KR200483917Y1 - Apparatus for discharging chemical liquid - Google Patents

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Abstract

본 고안은 펌프케이스와, 상기 펌프케이스의 내부에 배치되어 외력에 의하여 수축시 약액을 토출하는 탄성튜브를 가지며, 상기 펌프케이스의 내측면과 상기 탄성튜브의 외측면 사이에는 상기 탄성튜브를 가압하기 위한 비압축성매체가 유입되는 펌프챔버를 형성하는 펌프유닛; 상기 펌프유닛으로 상기 비압축성매체를 공급하기 피스톤과, 상기 피스톤의 하부에 결합되는 실린더로드와, 상기 피스톤이 수용되는 실린더블럭을 갖는 실린더유닛; 상기 실린더로드를 이동시키기 위한 모터를 갖는 구동유닛; 상기 모터의 회전력을 상기 실린더로드의 직선이동으로 변환하기 위한 동력전달유닛; 그리고, 일부는 상기 피스톤의 외측면에 밀착되어 상기 피스톤을 지지하면서 상기 피스톤의 흔들림을 방지하고, 다른 일부는 상기 피스톤의 외측면과 함께 상기 비압축성매체가 이동되는 벽면유로를 형성하는 부싱유닛을 포함하는 약액토출장치를 제공한다.The elastic tube has a pump case and an elastic tube disposed inside the pump case and discharging a drug solution upon contraction due to an external force. The elastic tube is pressed between the inner surface of the pump case and the outer surface of the elastic tube, A pump unit forming a pump chamber into which an incompressible medium is introduced; A cylinder unit having a piston for supplying the incompressible medium to the pump unit, a cylinder rod coupled to a lower portion of the piston, and a cylinder block in which the piston is accommodated; A drive unit having a motor for moving the cylinder rod; A power transmission unit for converting a rotational force of the motor into a linear movement of the cylinder rod; And a bushing unit partly attached to the outer surface of the piston to prevent the piston from shaking while supporting the piston and another part to form a wall surface flow path along which the incompressible medium moves together with the outer surface of the piston And a chemical liquid ejection device.

Description

약액토출장치{Apparatus for discharging chemical liquid}[0001] Apparatus for discharging chemical liquid [0002]

본 고안은 약액토출장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 피스톤의 흔들림으로 인하여 실링부재의 편마모, 피스톤과 실린더 내벽 사이의 불균일한 마찰을 줄임으로써 제품의 성능저하 및 파손을 방지할 수 있는 약액토출장치에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical liquid discharging apparatus, and more particularly, to a chemical liquid discharging apparatus capable of preventing uneven wear of a sealing member due to shaking of a piston, nonuniform friction between a piston and an inner wall of a cylinder, .

반도체 웨이퍼나 액정용 유리 기판 등의 표면에는 포토 리소그래피 공정 및 에칭 공정에 의해 미세한 회로 패턴이 만들어진다. 포토 리소그래피 공정에서는 웨이퍼나 유리기판 표면에 포토 레지스트액 등의 약액을 도포하기 위해 약액 공급장치가 사용되어지며, 용기 내에 수용된 약액은 펌프에 의해 빨려 올라가 필터 등을 통과해 노즐에서 웨이퍼 등의 피도포물에 도포된다.A fine circuit pattern is formed on the surface of a semiconductor wafer or a liquid crystal glass substrate by a photolithography process and an etching process. In the photolithography process, a chemical liquid supply device is used to apply a chemical liquid such as a photoresist liquid to the surface of a wafer or a glass substrate. The chemical liquid contained in the container is sucked up by a pump and passes through a filter or the like, It is applied to the parabola.

상기 약액 공급장치는 약액을 토출하기 위한 펌프와, 상기 펌프에서 토출되는 약액의 양을 조절하기 위한 비압축성 유체를 상기 펌프로 공급하는 실린더유닛을 포함한다. The chemical liquid supply device includes a pump for discharging the chemical liquid and a cylinder unit for supplying the pump with an incompressible fluid for controlling the amount of the chemical liquid discharged from the pump.

상기 실린더유닛은 피스톤과 실린더를 포함하며, 상기 펌프는 펌프케이스와, 상기 펌프케이스의 내벽면과 일정간격을 가지면서 상기 펌프케이스의 내부에 배치되는 탄성튜브를 포함한다. 상기 펌프케이스의 내벽면과 상기 탄성튜브의 외측면 사이에는 비압축성 유체가 수용되는 챔버가 형성된다.The cylinder unit includes a piston and a cylinder, and the pump includes a pump case and an elastic tube disposed at a certain distance from the inner wall surface of the pump case and disposed inside the pump case. Between the inner wall surface of the pump case and the outer surface of the elastic tube, a chamber accommodating an incompressible fluid is formed.

여기서, 상기 실린더유닛에 의하여 상기 챔버에 비압축성 유체가 공급되면, 상기 비압축성 유체가 상기 탄성튜브를 가압하게 되고, 상기 탄성튜브가 변형되면서 상기 탄성튜브의 내부에 존재하는 약액이 외부로 토출된다.Here, when the incompressible fluid is supplied to the chamber by the cylinder unit, the incompressible fluid presses the elastic tube, and the elastic tube is deformed to discharge the chemical liquid present in the elastic tube to the outside.

그러나, 종래의 약액공급장치에서는 상기 피스톤이 하나의 지지부재에 의하여 지지됨으로 인하여 상기 피스톤이 왕복운동하는 과정에서 피스톤이 흔들리게 되고, 이로 인하여 상기 피스톤과 상기 실린더 내벽 사이에 배치되는 실링부재의 편마모가 발생할 뿐만 아니라 상기 피스톤과 실린더 내벽이 불균일한 마찰이 발생할 우려가 있게 된다. However, in the conventional chemical liquid supply apparatus, the piston is shaken in the reciprocating movement of the piston due to the support of the piston by the single support member, and thereby, the uneven wear of the sealing member disposed between the piston and the inner wall of the cylinder There is a possibility that friction between the piston and the inner wall of the cylinder may be uneven.

상기 실링부재의 편마모가 발생하게 되면, 비압축성매체가 상기 피스톤의 왕복이동 중에 누설이 발생하게 되어 부정확한 양의 비압축성매체가 상기 챔버로 유입됨으로써 정밀한 약액의 토출이 불가능한 문제점이 있다. 또한, 상기 피스톤과 실린더 내벽의 불균일한 마찰은 약액공급장치의 성능저하 및 수명저하를 초래하게 된다.When the sealing member is unevenly worn, the incompressible medium may leak during the reciprocating movement of the piston, and an incoincident amount of the incompressible medium may flow into the chamber, making it impossible to discharge the chemical liquid precisely. In addition, non-uniform friction between the piston and the inner wall of the cylinder results in deterioration in performance and life of the chemical liquid supply device.

