KR20050034177A - Micro magnetic field detecting sensor of flux gate type capable of decreasing deviation between x-axis output and y-axis output from the sensor and method of making the same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 비정질 자성체 코어의 각 변의 자기특성을 균일하게 하여 센서 제조 시 동일한 외부조건 하에서 2축으로 이루어진 센서 축 간에 출력편차를 최소화시켜 센서의 정확도를 향상시킬 수 있는 플럭스 게이트형 미세자계검출센서 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention provides a flux gate type micro-magnetic field detection sensor that can improve the accuracy of the sensor by minimizing the output deviation between the two axes of the sensor under the same external conditions when manufacturing the sensor by making the magnetic properties of each side of the amorphous magnetic core uniform It relates to a manufacturing method.
상기 본 발명은 인쇄회로기판을 이용해서 내부에 비정질의 리본형 자성체층을 적층한 제1 기판을 위치하고, 제1 기판을 중심으로 상하로 대칭되게 여자코일층과 2축의 픽업코일층을 형성한 플럭스 게이트형 미세자계검출센서에 있어서, 상기 제1 기판은 베이스 기판과; 상기 베이스 기판의 일면에 일축 이방성이면서 동시에 길이방향이 자화 용이축인 다수의 제1 리본형 자성체를 일방향으로 배치시킨 뒤 패턴닝을 통해 얻어진 제1 자성체 코어와; 상기 베이스 기판의 타면에 상기 다수의 제1 리본형 자성체의 적층방향에 대하여 직각방향으로 교차하도록 일축 이방성이면서 동시에 길이방향이 자화 용이축인 다수의 제2 리본형 자성체를 배치시킨 뒤 패턴닝을 통해 얻어진 제2 자성체 코어로 구성되는 것을 특징으로 한다.According to the present invention, a first substrate in which an amorphous ribbon-like magnetic layer is laminated using a printed circuit board, and a flux in which an excitation coil layer and a biaxial pickup coil layer are formed symmetrically up and down around the first substrate A gate type micro magnetic field sensor, the first substrate comprising: a base substrate; A first magnetic core obtained through patterning after arranging a plurality of first ribbon-shaped magnetic bodies uniaxially anisotropic and easy to magnetize on one surface of the base substrate in one direction; On the other surface of the base substrate, a plurality of second ribbon-shaped magnetic bodies having uniaxial anisotropy and an easy magnetization axis in the longitudinal direction are arranged to cross at right angles to the stacking direction of the plurality of first ribbon-shaped magnetic bodies, and then patterned. It is comprised from the obtained 2nd magnetic core.
Description
본 발명은 센서의 출력편차를 줄일 수 있는 플럭스 게이트형 미세자계검출센서 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 비정질 자성체 코어의 각 변의 자기특성을 균일하게 하여 센서 제조 시 동일한 외부조건 하에서 2축으로 이루어진 센서 축 간에 출력편차를 최소화시켜 센서의 정확도를 향상시킬 수 있는 플럭스 게이트형 미세자계검출센서 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a flux gate type micro-magnetic field detection sensor and a method for manufacturing the same, which can reduce the output deviation of the sensor, in particular, by making the magnetic properties of each side of the amorphous magnetic core uniformly made of two axes under the same external conditions when manufacturing the sensor The present invention relates to a flux gate type micro-magnetic field detection sensor capable of minimizing the output deviation between sensor axes and improving the accuracy of the sensor and a method of manufacturing the same.
일반적으로 미세자계검출센서는 미세자계 중 하나인 지구자계를 측정하여 방위를 측정하는 장치로, 그 측정 방법은 지표면과 수평한 위치에서 지구자계의 2축 성분을 측정하여 방위를 표시하고 있다.In general, the micro magnetic field detection sensor is a device for measuring the orientation by measuring the earth's magnetic field, one of the micro magnetic field, the measuring method is to display the orientation by measuring the two-axis component of the earth's magnetic field in a position parallel to the ground surface.
이와 같은 미세자계검출센서에 사용되는 자계검출방법은 현재 플럭스 게이트, 직류자기 저항효과 및 교류자기저항효과를 이용한 방법 등으로 크게 3가지로 분류되며 이중에서 플럭스 게이트를 이용한 자계검출방법이 주를 이루고 있다.The magnetic field detection method used in the micro magnetic field detection sensor is classified into three types such as flux gate, DC magnetoresistance effect and AC magnetoresistance effect. Among them, magnetic field detection method using flux gate is mainly dominant. have.
이와 같은 종래기술에 따른 플럭스 게이트 방법을 이용한 미세자계검출센서는 자성체 코어에 자기장을 인가할 수 있는 여자 코일(excitation coil)과 외부자기장 변화를 감지하는 2축(X축 및 Y축)의 픽업 코일(pick-up coil)로 이루어져 있다.The micro-magnetic field sensor using the flux gate method according to the prior art has an excitation coil that can apply a magnetic field to the magnetic core and a pick-up coil of two axes (X-axis and Y-axis) that detects a change in the external magnetic field. (pick-up coil).
상기 자성체 코어의 형태는 주로 막대형, 원형, 사각형이 주를 이루고 있으며, 차량용이나 선박용으로 사용되는 플럭스 게이트형 센서는 센서의 성능이 우선이고 크기에 제한이 작기 때문에 벌크 형태의 자성체를 사용하여 제작되고 있으며 최근에는 이동통신단말기용으로 인쇄회로기판(PCB) 기술이 적용되어 소형화가 이루어지고 있다.The shape of the magnetic core is mainly rod-shaped, circular, and square, and the flux gate type sensor used for a vehicle or a ship is manufactured using a bulk-shaped magnetic material because the sensor has priority in performance and its size is small. Recently, miniaturization has been made by applying a printed circuit board (PCB) technology for a mobile communication terminal.
이러한 인쇄회로기판 기술을 이용한 종래의 플럭스 게이트형 미세자계검출센서가 일본국 특개평 9-43322호 및 11-118892호와 한국 공개특허공보 제2002-30244호 등에 제안되어 있다.Conventional flux gate type micro-field detection sensors using such a printed circuit board technology have been proposed in Japanese Patent Laid-Open Nos. 9-43322 and 11-118892 and 2002-30244.
이와 같은 플럭스 게이트형 미세자계검출센서는 방위를 측정하거나 로봇의 위치제어 또는 인공위성의 자세제어 등에 사용되고 있으며 주로 자동차의 네비게이션 시스템 및 위치정보 서비스가 가능한 시스템의 방위 보정용으로 사용되어지고 있고 휴대용단말기 등의 휴대통신기기에 적용을 위해 인쇄회로기판 기술을 이용한 소형화도 함께 이루어지고 있다.Such flux gate type micro-magnetic field detection sensor is used for measuring orientation, controlling position of robot or attitude control of satellite, and is mainly used for orientation correction of car navigation system and system capable of providing location information service. Miniaturization using printed circuit board technology is also being made for application to portable communication devices.
현재 미세자계를 측정하는데 주로 사용되고 있는 플럭스 게이트형 센서는 자성체 코어가 주로 한 층이 적층되어 있는 것을 기본으로 하며 자성체 코어의 형상은 주로 원형을 사용하고 있지만 막대형태와 정사각형, 직사각형 등도 사용되고 있고 현재는 주로 출력 및 감도의 향상을 위하여 사각형 형태의 코어를 주로 사용하고 있다.Flux gate type sensor, which is mainly used for measuring micro magnetic field, is based on the fact that the magnetic core is mainly stacked on one layer. The shape of the magnetic core is mainly circular, but the shape of the rod, square, and rectangle is also used. In order to improve the output and sensitivity, the core of the square shape is mainly used.
이와 같은 사각형 형태의 코어는 센서 사용 시 서로 마주보는 변을 한 쌍으로 사용하게 되고 사각형 형태의 코어는 서로 마주보고 있는 두 쌍의 변이 각각 X축과 Y축의 자기장을 감지하여 방위를 찾아내는 것을 기본으로 하고 있다.Such a square core uses a pair of sides facing each other when using a sensor, and a square core uses two pairs of sides facing each other to detect a magnetic field of X and Y axes respectively to find a bearing. Doing.
