KR200484838Y1 - Liquid leakage detecting sensor - Google Patents

Liquid leakage detecting sensor Download PDF

Info

Publication number
KR200484838Y1
KR200484838Y1 KR2020160002238U KR20160002238U KR200484838Y1 KR 200484838 Y1 KR200484838 Y1 KR 200484838Y1 KR 2020160002238 U KR2020160002238 U KR 2020160002238U KR 20160002238 U KR20160002238 U KR 20160002238U KR 200484838 Y1 KR200484838 Y1 KR 200484838Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
layer
resin
sensing line
line layer
leak detection
Prior art date
Application number
KR2020160002238U
Other languages
Korean (ko)
Inventor
최기환
Original Assignee
최기환
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 최기환 filed Critical 최기환
Priority to KR2020160002238U priority Critical patent/KR200484838Y1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR200484838Y1 publication Critical patent/KR200484838Y1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/041Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/08Oxides
    • C23C14/083Oxides of refractory metals or yttrium
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/08Oxides
    • C23C14/086Oxides of zinc, germanium, cadmium, indium, tin, thallium or bismuth
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/20Metallic material, boron or silicon on organic substrates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/06Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of metallic material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40Oxides
    • C23C16/405Oxides of refractory metals or yttrium
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40Oxides
    • C23C16/407Oxides of zinc, germanium, cadmium, indium, tin, thallium or bismuth
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/30Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
    • C23C28/32Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/30Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
    • C23C28/34Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates
    • C23C28/345Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates with at least one oxide layer

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

본 고안은 베이스 필름층; 및 상기 베이스 필름층 상에 서로 이격되어 형성된 감지라인층 및 전원라인층을 포함하고, 상기 감지라인층은 도전층 및 산화방지층이 순차적으로 증착된 것을 특징으로 하는 리크 감지 센서에 관한 것이다.The present invention relates to a base film layer; And a sensing line layer and a power source line layer formed on the base film layer, the sensing line layer being formed of a conductive layer and an antioxidant layer sequentially deposited on the base film layer.

Description

리크 감지 센서{LIQUID LEAKAGE DETECTING SENSOR}[0001] LIQUID LEAKAGE DETECTING SENSOR [0002]

본 고안은 도전층 상에 산화방지층을 증착시킨 감지라인층을 포함하는 리크 감지 센서에 관한 것이다.The present invention relates to a leak sensing sensor comprising a sensing line layer on which an antioxidant layer is deposited on a conductive layer.

종래 기술에 따른 리크 감지 센서는 베이스 필름층 상에 길이방향으로 서로 이격되어 형성된 도전성 감지라인층 및 전원라인층을 형성시킨 것을 특징으로 한다.The leak detection sensor according to the related art is characterized in that a conductive sensing line layer and a power line layer are formed on the base film layer so as to be spaced apart from each other in the longitudinal direction.

이때, 도전성을 갖는 액체의 리크가 발생하여 그 액체에 의해 도전성 감지라인층 및 전원라인층 사이가 전기적으로 연결되면, 원격의 컨트롤러에서는 이의 전기적 연결상태를 판단하여 리크를 감지하게 된다.At this time, when a leakage of the conductive liquid occurs and the conductive sensing line layer and the power line layer are electrically connected by the liquid, the remote controller determines the electrical connection state thereof and senses the leakage.

즉, 도전성 감지라인층이 리크에 의하여 표면 저항값의 변화를 가져오게 되면, 컨트롤러에서 그 표면 저항값의 변화에 의해 리크 여부를 판단하게 되며, 또한 그 표면 저항값의 크기에 의해 리크 위치를 판단하게 된다.That is, when the conductive sensing line layer changes the surface resistance value due to leakage, the controller judges whether the leakage is caused by a change in the surface resistance value thereof, and judges the leakage position by the size of the surface resistance value .

리크 위치가 컨트롤러로부터 멀리 떨어진 곳에서 발생하였다면, 가까운 위치보다 표면 저항값의 변화가 크게 발생하게 되므로 그 표면 저항값의 크기를 거리로 환산하여 리크 위치를 판단할 수 있는 것이다.If the leakage position occurs at a position far from the controller, the change of the surface resistance value occurs more largely than the near position, so that the leak position can be determined by converting the magnitude of the surface resistance value into the distance.

다만, 종래 기술에 따른 리크 감지 센서의 도전성 감지라인층은 리크 여부 및 리크 위치 외에, 외부 환경에 따른 산화로 인해 표면 저항값이 변화하게 되므로, 리크 감지 강도가 저하되는 문제점이 있었다. However, since the conductive sensing line layer of the leak sensing sensor according to the related art changes the surface resistance value due to oxidation due to the external environment in addition to the leakage and leak positions, the leakage sensing intensity is lowered.