대한민국 등록특허공보 제10-0910703호(발명의 명칭: 고안의 명칭: 약액공급장치, 공고일: 2009년 8월 4일)Korean Patent Registration No. 10-0910703 (Name of invention: name of design: chemical liquid supply device, notification date: August 4, 2009)

본 고안의 해결하고자 하는 과제는 피스톤의 조심 불일치로 인하여 실링부재의 편마모, 피스톤과 실린더 내벽 사이의 불균일한 마찰을 줄임으로써 제품의 성능저하 및 파손을 방지할 수 있는 약액토출장치를 제공하는 것이다.A problem to be solved by the present invention is to provide a chemical liquid discharging device capable of preventing uneven wear of a sealing member and uneven friction between a piston and an inner wall of a cylinder due to a mismatch of the piston, thereby preventing performance deterioration and damage of the product.

상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 고안은 펌프케이스와, 상기 펌프케이스의 내부에 배치되어 외력에 의하여 수축시 약액을 토출하는 탄성튜브를 가지며, 상기 펌프케이스의 내측면과 상기 탄성튜브의 외측면 사이에는 상기 탄성튜브를 가압하기 위한 비압축성매체가 유입되는 펌프챔버를 형성하는 펌프유닛; 상기 펌프유닛으로 상기 비압축성매체를 공급하기 피스톤과, 상기 피스톤의 하부에 결합되는 실린더로드와, 상기 피스톤이 수용되는 실린더블럭을 갖는 실린더유닛; 상기 실린더로드를 이동시키기 위한 모터를 갖는 구동유닛; 상기 모터의 회전력을 상기 실린더로드의 직선이동으로 변환하기 위한 동력전달유닛; 그리고, 일부는 상기 피스톤의 외측면에 밀착되어 상기 피스톤을 지지하면서 상기 피스톤의 흔들림을 방지하고, 다른 일부는 상기 피스톤의 외측면과 함께 상기 비압축성매체가 이동되는 벽면유로를 형성하는 부싱유닛을 포함하는 약액토출장치를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a pump case having a pump case and an elastic tube disposed inside the pump case and discharging a drug solution upon contraction due to an external force, A pump unit forming a pump chamber into which an incompressible medium for pressurizing the elastic tube flows; A cylinder unit having a piston for supplying the incompressible medium to the pump unit, a cylinder rod coupled to a lower portion of the piston, and a cylinder block in which the piston is accommodated; A drive unit having a motor for moving the cylinder rod; A power transmission unit for converting a rotational force of the motor into a linear movement of the cylinder rod; And a bushing unit partly attached to the outer surface of the piston to prevent the piston from shaking while supporting the piston and another part to form a wall surface flow path along which the incompressible medium moves together with the outer surface of the piston And a chemical liquid ejection device.

상기 부싱유닛은 고리형상의 부싱몸체를 포함하며, 상기 부싱몸체의 내측면은 상기 피스톤의 외측면 방향으로 일정길이 돌출되어 상기 피스톤의 외측면과 밀착되게 접촉되는 하나 이상의 내접부와, 상기 부싱몸체의 내측면 중 상기 내접부를 제외한 내측면에 해당하는 유로형성부를 포함하며, 상기 유로형성부는 상기 피스톤의 외측면과 함께 상기 벽면유로를 형성할 수 있다.Wherein the bushing unit includes an annular bushing body and the inner side surface of the bushing body protrudes by a predetermined length in the direction of the outer surface of the piston and is brought into contact with the outer surface of the piston in intimate contact with the bushing body, And the flow path forming portion may form the wall surface flow path together with the outer surface of the piston.

상기 부싱유닛은 상기 비압축성매체와 반응하지 않는 플라스틱재질이며, 상기 내접부는 3개 이상 구비되어 일정간격으로 배치될 수 있다.The bushing unit is made of a plastic material that does not react with the incompressible medium, and the bushing unit may be disposed at a predetermined interval with three or more of the inscribed portions.

상기 내접부와 상기 유로형성부는 단차지게 형성되며, 상기 피스톤과 접촉되는 상기 내접부의 접촉 단면적보다 상기 피스톤과 상기 벽면유로를 형성하는 상기 유로형성부의 단면적이 크게 형성될 수 있다.The inscribed portion and the flow path forming portion are formed to be stepped and the sectional area of the flow path forming portion that forms the piston and the wall surface flow path may be larger than the contact cross sectional area of the inscribed portion contacting the piston.

상기 실린더블럭에는 상기 부싱유닛의 적어도 일부분이 수용되는 부싱수용부가 함몰형성될 수 있다.The cylinder block may be formed with a bush receiving portion in which at least a portion of the bushing unit is received.

상기 실린더블럭은 상기 부싱수용부가 형성되어 있는 제1 실린더블럭과, 상기 제1 실린더블럭의 하부에 배치되는 제2 실린더블럭과, 상기 제1 실린더블럭의 상단에 배치되어 상기 피스톤의 상면과 함께 상기 비압축성매체의 이동하는 메인유로를 형성하는 제3 실린더블럭과, 상기 제2 실린더블럭의 하부에 배치되어 상기 제2 실린더 블럭의 하면을 마감하는 제4 실린더블럭을 포함할 수 있다.Wherein the cylinder block includes a first cylinder block having the bush receiving portion formed therein, a second cylinder block disposed below the first cylinder block, and a second cylinder block disposed at an upper end of the first cylinder block, A third cylinder block forming a moving main flow path of the incompressible medium and a fourth cylinder block disposed below the second cylinder block and closing the lower surface of the second cylinder block.

상기 약액토출장치는 상기 제2 실린더 블럭과 상기 피스톤 사이에 배치되는 제1 실링부재를 더 포함하며, 상기 제2 실린더 블럭에는 상기 제1 실링부재의 적어도 일부분이 수용되는 제1 실링부재 수용부가 함몰 형성될 수 있다.The chemical liquid discharging apparatus may further include a first sealing member disposed between the second cylinder block and the piston, wherein the second sealing block includes a first sealing member accommodating portion accommodating at least a portion of the first sealing member, .

또한, 상기 약액토출장치는 상기 제1 실린더블럭의 하면과 상기 제2 실린더블럭의 상면 사이에 배치되는 제2 실링부재를 더 포함하며, 상기 제2 실링부재는 상기 제1 실린더블럭의 하면과 상기 제2 실린더 블럭의 상면 중 적어도 어느 하나에 일부분이 수용될 수 있다.The chemical liquid ejecting apparatus may further include a second sealing member disposed between a lower surface of the first cylinder block and an upper surface of the second cylinder block, And a part of the upper surface of the second cylinder block may be accommodated in at least one of them.

