KR200453084Y1 - 기류 감지 시스템 - Google Patents

기류 감지 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR200453084Y1
KR200453084Y1 KR2020080011443U KR20080011443U KR200453084Y1 KR 200453084 Y1 KR200453084 Y1 KR 200453084Y1 KR 2020080011443 U KR2020080011443 U KR 2020080011443U KR 20080011443 U KR20080011443 U KR 20080011443U KR 200453084 Y1 KR200453084 Y1 KR 200453084Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
air flow
sensing
sensing member
control circuit
detection system
Prior art date
Application number
KR2020080011443U
Other languages
English (en)
Other versions
KR20100000460U (ko
Inventor
노철하
Original Assignee
(주) 옵티마인드솔루션
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주) 옵티마인드솔루션 filed Critical (주) 옵티마인드솔루션
Priority to KR2020080011443U priority Critical patent/KR200453084Y1/ko
Publication of KR20100000460U publication Critical patent/KR20100000460U/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR200453084Y1 publication Critical patent/KR200453084Y1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P1/00—Details of instruments
    • G01P1/06—Indicating or recording devices, e.g. for remote indication
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
    • G01P15/0922—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up of the bending or flexing mode type
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P5/00—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft
    • G01P5/08—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring variation of an electric variable directly affected by the flow, e.g. by using dynamo-electric effect
    • G01P5/083—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring variation of an electric variable directly affected by the flow, e.g. by using dynamo-electric effect by using electronic circuits for measuring the dynamoelectric effect

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Indicating Or Recording The Presence, Absence, Or Direction Of Movement (AREA)

Abstract

본 고안은 구조가 단순하고 사용 및 제작이 용이하며 기류의 방향 및 속도를 정확하게 측정할 수 있을 뿐만 아니라 측정된 값을 데이터화하여 저장하므로 체계적인 관리가 가능한 기류 감지 시스템에 관한 것으로, 통신모듈 및 제어회로가 내장되는 고정부와, 상기 고정부의 하부에서 하향으로 돌출되고 길이 조절이 가능한 원통형 감지부재와, 일단이 상기 감지부재를 관통하여 고정부에 고정되고 타단은 자유단인 감지선과, 상기 와이어의 타단에 마련되는 반응구(球)와, 상기 통신모듈을 통해 제어회로와 연결되는 저장부와, 상기 제어회로에서 연산된 기류의 속도 및 방향을 포함하는 상세 데이터를 외부로 출력하는 출력부를 포함하여 구성된다.
기류, 감지, 반응구, 감지수단, 전도성 물질

