KR102533923B1 - 클린룸 파티클 통합관리 시스템 - Google Patents

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Abstract

클린룸 파티클 통합관리 시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 클린룸 파티클 통합관리 시스템은, 클린룸의 내부에 설치되며, 공기에 포함된 파티클을 감지하여 파티클의 수량을 카운트하는 적어도 하나의 파티클 센싱 디바이스; 적어도 하나의 파티클 센싱 디바이스와 통신 가능하게 연결되며, 파티클 센싱 디바이스로부터 측정공기에 포함된 파티클의 수량에 따른 공기 청정도 데이터를 취득하고, 취득한 공기 청정도 데이터를 분류 및 관리하는 데이터 관리용 서버; 및 데이터 관리용 서버와 통신 가능하게 연결되어 클린룸 내부의 공기 청정도를 실시간으로 모니터링하고, 이에 따라 클린룸 내부의 공기 청정도를 제어하는 모니터링 장치를 포함한다.

Description

클린룸 파티클 통합관리 시스템{Clean Room Particle Management System}
본 발명은, 클린룸 파티클 통합관리 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 간단하고 효율적인 구조를 가진 파티클 센싱 디바이스에 의해, 반도체 또는 디스플레이 제조 공정 시스템이 배치되는 클린룸 내부의 공기에 포함된 파티클의 수량을 정확하고 효과적으로 측정함으로써, 클린룸 내부의 공기 청정도를 정확하게 모니터링할 수 있으며, 이에 따라 클린룸 내부의 공기 청정도를 보다 효과적으로 제어할 수 있는 클린룸 파티클 통합관리 시스템에 관한 것이다.
8K 고해상도 디스플레이, 플렉서블 디스플레이, MEMs, 마이크로렌즈 등 집적화된 공정을 요구하는 최근의 반도체 제조공정은 미세입자의 흡착으로 인한 불량률이 기존의 5배 이상 크게 증가하게 되었다.
예를 들어, 8K 디스플레이는 기존의 4K 디스플레이에 비해 해상도가 4배 높아짐에 따라, 픽셀크기가 더 미세하게 되어 먼지 흡착에 더욱 민감하다.
또한, 복잡한 공정으로 인해 공정시간이 길어짐에 따라 디스플레이 패널 표면에 불순물 입자가 흡착되는 확률이 기존의 수배에 이르고 있다.
마찬가지로, 반도체 집적화에 따라 배선이 미세화되므로, 불순물입자의 존재유무에 따라 수율에 큰 영향을 끼치고 있는 실정이다.
이에, 반도체 또는 디스플레이 제조 공정의 불량률을 낮추기 위해서는 미세한 크기의 불순물 입자, 즉 파티클의 수량을 크기별로 측정하는 파티클 센서를 이용하여 클린룸 내부 공기의 청정도를 유지 관리하는 시스템이 필요하다.
그런데, 이러한 종래의 클린룸 파티클 통합관리 시스템에서 사용되는 파티클 측정장치의 경우에 고가의 외산 장비가 대부분이므로, 높은 단가로 인해 중소기업에서 생산 및 조립을 위해 운영중인 클린룸 내부에 설치하기 위해서는 비용 부담이 커서 쉽게 도입하지 못하고 있는 실정이다.
나아가, 클린룸 다양한 장비가 배치된 클린룸 내부에서도, 위치별로 파티클의 수량을 정확하게 측정할 필요가 있는데, 클린룸 내부의 다양한 위치에 고가의 파티클 측정장치를 대량으로 설치하기에는 비용적인 부담이 큰 실정이다.
대한민국 등록특허 제10-2101413호, (2020.04.16)
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 간단하고 효율적인 구조를 가진 파티클 센싱 디바이스에 의해, 반도체 또는 디스플레이 제조 공정 시스템이 배치되는 클린룸 내부의 공기에 포함된 파티클의 수랑을 정확하고 효과적으로 측정함으로써, 클린룸 내부의 공기 청정도를 정확하게 모니터링할 수 있으며, 이에 따라 클린룸 내부의 공기 청정도를 보다 효과적으로 제어할 수 있는 클린룸 파티클 통합관리 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 클린룸의 내부에 설치되며, 공기에 포함된 파티클을 감지하여 상기 파티클의 수량을 카운트하는 적어도 하나의 파티클 센싱 디바이스; 상기 적어도 하나의 파티클 센싱 디바이스와 통신 가능하게 연결되며, 상기 파티클 센싱 디바이스로부터 측정공기에 포함된 파티클의 수량에 따른 공기 청정도 데이터를 취득하고, 취득한 상기 공기 청정도 데이터를 분류 및 관리하는 데이터 관리용 서버; 및 상기 데이터 관리용 서버와 통신 가능하게 연결되어 상기 클린룸 내부의 공기 청정도를 실시간으로 모니터링하고, 이에 따라 상기 클린룸 내부의 공기 청정도를 제어하는 모니터링 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸 파티클 통합관리 시스템이 제공될 수 있다.
