KR20050021585A - Sealing plate for electroluminescence element and mother glass substrate for taking a large number of sealing plates - Google Patents

Sealing plate for electroluminescence element and mother glass substrate for taking a large number of sealing plates Download PDF

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KR20050021585A
KR20050021585A KR10-2005-7001790A KR20057001790A KR20050021585A KR 20050021585 A KR20050021585 A KR 20050021585A KR 20057001790 A KR20057001790 A KR 20057001790A KR 20050021585 A KR20050021585 A KR 20050021585A
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glass
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KR10-2005-7001790A
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데츠로 요시이
히로시 니시카와
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니혼 이타가라스 가부시키가이샤
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Abstract

외부 압력에 대한 내구성을 향상시킬 수 있고, 또한, 외부 압력을 받아도 파손을 방지할 수 있는 EL 소자용 봉지판 및 상기 봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판을 제공하는 것으로서, 유기 EL 소자(100, 104)는 각각 판 형상의 투명한 기판과, 유기 EL 적층체와, 봉지판을 구비한다. 봉지판은 주변부에 주변 돌출부를 규정하기 위해 중앙부가 오목 형상으로 가공되는 오목부를 가진다. 유기 EL 소자(100)가 가지는 봉지판(30)은, 이온 교환에 의해 화학 강화 처리가 실시된다. 또한, 유기 EL 소자(104)가 가지는 봉지판(30a)은 그 오목부(32a)의 귀퉁이부(34)에 곡률 반경 300㎛의 만곡 부위(35)를 가진다.The present invention provides an EL element encapsulation plate capable of improving durability against external pressure and preventing damage even under external pressure, and a mother glass substrate for multiple encapsulation of the encapsulation plate. ) Each includes a plate-shaped transparent substrate, an organic EL laminate, and a sealing plate. The encapsulation plate has a recess in which the central portion is processed into a concave shape in order to define a peripheral protrusion in the peripheral portion. The chemical strengthening process of the sealing plate 30 which the organic electroluminescent element 100 has is carried out by ion exchange. Moreover, the sealing plate 30a which the organic electroluminescent element 104 has has the curved part 35 of curvature radius 300micrometer in the corner part 34 of the recessed part 32a.

Description

일렉트로·루미네슨스 소자용 봉지판 및 상기 봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판{SEALING PLATE FOR ELECTROLUMINESCENCE ELEMENT AND MOTHER GLASS SUBSTRATE FOR TAKING A LARGE NUMBER OF SEALING PLATES}SEALING PLATE FOR ELECTROLUMINESCENCE ELEMENT AND MOTHER GLASS SUBSTRATE FOR TAKING A LARGE NUMBER OF SEALING PLATES}

본 발명은, 일렉트로·루미네슨스 소자용 봉지판(封止板) 및 상기 봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판에 관한 것으로, 특히, 기판 상에 적층된 EL 적층체를 덮도록 중앙부가 오목 형상으로 규정된 EL 소자용 봉지판 및 상기 봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to an encapsulation plate for an electroluminescent element and a mother glass substrate for multifaceting of the encapsulation plate. In particular, the center portion has a concave shape so as to cover the EL laminate stacked on the substrate. It relates to a specified sealing plate for EL elements and a mother glass substrate for the sealing plate multifaceted.

일렉트로·루미네슨스(이하 「EL」이라고 함) 소자는, 휴대 전화나 카 네비게이션 시스템 등의 전자 기기의 표시 부분으로서 적합하게 이용되고, 일반적으로는, 표면에 EL 적층막이 형성된 기판과, 기판상에 형성된 EL 적층막을 덮도록, 꼭대기면이 접착제를 통해 기판에 접착되는 주변 돌출부를 주변부로 규정하기 위해 중앙부가 오목 형상으로 가공된 EL 소자용 봉지판으로 구성된다. 기판과 봉지판은 기판과 주변 돌출부 사이의 봉지 부분에 도포된 접착제로 이루어지는 접착층을 통해 접착된다. Electroluminescence (hereinafter referred to as "EL") elements are suitably used as display portions of electronic devices such as mobile phones and car navigation systems, and generally include a substrate having an EL laminated film formed on its surface, and a substrate shape. In order to cover the EL laminated film formed in the upper surface, the top surface is composed of an EL element encapsulation plate processed in a concave shape in order to define the peripheral protrusions adhered to the substrate through the adhesive as the peripheral portions. The substrate and the encapsulation plate are adhered through an adhesive layer made of an adhesive applied to the encapsulation portion between the substrate and the peripheral protrusion.

이 봉지판의 재료로는, 금속, 유리, 또는 수지 등이 이용된다. 이들 중 봉지판이 금속으로 이루어지는 경우는, 기판에 형성된 인출 전극 부분의 전기적 절연성의 보존을 목적으로, 기판과 주변 돌출부 사이의 봉지 부분에 도포되는 접착제에 절연성의 스페이서를 혼합할 필요가 있으므로, 기판과 주변 돌출부와의 간극이 스페이서분만큼 커지고, 이 부분으로 외부의 수분이 침입할 가능성이 높아진다. 또한, 발광층으로부터의 빛을 봉지판측으로부터 취출하는 전면 발광(top emission) 구조에서는, 봉지판에 투명성이 요구되므로, 금속으로 이루어지는 봉지판은 사용할 수 없다. As a material of this sealing plate, metal, glass, resin, or the like is used. In the case where the encapsulation plate is made of metal, it is necessary to mix the insulating spacer with the adhesive applied to the encapsulation portion between the substrate and the peripheral protrusion for the purpose of preserving the electrical insulation of the lead electrode portion formed on the substrate. The gap with the peripheral protrusion becomes larger by the spacer portion, and the possibility of outside moisture invading into this portion increases. In addition, in the top emission structure in which light from the light emitting layer is taken out from the sealing plate side, transparency is required for the sealing plate, and therefore, the sealing plate made of metal cannot be used.

따라서, EL 소자가 전면 발광 구조를 채용하는 경우에는, 봉지판은 절연성과 투명성을 갖는 플라스틱 또는 유리가 이용된다. 그러나, 플라스틱은 그 자체가 갖는 흡수성 때문에 봉지판의 재료로서 이용되는 경우가 적은데 대해, 유리는 절연성, 투명성 및 내수성이 우수하므로 봉지판의 재료로서 많이 이용된다. Therefore, when the EL element adopts a top emission structure, the sealing plate is made of plastic or glass having insulation and transparency. However, plastic is rarely used as a material of an encapsulation plate because of its absorbency, while glass is widely used as a material of an encapsulation plate because of its excellent insulation, transparency and water resistance.

유리제의 봉지판의 가공 방법으로는, 유리 소판(素板) 자체를 구부려 가공하는 프레스법 이나, 유리 소판의 중앙 부분을 제거하는 샌드블라스트법이 있고, 이 이외에도 에칭법이 있다. 이 에칭법에 의하면, 주변 돌출부의 꼭대기면의 평탄도가 높고, 또한, 중앙 오목부의 표면에 미소한 크랙이 발생하지 않으므로, 기판과 봉지판의 접착을 위해 압력을 가하더라도 봉지 부분에서 균일한 접착을 행할 수 있다.As a processing method of the glass sealing plate, there exists a press method which bends and processes a glass platen itself, and the sandblasting method which removes the center part of a glass platen, and there exists an etching method in addition to this. According to this etching method, the flatness of the top surface of the periphery of the periphery is high, and small cracks do not occur on the surface of the central concave portion. Can be done.

또한, 상기와 같이 하여 제작된 EL 소자용 봉지판을 구비하는 전면 발광형 EL 소자는, 휴대 전화나 전자 수첩 등의 정보 표시 기기의 표시 소자로서 이용되고, 실내 뿐만 아니라, 실외에서도 사용된다.In addition, the top-emitting EL element provided with the sealing plate for EL elements produced as mentioned above is used as a display element of information display apparatuses, such as a mobile telephone and an electronic notebook, and is used not only indoors but also outdoors.

그러나, 상술의 전자 기기의 표시 기기는 외부로부터 압력을 받는 경우가 많아, EL 소자용 봉지판은 외부로부터의 압력에 대항하는 능력을 가지는 것이 필요하다. 그 한편, 봉지판의 재료로서 통상 이용되는 유리는, 특히 인장 응력에 대해 취약하므로, 실내에서의 사용하에서도 인가될 수 있는 인장 응력에 대해 충분히 견딜 수 있는 강도가 요구되는 첫 번째 문제가 있다.However, the display device of the above-mentioned electronic device often receives pressure from the outside, and the sealing plate for EL elements needs to have the ability to counteract the pressure from the outside. On the other hand, glass commonly used as the material of the encapsulation plate is particularly vulnerable to tensile stress, and therefore, there is a first problem that a strength that can be sufficiently tolerated for tensile stress that can be applied even under indoor use is required.

또한, 실외에서의 사용 등, 실내에서의 사용하에 받는 외부 압력보다 더 큰 외부 압력을 받으면, 봉지판의 내벽, 특히, 봉지판 오목부의 귀퉁이부에 인장 응력이 가해져, 봉지판의 파손이 일어나기 쉽다는 두 번째 문제가 있다.In addition, when an external pressure that is greater than an external pressure applied indoors, such as outdoor use, is subjected to tensile stress on the inner wall of the sealing plate, particularly, at the corners of the sealing plate recess, breakage of the sealing plate is likely to occur. Has a second problem.

본 발명의 제1 목적은, 외부 압력에 대한 내구성을 향상시킬 수 있는 EL 소자용 봉지판 및 상기 봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판을 제공하는 것에 있다. A first object of the present invention is to provide an EL element sealing plate capable of improving durability against external pressure and a mother glass substrate for the sealing plate multifaceted.

또한, 본 발명의 제2 목적은, 파손을 방지할 수 있는 EL 소자용 봉지판 및 상기 EL 소자용 봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판을 제공하는 것에 있다. Moreover, the 2nd objective of this invention is providing the sealing plate for EL elements which can prevent damage, and the mother glass substrate for multifaceting of the sealing plate for EL elements.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 EL 소자용 봉지판을 구비하는 유기 EL 소자의 단면도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is sectional drawing of the organic electroluminescent element provided with the sealing plate for EL elements which concerns on 1st Embodiment of this invention.

도 2는 도 1의 EL 소자에 이용되는 EL 소자용 봉지판이 대략 매트릭스상으로 형성된 봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판의 평면도이다. FIG. 2 is a plan view of an encapsulation plate multifaceted mother glass substrate in which an encapsulation plate for an EL element used in the EL element of FIG. 1 is formed in a substantially matrix form.

