KR20050014437A - 유기 전계 발광 소자와, 이를 이용한 평판 표시 장치와,이를 제조하기 위한 방법 - Google Patents

유기 전계 발광 소자와, 이를 이용한 평판 표시 장치와,이를 제조하기 위한 방법

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KR20050014437A
KR20050014437A KR1020030053074A KR20030053074A KR20050014437A KR 20050014437 A KR20050014437 A KR 20050014437A KR 1020030053074 A KR1020030053074 A KR 1020030053074A KR 20030053074 A KR20030053074 A KR 20030053074A KR 20050014437 A KR20050014437 A KR 20050014437A
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Abstract

유기 전계 발광 소자와, 이를 이용한 평판 표시 장치와, 이를 제조하기 위한 방법을 개시한다. 본 발명은 투명한 기판;과, 기판의 상면에 소정 패턴으로 형성되며, 적어도 1층 이상으로 된 애노우드 전극;과, 애노우드 전극의 상부에 형성되며, 정공 수송 기능층, 발광층, 전자 수송 기능층이 순차적으로 적층되어서 화소를 형성하는 적,녹,청색의 유기 발광막;과, 유기 발광막상에 형성되며, 적어도 1층 이상으로 된 캐소우드 전극;을 포함하는 것으로서, 적색 유기 발광막이 형성된 영역에는 애노우드 전극과 캐소우드 전극 사이에 소정 두께의 보조 정공 수송층이 형성되며, 전면 발광용 평판 표시 장치에 있어서, 정공 수송 기능층의 두께를 적,녹,청색별로 변화를 주어 최대의 발광 효율과 색 재현 범위를 향상시킬 수 있다. 이러한 발광 효율의 향상은 소비 전력의 감소를 가져오게 된다.

Description

유기 전계 발광 소자와, 이를 이용한 평판 표시 장치와, 이를 제조하기 위한 방법{Electro luminescent device and flat display device using the same and the fabrication thereof}
본 발명은 유기 전계 발광 소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유기 발광막의 두께를 적,녹,청색별로 변화를 주어서 최대의 발광 효율을 나타낼 수 있도록 구조가 개선된 유기 전계 발광 소자와, 이를 이용한 평판 표시 장치와, 이를 제조하기 위한 방법에 관한 것이다.
통상적으로, 평판 표시 장치(flat display device)는 크게 발광형과, 수광형으로 분류할 수 있다. 발광형으로는 평판 음극선관(flat cathode ray tube)과, 플라즈마 표시 장치(plasma display panel)와, 전계 발광 소자(electro luminescent device)와, 발광 다이오드(light emitting diode)등이 있다. 수광형으로는 액정 표시 장치(liquid crystal display)를 들 수 있다.
이중에서, 전계 발광 소자는 시야각이 넓고, 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답 속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어서 차세대 표시 장치로서 주목을 받고 있다. 이러한 전계 발광 소자는 발광층을 형성하는 물질에 따라서 무기 전계 발광 소자와 유기 전계 발광 소자로 구분할 수 있다.
무기 전계 발광 소자는 당초 녹색 발광 디스플레이로 상품화되었으나, 플라즈마 표시 장치와 마찬가지로 교류 바이어스 구동이며, 구동시 수백 볼트(voltage)가 필요하다. 또한, 발광을 위한 소재가 무기물이므로, 분자 설계에 의한 발광 파장등의 제어가 곤란하여서 화상을 칼라화 하기가 어렵다.
이에 반하여, 유기 전계 발광 소자는 형광성 유기 화합물을 전기적으로 여기시켜서 발광시키는 자발광형 표시 장치로서, 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 박형화가 용이하며, 광시야각, 빠른 응답 속도 등 액정 표시 장치에 있어서 문제점으로 지적되는 것을 해결할 수 있는 차세대 평판 표시 장치로 주목받고 있다.
이러한 유기 전계 발광 소자는 애노우드 전극과 캐소우드 전극 사이에 유기물로 이루어진 유기 발광막을 구비하고 있으며, 전극들에 애노우드 및 캐소우드 전압이 각각 인가됨에 따라 애노우드 전극으로부터 주입된 정공(hole)이 정공 수송층을 경유하여 유기 발광막으로 이동되고, 전자는 캐소우드 전극으로부터 전자 수송층을 경유하여 유기 발광막으로 이동되어서, 유기 발광막에서 전자와 정공이 재결합하여 여기자(exiton)를 생성하게 된다.
이 여기자가 여기 상태에서 기저 상태로 변화됨에 따라서 발광층의 형광성 분자가 발광함으로써 화상을 형성하게 된다. 풀 컬러(full color)형 유기 전계 발광 소자의 경우에는 적,녹,청색의 삼색을 발광하는 화소를 구비토록 함으로써 풀컬러를 구현한다.
한편, 유기 전계 발광 소자나, 무기 전계 발광 소자나, 액정 표시 장치등 평판 표시 장치에 사용되는 박막 트랜지스터(thin film transistor, 이하 TFT)는 각 화소의 동작을 제어하는 스위칭 소자 및 픽셀을 구동시키는 구동 소자로 사용된다.
이러한 박막 트랜지스터는 기판상에 고농도의 불순물로 도핑된 드레인 영역과 소스 영역 및 상기 드레인 및 소스 영역의 사이에 형성된 채널 영역을 가지는 반도체 활성층을 가지며, 반도체 활성층상에 형성된 게이트 절연막과, 활성층의 채널 영역의 상부에 형성된 게이트 전극으로 구성되어진다.
상기와 같은 박막 트랜지스터는 평판 표시 장치에 있어 스위칭 소자나 화소의 구동 소자로 사용되고 있는데, 능동 구동 방식의 액티브 매트릭스형 유기 전계 발광 소자(active matrix organic light emitting display, AMOLED)는 각 화소당 적어도 2 개의 TFT를 구비하고 있다.
이러한 박막 트랜지스터를 채용한 유기 전계 발광 소자는 전면 발광 방식과 배면 발광 방식으로 구분할 수 있다.
배면 발광 방식은 기판에 투명한 ITO를 성막한 이후에 식각하여서 애노우드 전극을 패터닝하고, 화소와 화소 사이에 절연막을 형성하고, 유기 증착법을 이용하여 유기 발광막을 형성시키고, 금속 전극으로 된 캐소우드 전극을 순차적으로 적층한 구조이다.
전면 발광 방식은 기판상에 반사성의 애노우드 전극을 패터닝하고, 배면 발광 방식의 경우와 마찬가지로 절연막과, 유기 발광막을 형성시키고, 반투과 캐소우드 전극을 순차적으로 적층한 구조이다.
일본 특개평 2000-323277호에는 도 1에 도시된 바와 같이 효율이 높은 빛의 삼원색을 재현하기 위하여 정공 수송 기능층(11)과, 유기 발광막(12)과, 전자 수송 기능층(13)의 두께를 바꾸어서 적,녹,청색의 효율과, 색좌표를 개선하는 배면 발광식 유기 전계 발광 소자(10)가 개시되어 있다.