Description

기류 감지 시스템{AIR FLOW SENSING SYSTEM}
본 고안은 기류의 방향 및 속도를 감지하는 시스템에 관한 것으로, 구체적으로는 구조가 단순하고 사용 및 제작이 용이하며 기류의 방향 및 속도를 정확하게 측정할 수 있을 뿐만 아니라 측정된 값을 데이터화하여 저장하므로 체계적인 관리가 가능한 기류 감지 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 LCD와 같은 광전자 소자는 제조 공정뿐만 아니라 보관, 반입 및 반출 과정에서도 매우 청정한 상태를 유지하여야 한다. 이를 위하여 상기 기판들은 카세트(cassette)에 수납된 상태로 스토커(stocker)에 보관되고, 스토커에 보관된 기판은 인덱서(indexer)에서 챔버로 반입 및 반출된다. 이때, 상기 스토커 및 인덱서는 클린룸 내에 배치되어 미세 먼지나 입자에 의하여 기판이 오염되지 않도록 극도로 청결한 상태로 유지된다.
상기 클린룸은 그 구조에 따라 난류방식, 수평층류방식 및 수직층류방식으로 구분되되, 대부분은 수직층류방식을 선택해서 사용하고 있다. 가장 많이 사용되는 구조인 수직층류방식으로 설계된 클린룸은 상부 천정에 팬 필터 유닛(FFU: Fan Filter Unit)이 설치되고 바닥에 타공 격자 및 진공 펌프가 마련된다.
상술한 바와 같은 구조의 클린룸은 그 내부에서 어떠한 움직임도 없을 경우, 팬 필터 유닛에서 송풍된 청정공기는 하향으로 흐르고, 타공 격자를 통과해 진공 펌프로 흡입되며, 흡입된 공기는 다시 팬 필터 유닛으로 이송되어 순환된다.
한편, 종래에는 상기 팬 필터 유닛 중 청정공기가 송풍되는 위치에 무명실을 매달아 청정공기의 흐름(이하, 기류)의 편각을 측정하였다. 즉, 기류에 편각이 발생하면 하향으로 늘어진 무명실이 일측으로 치우치게 되므로 기류의 방향 및 속도를 감지하였다.
그러나 이와 같은 방법은 관찰자의 주관적인 판단력에 의존하기 때문에 기류의 방향 및 속도를 정확하게 측정할 수 없으며, 시간적, 공간적 측정치가 달라지는 문제가 있었다.
본 고안은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서 구조가 단순하고 사용 및 제작이 용이하되 기류의 방향 및 속도를 정확하게 측정할 수 있는 기류 감지 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다. 또한, 본 고안의 다른 목적은 측정된 값을 데이터화하여 저장하므로 체계적인 관리가 가능한 기류 감지 시스템을 제공하는데 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 고안에 의한 기류 감지 시스템은, 통신모듈 및 제어회로가 내장되는 고정부와, 상기 고정부의 하부에서 하향으로 돌출되고 길 이 조절이 가능한 원통형 감지부재와, 일단이 상기 감지부재를 관통하여 고정부에 고정되고 타단은 자유단인 감지선과, 상기 와이어의 타단에 마련되는 반응구(球)와, 상기 통신모듈을 통해 제어회로와 연결되는 저장부와, 상기 제어회로에서 연산된 기류의 속도 및 방향을 포함하는 상세 데이터를 외부로 출력하는 출력부를 포함하여 구성된다.
본 고안에 의한 기류 감지 시스템은 상술한 바와 같이 구조가 단순하여 사용 및 제작이 용이하며 기류의 방향 및 속도를 정확하게 측정할 수 있다. 또한, 측정된 값을 데이터화하여 저장하므로 체계적인 관리가 가능한 장점이 있다.
첨부된 도면을 참조하여 본 고안에 따른 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 고안에 의한 기류 감지 시스템을 도시하는 구성도이고, 도 2는 본 고안에 의한 기류 감지 시스템을 도시하는 개략도이며, 도 3은 도 2의 일부를 확대 도시한 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 고안에 의한 기류 감지 시스템은 기류의 속도 및 방향을 측정하기 위한 감지수단(100)과, 상기 감지수단(100)에서 측정된 값을 데이터화하여 저장 및 관리하는 관리수단(200)으로 구성된다.
이 중 상기 감지수단(100)은 관리수단(200)과의 통신을 위한 통신모듈(112) 및 후술할 감지부재(120)와 감지선(130)을 통해 측정된 값을 데이터화하는 제어회로(114)를 포함한다. 또한, 상기 관리수단(200)은 제어회로(114)로부터 송신된 데 이터를 외부로 출력하는 출력부(210)와, 제어회로(114)로부터 송신된 데이터를 저장하는 저장부(220)를 포함한다.
도 2와 도 3을 참조하여 상술한 각 구성요소를 좀 더 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 고안에 의한 기류 감지 시스템은 클린룸(미도시)의 천장에 고정 설치될 수 있도록 최상단에는 고정부(110)가 마련된다. 그리고 상기 고정부(110)의 내부에는 관리수단(200)과의 통신을 위한 통신모듈(112) 및 감지부재(120)와 감지선(130)을 통해 측정된 기류의 속도 및 방향을 데이터화하는 제어회로(114)가 마련된다.