도 3은 비교예 1의 EL 소자용 봉지판을 구비하는 유기 EL 소자의 단면도이다. 3 is a cross-sectional view of an organic EL device having the sealing plate for EL devices of Comparative Example 1. FIG.

도 4는 본 발명의 제2 실시의 형태에 관한 EL 소자용 봉지판을 구비하는 EL 소자의 단면도이다. 4 is a cross-sectional view of an EL element having a sealing plate for EL elements according to a second embodiment of the present invention.

도 5는 실시예 및 비교예의 EL 소자용 봉지판의 오목부의 파손 유무의 평가 방법의 설명도이다. It is explanatory drawing of the evaluation method of the presence or absence of damage of the recessed part of the sealing plate for EL elements of an Example and a comparative example.

도 6은 비교예 2의 EL 소자용 봉지판을 구비하는 EL 소자의 단면도이다. 6 is a cross-sectional view of an EL element including the sealing plate for the EL element of Comparative Example 2. FIG.

(발명의 개시) (Initiation of invention)

상기 제1 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 제1 양태에 관한 EL 소자용 봉지판은, 기판상에 적층된 EL 적층체를 덮는 유리제의 EL 소자용 봉지판에 있어서, 표면에 강화 처리가 실시된 것을 특징으로 한다. In order to achieve the said 1st objective, the EL element sealing plate which concerns on the 1st aspect of this invention is a glass EL element sealing plate which covers the EL laminated body laminated | stacked on the board | substrate, and a reinforcement process is given to the surface. It is characterized by.

제1 양태에 관한 EL 소자용 봉지판에 있어서, 상기 봉지판은 알칼리 함유 유리로 이루어지고, 상기 강화 처리는 화학 강화 처리로 이루어지는 것이 바람직하다. In the sealing plate for EL elements which concerns on a 1st aspect, it is preferable that the said sealing plate consists of alkali containing glass, and the said strengthening process consists of chemical strengthening processes.

또한, 상기 화학 강화 처리는 이온 교환법에 의해 행해지는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that the said chemical strengthening process is performed by the ion exchange method.

제1 양태에 관한 EL 소자용 봉지판에 있어서, 상기 강화 처리는 풍냉 강화법에 의해 행해지는 것이 바람직하다.In the sealing plate for EL elements which concerns on a 1st aspect, it is preferable that the said reinforcement process is performed by a wind-cooling strengthening method.

상술한 제1 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 제1 양태에 관한 봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판은, 상기 EL 소자용 봉지판이 대략 매트릭스상으로 형성된 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above-mentioned first object, the mother glass substrate for sealing plate multi-faceted sheet according to the first aspect of the present invention is characterized in that the sealing plate for EL elements is formed in a substantially matrix form.

제1 양태에 관한 마더 글래스 기판에 있어서, 상기 봉지판의 사이를 마스킹 처리한 다음에 상기 강화 처리가 실시되고, 상기 강화 처리 후에 상기 봉지판의 사이가 절단되는 것이 바람직하다. In the mother glass substrate which concerns on a 1st aspect, it is preferable that the said reinforcement process is performed after masking between the said sealing plates, and between the said sealing plates is cut | disconnected after the said reinforcement process.

상술한 제2 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 제2 양태에 관한 EL 소자용 봉지판은, 기판 상에 적층된 EL 적층체를 덮도록 중앙부가 오목 형상으로 규정된 EL 소자용 봉지판에 있어서, 상기 오목부의 귀퉁이부에 만곡 부위를 가지는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above-mentioned second object, the EL element sealing plate according to the second aspect of the present invention is an EL element sealing plate whose central portion is defined in a concave shape so as to cover an EL laminate stacked on a substrate. And a curved portion at the corner of the concave portion.

제2 양태에 관한 EL 소자 봉지판에 있어서, 상기 만곡 부위의 곡률 반경이 50㎛ 이상인 것이 바람직하다. In the EL element sealing plate according to the second aspect, the radius of curvature of the curved portion is preferably 50 µm or more.

제2 양태에 관한 EL 소자용 봉지판에 있어서, 상기 오목부는 에칭법에 의해 형성된 것이 바람직하다. In the sealing element for EL elements which concerns on a 2nd aspect, it is preferable that the said recessed part was formed by the etching method.

또한, 상기 에칭법은 습식 에칭법인 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that the said etching method is a wet etching method.

또한, 제2 양태에 관한 EL 소자용 봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판은, 상기 EL 소자용 봉지판이 대략 매트릭스상으로 형성된 것을 특징으로 한다. In addition, the mother glass substrate for a multi-faceted mother glass substrate for an EL element according to the second aspect is characterized in that the EL element sealing plate is formed in a substantially matrix form.

(발명을 실시하기 위한 최선의 형태)(The best mode for carrying out the invention)

본 발명자는, 상기 제1 목적을 달성하기 위해 예의 연구를 행한 결과, 기판상에 적층된 EL 적층체를 덮는 유리제의 EL 소자용 봉지판에 있어서, 표면에 강화 처리가 실시되면, 외부 압력에 대한 EL 소자용 봉지판의 내구성을 향상시킬 수 있어, 실용에 견딜 수 있는 충분한 강도가 얻어지는 것을 발견했다. MEANS TO SOLVE THE PROBLEM As a result of earnestly researching in order to achieve the said 1st objective, this inventor discovered that in the sealing plate for EL elements made of glass which covers the EL laminated body laminated | stacked on the board | substrate, when a surface is strengthened, It was found that the durability of the sealing plate for EL elements can be improved, and sufficient strength can be obtained to withstand practical use.

또한, 본 발명자는, 상기 제2의 목적을 달성하기 위해 예의 연구를 행한 결과, 기판상에 적층된 EL 적층체를 덮도록 중앙부가 오목 형상으로 규정된 EL 소자용 봉지판에 있어서, 오목부의 귀퉁이부에 만곡 부위, 바람직하게는 곡률 반경이 50㎛ 이상인 만곡 부위를 가지면, EL 소자용 봉지판의 파손을 방지할 수 있는 것을 발견했다. Further, the present inventor has conducted intensive studies to achieve the second object. As a result, in the sealing plate for EL elements in which the center portion is defined in a concave shape so as to cover the EL laminate stacked on the substrate, the corners of the concave portion are provided. When the part has a curved part, Preferably the curved part whose curvature radius is 50 micrometers or more, it discovered that the damage of the sealing plate for EL elements can be prevented.

또한, 본 발명자는 상기 제2의 목적을 달성하기 위해 예의 연구를 행한 결과, 오목부가 에칭법에 의해 형성되면, 만곡 부위의 곡률 반경을 원하는 값으로 할 수 있는 것을 발견했다. In addition, the present inventors conducted intensive studies to achieve the second object. As a result, when the concave portions were formed by the etching method, the inventors found that the radius of curvature of the curved portion can be set to a desired value.

본 발명은, 상기 연구 결과에 따라서 이루어진 것이다. This invention is made | formed according to the said research result.

이하, 본 발명의 제1 실시의 형태에 관한 EL 소자용 봉지판을 도면을 참조하면서 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the sealing element for EL elements which concerns on 1st Embodiment of this invention is demonstrated, referring drawings.

도 l은 본 발명의 제1 실시의 형태에 관한 EL 소자용 봉지판을 구비하는 EL 소자의 단면도이다. 1 is a cross-sectional view of an EL element having a sealing plate for EL elements according to a first embodiment of the present invention.

도 1에서, 배면 발광(bottom emission)형 유기 EL 소자(100)는, 수동형(passive) 구조를 취하고, 크기 각 변 7.0㎝, 두께 1.0㎜의 판 형상의 투명한 무알칼리 유리제의 기판(10)과, 기판(10) 상에 형성된 유기 EL 적층체(20)와, 이 유기 EL 적층체(20)를 덮도록 형성된 봉지판(30)으로 이루어진다. In Fig. 1, the bottom emission organic EL device 100 has a passive structure, and has a plate-shaped transparent alkali-free glass substrate 10 having a width of 7.0 cm and a thickness of 1.0 mm. And an organic EL laminate 20 formed on the substrate 10 and an encapsulation plate 30 formed to cover the organic EL laminate 20.

봉지판(30)은 예를 들면 습식 에칭법에 의해 크기 각 변 5.0㎝, 두께 0.70㎜의 판형상의 투명한 알칼리 유리(예를 들면 NA-35 : NH·테크노그래스 주식회사 제)제의 유리 소판으로 형성되고, 오목부(32)의 주변부에 폭 2.0㎜의 주변 돌출부(31)를 규정하기 위해 중앙이 오목 형상으로 가공되고, 오목부(32)의 바닥부의 두께가 0.4㎜이다. 또한, 상기 봉지판(30)은 강화 처리가 실시되어 있다. 기판(10)과 주변 돌출부(31)는, 기판(10)과 주변 돌출부(31)의 꼭대기면과의 사이에 형성된 봉지 부분에 설치된, 예를 들면 자외선 경화형 에폭시 수지제의 접착제로 이루어지는 접착층(40)을 통해 접착된다. The sealing plate 30 is formed of a glass platelet made of a plate-shaped transparent alkali glass (for example, NA-35: made by NH Technograph Co., Ltd.) of 5.0 cm in size and 0.70 mm in thickness by a wet etching method, for example. In order to define the peripheral projections 31 having a width of 2.0 mm at the periphery of the recess 32, the center is processed into a concave shape, and the thickness of the bottom of the recess 32 is 0.4 mm. In addition, the sealing plate 30 is subjected to reinforcement treatment. The board | substrate 10 and the peripheral protrusion part 31 are provided in the sealing part formed between the board | substrate 10 and the top surface of the peripheral protrusion part 31, for example, the contact bonding layer 40 which consists of an adhesive agent of ultraviolet-curable epoxy resins. Glued through).

봉지판(30)의 기판(10)으로의 접착은, 우선, 주변 돌출부(31)에 접착제를 일정량 도포한 후, 봉지판(30)을 기판(10) 위에 얹고, 다음에, 봉지판(30)을 기판(10)에 가압하면서 접착제에 자외선을 조사함으로써 행한다. In the adhesion of the sealing plate 30 to the substrate 10, first, a predetermined amount of adhesive is applied to the peripheral protrusions 31, and then the sealing plate 30 is placed on the substrate 10, and then the sealing plate 30 ) Is irradiated with ultraviolet light while pressing the substrate 10.