또한, 일본 특개평 1995-240277호에는 전자 수송 기능층과, 정공 수송 기능층을 공통층으로 하고, 적,녹,청색의 두께나 도핑 농도를 다르게 하고, 유기 발광막에서 얻어진 빛의 원하는 파장이 피크가 되도록 애노우드 전극 및 다수의 유기 화합물 소재층의 두께를 설정한 유기 전계 발광 소자가 개시되어 있다.
그런데, 배면 발광 방식과는 달리 종래의 전면 발광 방식은 반사막으로 된 애노우드 전극과, 반투과막으로 된 캐소우드 전극의 사이에 유기 발광막이 위치하고 있기 때문에 소망하는 적,녹,청색에 대한 색효율과 색좌표를 최대로 할 수 없다.
즉, 배면 발광 방식의 경우, 유기 발광막의 두께는 애노우드 전극의 광학적 특성과, 유기 발광막의 각 층의 전기적 특성에 의하여 효율이 결정된다. 광학적 특성은 발광하는 파장의 1/4의 두께에서 최대의 보강 간섭이 생기고, 전기적 특성은 정공 운송 능력을 가진 층이 전자 운송 능력을 가진 층에 비하여 이동도가 빠르기 때문에 전기적인 여기자를 형성하는 발광 영역을 결정하기 위하여 정공 수송 기능층이 전자 수송 기능층보다 두꺼운 구조이다. 이러한 두가지 기능이 합하여져, 풀 칼라형 평판 표시 장치를 형성할 때 최대의 효율을 나타내는 유기 발광막의 두께가 결정되어진다.
이에 반하여, 전면 발광 방식의 경우에는 광학적 두께와 전기적 두께를 결정하기 위하여 반사막으로 된 애노우드 전극과 반투과막으로 된 캐소우드 전극 사이에 위치하는 전자 수송 기능층, 정공 수송 기능층, 발광층으로 된 유기 발광막의 두께가 배면 발광 방식의 경우와는 다르게 결정되어진다.
이에 따라, 전면 발광 방식을 채용한 평판 표시 장치는 저 소비 전력, 장수명, 최대의 색재현 범위를 나타내기 위하여 적,녹,청색별로 특별한 설계 규칙에 따른 두께를 가지는 것이 요구된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 전자 수송 기능층과 정공 수송 기능층의 두께를 풀칼라에 맞도록 공통층을 두어서 공정을 최대한 간단하게 가져온 유기 전계 발광 소자와, 이를 이용한 평판 표시 장치와, 이를 제조하기 위한 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 최대의 발광 효율에 의한 소비 전력의 감소와 색 재현 범위의 향상을 나타내기 위하여 정공 수송 기능층의 두께를 적,녹,청색별로 변화를 준 유기 전계 발광 소자와, 이를 이용한 평판 표시 장치와, 이를 제조하기 위한 방법을 제공하는데 있다.
도 1은 종래의 유기 전계 발광 소자를 도시한 단면도,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자를 도시한 단면도,
도 3a 내지 도 3f는 도 2의 유기 전계 발광 소자를 단계별로 제조한 이후의 상태를 도시한 것으로서,
도 3a는 기판상에 애노우드 전극과 절연막을 형성한 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 3b는 도 3a의 기판상에 정공 수송 기능층을 형성한 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 3c는 도 3b의 기판상에 보조 정공 수송층을 형성한 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 3d는 도 3c의 기판상에 적,녹,청색의 발광층을 형성한 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 3e는 도 3d의 기판상에 전자 수송 기능층을 형성한 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 3f는 도 3e의 기판상에 캐소우드 전극을 형성한 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 4는 비교예에 따른 유기 전계 발광 소자의 휘도에 대한 발광 효율을 도시한 그래프,
도 5는 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 휘도에 대한 발광 효율을 도시한 그래프,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기 전계 발광 소자를 도시한 단면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
20...유기 전계 발광 소자 21...기판
22...제 1 애노우드 전극 23...제 2 애노우드 전극
24...절연막 25...정공 수송 기능층
26...보조 정공 수송층 27R...적색 발광층
27G...녹색 발광층 27B...청색 발광층
28...전자 수송 기능층 29...캐소우드 전극
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따른 유기 전계 발광 소자는,
투명한 기판;과,
상기 기판의 상면에 소정 패턴으로 형성되며, 적어도 1층 이상으로 된 애노우드 전극;과,
상기 애노우드 전극의 상부에 형성되며, 정공 수송 기능층, 발광층, 전자 수송 기능층이 순차적으로 적층되어서 화소를 형성하는 적,녹,청색의 유기 발광막;과,
상기 유기 발광막상에 형성되며, 적어도 1층 이상으로 된 캐소우드 전극;을 포함하는 것으로서,
상기 적색 유기 발광막이 형성된 영역에는 애노우드 전극과 캐소우드 전극 사이에 소정 두께의 보조 정공 수송층이 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 애노우드는 반사막으로 된 제 1 애노우드 전극과, 상기 제 1 애노우드 전극상에 형성되는 투명 도전막으로 된 제 2 애노우드 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.
게다가, 상기 정공 수송 기능층은 적,녹,청색의 영역을 공히 커버하도록 공통층으로 형성된 것을 특징으로 한다.
나아가, 상기 정공 수송 기능층은 정공 주입층과, 상기 정공 주입층상에 적층되는 정공 수송층을 포함하고 있으며, 상기 보조 정공 수송층은 적색의 정공 주입층과 발광층 사이에 형성된 것을 특징으로 한다.
