KR20050013853A - 유기 전계 발광 표시 장치 및 그의 제조 방법 - Google Patents

유기 전계 발광 표시 장치 및 그의 제조 방법

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Abstract

본 발명은 화소 정의막 상에 보호막을 형성하여 화소 정의막으로 사용되는 감광성 유기 절연물질에서 발생하는 유해 가스를 차단하는 유기 전계 발광 표시 장치 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 절연 기판 상에 형성된 하부 전극과; 상기 하부 전극의 일부분을 노출시켜주는 개구부를 구비한 화소 정의막과; 상기 화소 정의막 상에 형성되며, 상기 화소 정의막의 개구부보다 작은 개구부를 구비한 보호막과; 상기 보호막 개구부의 상부에 형성된 유기 발광층과; 상기 유기 발광층 상에 형성된 상부 전극을 포함하는 유기 전계 발광 표시 장치를 제공하는 것을 특징으로 한다.

Description

유기 전계 발광 표시 장치 및 그의 제조 방법{Organic electro luminescence display and method of fabricating the same}
본 발명은 유기 전계 발광 표시 장치 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 화소 정의막 상에 보호막을 형성하여 화소 정의막으로 사용되는 감광성 유기 절연물질에서 발생하는 유해 가스를 차단하는 유기 전계 발광 표시 장치 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.
최근, 유기 전계 발광 표시 장치는 CRT나 LCD에 비하여 박막형, 넓은 시야각, 경량, 소형, 빠른 응답 속도 및 적은 소비 전력 등의 장점으로 인하여 차세대 표시 장치로서 주목받고 있다. 특히, 유기 전계 발광 표시 장치는 애노드 전극, 유기 물질막, 캐소드 전극의 단순한 구조로 되어 있기 때문에 간단한 제조 공정을 통하여 쉽게 제조할 수 있는 장점이 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하여, 종래 기술에 대하여 설명한다.
도 1은 종래의 유기 전계 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 1을 참조하면, 박막 트랜지스터를 구비하는 절연 기판(100) 상에 하부 전극(110)을 형성한다.
상기 하부 전극(110)을 형성한 후, 상기 절연 기판(100) 전면에 화소 정의막(120)을 형성하고, 상기 화소 정의막(120)을 사진 식각하여 상기 하부 전극(110)의 일부분을 노출시키는 개구부(125)를 형성한다. 상기 화소 정의막(120)은 페놀(phenol) 계열의 유기 절연 물질 또는 PI(Polyimide) 등의 감광성 유기 절연 물질로 이루어진다.
상기 화소 정의막(120)을 형성한 후, 상기 개구부(125)의 상부에 유기 발광층(140)을 형성한다.
상기 유기 발광층(140)을 형성한 다음, 상기 절연 기판(100)의 전면에 상부 전극(150)을 형성한다.
이후에, 도면상에는 도시하지 않았으나, 봉지 기판을 사용하여 하부 전극(110), 유기 발광층(140)과 상부 전극(150)을 구비하는 절연 기판(100)을 봉지한다.
상기와 같은 공정을 통해 형성된 유기 전계 발광 표시 장치는 장시간 사용 시, 화소 정의막(120)으로 사용되는 유기 절연물질에서 유해 가스가 배출되어 유기 발광층(140)으로 침투한다. 이로 인하여 화소 수축 등이 발생하여, 결국 유기 전계 발광 표시 장치의 수명이 감소하는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 화소 정의막 상에 보호막을 형성함으로써, 화소 정의막에서 나오는 유해 가스를 차단하여 수명이 향상된 유기 전계 발광 표시 장치 및 그의 제조 방법을 제공하는 데에 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 유기 전계 발광 표시 장치를 나타내는 단면도.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치를 나타내는 단면도.
도 3은 본 발명의 보호막을 설명하는 단면도.
도 4는 본 발명의 봉지 보호막을 설명하는 단면도.
(도면의 주요 부위에 대한 부호의 설명)
200; 절연 기판 210; 하부 전극
220; 화소 정의막 230; 보호막
240; 유기 발광층 250; 상부 전극
260; 봉지 보호막
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 절연 기판 상에 형성된 하부 전극과; 상기 하부 전극의 일부분을 노출시켜주는 개구부를 구비한 화소 정의막과; 상기 화소 정의막 상에 형성되며, 상기 화소 정의막의 개구부보다 작은 개구부를 구비한 보호막과; 상기 보호막 개구부의 상부에 형성된 유기 발광층과; 상기 유기 발광층 상에 형성된 상부 전극을 포함하는 유기 전계 발광 표시 장치를 제공하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 절연 기판 상에 하부 전극을 형성하는 단계와; 상기 하부전극의 일부분을 노출시키는 개구부를 구비하는 화소 정의막을 형성하는 단계와; 상기 화소 정의막 상에 유해 가스 차단 물질을 증착하고 패터닝하여 상기 화소 정의막의 개구부보다 작은 개구부를 구비하는 보호막을 형성하는 단계와; 상기 보호막의 개구부의 상부에 유기 발광층을 형성하는 단계와; 상기 유기 발광층 상에 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 보호막은 상기 화소 정의막에서 방출되는 유해 가스로부터 상기 유기 발광층을 보호하는 것으로써, 1㎛ 이하의 두께를 갖으며, 상기 보호막 개구부의 경사각은 상기 화소 정의막의 개구부의 경사각과 동일 또는 작은 값을 갖는 것이 바람직하다.