상기 동력전달유닛은 상기 모터와 결합되는 회전축과, 일측은 상기 회전축과 결합되고 타측은 상기 실린더로드와 결합되어 상기 회전축의 회전시 상기 실린더로드와 함께 직선이동하는 너트부재와, 상기 너트부재를 지지하기 위한 제1 지지부재와, 상기 제1 지지부재의 하부에 일정간격 떨어진 위치에서 상기 회전축을 지지하는 제2 지지부재와, 상기 회전축의 회전으로 인하여 상기 제1 지지부재의 상하이동시 상기 제1 지지부재의 이동을 안내하는 가이드부재를 포함할 수 있다.A nut member that is engaged with the rotation shaft and the other end is engaged with the cylinder rod and moves linearly together with the cylinder rod when the rotation shaft rotates; A second support member for supporting the rotation shaft at a position spaced apart from the lower portion of the first support member by a predetermined distance; And a guide member for guiding movement of the member.

상기 약액토출장치는 상기 실린더블럭의 하면에 결합되되, 상기 실린더로드가 관통하는 로드관통홀이 형성된 가이드 부싱유닛을 더 포함하며, 상기 회전축의 회전시 상기 실린더로드는 상기 가이드 부싱유닛에 지지되고, 상기 피스톤은 상기 부싱유닛에 의하여 지지될 수 있다.The chemical liquid discharging apparatus further includes a guide bushing unit coupled to a lower surface of the cylinder block and having a rod through hole through which the cylinder rod passes. The cylinder rod is supported by the guide bushing unit when the rotation shaft rotates, The piston may be supported by the bushing unit.

본 고안에 따른 약액토출장치는 다음과 같은 효과가 있다.The chemical liquid ejection apparatus according to the present invention has the following effects.

첫째, 부싱유닛이 설치됨으로써 피스톤을 안정적으로 잡아줌과 동시에 상기 피스톤과 실린더블럭 내벽 사이에 존재하는 비압축성매체의 흐름이 원활하게 이루어지는 이점이 있다.First, by providing the bushing unit, the piston can be stably held and the incompressible medium existing between the piston and the inner wall of the cylinder block can be smoothly flowed.

둘째, 회전축의 회전시 실린더로드는 가이드 부싱유닛에 지지되고, 피스톤은 부싱유닛에 의하여 지지됨으로써 상기 피스톤이 흔들리지 않게 되면서 안정적으로 직선왕복이동을 하게 된다. 결과적으로, 상기 피스톤이 실린더블록의 내부에서 기울어지지 않은 상태에서 직선왕복이동을 하게 됨으로써 실링부재의 편마모를 방지할 수 있게 되고, 상기 피스톤과 상기 실린더블럭의 내벽 사이의 불균일한 마찰로 인하여 갈려지는 현상을 방지하여 제품의 기대수명을 향상시킴과 동시에 성능을 향상시켜 고정밀도로 약액을 토출할 수 있는 이점이 있다.Secondly, the cylinder rod is supported by the guide bushing unit when the rotary shaft rotates, and the piston is supported by the bushing unit, so that the piston is not shaken and stably reciprocates linearly. As a result, the piston reciprocates linearly in a state that the piston is not tilted in the cylinder block, thereby preventing uneven wear of the sealing member, resulting in uneven friction between the piston and the inner wall of the cylinder block It is possible to improve the life expectancy of the product and improve the performance thereof, so that the chemical liquid can be discharged with high accuracy.

도 1은 본 고안에 따른 약액토출장치의 측면을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 약액토출장치의 종단면을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 도 1의 약액토출장치에 구비된 부싱유닛을 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 3의 부싱유닛에 대한 평면도 및 부분확대도이다. 1 is a schematic view showing a side surface of a chemical liquid ejection apparatus according to the present invention.
Fig. 2 is a schematic view showing a longitudinal section of the chemical liquid ejecting apparatus of Fig. 1;
3 is a perspective view showing a bushing unit provided in the chemical liquid delivering apparatus of FIG.
Fig. 4 is a plan view and partial enlarged view of the bushing unit of Fig. 3;

이하, 상술한 해결하고자 하는 과제가 구체적으로 실현될 수 있는 본 고안의 바람직한 실시 예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시 예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention in which the above-mentioned problems to be solved can be specifically realized will be described with reference to the accompanying drawings. In describing the embodiments, the same names and the same symbols are used for the same configurations, and additional description therefor will be omitted below.

도 1 내지 도 4를 참조하여, 본 고안에 따른 약액토출장치의 일 실시예를 설명하면 다음과 같다.1 to 4, an embodiment of the chemical liquid ejection apparatus according to the present invention will be described as follows.

본 실시 예에 따른 약액토출장치는 펌프유닛(100), 실린더유닛(200), 가이드 부싱유닛(570), 구동유닛(400), 동력전달유닛, 실링유닛 및 부싱유닛(600)을 포함한다.The chemical liquid discharging apparatus according to the present embodiment includes a pump unit 100, a cylinder unit 200, a guide bushing unit 570, a drive unit 400, a power transmitting unit, a sealing unit and a bushing unit 600.

상기 펌프유닛(100)은 펌프케이스(110), 탄성튜브(120), 입구측 어댑터(140), 유입유로(150), 출구측 어댑터(160) 및 토출유로(170)를 포함한다. 여기서, 상기 펌프케이스(110)의 내측면과 상기 탄성튜브(120)의 외측면 사이에는 상기 탄성튜브(120)를 가압하기 위한 비압축성매체가 유입되는 펌프챔버(130)가 형성된다.The pump unit 100 includes a pump case 110, an elastic tube 120, an inlet side adapter 140, an inlet flow path 150, an outlet side adapter 160, and a discharge flow path 170. A pump chamber 130 into which the incompressible medium for pressurizing the elastic tube 120 flows is formed between the inner surface of the pump case 110 and the outer surface of the elastic tube 120.

상기 펌프케이스(110)는 연통유로(800)를 통하여 상기 실린더유닛(200)과 연통된다. 즉, 상기 실린더유닛(200)에서 토출되는 비압축성매체는 상기 연통유로(800)를 통하여 상기 펌프챔버(130)의 내부로 유입된다.The pump case 110 communicates with the cylinder unit 200 through a communication passage 800. That is, the incompressible medium discharged from the cylinder unit 200 flows into the pump chamber 130 through the communication passage 800.