유리 소판에의 오목부(32)의 형성은, 우선, 유리 소판의 중앙부를, 후술하는 습식 에칭법에 의해 오목 형상으로 형성하고, 이어서, 이 유리 소판에, 예를 들면 이온 교환법에 의해 화학 강화 처리를 실시함으로써 (도 1에서 참조 부호 311로 표시한다) 행해진다. Formation of the recessed part 32 in a glass platen first forms the center part of a glass platen in a concave shape by the wet etching method mentioned later, and then chemically strengthens this glass platen by an ion exchange method, for example. This is done by performing the process (indicated by 311 in FIG. 1).

봉지판(30)의 오목부(32) 바닥부의 두께는, 0.3∼2.0㎜가 바람직하다. 두께가, 0.3㎜ 미만에서는 봉지판(30)의 오목부(32) 바닥부의 강도가 너무 작고, 2.0㎜보다 크면 봉지판(30)의 강도는 충분히 얻을 수 있지만 EL 소자(100)의 박형화를 꾀할 수 없게 된다. As for the thickness of the recessed part 32 bottom part of the sealing plate 30, 0.3-2.0 mm is preferable. If the thickness is less than 0.3 mm, the strength of the bottom portion of the concave portion 32 of the encapsulation plate 30 is too small. If the thickness is larger than 2.0 mm, the strength of the encapsulation plate 30 can be sufficiently obtained, but the EL element 100 can be thinned. It becomes impossible.

봉지판(30)의 오목부(32)의 바닥부 표면(33)에는, 수분을 흡착시키기 위해서 몰레큘라 시브(50)(유니온 카바이드사 제)가 도포되어 있다. 또한, 몰레큘라 시브(50)의 도포 시 및 봉지판(30)의 기판(10)으로의 접착 시에는, 수분이나 산소의 영향을 없애기 위해서 건조 분위기나 감압한 상태에서 행하는 것이 바람직하다. Molecular sheave 50 (manufactured by Union Carbide) is applied to the bottom surface 33 of the recess 32 of the sealing plate 30 to adsorb moisture. In addition, at the time of application of the molecular sieve 50 and the adhesion of the sealing plate 30 to the board | substrate 10, it is preferable to carry out in a dry atmosphere or a reduced pressure state, in order to remove the influence of moisture or oxygen.

또한, 본 실시의 형태에서는, 흡습제로서 가장 적합한 몰레큘라 시브(50)를 이용했는데, 이에 한정되지 않고, 예를 들면, 실리카겔(SiO2), 데시카이트(desiccite)(점토(clay)계 건조제), 염화칼슘, 산화칼슘, 규산칼슘 등을 이용해도 된다.Further, in the present embodiment, I use the most suitable molecular sieve 50 as an absorbent, the present invention is not limited thereto, for example, silica gel (SiO 2), decitex kite (desiccite) (clay (clay) based desiccant) , Calcium chloride, calcium oxide, calcium silicate or the like may be used.

유기 EL 적층체(20)는, 기판(10)상에 형성되고, 두께 300㎚의 ITO 막으로 이루어지는 투명 도전막(21)과, 후술하는 발광층을 포함하고, 상기 투명 도전막(21)의 표면에 적층된 유기 EL 적층막(22)과, 유기 EL 적층막(22)의 표면에 형성되고, 두께 300㎚의 Mg-Ag 합금으로 이루어지는 배면 전극(23)과, 배면 전극(23)에 접속되고, 두께 300㎚의 ITO 막으로 이루어지는 인출 전극(24)으로 이루어진다. The organic EL laminated body 20 is formed on the board | substrate 10, and contains the transparent conductive film 21 which consists of an ITO film of 300 nm in thickness, and the light emitting layer mentioned later, The surface of the said transparent conductive film 21 Formed on the surface of the organic EL laminated film 22 and the organic EL laminated film 22 laminated thereon, and connected to the back electrode 23 made of an Mg-Ag alloy having a thickness of 300 nm, and the back electrode 23. And an extraction electrode 24 made of an ITO film having a thickness of 300 nm.

유기 EL 적층막(22)은, 투명 도전막(21)측으로부터 순서대로, 트리페닐디아민으로 이루어지는 높이 70㎚의 정공(正孔) 수송층, 이어서 퀴노리놀(quinolinol) 알루미늄 착물(aluminum complex)로 이루어지는 높이 70㎚의 발광층이 적층된 것이다. 또한, 배면 전극(23)과 발광층의 사이에, 트리아졸이나 옥사디아졸로 이루어지는 투명한 전자 수송층이 설치되어도 된다. The organic EL laminated film 22 is sequentially formed from a transparent conductive film 21 side into a hole transport layer having a height of 70 nm made of triphenyldiamine, followed by a quinolinol aluminum complex. A light emitting layer having a height of 70 nm is laminated. In addition, a transparent electron transport layer made of triazole or oxadiazole may be provided between the back electrode 23 and the light emitting layer.

상기 습식 에칭법에 사용되는 에칭액은, 플루오르화수소산 5∼50질량%에, 황산, 염산, 질산 및 인산으로 이루어지는 무기산의 군에서 선택된 적어도 1개의 산을 적량 함유시키는 것이 바람직하다. 이에 따라, 에칭력을 크게 할 수 있다. 또, 이들 무기산의 군에서 선택되는 강산은, 단체거나 2종류 이상의 혼합물이라도 된다. It is preferable that the etching liquid used for the said wet etching method contains 5-50 mass% of hydrofluoric acid suitably at least 1 acid selected from the group of inorganic acids which consist of sulfuric acid, hydrochloric acid, nitric acid, and phosphoric acid. Thereby, etching force can be enlarged. In addition, the strong acid selected from the group of these inorganic acids may be simple or a mixture of two or more types.

또한, 상기 에칭액은, 카르복시산류, 디카르복시산류, 아민류 및 아미노산류로 이루어지는 군에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 유기산이나 염기류를 적량 함유하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 에칭액에 계면 활성제를 적절히 첨가해도 되고, 첨가되는 계면 활성제를 적절히 변경해도 된다. Moreover, it is preferable that the said etching liquid contains an appropriate amount of 1 type, 2 or more types of organic acids and bases chosen from the group which consists of carboxylic acids, dicarboxylic acids, amines, and amino acids. Moreover, surfactant may be added suitably to the said etching liquid, and surfactant added may be changed suitably.

상술한 것과 같은 에칭액의 성분과 그 농도는, 에칭액의 온도 및 에칭되는 유리의 조성 및 종류 등에 따라 적절히 변경된다. 또한, 에칭 처리를 실시할 때, 에칭되는 유리를 요동시키거나, 약한 출력의 초음파를 부여하는 것도 유효하다. 이에 따라, 에칭액을 균일한 용액으로 할 수 있다. 또한, 에칭 처리를 실시할 때, 에칭액으로부터 취출하여 일단 물, 또는 황산, 염산, 질산 및 인산으로 이루어지는 무기산의 군에서 선택된 적어도 1개의 산, 또는 카르복시산류, 디카르복시산류, 아민류 및 아미노산류로 이루어지는 군에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 유기산이나 염기류에 침지시키는 것도 유효하다. 이에 따라, 에칭 처리를 균일하게 실시할 수 있다. The components and the concentration of the etching solution as described above are appropriately changed depending on the temperature of the etching solution and the composition and type of the glass to be etched. In addition, when performing an etching process, it is also effective to rock the etched glass or to give a weak output ultrasonic wave. Thereby, etching liquid can be made into a uniform solution. Moreover, when performing an etching process, it extracts from etching liquid and consists of water or at least 1 acid chosen from the group of inorganic acids which consist of sulfuric acid, hydrochloric acid, nitric acid, and phosphoric acid once, or it consists of carboxylic acids, dicarboxylic acids, amines, and amino acids. It is also effective to be immersed in one or two or more organic acids or bases selected from the group. Thereby, an etching process can be performed uniformly.

또한, 봉지판(30)은, 습식 에칭법 등에 의해 오목 형상으로 가공이 실시되고, 또한 강화 처리가 실시된다. 이에 따라, 실용상 충분한 강도를 가지는 봉지판(30)이 얻어진다. 강화 처리로는, 봉지판(30)의 유리 중에 포함되는 1가의 이온을, 그보다도 이온 반경이 큰 이온으로 치환시키고, 봉지판(30) 표면의 압축 응력을 증가시킴으로써 봉지판(30) 자체의 강도를 증강시키는 화학 강화법이나, 봉지판(30) 자체의 강도를 증강시키는 풍냉 강화가 이용된다. In addition, the sealing plate 30 is processed into a concave shape by a wet etching method or the like, and a reinforcement treatment is performed. Thereby, the sealing plate 30 which has sufficient strength practically is obtained. In the reinforcing treatment, the monovalent ions contained in the glass of the sealing plate 30 are replaced with ions having a larger ion radius than that, and the compressive stress on the surface of the sealing plate 30 is increased to provide the sealing plate 30 itself. A chemical reinforcement method for enhancing the strength or a wind-cooled reinforcement for increasing the strength of the sealing plate 30 itself is used.

화학 강화 처리는, 습식 에칭법에 의해 오목 형상 가공이 실시된 봉지판(30)을 충분히 세정, 건조시키고, 그 후, 상기 봉지판(30)에 포함되어 있는 1가의 이온 중의 적어도 1종류의 이온보다도 이온 반경이 큰 이온으로 이루어지는 질산염, 황산염, 염화물 및 이들 혼합물의 용융염 중에 상기 봉지판(30)을 정치(靜置)함으로써 봉지판(30) 중의 1가 이온의 이온 교환을 행한다. 이에 따라, 봉지판(30)의 표면의 압축 응력이 증가하여, 봉지판(30) 자체의 강도가 증가하게 된다. The chemical strengthening treatment sufficiently cleans and dries the encapsulation plate 30 subjected to the concave processing by the wet etching method, and thereafter, at least one kind of ions among the monovalent ions contained in the encapsulation plate 30. Ion exchange of monovalent ions in the sealing plate 30 is performed by standing the sealing plate 30 in a nitrate, sulfate, chloride, and molten salt of a mixture of ions having a larger ion radius. Accordingly, the compressive stress on the surface of the sealing plate 30 increases, so that the strength of the sealing plate 30 itself increases.

