KR200449764Y1 - Apparatus for Testing Vacuum Leak of Sealed Product - Google Patents

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KR200449764Y1 KR2020100003397U KR20100003397U KR200449764Y1 KR 200449764 Y1 KR200449764 Y1 KR 200449764Y1 KR 2020100003397 U KR2020100003397 U KR 2020100003397U KR 20100003397 U KR20100003397 U KR 20100003397U KR 200449764 Y1 KR200449764 Y1 KR 200449764Y1
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Abstract

본 고안은 진공 리크 테스트 장치에 관한 것으로, 진공압을 전달할 수 있는 연결 배관 및 센서 배관을 진공 챔버 또는 피측정물의 내부 공간에 선택적으로 연통 결합시킬 수 있도록 구성되어 피측정물의 구조적인 특성이나 진공 챔버의 안전성 등을 고려하여 필요에 따라 서로 다른 방식의 진공 리트 테스트를 수행할 수 있으며, 이에 따라 더욱 정확하고 안정적인 테스트 수행이 가능하며, 더욱 다양한 피측정물에 대한 리크 발생 여부를 테스트할 수 있다는 점에서 그 적용 범위가 확장되는 진공 리크 테스트 장치를 제공한다.The present invention relates to a vacuum leak test apparatus, and is configured to selectively connect a connection pipe and a sensor pipe that can transmit a vacuum pressure to a vacuum chamber or an internal space of an object under test, so as to provide structural characteristics or a vacuum chamber of the object under test. It is possible to perform different types of vacuum leak tests as necessary in consideration of the safety of the device, and thus to perform a more accurate and stable test, and to test whether or not a leak occurs on a wider variety of objects. To provide a vacuum leak test apparatus that extends its scope of application.

Figure R2020100003397
Figure R2020100003397

Description

진공 리크 테스트 장치{Apparatus for Testing Vacuum Leak of Sealed Product}Apparatus for Testing Vacuum Leak of Sealed Product}

본 고안은 진공 리크 테스트 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 진공압을 전달할 수 있는 연결 배관 및 센서 배관을 진공 챔버 또는 피측정물의 내부 공간에 선택적으로 연통 결합시킬 수 있도록 구성되어 피측정물의 구조적인 특성이나 진공 챔버의 안전성 등을 고려하여 필요에 따라 서로 다른 방식의 진공 리트 테스트를 수행할 수 있으며, 이에 따라 더욱 정확하고 안정적인 테스트 수행이 가능하며, 더욱 다양한 피측정물에 대한 리크 발생 여부를 테스트할 수 있다는 점에서 그 적용 범위가 확장되는 진공 리크 테스트 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a vacuum leak test apparatus. More specifically, it is necessary to selectively connect the connecting pipe and the sensor pipe that can transmit the vacuum pressure to the vacuum chamber or the internal space of the object under test, considering the structural characteristics of the object to be measured or the safety of the vacuum chamber. Different types of vacuum lit tests can be performed, which enables more accurate and stable tests, and tests for leaks on a wider variety of objects. It relates to a vacuum leak test apparatus.

일반적으로 각종 기계 부품이나 용기 등 산업 전반에 널리 사용되는 가공품 또는 주조품 등은 그 기능에 따라 내부 공간의 기밀성이 보장되어야 하는 제품들이 있는데, 이러한 밀폐형 제품은 그 구조적인 특성상 제작 과정에서 미세한 크랙 등의 원인으로 내부 공간의 기밀 상태가 해제되어 제품에 리크(leak)가 발생할 수 있으므로 이에 대한 신뢰성 테스트가 매우 중요하다 할 것이다.In general, processed products or castings, which are widely used in various industries such as various mechanical parts or containers, have to have airtightness of the internal space depending on their functions. Such closed products have fine cracks in the manufacturing process due to their structural characteristics. As a cause, the confidentiality of the internal space may be released, and a leak may occur in the product, so the reliability test for this will be very important.

