock signal CCLK.

한편, 제 1 지연부(210)에 인가된 인에이블 신호(EN)는 제 1 지연부(210)에 의해 지연되어 제 1 지연신호(DEN1)가 되어 제 2 지연부(220)와 제 2 앤드 게이트(320)에 전송된다. 제 2 앤드 게이트(320)는 제 1 지연신호(DEN1)와 클럭 신호(CLK)에 따라 제 2 제어 클럭 신호(CCLK2)를 생성한다. 제 2 제어 클럭 신호(CCLK2)에 의해 제 2 펌프(420)가 제 1 펌프(410)가 인에이블된 후 소정 시간 지연되어 인에이블 된다. 상기 소정시간은 제 1 지연부(210)에 의해 지연된 시간을 지칭한다. On the other hand, the enable signal EN applied to the first delay unit 210 is delayed by the first delay unit 210 and becomes the first delay signal DEN1, thereby causing the second delay unit 220 and the second end. Sent to gate 320. The second AND gate 320 generates the second control clock signal CCLK2 according to the first delay signal DEN1 and the clock signal CLK. The second pump 420 is enabled after a predetermined time delay after the first pump 410 is enabled by the second control clock signal CCLK2. The predetermined time refers to the time delayed by the first delay unit 210.

제 2 지연부(220)에 인가된 제 1 지연신호(DEN1)는 제 2 지연부(220)에 의해 지연되어 제 2 지연신호(DEN2)가 되어 제 3 지연부(230)와 제 3 앤드 게이트(330)에 전송된다. 제 3 앤드 게이트(330)는 제 2 지연신호(DEN2)와 클럭 신호(CLK)에 따라 제 3 제어 클럭 신호(CCLK3)를 생성한다. 제 3 제어 클럭 신호(CCLK3)에 의해 제 3 펌프(430)가 제 2 펌프(420)가 인에이블된 후 소정 시간 지연되어 인에이블 된다. The first delay signal DEN1 applied to the second delay unit 220 is delayed by the second delay unit 220 to become the second delay signal DEN2, and thus the third delay unit 230 and the third AND gate are applied. 330 is sent. The third AND gate 330 generates the third control clock signal CCLK3 according to the second delay signal DEN2 and the clock signal CLK. The third pump 430 is enabled after a predetermined time delay after the second pump 420 is enabled by the third control clock signal CCLK3.

제 3 지연부(230)에 인가된 제 2 지연신호(DEN2)는 제 3 지연부(230)에 의해 지연되어 제 3 지연신호(DEN3)가 되어 제 4 지연부(240)와 제 4 앤드 게이트(340)에 전송된다. 제 4 앤드 게이트(340)는 제 3 지연신호(DEN3)와 클럭 신호(CLK)에 따라 제 4 제어 클럭 신호(CCLK4)를 생성한다. 제 4 제어 클럭 신호(CCLK4)에 의해 제 4 펌프(440)가 제 3 펌프(430)가 인에이블된 후 소정 시간 지연되어 인에이블 된다. The second delay signal DEN2 applied to the third delay unit 230 is delayed by the third delay unit 230 to become the third delay signal DEN3 to form the fourth delay unit 240 and the fourth and gate. 340 is sent. The fourth AND gate 340 generates the fourth control clock signal CCLK4 according to the third delay signal DEN3 and the clock signal CLK. The fourth pump 440 is enabled after a predetermined time delay after the third pump 430 is enabled by the fourth control clock signal CCLK4.

제 4 지연부(240)에 인가된 제 3 지연신호(DEN3)는 제 4 지연부(240)에 의해 지연되어 제 4 지연신호(DEN4)가 되어 제 5 지연부(250)와 제 5 앤드 게이트(350)에 전송된다. 제 5 앤드 게이트(350)는 제 4 지연신호(DEN4)와 클럭 신호(CLK)에 따라 제 5 제어 클럭 신호(CCLK5)를 생성한다. 제 5 제어 클럭 신호(CCLK5)에 의해 제 5 펌프(450)가 제 4 펌프(440)가 인에이블된 후 소정 시간 지연되어 인에이블 된다. The third delay signal DEN3 applied to the fourth delay unit 240 is delayed by the fourth delay unit 240 to become the fourth delay signal DEN4 to form the fifth delay unit 250 and the fifth and gate. Is sent to 350. The fifth AND gate 350 generates the fifth control clock signal CCLK5 according to the fourth delay signal DEN4 and the clock signal CLK. After the fourth pump 440 is enabled by the fifth control clock signal CCLK5, the fifth pump 450 is enabled after a predetermined time delay.