상기 탄성튜브(120)는 상기 펌프케이스(110)의 내부에 배치되어 외력에 의하여 수축되면, 수축된 부피에 해당하는 만큼 약액을 토출하게 된다. 즉, 상기 비압축성매체가 상기 실린더유닛(200)으로부터 상기 펌프챔버(130)로 유입되면, 상기 비압축성매체가 상기 탄성튜브(120)를 가압하게 되고, 상기 탄성튜브(120)가 가압되면 상기 탄성튜브(120)의 내부에 존재하던 약액이 상기 토출유로(170)를 통하여 외부로 배출된다.When the elastic tube 120 is disposed inside the pump case 110 and is contracted by external force, the elastic tube 120 discharges the chemical liquid corresponding to the contracted volume. That is, when the incompressible medium flows into the pump chamber 130 from the cylinder unit 200, the incompressible medium presses the elastic tube 120, and when the elastic tube 120 is pressed, The chemical liquid existing in the inside of the discharge port 120 is discharged to the outside through the discharge flow path 170.

상기 출구측 어댑터(160)는 상기 탄성튜브(120)와 상기 토출유로(170)를 연결하는 역할을 하고, 상기 입구측 어댑터(140)는 상기 탄성튜브(120)와 상기 유입유로(150)를 연결하는 역할을 수행한다. 여기서, 상기 유입유로(150)는 약액이 저장된 약액탱크(미도시)와 연결되어 있다.The outlet adapter 160 serves to connect the elastic tube 120 to the discharge passage 170 and the inlet adapter 140 is connected to the elastic tube 120 and the inlet passage 150 It is the role of connecting. Here, the inflow channel 150 is connected to a chemical liquid tank (not shown) in which a chemical liquid is stored.

물론, 상기 실린더유닛(200)에 구비된 피스톤(230)의 왕복이동으로 인하여 상기 비압축성매체가 상기 펌프챔버(130)에서 상기 실린더유닛(200)으로 역으로 공급되는 경우에는 상기 탄성튜브(120)가 원상태로 복귀하게 되고, 이때 상기 약액탱크에 잔존하는 약액이 상기 유입유로(150)를 통하여 상기 탄성튜브(120)의 내부로 유입된다.When the incompressible medium is supplied back to the cylinder unit 200 from the pump chamber 130 due to the reciprocating movement of the piston 230 provided in the cylinder unit 200, The chemical liquid remaining in the chemical liquid tank flows into the interior of the elastic tube 120 through the inflow channel 150.

또한, 도시하지는 않았지만, 상기 유입유로(150) 및 토출유로(170)상에는 약액의 흐름을 제어하기 위한 밸브가 설치되어 있다.Although not shown, a valve for controlling the flow of the chemical liquid is provided on the inflow channel 150 and the discharge channel 170.

한편, 상기 실린더유닛은 피스톤(230), 실린더로드(280) 및 실린더블럭을 포함한다.Meanwhile, the cylinder unit includes a piston 230, a cylinder rod 280, and a cylinder block.

상기 피스톤(230)은 상기 실린더로드(280)와 결합되어 상하로 왕복이동하면서 상기 펌프유닛(100)으로 상기 비압축성매체를 공급하거나 공급받게 된다.The piston 230 is coupled with the cylinder rod 280 and reciprocates up and down to supply or supply the incompressible medium to the pump unit 100.

상기 실린더로드(280)의 상단은 상기 피스톤(230)의 하부에 결합되어 있고, 상기 실린더로드(280)의 하단은 상기 동력전달유닛의 너트부재(550)와 결합되어 있다. 또한, 상기 실린더로드(280)의 내부에는 상기 동력전달유닛의 회전축(520)이 삽입되는 회전축 삽입부(281)가 형성되어 있다.The upper end of the cylinder rod 280 is coupled to the lower portion of the piston 230 and the lower end of the cylinder rod 280 is coupled to the nut member 550 of the power transmission unit. In addition, a rotation shaft insertion portion 281 into which the rotation shaft 520 of the power transmission unit is inserted is formed in the cylinder rod 280.

상기 실린더로드(280)의 외측에는 벨로우즈유닛(590)이 설치된다. 구체적으로, 상기 벨로우즈유닛(590)은 상기 피스톤(230)의 하단면을 지지하는 상부캡(591)과, 상기 실린더 블럭의 하부영역에 설치되는 하부캡(593)과, 상기 상부캡(591)과 하부캡(593)을 연결하는 벨로우즈부재(592)를 포함한다.A bellows unit 590 is provided outside the cylinder rod 280. Specifically, the bellows unit 590 includes an upper cap 591 for supporting a lower end surface of the piston 230, a lower cap 593 disposed in a lower region of the cylinder block, And a bellows member 592 connecting the lower cap 593 with the lower cap 593.

상기 하부캡(593)은 상기 실린더블럭의 하부영역에 결합되어 고정된 위치를 유지하는 반면, 상기 상부캡(591)은 상기 피스톤(230)의 상하이동과 함께 상하로 이동하게 된다.The lower cap 593 is coupled to a lower region of the cylinder block to maintain a fixed position, while the upper cap 591 moves up and down with the piston 230 moving up and down.

상기 실린더블럭은 상기 피스톤(230)이 수용되는 공간을 형성하게 된다. 구체적으로, 상기 실린더블럭은 제1 실린더블럭(210), 제2 실린더블럭(220), 제3 실린더블럭(240) 및 제4 실린더블럭(250)을 포함한다.The cylinder block forms a space in which the piston 230 is accommodated. Specifically, the cylinder block includes a first cylinder block 210, a second cylinder block 220, a third cylinder block 240, and a fourth cylinder block 250.

상기 제2 실린더블럭(220)은 상기 제1 실린더블럭(210)의 하부에 배치되며, 상기 제3 실린더블럭(240)은 상기 제1 실린더블럭(210)의 상단에 배치되고, 상기 제4 실린더블럭(250)은 상기 제2 실린더블럭(220)의 하부에 배치되어 상기 제2 실린더블럭(220)의 하면을 마감하게 된다.The second cylinder block 220 is disposed below the first cylinder block 210 and the third cylinder block 240 is disposed at an upper end of the first cylinder block 210, The block 250 is disposed below the second cylinder block 220 to close the lower surface of the second cylinder block 220.

상기 실린더블럭들은 모두 개별적으로 제작되어 결합될 수도 있지만, 일체로 형성될 수도 있다.The cylinder blocks may be individually manufactured and coupled together, but may be integrally formed.