상기 클린룸의 내부에 설치되며, 상기 클린룸 내부의 공기 청정도를 조절하기 위한 환기 장치를 더 포함하고, 상기 모니터링 장치는, 상기 환기 장치와 통신 가능하게 연결되어 상기 환기 장치를 제어함으로써 상기 클린룸 내부의 공기 청정도를 조절할 수 있다.
상기 적어도 하나의 파티클 센싱 디바이스 각각은, 상기 클린룸 내부의 온도 및 습도를 측정하는 온도 및 습도 측정유닛을 포함하며, 상기 데이터 관리용 서버는, 상기 온도 및 습도 측정유닛에 의해 측정된 온도 및 습도 데이터를 취득하고, 취득한 상기 온도 및 습도 데이터를 분류 및 관리하며, 상기 온도 및 습도 데이터에 따라 상기 파티클 센싱 디바이스로부터 취득한 공기 청정도 데이터를 보정하여 측정 불량률을 예측할 수 있다.
상기 클린룸의 내부에 설치되며, 상기 클린룸 내부의 온도 및 습도를 조절하는 온도 및 습도 조절장치를 더 포함하고, 상기 모니터링 장치는, 상기 환기 장치 및 상기 온도 및 습도 조절장치와 통신 가능하게 연결되며, 상기 측정 불량률을 고려하여 상기 환기 장치 및 상기 온도 및 습도 조절장치를 제어함으로써 상기 클린룸 내부의 온도, 습도 및 공기 청정도를 조절할 수 있다.
상기 적어도 하나의 파티클 센싱 디바이스 각각은, 디바이스 본체; 상기 디바이스 본체 내부에 마련되며, 공기에 포함된 파티클을 감지하여 상기 파티클의 수량을 카운트하는 파티클 측정 센서; 상기 디바이스 본체의 내부에 마련되되, 상기 파티클 측정 센서를 둘러싸고 배치되어, 미리 결정된 양의 측정공기를 저장하기 위한 미리 결정된 크기의 파티클 측정공간을 제공하는 측정공기 저장유닛; 및 상기 디바이스 본체와 상기 측정공기 저장유닛 사이에 결합되며, 상기 디바이스 본체 외부의 외부공기를 상기 측정공기 저장유닛의 내부로 흡입하고, 상기 파티클 측정 센서에 의해 파티클의 수량을 카운트한 측정공기를 상기 디바이스 본체의 외부로 배출시키도록 공기를 유동시키는 공기 유동 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 측정공기 저장유닛은, 파티클의 수량을 카운트하기 위한 미리 결정된 양의 상기 측정공기를 미리 결정된 시간동안 밀봉시켜 저장하며, 상기 파티클 측정 센서는, 상기 측정공기 저장유닛에 미리 결정된 시간동안 저장된 미리 결정된 양의 측정공기를 기준으로 상기 측정공기에 포함된 파티클을 감지하여 상기 파티클의 수량을 카운트할 수 있다.
상기 측정공기 저장유닛은, 상기 디바이스 본체의 내부에 마련되되, 상기 파티클 측정 센서의 둘레에 배치되며 미리 결정된 높이를 가지는 격벽구조의 격벽형 저장구조체; 상기 격벽형 저장구조체의 상부에 탈착 가능하게 결합되는 커버 플레이트; 및 상기 격벽형 저장구조체와 상기 커버 플레이트 사이에 배치되어 상기 격벽형 저장구조체와 상기 커버 플레이트 사이를 밀봉시키는 실링 부재를 포함할 수 있다.
상기 공기 유동 유닛은, 상기 측정공기 저장유닛과 상기 디바이스 본체의 일측 사이에 결합되며, 상기 측정공기 저장유닛 내부와 상기 디바이스 본체 외부를 연통하여 상기 디바이스 본체 외부의 공기를 상기 측정공기 저장유닛 내부로 흡입하는 흡입유로를 형성하는 유입관부; 상기 측정공기 저장유닛과 상기 디바이스 본체의 타측 사이에 결합되며, 상기 측정공기 저장유닛 내부와 상기 디바이스 본체 외부를 연통하여 파티클의 수량을 카운트한 측정공기를 상기 디바이스 본체의 외부로 배출시키는 배출유로를 형성하는 배출관부; 및 상기 배출관부의 일측에 결합되어 상기 유입관부로부터 상기 측정공기 저장유닛을 거쳐 상기 배출관부로 향하는 공기의 유동을 형성하는 펌프를 포함할 수 있다.
상기 배출관부는, 상기 측정공기 저장유닛과 상기 펌프 사이에 배치되어, 상기 측정공기 저장유닛으로부터 상기 펌프까지의 제1 배출유로를 형성하는 제1 배출관; 및 상기 펌프와 상기 디바이스 본체의 타측 사이에 배치되어, 상기 펌프로부터 상기 디바이스 본체 외부까지의 제2 배출유로를 형성하는 제2 배출관을 포함할 수 있다.