이러한 테스트는 일반적으로 외부와 차단된 일정 크기의 진공 챔버에 피측정물을 배치시킨 상태에서 외부 장치를 통해 진공 챔버에 진공압을 가한 후 진공 챔버 내의 진공압 변화 상태를 측정하는 방식으로 진행되며, 이는 일반적으로 진공 챔버 및 진공압 장치 등을 구비한 진공 리크 테스트 장치를 통해 수행된다. 즉, 진공 챔버에 일정 시간 동안 일정 크기의 진공압을 유지한 상태에서 진공 챔버 내부의 진공압의 변화 상태가 일정하게 유지되면 피측정물에 리크가 발생하지 않는다고 판단할 수 있고, 반대로 진공 챔버 내부의 진공압이 시간에 따라 증가하는 등의 변화가 발생하게 되면 피측정물에 리크가 발생하는 것으로 판단할 수 있다.This test is generally performed by applying a vacuum pressure to the vacuum chamber through an external device and placing a measurement object in a vacuum chamber of a predetermined size, which is isolated from the outside. This is generally done via a vacuum leak test apparatus having a vacuum chamber, a vacuum pressure device and the like. That is, when the change state of the vacuum pressure inside the vacuum chamber is kept constant while the vacuum pressure of the predetermined size is maintained in the vacuum chamber for a predetermined time, it may be determined that no leakage occurs in the object to be measured. It can be determined that leakage occurs in the measured object when the change in the vacuum pressure of the gas increases with time.

이때, 피측정물의 크기 또는 형상이 매우 크거나 복잡한 경우 진공 챔버 내부에 배치시킬 수 없는 경우가 발생할 수 있는데, 이러한 경우 해당 피측정물에 적용할 수 있는 별도의 진공 챔버를 포함하는 또 다른 진공 리크 테스트 장치를 추가로 주문 제작하여 테스트를 진행해야 한다. 이러한 점에서 종래 기술에 의한 진공 리크 테스트 장치는 진공 챔버의 크기 또는 형상 등에 의해 그 적용 범위가 크게 제한된다는 문제가 있었다.In this case, if the size or shape of the object to be measured is very large or complex, it may not be possible to place it inside the vacuum chamber, in which case another vacuum leak including a separate vacuum chamber applicable to the object to be measured. Additional test equipment must be customized and tested. In this regard, the vacuum leak test apparatus according to the prior art has a problem that its application range is greatly limited by the size or shape of the vacuum chamber.

또한, 진공 챔버에 진공압을 가한 상태에서 진공 챔버 내부의 진공압 변화 상태를 파악하는 테스트 방식은 피측정물의 특성이나 테스트 조건 등에 따라 과도한 진공압이 진공 챔버 내부에 작용할 수 있는데, 이러한 경우 진공 챔버에 변형이 발생하여 테스트 장치의 내구성이 저하되거나 또는 진공 챔버의 밀봉 상태가 양호하게 유지되지 못하여 테스트 결과에 오차가 발생하는 등의 문제가 발생할 수 있다. 따라서, 이를 방지하기 위해서는 진공 챔버에 가할 수 있는 진공압의 크기 또한 일정 범위 이내로 제한해야 하므로 이 또한 테스트 장치의 적용 범위를 제한하는 요인으로 작용하고 있다.
In addition, in a test method of detecting a change in vacuum pressure inside the vacuum chamber while applying a vacuum pressure to the vacuum chamber, excessive vacuum pressure may act on the inside of the vacuum chamber depending on the characteristics of the object or the test conditions. Deformation may occur such that the durability of the test apparatus may be degraded, or the sealing state of the vacuum chamber may not be maintained well, thereby causing an error in the test result. Therefore, in order to prevent this, the amount of vacuum pressure that can be applied to the vacuum chamber must also be limited within a certain range, which also acts as a limiting factor of the application range of the test apparatus.