상기 사각형의 코어로 사용되는 리본형 자성체는 제조 시 리본형 자성체의 길이방향과 폭방향에 대하여 각각 그 방향에 따른 이방성을 가지고 있다.The ribbon-shaped magnetic material used as the quadrangle core has anisotropy along its length with respect to the longitudinal direction and the width direction of the ribbon-shaped magnetic material at the time of manufacture.
즉, 일반적으로 자성체의 자기특성은 이방성(anisotropy)을 가지고 있어 측정 혹은 사용하는 방향에 따라 다른 특성을 나타내게 된다. 이런 현상은 자성체의 제조 시에 주로 가지게 되며 제조 후 열처리나 기타 가공을 통하여 인위적으로 변화시킬 수도 있다.That is, in general, the magnetic properties of the magnetic body is anisotropy (anisotropy) and exhibits different properties depending on the direction of measurement or use. This phenomenon is mainly in the manufacture of the magnetic material and may be artificially changed through heat treatment or other processing after manufacturing.
보통 자성체의 이방성은 도 1과 같이 자성체의 길이방향, 즉 X축 방향과 폭방향, 즉 Y축 방향의 자기특성이 서로 다르며 X축 방향이 Y축 방향에 비하여 자기특성이 월등이 뛰어나다. 이때 자성체의 X축 방향을 자화 용이축(easy axis)이라 부른다. Usually, the anisotropy of the magnetic body is different from the magnetic properties in the longitudinal direction of the magnetic body, that is, the X-axis direction and the width direction, that is, the Y-axis direction as shown in FIG. 1, and the magnetic properties of the magnetic body are superior to the Y-axis direction. At this time, the X-axis direction of the magnetic body is called an easy axis.
그리고 같은 방향에 있어서도 측정방향에 따라서도 서로 다른 특성을 가질 수도 있는데 즉 자성체의 X축의 일방향으로 특성을 측정할 때와 X축의 역방향으로 특성을 측정할 때의 특성이 서로 동일한 일축 이방성(uniaxial anisotropy)과, X축의 일방향 및 X축의 역방향의 특성이 서로 상이한 일방향 이방성(unidirectional anisotropy) 중 어느 하나의 특성을 갖도록 제조된다.Also, the same direction may have different characteristics depending on the measurement direction. That is, uniaxial anisotropy when the characteristic is measured in one direction of the X axis of the magnetic body and the characteristic is measured in the opposite direction of the X axis. And unidirectional anisotropy different from each other in one direction of the X axis and in the reverse direction of the X axis.
이때, 통상적으로 리본형 비정질인 경우, 제조 공정상 길이방향과 폭방향으로 일축 이방성을 갖도록 제조되어 리본형 자성체의 길이방향 및 폭방향으로는 측정 방향에 상관없이 동일한 자기특성을 가지게 된다. 따라서 본 리본형 자성체는 일축이방성을 가지고 있으며 길이방향이 자화 용이축(easy axis)이라고 정의할 수 있다.At this time, in the case of a ribbon-shaped amorphous, it is usually manufactured to have a uniaxial anisotropy in the longitudinal direction and the width direction in the manufacturing process to have the same magnetic properties regardless of the measurement direction in the longitudinal direction and the width direction of the ribbon-shaped magnetic material. Therefore, the present ribbon-shaped magnetic body has uniaxial anisotropy and can be defined as an easy axis of the longitudinal direction.
따라서, 인쇄회로기판에 한 층이 적층된 리본형 자성체를 사각형 형태로 에칭을 하여 형성된 사각형의 자성체 코어는 서로 마주보는 두 쌍의 변 중에서 한 쌍은 자성체의 길이방향(X축방향)을 가지게 되어 우수한 자기특성을 가지고, 나머지 한 쌍은 자성체의 폭방향(Y축방향)을 가지게 되어 길이방향(X축방향)에 대하여 상대적으로 열등한 자기특성을 가지게 되므로 동일한 신호출력이 얻어져야 하는 조건에서도 X축, Y축 간에 출력차가 심해져서 정확한 자계 센싱이 어려워짐에 따라 센서의 신뢰도를 저하시키는 문제점이 있었다.Therefore, a rectangular magnetic core formed by etching a ribbon-shaped magnetic material in which a layer is stacked on a printed circuit board in a quadrangular form has one of two pairs of sides facing each other and has a length direction (X-axis direction) of the magnetic material. It has excellent magnetic properties, and the other pair has the width direction (Y-axis direction) of the magnetic material and has inferior magnetic properties relative to the length direction (X-axis direction), so even under conditions where the same signal output should be obtained As a result, the output difference between the Y-axes is increased, which makes it difficult to accurately sense the magnetic field.
따라서 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해, 본 발명의 목적은 비정질 자성체 코어의 각 변의 자기특성을 균일하게 하여 센서 제조 시 동일한 외부조건 하에서 2축으로 이루어진 센서 축 간에 출력편차를 최소화시켜 센서의 정확도를 향상시킬 수 있는 플럭스 게이트형 미세자계검출센서 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.Therefore, in order to solve the above problems, an object of the present invention is to equalize the magnetic properties of each side of the amorphous magnetic core to minimize the output deviation between the two axes of the sensor under the same external conditions when manufacturing the sensor to improve the accuracy of the sensor The present invention provides a flux gate type micromagnetic field sensor and a method of manufacturing the same.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 제1 특징에 따르면 인쇄회로기판을 이용해서 내부에 비정질의 리본형 자성체층을 적층한 제1 기판을 위치하고, 제1 기판을 중심으로 상하로 대칭되게 여자코일층과 2축의 픽업코일층을 형성한 플럭스 게이트형 미세자계검출센서에 있어서, 상기 제1 기판은 베이스 기판과; 상기 베이스 기판의 일면에 일축 이방성이면서 동시에 길이방향이 자화 용이축인 다수의 제1 리본형 자성체를 일방향으로 배치시킨 뒤 패턴닝을 통해 얻어진 제1 자성체 코어와; 상기 베이스 기판의 타면에 상기 다수의 제1 리본형 자성체의 적층방향에 대하여 직각방향으로 교차하도록 일축 이방성이면서 동시에 길이방향이 자화 용이축인 다수의 제2 리본형 자성체를 배치시킨 뒤 패턴닝을 통해 얻어진 제2 자성체 코어로 구성되는 것을 특징으로 하는 플럭스 게이트형 미세자계검출센서를 제공한다.In order to achieve the above object, according to a first aspect of the present invention, a first substrate having an amorphous ribbon-like magnetic layer laminated therein is positioned using a printed circuit board, and is symmetrically moved up and down about the first substrate. A flux gate type micro magnetic field sensor having an excitation coil layer and a biaxial pick-up coil layer, the first substrate comprising: a base substrate; A first magnetic core obtained through patterning after arranging a plurality of first ribbon-shaped magnetic bodies uniaxially anisotropic and easy to magnetize on one surface of the base substrate in one direction; On the other surface of the base substrate, a plurality of second ribbon-shaped magnetic bodies having uniaxial anisotropy and an easy magnetization axis in the longitudinal direction are arranged to cross at right angles to the stacking direction of the plurality of first ribbon-shaped magnetic bodies, and then patterned. Provided is a flux gate-type micro magnetic field sensor, comprising the obtained second magnetic core.
본 발명의 제2 특징에 따르면, 인쇄회로기판을 이용해서 내부에 비정질의 리본형 자성체층을 적층한 제1 기판을 위치하고, 제1 기판을 중심으로 상하로 대칭되게 여자코일층과 2축의 픽업코일층을 형성한 플럭스 게이트형 미세자계검출센서에 있어서, 상기 제1 기판은 제1 및 제2 베이스 기판과; 상기 제1 베이스 기판의 일면에 일축 이방성이면서 동시에 길이방향이 자화 용이축인 다수의 제1 리본형 자성체를 일방향으로 배치시킨 뒤 패턴닝을 통해 얻어진 제1 자성체 코어와; 상기 제2 베이스 기판의 일면에 일축 이방성이면서 동시에 길이방향이 자화 용이축인 다수의 제2 리본형 자성체를 일방향으로 배치시킨 뒤 패턴닝을 통해 얻어진 제2 자성체 코어로 구성되며; 상기 제1 및 제2 베이스 기판은 각 베이스 기판에 패턴닝된 제1 및 제2 자성체 코어의 자화 용이축 방향이 상호 직각방향으로 교차하도록 적층되는 것을 특징으로 하는 플럭스 게이트형 미세자계검출센서를 제공한다.According to a second aspect of the present invention, a first substrate in which an amorphous ribbon-like magnetic layer is stacked inside a printed circuit board is positioned, and a excitation coil layer and a biaxial pickup coil are symmetrically moved up and down about the first substrate. A layered flux gate type micro-magnetic field detection sensor, wherein the first substrate comprises: first and second base substrates; A first magnetic core obtained through patterning after arranging a plurality of first ribbon-shaped magnetic bodies uniaxially anisotropic and easy to magnetize on one surface of the first base substrate in one direction; A second magnetic core obtained through patterning after arranging a plurality of second ribbon-shaped magnetic bodies uniaxially anisotropic and easy to magnetize on one surface of the second base substrate in one direction; The first and second base substrates are provided with a flux gate type micro-magnetic field sensor, wherein the easy magnetization directions of the first and second magnetic cores patterned on each base substrate cross each other at right angles. do.