상기 공기 유동 유닛은, 상기 제2 배출관과 상기 디바이스 본체 사이에 결합되며, 상기 측정공기를 배출하기 전에 상기 측정공기에 존재하는 파티클을 필터링하는 파티클 필터링 모듈을 더 포함할 수 있다.
상기 디바이스 본체의 일측에 마련되어 상기 펌프에 전원을 공급하는 전원공급유닛; 상기 전원공급유닛의 출력 및 상기 펌프의 출력을 제어함으로써 상기 측정공기 저장유닛에 저장되는 상기 측정공기의 유량을 제어하는 제어유닛; 상기 디바이스 본체의 일측에 마련되어 상기 파티클 측정 센서에 의해 측정된 파티클 측정 결과를 외부로 전송하는 통신유닛; 및 상기 디바이스 본체에 결합되며, 상기 디바이스 본체의 외부를 향해 적어도 일부의 표시영역이 관통 배치되어 상기 파티클 측정 센서에 의해 측정된 파티클 측정 결과를 외부로 표시하는 디스플레이 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들은, 간단하고 효율적인 구조를 가진 파티클 센싱 디바이스에 의해, 반도체 또는 디스플레이 제조 공정 시스템이 배치되는 클린룸 내부의 공기에 포함된 파티클의 수량을 정확하고 효과적으로 측정함으로써, 클린룸 내부의 공기 청정도를 정확하게 모니터링할 수 있으며, 이에 따라 클린룸 내부의 공기 청정도를 보다 효과적으로 제어할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 파티클 센싱 디바이스의 구조를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 파티클 센싱 디바이스의 시제품 내부를 도시한 도면이다.
도 3은 도 2의 확대도이다.
도 4는 도 1의 디스플레이 유닛 및 디스플레이 유닛에 표시되는 정보를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 클린룸 파티클 통합관리 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 도 5의 클린룸 파티클 통합관리 시스템에서 데이터의 흐름을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 7은 도 5의 모니터링 장치에 의해 클린룸 내부의 온도, 습도 및 공기 청정도를 조절하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 파티클 센싱 디바이스의 구조를 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 파티클 센싱 디바이스의 시제품 내부를 도시한 도면이며, 도 3은 도 2의 확대도이고, 도 4는 도 1의 디스플레이 유닛 및 디스플레이 유닛에 표시되는 정보를 도시한 도면이다.
이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 파티클 센싱 디바이스(10)는, 디바이스 본체(100)와, 파티클 측정 센서(200)와, 측정공기 저장유닛(300)과, 공기 유동 유닛(400)과, 전원공급유닛(500)과, 통신유닛(700)과, 제어유닛(미도시)과, 디스플레이 유닛(800)과, 온도 및 습도 측정유닛(미도시)을 포함한다.
먼저, 디바이스 본체(100)는 파티클 센싱 디바이스(10)의 외형을 형성하는 부분이며, 모든 구성요소들이 정확한 위치에 배치되어 상호 결합될 수 있도록 내부 플레이트(미도시)가 마련될 수 있다.
본 실시 예에서는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 박스 형태의 시제품으로 제작되었으나, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니며 클린룸 내부의 특정한 장소에 배치될 수 있도록 다양한 형태로 제작될 수 있을 것이다.
한편, 파티클 측정 센서(200)는 디바이스 본체(100) 내부에 마련되며, 공기에 포함된 파티클을 감지하여 파티클의 수량을 카운트하는 역할을 한다.
파티클 측정 센서(200)는 광측정 방식에 의해 1um부터 10um 사이의 불순물 입자를 검출하고 1um, 2.5um, 5um, 10um를 분류할 수 있는 분해능을 갖추고 있으므로, 최근 반도체의 집적화와 8K로 진화하는 디스플레이 산업 뿐만 아니라, MEMs공정, 반도체 공정 등 불순물 입자가 제품의 불량률과 밀접한 관련이 있는 산업에 모두 적용이 가능하며, 나아가 학교 및 연구소의 클린룸이나 소형 기계 공정 등에도 적용이 가능하다.
한편, 측정공기 저장유닛(300)은 디바이스 본체(100)의 내부에 마련되되, 파티클 측정 센서(200)를 둘러싸고 배치되어, 미리 결정된 양의 측정공기를 저장하기 위한 미리 결정된 크기의 파티클 측정공간을 제공하는 역할을 한다.
일반적인 파티클 측정장치는 유동하는 상태의 공기를 광측정 방식에 의해 측정하게 되므로, 파티클 측정장치의 외부 공기와 내부의 측정공기 사이에 파티클의 수량이 차이가 있을 수 있다.