또한, 풍냉 강화 처리는, 습식 에칭법에 의해 오목 형상 가공이 실시된 봉지판(30)을 충분히 세정, 건조시키고, 그 후, 연화 온도 부근까지 가열하고, 급냉시켜 봉지판(30)의 표면의 압축 응력을 증가시켜, 봉지판(30) 자체의 강도를 증가시킬 수 있다. In addition, the wind-cooling strengthening process fully washes and drys the sealing board 30 in which the concave-shaped process was performed by the wet etching method, heats it to near softening temperature, and then quenchs and cools the surface of the sealing board 30. By increasing the compressive stress, the strength of the sealing plate 30 itself can be increased.

본 실시의 형태에 의하면, 표면에 화학 강화 처리 또는 풍냉 강화 처리가 실시되어 있으므로, 외부 압력에 대한 봉지판(30)의 내구성을 향상시킬 수 있다. According to this embodiment, since the chemical strengthening process or air-cooling strengthening process is given to the surface, the durability of the sealing plate 30 with respect to external pressure can be improved.

상기 실시의 형태에서는, 유리 소판에 오목부(32)를 형성하는 방법으로서, 습식 에칭법을 이용하는데, 건식 에칭법이어도 되고, 건식 에칭법과 습식 에칭법을 병용해도 된다. 습식 에칭법에서는, 에칭액의 성분과 에칭 온도를 선택함으로써 일괄(batch) 처리를 행할 수 있고, 따라서 봉지판(30)의 생산성을 향상시킬 수 있다. 이에 대해, 건식 에칭법에서는, 에칭 처리를 정밀하게 할 수 있지만, 일괄 처리가 불가능하고, 할 수 없이 낱장 처리를 하기 때문에, 봉지판(30)의 생산성이 낮다. In the said embodiment, although the wet etching method is used as a method of forming the recessed part 32 in a glass platen, a dry etching method may be used and a dry etching method and a wet etching method may be used together. In the wet etching method, a batch process can be performed by selecting the component and etching temperature of an etching liquid, and therefore productivity of the sealing plate 30 can be improved. On the other hand, in the dry etching method, although the etching process can be precise, since the batch process is impossible and the sheet process is performed unavoidably, the productivity of the sealing plate 30 is low.

또한, 봉지판(30)은 알칼리 함유 유리로 이루어지는데, 5질량% 이상의 1가의 이온을 함유하는 유리이면, 화학 강화용 기재로서 이용할 수 있다. 또한, 봉지판(30)은, 무알칼리 유리로 이루어져도 되고, 이와 같이 이온 교환에 의한 화학 강화 처리를 실시할 수 없는 기재의 경우는, 표면의 강화 처리는, 풍냉 강화(급냉)에 의해 행할 수 있다. Moreover, although the sealing plate 30 consists of alkali containing glass, if it is glass containing 5 mass% or more monovalent ions, it can be used as a base material for chemical strengthening. In addition, the sealing plate 30 may consist of alkali free glass, and in the case of the base material which cannot perform the chemical strengthening process by ion exchange in this way, surface reinforcement treatment may be performed by air-cooled strengthening (quenching). Can be.

본 실시의 형태에서, 유기 EL 적층막(22)은 수동형 구조를 취하는 것인데, 능동형(active) 구조를 취하는 것이어도 된다. 또한, 본 실시 형태에서, 유기 EL 소자(100)는 배면 발광 구조를 취하는 것으로 했는데, 전면 발광 구조를 취하는 것이어도 된다. In the present embodiment, the organic EL laminated film 22 has a passive structure, but may have an active structure. In addition, in this embodiment, although the organic electroluminescent element 100 assumed a back light emission structure, it may take a top light emission structure.

또한, 유기 EL 적층막(22)은 정공 수송층과 발광층으로 이루어지는 것을 이용했는데, 정공 수송층, 발광층 및 트리아졸이나 옥사디아졸로 이루어지는 전자 수송층으로 이루어지는 것을 이용해도 된다. In addition, although the organic EL laminated film 22 used what consists of a positive hole transport layer and a light emitting layer, you may use what consists of a positive hole transport layer, a light emitting layer, and the electron carrying layer which consists of triazole and oxadiazole.

또한, EL 적층막은, 유기 EL 적층막(22)에 대신해, 무기 EL 적층막이어도 된다. 이 경우, 투명 도전막측으로부터 순서대로, 절연층, 발광층, 절연층으로 이루어지는 것이나, 전자 장벽층, 발광층, 전류 제한층으로 이루어지는 것이 이용된다. In addition, the EL laminated film may be an inorganic EL laminated film instead of the organic EL laminated film 22. In this case, what consists of an insulating layer, a light emitting layer, and an insulating layer in order from the transparent conductive film side, or what consists of an electron barrier layer, a light emitting layer, and a current limiting layer is used.

도 1의 EL 소자(100)에 이용되는 봉지판(30)은 상기와 같이 낱장 처리에 의한 제작과 더불어, 하기 도 2의 봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판으로부터 잘라낼 수 있다. The sealing plate 30 used for the EL element 100 of FIG. 1 can be cut out from the mother glass substrate for sealing plate multifaceting of FIG.

도 2는 도 1의 EL 소자(100)에 이용되는 봉지판(30)이 대략 매트릭스상으로 형성된 봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판의 평면도이다. FIG. 2 is a plan view of an encapsulation plate multifaceted mother glass substrate in which an encapsulation plate 30 used in the EL element 100 of FIG. 1 is formed in a substantially matrix form.

도 2에서, 세로 30㎝, 가로 40㎝의 봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판(200)은, 5×6의 매트릭스상으로 형성된 봉지판(30)을 갖는다. In FIG. 2, the mother glass substrate 200 for multi-sided sealing plate 30 cm long and 40 cm wide has an encapsulation plate 30 formed in a matrix of 5 × 6.

유리 소판에 봉지판(30)을 5×6의 매트릭스상으로 형성하는 방법으로는, 습식 에칭법을 포함하는 에칭법에 의해 유리 소판의 소정 부분을 오목 형상으로 제거하는 방법이 있다. 사용되는 유리 소판은, 그 취급상 두께 0.5㎜ 이상, EL 소자(100)의 박형화의 관점에서 두께 1.1㎜ 이하의 것을 사용하는 것이 적합하다. As a method of forming the sealing plate 30 in a 5 * 6 matrix form on a glass platen, there exists a method of removing the predetermined part of a glass platen in concave shape by the etching method containing a wet etching method. As for the glass platen used, it is suitable to use the thing of thickness 1.1mm or less from the viewpoint of thickness reduction of 0.5 mm or more and EL element 100 on the handling.

이 방법에서는, 우선, 알칼리 소판에, 노출부를 5×6의 매트릭스상으로 형성하기 위해 폭이 2.5㎜인 테이프 형상의 레지스트에 의해 마스킹 처리하고, 이 마스킹 처리된 유리 소판을, 상술한 에칭액 중에 10∼180분간 정도 침지시켜, 유리 소판에서 돌출부(101)를 남기고 오목 형상으로 제거해 오목부(102)를 형성하는 것이다. 이 유리 소판을 순수한 물로 충분히 세정한 후에 레지스트를 박리한다. In this method, first, in order to form an exposed part in 5 * 6 matrix form on an alkali platen, it masks by the tape-shaped resist of 2.5 mm in width, and this masked glass platen is carried out in the above-mentioned etching liquid, It is immersed for about 180 minutes, and it removes in concave shape leaving the protrusion part 101 in a glass platen, and forms the recessed part 102. FIG. After the glass platen is sufficiently washed with pure water, the resist is peeled off.

이와 같이 유리 소판의 소정 부분을 습식 에칭법에 의해 오목 형상으로 제거하기 때문에, 봉지판(30)의 오목부(32)의 바닥부 표면을 확실하게 평탄하게 할 수 있어, 외부 압력에 대해 봉지판(30)의 강도를 증대시킬 수 있다. Thus, since the predetermined part of the glass platen is removed in a concave shape by the wet etching method, the bottom surface of the concave portion 32 of the sealing plate 30 can be reliably flattened, and the sealing plate against external pressure. The strength of 30 can be increased.

이어서, 상기한 바와 같이 5×6의 매트릭스상으로 오목부(102)가 형성된 봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판(200)을, 오목부(102)를 규정하는 돌출부(101)의 부위에서 절단한다. 이에 따라, 예를 들면 후술하는 도 2의 EL 소자(100)에 이용되는 봉지판(30)을 30(5×6)개 취득할 수 있다. Subsequently, as described above, the sealing plate multi-faceted mother glass substrate 200 on which the recesses 102 are formed in a matrix of 5 × 6 is cut at the portions of the protrusions 101 defining the recesses 102. . Thereby, for example, 30 (5x6) sealing plates 30 used for the EL element 100 of FIG. 2 mentioned later can be acquired.

상기 실시의 형태에서는, 유리 소판에 오목부(102)를 형성하는 방법으로서, 습식 에칭법을 이용하는데, 건식 에칭법이어도 되고, 건식 에칭법과 습식 에칭법을 병용해도 된다. In the said embodiment, although the wet etching method is used as a method of forming the recessed part 102 in a glass platen, a dry etching method may be used and a dry etching method and a wet etching method may be used together.

봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판(200)은, 봉지판(30)의 배열을 매트릭스상으로 하였는데, 다량 생산에 적합한 배열이면 매트릭스상 이외의 것이어도 된다. The encapsulation plate multi-faceted mother glass substrate 200 has an arrangement of the encapsulation plate 30 in a matrix form, but other arrangements may be used as long as the arrangement is suitable for mass production.

또한, 레지스트의 폭은, 2.5㎜로 한정되지 않고, 취득된 봉지판(30)의 주변 돌출부(31)의 폭이 해당 주변 돌출부(31)의 두께 이상이면 되고, 봉지판(30)의 몫을 확보하기 위해 1㎝ 정도라도 된다. In addition, the width of the resist is not limited to 2.5 mm, and the width of the peripheral protrusions 31 of the obtained sealing plate 30 may be equal to or greater than the thickness of the peripheral protrusions 31, so that the share of the sealing plate 30 is increased. In order to ensure, it may be about 1 cm.

도 2의 봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판(200)에 의하면, 절단 분리에 의해 각 봉지판(30)을 취득할 수 있어, 절단 시에 외부 압력에 대해 강도를 증대시키켜 수명이 긴 봉지판을 제공할 수 있고, 또한 낱장 처리를 행하지 않아서 봉지판(30)의 생산성을 향상시킬 수 있다. According to the encapsulation plate multi-faceted mother glass substrate 200 of FIG. 2, each encapsulation plate 30 can be obtained by cutting and separating, thereby increasing the strength against external pressure at the time of cutting, thereby increasing the lifespan of the encapsulation plate. It can be provided, and also the productivity of the sealing plate 30 can be improved by not performing a sheet processing.