본 고안은 리크 감지 강도를 높이기 위한, 베이스 필름층; 및 상기 베이스 필름층 상에 서로 이격되어 형성된 감지라인층 및 전원라인층을 포함하고, 상기 감지라인층은 도전층 및 산화방지층이 순차적으로 증착된 것을 특징으로 하는 리크 감지 센서를 제공한다.The present invention relates to a base film layer for enhancing leak detection strength; And a sensing line layer and a power source line layer formed on the base film layer, the sensing line layer being separated from the base film layer, and the conductive layer and the oxidation preventing layer being sequentially deposited on the sensing line layer.

그러나, 본 고안이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 과제에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.However, the technical problem to be solved by the present invention is not limited to the above-mentioned problems, and other matters not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 고안은 베이스 필름층; 및 상기 베이스 필름층 상에 서로 이격되어 형성된 감지라인층 및 전원라인층을 포함하고, 상기 감지라인층은 도전층 및 산화방지층이 순차적으로 증착된 것을 특징으로 하는 리크 감지 센서를 제공한다. The present invention relates to a base film layer; And a sensing line layer and a power source line layer formed on the base film layer, the sensing line layer being separated from the base film layer, and the conductive layer and the oxidation preventing layer being sequentially deposited on the sensing line layer.

상기 감지라인층 상에 일부 형성된 절연층을 추가로 포함할 수 있다.And may further include an insulating layer partially formed on the sensing line layer.

상기 도전층은 은, 구리, 아연, 알루미늄 및 니켈로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 도전성 재질일 수 있다. The conductive layer may be at least one conductive material selected from the group consisting of silver, copper, zinc, aluminum, and nickel.

상기 도전층의 리크 감지 전 비저항값이 1.0×10- 8Ω·m 내지 1.0×10- 7Ω·m 일 수 있다. The leak detection around the specific resistance value of the conductive layer 1.0 × 10 - may be a 7 Ω · m - 8 Ω · m to 1.0 × 10.

상기 산화방지층은 크롬 및 산화주석으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 도전성 재질일 수 있다. The antioxidant layer may be at least one conductive material selected from the group consisting of chromium and tin oxide.

상기 산화방지층의 리크 감지 전 비저항값이 1.0×10- 7Ω·m 내지 1.0×10- 5Ω·m 일 수 있다.May be 5 Ω · m - the leak detection before the specific resistance value of the oxide layer 1.0 × 10 - 7 Ω · m to 1.0 × 10.

상기 산화방지층은 상기 도전층의 두께 대비 2배 내지 20배일 수 있다.The antioxidant layer may be 2 to 20 times the thickness of the conductive layer.

상기 베이스 필름층은 폴리에스테르계 수지, 폴리에틸렌계 수지, 폴리카보네이트계 수지, 폴리아세탈계 수지, 알키드계 수지, 폴리이미드계 수지 및 테프론계 수지로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상을 포함할 수 있다.The base film layer may include at least one selected from the group consisting of a polyester resin, a polyethylene resin, a polycarbonate resin, a polyacetal resin, an alkyd resin, a polyimide resin and a Teflon resin.

상기 절연층은 세라믹 재질; 또는 불소계 수지, 폴리우레탄계 수지, 규소계 수지 및 실리콘계 수지로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 발수성 수지를 포함할 수 있다.Wherein the insulating layer comprises a ceramic material; Or at least one water-repellent resin selected from the group consisting of a fluorine resin, a polyurethane resin, a silicon resin, and a silicone resin.

상기 감지라인층 상에 또는 상기 절연층 상에 형성되고, 상기 감지라인층을 노출시킬 수 있는 보호층을 추가로 포함할 수 있다. The sensing line layer may further include a protective layer formed on or on the insulating layer and capable of exposing the sensing line layer.

본 고안은 베이스 필름층; 및 상기 베이스 필름층 상에 서로 이격되어 형성된 감지라인층 및 전원라인층을 포함하고, 상기 감지라인층은 도전층 및 산화방지층이 순차적으로 증착된 것을 특징으로 하는 리크 감지 센서에 관한 것으로, 도전층 상에 산화방지층을 증착시킴으로써, 외부 환경에 따른 산화로 인한 표면저항값 변화, 즉, 가성 알람 또는 경보를 방지할 수 있으므로, 특히, 옥외에서 리크 감지 강도를 높일 수 있는 이점을 가진다. The present invention relates to a base film layer; And a sensing line layer and a power source line layer spaced apart from each other on the base film layer, wherein the sensing line layer is formed by sequentially depositing a conductive layer and an antioxidant layer, It is possible to prevent a change in the surface resistance value due to oxidation due to the external environment, that is, a false alarm or an alarm, so that it has an advantage that the leak detection strength can be increased particularly outdoors.