그러나 본 발명에 따르면, 미리 결정된 양의 측정공기를 저장하기 위한 미리 결정된 크기의 파티클 측정공간을 제공함으로써, 측정공기 저장유닛(300)에 저장된 측정공기가 안정화된 상태에서 측정공기에 포함된 파티클을 감지하여 파티클의 수량을 카운트할 수 있으므로, 파티클 측정장치의 외부 공기의 파티클의 실제 수량에 가까운 데이터를 얻을 수 있게 된다.
물론, 일반적인 파티클 측정장치와 동일하게 유동하는 상태의 공기를 광측정 방식에 의해 측정할 수도 있으며, 측정 환경에 따라 측정 방식을 선택적으로 변경할 수도 있다.
이를 위해, 측정공기 저장유닛(300)은 파티클의 수량을 카운트하기 위한 미리 결정된 양의 측정공기를 미리 결정된 시간동안 밀봉시켜 저장할 수 있으며, 이 때 파티클 측정 센서(200)는 측정공기 저장유닛(300)에 미리 결정된 시간동안 저장된 미리 결정된 양의 측정공기를 기준으로 측정공기에 포함된 파티클을 감지하여 파티클의 수량을 카운트할 수 있다.
이러한 측정공기 저장유닛(300)은, 격벽형 저장구조체(310)와, 커버 플레이트(330)와, 실링 부재(미도시)를 포함한다.
격벽형 저장구조체(310)는 디바이스 본체(100)의 내부에 마련되되, 파티클 측정 센서(200)의 둘레에 배치되며 미리 결정된 높이를 가지는 격벽구조로 마련된다.
커버 플레이트(330)는 격벽형 저장구조체(310)의 상부에 탈착 가능하게 결합됨으로써, 격벽형 저장구조체(310) 내부의 파티클 측정 센서(200)를 유지보수하기 위해 필요에 따라 파티클 측정공간을 열거나 닫을 수 있다.
실링 부재(미도시)는 격벽형 저장구조체(310)와 커버 플레이트(330) 사이에 배치되어 격벽형 저장구조체(310)와 커버 플레이트 사이를 밀봉시키는 역할을 한다.
한편, 공기 유동 유닛(400)은 디바이스 본체(100)와 측정공기 저장유닛(300) 사이에 결합되며, 디바이스 본체(100) 외부의 외부공기를 측정공기 저장유닛(300)의 내부로 흡입하고, 파티클 측정 센서(200)에 의해 파티클의 수량을 카운트한 측정공기를 디바이스 본체(100)의 외부로 배출시키도록 공기를 유동시키는 역할을 한다.
이러한 공기 유동 유닛(400)은, 유입관부(410)와, 배출관부(420)와, 펌프(430)와, 파티클 필터링 모듈(440)을 포함한다.
유입관부(410)는 측정공기 저장유닛(300)과 디바이스 본체(100)의 일측 사이에 결합되며, 측정공기 저장유닛(300) 내부와 디바이스 본체(100) 외부를 연통하여 디바이스 본체(100) 외부의 공기를 측정공기 저장유닛(300) 내부로 흡입하는 흡입유로를 형성한다.
배출관부(420)는 측정공기 저장유닛(300)과 디바이스 본체(100)의 타측 사이에 결합되며, 측정공기 저장유닛(300) 내부와 디바이스 본체(100) 외부를 연통하여 파티클의 수량을 카운트한 측정공기를 디바이스 본체(100)의 외부로 배출시키는 배출유로를 형성한다.
배출관부(420)는 제1 배출관(421)과 제2 배출관(422)을 포함하는데, 제1 배출관(421)은 측정공기 저장유닛(300)과 펌프(430) 사이에 배치되어 측정공기 저장유닛(300)으로부터 펌프(430)까지의 제1 배출유로를 형성하며, 제2 배출관(422)은 펌프(430)와 디바이스 본체(100)의 타측 사이에 배치되어 펌프(430)로부터 디바이스 본체(100) 외부까지의 제2 배출유로를 형성한다.
펌프(430)는 배출관부(420)의 일측에 결합되어 유입관부(410)로부터 측정공기 저장유닛(300)을 거쳐 배출관부(420)로 향하는 공기의 유동을 형성하는 역할을 한다.
파티클 필터링 모듈(440)은 제2 배출관(422)과 디바이스 본체(100) 사이에 결합되며, 측정공기를 배출하기 전에 측정공기에 존재하는 파티클을 필터링하는 역할을 한다.
도 3을 참조하여, 공기 유동 유닛(400)의 유입관부(410)와 배출관부(420)와 펌프(430) 및 파티클 필터링 모듈(440) 사이의 배치에 대하여 설명하면, 먼저 유입관부(410)가 디바이스 본체(100)의 일측 벽으로부터 측정공기 저장유닛(300)까지 연결되어 화살표 A를 따라 배치되는 흡입유로를 형성하며, 다음으로 제1 배출관(421)이 측정공기 저장유닛(300)으로부터 펌프(430)까지 연결되어 화살표 B를 따라 배치되는 제1 배출유로를 형성하고, 그 뒤로 제2 배출관(422)이 펌프(430)로부터 파티클 필터링 모듈(440)까지 연결되어 화살표 C를 따라 배치되는 제2 배출유로를 형성하며, 마지막으로 파티클 필터링 모듈(440)이 제2 배출관(422)과 디바이스 본체(100)의 내벽 사이에 직접 연결된다.