이 경우, 상기 제1 및 제2 자성체 코어는 Co계 비정질, 퍼멀로이(permalloy) 및 슈퍼멀로이 중 어느 하나로 이루어진다.In this case, the first and second magnetic core is made of any one of Co-based amorphous, permalloy and supermalloy.
또한 상기 1 및 제2 리본형 자성체층은 Co 계열, Fe 계열 및 Ni 계열의 비정질층 중 어느 하나로 이루어진다.In addition, the first and second ribbon-like magnetic layer is made of any one of Co-based, Fe-based and Ni-based amorphous layer.
더욱이, 상기 1 및 제2 리본형 자성체층은 350℃∼650℃에서 30분에서 3시간 동안 열처리하여 나노 결정립 상태로 만든 나노 결정립층이다.,In addition, the first and second ribbon-like magnetic material layer is a nanocrystalline layer made of a nanocrystalline state by heat treatment at 350 ℃ to 650 ℃ for 30 minutes at 3 hours,
본 발명에 따른 제3 특징에 따르면, 인쇄회로기판을 이용해서 내부의 베이스 기판에 비정질의 리본형 자성체층을 적층한 제1 기판을 위치하고, 제1 기판을 중심으로 상하로 대칭되게 여자코일층 및 2축의 픽업코일층을 형성한 플럭스 게이트형 미세자계검출센서의 제조방법에 있어서, 상기 베이스 기판의 일면에 일축 이방성이면서 동시에 길이방향이 자화 용이축인 다수의 제1 리본형 자성체를 일방향으로 위치하는 단계와, 상기 베이스 기판의 타면에 상기 제1 리본형 자성체의 위치시킨 방향에 대하여 직각방향으로 교차하도록 일축 이방성이면서 동시에 길이방향이 자화 용이축인 다수의 제2 리본형 자성체를 위치하는 단계와, 상기 베이스 기판의 양면에 각각 위치된 제1 및 제2 리본형 자성체층을 가열 및 가압하여 베이스 기판에 적층시키는 단계와, 상기 베이스 기판에 적층된 제1 및 제2 리본형 자성체층을 패턴닝을 통해 각각 제1 및 제2 자성체 코어를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플럭스 게이트형 미세자계검출센서의 제조방법을 제공한다.According to a third aspect of the present invention, a first substrate having an amorphous ribbon-like magnetic layer laminated on an internal base substrate using a printed circuit board is located, and an excitation coil layer symmetrically up and down about the first substrate. In the method of manufacturing a flux gate type micro-magnetic field sensor having a biaxial pick-up coil layer, a plurality of first ribbon-shaped magnetic bodies having one axis anisotropy and an easy magnetization axis in one direction are positioned on one surface of the base substrate in one direction. Positioning a plurality of second ribbon-shaped magnetic bodies uniaxially anisotropic and having an easy magnetization axis in a longitudinal direction to intersect at right angles with respect to a direction in which the first ribbon-shaped magnetic body is positioned on the other surface of the base substrate; Heating and pressing the first and second ribbon-shaped magnetic layers respectively positioned on both sides of the base substrate, and laminating them on the base substrate; And forming first and second magnetic cores through patterning of the first and second ribbon magnetic layers stacked on the base substrate, respectively. To provide.
또한, 본 발명의 제4 특징에 따르면, 인쇄회로기판을 이용해서 내부의 한쌍의 베이스 기판에 비정질의 리본형 자성체층을 적층한 제1 기판을 위치하고, 제1 기판을 중심으로 상하로 대칭되게 여자코일층 및 2축의 픽업코일층을 형성한 플럭스 게이트형 미세자계검출센서의 제조방법에 있어서, 상기 제1 베이스 기판의 일면에 일축 이방성이면서 동시에 길이방향이 자화 용이축인 다수의 제1 리본형 자성체를 가열 및 가압하여 제1 베이스 기판에 적층시킨 뒤, 패턴닝을 통해 제1 자성체 코어를 형성하는 단계와; 상기 제2 베이스 기판의 일면에 일축 이방성이면서 동시에 길이방향이 자화 용이축인 다수의 제2 리본형 자성체를 가열 및 가압하여 제2 베이스 기판에 적층시킨 뒤, 패턴닝을 통해 제2 자성체 코어를 형성하는 단계와; 상기 제1 및 제2 베이스 기판을 각 베이스 기판의 제1 및 제2 자성체 코어의 자화 용이축 방향이 상호 직각방향으로 교차하도록 적층시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플럭스 게이트형 미세자계검출센서의 제조방법을 제공한다.In addition, according to a fourth aspect of the present invention, a first substrate having an amorphous ribbon-like magnetic layer laminated on a pair of base substrates inside a printed circuit board is positioned, and is excited symmetrically up and down about the first substrate. In the method of manufacturing a flux gate type micro-magnetic field sensor having a coil layer and a biaxial pick-up coil layer, a plurality of first ribbon magnetic materials having a uniaxial anisotropy on one surface of the first base substrate and an easy magnetization in the longitudinal direction thereof. Heating and pressing to laminate the first base substrate, and then forming a first magnetic core through patterning; After heating and pressing a plurality of second ribbon-shaped magnetic bodies that are uniaxially anisotropic and easy to magnetize on one surface of the second base substrate to be laminated on the second base substrate, a second magnetic core is formed through patterning. Making a step; And stacking the first and second base substrates so that the easy magnetization directions of the first and second magnetic cores of the respective base substrates cross at right angles to each other. It provides a manufacturing method.
이 경우, 상기 제1 및 제2 자성체 코어는 Co계 비정질, 퍼멀로이(permalloy) 및 슈퍼멀로이 중 어느 하나로 이루어진다.In this case, the first and second magnetic core is made of any one of Co-based amorphous, permalloy and supermalloy.
또한 상기 제1 및 제2 리본형 자성체층은 Co 계열, Fe 계열 및 Ni 계열의 비정질층 중 어느 하나로 이루어진다.In addition, the first and second ribbon-like magnetic layer is made of any one of Co-based, Fe-based and Ni-based amorphous layer.
더욱이, 상기 제1 및 제2 리본형 자성체층은 350℃∼650℃에서 30분에서 3시간 동안 열처리하여 나노 결정립 상태로 만든 나노 결정립층이며, 상기 범위한정 이유는 다음과 같다.Further, the first and second ribbon-like magnetic material layer is a nanocrystalline layer made of a nanocrystalline state by heat treatment at 350 ℃ to 650 ℃ for 30 minutes at 3 hours, the reason for the range is as follows.
일반적으로 비정질은 재결정 온도를 약 550℃ 전후의 값을 가지게 되며, 이 온도 이상에서 장시간 열처리 시 비정질상은 다시 결정상으로 변하게 된다. 이 경우, 나노 결정립층 적층을 위한 나노 결정립 리본은 먼저 제조된 비정질 리본을 재열처리하여 제조하게 되는데, 리본마다 약간씩 차이가 있으나 대략 350℃부터 결정상이 나타나기 시작한다.In general, the amorphous has a value of about 550 ° C. and the recrystallization temperature, and when the heat treatment for a long time above this temperature, the amorphous phase changes back to a crystalline phase. In this case, the nanocrystalline ribbon for laminating the nanocrystalline layer is prepared by reheating the amorphous ribbon prepared first, but there is a slight difference for each ribbon, but the crystal phase starts to appear at approximately 350 ° C.