또한, 상기 보호막은 하부 유기막/금속막/상부 유기막 또는 하부 유기막/금속 산화막/상부 유기막으로 이루어지는 것이 바람직하다. 이때, 상기 보호막의 상기 상부, 하부 유기막은 HDPE 또는 BCB로 이루어진다.
또한, 상기 상부 전극 상에 형성된 봉지 보호막을 더 포함할 수도 있다. 상기 봉지 보호막은 하부 유기막/금속막/상부 유기막 또는 하부 유기막/금속 산화막/상부 유기막으로 이루어지며, 상기 상부, 하부 유기막은 HDPE 또는 BCB로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한, 상기 하부 유기막은 상부 표면을 거칠게 형성할 수도 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예를 설명한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 보호막을 설명하는 단면도이며, 도 4는 본 발명의 봉지 보호막을 설명하는 단면도이다.
도 2를 참조하면, 박막 트랜지스터를 구비하는 절연 기판(200) 상에 하부 전극(210)을 형성한다.
상기 하부 전극(210)을 형성한 후, 상기 절연 기판(200) 전면에 화소 정의막(220)을 형성하고, 상기 화소 정의막(220)을 사진 식각하여 상기 하부 전극(210)의 일부분을 노출시키는 개구부(225)를 형성한다. 상기 화소 정의막(220)은 페놀(phenol) 계열의 유기 절연 물질 또는 PI(Polyimide) 등의 감광성 유기 절연 물질로 이루어진다.
상기 화소 정의막(220)을 형성한 다음, 상기 화소 정의막(220) 상에 상기 화소 정의막(220)에서 방출되는 유해 가스를 차단할 수 있는 물질을 증착하고 패터닝하여, 보호막(230)을 형성한다. 상기 보호막(230)은 상기 화소 정의막(220)의 개구부(225)보다 작은 개구부(235)를 구비하며, 상기 화소 정의막(220)을 감싸주어 화소 정의막(220)으로부터 방출되는 가스로부터 유기 발광층(240)을 보호한다.
이때, 상기 보호막(230)은 1㎛ 이하의 두께를 갖으며, 상기 보호막(230) 개구부(235)의 경사각은 상기 화소 정의막(220) 개구부(225)의 경사각과 동일 또는 작은 값을 갖는 것이 바람직하다.
또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 보호막(230)은 하부 유기막(231)/금속막(또는 금속 산화막)(232)/상부 유기막(233)의 삼중막 구조로 형성될 수 있다.
상기 하부, 상부 유기막(231, 233)으로는 HDPE(high density polyethylene) 또는 BCB(Benzocyclobutene) 등의 유기물질을 사용한다.
상기 보호막(230)을 형성한 후, 상기 보호막(230) 개구부(235)의 상부에 유기 발광층(240)을 형성한다. 상기 유기 발광층(240)은 그 기능에 따라 여러 층으로 구성될 수 있는데, 일반적으로 정공 주입층(HIL), 정공 전달층(HTL), 발광층(Emitting layer), 정공 저지층(HBL), 전자 수송층(ETL), 전자 주입층(EIL) 중 적어도 하나의 층 이상으로 된 다층막으로 이루어진다.
상기 유기 발광층(240)을 형성한 다음, 상기 절연 기판(200)의 전면에 상부 전극(250)을 형성한다.
상기 상부 전극(250)을 형성한 후, 상기 상부 전극(250) 상에 봉지 보호막(260)을 형성한다.
또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 봉지 보호막(260)은 하부 유기막(261)/금속막(또는 금속 산화막)(262)/상부 유기막(263)의 삼중막 구조로 형성될 수 있다. 이때, 상기 하부, 상부 유기막(261, 263)으로는 HDPE(high density polyethylene) 또는 BCB 등의 유기물질을 사용한다.
또한, 상기 봉지 보호막(260)의 하부 유기막(261)을 증착한 후에 애싱(ashing)을 통하여 상부 표면을 거칠게 형성하면, 외광이 난반사되어 외광을 차단하는 효과가 있다.
이후에, 도면에는 도시하지 않았으나, 봉지 기판을 사용하여 하부 전극(210), 유기 발광층(240)과 상부 전극(250)을 구비하는 절연 기판(200)을 봉지한다.
상기와 같은 공정을 통해 형성된 유기 전계 발광 표시 장치는 상기 보호막(230)에 의하여 상기 화소 정의막(220)에서 발생하는 유해 가스가 유기 발광층(240)으로 침투하는 것을 방지하며, 상기 봉지 보호막(260)에 의하여 외부의 산소 및 수분이 상기 발광 소자로 침투하는 것을 방지한다. 또한, 부수적으로 상기 봉지 보호막(260)에 의한 광차단 효과로 콘트라스트(contrast)가 향상된다.
상기한 바와 같이 본 발명에 따르면, 화소 정의막 상에 보호막을 형성하여 화소 정의막에서 나오는 유해 가스를 차단하여 신뢰성이 우수하며, 수명이 향상된 유기 전계 발광 표시 장치를 제공할 수 있다.
또한, 봉지 보호막의 외광 차단 효과에 의하여 콘트라스트가 향상된 유기 전계 발광 표시 장치를 제공할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (18)