본 고안은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 고안한 것으로서, 본 고안의 목적은 진공압을 전달할 수 있는 연결 배관 및 센서 배관을 진공 챔버 또는 피측정물의 내부 공간에 선택적으로 연통 결합시킬 수 있도록 구성되어 피측정물의 구조적인 특성이나 진공 챔버의 안전성 등을 고려하여 필요에 따라 서로 다른 방식의 진공 리트 테스트를 수행할 수 있으며, 이에 따라 더욱 정확하고 안정적인 테스트 수행이 가능하며, 더욱 다양한 피측정물에 대한 리크 발생 여부를 테스트할 수 있다는 점에서 그 적용 범위가 확장되는 진공 리크 테스트 장치를 제공하는 것이다.The present invention is designed to solve the problems of the prior art, an object of the present invention is configured to selectively connect the connection pipe and the sensor pipe that can transmit the vacuum pressure to the vacuum chamber or the internal space of the measurement object. In consideration of the structural characteristics of the object to be measured or the safety of the vacuum chamber, different types of vacuum limit tests can be performed as necessary, thereby enabling more accurate and stable test and In view of the possibility of testing for leaks, the present invention provides a vacuum leak test apparatus that can be expanded.

본 고안의 다른 목적은 진공압 조절 유닛을 통해 진공 챔버 내부 압력 또는 피측정물의 내부 공간에 대한 압력을 정확하게 조절하여 더욱 정확한 테스트 결과를 산출함과 동시에 사고 위험을 방지할 수 있는 안전한 진공 리크 테스트 장치를 제공하는 것이다.
Another object of the present invention is to provide a more accurate test result by precisely adjusting the pressure inside the vacuum chamber or the pressure inside the object to be measured through the vacuum pressure control unit, and at the same time, a safe vacuum leak test apparatus that can prevent an accident risk. To provide.

본 고안은, 피측정물에 진공압을 작용시키며 진공압 변화 상태를 측정하여 피측정물에 대한 리크 발생 여부를 테스트하는 진공 리크 테스트 장치에 있어서, 내부에 수용 공간이 형성되는 본체 케이스; 상기 본체 케이스 내부에 배치되며 피측정물이 인입될 수 있도록 밀봉 가능한 진공 챔버가 형성되는 하우징; 일부 구간이 상기 진공 챔버 내에 위치하도록 상기 하우징에 관통 결합되는 연결 배관 및 센서 배관; 상기 연결 배관의 일단에 결합되며 진공압을 생성 및 해제하는 진공압 조절 유닛; 및 상기 센서 배관의 일단에 결합되어 센서 배관을 통해 전달되는 압력을 측정하는 압력 측정 센서를 포함하고, 상기 연결 배관 및 센서 배관의 타단은 상기 진공 챔버 또는 피측정물의 내부 공간과 선택적으로 연통 결합될 수 있도록 구성되어 상기 진공 챔버 또는 피측정물의 내부 공간에 선택적으로 진공압을 작용시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 진공 리크 테스트 장치를 제공한다.The present invention provides a vacuum leak test apparatus for testing whether leakage occurs on an object by applying a vacuum pressure to the object to be measured and measuring a vacuum pressure change state, the body case having an accommodation space formed therein; A housing disposed inside the main body case and having a sealable vacuum chamber formed therein to allow the measurement object to be drawn in; A connection pipe and a sensor pipe connected to the housing so that a portion of the section is located in the vacuum chamber; A vacuum pressure adjusting unit coupled to one end of the connection pipe to generate and release a vacuum pressure; And a pressure measuring sensor coupled to one end of the sensor pipe and measuring a pressure transmitted through the sensor pipe, and the other end of the connection pipe and the sensor pipe may be selectively connected to an internal space of the vacuum chamber or the object to be measured. It is configured to be able to provide a vacuum leak test apparatus, characterized in that capable of selectively applying a vacuum pressure to the internal space of the vacuum chamber or the object to be measured.

이때, 상기 연결 배관 및 센서 배관은 연성 재질로 형성되어 타단부가 필요에 따라 상기 진공 챔버의 외부 공간까지 연장되어 피측정물의 내부 공간에 연통 결합될 수 있도록 배치될 수 있다.In this case, the connection pipe and the sensor pipe may be formed of a flexible material so that the other end may be disposed to be communicatively coupled to the inner space of the object to be extended to the outer space of the vacuum chamber as necessary.

또한, 상기 연결 배관 및 센서 배관의 타단부에는 피측정물의 내부 공간과 밀봉 결합될 수 있도록 별도의 실링 부재가 결합될 수 있다.In addition, a separate sealing member may be coupled to the other end of the connection pipe and the sensor pipe so as to be sealingly coupled to the internal space of the object to be measured.