상기 제1 실린더블럭(210)의 내측면에는 상기 부싱유닛(600)의 적어도 일부분이 수용되는 부싱수용부(211)가 함몰형성되어 있다. 즉, 상기 부싱수용부(211)는 상기 제1 실린더블럭(210)의 내측면에 환형으로 함몰 형성되어 있다.A bushing receiving portion 211 in which at least a portion of the bushing unit 600 is received is formed in an inner surface of the first cylinder block 210. That is, the bush receiving portion 211 is annularly formed on the inner surface of the first cylinder block 210.

상기 제3 실린더블럭(240)은 상기 피스톤(230)의 상면과 함께 상기 비압축성매체의 이동하는 메인유로(260)를 형성하게 된다. 상기 메인유로(260)은 상기 연통유로(800)와 연통되어 있으면서, 상기 피스톤(230)의 외측면과 상기 부싱유닛의 외측면이 형성하는 벽면유로(270)와 연통되어 있다.The third cylinder block 240 together with the upper surface of the piston 230 forms a main passage 260 for moving the incompressible medium. The main passage 260 is in communication with the communication passage 800 and communicates with the wall surface passage 270 formed by the outer surface of the piston 230 and the outer surface of the bushing unit.

상기 실링유닛은 상기 제1 실링부재(720)와 제2 실링부재(710)를 포함한다.The sealing unit includes the first sealing member 720 and the second sealing member 710.

상기 제1 실링부재(720)는 상기 제2 실린더블럭(220)과 상기 피스톤(230) 사이에 배치되어 상기 비압축성매체의 누설을 차단하게 된다. 상기 제2 실린더블럭(220)에는 상기 제1 실링부재(720)의 적어도 일부분이 수용되는 제1 실링부재 수용부(221)가 함몰 형성되어 있다.The first sealing member 720 is disposed between the second cylinder block 220 and the piston 230 to block leakage of the incompressible medium. The second cylinder block 220 is formed with a first sealing member receiving portion 221 in which at least a portion of the first sealing member 720 is accommodated.

상기 제2 실링부재(710)는 상기 제1 실린더블럭(210)의 하면과 상기 제2 실린더블럭(220)의 상면 사이에 배치되어 상기 비압축성매체의 누설을 방지하게 된다. 상기 제2 실린더블럭(220)의 상면에는 상기 제2 실링부재(710)의 적어도 일부분이 수용되는 제2 실링부재 수용부(223)가 함몰형성되어 있다. The second sealing member 710 is disposed between the lower surface of the first cylinder block 210 and the upper surface of the second cylinder block 220 to prevent leakage of the incompressible medium. A second sealing member receiving portion 223, in which at least a portion of the second sealing member 710 is received, is formed on an upper surface of the second cylinder block 220.

본 고안은 이에 한정되지 않고, 상기 제2 실링부재(710)는 상기 제1 실린더블럭(210)의 하면에 일부가 수용될 수도 있고, 상기 제1 실린더블럭(210)의 하면 및 상기 제2 실린더블럭(220)의 상면 모두에 동시에 수용될 수도 있을 것이다.The second sealing member 710 may be partially accommodated in the lower surface of the first cylinder block 210 and may be disposed on the lower surface of the first cylinder block 210 and the lower surface of the second cylinder block 210. [ And may be accommodated in both the upper surfaces of the block 220 at the same time.

한편, 상기 부싱유닛(600)의 일부는 상기 피스톤(230)의 외측면에 밀착되어 상기 피스톤(230)을 지지하면서 상기 피스톤(230)의 흔들림을 방지하고, 다른 일부는 상기 피스톤(230)의 외측면과 함께 상기 비압축성매체가 이동되는 상기 벽면유로(270)를 형성하게 된다.A portion of the bushing unit 600 is in close contact with the outer surface of the piston 230 to prevent the piston 230 from shaking while supporting the piston 230, And the wall surface flow path 270 in which the incompressible medium is moved together with the outer surface.

상기 부싱유닛(600)은 상기 실린더로드(280)를 기준으로 상기 제1 실링부재(720)보다 높은 위치에 배치되며, 상기 부싱유닛(600)은 윤활성이 좋고, 상기 비압축성매체와 반응하지 않는 플라스틱재질로 제작될 수 있다.The bushing unit 600 is disposed at a position higher than the first sealing member 720 with respect to the cylinder rod 280. The bushing unit 600 has good lubricity and does not react with the incompressible medium. It can be made of a material.

예를 들면, 상기 부싱유닛(600)의 재질로는 폴리테트라플루오로에틸렌 (PTFE:polytetrafluoroethylene), 폴리에틸렌(PE:polyethylene), 폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET: Polyethyleneterephthalate) 등이 사용될 수 있다.For example, as the material of the bushing unit 600, polytetrafluoroethylene (PTFE), polyethylene (PE), and polyethylene terephthalate (PET) may be used.

상기 부싱유닛(600)은 고리형상의 부싱몸체(610)를 포함하며, 상기 부싱몸체(610)의 내측면은 상기 피스톤(230)의 외측면 방향으로 일정길이 돌출되어 상기 피스톤(230)의 외측면과 밀착되게 접촉되는 하나 이상의 내접부(621,622,623)와, 상기 부싱몸체(610)의 내측면 중 상기 내접부(621,622,623)를 제외한 내측면에 해당하는 유로형성부(631,632,633)를 포함한다. The bushing unit 600 includes an annular bushing body 610. The inner surface of the bushing body 610 is protruded by a predetermined length in the outer surface direction of the piston 230, 622, 633 corresponding to an inner surface of the inner surface of the bushing body 610 except for the inscribed portions 621, 622, 623.

여기서, 상기 유로형성부(631,632,633)는 상기 피스톤(230)의 외측면과 함께 상기 벽면유로(270)를 형성하게 된다.Here, the flow path forming portions 631, 632, and 633 form the wall surface flow path 270 together with the outer surface of the piston 230.

본 실시 예에 있어서, 상기 내접부(621,622,623)는 3개, 즉 제1 내접부(621), 제2 내접부(622) 및 제3 내접부(623)로 구성되어 일정간격으로 배치되고, 상기 유로형성부(631,632,633)도 3개, 즉 제1 유로형성부(631), 제2 유로형성부(632) 및 제3 유로형성부(633)로 구성되어 일정간격으로 배치된다.In the present embodiment, the inscribed portions 621, 622, and 623 are arranged at regular intervals, which are composed of three inscribed portions 621, 622, and 623, The flow path forming portions 631, 632, and 633 also include three first flow path forming portions 631, a second flow path forming portion 632, and a third flow path forming portion 633.