에칭 처리에 의해 오목 형상으로 가공된 봉지판(30)은, 마더 글래스 기판(200)으로부터 개별로 절단된 후에 각각 강화 처리를 실시할 수 있다. The sealing plate 30 processed into the concave shape by the etching process can be strengthened after being individually cut from the mother glass substrate 200.

이하, 본 발명의 제2 실시의 형태에 관한 EL 소자용 봉지판을 도면을 참조하면서 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the sealing plate for EL elements which concerns on 2nd Embodiment of this invention is demonstrated, referring drawings.

본 실시의 형태에 관한 EL 소자는 기본적으로 제1 실시의 형태에 관한 EL 소자와 동일한 구성을 갖는다. 따라서, 동일한 구성에는 동일한 부호를 붙여 설명을 생략한다. The EL element according to the present embodiment basically has the same structure as the EL element according to the first embodiment. Therefore, the same code | symbol is attached | subjected to the same structure and description is abbreviate | omitted.

도 4는 본 발명의 제2 실시의 형태에 관한 EL 소자용 봉지판을 구비하는 EL 소자의 단면도이다. 4 is a cross-sectional view of an EL element having a sealing plate for EL elements according to a second embodiment of the present invention.

도 4에서, 전면 발광형 유기 EL 소자(104)는 수동형 구조를 취하고, 크기 각 변 7.0㎝, 두께 1.0㎜의 판 형상의 투명한 소다라임 유리의 기판(10a)과, 기판(10a) 상에 형성된 유기 EL 적층체(20)와, 이 유기 EL 적층체(20)를 덮도록 형성된 봉지판(30a)으로 이루어진다. In Fig. 4, the front emission type organic EL element 104 has a passive structure, and is formed on a substrate 10a of a plate-shaped transparent soda-lime glass having a size of 7.0 cm each side and a thickness of 1.0 mm, and formed on the substrate 10a. It consists of the organic EL laminated body 20 and the sealing plate 30a formed so that this organic EL laminated body 20 may be covered.

봉지판(30a)은 크기 각 변 5.0㎝, 두께 0.7㎜의 판 형상의 투명한 무알칼리 유리제이고, 오목부(32a)의 주변부에 폭 2.0㎜의 주변 돌출부(31a)를 규정하기 위해 중앙이 오목 형상으로 가공되고, 오목부(32a)의 바닥부의 두께가 0.4㎜이다. 또한, 상기 봉지판(30a)은 오목부(32a)의 귀퉁이부(34)에 곡률 반경 300㎛의 만곡 부위(35)를 가진다. 기판(10a)과 주변 돌출부(31a)는, 기판(10a)과 주변 돌출부(31a)의 꼭대기면과의 사이에 형성된 봉지 부분에 배치된 접착층(40)을 통해 접착된다. The sealing plate 30a is made of a plate-free transparent alkali-free glass of 5.0 cm in size and 0.7 mm in thickness, and has a concave shape in the center to define a peripheral projection 31a having a width of 2.0 mm at the periphery of the concave portion 32a. And the thickness of the bottom part of the recessed part 32a is 0.4 mm. In addition, the encapsulation plate 30a has a curved portion 35 having a radius of curvature of 300 µm at the corner portion 34 of the concave portion 32a. The board | substrate 10a and the peripheral protrusion part 31a are adhere | attached through the adhesive layer 40 arrange | positioned at the sealing part formed between the board | substrate 10a and the top surface of the peripheral protrusion part 31a.

봉지판(30a)의 기판(10a)으로의 접착은, 우선, 주변 돌출부(31a)에 접착제를 일정량 도포한 후, 봉지판(30a)을 기판(10a) 상에 얹고, 다음에, 봉지판(30a)을 기판(10a)에 가압하면서 접착제에 자외선을 조사함으로써 행한다. In the adhesion of the sealing plate 30a to the substrate 10a, first, after applying a certain amount of adhesive to the peripheral protrusion 31a, the sealing plate 30a is placed on the substrate 10a, and then the sealing plate ( It performs by irradiating an ultraviolet-ray to an adhesive agent, pressing 30a) to the board | substrate 10a.

봉지판(30a)으로의 오목부(32a)의 형성은, 제1 실시의 형태에 관한 봉지판(30)과 동일한 방법으로 유리 소판의 중앙부를 오목 형상으로 형성함으로써 행해진다. Formation of the recessed part 32a to the sealing plate 30a is performed by forming the center part of a glass platen in a concave shape by the method similar to the sealing plate 30 which concerns on 1st Embodiment.

봉지판(30a)의 오목부(32a) 바닥부의 두께는, 0.3∼2.0㎜가 바람직하다. 두께가, 0.3㎜ 미만에서는 봉지판(30a) 바닥부의 강도가 너무 작고, 2.0㎜보다 크면 봉지판(30)의 강도는 충분히 얻을 수 있지만 EL 소자(104)의 박형화를 꾀할 수 없게 된다. As for the thickness of the bottom part of the recessed part 32a of the sealing plate 30a, 0.3-2.0 mm is preferable. If the thickness is less than 0.3 mm, the strength of the bottom portion of the sealing plate 30a is too small. If the thickness is larger than 2.0 mm, the strength of the sealing plate 30 can be sufficiently obtained, but the EL element 104 cannot be thinned.

유기 EL 적층체(20)는, 기판(10) 상에 도전막(21)이 형성되고, 상기 도전막(21)의 상면에는 후술하는 발광층을 포함하는 유기 EL 적층막(22)이 적층되고, 유기 EL 적층막(22)의 상면에는 상부 투명 전극(23)이 형성되고, 또한 인출 전극(24)이 상부 투명 전극(23)에 접속되어 구성되어 있다. In the organic EL laminate 20, a conductive film 21 is formed on a substrate 10, and an organic EL laminated film 22 including a light emitting layer described later is stacked on an upper surface of the conductive film 21, The upper transparent electrode 23 is formed in the upper surface of the organic EL laminated film 22, and the lead-out electrode 24 is connected to the upper transparent electrode 23, and is comprised.

유기 EL 적층막(22)은, 도전막(21)측으로부터 순서대로, 트리페닐디아민으로 이루어지는 높이 70㎚의 정공(正孔) 수송층, 이어서 퀴노리놀 알루미늄 착물로 이루어지는 높이 70㎚의 발광층이 배치되어 구성된다. 또한, 상부 투명 전극(23)과 발광층의 사이에, 또한 트리아졸이나 옥사디아졸로 이루어지는 투명한 전자 수송층을 설치하여 구성되어도 된다. In the organic EL laminated film 22, in order from the conductive film 21 side, the 70 nm-high hole transport layer which consists of triphenyldiamine, and the light emitting layer which is 70 nm in height which consists of a quinolinol aluminum complex are arrange | positioned at this time. It is configured. The transparent electron transport layer made of triazole and oxadiazole may be further provided between the upper transparent electrode 23 and the light emitting layer.

상기 에칭 형성에 20wt% 플루오르화수소산, 1wt% 도데실벤젠술폰산나트륨의 혼합액을 에칭액으로서 이용했는데, 이에 한정되지 않고, 에칭력을 크게 하기 위해서 플루오르화수소산 5∼50질량%에, 황산, 염산, 질산 및 인산으로 이루어지는 무기산의 군에서 선택된 적어도 1개의 산을 적당량 함유시킨 것이라도 된다. 또한, 무기산의 군에서 선택되는 강산은, 단체거나 2종류 이상의 혼합물이라도 된다. A mixture of 20 wt% hydrofluoric acid and 1 wt% sodium dodecylbenzenesulfonate was used as an etching solution for the etching formation, but not limited thereto, and sulfuric acid, hydrochloric acid, An appropriate amount of at least one acid selected from the group of inorganic acids consisting of nitric acid and phosphoric acid may be contained. In addition, the strong acid selected from the group of an inorganic acid may be single or 2 or more types of mixtures.

또한, 상기 에칭액은, 카르복시산류, 디카르복시산류, 아민류 및 아미노산류로 이루어지는 군에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 유기산이나 염기류를 적량 함유하는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that the said etching liquid contains an appropriate amount of 1 type, 2 or more types of organic acids and bases chosen from the group which consists of carboxylic acids, dicarboxylic acids, amines, and amino acids.

또한, 상기 에칭액에 계면 활성제를 적절히 첨가해도 되고, 첨가되는 계면 활성제를 적절히 변경해도 된다. Moreover, surfactant may be added suitably to the said etching liquid, and surfactant added may be changed suitably.

상술한 것과 같은 에칭액의 성분과 그 농도는, 에칭액의 온도 및 에칭되는 유리의 조성 및 종류 등에 따라 적절히 변경된다. 또한, 에칭 처리를 실시할 때, 에칭되는 유리를 요동시키거나, 약한 출력의 초음파를 부여하는 것도 유효하다. 이에 따라, 에칭액을 균일한 용액으로 할 수 있다. 또한, 에칭 처리를 실시할 때, 에칭액으로부터 취출하여 일단 물, 또는 황산, 염산, 질산 및 인산으로 이루어지는 무기산의 군에서 선택된 적어도 1개의 산, 또는 카르복시산류, 디카르복시산류, 아민류 및 아미노산류로 이루어지는 군에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 유기산이나 염기류에 침지시키는 것도 유효하다. 이에 따라, 에칭 처리를 균일하게 실시할 수 있다.The components and the concentration of the etching solution as described above are appropriately changed depending on the temperature of the etching solution and the composition and type of the glass to be etched. In addition, when performing an etching process, it is also effective to rock the etched glass or to give a weak output ultrasonic wave. Thereby, etching liquid can be made into a uniform solution. Moreover, when performing an etching process, it extracts from etching liquid and consists of water or at least 1 acid chosen from the group of inorganic acids which consist of sulfuric acid, hydrochloric acid, nitric acid, and phosphoric acid once, or it consists of carboxylic acids, dicarboxylic acids, amines, and amino acids. It is also effective to be immersed in one or two or more organic acids or bases selected from the group. Thereby, an etching process can be performed uniformly.