더욱이, 상기 캐소우드는 반투과막으로 된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 측면에 따른 유기 전계 발광 소자를 제조하기 위한 방법은,
투명한 기판을 준비하는 단계;와,
상기 기판상에 적어도 1층 이상으로 된 소정 패턴의 애노우드 전극을 형성시키는 단계;와,
상기 애노우드 전극의 상부에 형성되는 정공 수송 기능층과, 유기 발광층과, 전자 수송 기능층이 순차적으로 적층된 화소를 형성하는 적,녹,청색의 유기 발광막을 형성시키는 단계;와,
상기 유기 발광막의 상부에 적어도 1층 이상으로 된 소정 패턴의 캐소우드 전극을 형성시키는 단계;를 포함하는 것으로서,
유기 발광막을 형성시키는 단계에서는,
상기 적색 유기 발광막에는 애노우드 전극과 캐소우드 전극 사이에 녹,청색의 유기 발광막과의 두께를 달리하도록 보조 정공 수송층을 형성시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 측면에 따른 유기 전계 발광 소자는,
투명한 기판;
상기 기판의 상면에 소정 패턴으로 형성되며, 적어도 1층 이상으로 된 애노우드 전극;
상기 애노우드 전극의 상부에 형성되며, 정공 수송 기능층, 발광층, 전자 수송 기능층이 순차적으로 형성되어서 적,녹,청색으로 된 화소를 형성하고, 적,녹,청색 영역중 적어도 어느 한 영역이 다른 영역과 두께가 다르도록 보조 정공 수송층이 형성된 적,녹,청색의 유기 발광막; 및
상기 유기 발광막상에 형성되며, 적어도 1층 이상으로 된 캐소우드 전극;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 측면에 따른 유기 전계 발광 소자를 이용한 평판 표시 장치는,
투명한 기판;
상기 기판상에 소정의 패턴으로 형성된 적어도 1층 이상의 애노우드 전극과, 상기 애노우드 전극의 상면에 형성된 정공 수송 기능층과, 유기 발광층과, 전자 수송 기능층으로 된 적,녹,청색의 유기 발광막과, 상기 유기 발광막의 상면에 소정의 패턴으로 형성된 적어도 1층 이상의 캐소우드 전극을 구비하며, 적,녹,청색의 유기 발광막중 적어도 어느 한 영역의 유기 발광막의 두께가 다른 영역의 유기 발광막의 두께가 서로 다르도록 보조 정공 수송층이 형성된 유기 전계 발광 소자;
상기 기판상에 형성되며, 상기 애노우드 전극을 구동시키기 위한 적어도 하나 이상의 박막 트랜지스터; 및
상기 캐소우드 전극의 가장자리를 따라서 형성된 유기 평탄화막;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하에서, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자를 상세하게 설명하고자 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자(20)를 도시한 것이다.
도면을 참조하면, 상기 유기 전계 발광 소자(20)에는 기판(21)이 마련되어 있다. 상기 기판(21)은 투명한 기판으로 이루어져 있다.
상기 기판(21) 상에는 적,녹,청색의 부화소(R,G,B sub pixel)별로 제 1 애노우드 전극(22)이 패턴화되어 있다. 상기 제 1 애노우드 전극(22)은 반사성을 가진 금속막, 예컨대 알루미늄막이나 알루미늄 합금으로 이루어져 있다. 상기 제 1 애노우드 전극(22)의 윗면에는 이보다 두께를 얇게 한 제 2 애노우드 전극(23)이 증착되어 있다. 상기 제 2 애노우드 전극(23)은 ITO와 같은 투명한 도전막이 바람직하다.
적층된 제 1 및 제 2 애노우드 전극(22)(23)의 가장자리로는 절연막(24)이 코팅되어 있다. 상기 절연막(24)은 폴리이미드계 수지나, 폴리 아크릴계 수지로 이루어져 있으며, 적층된 제 1 및 제 2 애노우드 전극(22)(23)의 표면을 제외한 기판(21)상에 코팅되어 있다.
상기 제 2 애노우드 전극(23)의 윗면에는 정공 수송 기능층(25)이 코팅되어있다. 상기 정공 수송 기능층(25)은 적,녹,청색의 부화소별로 독립적으로 형성시키는 것이 아니라, 적,녹,청색을 공통층으로 하여 형성되어 있다. 이에 따라, 상기 정공 수송 기능층(25)은 상기 제 2 애노우드 전극(23)의 윗면에 코팅되어 있을 뿐만 아니라, 제 2 애노우드 전극(23) 사이에 형성된 절연막(24)상에도 형성되어 있다.
상기 정공 수송 기능층(25)은 정공 주입층과, 정공 수송층이 적,녹,청색을 공통층으로 하여 순차적으로 적층되어 이루어져 있다. 즉, CuPc(Phthalocyanine Copper)를 이용하여 대략 250Å 두께로 상기 제 2 애노우드 전극(23) 상에 정공 주입층이 증착되어 있으며, 상기 정공 주입층의 윗면에는 NPB((N,N'-dinaphtyl N,N'-diphenyl 1,1-biphenyl))를 이용하여 대략 100Å 두께로 정공 수송층이 형성되어 있다.
여기서, 적색 영역에는 정공 수송 기능층(25)의 윗면에 보조 정공 수송층(26)이 형성되어 있다. 상기 보조 정공 수송층(26)은 녹,청색의 영역에는 형성되어 있지 않다. 이러한 보조 정공 수송층(26)은 적색의 광학적인 두께를 맞추기 위하여 형성되어 있다. 상기 보조 정공 수송층(26)은 정공 수송층과 실질적으로 동일한 소재인 NPB를 이용하여 대략 250Å의 두께를 가지도록 증착되어 있다. 대안으로는, 상기 보조 정공 수송층(26)은 정공 수송층과 동일한 소재가 아니더라도, 정공 소송력을 가지는 소재로 이루어지면 무방하다고 할 것이다.
이에 따라, 적색이 형성된 영역은 상기 보조 정공 수송층(26)의 증착으로 인하여 녹,청색이 형성된 영역과 비교하여 볼 때 상기 보조 정공 수송층(26)의 두께만큼 두께 차이가 난다고 할 수 있다.
이러한 보조 정공 수송층(26)을 형성시키는 이유는 다음과 같다.
이층막의 애노우드 전극(22)(23)을 가지는 전면 발광 방식의 유기 전계 발광 소자는 반사막으로 된 애노우드 전극과 반투과막으로 된 캐소우드 전극간에 광학적 보강 간섭의 길이가 다르기 때문에 공통층으로 된 정공 수송 기능층(25)을 사용하는 것은 공정상의 잇점이 있음에도 불구하고, 효율 및 색좌표에서 손해를 보게 된다.
이를 극복하기 위하여 적색의 영역에 보조 정공 수송층(26)을 증착하여서 적색 영역에서의 두께를 보정하여 최고의 색재현성과 효율을 얻을 수 있다. 이것은 적색의 경우에는 광학적 두께가 청색의 경우보다 크기 때문에 청색의 최대 색좌표와 효율을 얻기 위해서는 적색의 효율을 손해봐야 한다. 따라서, 상기 적색의 영역에만 보조 정공 수송층(26)을 증착하여서 적색의 효율을 보상하는 방식이다.
경우에 따라서는, 상기 보조 정공 수송층(26)은 적,녹,청색의 영역중 효율이 상대적으로 낮은 영역을 보상하기 위하여 적어도 두 층의 정공 주입층과 발광층 사이에도 형성될 수가 있을 것이다.
이러한 정공 수송 기능층(25)과, 보조 정공 수송층(26)을 형성하기 위해서는 고정세 파인 메탈 마스크를 이용한 인쇄법이나, 레이저 빔을 이용한 증착법이나, 잉크 젯을 이용한 증착법이나, 칼라 패터닝을 이용한 증착법등이 있으며, 상술한 방법중 특별히 어느 하나의 방법에 한정되지 않는다.
한편, 상기 정공 수송 기능층(25)과 보조 정공 수송층(26)의 윗면에는 적,녹,청색별로 발광층(27R)(27G)(27B)를 형성하고 있다. 즉, 적색 영역에만 형성된 보조 정공 수송층(26)의 윗면에는 적색 발광층(27R)이 형성되어 있으며, 다른 정공 수송 기능층(25)의 윗면에는 녹색 및 청색 발광층(27G)(27B)이 각각 형성되어 있다.