이때 온도가 상승하면 열처리 시간이 단축되는 것을 감안하여 시간을 적절히 조정함에 따라 나노 사이즈의 결정상이 생겨 나노 결정립 리본을 만들 수 있다.In this case, considering that the heat treatment time is shortened when the temperature rises, the nano-size crystal phase may be generated by appropriately adjusting the time to make the nano-crystal ribbon.
이 경우, 상기 베이스 기판에 제1 및 제2 리본형 자성체층을 적층할 때 100℃∼300℃의 온도 범위에서 이루어지며, 5㎏/㎠∼100㎏/㎠의 압력 범위에서 가압이 이루어지며, 이와 같은 한정범위 이유는 다음과 같다.In this case, when the first and second ribbon-shaped magnetic layer is laminated on the base substrate is made in the temperature range of 100 ℃ to 300 ℃, the pressure is made in the pressure range of 5kg / ㎠ ~ 100kg / ㎠, The reason for such a limited range is as follows.
비정질의 리본형 자성체를 적층하는 방법은 베이스 기판의 종류에 따라 온도, 가압방법 및 시간이 달라진다. 따라서 베이스 기판이 어떤 계열 즉, 페놀, 폴리에스테르, 폴리이미드 및 에폭시 계열 중 어느 하나 인가에 따라 그 조건을 달라지게 되고, 리본형 자성체에 따라 조건이 달라지지는 않는다.The method of laminating the amorphous ribbon-shaped magnetic material varies in temperature, pressing method, and time depending on the type of the base substrate. Therefore, the conditions vary depending on which type of base substrate is one of phenol, polyester, polyimide and epoxy, and the condition does not vary depending on the ribbon magnetic material.
예를 들어, 에폭시 계열의 베이스 기판은 약 140℃∼190℃사이에서 약 25㎏/㎠∼75㎏/㎠ 정도의 가압을 약 3시간 30분 정도 가하게 된다. 이때 온도는 베이스 기판에 사용된 수지(페놀, 폴리에스테르, 폴리이미드 및 에폭시)가 활성화되는 온도에 크게 영향을 받는다.For example, an epoxy-based base substrate is subjected to pressurization of about 25 kg / cm 2 to 75 kg / cm 2 between about 140 ° C. and 190 ° C. for about 3 hours 30 minutes. At this time, the temperature is greatly influenced by the temperature at which the resin (phenol, polyester, polyimide and epoxy) used in the base substrate is activated.
한편, 본 발명에 따른 제5 특징에 따르면, 베이스 기판의 일면에 일축 이방성이면서 동시에 길이방향이 자화 용이축인 다수의 제1 리본형 자성체를 일방향으로 위치하고, 상기 베이스 기판의 타면에 상기 제1 리본형 자성체의 위치시킨 방향에 대하여 직각방향으로 교차하도록 일축 이방성이면서 동시에 길이방향이 자화 용이축인 다수의 제2 리본형 자성체를 위치하여, 상기 제1 및 제2 리본형 자성체층을 가열 및 가압함에 따라 베이스 기판에 적층시켜 제1 기판을 형성하는 단계와; 상기 제1 및 제2 리본형 자성체층에 상호 대응되는 위치에 각각 패턴닝을 통해 셀단위로 다수의 제1 및 제2 자성체 코어를 형성하는 단계와; 상기 제1 기판에 형성된 다수의 제1 및 제2 자성체 코어에 대응하여 각 자성체 코어의 각변을 토로이달 형태로 권선되어 상기 다수의 제1 및 제2 자성체 코어를 자화시키기 위한 각각 다수의 여자코일이 형성된 제2 및 제3 기판을 상기 제1 기판의 상하부에 적층하는 단계와; 상기 제2 및 제3 기판의 다수의 여자코일에 대응하도록 위치되어, 상기 각 자성체 코어의 대향한 2변을 수직으로 가로질러 권선되어 외부자기장의 변화에 따라 유도되는 2차 고조파의 X축 성분을 검출하기 위한 각각 다수의 X축 픽업코일이 형성된 제4 및 제5 기판을 상기 제2 및 제3 기판의 상하부에 적층하는 단계와; 상기 제4 및 제5 기판의 다수의 X축 픽업코일에 대응하도록 위치되어, 상기 각 자성체 코어의 나머지 대향한 2변을 수직으로 가로질러 권선되어 외부자기장의 변화에 따라 유도되는 2차 고조파의 Y축 성분을 검출하기 위한 각각 다수의 Y축 픽업코일이 형성된 제6 및 제7 기판을 각각 상기 제4 기판의 상부와, 제3 기판과 제5 기판 사이에 적층하는 단계와; 상기 적층된 제1 내지 제7 기판을 각 셀단위로 커팅하는 단계로 구성되는 것을 특징으로 하는 플럭스 게이트형 미세자계검출센서의 제조방법.On the other hand, according to the fifth aspect of the present invention, a plurality of first ribbon-shaped magnetic material that is uniaxial anisotropic on one side of the base substrate and easy to magnetize in the longitudinal direction is positioned in one direction, and the first ribbon on the other surface of the base substrate. Positioning a plurality of second ribbon magnetic material uniaxially anisotropic and easy to magnetize in the longitudinal direction so as to intersect at right angles to the direction in which the magnetic material is placed, and to heat and pressurize the first and second ribbon magnetic layers Stacking the substrate on the base substrate to form a first substrate; Forming a plurality of first and second magnetic cores on a cell-by-cell basis through patterning at positions corresponding to the first and second ribbon magnetic layers, respectively; A plurality of excitation coils for magnetizing the plurality of first and second magnetic cores are formed by winding each side of each of the magnetic cores in a toroidal form corresponding to the plurality of first and second magnetic cores formed on the first substrate. Stacking the formed second and third substrates above and below the first substrate; The X-axis component of the second harmonic is positioned so as to correspond to the plurality of excitation coils of the second and third substrates, and is wound vertically across two opposite sides of the respective magnetic cores to be induced by the change of the external magnetic field. Stacking fourth and fifth substrates each having a plurality of X-axis pick-up coils for detection on upper and lower portions of the second and third substrates; Y of the second harmonic which is positioned to correspond to the plurality of X-axis pick-up coils of the fourth and fifth substrates, and is wound vertically across the remaining two opposite sides of each of the magnetic cores to be induced by the change of the external magnetic field. Stacking sixth and seventh substrates each having a plurality of Y-axis pick-up coils for detecting an axial component, respectively, between an upper portion of the fourth substrate and a third substrate and a fifth substrate; The method of claim 1, wherein the stacked first to seventh substrates are cut in cell units.
따라서 상기한 본 발명에 있어서는 비결정질 리본형 자성체를 베이스 기판의 양면에 상호 직각방향으로 교차하도록 적층시켜 이루어진 자성체 코어를 구비함에 따라 2축으로 이루어진 센서 축에 대하여 균일한 출력신호의 얻을 수 있도록 하여 센서의 정확도를 향상시킬 수 있다.Accordingly, in the present invention, a magnetic core formed by stacking an amorphous ribbon-shaped magnetic material so as to cross at right angles to both sides of the base substrate allows a uniform output signal to be obtained with respect to a biaxial sensor axis. Can improve the accuracy.
(실시예)(Example)
이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 따른 센서의 출력편차를 줄일 수 있는 플럭스 게이트형 미세자계검출센서를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a flux gate type micro-magnetic field detection sensor that can reduce the output deviation of the sensor according to the present invention.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 센서의 출력편차를 줄일 수 있는 플럭스 게이트형 미세자계검출센서를 나타내는 분해 사시도이고, 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 플럭스 게이트형 미세자계검출센서의 베이스 기판에 다수의 리본형 자성체를 적층시키는 과정을 나타내는 개략 사시도이고, 도 4a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플럭스 게이트형 미세자계검출센서의 베이스 기판에 패턴닝된 상태를 나타내는 개략 사시도이고, 도 4b는 도 4a에 표시된 A를 나타내는 확대 개략도이다.2 is an exploded perspective view illustrating a flux gate type micro-magnetic field sensor capable of reducing an output deviation of a sensor according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a flux gate type micro magnetic field according to a first embodiment of the present invention. 4A is a schematic perspective view illustrating a process of stacking a plurality of ribbon-like magnetic materials on a base substrate of a detection sensor, and FIG. 4A illustrates a state patterned on a base substrate of a flux gate type micro-magnetic field detection sensor according to a first embodiment of the present invention. It is a schematic perspective view, and FIG. 4B is an enlarged schematic diagram which shows A shown by FIG. 4A.