제 5 지연부(250)에 인가된 제 4 지연신호(DEN4)는 제 5 지연부(250)에 의해 지연되어 제 5 지연신호(DEN5)가 되어 제 6 앤드 게이트(360)에 전송된다. 제 6 앤드 게이트(360)는 제 5 지연신호(DEN5)와 클럭 신호(CLK)에 따라 제 6 제어 클럭 신호(CCLK6)를 생성한다. 제 6 제어 클럭 신호(CCLK6)에 의해 제 6 펌프(460)가 제 5 펌프(450)가 인에이블된 후 소정 시간 지연되어 인에이블 된다. 이와 같이 펌프 각단의 인에이블을 지연시켜 순차적으로 인에이블 시킴으로써 리플발생을 줄일 수 있다. 리플을 줄임으로 인해 전력 소비를 줄일 수 있게 된다. The fourth delay signal DEN4 applied to the fifth delay unit 250 is delayed by the fifth delay unit 250 to become the fifth delay signal DEN5 and transmitted to the sixth AND gate 360. The sixth AND gate 360 generates the sixth control clock signal CCLK6 according to the fifth delay signal DEN5 and the clock signal CLK. After the fifth pump 450 is enabled by the sixth control clock signal CCLK6, the sixth pump 460 is enabled after a predetermined time delay. In this way, it is possible to reduce the occurrence of ripple by sequentially enabling the pump at each stage. Reducing ripple reduces power consumption.

상술한 바와 같이, 본 발명은 다수의 펌프를 포함하는 고전압 생성회로에 있어서 레귤레이션 동작동안 펌프를 순차적으로 인에이블 시켜 리플 발생을 줄일 수 있으며, 이로 인해 전력 소비를 줄일 수 있다. As described above, in the high voltage generation circuit including the plurality of pumps, the present invention can sequentially enable the pumps during the regulation operation to reduce the occurrence of ripple, thereby reducing the power consumption.

도 1은 종래의 고전압 생성 회로에 관한 블록도이다.1 is a block diagram of a conventional high voltage generation circuit.

도 2는 종래의 고전압 생성 회로의 출력을 나타낸 그래프이다.2 is a graph illustrating an output of a conventional high voltage generation circuit.

도 3은 본 발명에 따른 반도체 소자의 고전압 생성 회로의 블록도이다. 3 is a block diagram of a high voltage generation circuit of a semiconductor device according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 고전압 생성 회로의 출력을 나타낸 그래프이다. 4 is a graph showing the output of the high voltage generation circuit according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10, 100 : 레귤레이터 20 : 로직부10, 100: regulator 20: logic section

30, 410 내지 460 : 펌프 200 : 지연수단30, 410 to 460: pump 200: delay means

210 내지 250 : 지연부 300 : 로직 수단210 to 250: delay unit 300: logic means

310 내지 360 : 앤드 게이트 400 : 펌프수단 310 to 360: end gate 400: pump means

Claims (4)