본 실시의 형태에 의하면, 오목부(32a)의 귀퉁이부(34)에 곡률 반경이 300㎛인 만곡 부위(35)를 가지므로, 봉지판(30a)이 파손되는 것을 방지할 수 있다. According to this embodiment, since the curved part 35 of the recessed part 32a has the curved part 35 whose radius of curvature is 300 micrometers, it can prevent that the sealing plate 30a is damaged.

상기 실시의 형태에 있어서, 만곡 부위(35)의 곡률 반경이 300㎛으로 한정되는 것은 아니지만, 50㎛ 이상인 것이 바람직하다. In the said embodiment, although the radius of curvature of the curved part 35 is not limited to 300 micrometers, it is preferable that it is 50 micrometers or more.

본 실시의 형태에서는, 제1 실시의 형태와 마찬가지로, 유리 소판에 오목부(32a)를 형성하는 방법으로서, 습식 에칭법을 이용하는데, 건식 에칭법이어도 되고, 건식 에칭법과 습식 에칭법을 병용해도 좋다. 습식 에칭법에서는, 에칭액의 성분과 에칭 온도를 선택함으로써 일괄 처리를 행할 수 있고, 따라서 봉지판(30)의 생산성을 향상시킬 수 있다. 이에 대해, 건식 에칭법에서는, 에칭 처리를 정밀하게 할 수 있지만, 일괄 처리가 불가능하고, 할 수 없이 낱장 처리를 하기 때문에, 봉지판(30)의 생산성이 낮다. 또한, 습식 에칭법과 건식 에칭법을 병용함으로써, 습식 에칭법의 등방적인 에칭과 건식 에칭법의 이방적인 에칭을 조합하는 것이 가능해지고, 이에 따라 만곡 부위(35)의 곡률 반경을 원하는 값으로 용이하게 조정할 수 있다. In the present embodiment, similarly to the first embodiment, the wet etching method is used as a method of forming the recesses 32a in the glass platelets. The dry etching method may be used, or the dry etching method and the wet etching method may be used together. good. In the wet etching method, batch processing can be performed by selecting the component and etching temperature of an etching liquid, and therefore productivity of the sealing plate 30 can be improved. On the other hand, in the dry etching method, although the etching process can be precise, since the batch process is impossible and the sheet process is performed unavoidably, the productivity of the sealing plate 30 is low. In addition, by using the wet etching method and the dry etching method together, it is possible to combine the isotropic etching of the wet etching method and the anisotropic etching of the dry etching method, thereby easily adjusting the radius of curvature of the curved portion 35 to a desired value. I can adjust it.

본 실시의 형태에서는, 봉지판(30a)의 유리 소판으로서 무알칼리 유리를 이용했는데, 유기 EL 소자(100, 104)의 구성에 따라 저알칼리 유리 또는 에칭 후에 알칼리 용출 방지 처리를 실시한 소다라임 유리 또는 석영 유리를 이용할 수 있다. In this embodiment, although the alkali free glass was used as the glass plate of the sealing plate 30a, the soda-lime glass which performed the alkali elution prevention process after the low alkali glass or the etching in accordance with the structure of the organic electroluminescent element 100,104, or Quartz glass can be used.

본 실시의 형태에서, 유기 EL 적층막(22)은 수동형 구조를 취했는데, 능동형 구조를 취해도 된다. 또한, 본 실시의 형태에서, 유기 EL 소자(100, 104)는 전면 발광 구조를 취하는 것으로 했는데, 배면 발광 구조를 취해도 된다. 또한, EL 적층막은, 유기 EL 적층막(22)에 대신해, 제1 실시의 형태와 마찬가지로, 무기 EL 적층막이라도 된다. 이 경우, 투명 도전막측으로부터 순서대로, 절연층, 발광층, 절연층으로 이루어지는 것이나, 전자 장벽층, 발광층, 전류 제한층으로 이루어지는 것이 이용된다. In the present embodiment, the organic EL laminated film 22 has a passive structure, but may have an active structure. In addition, in this embodiment, although the organic electroluminescent element 100 and 104 assumed the top light emitting structure, you may take the back light emitting structure. In addition, instead of the organic EL laminated film 22, the EL laminated film may be an inorganic EL laminated film similarly to the first embodiment. In this case, what consists of an insulating layer, a light emitting layer, and an insulating layer in order from the transparent conductive film side, or what consists of an electron barrier layer, a light emitting layer, and a current limiting layer is used.

도 14의 EL 소자(100, 104)에 이용되는 봉지판(30a)은, 상기와 같이 낱장식 처리에 의한 제작과 더불어, 제1 실시 형태와 마찬가지로 하기 도 2의 봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판(200)으로부터 잘라낼 수 있다.The sealing plate 30a used for the EL elements 100 and 104 of FIG. 14 is manufactured by the sheet processing as described above, and similarly to the first embodiment. It can cut out from (200).

도 2는 도 1의 EL 소자(100)에 이용되는 봉지판(30)이 대략 매트릭스상으로 형성된 봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판의 평면도이다. FIG. 2 is a plan view of an encapsulation plate multifaceted mother glass substrate in which an encapsulation plate 30 used in the EL element 100 of FIG. 1 is formed in a substantially matrix form.

도 2에서, 세로 30㎝, 가로 40㎝의 봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판(200)은, 5×6의 매트릭스상으로 형성된 봉지판(30)을 가진다. In FIG. 2, the mother glass substrate 200 for multi-sided sealing plates having a length of 30 cm and a width of 40 cm has a sealing plate 30 formed in a matrix of 5 × 6.

유리 소판에 봉지판(30)을 5×6의 매트릭스상으로 형성하는 방법으로는, 습식 에칭법을 포함하는 에칭법에 의해 유리 소판의 소정 부분을 오목 형상으로 제거하는 방법이 있다. 사용되는 유리 소판은, 그 취급상 두께 0.5㎜ 이상, EL 소자(100)의 박형화의 관점에서 두께 1.1㎜ 이하의 것을 사용하는 것이 적합하다. As a method of forming the sealing plate 30 in a 5 * 6 matrix form on a glass platen, there exists a method of removing the predetermined part of a glass platen in concave shape by the etching method containing a wet etching method. As for the glass platen used, it is suitable to use the thing of thickness 1.1mm or less from the viewpoint of thickness reduction of 0.5 mm or more and EL element 100 on the handling.

이 방법에서는, 우선, 유리 소판에, 노출부를 5×6의 매트릭스상으로 형성하기 위해 폭이 2.5㎜인 테이프 형상의 레지스트에 의해 마스킹 처리하고, 이 마스킹 처리된 유리 소판을, 상술한 에칭액 중에 10∼180분간 정도 침지시켜, 유리 소판에서 돌출부(101)를 남기고 오목 형상으로 제거해 오목부(102)를 형성하는 것이다. 이 유리 소판을 순수한 물로 충분히 세정한 후에 레지스트를 박리한다. In this method, first, in order to form an exposed part in 5 * 6 matrix form on a glass platen, it masks by the tape-shaped resist of 2.5 mm in width, and this masked glass platen is 10 in the above-mentioned etching liquid. It is immersed for about 180 minutes, and it removes in concave shape leaving the protrusion part 101 in a glass platen, and forms the recessed part 102. FIG. After the glass platen is sufficiently washed with pure water, the resist is peeled off.

이와 같이 유리 소판의 소정 부분을 습식 에칭법에 의해 오목 형상으로 제거하기 때문에, 봉지판(30)의 오목부(32)의 바닥부 표면을 확실하게 평탄하게 할 수 있어, 외부 압력에 대해 봉지판(30)의 강도를 증대시킬 수 있다. Thus, since the predetermined part of the glass platen is removed in a concave shape by the wet etching method, the bottom surface of the concave portion 32 of the sealing plate 30 can be reliably flattened, and the sealing plate against external pressure. The strength of 30 can be increased.

이어서, 상기한 바와 같이 5×6의 매트릭스상으로 오목부(102)가 형성된 봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판(200)을, 오목부(102)를 규정하는 돌출부(101)의 부위에서 절단한다. 이에 따라, 봉지판(30)을 30(5×6)개 취득할 수 있다. Subsequently, as described above, the sealing plate multi-faceted mother glass substrate 200 on which the recesses 102 are formed in a matrix of 5 × 6 is cut at the portions of the protrusions 101 defining the recesses 102. . Thereby, 30 (5x6) sealing plates 30 can be acquired.

봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판(200)은, 봉지판(30)의 배열을 매트릭스상으로 하였는데, 다량 생산에 적합한 배열이면 매트릭스상 이외의 것이어도 된다. The encapsulation plate multi-faceted mother glass substrate 200 has an arrangement of the encapsulation plate 30 in a matrix form, but other arrangements may be used as long as the arrangement is suitable for mass production.

또한, 레지스트의 폭은, 2.5㎜로 한정되지 않고, 취득된 봉지판(30)의 주변 돌출부(31)의 폭이 상기 주변 돌출부(31)의 두께 이상이면 되고, 봉지판(30)의 몫을 확보하기 위해 1㎝ 정도라도 된다. In addition, the width of the resist is not limited to 2.5 mm, and the width of the peripheral protrusions 31 of the obtained sealing plate 30 may be equal to or greater than the thickness of the peripheral protrusions 31, so that the share of the sealing plate 30 is increased. In order to ensure, it may be about 1 cm.

또한, 봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판(200)을 절단한 후의 형상이 상기 봉지판(30a)과 동일한 형상인 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that the shape after cut | disconnecting the sealing plate multifaceted mother glass substrate 200 is the same shape as the said sealing plate 30a.

도 2의 봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판(200)에 의하면, 절단 분리에 의해 각 봉지판(30)을 취득할 수 있어, 절단 시에 외부 압력에 대해 강도를 증대시키고, 또한 낱장 처리를 행하지 않아서 봉지판(30)의 생산성을 향상시킬 수 있다. According to the encapsulation plate multi-faceted mother glass substrate 200 of FIG. 2, each encapsulation plate 30 can be obtained by cutting and separating, thereby increasing the strength against external pressure during cutting, and not performing sheet processing. As a result, productivity of the encapsulation plate 30 can be improved.

이하, 본 발명의 제1 실시의 형태에 관한 실시예를 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the Example which concerns on the 1st Embodiment of this invention is described.