상기 감지부재(120)는 소정의 직경을 갖는 원통형상으로 상기 고정부의 하면에 나사 결합된다. 또한, 상기 감지선(130)은 소정의 길이를 갖는 와이어로 그 일단은 상기 감지부재(120)를 관통하여 고정부(110)에 고정되며, 타단은 자유단으로 그 선단에는 소정 직경을 갖는 반응구(140)가 마련된다. 이때, 상기 감지부재(120)와 감지선(130)은 전도성 물질로 제작되고, 상기 감지부재(120)에는 풀업저항에 의하여 디지털 값 1에 해당하는 전압이 인가되며, 상기 감지선(130)에는 디지털 값 0에 해당하는 전압이 인가된다.
이와 같이 구성된 상기 감지수단(100)은 클린룸 내의 기류가 변하여 반응구(140)가 유동하면. 감지부재(120)와 감지선(130)이 접촉하게 되고, 감지부재(120)의 전압을 변경하게 된다. 그리고 감지부재(120)와 연결된 제어회로(114)는 이를 인식하여 기류 변화를 감지하게 된다.
여기서 상기 제어회로(114)는 기류의 변화를 감지함과 동시에 기류의 방향과 속도를 측정하는데, 이 중에서 기류의 방향은 감지선(130)이 감지부재(120)에 접촉되는 위치로 측정하고, 감지할 수 있는 기류의 속도는 상기 고정부(110)에 나사 결합되어 있는 원통형 감지부재(120)의 길이를 연장하거나 단축하여 감지선(130)의 접촉위치를 변경함으로써 측정할 수 있다.
한편, 도면에는 도시되지 않았지만, 상기 감지선(130)에 기울기센서 또는 벤딩센서를 추가하거나 상기 반응구(140)의 내부에 기울기센서를 추가할 경우 기류의 변화, 방향 및 속도 등을 더욱 정확하게 감지할 수 있다. 물론, 상기 감지선(130)과 반응구(140)에 상술한 센서들을 모두 추가할 경우 정확도를 더욱 향상시킬 수 있다.
다른 한편, 상기 고정부(110)에는 감지부재(120)와 감지선(130)의 접촉 여부를 외부로 알리기 위한 전등(116)과 부저(118)를 포함하는 알림부가 마련된다. 또한, 상기 감지부재(120)는 고정부(110)에 나사 결합되어 감지수단(100)의 감지범위를 조절한다. 즉, 상기 감지부재(120)를 조이면 돌출 길이가 짧아져 감지선(130)의 회동범위가 넓어지므로 감지범위 또한 확대된다. 반면, 상기 감지부재(120)를 풀면 돌출 길이가 길어져 감지선(130)의 회동범위가 좁아지므로 감지범위 또한 축소된다.
도 4는 도 2의 “A”에 도시된 감지부재의 다른 실시예를 도시하는 도면이다. 본 고안에 의한 기류 감지 시스템의 감지부재(220)는 도 4에 도시된 바와 같은 형태로 실시될 수 있다. 즉, 상기 감지부재(220)의 하단이 다수로 분할된 형태 로 제작될 수 있다. 이와 같이, 상기 감지부재(220)의 하단을 다수로 분할할 경우 감지부재(220)와 감지선(130)의 접촉위치를 감지할 수 있으며, 이를 통해 기류의 방향을 더욱 정확하게 감지할 수 있다.
상기 관리수단(200)은 제어회로(114)로부터 송신된 데이터를 외부로 출력하는 출력부(210)와, 제어회로(114)로부터 송신된 데이터를 저장하는 저장부(220)를 포함한다. 이때, 상기 고정부(110)에 마련된 통신모듈(112)은 무선 통신모듈로 상기 출력부(210) 및 저장부(220)와 무선으로 데이터를 주고받는다. 따라서 상기 출력부(210)와 저장부(220)의 설치 위치는 제한이 없다.
한편, 본 실시예에서는 상기 통신모듈(112)을 무선 통신모듈로 예시하고 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 사용자의 필요에 따라 유선 또는 유선과 무선을 모두 이용할 수 있음은 물론이다.
본 고안의 바람직한 실시예에 따른 기류 감지 시스템의 구성 및 기류 감지과정을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만, 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 고안의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다는 것을 이 분야의 통상적인 기술자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 고안에 의한 기류 감지 시스템을 도시하는 구성도.
도 2는 본 고안에 의한 기류 감지 시스템을 도시하는 개략도.
도 3은 도 2의 “A”부분을 확대 도시한 도면.
도 4는 도 2의 “A”에 도시된 감지부재의 다른 실시예를 도시하는 도면.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
100: 감지수단 112: 통신모듈
114: 제어회로 116: 전등
118: 부저 120: 감지부재
130: 감지선 140: 반응구
200: 관리수단 210: 출력부
220: 저장부