또한, 상기 하우징에는 상기 진공 챔버를 개폐할 수 있도록 하우징 도어가 장착될 수 있다.In addition, the housing may be mounted to the housing door to open and close the vacuum chamber.

또한, 상기 진공압 조절 유닛은 상기 진공 챔버 또는 피측정물의 내부 공간에 진공압을 제공하도록 상기 연결 배관의 일단에 연결 결합되는 진공 펌프; 상기 연결 배관 상에 장착되어 상기 연결 배관을 개폐하는 제 1 개폐 밸브; 및 일단이 상기 연결 배관에 연결되고 타단이 외부와 연통되게 개방된 분기 배관 상에 장착되어 상기 분기 배관을 개폐하는 제 2 개폐 밸브를 포함하여 구성될 수 있다.
The vacuum pressure adjusting unit may further include a vacuum pump connected to one end of the connection pipe to provide a vacuum pressure to the inner space of the vacuum chamber or the object to be measured; A first on-off valve mounted on the connection pipe to open and close the connection pipe; And a second opening / closing valve, one end of which is connected to the connection pipe and the other end of which is mounted on the branch pipe opened in communication with the outside, to open and close the branch pipe.

본 고안에 의하면, 진공압을 전달할 수 있는 연결 배관 및 센서 배관을 진공 챔버 또는 피측정물의 내부 공간에 선택적으로 연통 결합시킬 수 있도록 구성되어 피측정물의 구조적인 특성이나 진공 챔버의 안전성 등을 고려하여 필요에 따라 서로 다른 방식의 진공 리트 테스트를 수행할 수 있으며, 이에 따라 더욱 정확하고 안정적인 테스트 수행이 가능하며, 더욱 다양한 피측정물에 대한 리크 발생 여부를 테스트할 수 있다는 점에서 그 적용 범위가 확장되는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to selectively connect the connection pipe and the sensor pipe which can transfer the vacuum pressure to the vacuum chamber or the internal space of the object to be measured in consideration of the structural characteristics of the object to be measured or the safety of the vacuum chamber. Different types of vacuum lit tests can be carried out as needed, which allows for more accurate and stable tests and further tests for leaks on a wider range of objects. It is effective.

또한, 진공압 조절 유닛을 통해 진공 챔버 내부 압력 또는 피측정물의 내부 공간에 대한 압력을 정확하게 조절하여 더욱 정확한 테스트 결과를 산출함과 동시에 사고 위험을 방지하여 안전성이 확보되는 효과가 있다.
In addition, the vacuum pressure control unit accurately controls the pressure inside the vacuum chamber or the pressure inside the object to be measured to produce more accurate test results and at the same time prevents the risk of an accident, thereby ensuring safety.

도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치의 개략적인 외부 형상을 도시한 사시도,
도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치의 전체적인 구성을 개념적으로 도시한 단면도,
도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치의 다른 실시 태양을 개념적으로 도시한 단면도,
도 4는 본 고안의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치의 또 다른 실시 태양을 개념적으로 도시한 단면도,
도 5는 본 고안의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치에 대한 기능 블록도,
도 6은 본 고안의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치의 각 구성요소에 대한 동작 선도를 도시한 도면,
도 7은 본 고안의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치에 의해 측정된 압력 선도와 변위 선도를 예시적으로 도시한 도면이다.1 is a perspective view illustrating a schematic external shape of a vacuum leak test apparatus according to an embodiment of the present invention;
2 is a cross-sectional view conceptually showing the overall configuration of a vacuum leak test apparatus according to an embodiment of the present invention;
3 is a cross-sectional view conceptually showing another embodiment of a vacuum leak test apparatus according to an embodiment of the present invention;
4 is a cross-sectional view conceptually showing another embodiment of a vacuum leak test apparatus according to an embodiment of the present invention;
5 is a functional block diagram of a vacuum leak test apparatus according to an embodiment of the present invention,
6 is a view showing an operation diagram for each component of the vacuum leak test apparatus according to an embodiment of the present invention,
7 is a diagram exemplarily showing a pressure diagram and a displacement diagram measured by a vacuum leak test apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention.