본 발명자는, 주변부에 주변 돌출부를 규정하기 위해 중앙부가 습식 에칭법에 의해 오목 형상으로 가공된 후, 이온 교환에 의해 화학 강화 처리가 실시된 봉지판의 실험편을 실시예 1로 하고, 상기 화학 강화 처리를 실시하지 않은 것을 비교예 1(도 3의 유기 EL 소자(103)의 봉지판(301))로 한다. 단, 도 3에서, 제1 실시 형태에 관한 유기 EL 소자(100)와 동일한 구성 요소에 동일한 부호를 붙인다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM This inventor makes the test piece of the sealing plate which the chemical strengthening process was performed by ion exchange after the center part was processed in the concave shape by the wet etching method in order to define the peripheral protrusion part in the periphery as Example 1, and said chemical What did not perform reinforcement process is made into the comparative example 1 (sealing plate 301 of the organic electroluminescent element 103 of FIG. 3). 3, the same code | symbol is attached | subjected to the component same as the organic electroluminescent element 100 which concerns on 1st Embodiment.

봉지판의 실험편에는 우선 20질량% 플루오르화수소산, 1질량% 도데실벤젠술폰산나트륨의 혼합액으로 이루어지는 에칭액을 조제하고, 실시예 1 및 비교예 1의 유리 소판의 외면, 주변면, 및 주변 돌출부를 덮는 내산성의 테이프로 마스킹 처리를 실시하고, 이들 실험편을 25℃로 유지한 상기 에칭액 중에 60분간 침지시킨 후, 에칭액 안에서 꺼내, 순수한 물로 충분히 세정한 후에 내산성 테이프를 박리함으로써, 깊이 300㎛의 오목부와 폭 2.0㎜의 주변 돌출부를 형성했다.To the test piece of the sealing plate, first, an etching solution composed of a mixture of 20% by mass hydrofluoric acid and 1% by mass sodium dodecylbenzenesulfonate was prepared, and the outer surface, the peripheral surface, and the peripheral protrusions of the glass platelets of Example 1 and Comparative Example 1 were prepared. The masking treatment was performed with an acid resistant tape covering the film, and these test pieces were immersed in the etching solution maintained at 25 ° C. for 60 minutes, and then taken out in the etching solution, thoroughly washed with pure water, and then peeled off the acid resistant tape to obtain a depth of 300 μm. The recessed part and the peripheral protrusion part of width 2.0mm were formed.

이어서, 크기 각 변 5.0 ㎝, 두께 1.1㎜ 크기의 소다라임 유리로 이루어지는 유리판 중 소요의 것에, 20질량%의 HF 및 1질량%의 계면 활성제의 액 안에 1시간 침지시킨 후에 충분히 세정, 건조시킨 후, 다시 420℃의 질산칼륨 안에 8시간 침지시킨 후에 충분히 세정하는 화학 강화 처리를 실시함으로써 실시예 1로 했다. 또한, 화학 강화 처리를 실시하지 않은 것을 비교예 1로 했다. Subsequently, after being immersed in the liquid of 20 mass% of HF and 1 mass% of surfactant for 1 hour in the glass plate which consists of soda-lime glass of 5.0 cm of each side and 1.1 mm in thickness, after fully rinsing and drying, After immersing in 420 degreeC potassium nitrate for 8 hours again, the chemical strengthening process which wash | cleans enough was set as Example 1. In addition, the thing which did not perform the chemical strengthening process was made into the comparative example 1.

이어서, 실시예 1 및 비교예 1의 봉지판의 실험편의 주변 돌출부에, 각각, 자외선 경화형의 에폭시 수지제의 접착제를 적당량 도포하고, 기판과 봉지판의 실험편과의 양 측에서 기판과 주변 돌출부의 사이에 형성된 봉지 부분에 대해, 980N/㎡(100㎏/㎡) 정도의 힘을 가하면서 접착제에 자외선을 조사함으로써, 기판과 주변 돌출부 사이의 봉지 부분에 접착층을 형성하여, 유기 EL 소자를 제작했다. Subsequently, an appropriate amount of an ultraviolet curable epoxy resin adhesive is applied to the peripheral protrusions of the test pieces of the sealing plates of Example 1 and Comparative Example 1, respectively, and the substrate and the peripheral protrusions on both sides of the substrate and the test piece of the sealing plate. By irradiating the adhesive with ultraviolet rays while applying a force of about 980 N / m 2 (100 kg / m 2) to the encapsulation portion formed between the layers, an adhesive layer was formed on the encapsulation portion between the substrate and the peripheral protrusion, thereby producing an organic EL device. did.

상기 과정에서 얻어진 실시예 1 및 비교예 1의 유리 소판의 표면에 대해서, 각각의 휘어짐 강도를 JIS R-1604에 의해 측정하여 비교했다. About the surfaces of the glass platelets of Example 1 and Comparative Example 1 obtained in the above process, the respective bending strengths were measured and compared by JIS R-1604.

실시예 1에서는, 휘어짐 강도가 392N/㎟(40㎏/㎟)로 커서, 전자 기기의 표시부의 통상 사용 환경 하의 외부 응력에 충분히 견딜 수 있는 것이었다. 그 결과, 충분한 파괴 강도를 갖는 봉지판 부착의 EL 소자가 얻어진 것을 알았다. In Example 1, the bending strength was 392 N / mm 2 (40 kg / mm 2), which was sufficient to withstand external stress under normal use environment of the display portion of the electronic device. As a result, it was found that an EL device with a sealing plate having sufficient breaking strength was obtained.

비교예 1에서는, 휘어짐 강도가 49N/㎟(5㎏/㎟)로 작아, 전자 기기의 표시부의 통상 사용 환경 하에서는 문제없는 정도이지만, 외부 응력에 대한 신뢰성이 부족한 것을 알았다. In Comparative Example 1, the bending strength was as small as 49 N / mm 2 (5 kg / mm 2), and it was found that there was no problem under the normal use environment of the display portion of the electronic device, but it was found that reliability against external stress was insufficient.

본 실시예에 의하면, 기판상에 적층된 EL 적층체를 덮는 유리제의 EL 소자용 봉지판에 있어서, 표면에 강화 처리가 실시되므로, 외부 압력에 대한 EL 소자용 봉지판의 내구성을 향상시킬 수 있는 것을 알았다.According to this embodiment, in the sealing plate for EL elements made of glass covering the EL laminate laminated on the substrate, the surface is strengthened, so that the durability of the sealing plate for EL elements against external pressure can be improved. I knew that.

이하, 본 발명의 제2 실시의 형태에 관한 실시예를 설명한다. Hereinafter, the Example concerning 2nd Embodiment of this invention is described.

본 발명자는, 무알칼리 유리제의 유리 소판에서 습식 에칭법(실시예 2∼4, 비교예 3) 또는 샌드블라스트법(비교예 2)에 의해 중앙부를 오목 형상으로 규정하기 위해 중앙의 오목부의 주변부에 주변 돌출부가 형성된 봉지판(30)의 실험편을 준비했다. MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to define a center part in concave shape by a wet etching method (Examples 2-4, a comparative example 3) or a sandblasting method (comparative example 2), the present inventors put in the periphery of the center recess part in the glass platen made from alkali-free glass. The test piece of the sealing plate 30 in which the peripheral protrusion part was formed was prepared.

구체적으로는, 20질량% 플루오르화수소산, 1질량% 도데실벤젠술폰산나트륨의 혼합액으로 이루어지는 에칭액을 조제하고, 무알칼리 유리제의 유리 소판의 외면, 주변면 및 주변 돌출부를 덮는 내산성 테이프로 마스킹 처리를 실시하고, 이들 실험편을 25℃로 유지한 상기 에칭액 중에 60분간 침지시킨 후, 에칭액 안에서 꺼내, 순수한 물로 충분히 세정한 후에 내산성 테이프를 박리함으로써, 귀퉁이부(34)에 곡률 반경이 300㎛(실시예 2), 100㎛(실시예 3), 50㎛(실시예 4), 30㎛(비교예 3)의 만곡 부위를 갖는 깊이 0.3㎜의 오목부와, 폭 2.0㎜의 주변 돌출부를 유리 소판에 형성하여, 봉지판의 실험편을 취득했다. Specifically, an etching solution composed of a mixture of 20% by mass hydrofluoric acid and 1% by mass sodium dodecylbenzenesulfonate is prepared, and the masking treatment is performed with an acid resistant tape covering the outer surface, the peripheral surface, and the peripheral protrusion of the glass platen made of alkali-free glass. The test piece was immersed in the etching solution maintained at 25 ° C. for 60 minutes, and then taken out in the etching solution, thoroughly washed with pure water, and then peeled off the acid resistant tape, so that the corner portion 34 had a radius of curvature of 300 µm (implementation). Example 2), a recess having a depth of 0.3 mm having a curved portion of 100 μm (Example 3), 50 μm (Example 4), 30 μm (Comparative Example 3), and a peripheral protrusion having a width of 2.0 mm on the glass platen. It formed and the test piece of the sealing plate was obtained.

또한, 실시예 3, 4 및 비교예 3에서는, 귀퉁이부의 곡률 반경이 각각 100㎛(실시예 3), 50㎛(실시예 4), 30㎛(비교예 3)이 될 때까지는 등방적으로 에칭되는 습식 에칭법을 이용하고, 그 이후의 오목부의 깊이 조정에는 이방적인 에칭이 가능한 건식 에칭법을 이용했다. 건식 에칭법으로는, CHF3 가스 중에서 에칭 처리를 실시하는 반응성 이온 에칭법을 이용했다.Incidentally, in Examples 3, 4 and Comparative Example 3, isotropic etching is performed until the radius of curvature of the corner portions is 100 µm (Example 3), 50 µm (Example 4), 30 µm (Comparative Example 3), respectively. The wet etching method used was used, and the dry etching method capable of anisotropic etching was used for the depth adjustment of the recesses thereafter. Dry etching method as is used a reactive ion etching method for performing etching process from the gas CHF 3.

또한, 도 6에 도시하는 바와같이, 상기 샌드블라스트법에 의해 제작한 봉지판의 실험편(비교예2 : 유기 EL 소자(105)의 봉지판(30b))은, 오목부(32a)의 바닥면에 샌드블라스트법 특유의 미소한 크랙(36)이 많이 발생한다. 또한, 도 6에서, 제2 실시의 형태에 관한 유기 EL 소자(104)와 동일한 구성 요소에 동일한 부호를 붙인다. As shown in Fig. 6, the test piece of the sealing plate produced by the sandblasting method (Comparative Example 2: The sealing plate 30b of the organic EL element 105) has the bottom of the concave portion 32a. Many small cracks 36 peculiar to the sandblasting method are generated on the surface. 6, the same code | symbol is attached | subjected to the component same as the organic electroluminescent element 104 which concerns on 2nd Embodiment.