이러한 구조를 가진 공기 유동 유닛(400)의 작동에 대하여 설명하면, 펌프(430)가 작동하게 되면, 유입관부(410)로부터 측정공기 저장유닛(300)의 내부를 거쳐서 제1 배출관(421)에 이르기까지 흡입력이 발생하게 되므로, 디바이스 본체(100) 외부의 공기를 흡입하여 측정공기 저장유닛(300)으로 공급하게 된다.
이 때, 후술할 제어유닛(미도시)에 의해 펌프(430)의 출력을 제어함으로써 측정공기 저장유닛(300)에 저장되는 측정공기의 유량을 제어할 수 있게 된다.
또한, 펌프(430)의 작동여부를 제어함으로써 측정공기 저장유닛(300)의 내부에 미리 결정된 양의 측정공기를 미리 결정된 시간동안 밀봉시켜 저장할 수 있으며, 이 때 측정공기 저장유닛(300) 내부의 파티클 측정 센서(200)에 의해 측정공기에 포함된 파티클을 감지하여 파티클의 수량을 카운트할 수 있다.
이후에 파티클의 수량이 측정된 측정공기는 펌프(430)의 작동에 의해 제1 배출관(421)을 따라 측정공기 저장유닛(300)으로부터 펌프(430)까지 이동하게 되고, 제2 배출관(422)을 따라 파티클 필터링 모듈(440)을 거쳐서 디바이스 본체(100)의 외부로 배출된다.
본 발명에 따르면, 파티클의 수량이 측정된 측정공기를 파티클 필터링 모듈(440)을 거쳐서 배출함으로써, 배출된 측정공기에 포함된 파티클에 의해 클린룸 내부에서 발생할 수 있는 제조공정의 불량을 방지할 수 있게 된다.
한편, 전원공급유닛(500)은 디바이스 본체(100)의 일측에 마련되어 펌프(430)에 전원을 공급하는 역할을 하며, 펌프(430) 뿐만 아니라 제어유닛(미도시), 디스플레이 유닛(800), 온도 및 습도 측정유닛(미도시) 등 전원을 필요로 하는 모든 구성요소로 전원을 공급하게 된다.
한편, 제어유닛(미도시)은 전원공급유닛(500)의 출력 및 펌프(430)의 출력을 제어함으로써 측정공기 저장유닛(300)에 저장되는 측정공기의 유량을 제어하는 역할을 한다.
따라서, 파티클 센싱 디바이스(10)가 배치되는 클린룸 내부의 환경 조건 및 제조 공정에 따른 특성에 맞게 원하는 유량으로 조절할 수 있게 된다.
한편, 통신유닛(700)은 디바이스 본체(100)의 일측에 마련되어 파티클 측정 센서(200)에 의해 측정된 파티클 측정 결과를 외부로 전송하는 역할을 하며, 적어도 하나의 유선통신용 단자(710)와, 적어도 하나의 무선통신용 통신모듈(미도시)을 포함한다.
적어도 하나의 유선통신용 단자(710)는 USB 외부연결 단자(711)와 유선 LAN 외부연결 단자(712)를 포함할 수 있으며, 이들을 통해 후술할 클린룸 파티클 통합관리 시스템(1)의 데이터 관리용 서버(20)와 유선으로 통신 가능하게 연결될 수 있다.
또한, 적어도 하나의 무선통신용 통신모듈(미도시)은, 블루투스(bluetooth) 또는 적외선통신(IrDA) 등의 근거리 무선연결방식 및 와이파이(Wi-Fi) 등 다양한 무선통신 방식에 의해 데이터 관리용 서버(20)와 무선으로 통신 가능하게 연결될 수 있으며, 후술할 클린룸 파티클 통합관리 시스템(1)의 모니터링 장치(30)와도 추가적으로 통신 가능하도록 연결될 수 있다.
본 발명에 따르면, 도 6에 도시된 바와 같이, 무선통신을 이용하여 클라우드 형태의 데이터 관리용 서버(20)에 연결될 수도 있지만, 클린룸의 형태 및 수요기업에 따른 작업 현장의 환경 등에 따라 유선으로도 마련될 수 있으며 맞춤형으로 데이터 전송 시스템을 구축할 수 있다.
한편, 디스플레이 유닛(800)은 디바이스 본체(100)에 결합되며, 디바이스 본체(100)의 외부를 향해 적어도 일부의 표시영역이 관통 배치되어 파티클 측정 센서(200)에 의해 측정된 파티클 측정 결과를 외부로 표시하는 역할을 한다.