도 1은 본 고안의 일 구현예에 따른 리크 감지 센서를 도시한 그림이다.
도 2는 본 고안의 다른 구현예에 따른 리크 감지 센서를 도시한 그림이다.
1 is a view showing a leak detection sensor according to an embodiment of the present invention.
2 is a view showing a leak detection sensor according to another embodiment of the present invention.

본 고안자들은 도전층 상에 산화방지층을 증착시킴으로써, 리크 감지 강도를 높일 수 있음을 확인하고, 본 고안을 완성하였다.The present inventors confirmed that the leak detection strength can be increased by depositing an antioxidant layer on the conductive layer, and completed the present invention.

본 명세서에서 “리크(leak)”라 함은 옥내외에서 저장, 이송 또는 활용되는 용액의 누설을 의미하는 것으로, 상기 용액은 알칼리성 용액 또는 산성 용액 등과 같은 전도성 용액을 포함하거나, 유기용제를 포함할 수 있다.As used herein, the term " leak " refers to leakage of a solution stored, transferred, or utilized outside the room, and the solution may include a conductive solution such as an alkaline solution or an acidic solution, have.

보다 구체적으로, 알칼리성 용액은 수소 이온 보다 수산화 이온을 더 많이 함유한 것으로, pH가 7보다 큰 용액을 말하며, 가성소다, 아황산나트륨 등을 포함하는 용액을 의미한다. More specifically, the alkaline solution refers to a solution containing a larger amount of hydroxide ions than hydrogen ions, and having a pH greater than 7, and means a solution containing caustic soda, sodium sulfite and the like.

또한, 산성 용액은 수산화 이온 보다 수소 이온을 더 많이 함유한 것으로, pH가 7보다 작은 용액을 말하며, 황산, 염산, 질산, 불산 등을 포함하는 용액을 의미한다. 이때, 산성 용액은 유독물로서, 토양이나 대기에 누설되는 경우에는 토양오염, 수질오염, 대기오염 등을 발생시킴으로써, 물적 피해는 물론 인적 피해까지 심각하게 발생하게 된다. The acid solution is a solution containing a larger amount of hydrogen ions than hydroxide ions and having a pH of less than 7, and means a solution containing sulfuric acid, hydrochloric acid, nitric acid, hydrofluoric acid, and the like. In this case, the acidic solution is a toxic substance, and when it leaks to the soil or the atmosphere, it causes soil pollution, water pollution, air pollution, etc., and serious damage such as physical damage and personal injury occurs.

또한, 유기용제는 액체 상태의 유기화학물질을 말하며, 경유, 등유, 휘발유, 항공유, 메틸에틸케톤, 톨루엔 등을 의미한다.The organic solvent means an organic chemical substance in a liquid state, and it means light oil, kerosene, gasoline, aviation oil, methyl ethyl ketone, toluene and the like.

이하, 본 고안을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.

본 고안은 베이스 필름층; 및 상기 베이스 필름층 상에 서로 이격되어 형성된 감지라인층 및 전원라인층을 포함하고, 상기 감지라인층은 도전층 및 산화방지층이 순차적으로 증착된 것을 특징으로 하는 리크 감지 센서를 제공한다. The present invention relates to a base film layer; And a sensing line layer and a power source line layer formed on the base film layer, the sensing line layer being separated from the base film layer, and the conductive layer and the oxidation preventing layer being sequentially deposited on the sensing line layer.

상기 감지라인층 상에 일부 형성된 절연층을 추가로 포함할 수 있다.And may further include an insulating layer partially formed on the sensing line layer.

도 1은 본 고안의 일 구현예에 따른 리크 감지 센서를 나타낸 그림이다.1 is a view illustrating a leak detection sensor according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시한 바와 같이, 본 고안의 일 구현예에 따른 리크 감지 센서는 베이스 필름층(10); 및 상기 베이스 필름층(10) 상에 서로 이격되어 형성된 감지라인층(20) 및 전원라인층(30)을 포함하고, 상기 감지라인층(20)은 도전층(21) 및 산화방지층(22)이 순차적으로 증착된 것을 특징으로 한다. 이때, 상기 전원라인층(30) 상에만 형성된 절연층(40)을 추가로 포함할 수 있다. As shown in FIG. 1, the leak detection sensor according to an embodiment of the present invention includes a base film layer 10; And a sensing line layer 20 and a power line layer 30 formed on the base film layer 10 and spaced apart from each other and the sensing line layer 20 includes a conductive layer 21 and an antioxidant layer 22, Are sequentially deposited. At this time, an insulating layer 40 formed only on the power line layer 30 may be further included.

도 2는 본 고안의 다른 구현예에 따른 리크 감지 센서를 나타낸 그림이다.2 is a view showing a leak detection sensor according to another embodiment of the present invention.