이어서, 실시예 2∼4 및 비교예 2, 3의 봉지판의 실험편의 주변 돌출부에, 각각, 자외선 경화형의 에폭시 수지제의 접착제를 적당량 도포하고, 기판과 봉지판의 실험편의 양측에서 기판과 주변 돌출부의 사이에 형성된 봉지 부분에 대해 980N/㎡(100㎏/㎡) 정도의 힘을 가하면서 접착제에 자외선을 조사함으로써, 기판과 주변 돌출부 사이의 봉지 부분에 접착층을 형성하여, 유기 EL 소자를 제작했다. Subsequently, an appropriate amount of an ultraviolet curable epoxy resin adhesive is applied to the peripheral protrusions of the test pieces of the sealing plates of Examples 2 to 4 and Comparative Examples 2 and 3, respectively, and the substrate and the peripheral parts of the substrate and the sealing plate on both sides of the test pieces. By applying ultraviolet light to the adhesive while applying a force of about 980 N / m 2 (100 kg / m 2) to the encapsulation portion formed between the protruding portions, an adhesive layer is formed on the encapsulating portion between the substrate and the peripheral protruding portion, thereby producing an organic EL element. did.

이렇게 하여 제작한 유기 EL 소자에 24.5N/㎠(2.5㎏/㎠) 또는 49N/㎠(5㎏/㎠)의 외부 압력을, 봉지판의 에지 코너 4점 중 어느 1점으로부터 가로 세로 방향으로 각각 15㎜의 지점, 예를 들면, 에지 코너(A)(도 5)로부터 가로 세로 방향으로 각각 15㎜의 지점(B)(도 5)을 중심으로 하는 직경 약 10㎜의 원의 범위에 부가한 경우의 봉지판의 오목부의 파손 유무를 조사했다. 그 결과를 표 1에 표시했다.The external pressure of 24.5 N / cm 2 (2.5 kg / cm 2) or 49 N / cm 2 (5 kg / cm 2) was applied to the organic EL device thus produced in any one of four edge corners of the sealing plate in the horizontal and vertical directions. 15 mm point, for example, added to the range of a circle having a diameter of about 10 mm around the point B (Fig. 5) of 15 mm in the transverse and longitudinal direction from the edge corner A (Fig. 5). In this case, the presence or absence of damage to the recessed portions of the sealing plate was examined. The results are shown in Table 1.

<표 1>TABLE 1

곡률 반경 (㎛) Radius of curvature (μm) 파손 관찰 결과      Failure observation result 제조 방법 Manufacturing method 외부응력 24.5N/㎠   External stress 24.5N / ㎠ 외부응력 49N/㎠  External stress 49N / ㎠ 실시예 2Example 2 300  300 파손 무    Breakage 파손 무   Breakage 습식 에칭법 Wet etching 실시예 3Example 3 100  100 파손 무     Breakage 파손 무   Breakage 습식 에칭법+건식 에칭법 Wet etching method + dry etching method 실시예 4Example 4 50   50 파손 무     Breakage 파손 무   Breakage 습식 에칭법+건식 에칭법 Wet etching method + dry etching method 비교예 2Comparative Example 2 -   - 파손     damage 파손    damage 샌드블라스트Sandblast 비교예 3Comparative Example 3 30   30 파손 무    Breakage 파손    damage 습식 에칭법+건식 에칭법Wet etching method + dry etching method

표 1에서, 봉지판이 오목부의 귀퉁이부에 만곡 부위를 가지면, 봉지판의 파손을 방지할 수 있는 것을 알았다. In Table 1, when the sealing plate has a curved part in the corner part of a recessed part, it turned out that breakage of a sealing plate can be prevented.

또한, 만곡 부위의 곡률 반경이 50㎛ 이상이면, 봉지판의 파손을 확실히 방지할 수 있는 것을 알았다. Moreover, it turned out that the damage of a sealing plate can be prevented reliably if the curvature radius of a curved part is 50 micrometers or more.

또한, 오목부가 에칭법에 의해 형성되어 있으면, 만곡 부위의 곡률 반경을 원하는 값으로 할 수 있는 것을 알았다. Moreover, when the recessed part was formed by the etching method, it turned out that the curvature radius of a curved part can be made into a desired value.

이상 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명의 제1 양태에 관한 EL 소자용 봉지판에 의하면, 기판상에 적층된 EL 적층체를 덮는 유리제의 EL 소자용 봉지판에 있어서, 표면에 강화 처리가 실시되면, 외부 압력에 대한 EL 소자용 봉지판의 내구성을 향상시킬 수 있다. As explained above in detail, according to the sealing element for EL elements which concerns on the 1st aspect of this invention, in the sealing element for EL elements made of glass which covers the EL laminated body laminated | stacked on the board | substrate, when a surface is strengthened, The durability of the sealing plate for EL elements to external pressure can be improved.

또한, 이상 상세히 설명한 바와같이, 본 발명의 제2의 양태에 관한 봉지판에 의하면, 오목부의 귀퉁이부에 만곡 부위를 가지므로, EL 소자용 봉지판의 파손을 방지할 수 있다. In addition, as explained in detail above, according to the sealing plate which concerns on the 2nd aspect of this invention, since it has a curved part in the corner part of a recessed part, the damage of the sealing plate for EL elements can be prevented.

제2의 양태에 관한 봉지판에 의하면, 만곡 부위의 곡률 반경이 50㎛ 이상이므로, 상기 봉지판의 효과를 더욱 확실하게 발휘할 수 있다. According to the sealing plate which concerns on a 2nd aspect, since the curvature radius of a curved part is 50 micrometers or more, the effect of the said sealing plate can be exhibited more reliably.

제2의 양태에 관한 봉지판에 의하면, 오목부가 에칭법에 의해 형성되어 있으므로, 만곡 부위의 곡률 반경을 원하는 값으로 할 수 있다. According to the sealing plate which concerns on a 2nd aspect, since the recessed part is formed by the etching method, the curvature radius of a curved part can be made into a desired value.

제2의 양태에 관한 EL 소자용 봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판에 의하면, 상기 봉지판이 대략 매트릭스상으로 형성되므로, 절단 분리에 의해 각 봉지판을 취득할 수 있어, 절단 시에 외부 압력에 대해 강도를 증대시켜 수명이 긴 봉지판을 제공할 수 있고, 또한 낱장 처리를 행하지 않아 봉지판의 생산성을 향상시킬 수 있다. According to the encapsulation plate multifaceted mother glass substrate for EL elements according to the second aspect, since the encapsulation plate is formed in a substantially matrix form, each encapsulation plate can be obtained by cutting separation, and the external pressure at the time of cutting. The strength can be increased to provide a sealing plate with a long life, and the productivity of the sealing plate can be improved by not performing a sheet treatment.

Claims (11)

기판상에 적층된 EL 적층체를 덮는 유리제의 EL 소자용 봉지판에 있어서, 표면에 강화 처리가 실시된 것을 특징으로 하는 EL 소자용 봉지판.The sealing plate for EL elements made of glass which covers the EL laminated body laminated | stacked on the board | substrate WHEREIN: The sealing plate for EL elements characterized by the surface reinforced. 제 1항에 있어서, 상기 봉지판은 알칼리 함유 유리로 이루어지고, 상기 강화 처리는 화학 강화 처리로 이루어지는 것을 특징으로 하는 EL 소자용 봉지판.The sealing plate for an EL element according to claim 1, wherein the sealing plate is made of an alkali containing glass, and the strengthening treatment is made of a chemical strengthening treatment. 제 2항에 있어서, 상기 화학 강화 처리는 이온 교환법에 의해 행해지는 것을 특징으로 하는 EL 소자용 봉지판.The sealing element for an EL device according to claim 2, wherein the chemical strengthening treatment is performed by an ion exchange method. 제 1항에 있어서, 상기 강화 처리는 풍냉 강화법에 의해 행해지는 것을 특징으로 하는 EL 소자용 봉지판.The sealing plate for EL elements according to claim 1, wherein the reinforcement treatment is performed by a wind-cooling reinforcement method. 제 1항에 기재된 EL 소자용 봉지판이 대략 매트릭스상으로 형성된 것을 특징으로 하는 봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판.The sealing plate for EL elements of Claim 1 was formed in substantially matrix form, The mother glass board | substrate for sealing plate multiple surface chamfering characterized by the above-mentioned. 제 5항에 있어서, 상기 봉지판의 사이를 마스킹 처리한 다음에 상기 강화 처리가 실시되고, 상기 강화 처리 후에 상기 봉지판의 사이가 절단되는 것을 특징으로 하는 봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판.The mother glass substrate according to claim 5, wherein the reinforcing treatment is performed after masking the sealing plates, and the space between the sealing plates is cut after the reinforcing treatment. 기판 상에 적층된 EL 적층체를 덮도록 중앙부가 오목 형상으로 규정된 EL 소자용 봉지판에 있어서, 상기 오목부의 귀퉁이부에 만곡 부위를 가지는 것을 특징으로 하는 EL 소자용 봉지판.An EL element sealing plate whose center portion is defined in a concave shape so as to cover an EL laminate stacked on a substrate, wherein the sealing portion for EL element has a curved portion at the corner portion of the concave portion. 제 7항에 있어서, 상기 만곡 부위의 곡률 반경이 50㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 EL 소자용 봉지판.8. The sealing element for an EL element according to claim 7, wherein a radius of curvature of the curved portion is 50 µm or more. 제 7항에 있어서, 상기 오목부는 에칭법에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 EL 소자용 봉지판.8. The sealing plate for EL device according to claim 7, wherein the recess is formed by an etching method. 제 9항에 있어서, 상기 에칭법은 습식 에칭법인 것을 특징으로 하는 EL 소자용 봉지판.10. The sealing plate for EL device according to claim 9, wherein the etching method is a wet etching method. 제 7항에 기재된 EL 소자용 봉지판이 대략 매트릭스상으로 형성된 것을 특징으로 하는 EL 소자용 봉지판 다면취 용 마더 글래스 기판.The sealing plate for EL elements of Claim 7 was formed in substantially matrix form, The mother glass board | substrate for EL element sealing plate multifaceted etching characterized by the above-mentioned.
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KR100883075B1 (en) * 2007-03-02 2009-02-10 엘지전자 주식회사 Light Emitting Device

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