상기 적색 발광층(27R)은 CBP와 적색 도펀트(dopant)를 대략 300Å로 열증착하여 형성하고 있다. 상기 녹색 발광층(27G)은 CBP와 IrPPy3(Iridium tris (phenylpyridine))를 대략 250Å로 열증착하여 형성하고 있다. 상기 청색 발광층(27B)은 청색 호스트(m-MTDATA)와 청색 도펀트를 대략 150Å로 증착하여 형성하고 있다.
상기 적,녹,청색 발광층(27R)(27G)(27B)의 윗면에는 전자 수송 기능층(28)이 형성되어 있다. 상기 전자 수송 기능층(28)은 정공 배리어층, 전자 수송층, 전자 주입층등이 순차적으로 적층되어 이루어져 있다.
즉, BAlq를 이용하여 대략 50Å 두께로 상기 적,녹,청색 발광층(27R)(27G)(27B)상에 정공 배리어층이 증착되어 있으며, 상기 정공 배리어층의 윗면에는 Alq3(Aluminium tris quinolate)를 이용하여 대략 250Å 두께로 전자 수송층이 증착되어 있다. 또한, 상기 전자 수송층의 윗면에는 LiF(Lithium fluoride)를 이용하여 대략 30Å 두께로 전자 주입층이 증착되어 있다. 상기 전자 수송 기능층(28)은 적,녹,청색을 공통층으로 하여 형성되어 있다.
상기 전자 수송 기능층(28)의 윗면에는 캐소우드 전극(29)이 형성되어 있다. 상기 캐소우드 전극(29)은 반투과성을 가진 금속막, 이를테면 마그네슘막이나, 은막이나, 마그네슘막과 은막의 혼합물로 이루어져 있다.
상기 캐소우드 전극(29)은 50 내지 150Å의 두께를 가지도록 형성되어 있으며, 바람직한 두께는 100Å이다. 마그네슘막과 은막의 혼합물로 이루어져 있을 경우에는 혼합비가 대략 10:1 내지 30:1이 적당하며, 바람직한 혼합비는 10:1 정도이다.
상기 캐소우드 전극(29)의 윗면에는 투과형 전도성 산화물로 된 보호막을 더 증착시킬 수가 있다. 이를테면, ITO막(인듐 주석 화합물)이나, IZO막(인듐 아연 산화물)이나, ICO막(인듐 세륨 산화물)을 이용하여 이용할 수 있을 것이다.
이처럼, 반사막으로 된 애노우드 전극(22)(23)과, 반투과막으로 된 캐소우드 전극(29) 사이의 두께는 적색 영역의 경우에는 대략 80 내지 150 나노미터 정도가 되거나, 150 내지 300 나노미터 정도가 된다. 반면에, 녹색 영역의 경우에는 대략 50 내지 140 나노미터나, 100 내지 250 나노미터 정도이고, 청색 영역의 경우에는 대략 50 내지 100나, 100 내지 250 나노미터 정도이다. 이와 같은 광학적 두께의 차이는 적,녹,청색의 발광층 자체의 두께 차이에다가 적색 영역에만 추가적으로 형성된 보조 정공 수소층의 형성에 기인한 것이다.
상기와 같은 구조를 가지는 유기 전계 발광 소자의 제조 과정을 도 3a 내지 도 3f를 참조하여 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 투명한 유리로 된 기판(21)이 마련된다. 상기 기판(21)의 윗면에는 알루미늄막과 같은 반사성 금속막으로 된 제 1 애노우드 전극(22)이 적,녹,청색별로 패턴화된다. 상기 제 1 애노우드 전극(22)은 대략 1800Å의 두께를 가지도록 증착된다.
상기 제 1 애노우드 전극(22)의 윗면에는 투과성 전도막인 ITO막나, IZO막으로 된 제 2 애노우드 전극(23)이 형성된다. 상기 제 2 애노우드 전극(23)은 대략 125Å의 두께를 가지도록 증착된다.
인접한 제 2 애노우드 전극(23) 사이에는 유기 절연막(pixel define layer,24)이 패턴화된다. 상기 절연막(24)은 폴리 이미드계 수지나, 폴리 아크릴계 수지를 이용하여 상기 제 2 애노우드 전극(23)의 윗면 가장자리로부터 측벽으로 일체로 연장되며, 인접한 제 1 및 제 2 애노우드 전극(22)(23) 사이의 공간을 채우고 있다.
상기 제 1 및 제 2 애노우드 전극(22)(23)과, 유기 절연막(24)이 형성된 다음에는 물, 이소 프로필 알콜 및 아세톤을 이용하여 순차적으로 세정한 후에 UV/O3세정기를 이용하여 세정처리하게 된다.(도 3a)
이어서, 상기 제 2 애노우드 전극(23)상에 정공 수송 기능층(25)을 형성시키게 된다. 상기 정공 수송 기능층(25)은 적,녹,청색의 영역을 공통층으로 하여 공히 형성시키게 된다.
이때, 상기 정공 수송 기능층(25)은 우선적으로 CuPc를 이용하여 대략 250Å 두께로 정공 주입층을 진공 증착시키게 된다. 이어서, 상기 정공 주입층의 상부에는 NPB를 이용하여 100Å 두께로 정공 수송층을 순차적으로 형성시키게 된다. 상기 정공 수송층은 0.1 nm/sec의 속도로 진공 증착시키게 된다.(도 3b)
다음으로, 적색 영역의 정공 수송 기능층(25)의 정공 수송층상에 보조 정공 수송층(26)을 형성시키게 된다. 상기 보조 정공 수송층(26)은 NPB를 이용하여 250Å 두께로 추가적으로 증착시키게 된다. 이때, 상기 보조 정공 수송층(26)은 적색의 광학적인 두께를 보상하기 위하여 적색의 영역에만 형성시킨다.(도 3c)
이어서, 상기 적,녹,청색의 정공 수송 기능층(25)과 보조 정공 수송층(26)의 윗면에는 적,녹,청색의 발광층(27R)(27G)(27B)을 형성시키게 된다.
적색의 발광층(27R)의 경우에는 상기 보조 정공 수송층(26)의 윗면에 CBP와 적색 도펀트를 이용하여 100:5의 혼합 중량비로 300Å 두께로 형성시키게 된다. 녹색의 발광층(27G)의 경우에는 이에 해당되는 정공 수송 기능층(25)의 윗면에 CBP와 IrPPy3를 이용하여 100:5의 혼합 중량비로 250Å 두께로 형성시키게 된다. 청색의 발광층(27B)의 경우에는 이에 해당되는 정공 수송 기능층(25)의 윗면에 청색 호스트와 청색 도펀트를 이용하여 100:4의 혼합 중량비로 150Å로 형성시키게 된다.(도 3d)
다음으로, 상기 적,녹,청색의 발광층(27R)(27G)(27B)의 상부에 전자 수송 기능층(28)을 형성시키게 된다.