도 2에 도시한 바와 같이, 본 고안의 다른 구현예에 따른 리크 감지 센서는 도 1에 도시한 바와 동일하되, 상기 전원라인층(30) 뿐만 아니라 상기 감지라인층(20) 상에도 일부 형성된 절연층(40)을 추가로 포함할 수 있다. As shown in FIG. 2, the leak detection sensor according to another embodiment of the present invention is the same as that shown in FIG. 1 except that the power supply line layer 30 and the sensing line layer 20, Layer 40 may be further included.

먼저, 본 고안에 따른 리크 감지 센서는 베이스 필름층(10)을 포함한다. 상기 베이스 필름층(10)은 상기 감지라인층(20)을 형성시키기 위한 베이스 층으로서, 폴리에스테르계 수지, 폴리에틸렌계 수지, 폴리카보네이트계 수지, 폴리아세탈계 수지, 알키드계 수지, 폴리이미드계 수지 및 테프론계 수지로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상을 포함할 수 있다.First, the leak detection sensor according to the present invention includes a base film layer 10. The base film layer 10 is a base layer for forming the sensing line layer 20. The base film layer 10 may be formed of a resin such as a polyester resin, a polyethylene resin, a polycarbonate resin, a polyacetal resin, an alkyd resin, And a Teflon-based resin.

구체적으로, 테프론계 수지는 에틸렌테트라플루오로에틸렌(ETFE), 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 퍼플루오로알콕시(PFA) 등의 재질일 수 있다.Specifically, the Teflon-based resin may be a material such as ethylene tetrafluoroethylene (ETFE), polytetrafluoroethylene (PTFE), and perfluoroalkoxy (PFA).

이때, 상기 베이스 필름층(10)의 일면 또는 양면은 세라믹 코팅될 수 있다.At this time, one or both surfaces of the base film layer 10 may be coated with a ceramic.

다름으로, 본 고안에 따른 리크 감지 센서는 상기 베이스 필름층(10) 상에 서로 이격되어 형성된 감지라인층(20) 및 전원라인층(30)을 포함한다. 이때, 상기 감지라인층(20)은 도전층(21) 및 산화방지층(22)이 순차적으로 증착된 것을 특징으로 한다. The leak detection sensor according to the present invention includes a sensing line layer 20 and a power line layer 30 formed on the base film layer 10 and spaced apart from each other. In this case, the sensing line layer 20 is characterized in that the conductive layer 21 and the anti-oxidation layer 22 are sequentially deposited.

본 고안에 따른 리크 감지 센서의 일측 끝단에서 상기 감지라인층(20) 및 전원라인층(30)은 각각 제어기와 연결되고, 타측 끝단에서 상기 감지라인층(20) 및 전원라인층(30)은 서로 커넥터를 통해 전기적으로 연결된다.The sensing line layer 20 and the power line layer 30 are connected to the controller at one end of the leak sensing sensor according to the present invention and the sensing line layer 20 and the power line layer 30 are connected at the other end And are electrically connected to each other through a connector.

구체적으로, 일측 끝단에서 제어기로부터 감지라인층(20)으로 감지 전원이 공급되고, 타측 끝단에서 커넥터를 통해 전기적으로 연결된 전원라인층(30)에 의해 제어기로 감지 전원이 흐른다. 리크 감지가 발생하지 않는 경우에는 감지라인층(20)의 표면 저항값 변화가 발생하지 않는다. 만일, 리크 감지가 발생하는 경우에는 감지라인층(20)의 표면 저항값을 상승시킨다. 이러한 표면 저항 변화는 전원라인층(30)을 통해 제어기로 공급됨으로써, 제어기는 그 표면 저항값 변화에 따라 리크 여부 및 리크 위치를 확인하고, 그에 따른 알람 또는 경보를 발생할 수 있다. Specifically, the sensing power is supplied from the controller to the sensing line layer 20 at one end, and the power supply line layer 30 electrically connected through the connector at the other end to the controller. The surface resistance value of the sensing line layer 20 does not change when leak detection does not occur. If leak detection occurs, the surface resistance value of the sensing line layer 20 is increased. This change in surface resistance is supplied to the controller through the power supply line layer 30, so that the controller can check the leakage and leak position according to the change in the surface resistance value thereof, and generate an alarm or alarm accordingly.

상기 감지라인층(20) 및 전원라인층(30)이 각각 하나씩 형성되는 경우, 상기 감지라인층(20)이 알칼리, 산 또는 유기용제로 이루어진 군으로부터 선택된 하나의 리크를 감지할 수 있다. When the sensing line layer 20 and the power source line layer 30 are formed one by one, the sensing line layer 20 may sense one leak selected from the group consisting of alkali, acid, and organic solvent.