먼저, 본 발명에 따른 인쇄회로기판을 이용한 플럭스 게이트형 미세자계검출센서는 도 2와 같이, 제1기판(9)의 위, 아래에 리본형 자성체 재료로 이루어진 제1 및 제2 리본형 자성체층(10a, 10b)을 적층한 후 소정의 패턴으로 노광, 현상, 에칭을 하여 제1 및 제2 자성체 코어(11a, 11b)를 형성한다.First, the flux gate type micro-magnetic field sensor using the printed circuit board according to the present invention, as shown in Fig. 2, the first and second ribbon magnetic layer made of a ribbon-like magnetic material above and below the first substrate 9 After laminating (10a, 10b), the first and second magnetic cores 11a and 11b are formed by exposing, developing and etching in a predetermined pattern.
이 경우, 상기 제1 및 제2 리본형 자성체층은 두께가 10㎛∼40㎛로 이루어지며, 이와 같은 범위한정 이유는 상기 1 및 제2 리본형 자성체층은 비정질로 이루어지며, 비정질의 경우 용융된 금속을 고속으로 회전하는 스피너(spinner)에 분사하여 급랭시켜 제조하는 것으로 10㎛ 이하의 두께를 갖는 비정질 제조는 기술적으로 한계가 있어 제조가 극히 어렵고, 40㎛ 이상은 제조 시 표면과 내부의 냉각속도가 달라 표면은 비정질 상을 가지나 내부는 결정 상태가 되는 문제가 있다. 참고로, 비정질상은 용융된 금속이 급랭 될 때만 제조된다.In this case, the first and second ribbon-shaped magnetic body layer is made of a thickness of 10㎛ ~ 40㎛, the reason for such a limitation is that the first and second ribbon-shaped magnetic layer is made of amorphous, in the case of amorphous melting It is manufactured by spraying a quenched metal on a spinner rotating at high speed and quenching it.Amorphous manufacturing having a thickness of 10 μm or less is technically limited and extremely difficult to manufacture. Due to the different speeds, the surface has an amorphous phase, but there is a problem that the interior is in a crystalline state. For reference, the amorphous phase is produced only when the molten metal is quenched.
한편, 상기 자성체 코어(11a, 11b)는 도 4a와 같이 베이스 기판(9a)의 상하면에 상호 직각방향으로 적층된 자성체층(10a, 10b)을 패턴닝 과정을 통해 도 4b와 같이 하나의 베이스 기판(9a)에 다수의 사각형 패턴이 패턴닝되며, 그 후, 상기 사각형 패턴에 대응하는 다수의 회로 패턴을 갖는 하기의 제2 내지 제7 기판을 순차적으로 각각 적층시킨 뒤, 최종적으로 낱개로 커팅하여 사용하게 된다. On the other hand, the magnetic core (11a, 11b) is a base substrate as shown in Figure 4b through the patterning process of the magnetic layer (10a, 10b) stacked on the upper and lower sides of the base substrate 9a at right angles as shown in Figure 4a A plurality of square patterns are patterned at 9a, and then second and seventh substrates having a plurality of circuit patterns corresponding to the square patterns are sequentially stacked, respectively, and finally cut into pieces. Will be used.
한편, 상기 다수의 자성체 코어의 제조과정을 하나의 자성체 코어의 제조과정을 예로 들어 좀 더 상세히 설명하면 다음과 같다.Meanwhile, the manufacturing process of the plurality of magnetic cores will be described in more detail by taking the manufacturing process of one magnetic core as an example.
도 3과 같이, 제1 기판(9)의 베이스 기판(9a) 상부에 제1 리본형 자성체(10a)를 길이방향이 X축 방향으로 향하도록 위치시키고, 베이스 기판(10a)의 하부에는 제2 리본형 자성체(10b)를 길이방향이 Y축 방향으로 향하도록 위치시킨다. 즉, 상기 제1 및 제2 리본형 자성체층(10a, 10b)이 베이스 기판을 중심으로 서로 직교방향으로 교차되도록 배치한다.As shown in FIG. 3, the first ribbon-shaped magnetic material 10a is positioned on the base substrate 9a of the first substrate 9 so that the longitudinal direction thereof is in the X-axis direction, and the second substrate is disposed below the base substrate 10a. The ribbon magnetic body 10b is positioned so that the longitudinal direction is in the Y-axis direction. That is, the first and second ribbon-shaped magnetic body layers 10a and 10b are disposed to intersect at right angles with respect to the base substrate.
그 후, 상기 제1 기판(9)을 약 100℃∼300℃의 열을 발생하는 프레스 사이에 놓고, 약 30분에서 3시간동안 약 5㎏/㎠∼100㎏/㎠ 하중을 가하여 압착한다. 이때, 상기 가열 온도는 인쇄회로기판의 재질에 따라 다르게 적용하는 것이 바람직하다.Thereafter, the first substrate 9 is placed between presses generating heat of about 100 ° C. to 300 ° C., and pressed by applying a load of about 5 kg / cm 2 to 100 kg / cm 2 for about 30 minutes to 3 hours. In this case, the heating temperature is preferably applied differently depending on the material of the printed circuit board.
이어서, 압착 후 원하는 일정한 형태의 코어 형상 즉, 막대형, 사각형, 사각형의 모서리를 원형으로 라운드를 형성하거나 또는 사각형의 모서리를 일정 길이만큼 잘라낸 팔각형 형상 중 어느 하나의 형상을 드라이필름을 이용하여 노광 및 현상을 한다.Subsequently, after pressing, any one of a core shape having a desired shape, ie, a round shape of a bar, a rectangle, or a rectangle, is rounded or an octagonal shape in which a corner of the rectangle is cut out by a predetermined length is exposed using a dry film. And development.
이어서, 도 4b와 같이 염화제이철(FeCl2)이나 염화제이동(CuCl2) 등의 에칭액을 통하여 상기 베이스 기판(9a)의 상하부에 접착되어 있는 리본형 자성체(10a, 10b)를 에칭하여 형성한다. 이 경우, 상기 리본형 자성체로서 Co계 비정질(amorphous), 퍼멀로이(Permalloy), 슈퍼멀로이 등으로 이루어진 연자기 특성이 뛰어난 재료를 사용하게 된다.Subsequently, as shown in FIG. 4B, ribbon-shaped magnetic bodies 10a and 10b adhered to upper and lower portions of the base substrate 9a are formed by etching with ferric chloride (FeCl 2 ) or ferric chloride (CuCl 2 ). . In this case, a material having excellent soft magnetic properties made of Co-based amorphous, Permalloy, supermalloy, or the like is used as the ribbon magnetic material.
그 후, 제1 기판(9) 위와 아래에 동박이 적층된 제2기판(12a)과 제3기판(12b)을 적층한 후 동박을 노광, 현상, 에칭을 하여 선형으로 이루어진 다수의 상측 및 하측 여자코일 패턴(13a,14a)을 형성시킨다.Subsequently, after stacking the second substrate 12a and the third substrate 12b on which the copper foil is laminated on and under the first substrate 9, the copper foil is exposed, developed, and etched to form a plurality of linear upper and lower sides. The excitation coil patterns 13a and 14a are formed.
상기 다수의 여자코일 패턴(13a,14a)은 자성체 코어(11a, 11b)가 링 형상을 이루는 경우 링의 중심에 대하여 방사상으로 배치되고, 도시된 대략 사각형 또는 8각형 패턴을 이루는 경우는 4변에 수직으로 교차하는 방향을 갖도록 패턴닝 된다.The plurality of excitation coil patterns 13a and 14a are disposed radially with respect to the center of the ring when the magnetic cores 11a and 11b form a ring shape, and when the magnetic cores 11a and 11b form a substantially rectangular or octagonal pattern shown in FIG. Patterned to have a direction that intersects vertically.
이 경우 다수의 상측 및 하측 여자코일 패턴(13a,14a)중 어느 한측의 여자코일 패턴은 상대측의 여자코일 패턴과 내/외측의 단부가 동일한 위치에 위치 설정되도록 경사지게 형성되는 것이 바람직하다.In this case, it is preferable that the excitation coil pattern of any one of the plurality of upper and lower excitation coil patterns 13a and 14a is formed to be inclined so that the opposing excitation coil pattern and the inner / outer end portions are positioned at the same position.