도 4의 (a)에 도시된 디바이스 본체(100)의 외부를 향해 배치되는 디스플레이 유닛(800)의 디스플레이 표시영역에는, 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 파티클의 크기에 따라 구분되어 카운트된 파티클의 수량, 측정공기의 온도 및 습도를 비롯하여 센서와의 연결 상태 및 데이터 관리용 서버(20)와의 연결 상태 등 다양한 정보가 표시된다.
이러한 디스플레이 유닛(800)은 터치입력이 가능하게 마련됨으로써, 파티클 센싱 디바이스(10)를 조작하는 조작부의 역할도 함께 할 수 있다.
한편, 온도 및 습도 측정유닛(미도시)은 파티클 센싱 디바이스(10)가 배치되는 클린룸 내부 및 측정공기의 온도 및 습도를 측정하는 역할을 하며, 여기서 수집된 데이터에 의해 후술할 클린룸 파티클 통합관리 시스템(1)의 데이터 관리용 서버(20)가 온도 및 습도 데이터에 따라 파티클 센싱 디바이스(10)로부터 취득한 공기 청정도 데이터를 보정하여 측정 불량률을 예측할 수 있게 된다.
또한, 후술할 클린룸 파티클 통합관리 시스템(1)의 모니터링 장치(30)가, 데이터 관리용 서버(20)에서 예측한 측정 불량률을 고려하여 환기 장치(40) 및 온도 및 습도 조절장치(50)를 제어함으로써 클린룸 내부의 온도, 습도 및 공기 청정도를 조절할 수 있도록 수집된 데이터를 제공한다.
이와 같이, 본 실시 예에 따르면, 간단하고 효율적인 구조를 가지면서도, 반도체 또는 디스플레이 제조 공정 시스템이 배치되는 클린룸 내의 공기에 포함된 파티클의 수량을 정확하고 효과적으로 측정함으로써, 클린룸 내부의 공기 청정도를 정확하게 모니터링할 수 있게 된다.
한편, 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 클린룸 파티클 통합관리 시스템을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 6은 도 5의 클린룸 파티클 통합관리 시스템에서 데이터의 흐름을 개략적으로 도시한 도면이며, 도 7은 도 5의 모니터링 장치에 의해 클린룸 내부의 온도, 습도 및 공기 청정도를 조절하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
이하에서는, 이들 도면을 참조하여 전술한 파티클 센싱 디바이스(10)를 포함하는 클린룸 파티클 통합관리 시스템(1)에 대하여 설명한다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 클린룸 파티클 통합관리 시스템(1)은, 적어도 하나의 파티클 센싱 디바이스(10)와, 데이터 관리용 서버(20)와, 모니터링 장치(30)와, 환기 장치(40)와, 온도 및 습도 조절장치(50)를 포함한다.
적어도 하나의 파티클 센싱 디바이스(10)는 전술한 바와 같은 구조를 가지며, 클린룸 내부의 다양한 위치에 배치되어 공기에 포함된 파티클의 크기 및 수량과, 측정공기의 온도 및 습도를 측정하여 데이터를 취득하는 역할을 하고, 취득된 데이터를 통신 가능하게 연결된 데이터 관리용 서버(20)로 업로드하는 역할을 한다.
데이터 관리용 서버(20)는 적어도 하나의 파티클 센싱 디바이스(10)와 통신 가능하게 연결되며, 파티클 센싱 디바이스(10)로부터 측정공기에 포함된 파티클의 수량에 따른 공기 청정도 데이터를 취득하고, 취득한 공기 청정도 데이터를 분류 및 관리하는 역할을 한다.
또한, 데이터 관리용 서버(20)는 파티클 센싱 디바이스(10)의 온도 및 습도 측정유닛(미도시)에 의해 측정된 온도 및 습도 데이터를 취득하고, 취득한 온도 및 습도 데이터를 분류 및 관리하며, 온도 및 습도 데이터에 따라 파티클 센싱 디바이스(10)로부터 취득한 공기 청정도 데이터를 보정하여 측정 불량률을 예측할 수 있다.
모니터링 장치(30)는 데이터 관리용 서버(20)와 통신 가능하게 연결되어 클린룸 내부의 공기 청정도를 실시간으로 모니터링하고, 이에 따라 클린룸 내부의 공기 청정도를 제어하는 역할을 한다.
환기 장치(40)는 클린룸의 내부에 설치되며, 클린룸 내부의 공기 청정도를 조절하는 역할을 하며, 이 때, 모니터링 장치(30)가 환기 장치(40)와 통신 가능하게 연결되어 환기 장치(40)를 제어함으로써 클린룸 내부의 공기 청정도를 조절할 수 있다.
온도 및 습도 조절장치(50)는 클린룸의 내부에 설치되며, 클린룸 내부의 온도 및 습도를 조절하는 역할을 한다.