혹은, 상기 감지라인층(20) 및 전원라인층(30)이 각각 복수개로 형성되는 경우, 복수개의 감지라인층(20)이 알칼리, 산 또는 유기용제로 이루어진 군으로부터 선택된 둘 이상의 리크를 동시에 감지할 수 있다. 이때, 상기 감지라인층(20) 및 전원라인층(30)이 각각 복수개로 형성되는 경우, 각 감지라인층의 두께를 상이하게 하거나, 표면저항값을 상이하게 함으로써, 리크 위치의 정확도를 높일 수 있다. Alternatively, when the sensing line layer 20 and the power source line layer 30 are formed in plural numbers, the plurality of sensing line layers 20 simultaneously sense two or more leaks selected from the group consisting of alkali, acid, can do. If the sensing line layer 20 and the power source line layer 30 are formed in plural numbers, the thickness of each sensing line layer may be different or the surface resistance value may be different. In this case, have.

예를 들어, 상기 감지라인층(20) 및 전원라인층(30)이 3개씩 형성되는 경우, 제1 감지라인층은 알칼리 리크를 감지하기 위한 것이고, 제2 감지라인층은 산 리크를 감지하기 위한 것이며, 제3 감지라인층은 유기용제 리크를 감지하기 위한 것일 수 있어, 알칼리, 산 및 유기용제 리크를 동시에 감지할 수 있다.For example, when three sensing line layers 20 and three power source line layers 30 are formed, the first sensing line layer is for sensing alkali leaks, and the second sensing line layer is sensing for acid leaks. , And the third sensing line layer may be for sensing organic solvent leaks, so that alkaline, acid and organic solvent leaks can be detected at the same time.

구체적으로, 상기 감지라인층(20)은 도전층(21) 및 산화방지층(22)을 순차적으로 증착시켜 상기 베이스 필름층(10) 상에 형성될 수 있다. 이때, 증착은 공지의 방법에 의할 수 있고, 저압 화학 기상 증착, 플라즈마 향상 화학 기상 증착, 대기압 화학 기상 증착 등의 화학 기상 증착 방법에 의할 수도 있고, 금속의 증기를 사용하는 증발 증착, 물질에 물리적인 충격을 주는 스퍼터링 증착 등의 물리 기상 증착 방법에 의할 수도 있으며, 원자층 증착 방법에 의할 수도 있다. Specifically, the sensing line layer 20 may be formed on the base film layer 10 by sequentially depositing a conductive layer 21 and an antioxidant layer 22. At this time, the deposition may be performed by a known method, and may be performed by a chemical vapor deposition method such as a low pressure chemical vapor deposition, a plasma enhanced chemical vapor deposition, an atmospheric pressure chemical vapor deposition, or the like, A physical vapor deposition method such as sputtering deposition which gives a physical impact to the substrate, or an atomic layer deposition method.

상기 도전층(21)은 전기전도성이 우수한 도전성 금속일 수 있고, 바람직하게는, 은, 구리, 아연, 알루미늄 및 니켈로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 도전성 재질일 수 있다. 상기 도전층(21) 상에 상기 산화방지층(22)의 존재로 인하여, 상기 도전층(21)은 외부 환경에 따른 산화로 인한 표면저항값 변화 또는 산화로 인해 발생하는 변색 등 가성 알람 또는 경보를 최소화한 것을 특징으로 한다. 상기 도전층(21)의 리크 감지 전 비저항값은 1.0×10- 8Ω·m 내지 1.0×10- 7Ω·m 인 것이 바람직하나, 이에 한정되지 않는다. The conductive layer 21 may be a conductive metal having excellent electrical conductivity and may be at least one conductive material selected from the group consisting of silver, copper, zinc, aluminum, and nickel. Due to the presence of the antioxidant layer 22 on the conductive layer 21, the conductive layer 21 may generate a caution alarm or warning such as a change in surface resistance due to oxidation due to external environment or discoloration caused by oxidation . Leak detection around the specific resistance value of the conductive layer 21 is 1.0 × 10 - 8 Ω · m to 1.0 × 10 - is preferable that the 7 Ω · m, but not limited thereto.