즉, 상기 발광층(27R)(27G)(27B)의 상부에 BAlq를 이용하여 대략 50Å 두께로 정공 배리어층을 형성시킨 다음에, 상기 정공 배리어층 상부에 Alq3를 이용하여 대략 250Å 두께로 전자 수송층을 진공 증착시키게 된다. 상기 전자 수송층의 윗면에는 LiF를 이용하여 대략 30Å의 두께로 전자 주입층을 형성시키게 된다.(도 3e)
이어서, 상기 전자 수송 기능층(28)의 윗면에는 캐소우드 전극(29)을 형성시키게 된다.
즉, 상기 전자 수송층의 윗면에는 마그네슘과 은을 이용하여 10:1의 혼합 중량비로 100Å 두께로 열증착하여 반투과성의 캐소우드 전극(29)를 형성하게 된다. 상기 캐소우드 전극(29)은 애노우드 전극(22)(23)과는 달리 공통 전극으로 형성시키는 것이 공정의 편의상 바람직하다고 할 것이다.
다음으로, 상기 캐소우드 전극(29)에는 투명한 전도성 산화물인 보호막이 추가적으로 형성될 수 있다. 보호층으로는 IZO를 이용하여 800Å 두께로 증착시키게 된다. 상기 보호층은 스퍼터를 이용하여 증착가능하며, 0.2 nm/sec의 속도와, 1×10-5Pa의 진공 조건하에서 수행가능하다고 할 것이다.(도 3f)
이후의 공정으로는, 질소 가소 분위기나, 무수 조건하에서 유리와 UV 접착제를 이용하여 봉지한 다음에 대략 70℃의 온도에서 1시간동안 열경화처리하여서 전면 발광형 유기 전계 발광 소자를 완성할 수 있다 할 것이다.
이하에서, 본 발명을 하기 실시예를 들어서 상세히 설명하기로 하되, 본 발명이 하기 실시예에서만 한정된 것은 아니다.
(실시예)
도 2에 도시된 전면 발광형 유기 전계 발광 소자를 구성하기 위하여, 기판상에 알루미늄/ITO로 된 반사성의 애노우드 전극을 구성하고, 2×2mm의 발광 영역을 유기성 절연막으로 패터닝하였다. 이후, 결과물에 물, 이소프로필 알콜 및 아세톤을 이용하여 순차적으로 세정한 이후에 UV/O3를 이용하여 세정처리하였다.
이후로, 적,녹,청색의 공통층으로 이용하는 CuPc를 진공증착하여 250Å 두께의 정공 주입층과, NPB를 진공증착하여 100Å 두께의 정공 수송층을 형성하여 정공 수송 기능층을 완성하였다.
이어서, 정공 수송층의 윗면에는 적색의 광학적인 두께를 맞추기 위하여 NPB를 진공증착하여 250Å 두께의 보조 정공 수송층을 추가적으로 형성시켰다. 상기 보조 정공 수송층의 상부에는 100:5의 혼합 중량비의 CBP와 적색 도펀트를 열증착하여 300Å 두께의 적색 발광층을 형성하였다.
또한, 녹색에 해당되는 정공 수송층의 윗면에 100:5 혼합 중량비의 CBP 와 IrPPy3를 열증착하여 250Å 두께의 녹색 발광층을 형성시켰으며, 청색에 해당되는 정공 수송층의 윗면에 100:4 혼합 중량비의 청색 호스트와 청색 도펀트를 열증착하여 150Å 두께의 청색 발광층을 형성시켰다.
그 후에, 상기 발광층의 상부에 BAlq를 증착하여 50Å 두께의 정공 배리어층을 형성시키고, 정공 배리어층의 상부에 Alq3를 진공 증착하여 250Å 두께의 전자 수송층을 형성시키고, 전자 수송층의 상부에 LiF를 진공 증착하여 30Å 두께의 전자 주입층을 형성하여 전자 수송 기능층을 완성하였다.
전자 수송층 상부에는 10:1의 혼합 중량비의 마그네슘과 은을 동시에 열증착하여 캐소우드 전극을 100Å 두께로 형성하였다. 이어서, 상기 캐소우드 전극의 상부에 IZO를 800Å 두께로 형성하였다.
이후에, 질소 가스 분위기 및 무수 조건하에서 글래스와 UV 접착제를 이용하여 봉지한 다음, 대략 70℃에서 1시간동안 열경화처리하여서 전면 발광형 유기 전계 발광 소자를 완성하였다.
(비교예)
정공 주입층과, 정공 수송층이 순차적으로 적층된 적색 영역의 정공 수송 기능층의 상부에 NPB로 된 보조 정공 수송층을 형성시키는 것을 제외하고는 실시예와 동일한 방법에 따라 전면 발광형 유기 전계 발광 소자를 완성하였다.
상기와 같은 방법으로 제조된 실시예와 비교예의 전면 발광형 유기 전계 발광 소자를 정리하면 표 1에 도시된 바와 같다.
애노우드 정공주입층 정공수송층 보조정공수송층 발광층 정공배리어층 전자수송층 전자주입층 캐소우드전극 보호층
비교예 적색 1800/125 250 100 - 300 50 250 30 100 800
녹색 1800/125 250 100 - 250 50 250 30 100 800
청색 1800/125 250 100 - 150 50 250 30 100 800
실시예 적색 1800/125 250 100 250 300 50 250 30 100 800
녹색 1800/125 250 100 - 250 50 250 30 100 800
청색 1800/125 250 100 - 150 50 250 30 100 80
(단위:Å)
도 4는 비교예에 따른 풀 칼라 유기 전계 발광 소자의 결과이며, 도 5는 실시예에 다른 풀 칼라 유기 전계 발광 소자의 결과이다.
이때, X축은 휘도(Cd/m2)를 나타낸 것이고, Y축은 전류 효율(Cd/A)과, 전력 효율(lm/W)를 각각 나타낸 것이다.
표 1과 도 4 및 도 5를 참조하면, 비교예와 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자를 비교하여 보면 녹색의 전류 효율(G1)(G3)과, 전력 효율(G2)(G4)은 휘도에 대하여 실질적으로 동일한 값을 나타낸다. 또한, 청색의 전류 효율(B1)(B3)과, 전력 효율(B2)(B4)도 휘도에 대하여 실질적으로 동일한 값을 나타낸다.
반면에, 비교예의 유기 전계 발광 소자의 적색의 전류 효율(R1)과, 전력 효율(R2)은 12.2601(Cd/A)와 6.41936(lm/W)을 각각 나타낸다. 이에 비하여 실시예의 유기 전계 발광 소자의 적색의 전류 효율(R3)과, 전력 효율(R4)는 15.6815(Cd/A)와 8.21081(lm/W)을 각각 나타낸다.