Claims (8)

  1. 통신모듈 및 제어회로가 내장되는 고정부;
    상기 고정부의 하부에서 하향으로 돌출되고 길이 조절이 가능한 원통형 감지부재;
    일단이 상기 감지부재를 관통하여 고정부에 고정되고 타단은 자유단인 감지선;
    와이어의 타단에 마련되는 반응구(球);
    상기 통신모듈을 통해 제어회로와 연결되는 저장부를 포함하되,
    상기 감지부재와 감지선은 제어회로에 전기적으로 연결되고,
    상기 제어회로에서 연산된 기류의 속도 및 방향을 포함하는 상세 데이터를 외부로 출력하는 출력부를 더 포함하며,
    상기 고정부에는 감지부재와 감지선의 접촉여부를 외부로 알리는 알림부가 마련되는 것을 특징으로 하는 기류 감지 시스템.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 감지선에 기울기센서 또는 벤딩센서가 설치되는 것을 특징으로 하는 기류 감지 시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 반응구에 기울기센서가 내장되는 것을 특징으로 하는 기류 감지 시스템.
  5. 삭제
  6. 제3항 또는 제4항에 있어서,
    상기 감지부재는 고정부에 나사 결합되는 것을 특징으로 하는 기류 감지 시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 감지부재의 하단은 다수로 분할되는 것을 특징으로 하는 기류 감지 시스템.
  8. 제3항 또는 제4항에 있어서,
    상기 통신모듈은 유선 또는 무선 통신모듈인 것을 특징으로 하는 기류 감지 시스템.
KR2020080011443U 2008-07-04 2008-08-27 기류 감지 시스템 KR200453084Y1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020080011443U KR200453084Y1 (ko) 2008-07-04 2008-08-27 기류 감지 시스템

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020080008975 2008-07-04
KR2020080011443U KR200453084Y1 (ko) 2008-07-04 2008-08-27 기류 감지 시스템

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100000460U KR20100000460U (ko) 2010-01-13
KR200453084Y1 true KR200453084Y1 (ko) 2011-04-20

Family

ID=44194414

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2020080011443U KR200453084Y1 (ko) 2008-07-04 2008-08-27 기류 감지 시스템

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR200453084Y1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101621807B1 (ko) 2015-01-15 2016-05-19 (주)신성이엔지 기류 방향 표시 장치

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4449400A (en) * 1982-11-24 1984-05-22 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Radionuculide counting technique for measuring wind velocity and direction
US20030040269A1 (en) * 2001-08-24 2003-02-27 Hitachi, Ltd Fan filter unit control system and clean room provided with same

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4449400A (en) * 1982-11-24 1984-05-22 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Radionuculide counting technique for measuring wind velocity and direction
US20030040269A1 (en) * 2001-08-24 2003-02-27 Hitachi, Ltd Fan filter unit control system and clean room provided with same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101621807B1 (ko) 2015-01-15 2016-05-19 (주)신성이엔지 기류 방향 표시 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20100000460U (ko) 2010-01-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9186609B2 (en) Filter clog sensing system and method for compensating in response to blower speed changes
KR20170051180A (ko) 공기조화기 및 그 제어방법
KR100967762B1 (ko) 필터 장치
CN102322900B (zh) 气流检测器及测量气流的方法
KR101691799B1 (ko) 제습기의 제어방법 및 그에 따른 제습기
JP2011249522A (ja) 判定装置、及び、判定方法
US20110179871A1 (en) Tilt sensor unit
CN101813708B (zh) 判定防尘元件更换时机的风速测量电路及电子装置
US20170122606A1 (en) Air conditioner and control method thereof
KR200453084Y1 (ko) 기류 감지 시스템
CN210690536U (zh) 多气体检测装置
Kwon et al. A Filament supply system capable of remote monitoring and automatic humidity control for 3D printer
KR20210113837A (ko) 공기정화기
JP6681497B2 (ja) 煙感知器、及び煙濃度推定方法
CN106383248B (zh) 基于热敏电阻的测速装置
JP7415116B2 (ja) 気流計測システム、通信モジュール
KR102299661B1 (ko) 케미컬 필터와 온도 습도 제어 기능이 결합된 팬 필터 유닛
KR101621807B1 (ko) 기류 방향 표시 장치
JP2017037502A (ja) 煙感知器、及び煙濃度推定方法
KR20170051263A (ko) 공기조화기 및 그 제어방법
US20200378880A1 (en) An apparatus and associated methods for detecting air-borne particles
CN213713455U (zh) 一种医用净化空调系统远程监控装置
JP6829784B2 (ja) 煙感知器、及び煙濃度推定方法
IT201900007449A1 (it) Dispositivo e sistema di monitoraggio della qualità dell'aria in un ambiente chiuso.
KR102478748B1 (ko) 파티클 센싱 디바이스

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
REGI Registration of establishment
LAPS Lapse due to unpaid annual fee