도 5에 도시된 바와 같이, 모니터링 장치(30)가 환기 장치(40) 및 온도 및 습도 조절장치(50)와 통신 가능하게 연결되며, 데이터 관리용 서버(20)에서 예측한 측정 불량률을 고려하여 환기 장치(40) 및 온도 및 습도 조절장치(50)를 제어함으로써 클린룸 내부의 온도, 습도 및 공기 청정도를 조절할 수 있다.
즉, 도 7에 도시된 바와 같이, 클린룸 내부의 공기와 클린룸 외부의 공기가 환기 장치(40)에 의해 순환하여 다시 클린룸의 내부로 투입될 때에, 온도 및 습도 조절장치(50)를 거치면서 클린룸의 내부로 투입되는 공기의 온도 및 습도를 조절할 수 있으며, 클린룸의 내부로 투입되기 직전에 헤파 필터(41) 등의 공기정화장치를 거치면서 공기에 포함된 파티클의 수량을 조절할 수 있게 된다.
이와 같이, 본 실시 예에 따르면, 간단하고 효율적인 구조를 가진 파티클 센싱 디바이스에 의해, 반도체 또는 디스플레이 제조 공정 시스템이 배치되는 클린룸 내부의 공기에 포함된 파티클의 수량을 정확하고 효과적으로 측정함으로써, 클린룸 내부의 공기 청정도를 정확하게 모니터링할 수 있으며, 이에 따라 클린룸 내부의 공기 청정도를 보다 효과적으로 제어할 수 있게 된다.
또한, 데이터 관리용 서버에서, 파티클 센싱 디바이스의 온도 및 습도 측정유닛에 의해 측정된 온도 및 습도 데이터에 따라 파티클 센싱 디바이스로부터 취득한 공기 청정도 데이터를 보정하여 측정 불량률을 예측할 수 있게 된다.
나아가, 모니터링 장치에 의해, 데이터 관리용 서버에서 예측한 측정 불량률을 고려하여 환기 장치 및 온도 및 습도 조절장치를 제어함으로써 클린룸 내부의 온도, 습도 및 공기 청정도를 조절할 수 있게 된다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
1 : 클린룸 파티클 통합관리 시스템 10 : 파티클 센싱 디바이스
20 : 데이터 관리용 서버 30 : 모니터링 장치
40 : 환기 장치 50 : 온도 및 습도 조절장치
100 : 디바이스 본체 200 : 파티클 측정 센서
300 : 측정공기 저장유닛 310 : 격벽형 저장구조체
330 : 커버 플레이트 400 : 공기 유동 유닛
410 : 유입관부 420 : 배출관부
421 : 제1 배출관 422 : 제2 배출관
430 : 펌프 440 : 파티클 필터링 모듈
500 : 전원공급유닛 700 : 통신유닛
800 : 디스플레이 유닛

Claims (11)

  1. 클린룸의 내부에 설치되며, 공기에 포함된 파티클을 감지하여 상기 파티클의 수량을 카운트하는 적어도 하나의 파티클 센싱 디바이스;
    상기 적어도 하나의 파티클 센싱 디바이스와 통신 가능하게 연결되며, 상기 파티클 센싱 디바이스로부터 측정공기에 포함된 파티클의 수량에 따른 공기 청정도 데이터를 취득하고, 취득한 상기 공기 청정도 데이터를 분류 및 관리하는 데이터 관리용 서버; 및
    상기 데이터 관리용 서버와 통신 가능하게 연결되어 상기 클린룸 내부의 공기 청정도를 실시간으로 모니터링하고, 이에 따라 상기 클린룸 내부의 공기 청정도를 제어하는 모니터링 장치를 포함하며,
    상기 클린룸의 내부에 설치되며, 상기 클린룸 내부의 공기 청정도를 조절하기 위한 환기 장치를 더 포함하고,
    상기 모니터링 장치는,
    상기 환기 장치와 통신 가능하게 연결되어 상기 환기 장치를 제어함으로써 상기 클린룸 내부의 공기 청정도를 조절하며,
    상기 적어도 하나의 파티클 센싱 디바이스 각각은,
    상기 클린룸 내부의 온도 및 습도를 측정하는 온도 및 습도 측정유닛을 포함하며,
    상기 데이터 관리용 서버는,
    상기 온도 및 습도 측정유닛에 의해 측정된 온도 및 습도 데이터를 취득하고, 취득한 상기 온도 및 습도 데이터를 분류 및 관리하며, 상기 온도 및 습도 데이터에 따라 상기 파티클 센싱 디바이스로부터 취득한 공기 청정도 데이터를 보정하여 측정 불량률을 예측하고,
    상기 적어도 하나의 파티클 센싱 디바이스 각각은,
    디바이스 본체;
    상기 디바이스 본체 내부에 마련되며, 공기에 포함된 파티클을 감지하여 상기 파티클의 수량을 카운트하는 파티클 측정 센서;
    상기 디바이스 본체의 내부에 마련되되, 상기 파티클 측정 센서를 둘러싸고 배치되어, 미리 결정된 양의 측정공기를 저장하기 위한 미리 결정된 크기의 파티클 측정공간을 제공하는 측정공기 저장유닛; 및
    상기 디바이스 본체와 상기 측정공기 저장유닛 사이에 결합되며, 상기 디바이스 본체 외부의 외부공기를 상기 측정공기 저장유닛의 내부로 흡입하고, 상기 파티클 측정 센서에 의해 파티클의 수량을 카운트한 측정공기를 상기 디바이스 본체의 외부로 배출시키도록 공기를 유동시키는 공기 유동 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸 파티클 통합관리 시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 클린룸의 내부에 설치되며, 상기 클린룸 내부의 온도 및 습도를 조절하는 온도 및 습도 조절장치를 더 포함하고,