또한, 비교예의 유기 전계 발광 소자의 적색의 색좌표는 X축과 Y축에 대하여 각각 0.6167과 0.382을 나타내는 반면에, 실시예의 유기 전계 발광 소자의 적색의 색좌표는 X축과 Y축에 대하여 각각 0.6514와 0.3467을 나타낸다.
이처럼, 비교예의 경우보다 실시예의 경우가 효율과 색좌표 모두에서 향상된 결과를 나타낸다는 것을 알 수 있다. 이에 따라, 고품위의 유기 전계 발광 소자를 제작할 수가 있을 것이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 적색 영역의 두께를 보정한 유기 전계 발광 소자를 채용한 액티브 매트릭스형 평판 표시 장치(AMOLED,60)를 도시한 것이다.
도면을 참조하면, 상기 액티브 매트릭스형 평판 표시 장치(60)에는 기판(61)이 마련되어 있다. 상기 기판(61)은 투명한 소재, 예컨대 유리로 형성되어 있다. 상기 기판(61) 상에는 버퍼층(62)이 증착되어 있다.
상기 버퍼층(62)의 상부에는 TFT(70)와, 유기 전계 발광 소자(80)가 형성되어 있다. 상기 기판(61) 상에는 스위칭 TFT와, 구동 TFT와, 커패시터가 형성되어 있으며, 여기서는 구동 TFT(70)와 유기 전계 발광 소자(80)가 형성된 영역만 도시하기로 한다.
상기 버퍼층(62)의 윗면에는 소정 패턴으로 배열된 p형 또는 n형의 반도체층(71)이 형성되어 있다. 상기 반도체층(71)은 게이트 절연막(63)에 의하여 매립되어 있다.
상기 게이트 절연막(63)의 윗면에는 상기 반도체층(71)과 대응되는 곳에 TFT(70)의 게이트 전극(72)이 형성되어 있다. 상기 게이트 전극(72)은 중간 절연막(64)에 의하여 매립되어 있다. 상기 중간 절연막(64)이 형성된 다음에는 드라이 에칭등의 에칭 공정에 의하여 상기 게이트 절연막(63)과 중간 절연막(64)을 에칭하여 콘택 홀(63a)(64a)을 형성시켜서 상기 반도체층(71)의 일부를 노출시키고 있다.
상기 반도체층(71)의 노출된 부분은 콘택 홀(63a)(64a)을 통하여 양 측에서 소정의 패턴으로 형성된 TFT(70)의 소스 전극(73)과 드레인 전극(74)과 각각 연결되어 있다. 상기 소스 및 드레인 전극(73)(74)은 보호막(65)에 의하여 매립되어 있다. 상기 드레인 전극(74)은 보호막(65)이 형성된 다음에 에칭 공정을 통하여 그 일부가 노출되어 있다.
그리고, 상기 유기 전계 발광 소자(80)는 전류의 흐름에 따라 적,녹,청색의 빛을 발광하여 소정의 화상 정보를 표시하기 위한 것으로서, 여기서는 적색 영역을나타내고 있다.
상기 보호막(65)상에 반사성 금속막으로 된 제 1 애노우드 전극(81)이 패턴화되어 있다. 상기 제 1 애노우드 전극(81)은 보호막(65)의 에칭을 통하여 일부가 노출된 TFT(70)의 드레인 전극(74)과 전기적으로 연결되어 있다. 상기 제 1 애노우드 전극(81)은 상기 드레인 전극(74)으로부터 플러스 전원을 공급받는다. 상기 제 1 애노우드 전극(81)의 윗면에는 투명한 전도성 소재인 ITO막이나 IZO막으로 된 제 2 애노우드 전극(82)이 형성되어 있다.
상기 제 2 애노우드 전극(82)의 윗면에는 정공 수송 기능층(83)이 형성되어 있다. 상기 정공 수송 기능층(83)은 적,녹,청색의 공통층으로 이용가능하며, CuPc로 된 정공 주입층(84)과, NPB로 된 정공 수송층(85)이 순차적으로 형성되어 있다.
상기 정공 수송층(85)의 윗면에는 적색의 경우 광학적 두께를 보상하기 위하여 녹,청색의 경우와는 달리 NPB로 된 보조 정공 수송층(86)이 추가적으로 더 형성되어 있다. 상기 보조 정공 수송층(86)의 윗면에는 유기 발광층(87)이 증착되어 있다. 상기 유기 발광층(87)은 CBP와 적색 도펀트를 적정 비율로 열증착하여 형성되어 있다.
상기 유기 발광층(87)의 윗면에는 BAlq를 증착하여 정공 배리어층(88)이 형성되어 있다. 상기 정공 배리어층(88)의 상부에는 전자 수송 기능층(89)이 형성되어 있다. 상기 전자 기능 수송층(89)은 Alq3로 된 전자 수송층(90)과, 상기 전자 수송층(90)상에 증착된 LiF로 된 전자 주입층(91)을 포함하고 있다.
상기 유기 발광층(87)의 윗면에는 반투과성의 금속막, 예컨대 마그네슘과 은의 혼합으로 증착된 캐소우드 전극(92)이 형성되어 있다. 상기 캐소우드 전극(92)은 전체 화소를 커버하도록 형성되어 있으며, 마이너스 전원이 공급된다. 상기 캐소우드 전극(92)의 윗면에는 IZO막이나 ITO막으로 된 보호막(93)이 형성되어 있다.
한편, 상기 보호막(65)상에 제 1 및 제 2 애노우드 전극(81)(82)을 형성한 다음에는 상기 유기 전계 발광 소자(80)의 개구부(94)가 형성되는 영역을 제외하고는 기판(61) 상에 형성된 스위칭 TFT와, 구동 TFT(70)와, 커패시터의 각 패턴으로 인한 높이 차이를 평활하게 하기 위하여 유기 평탄화막(66)이 형성되어 있다. 상기유기 평탄화막(66)은 전술한 실시예에서 언급된 바 있는 절연막과 상응하며, 폴리 이미드계 수지나, 폴리 아크릴계 수지로 이루어져 있다. 상기 유기 평탄화막(66)은 제 1 및 제 2 애노우드 전극(81)(82)이 형성된 발광 영역을 제외한 그 나머지 주변 영역 전체를 덮고 있다.
이처럼, 본원발명에 따른 액티브 매트릭스형 평판 표시 장치(AMOLED,60)는 전면 발광 방식의 유기 전계 발광 소자(80)의 색좌표와 색순도를 최대로 높이기 위하여 적색 영역의 두께만 보상하기 위하여 보조 정공 수송층을 추가적으로 설치하고 있다.
이러한, 보조 정공 수송층이 적색 영역에만 형성된 것은 상술한 것처럼 유기 전계 발광 소자의 전극 주변에 박막 트랜지스터 회로를 포함하는 액티브 매트릭스형의 평판 표시 장치뿐만 아니라, 박막 트랜지스터 회로를 포함하지 않는 평판 표시 장치에도 공히 적용가능함은 물론이다.