그러나, 본 고안은 이에 한정되지 않고, 상기 내접부는 두 개 이상으로 구비되고, 상기 유로형성부도 두 개 이상 구비될 수 있다.However, the present invention is not limited to this, and the inscribed portion may be provided in two or more, and the flow path forming portion may be provided in two or more.

상기 내접부(621,622,623)와 상기 유로형성부(631,632,633)는 단차지게 형성되며, 상기 피스톤(230)과 접촉되는 상기 내접부(621,622,623)의 접촉 단면적보다 상기 피스톤(230)과 상기 벽면유로(270)를 형성하는 상기 유로형성부(631,632,633)의 단면적이 크게 형성된다.The inner circumferential portions 621 and 622 and 623 and the flow path forming portions 631 and 632 and 633 are formed in a stepped shape so that the piston 230 and the wall surface flow path 270 are spaced from the contact sectional areas of the inscribed portions 621, The flow path forming portions 631, 632, and 633 are formed to have a large cross-sectional area.

상기 내접부들의 내측면의 가상연장면에 의하여 정의되는 가상내측면의 지름은 상기 피스톤(230)의 외측면의 지름과 동일하며, 상기 피스톤(230)의 외측면과 상기 내접부들의 내측면은 끼워맞춤된다.The diameter of the imaginary inner surface defined by the imaginary extended surface of the inner surface of the inscribed portion is equal to the diameter of the outer surface of the piston 230. The outer surface of the piston 230 and the inner surface of the inscribed portions .

결과적으로, 상기 부싱유닛(600)이 설치됨으로써 상기 피스톤(230)을 안정적으로 잡아줌과 동시에 상기 피스톤(230)과 실린더블럭 내벽 사이에 존재하는 상기 비압축성매체의 흐름이 원활하게 이루어지게 된다.As a result, by installing the bushing unit 600, the piston 230 is stably held and the incompressible medium existing between the piston 230 and the inner wall of the cylinder block is smoothly flowed.

또한, 본 고안에 따른 약액토출장치는 상기 실린더블럭, 즉, 제4 실린더블럭(250)의 하면에 결합되어 상기 실린더로드(280)를 잡아줌으로써 상기 피스톤(230)의 흔들림을 방지하는 가이드 부싱유닛(570)을 더 포함한다. 상기 가이드 부싱유닛(570)에는 상기 실린더로드(280)가 관통하는 로드관통홀(미도시)이 형성되어 있다.The chemical liquid discharging apparatus according to the present invention includes a guide bushing unit 250 coupled to a lower surface of the cylinder block, that is, a fourth cylinder block 250 to prevent the piston 230 from shaking by holding the cylinder rod 280, (570). In the guide bushing unit 570, a rod through-hole (not shown) through which the cylinder rod 280 passes is formed.

결과적으로, 상기 동력전달유닛의 회전축(520)의 회전시 상기 실린더로드(280)는 상기 가이드 부싱유닛(570)에 지지되고, 상기 피스톤(230)은 상기 부싱유닛(600)에 의하여 지지됨으로써 상기 피스톤(230)이 흔들리지 않게 되면서 상기 피스톤이 안정적으로 직선왕복이동을 하게 된다.As a result, the cylinder rod 280 is supported by the guide bushing unit 570 when the rotation shaft 520 of the power transmission unit rotates, and the piston 230 is supported by the bushing unit 600, The piston 230 is not shaken and the piston reciprocates stably in a straight line.

상기 피스톤(230)이 상기 실린더블록의 내부에서 기울어지지 않은 상태에서 직선왕복이동을 하게 됨으로써 상기 제1 실링부재(720)의 편마모를 방지할 수 있게 되고, 상기 피스톤(230)과 상기 실린더블럭의 내벽 사이의 불균일한 마찰로 인하여 갈려지는 현상을 방지하여 제품의 기대수명과 성능을 향상시킬 수 있게 된다.It is possible to prevent the first sealing member 720 from being unevenly worn due to the linear reciprocating movement of the piston 230 in a state where the piston 230 is not tilted in the cylinder block, It is possible to prevent the phenomenon of slicing due to uneven friction between the inner walls, thereby improving the life expectancy and performance of the product.

한편, 상기 구동유닛(400)은 상기 실린더로드(280)를 이동시키기 위한 모터(410)를 포함한다. 상기 모터(410)는 상기 동력전달유닛의 회전축(520)과 결합되어 있다.Meanwhile, the driving unit 400 includes a motor 410 for moving the cylinder rod 280. The motor 410 is coupled to the rotation shaft 520 of the power transmission unit.

상기 동력전달유닛은 상기 모터(410)의 회전력을 상기 실린더로드(280)의 직선이동으로 변환하게 된다. 상기 동력전달유닛은 회전축(520), 너트부재(550), 제1 지지부재(540), 제2 지지부재(510) 및 가이드부재(530)를 포함한다. The power transmission unit converts the rotational force of the motor 410 into a linear movement of the cylinder rod 280. The power transmission unit includes a rotation shaft 520, a nut member 550, a first support member 540, a second support member 510, and a guide member 530.

상기 회전축(520)은 상기 모터(410)와 결합되어 회전하게 되고, 상기 너트부재(550)는 상기 회전축(520)과 결합되어 고정된 상기 회전축(520)에 대하여 직선이동하게 된다.The rotation shaft 520 is coupled with the motor 410 to rotate and the nut member 550 is linearly moved with respect to the rotation axis 520 fixed to the rotation axis 520.

상기 너트부재(550)의 일측은 상기 회전축(520)과 결합되고 타측은 상기 실린더로드(280)와 결합되어 상기 회전축(520)의 회전시 상기 실린더로드(280)와 함께 직선이동하게 된다.One end of the nut member 550 is engaged with the rotation shaft 520 and the other end is coupled with the cylinder rod 280 to be linearly moved together with the cylinder rod 280 when the rotation shaft 520 rotates.

상기 제1 지지부재(540)는 상기 너트부재(550)와 결합되어 상기 너트부재(550)를 지지하게 된다. 상기 회전축(520)의 회전시 상기 제1 지지부재(540) 및 상기 너트부재(550)는 상기 가이드부재(530)를 따라 이동하게 된다. The first support member 540 is coupled to the nut member 550 to support the nut member 550. The first support member 540 and the nut member 550 move along the guide member 530 when the rotation shaft 520 rotates.