또한, 상기 산화방지층(22)은 상기 도전층(2)에 사용되는 도전성 금속 보다는 전기전도성이 낮은 것으로, 바람직하게는, 크롬 및 산화주석으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 도전성 재질일 수 있다. 상기 산화방지층(22)은 상기 도전층(21)을 보호하기 위해 상기 도전층(21) 상에 증착된다. 상기 산화방지층(22)은 내산화성이 우수하면서도, 리크 감지를 위해 도전성 재질인 것을 특징으로 한다. 상기 산화방지층(22)의 리크 감지 전 비저항값은 1.0×10- 7Ω·m 내지 1.0×10- 5Ω·m인 것이 바람직하고, 1.2×10- 7Ω·m 내지 1.0×10- 5Ω·m인 것이 더욱 바람직하나, 이에 한정되지 않는다. The antioxidant layer 22 may have a lower electrical conductivity than the conductive metal used for the conductive layer 2, and may be at least one conductive material selected from the group consisting of chromium and tin oxide. The antioxidant layer 22 is deposited on the conductive layer 21 to protect the conductive layer 21. The antioxidant layer 22 is excellent in oxidation resistance and is a conductive material for leak detection. Leak detection of the anti-oxidation layer (22) around the specific resistance value is 1.0 × 10 - 7 Ω · m to 1.0 × 10 - 5 Ω · m which is preferably, 1.2 × 10 - 7 Ω · m to 1.0 × 10 - 5 Ω M, but it is not limited thereto.

상기 산화방지층(22)은 상기 도전층(21)의 두께 대비 2배 내지 20배인 것이 바람직하나, 이에 한정되지 않는다. 이때, 상기 산화방지층(22)이 상기 도전층(21)의 두께 대비 2배 미만인 경우, 외부 환경에 따른 산화에 영향을 효과적으로 차단하지 못하는 문제점이 있고, 상기 산화방지층(22)이 상기 도전층(21)의 두께 대비 20배를 초과하는 경우, 리크 감지가 효과적으로 이루어지지 않는 문제점이 있다. The thickness of the antioxidant layer 22 is preferably 2 to 20 times the thickness of the conductive layer 21, but is not limited thereto. In this case, when the oxidation preventing layer 22 is less than twice the thickness of the conductive layer 21, the oxidation of the oxidation preventing layer 22 can not be effectively blocked due to the external environment, 21, the leak detection is not effectively performed.

상기 전원라인층(20)은 외부와 노출되지 않도록 형성되며, 상기 전원라인층(20)은 역시, 상기 감지라인층(20)의 도전층(21)과 마찬가지로, 은, 구리 및 니켈로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 도전성 재질일 수 있다.The power supply line layer 20 is formed so as not to be exposed to the outside and the power supply line layer 20 may be formed of a material such as silver, copper, and nickel, similarly to the conductive layer 21 of the sensing line layer 20 And the like.

선택적으로, 본 고안에 따른 리크 감지 센서는 상기 감지라인층(20) 상에 일부 형성된 절연층(30)을 추가로 포함할 수 있다. Alternatively, the leak sensing sensor according to the present invention may further include an insulating layer 30 partially formed on the sensing line layer 20.

상기 절연층(30)은 상기 전원라인층(30) 상에만 형성될 수도 있으나, 상기 전원라인층(30) 전체 및 감지라인층(20) 일부를 덮을 수 있도록 형성되는 경우, 상기 감지라인층(20)이 외부로 노출되는 것을 최소화시킴으로써, 가성 알람을 방지하고, 외부 충격으로부터 보호할 수 있다. 상기 절연층(30)의 재질로 세라믹 재질; 또는 다양한 수지를 사용할 수 있으나, 세라믹 재질을 사용하는 경우, 고온에서 산화, 마모 등을 방지할 수 있고, 특히, 불소계 수지, 폴리우레탄계 수지, 규소계 수지 및 실리콘계 수지로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 발수성 수지를 사용하는 경우, 외부 수분으로부터 물의 침투를 방지할 수 있는 추가적인 이점을 가진다. The insulating layer 30 may be formed only on the power line layer 30 but may be formed to cover the entire power line layer 30 and a part of the sensing line layer 20, 20 is minimized to the outside, it is possible to prevent a false alarm and protect it from an external impact. A ceramic material as the material of the insulating layer 30; Or a variety of resins can be used. However, when a ceramic material is used, it is possible to prevent oxidation, abrasion, and the like at a high temperature, and in particular, at least one water repellent property selected from the group consisting of fluororesin, polyurethane resin, silicon resin, When a resin is used, it has an additional advantage of being able to prevent the penetration of water from external moisture.

선택적으로, 본 고안에 따른 리크 감지 센서는 상기 리크 감지층(20) 상에 또는 상기 절연층(40) 상에 형성되고, 상기 감지 라인층을 노출시킬 수 있는 보호층(도면 미도시)을 추가로 포함할 수 있다.Alternatively, a leak sensing sensor according to the present invention may be formed on the leak sensing layer 20 or on the insulating layer 40, and may include a protective layer (not shown) capable of exposing the sensing line layer As shown in FIG.

상기 보호층은 상기 감지 라인층(20)을 노출시키기 위해 적어도 하나 이상의 홀이 형성된 필름 형태 또는 상기 감지 라인층을 노출시키기 위한 메쉬 형태일 수 있다.The protective layer may be in the form of a film in which at least one hole is formed to expose the sensing line layer 20 or in a mesh form to expose the sensing line layer.