이상의 설명에서와 같이 본 발명의 유기 전계 발광 소자와, 이를 이용한 평판 표시 장치와, 이를 제조하기 위한 방법은 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
첫째, 전면 발광용 평판 표시 장치에 있어서, 정공 수송 기능층의 두께를 적,녹,청색별로 변화를 주어 최대의 발광 효율과 색 재현 범위를 향상시킬 수 있다. 이러한 발광 효율의 향상은 소비 전력의 감소를 가져오게 된다.
둘째, 정공 수송 기능층과 전자 수송 기능층의 두께 구조를 풀칼라에 맞도록 공통층을 두어서 공정을 최대한 단순화시킬 수 있다.
셋째, 적색의 정공 수송 기능층의 두께를 적색에 맞는 두께로 보정하여 색재현성과 발광 효율을 향상시킬 수 있다.
넷째, 반사막 애노우드 전극과 반투과형 캐소우드 전극 사이에 위치한 적색층의 두께를 보강하게 되어서 공통층을 도입한 구조나, 적,녹,색별로 독립된 구조를 가지는 유기 전계 발광 소자의 단점을 해결할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims (40)

  1. 투명한 기판;과,
    상기 기판의 상면에 소정 패턴으로 형성되며, 적어도 1층 이상으로 된 애노우드 전극;과,
    상기 애노우드 전극의 상부에 형성되며, 정공 수송 기능층, 발광층, 전자 수송 기능층이 순차적으로 적층되어서 화소를 형성하는 적,녹,청색의 유기 발광막;과,
    상기 유기 발광막상에 형성되며, 적어도 1층 이상으로 된 캐소우드 전극;을 포함하는 것으로서,
    상기 적색 유기 발광막이 형성된 영역에는 애노우드 전극과 캐소우드 전극 사이에 소정 두께의 보조 정공 수송층이 형성된 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 애노우드는 반사막으로 된 제 1 애노우드 전극과, 상기 제 1 애노우드 전극상에 형성되는 투명 도전막으로 된 제 2 애노우드 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 애노우드 전극은 알루미늄막 또는 알루미늄 합금인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 2 애노우드 전극은 ITO막 또는 IZO막인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 정공 수송 기능층은 적,녹,청색의 영역을 공히 커버하도록 공통층으로 형성된 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 정공 수송 기능층은 정공 주입층과, 상기 정공 주입층상에 적층되는 정공 수송층을 포함하고 있으며, 상기 보조 정공 수송층은 적색의 정공 주입층과 발광층 사이에 형성된 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 보조 정공 수송층은 적색의 정공 주입층과 실질적으로 동일한 소재로 형성된 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 보조 정공 수송층은 정공 수송력을 가지는 소재로 된 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 보조 정공 수송층은 대략 250Å의 두께인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 정공 수송 기능층은 정공 주입층과, 상기 정공 주입층상에 적층되는 정공 수송층을 포함하고 있으며, 상기 보조 정공 수송층은 적색 및 청색 및 녹색층중 적어도 두층의 정공 주입층과 발광층 사이에 형성된 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  11. 제 1 항에 있어서,
    적색의 영역은 상기 애노우드 전극과 캐소우드 전극 사이의 두께가 80 내지 150 나노미터인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  12. 제 1 항에 있어서,
    적색의 영역은 상기 애노우드 전극과 캐소우드 전극 사이의 두께가 150 내지 300 나노미터인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  13. 제 1 항에 있어서,
    녹색의 영역은 상기 애노우드 전극과 캐소우드 전극 사이의 두께가 50 내지 140 나노미터인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  14. 제 1 항에 있어서,
    녹색의 영역은 상기 애노우드 전극과 캐소우드 전극 사이의 두께가 100 내지 250 나노미터인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  15. 제 1 항에 있어서,
    청색의 영역은 상기 애노우드 전극과 캐소우드 전극 사이의 두께가 50 내지 100 나노미터인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  16. 제 1 항에 있어서,
    청색의 영역은 상기 애노우드 전극과 캐소우드 전극 사이의 두께가 100 내지 250 나노미터인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  17. 제 1 항에 있어서,
    상기 캐소우드는 반투과막으로 된 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 캐소우드는 마그네슘 또는 은 또는 마그네슘-은 혼합물인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  19. 투명한 기판을 준비하는 단계;와,
    상기 기판상에 적어도 1층 이상으로 된 소정 패턴의 애노우드 전극을 형성시키는 단계;와,
    상기 애노우드 전극의 상부에 형성되는 정공 수송 기능층과, 유기 발광층과, 전자 수송 기능층이 순차적으로 적층된 화소를 형성하는 적,녹,청색의 유기 발광막을 형성시키는 단계;와,
    상기 유기 발광막의 상부에 적어도 1층 이상으로 된 소정 패턴의 캐소우드 전극을 형성시키는 단계;를 포함하는 것으로서,
    유기 발광막을 형성시키는 단계에서는,
    상기 적색 유기 발광막에는 애노우드 전극과 캐소우드 전극 사이에 녹,청색의 유기 발광막과의 두께를 달리하도록 보조 정공 수송층을 형성시키는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자를 제조하기 위한 방법.
  20. 제 19 항에 있어서,
    애노우드 전극을 형성시키는 단계에서는,
    반사막으로 된 제 1 애노우드 전극과, 상기 제 1 애노우드 전극 상부에 투명막으로 된 제 2 애노우드 전극을 순차적으로 형성시키는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자를 제조하기 위한 방법.
  21. 제 19 항에 있어서,
    적,녹,청색의 유기 발광막을 형성시키는 단계에서는,
    상기 정공 수송 기능층은 상기 적,녹,청색 영역을 공히 커버하도록 공통층으로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자를 제조하기 위한 방법.
  22. 제 19 항에 있어서,
    상기 보조 정공 수송층을 형성시키는 단계에서는,
    상기 기판상에 공통층인 정공 주입층과, 상기 정공 주입층상에 적층되는 정공 수송층으로 된 정공 수송 기능층을 순차적으로 형성하고, 상기 적색 영역의 정공 주입층의 윗면에 소정 두께의 보조 정공 수송층을 형성시키는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자를 제조하기 위한 방법.
  23. 제 22 항에 있어서,
    상기 보조 정공 수송층은 적색의 정공 주입층과 실질적으로 동일한 소재를 소정 두께로 증착시키는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자를 제조하기 위한 방법.
  24. 제 22 항에 있어서,
    상기 보조 정공 수송층은 정공 수송력을 가진 소재를 소정 두께로 증착시키는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자를 제조하기 위한 방법.
  25. 제 22 항에 있어서,
    상기 보조 정공 수송층은 NPB로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자를 제조하기 위한 방법.
  26. 제 22 항에 있어서,
    상기 보조 정공 수송층은 적색층에 대하여 대략 250Å의 두께로 형성시키는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자를 제조하기 위한 방법.