밴드갭 전압과 기준전압에 따라 일정한 인에이블 신호를 출력하는 레귤레이터;A regulator for outputting a constant enable signal in accordance with the bandgap voltage and the reference voltage; 상기 인에이블 신호를 지연시켜 다수의 지연 신호를 출력하는 지연수단;Delay means for delaying the enable signal and outputting a plurality of delay signals; 상기 인에이블 신호, 상기 다수의 지연 신호 및 클럭 신호의 로직 조합을 통해 다수의 제어 클럭 신호를 출력하는 로직수단;Logic means for outputting a plurality of control clock signals through a logic combination of the enable signal, the plurality of delay signals, and a clock signal; 상기 다수의 제어 클럭 신호 각각에 따라 각기 지연되어 동작하는 다수의 펌프에 의해 펌핑전압을 출력하는 펌프수단을 포함하는 반도체 소자의 고전압 생성 회로. And a pump means for outputting a pumping voltage by a plurality of pumps which are respectively delayed and operated according to each of the plurality of control clock signals. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 다수의 지연신호는 상기 클럭 신호의 한주기를 상기 펌프의 개수로 나눈값 만큼 각기 지연되는 반도체 소자의 고전압 생성 회로. The plurality of delay signals are respectively delayed by a period of the clock signal divided by the number of the pump, the high voltage generation circuit of the semiconductor device. 인에이블 신호를 출력하는 레귤레이터와, 펌프 전압을 생성하는 제 1 내지 제 6 펌프를 포함하는 반도체 소자의 고전압 생성 회로에 있어서, In the high voltage generation circuit of a semiconductor device comprising a regulator for outputting an enable signal, and the first to sixth pump for generating a pump voltage, 상기 인에이블 신호와 클럭 신호에 따라 상기 제 1 펌프를 제어하는 제 1 클럭 제어신호를 생성하는 제 1 로직부;A first logic unit configured to generate a first clock control signal for controlling the first pump according to the enable signal and a clock signal; 상기 인에이블 신호를 지연시켜 제 1 지연신호를 인가하는 제 1 지연부;A first delay unit configured to delay the enable signal and apply a first delay signal; 상기 제 1 지연신호와 상기 클럭 신호에 따라 상기 제 2 펌프를 제어하는 제 2 클럭 제어신호를 생성하는 제 2 로직부;A second logic unit configured to generate a second clock control signal for controlling the second pump according to the first delay signal and the clock signal; 상기 제 1 지연신호를 지연시켜 제 2 지연신호를 인가하는 제 2 지연부;A second delay unit which applies the second delay signal by delaying the first delay signal; 상기 제 2 지연신호와 상기 클럭 신호에 따라 상기 제 3 펌프를 제어하는 제 3 클럭 제어신호를 생성하는 제 3 로직부;A third logic unit configured to generate a third clock control signal for controlling the third pump according to the second delay signal and the clock signal; 상기 제 2 지연신호를 지연시켜 제 3 지연신호를 인가하는 제 3 지연부;A third delay unit which applies the third delay signal by delaying the second delay signal; 상기 제 3 지연신호와 상기 클럭 신호에 따라 상기 제 4 펌프를 제어하는 제 4 클럭 제어신호를 생성하는 제 4 로직부;A fourth logic unit generating a fourth clock control signal for controlling the fourth pump according to the third delay signal and the clock signal; 상기 제 3 지연신호를 지연시켜 제 4 지연신호를 인가하는 제 4 지연부;A fourth delay unit which applies the fourth delay signal by delaying the third delay signal; 상기 제 4 지연신호와 상기 클럭 신호에 따라 상기 제 5 펌프를 제어하는 제 5 클럭 제어신호를 생성하는 제 5 로직부;A fifth logic unit generating a fifth clock control signal for controlling the fifth pump according to the fourth delay signal and the clock signal; 상기 제 4 지연신호를 지연시켜 제 5 지연신호를 인가하는 제 5 지연부; 및A fifth delay unit which applies the fifth delay signal by delaying the fourth delay signal; And 상기 제 5 지연신호와 상기 클럭 신호에 따라 상기 제 6 펌프를 제어하는 제 6 클럭 제어신호를 생성하는 제 6 로직부를 포함하는 반도체 소자의 고전압 생성 회로. And a sixth logic unit configured to generate a sixth clock control signal for controlling the sixth pump according to the fifth delay signal and the clock signal. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제 1 내지 제 5 지연부는 상기 클럭 신호의 한주기를 6으로 나눈 값만큼 지연하는 반도체 소자의 고전압 생성 회로.And the first to fifth delay units delay one cycle of the clock signal by a value divided by six.
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KR100877625B1 (en) * 2007-02-12 2009-01-09 삼성전자주식회사 High voltage generation circuit and method for reducing ripple of output voltage

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