  1. 절연 기판 상에 형성된 하부 전극과;
    상기 하부 전극의 일부분을 노출시켜주는 개구부를 구비한 화소 정의막과;
    상기 화소 정의막 상에 형성되며, 상기 화소 정의막의 개구부보다 작은 개구부를 구비한 보호막과;
    상기 보호막 개구부의 상부에 형성된 유기 발광층과;
    상기 유기 발광층 상에 형성된 상부 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 보호막은 상기 화소 정의막에서 방출되는 유해 가스로부터 상기 유기 발광층을 보호하는 것으로써, 1㎛ 이하의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 보호막 개구부의 경사각은 상기 화소 정의막의 개구부의 경사각과 동일 또는 작은 값을 갖는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 보호막은 하부 유기막/금속막/상부 유기막 또는 하부 유기막/금속 산화막/상부 유기막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 상부, 하부 유기막은 HDPE 또는 BCB로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 상부 전극 상에 형성된 봉지 보호막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 봉지 보호막은 하부 유기막/금속막/상부 유기막 또는 하부 유기막/금속 산화막/상부 유기막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 상부, 하부 유기막은 HDPE 또는 BCB로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치.
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 하부 유기막은 상부 표면이 거칠게 형성된 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치.
  10. 절연 기판 상에 하부 전극을 형성하는 단계와;
    상기 하부 전극의 일부분을 노출시키는 개구부를 구비하는 화소 정의막을 형성하는 단계와;
    상기 화소 정의막 상에 유해 가스 차단 물질을 증착하고 패터닝하여 상기 화소 정의막의 개구부보다 작은 개구부를 구비하는 보호막을 형성하는 단계와;
    상기 보호막의 개구부의 상부에 유기 발광층을 형성하는 단계와;
    상기 유기 발광층 상에 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 보호막은 상기 화소 정의막에서 방출되는 유해 가스로부터 상기 유기 발광층을 보호하는 것으로써, 1㎛ 이하의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법.
  12. 제 10항에 있어서,
    상기 보호막 개구부의 경사각은 상기 화소 정의막의 개구부의 경사각과 동일또는 작은 값을 갖도록 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법.
  13. 제 10항에 있어서,
    상기 보호막은 하부 유기막/금속막/상부 유기막 또는 하부 유기막/금속 산화막/상부 유기막으로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법.
  14. 제 10항에 있어서,
    상기 상부, 하부 유기막은 HDPE 또는 BCB로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법.
  15. 제 10항에 있어서,
    상기 상부 전극 상에 봉지 보호막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법.
  16. 제 15항에 있어서,
    상기 봉지 보호막은 하부 유기막/금속막/상부 유기막 또는 하부 유기막/금속 산화막/상부 유기막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 상부, 하부 유기막은 HDPE 또는 BCB로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법.
  18. 제 16항에 있어서,
    상기 하부 유기막은 증착 후 애싱(ashing)을 통해 표면을 거칠게 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법.
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