  27. 제 19 항에 있어서,
    상기 캐소우드 전극을 형성시키는 단계에서는,
    상기 전자 수송 기능층상에 반투막으로 된 금속막을 증착시키는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자를 제조하기 위한 방법.
  28. 투명한 기판;
    상기 기판의 상면에 소정 패턴으로 형성되며, 적어도 1층 이상으로 된 애노우드 전극;
    상기 애노우드 전극의 상부에 형성되며, 정공 수송 기능층, 발광층, 전자 수송 기능층이 순차적으로 형성되어서 적,녹,청색으로 된 화소를 형성하고, 적,녹,청색 영역중 적어도 어느 한 영역이 다른 영역과 두께가 다르도록 보조 정공 수송층이 형성된 적,녹,청색의 유기 발광막; 및
    상기 유기 발광막상에 형성되며, 적어도 1층 이상으로 된 캐소우드 전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  29. 제 28 항에 있어서,
    상기 보조 정공 수송층은 적색 영역의 정공 수송 기능층과 발광층 사이에 형성된 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  30. 제 29 항에 있어서,
    상기 보조 정공 수송층은 정공 주입층과 정공 수송층이 순차적으로 적층된 정색 수송 기능층의 정공 수송층과 실질적으로 동일한 소재인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  31. 제 28 항에 있어서,
    상기 애노우드 전극은 반사막으로 된 제 1 애노우드 전극과, 상기 제 1 애노우드 전극의 윗면에 형성된 투명막으로 된 제 2 애노우드 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  32. 제 28 항에 있어서,
    상기 정공 수송 기능층은 적,녹,청색 영역을 공히 커버하도록 공통층으로 형성된 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  33. 제 28 항에 있어서,
    상기 캐소우드 전극은 반투과막으로 된 제 1 캐소우드 전극과, 상기 제 1 캐소우드 전극의 윗면에 형성된 투명막으로 된 제 2 캐소우드 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  34. 제 28 항에 있어서,
    상기 적색 영역은 애노우드 전극과 캐소우드 전극 사이의 두께가 80 내지 150 나노미터인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  35. 제 28 항에 있어서,
    상기 청색 영역은 애노우드 전극과 캐소우드 전극 사이의 두께가 50 내지 100 나노미터인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  36. 제 28 항에 있어서,
    상기 녹색 영역은 애노우드 전극과 캐소우드 전극 사이의 두께가 50 내지 140 나노미터인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
  37. 투명한 기판;
    상기 기판상에 소정의 패턴으로 형성된 적어도 1층 이상의 애노우드 전극과, 상기 애노우드 전극의 상면에 형성된 정공 수송 기능층과, 유기 발광층과, 전자 수송 기능층으로 된 적,녹,청색의 유기 발광막과, 상기 유기 발광막의 상면에 소정의 패턴으로 형성된 적어도 1층 이상의 캐소우드 전극을 구비하며, 적,녹,청색의 유기 발광막중 적어도 어느 한 영역의 유기 발광막의 두께가 다른 영역의 유기 발광막의 두께가 서로 다르도록 보조 정공 수송층이 형성된 유기 전계 발광 소자;
    상기 기판상에 형성되며, 상기 애노우드 전극을 구동시키기 위한 적어도 하나 이상의 박막 트랜지스터; 및
    상기 캐소우드 전극의 가장자리를 따라서 형성된 유기 평탄화막;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자를 이용한 평판 표시 장치.
  38. 제 37 항에 있어서,
    상기 유기 전계 발광 소자는 소정 두께의 보조 정공 수송층이 적색의 정공 수송층과 유기 발광막 사이에 형성된 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자를 이용한 평판 표시 장치.
  39. 제 37 항에 있어서,
    상기 애노우드 전극은 반사막으로 된 제 1 애노우드 전극과, 상기 제 1 애노우드 전극의 윗면에 형성된 투명막으로 된 제 2 애노우드 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자를 이용한 평판 표시 장치.
  40. 제 37 항에 있어서,
    상기 캐소우드 전극은 반투과막으로 된 제 1 캐소우드 전극과, 상기 제 2 캐소우드 전극의 윗면에 형성된 투명막으로 된 제 2 캐소우드 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자를 이용한 평판 표시 장치.
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100683711B1 (ko) * 2004-11-22 2007-02-20 삼성에스디아이 주식회사 유기전계 발광표시장치
EP1777749A2 (en) 2005-10-21 2007-04-25 Samsung SDI Co., Ltd. Organic light emitting display device and method of fabricating the same
KR100714004B1 (ko) * 2005-11-29 2007-05-04 삼성에스디아이 주식회사 발광표시소자 및 그 제조방법
KR100829761B1 (ko) * 2007-05-16 2008-05-15 삼성에스디아이 주식회사 유기 발광 소자
US7400088B2 (en) 2004-07-22 2008-07-15 Samsung Sdi Co., Ltd. Organic electroluminescent display device
KR101056436B1 (ko) * 2009-09-14 2011-08-11 삼성모바일디스플레이주식회사 유기전계발광표시장치 및 그의 제조방법
US9780319B2 (en) 2014-10-21 2017-10-03 Lg Display Co., Ltd. Organic light emitting diode display device
WO2024093413A1 (zh) * 2022-10-31 2024-05-10 维信诺科技股份有限公司 显示面板及显示装置

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI675472B (zh) * 2018-08-14 2019-10-21 友達光電股份有限公司 有機發光裝置及其製造方法
KR20210075281A (ko) 2019-12-12 2021-06-23 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7400088B2 (en) 2004-07-22 2008-07-15 Samsung Sdi Co., Ltd. Organic electroluminescent display device
US7667388B2 (en) 2004-07-22 2010-02-23 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Organic electroluminescent display device and method for fabricating the same
KR100683711B1 (ko) * 2004-11-22 2007-02-20 삼성에스디아이 주식회사 유기전계 발광표시장치
EP1777749A2 (en) 2005-10-21 2007-04-25 Samsung SDI Co., Ltd. Organic light emitting display device and method of fabricating the same
EP1777749A3 (en) * 2005-10-21 2010-12-08 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Organic light emitting display device and method of fabricating the same
KR100714004B1 (ko) * 2005-11-29 2007-05-04 삼성에스디아이 주식회사 발광표시소자 및 그 제조방법
KR100829761B1 (ko) * 2007-05-16 2008-05-15 삼성에스디아이 주식회사 유기 발광 소자
US8053975B2 (en) 2007-05-16 2011-11-08 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Organic light emitting device
KR101056436B1 (ko) * 2009-09-14 2011-08-11 삼성모바일디스플레이주식회사 유기전계발광표시장치 및 그의 제조방법
US9780319B2 (en) 2014-10-21 2017-10-03 Lg Display Co., Ltd. Organic light emitting diode display device
WO2024093413A1 (zh) * 2022-10-31 2024-05-10 维信诺科技股份有限公司 显示面板及显示装置

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