즉, 사각형 자성체 코어(11a, 11b)의 4변을 가로질러 4변의 외주를 감싸는 코일형태를 이루도록, 다수의 상측 여자코일(13a)은 사각형 자성체 코어(11a, 11b)의 4변과 대략 수직으로 교차하는 관계를 이루도록 배치되며, 하측 여자코일 패턴(14a)은 사각형 자성체 코어(11a, 11b)의 4변과 대략 경사를 이루도록 배치되어 있다.That is, the plurality of upper excitation coils 13a are substantially perpendicular to the four sides of the rectangular magnetic cores 11a and 11b so as to form a coil form covering the outer periphery of the four sides across the four sides of the rectangular magnetic cores 11a and 11b. It is arrange | positioned so that it may cross | intersect, and the lower excitation coil pattern 14a is arrange | positioned so that it may become substantially inclined with four sides of the rectangular magnetic cores 11a and 11b.
또한, 상기 다수의 상측 및 하측 여자코일 패턴(13a,14a)의 내측단부는 효과적인 비어홀(13,14b)의 균등한 간격 배치가 이루어지도록 1/2의 제1비어홀 그룹은 중심으로부터 제1거리에 배치하고, 나머지 1/2의 제2비어홀 그룹은 제1비어홀 그룹과 다르게 중심으로부터 제2거리만큼 떨어진 위치에 배치한다.In addition, the inner end portions of the plurality of upper and lower excitation coil patterns 13a and 14a may have 1/2 first bead hole groups at a first distance from the center so that evenly spaced arrangement of the effective via holes 13 and 14b is achieved. The second half hole hole group is disposed at a position away from the center by a second distance, unlike the first beer hole group.
상기 제1 및 제2 비어홀 그룹은 각각 다수의 비어홀 중에서 하나씩 걸러서 위치한 비어홀들로 이루어진다.Each of the first and second via hole groups includes via holes located one by one from a plurality of via holes.
이어서, 제2기판(12a)과 제3기판(12b)의 다수의 상측 및 하측 여자코일 패턴(13a,14a)에 대하여 동일한 위치에 위치 설정된 내/외측의 단부에 배치되며, 제1기판(9)을 통과하는 비어홀(via-hole)(13b,14b)을 형성하고, 제2기판(12a)과 제3기판(12b)의 서로 대응하는 비어홀에 도금을 실시하여 상호 연결시킴에 의해 여자코일(13a, 13b)을 완성한다. Subsequently, the plurality of upper and lower excitation coil patterns 13a and 14a of the second substrate 12a and the third substrate 12b are disposed at inner and outer ends positioned at the same position, and the first substrate 9 Via-holes 13b and 14b passing through the through hole), and the via holes corresponding to each other of the second substrate 12a and the third substrate 12b are plated and interconnected to each other. 13a, 13b).
이어서, 제2기판(12a)의 위쪽에 동박이 적층된 제4기판(16a)을 적층한 후 제1기판(9)의 자성체 코어(11a, 11b)를 가로방향으로 가로지르는 선형으로 이루어진 다수의 상측 X축 픽업코일 패턴(15a)을 노광, 현상, 에칭하여 형성시키고, 제3기판(12b)의 아래쪽에도 동박이 적층된 제5기판(19b)을 적층한 후 제1기판(9)의 자성체 코어(11a, 11b)를 세로방향으로 가로지르는 선형으로 이루어진 다수의 하측 Y축 픽업코일 패턴(20a)을 노광, 현상, 에칭하여 형성시킨다. Subsequently, after stacking the fourth substrate 16a on which the copper foil is laminated on the second substrate 12a, a plurality of linear lines are formed to cross the magnetic cores 11a and 11b of the first substrate 9 in the horizontal direction. The upper X-axis pick-up coil pattern 15a is formed by exposure, development, and etching, and the magnetic body of the first substrate 9 after laminating the fifth substrate 19b having copper foil laminated on the lower side of the third substrate 12b. A plurality of lower Y-axis pick-up coil patterns 20a, each of which is linear to cross the cores 11a and 11b in the longitudinal direction, are formed by exposure, development and etching.
그리고 제4기판(16a)의 위쪽에 동박이 적층된 제6기판(19a)을 적층한 후 제5기판(19b)과 동일한 패턴의 다수의 상측 Y축 픽업코일 패턴(18a)을 노광, 현상, 에칭하여 형성시키고, 제5기판(19b)의 아래쪽에 동박이 적층된 제7기판(16b)을 적층한 후 제4기판(16a)과 동일한 패턴의 다수의 하측 X축 픽업코일 패턴(17a)을 노광, 현상, 에칭하여 형성시킨다. Then, after stacking the sixth substrate 19a having the copper foil laminated on the fourth substrate 16a, the plurality of upper Y-axis pickup coil patterns 18a having the same pattern as the fifth substrate 19b are exposed, developed, After etching, the seventh substrate 16b having copper foil laminated on the lower side of the fifth substrate 19b is laminated, and a plurality of lower X-axis pickup coil patterns 17a having the same pattern as the fourth substrate 16a are formed. It is formed by exposure, development, and etching.
이 경우 상측 X축 픽업코일 패턴(15a)과 하측 X축 픽업코일 패턴(17a)은 자성체 코어(11a, 11b)의 마주보는 2변을 가로지르도록 서로 동일한 방향으로 배치되나, 상측 Y축 픽업코일 패턴(18a)과 하측 Y축 픽업코일 패턴(20a)과는 직각 방향으로 배치되며, 상측 Y축 픽업코일 패턴(18a)과 하측 Y축 픽업코일 패턴(20a)은 자성체 코어(11a, 11b)의 마주보는 나머지 2변을 가로지르도록 서로 동일한 방향으로 배치된다.In this case, the upper X-axis pickup coil pattern 15a and the lower X-axis pickup coil pattern 17a are disposed in the same direction to cross two opposite sides of the magnetic cores 11a and 11b, but the upper Y-axis pickup coil pattern 15a The pattern 18a and the lower Y-axis pick-up coil pattern 20a are disposed at right angles, and the upper Y-axis pick-up coil pattern 18a and the lower Y-axis pick-up coil pattern 20a are formed of the magnetic cores 11a and 11b. They are arranged in the same direction to cross the remaining two sides facing each other.
상기 상측 X축 픽업코일 패턴(15a)과 하측 X축 픽업코일 패턴(17a) 및 상측 Y축 픽업코일 패턴(18a)과 하측 Y축 픽업코일 패턴(20a)의 양측 단부에는 효과적인 균일한 간격을 유지하도록 다수의 스루홀(through-hole)(15b,17b,18b,20b)이 2열로 배치되어 선형의 픽업코일 패턴(15a,17a,18a,20a)과 연결된다.Effective uniform spacing is maintained at both ends of the upper X-axis pickup coil pattern 15a and the lower X-axis pickup coil pattern 17a, and the upper Y-axis pickup coil pattern 18a and the lower Y-axis pickup coil pattern 20a. A plurality of through-holes 15b, 17b, 18b, and 20b are arranged in two rows so as to be connected to the linear pickup coil patterns 15a, 17a, 18a, and 20a.
그 후 제4기판(16a), 제5기판(19b), 제6기판(19a) 및 제7기판(16b)의 스루홀(15b,20b,18b,17b)로부터 제1기판(9), 제2기판(12a), 제3기판(12b)을 통과하는 스루홀(through-hole)을 형성하고, 도금공정을 실시함에 의해 제4기판(16a)과 제7기판(16b)의 스루홀(15b,17b)을 연결하고, 제5기판(19b)과 제6기판(19a)의 스루홀(20b,18b)을 연결하여 X축 및 Y축 픽업코일을 완성한다.Thereafter, the first substrate 9 and the first substrate 9 are formed from the through holes 15b, 20b, 18b, and 17b of the fourth substrate 16a, the fifth substrate 19b, the sixth substrate 19a, and the seventh substrate 16b. Through-holes passing through the second substrate 12a and the third substrate 12b are formed, and the plating process is performed to form the through holes 15b of the fourth substrate 16a and the seventh substrate 16b. , 17b) and through holes 20b and 18b of the fifth substrate 19b and the sixth substrate 19a to complete the X-axis and Y-axis pickup coils.