상기 가이드부재(530)는 일단은 제2 지지부재(510)에 고정되고, 타단은 상기 제4 실린더블럭(250)에 고정되어 있다. 여기서, 상기 가이드부재(530)는 상기 제1 지지부재(540)를 관통하면서 배치된다. 따라서, 상기 회전축(520)의 회전으로 인하여 상기 너트부재(550)가 상하로 이동할 때 상기 너트부재(550)와 결합된 상기 제1 지지부재(540)는 상기 너트부재(550)와 함께 상기 가이드부재(530)를 따라 상하로 이동하게 된다.One end of the guide member 530 is fixed to the second support member 510 and the other end thereof is fixed to the fourth cylinder block 250. Here, the guide member 530 is disposed through the first support member 540. The first support member 540 coupled with the nut member 550 moves along with the nut member 550 when the nut member 550 moves up and down due to the rotation of the rotation shaft 520. Therefore, And moves up and down along the member 530.

결과적으로, 상기 회전축의 회전시 진동이 발생하더라도 상기 너트부재(550)는 수평면에 대하여 항상 수직을 유지한 채 이동할 수 있게 되고, 이로 인하여 상기 실린더로드(280)도 수평면에 대하여 수직을 유지한 채 이동할 수 있게 된다.As a result, even if vibration occurs during rotation of the rotating shaft, the nut member 550 can be moved while maintaining its vertical position with respect to the horizontal plane. As a result, the cylinder rod 280 is maintained perpendicular to the horizontal plane It becomes movable.

뿐만 아니라, 상기 가이드부재(530)는 상기 제1 지지부재(540) 및 상기 너트부재(550)가 직선이동을 하는 과정에서 회전되는 것을 방지하는 역할을 하게 된다. 즉, 상기 가이드부재(530)는 상기 제1 지지부재(540)의 일측을 관통하면서 배치되어, 상기 제1 지지부재(540)가 상기 회전축(520)을 중심으로 회전하는 것을 방지하게 된다.In addition, the guide member 530 prevents the first support member 540 and the nut member 550 from rotating in a linear movement. That is, the guide member 530 is disposed through one side of the first support member 540 to prevent the first support member 540 from rotating about the rotation axis 520.

상기 가이드부재(530)가 설치되지 않게 되면, 상기 제1 지지부재(540)가 상기 회전축(520)을 중심으로 회전하면서 상기 피스톤(520)의 결합이 풀릴 수 있는 문제가 발생하게 된다. 또한, 상기 제1 지지부재(540)가 회전하지 않더라도 상기 벨로우즈유닛(590)이 회전토크를 받아 변형이 생기거나 벨로우즈유닛(590)의 수명이 줄어드는 문제가 발생하게 된다.If the guide member 530 is not installed, the first support member 540 may be rotated about the rotation axis 520 and the piston 520 may be disengaged. In addition, even if the first support member 540 does not rotate, the bellows unit 590 may receive a rotational torque to cause deformation or a problem that the service life of the bellows unit 590 may be shortened.

상기 제2 지지부재(510)는 상기 제1 지지부재(540)의 하부에 일정간격 떨어진 위치에서 상기 회전축(520)을 지지하게 된다. The second support member 510 supports the rotation shaft 520 at a position spaced apart from the first support member 540 by a predetermined distance.

상기 동력전달유닛 및 상기 실린더블럭은 외벽프레임(310)에 고정되며, 상기 외벽프레임(310)에는 약액토출장치를 이동시 작업자가 잡기 위한 제1 핸들(320) 및 제2 핸들(330)이 구비되어 있다.The power transmission unit and the cylinder block are fixed to the outer frame 310. The outer frame 310 is provided with a first handle 320 and a second handle 330 for an operator to hold the chemical liquid dispensing device have.

이상 설명한 바와 같이, 본 고안은 상술한 특정한 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 고안의 요지를 벗어남 없이 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형의 실시가 가능하고 이러한 변형은 본 고안의 범위에 속한다.As described above, the present invention is not limited to the specific preferred embodiments described above, and various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the scope of the present invention. And such variations are within the scope of the present invention.

100: 펌프유닛 110: 펌프케이스
120: 탄성튜브 130: 펌프챔버
140: 입구측 어댑터 150: 유입유로
160: 출구측 어댑터 170: 토출유로
200: 실린더유닛 210: 제1 실린더블럭
220: 제2 실린더블럭 230: 피스톤
240: 제3 실린더블럭 250: 제4 실린더블럭
260: 메인유로 270: 벽면유로
280: 실린더로드 310: 외벽프레임
320: 제1 핸들 330: 제2 핸들
400: 구동유닛 410: 모터
510: 제2 지지부재 520:회전축
530: 가이드부재 540: 제1 지지부재
550: 너트부재 570: 가이드 부싱유닛
590: 벨로우즈유닛 600: 부싱유닛
610: 부싱몸체 710: 제2 실링부재
720: 제1 실링부재 800: 연통유로100: pump unit 110: pump case
120: elastic tube 130: pump chamber
140: inlet side adapter 150: inlet flow path
160: outlet-side adapter 170:
200: cylinder unit 210: first cylinder block
220: second cylinder block 230: piston
240: third cylinder block 250: fourth cylinder block
260: Main flow path 270: Wall flow path
280: cylinder rod 310: outer wall frame
320: first handle 330: second handle
400: driving unit 410: motor
510: second support member 520:
530: guide member 540: first support member
550: nut member 570: guide bushing unit
590: Bellows unit 600: Bushing unit
610: Bushing body 710: Second sealing member
720: first sealing member 800:

Claims (10)