    상기 모니터링 장치는,
    상기 환기 장치 및 상기 온도 및 습도 조절장치와 통신 가능하게 연결되며, 상기 측정 불량률을 고려하여 상기 환기 장치 및 상기 온도 및 습도 조절장치를 제어함으로써 상기 클린룸 내부의 온도, 습도 및 공기 청정도를 조절하는 것을 특징으로 하는 클린룸 파티클 통합관리 시스템.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 측정공기 저장유닛은,
    파티클의 수량을 카운트하기 위한 미리 결정된 양의 상기 측정공기를 미리 결정된 시간동안 밀봉시켜 저장하며,
    상기 파티클 측정 센서는,
    상기 측정공기 저장유닛에 미리 결정된 시간동안 저장된 미리 결정된 양의 측정공기를 기준으로 상기 측정공기에 포함된 파티클을 감지하여 상기 파티클의 수량을 카운트하는 것을 특징으로 하는 클린룸 파티클 통합관리 시스템.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 측정공기 저장유닛은,
    상기 디바이스 본체의 내부에 마련되되, 상기 파티클 측정 센서의 둘레에 배치되며 미리 결정된 높이를 가지는 격벽구조의 격벽형 저장구조체;
    상기 격벽형 저장구조체의 상부에 탈착 가능하게 결합되는 커버 플레이트; 및
    상기 격벽형 저장구조체와 상기 커버 플레이트 사이에 배치되어 상기 격벽형 저장구조체와 상기 커버 플레이트 사이를 밀봉시키는 실링 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸 파티클 통합관리 시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 공기 유동 유닛은,
    상기 측정공기 저장유닛과 상기 디바이스 본체의 일측 사이에 결합되며, 상기 측정공기 저장유닛 내부와 상기 디바이스 본체 외부를 연통하여 상기 디바이스 본체 외부의 공기를 상기 측정공기 저장유닛 내부로 흡입하는 흡입유로를 형성하는 유입관부;
    상기 측정공기 저장유닛과 상기 디바이스 본체의 타측 사이에 결합되며, 상기 측정공기 저장유닛 내부와 상기 디바이스 본체 외부를 연통하여 파티클의 수량을 카운트한 측정공기를 상기 디바이스 본체의 외부로 배출시키는 배출유로를 형성하는 배출관부; 및
    상기 배출관부의 일측에 결합되어 상기 유입관부로부터 상기 측정공기 저장유닛을 거쳐 상기 배출관부로 향하는 공기의 유동을 형성하는 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸 파티클 통합관리 시스템.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 배출관부는,
    상기 측정공기 저장유닛과 상기 펌프 사이에 배치되어, 상기 측정공기 저장유닛으로부터 상기 펌프까지의 제1 배출유로를 형성하는 제1 배출관; 및
    상기 펌프와 상기 디바이스 본체의 타측 사이에 배치되어, 상기 펌프로부터 상기 디바이스 본체 외부까지의 제2 배출유로를 형성하는 제2 배출관을 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸 파티클 통합관리 시스템.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 공기 유동 유닛은,
    상기 제2 배출관과 상기 디바이스 본체 사이에 결합되며, 상기 측정공기를 배출하기 전에 상기 측정공기에 존재하는 파티클을 필터링하는 파티클 필터링 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸 파티클 통합관리 시스템.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 디바이스 본체의 일측에 마련되어 상기 펌프에 전원을 공급하는 전원공급유닛;
    상기 전원공급유닛의 출력 및 상기 펌프의 출력을 제어함으로써 상기 측정공기 저장유닛에 저장되는 상기 측정공기의 유량을 제어하는 제어유닛;
    상기 디바이스 본체의 일측에 마련되어 상기 파티클 측정 센서에 의해 측정된 파티클 측정 결과를 외부로 전송하는 통신유닛; 및
    상기 디바이스 본체에 결합되며, 상기 디바이스 본체의 외부를 향해 적어도 일부의 표시영역이 관통 배치되어 상기 파티클 측정 센서에 의해 측정된 파티클 측정 결과를 외부로 표시하는 디스플레이 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸 파티클 통합관리 시스템.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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