이 경우 다수의 상측 X축 픽업코일 패턴(15a)과 하측 X축 픽업코일 패턴(17a)은 서로 동일한 방향으로 배치되나, 사각형 자성체 코어(11a, 11b)를 가로방향으로 감싸도록 대응하는 스루홀(15b,17b)이 동일한 위치에 위치 설정되고, 상측 Y축 픽업코일 패턴(18a)과 하측 Y축 픽업코일 패턴(20a)도 X축 픽업코일 패턴과 동일한 방식으로 내/외측의 단부 위치가 결정된다.In this case, the plurality of upper X-axis pick-up coil patterns 15a and the lower X-axis pick-up coil pattern 17a are disposed in the same direction, but the corresponding through holes are formed so as to surround the rectangular magnetic cores 11a and 11b in the horizontal direction. 15b and 17b are positioned at the same position, and the upper and lower Y-axis pick-up coil patterns 18a and the lower Y-axis pick-up coil pattern 20a are also determined at the inner and outer end positions in the same manner as the X-axis pick-up coil pattern. .
이와 같이 이루어진 플럭스 게이트형 미세자계검출센서는 상기한 바와 같이 하나의 기판에 다수의 패턴닝이 서로 대응되게 적층 형성되어, 최종적으로 각각을 낱개로 커팅시켜 사용한다. As described above, the flux gate type micro-magnetic field detection sensor is formed by stacking a plurality of patternings on one substrate so as to correspond to each other, and finally cutting each of them individually.
상기 본 발명의 플럭스 게이트형 미세자계검출센서는 픽업코일이 감긴 부분의 자성체 코어(11a, 11b)를 X축 및 Y축 픽업코일에 수직한 방향으로 직선형태가 되도록 사각형상으로 변형시킴에 의해 센서의 출력신호를 극대화시켜 센서의 감도 및 분해능을 극대화시킬 수 있다.The flux gate type micro-magnetic field sensor of the present invention is a sensor by deforming the magnetic core (11a, 11b) of the portion of the pickup coil wound in a rectangular shape so as to be a straight line in the direction perpendicular to the X-axis and Y-axis pickup coil Maximize the output signal of the sensor to maximize the sensitivity and resolution of the sensor.
또한, 종래의 플럭스 게이트형 미세자계검출센서의 자성체 코어와 달리 상기 베이스 기판 상/하면에 제1 및 제2 리본형 자성체층(10a, 10b)을 상호 직각방향으로 교차하도록 적층시킨 후, 패턴닝을 통해 이루어지는 자성체 코어(11a, 11b)를 구비함에 따라 플럭스 게이트형 미세자계검출센서는 제1 및 제2 자성체 코어(11a, 11b)의 각 변이 균일한 자기특성을 갖게 되어 X축 및 Y축 간의 출력차이를 최소로 줄일 수 있게 되며 이로써 센서의 정확도를 증진시킬 수 있게 된다.In addition, unlike the magnetic core of the conventional flux gate type micro-magnetic field sensor, the first and second ribbon-like magnetic layers 10a and 10b are stacked on the base substrate so as to cross each other at right angles, and then patterned. As the magnetic cores 11a and 11b are formed through the flux gate type micro-magnetic field detection sensor, each side of the first and second magnetic cores 11a and 11b has a uniform magnetic property, and thus the X-axis and the Y-axis The output difference can be reduced to a minimum, thereby increasing the accuracy of the sensor.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플럭스 게이트형 미세자계검출센서의 한쌍의 베이스 기판에 다수의 리본형 자성체를 각각 적층시키는 과정을 나타내는 개략 사시도이고, 도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 플럭스 게이트형 미세자계검출센서의 베이스 기판에 패턴닝된 상태를 나타내는 개략 사시도이다.FIG. 5 is a schematic perspective view illustrating a process of stacking a plurality of ribbon magnetic materials on a pair of base substrates of a flux gate type micro-magnetic field sensor according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a second embodiment of the present invention. It is a schematic perspective view which shows the state patterned on the base board of the flux gate-type micromagnetic field detection sensor which concerns on an example.
상기 제1 실시예가 1장의 베이스 기판 양면에 자화 용이축이 서로 직교방향으로 설정되도록 제1 및 제2 자성체 코어를 패턴닝한 것과는 달리, 제2 실시예에서는 도 5와 같이 제1 베이스 기판(9b)의 일면에 다수의 제1 리본형 자성체(10a)를 일방향으로 적층시킨 뒤, 도 6과 같이 제1 베이스 기판(9b)의 일면에 제1 자성체 코어(11a)를 패턴닝하고, 또한, 이와 동일한 방법으로 별도의 제2 베이스 기판(9c)의 일면에 다수의 제2 리본형 자성체(10b)를 일방향으로 적층시킨 뒤, 제2 베이스 기판(9c)의 일면에 제2 자성체 코어(11b)를 패턴닝하였다.Unlike the first embodiment patterning the first and second magnetic cores such that the easy magnetization axes are set to orthogonal to each other on both sides of the base substrate, the first base substrate 9b is illustrated in FIG. 5 as shown in FIG. 5. After stacking a plurality of first ribbon-like magnetic bodies 10a in one direction on one surface thereof, as shown in FIG. 6, the first magnetic core 11a is patterned on one surface of the first base substrate 9b. In the same manner, after stacking a plurality of second ribbon magnetic bodies 10b on one surface of the second base substrate 9c in one direction, the second magnetic core 11b is disposed on one surface of the second base substrate 9c. Patterned.
그 후, 도 6과 같이 상기 제1 및 제2 베이스 기판(9b, 9c)을 각 베이스 기판의 제1 및 제2 자성체 코어(11a, 11b)의 자화 용이축 방향이 상호 직각방향으로 교차하도록 위치한 상태로 적층시킨다. 이때, 상기 제2 실시예는 상기 제1 베이스 기판(9b)의 하면과 제2 자성체 코어(11b)가 서로 접촉하도록 적층된다.Thereafter, as shown in FIG. 6, the first and second base substrates 9b and 9c are positioned such that the easy magnetization directions of the first and second magnetic cores 11a and 11b of each base substrate cross at right angles to each other. Laminate in a state. In this case, the second embodiment is stacked such that the bottom surface of the first base substrate 9b and the second magnetic core 11b are in contact with each other.
한편, 이 적층 순서와 다소 상이하게 상기 제1 및 제2 베이스 기판(9b, 9c)을 자성체 코어가 패턴닝되지 않은 면을 적층하도록 배치하는 것도 물론 가능하다. 즉, 그 적층 순서는 제1 자성체 코어(11a), 제1 베이스 기판(9a), 제2 베이스 기판(9b) 및 제2 자성체 코어(11b)가 순차적으로 적층된다.On the other hand, it is also possible to arrange the first and second base substrates 9b and 9c so as to stack the surface on which the magnetic core is not patterned, slightly different from this lamination order. That is, in the stacking order, the first magnetic core 11a, the first base substrate 9a, the second base substrate 9b, and the second magnetic core 11b are sequentially stacked.
이 경우에도 상기 제1 실시예와 같이 제1 및 제2 자성체 코어(11a, 11b)의 각 변이 균일한 자기특성을 갖게 되어 X축 및 Y축 간의 출력차이를 최소로 줄일 수 있게 되며 이로써 센서의 정확도를 증진시킬 수 있게 된다.Even in this case, as in the first embodiment, the sides of the first and second magnetic cores 11a and 11b have uniform magnetic properties, thereby minimizing the output difference between the X and Y axes, thereby minimizing the The accuracy can be improved.
(비교예)(Comparative Example)
한편, 도 7a 및 도 7b는 본 발명에 따른 센서의 특성을 알아보기 위해 한쌍의 리본형 자성체층을 직교방향 및 동일방향으로 각각 서로 상이하게 배치하여 패턴닝된 자성체 코어를 갖는 미세자계검출센서에 대하여, 동일 조건 하에서 인위적으로 자기장을 인가하였을 때 나타나는 각각의 센서의 X축 및 Y축에 대한 출력신호에 대한 그래프이다.On the other hand, Figure 7a and 7b is a micro-magnetic field sensor having a magnetic core patterned by arranging a pair of ribbon-like magnetic layer different from each other in the orthogonal direction and the same direction in order to determine the characteristics of the sensor according to the present invention The graphs of the output signals for the X and Y axes of the respective sensors appear when the magnetic field is artificially applied under the same conditions.