상기 보호층 역시 상기 베이스 필름층(10)과 마찬가지로, 폴리에스테르계 수지, 폴리에틸렌계 수지, 폴리카보네이트계 수지, 폴리아세탈계 수지, 알키드계 수지, 폴리이미드계 수지 및 테프론계 수지로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상을 포함할 수 있다. Like the base film layer 10, the protective layer may be formed of a material selected from the group consisting of a polyester resin, a polyethylene resin, a polycarbonate resin, a polyacetal resin, an alkyd resin, a polyimide resin, and a Teflon resin And may include one or more.

구체적으로, 테프론계 수지는 에틸렌테트라플루오로에틸렌(ETFE), 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 퍼플루오로알콕시(PFA) 등의 재질일 수 있다.Specifically, the Teflon-based resin may be a material such as ethylene tetrafluoroethylene (ETFE), polytetrafluoroethylene (PTFE), and perfluoroalkoxy (PFA).

따라서, 본 고안은 베이스 필름층(10); 및 상기 베이스 필름층(10) 상에 서로 이격되어 형성된 한쌍의 감지라인층(20)을 포함하고, 상기 감지라인층(20)은 도전층(21) 및 산화방지층(22)이 순차적으로 증착된 것을 특징으로 하는 리크 감지 센서에 관한 것으로, 도전층(21) 상에 산화방지층(22)을 증착시킴으로써, 외부 환경에 따른 산화로 인한 표면저항값 변화 또는 산화로 인해 발생하는 변색 등 가성 알람 또는 경보를 방지할 수 있으므로, 특히, 옥외에서 저장, 이송 또는 활용되는 용액의 리크 감지 강도를 높일 수 있는 이점을 가진다. Thus, the present invention relates to a base film layer 10; And a pair of sensing line layers 20 spaced apart from each other on the base film layer 10. The sensing line layer 20 is formed by sequentially depositing a conductive layer 21 and an antioxidant layer 22 And an antioxidant layer (22) is deposited on the conductive layer (21), whereby a caustic alarm or alarm such as a change in surface resistance due to oxidation due to an external environment or discoloration caused by oxidation It is possible to increase the leak detection strength of the solution stored, transported or utilized outdoors, in particular.

전술한 본 고안의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 고안이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 고안의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.It will be understood by those of ordinary skill in the art that the foregoing description of the present invention has been presented for purposes of illustration and that those skilled in the art will readily understand that various changes in form and details may be made without departing from the spirit and scope of the present invention. will be. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.

Claims (10)

베이스 필름층; 및
상기 베이스 필름층 상에 서로 이격되어 형성된 감지라인층 및 전원라인층을 포함하고,
상기 감지라인층은 도전층 및 산화방지층이 순차적으로 증착된 것이며,
상기 도전층은 은, 구리, 아연, 알루미늄 및 니켈로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 도전성 재질로서, 리크 감지 전 비저항값이 1.0×10-8Ω·m 내지 1.0×10-7Ω·m이고,
상기 산화방지층은 크롬 및 산화주석으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 도전성 재질로서, 리크 감지 전 비저항값은 1.2×10-7Ω·m 내지 1.0×10-5Ω·m인 것을 특징으로 하는
리크 감지 센서.
A base film layer; And
A sensing line layer and a power source line layer formed on the base film layer and spaced apart from each other,
The sensing line layer is formed by sequentially depositing a conductive layer and an anti-oxidation layer,
Wherein the conductive layer is at least one conductive material selected from the group consisting of silver, copper, zinc, aluminum and nickel, and has a resistivity value before leakage detection of 1.0 x 10-8 ? M to 1.0 x 10-7 ? M,
Wherein the antioxidant layer is at least one conductive material selected from the group consisting of chromium and tin oxide and has a resistivity value before leakage detection of 1.2 x 10-7 ? M to 1.0 x 10-5 ? M.
Leak detection sensor.
제1항에 있어서,
상기 감지라인층 상에 일부 형성된 절연층을 추가로 포함하는
리크 감지 센서.
The method according to claim 1,
Further comprising an insulating layer partially formed on the sensing line layer
Leak detection sensor.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 산화방지층은 상기 도전층의 두께 대비 2배 내지 20배인
리크 감지 센서.
The method according to claim 1,
The thickness of the antioxidant layer is 2 to 20 times the thickness of the conductive layer
Leak detection sensor.
제1항에 있어서,
상기 베이스 필름층은 폴리에스테르계 수지, 폴리에틸렌계 수지, 폴리카보네이트계 수지, 폴리아세탈계 수지, 알키드계 수지, 폴리이미드계 수지 및 테프론계 수지로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상을 포함하는
리크 감지 센서.
The method according to claim 1,
Wherein the base film layer comprises at least one selected from the group consisting of a polyester resin, a polyethylene resin, a polycarbonate resin, a polyacetal resin, an alkyd resin, a polyimide resin and a Teflon resin
Leak detection sensor.
제2항에 있어서,
상기 절연층은 세라믹 재질; 또는 불소계 수지, 폴리우레탄계 수지, 규소계 수지 및 실리콘계 수지로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 발수성 수지를 포함하는
리크 감지 센서.
3. The method of claim 2,
Wherein the insulating layer comprises a ceramic material; Or at least one water-repellent resin selected from the group consisting of a fluorine resin, a polyurethane resin, a silicon resin and a silicone resin
Leak detection sensor.
제1항에 있어서,
상기 감지라인층 상에 형성되고, 상기 감지라인층을 노출시킬 수 있는 보호층을 추가로 포함하는
리크 감지 센서.
The method according to claim 1,
Further comprising a protective layer formed on the sensing line layer and capable of exposing the sensing line layer
Leak detection sensor.
KR2020160002238U 2016-04-26 2016-04-26 Liquid leakage detecting sensor KR200484838Y1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020160002238U KR200484838Y1 (en) 2016-04-26 2016-04-26 Liquid leakage detecting sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020160002238U KR200484838Y1 (en) 2016-04-26 2016-04-26 Liquid leakage detecting sensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR200484838Y1 true KR200484838Y1 (en) 2017-10-31