펌프케이스와, 상기 펌프케이스의 내부에 배치되어 외력에 의하여 수축시 약액을 토출하는 탄성튜브를 가지며, 상기 펌프케이스의 내측면과 상기 탄성튜브의 외측면 사이에는 상기 탄성튜브를 가압하기 위한 비압축성매체가 유입되는 펌프챔버를 형성하는 펌프유닛;
상기 펌프유닛으로 상기 비압축성매체를 공급하기 피스톤과, 상기 피스톤의 하부에 결합되는 실린더로드와, 상기 피스톤이 수용되는 실린더블럭을 갖는 실린더유닛;
상기 실린더로드를 이동시키기 위한 모터를 갖는 구동유닛;
상기 모터의 회전력을 상기 실린더로드의 직선이동으로 변환하기 위한 동력전달유닛; 그리고,
일부는 상기 피스톤의 외측면에 밀착되어 상기 피스톤을 지지하면서 상기 피스톤의 흔들림을 방지하고, 다른 일부는 상기 피스톤의 외측면과 함께 상기 비압축성매체가 이동되는 벽면유로를 형성하는 부싱유닛을 포함하고,
상기 부싱유닛은 고리형상의 부싱몸체를 포함하며, 상기 부싱몸체의 내측면은 상기 피스톤의 외측면 방향으로 일정길이 돌출되어 상기 피스톤의 외측면과 밀착되게 접촉되는 하나 이상의 내접부와, 상기 부싱몸체의 내측면 중 상기 내접부를 제외한 내측면에 해당하는 유로형성부를 포함하며, 상기 유로형성부는 상기 피스톤의 외측면과 함께 상기 벽면유로를 형성하는 것을 특징으로 하는 약액토출장치.And an elastic tube which is disposed inside the pump case and discharges the drug solution upon contraction due to an external force, and an inner tube of a non-compressible medium for pressing the elastic tube is provided between the inner surface of the pump case and the outer surface of the elastic tube. A pump unit for forming a pump chamber into which the pump chamber is introduced;
A cylinder unit having a piston for supplying the incompressible medium to the pump unit, a cylinder rod coupled to a lower portion of the piston, and a cylinder block in which the piston is accommodated;
A drive unit having a motor for moving the cylinder rod;
A power transmission unit for converting a rotational force of the motor into a linear movement of the cylinder rod; And,
And a bushing unit, partly attached to the outer surface of the piston to prevent the piston from shaking while supporting the piston, and the other part forming a wall surface flow path along which the incompressible medium moves together with the outer surface of the piston,
Wherein the bushing unit includes an annular bushing body and the inner side surface of the bushing body protrudes by a predetermined length in the direction of the outer surface of the piston and is brought into contact with the outer surface of the piston in intimate contact with the bushing body, Wherein the flow path forming portion forms the wall surface flow path together with the outer surface of the piston. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 부싱유닛은 상기 비압축성매체와 반응하지 않는 플라스틱재질이며, 상기 내접부는 3개 이상 구비되어 일정간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는 약액토출장치.The method according to claim 1,
Wherein the bushing unit is made of a plastic material that does not react with the incompressible medium, and the bushing unit is disposed at a predetermined interval with three or more of the inscribed portions. 제3항에 있어서,
상기 내접부와 상기 유로형성부는 단차지게 형성되며, 상기 피스톤과 접촉되는 상기 내접부의 접촉 단면적보다 상기 피스톤과 상기 벽면유로를 형성하는 상기 유로형성부의 단면적이 큰 것을 특징으로 하는 약액토출장치.The method of claim 3,
Wherein the inscribed portion and the flow path forming portion are stepped so that the cross sectional area of the flow path forming portion forming the piston and the wall surface flow path is larger than the cross sectional area of the inscribed portion contacting the piston. 제1항, 제3항, 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 실린더블럭에는 상기 부싱유닛의 적어도 일부분이 수용되는 부싱수용부가 함몰형성되어 있는 것을 특징으로 하는 약액토출장치.The method according to any one of claims 1, 3, and 4,
Wherein a bushing accommodating portion in which at least a part of the bushing unit is accommodated is formed in the cylinder block. 제5항에 있어서,
상기 실린더블럭은 상기 부싱수용부가 형성되어 있는 제1 실린더블럭과, 상기 제1 실린더블럭의 하부에 배치되는 제2 실린더블럭과, 상기 제1 실린더블럭의 상단에 배치되어 상기 피스톤의 상면과 함께 상기 비압축성매체의 이동하는 메인유로를 형성하는 제3 실린더블럭과, 상기 제2 실린더블럭의 하부에 배치되어 상기 제2 실린더 블럭의 하면을 마감하는 제4 실린더블럭을 포함하는 것을 특징으로 하는 약액토출장치.6. The method of claim 5,
Wherein the cylinder block includes a first cylinder block having the bush receiving portion formed therein, a second cylinder block disposed below the first cylinder block, and a second cylinder block disposed at an upper end of the first cylinder block, A third cylinder block forming a moving main flow path of the incompressible medium and a fourth cylinder block disposed below the second cylinder block and closing the lower surface of the second cylinder block. . 제6항에 있어서,
상기 제2 실린더 블럭과 상기 피스톤 사이에 배치되는 제1 실링부재를 더 포함하며, 상기 제2 실린더 블럭에는 상기 제1 실링부재의 적어도 일부분이 수용되는 제1 실링부재 수용부가 함몰 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 약액토출장치.The method according to claim 6,
And a first sealing member disposed between the second cylinder block and the piston, wherein a first sealing member accommodating portion accommodating at least a portion of the first sealing member is recessed And the chemical liquid is ejected. 제6항에 있어서,
상기 제1 실린더블럭의 하면과 상기 제2 실린더블럭의 상면 사이에 배치되는 제2 실링부재를 더 포함하며, 상기 제2 실링부재는 상기 제1 실린더블럭의 하면과 상기 제2 실린더 블럭의 상면 중 적어도 어느 하나에 일부분이 수용되는 것을 특징으로 하는 약액토출장치.The method according to claim 6,
And a second sealing member disposed between the lower surface of the first cylinder block and the upper surface of the second cylinder block and the second sealing member is disposed between the lower surface of the first cylinder block and the upper surface of the second cylinder block Wherein at least one of the first and second discharge ports is partially received. 제1항, 제3항, 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 동력전달유닛은 상기 모터와 결합되는 회전축과, 일측은 상기 회전축과 결합되고 타측은 상기 실린더로드와 결합되어 상기 회전축의 회전시 상기 실린더로드와 함께 직선이동하는 너트부재와, 상기 너트부재를 지지하기 위한 제1 지지부재와, 상기 제1 지지부재의 하부에 일정간격 떨어진 위치에서 상기 회전축을 지지하는 제2 지지부재와, 상기 회전축의 회전으로 인하여 상기 제1 지지부재의 상하이동시 상기 제1 지지부재의 이동을 안내하는 가이드부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액토출장치.The method according to any one of claims 1, 3, and 4,
A nut member that is engaged with the rotation shaft and the other end is engaged with the cylinder rod and moves linearly together with the cylinder rod when the rotation shaft rotates; A second support member for supporting the rotation shaft at a position spaced apart from the lower portion of the first support member by a predetermined distance; And a guide member for guiding movement of the member. 제1항, 제3항, 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 실린더블럭의 하면에 결합되되, 상기 실린더로드가 관통하는 로드관통홀이 형성된 가이드 부싱유닛을 더 포함하며,
상기 실린더로드는 상기 가이드 부싱유닛에 지지되고, 상기 피스톤은 상기 부싱유닛에 의하여 지지되는 것을 특징으로 하는 약액토출장치.The method according to any one of claims 1, 3, and 4,
And a guide bushing unit coupled to a lower surface of the cylinder block, the guide bushing unit having a rod through hole through which the cylinder rod passes,
Wherein the cylinder rod is supported by the guide bushing unit, and the piston is supported by the bushing unit.
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