먼저, 상기 언급한 바와 같이 사각형의 코어로 사용되는 리본형 자성체는 제조 시, 리본형 자성체의 길이방향(X축방향)과 폭방향(Y축방향)에 대하여 각각 이방성을 가지고 있다. 즉, 도 1과 같이 리본형 자성체의 길이방향(X축방향)으로는 우수한 자기특성을 가지게 되지만 폭방향(Y축방향)으로는 길이방향에 비해 열등한 자기특성을 갖고 있다.First, as mentioned above, the ribbon-shaped magnetic material used as a rectangular core has anisotropy in the longitudinal direction (X-axis direction) and the width direction (Y-axis direction) of the ribbon-shaped magnetic material, respectively, during manufacture. That is, as shown in FIG. 1, the ribbon magnetic material has excellent magnetic properties in the longitudinal direction (X-axis direction), but has inferior magnetic properties in the width direction (Y-axis direction) compared with the longitudinal direction.
먼저, 동일방향으로 적층된 리본형 자성체층을 통해 얻은 자성체 코어를 갖는 센서인 경우, 도 7b와 같이 X축(리본형 자성체의 길이방향)의 출력보다 Y축(리본형 자성체의 폭방향)의 출력이 현저하게 줄어들어 X축 및 Y축의 출력신호의 편차가 큰 것을 확인할 수 있다.First, in the case of a sensor having a magnetic core obtained through a ribbon-like magnetic layer stacked in the same direction, as shown in FIG. 7B, the Y-axis (the width direction of the ribbon-type magnetic body) is smaller than the output of the X-axis (the longitudinal direction of the ribbon-type magnetic body). It can be seen that the output is remarkably reduced and the deviation of the output signals of the X and Y axes is large.
이는 베이스 기판(10)의 상하면에 적층된 제1 및 제2 리본형 자성체층의 X축이 모두 리본형 자성체의 자기적 특성이 뛰어난 길이방향으로 형성되어 있고, Y축은 모두 길이방향에 비해 자기적 특성이 떨어지는 폭방향으로 형성되어 있기 때문임을 알 수 있다.This is because the X-axis of the first and second ribbon-shaped magnetic layers stacked on the upper and lower surfaces of the base substrate 10 are both formed in the longitudinal direction with excellent magnetic properties of the ribbon-shaped magnetic material, and the Y-axis is all magnetically compared to the longitudinal direction. It can be seen that the characteristics are formed in the width direction inferior.
이에 반하여, 동일방향으로 적층된 리본형 자성체층을 통해 얻은 자성체 코어를 갖는 센서인 경우, 도 7a와 같이 X축과 Y축의 출력신호가 거의 동일하게 나타나는 것을 볼 수 있으며, 이는 리본형 자성체를 서로 직교하도록 엇갈리게 적층함으로써 X축 및 Y축 모두 두층 중 어느 한 층은 리본형 자성체의 자기적 특성이 우수한 길이방향으로 형성되고 나머지 한 층은 자기적 특성이 떨어지는 폭방향으로 형성되어 양축간의 출력차가 거의 없기 때문임을 알 수 있다.In contrast, in the case of a sensor having a magnetic core obtained through a ribbon magnetic layer stacked in the same direction, as shown in FIG. 7A, the output signals of the X-axis and the Y-axis appear to be almost the same. By staggering to be orthogonal, any one of the two layers is formed in the longitudinal direction with excellent magnetic properties of the ribbon magnetic material and the other layer is formed in the width direction in which the magnetic properties are poor, so that the output difference between both axes is almost It can be seen that there is no.
따라서 본 발명에 따른 플럭스 게이트형 미세자계검출센서는 센서 축에 대하여 균일한 출력신호의 얻을 수 있으며, 이에 따라 센서의 정확도를 크게 향상시킬 수 있다.Therefore, the flux gate type micro-magnetic field sensor according to the present invention can obtain a uniform output signal with respect to the sensor axis, thereby greatly improving the accuracy of the sensor.
상기한 본 발명에 있어서는 비결정질 리본형 자성체를 베이스 기판의 양면에 상호 직각방향으로 교차하도록 적층시켜 이루어진 자성체 코어를 구비함에 따라 2축으로 이루어진 센서 축에 대하여 균일한 출력신호의 얻을 수 있도록 하여 센서의 정확도를 향상시킬 수 있는 이점이 있다.According to the present invention, a magnetic core formed by stacking an amorphous ribbon-shaped magnetic material on both sides of the base substrate so as to cross at right angles to each other can provide a uniform output signal with respect to a biaxial sensor axis. This has the advantage of improving accuracy.
이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예를 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.In the above, the present invention has been illustrated and described with reference to specific preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above-described embodiments, and the present invention is not limited to the spirit of the present invention. Various changes and modifications will be possible by those who have the same.
도 1은 일반적인 리본형 자성체 시트를 나타내는 개략도,1 is a schematic view showing a typical ribbon magnetic sheet,
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 센서의 출력편차를 줄일 수 있는 플럭스 게이트형 미세자계검출센서를 나타내는 분해 사시도,2 is an exploded perspective view showing a flux gate type micro-magnetic field detection sensor that can reduce the output deviation of the sensor according to the first embodiment of the present invention;
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 플럭스 게이트형 미세자계검출센서의 베이스 기판에 다수의 리본형 자성체를 적층시키는 과정을 나타내는 개략 사시도,3 is a schematic perspective view illustrating a process of stacking a plurality of ribbon-like magnetic materials on a base substrate of a flux gate type micro-magnetic field sensor according to a first embodiment of the present invention;
도 4a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플럭스 게이트형 미세자계검출센서의 베이스 기판에 패턴닝된 상태를 나타내는 개략 사시도,Figure 4a is a schematic perspective view showing a patterned state on the base substrate of the flux gate type micro-magnetic field sensor according to the first embodiment of the present invention,
도 4b는 도 4a에 표시된 A를 나타내는 확대 개략도,4B is an enlarged schematic view showing A shown in FIG. 4A,
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플럭스 게이트형 미세자계검출센서의 한쌍의 베이스 기판에 다수의 리본형 자성체를 각각 적층시키는 과정을 나타내는 개략 사시도,FIG. 5 is a schematic perspective view illustrating a process of stacking a plurality of ribbon magnetic materials on a pair of base substrates of a flux gate type micro magnetic field detection sensor according to a second embodiment of the present invention;
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 플럭스 게이트형 미세자계검출센서의 베이스 기판에 패턴닝된 상태를 나타내는 개략 사시도,6 is a schematic perspective view showing a patterned state on a base substrate of a flux gate type micro-magnetic field sensor according to a second embodiment of the present invention;
도 7a 및 도 7b는 본 발명에 따른 비교예를 보여주는 플럭스 게이트형 미세자계검출센서의 출력신호를 각각 나타내는 그래프이다.7A and 7B are graphs respectively showing output signals of a flux gate type micro-magnetic field sensor showing a comparative example according to the present invention.
*도면 내 주요부분에 대한 부호설명** Description of Signs for Main Parts in Drawings *
9: 제1 기판 9a, 9b, 9c: 베이스 기판9: first substrate 9a, 9b, 9c: base substrate
10a: 제1 리본형 자성체층 10b: 제2 리본형 자성체층10a: first ribbon magnetic layer 10b: second ribbon magnetic layer
11a: 제1 자성체 코어 11b: 제2 자성체 코어11a: first magnetic core 11b: second magnetic core
12a: 제2 기판 12b: 제3 기판12a: second substrate 12b: third substrate
13a: 상측 여자코일 패턴 13b, 14b: 비어 홀13a: upper female coil pattern 13b, 14b: via hole
14a: 하측 여자코일 패턴 15a,17a,18a,20a: 픽업코일 패턴14a: Lower female coil pattern 15a, 17a, 18a, 20a: Pickup coil pattern
15b,17b,18b,20b: 스루홀 16a: 제4 기판15b, 17b, 18b, 20b: through hole 16a: fourth substrate
16b: 제7 기판 19a: 제6 기판16b: seventh substrate 19a: sixth substrate
19b: 제5 기판 19b: fifth substrate
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100704856B1 (en) * | 2005-06-13 | 2007-04-09 | (주) 아모센스 | Compact Micro Magnetic Field Detecting Sensor Using Magneto Impedance Effects and Method for Making the Same |
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