Family

ID=60408243

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2020160002238U KR200484838Y1 (en) 2016-04-26 2016-04-26 Liquid leakage detecting sensor

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR200484838Y1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200114006A (en) * 2019-03-27 2020-10-07 안상엽 Gas chemical sensor of film type

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003516539A (en) * 1999-12-08 2003-05-13 ゼンジリオン アクチエンゲゼルシャフト Capacitive sensor
KR20120094645A (en) * 2011-02-17 2012-08-27 삼성테크윈 주식회사 Water level/turbidity complex sensor and manufacturing method of the same
KR101346381B1 (en) * 2013-08-12 2014-01-03 지기환 Flexible leak sensor
KR101610053B1 (en) * 2015-11-10 2016-04-07 주식회사 엑사이엔씨 Leak detection sensors

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003516539A (en) * 1999-12-08 2003-05-13 ゼンジリオン アクチエンゲゼルシャフト Capacitive sensor
KR20120094645A (en) * 2011-02-17 2012-08-27 삼성테크윈 주식회사 Water level/turbidity complex sensor and manufacturing method of the same
KR101346381B1 (en) * 2013-08-12 2014-01-03 지기환 Flexible leak sensor
KR101610053B1 (en) * 2015-11-10 2016-04-07 주식회사 엑사이엔씨 Leak detection sensors

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200114006A (en) * 2019-03-27 2020-10-07 안상엽 Gas chemical sensor of film type
KR102206863B1 (en) 2019-03-27 2021-01-22 안상엽 Gas chemical sensor of film type

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103200799A (en) Electronic device with internal waterproof coating
US9964462B2 (en) Flexible sheet-type physical property detecting leak sensor device
CN106098733B (en) Organic light emitting display device and method of manufacturing the same
KR20160014577A (en) Conductive film and electronic device having conductive film
US10663419B2 (en) Silicon oil sensor
US20080131063A1 (en) Prevention of optical fiber darkening
JP2016509221A (en) Acid solution leak detector
KR200484838Y1 (en) Liquid leakage detecting sensor
KR101346381B1 (en) Flexible leak sensor
KR20140112462A (en) Acidic solution leakage sensor
KR20200005851A (en) Sensor for detecting liquid and device using the same
KR20150004273A (en) Organic solvent leak detection device
JP5760027B2 (en) Center for organic liquid detection
KR101571398B1 (en) Liquid leak detect sensor
KR101489891B1 (en) Marine HNS spill detector using Indium-tin-oxide film sensor
KR101505439B1 (en) Leakage sensor and Manufacturing method thereof
KR20150041564A (en) Alkali solution leak detection apparatus
KR20180137625A (en) Current Sensing Leak Sensor Device
US8921704B2 (en) Patterned conductive polymer with dielectric patch
KR101847090B1 (en) Sensor for detecting Leak and location
JPWO2008111165A1 (en) Organic film patterning method
KR20170106093A (en) Transparent electrode and fabrication method thereof
CA3011317C (en) An electrically conductive multi-layer material
KR20140099634A (en) Acidic solution leakage sensor
KR102064606B1 (en) Leak detector for less conductive liquid

Legal Events

Date Code Title Description
REGI Registration of establishment