이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 고안을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 고안의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First of all, in adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same reference numerals are used as much as possible even if displayed on different drawings. In addition, in describing the present invention, when it is determined that the detailed description of the related known configuration or function may obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

본 고안의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치는 밀폐형 제품인 피측정물에 진공압을 작용시킨 후 진공압의 변화 상태를 측정하여 피측정물에 대한 리크 발생 여부를 테스트하는 장치로서, 별도의 진공 챔버 내에 피측정물을 배치 고정시킨 상태에서 진공 챔버에 진공압을 작용시키거나 또는 피측정물의 내부 공간에 직접 진공압을 작용시키는 방식으로 2가지 진공압 작용 방식을 선택적으로 적용할 수 있는 구조이다. 이러한 진공 리크 테스트 장치는 본체 케이스(100)와, 진공 챔버(C)를 구성하는 하우징(200)과, 진공 챔버(C)에 연통되도록 하우징(200)에 관통 결합되는 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)과, 연결 배관(440)과 연통되어 진공압을 생성 및 해제하는 진공압 조절 유닛(400)과, 센서 배관(610)을 통해 전달되는 압력을 측정하는 압력 측정 센서(600)를 포함하여 구성되며, 이때, 측정 데이터를 실시간으로 디스플레이함과 동시에 사용자의 입력 조작을 가능하게 하는 별도의 디스플레이부(700)가 더 포함될 수 있다.The vacuum leak test apparatus according to an embodiment of the present invention is a device for testing whether a leak occurs on an object to be measured by measuring a state of change in vacuum pressure after applying a vacuum pressure to an object under test, which is a closed product. It is a structure that can selectively apply two types of vacuum action methods by applying a vacuum pressure to the vacuum chamber or directly applying the vacuum pressure to the inner space of the object under the condition that the object to be measured is placed and fixed in the chamber. . The vacuum leak test apparatus includes a main body case 100, a housing 200 constituting the vacuum chamber C, and a connection pipe 440 and a sensor penetratingly coupled to the housing 200 so as to communicate with the vacuum chamber C. The pipe 610, the vacuum pressure control unit 400 in communication with the connection pipe 440 to generate and release the vacuum pressure, and the pressure measuring sensor 600 for measuring the pressure transmitted through the sensor pipe 610 In this case, a separate display unit 700 may be further included to enable the user's input operation while simultaneously displaying the measurement data in real time.

본체 케이스(100)는 전체 장치의 기본 외형 및 구조를 이루는 것으로 내부에 수용 공간이 형성되어 다양한 구성 요소가 본체 케이스(100) 내부에 장착된다. 본체 케이스(100)의 형상은 사용자의 필요에 따라 다양한 형태로 형성될 수 있으며, 일측면에는 사용자의 조작 및 인식이 용이한 위치에 디스플레이부(700)가 노출되게 장착될 수 있다.The main body case 100 forms a basic appearance and structure of the entire apparatus, and an accommodation space is formed therein, and various components are mounted in the main body case 100. The shape of the main body case 100 may be formed in various forms according to a user's needs, and the display unit 700 may be mounted on one side of the main body case 100 in a position where the user's operation and recognition is easy.

하우징(200)은 본체 케이스(100)와 일체로 형성되거나 또는 도 2에 도시된 바와 같이 본체 케이스(100) 내부에 결합되는 형태로 분리 형성될 수 있으며, 내부 공간에 피측정물(M)을 인입할 수 있는 진공 챔버(C)를 형성한다. 이러한 진공 챔버(C)에는 테스트 과정에서 고도의 진공압이 작용하기 때문에 압력 유지를 위해 외부 공간으로부터 밀봉되게 형성된다. 예를 들면, 하우징(200)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 상면이 개방된 형태로 형성되며, 개방된 상면에는 하우징(200)의 진공 챔버(C)를 회동 개폐할 수 있도록 별도의 하우징 도어(210)가 힌지축(213)을 중심으로 회동 가능하게 힌지 결합될 수 있다. 이때, 하우징 도어(210)와 하우징(200) 사이에는 하우징 도어(210)가 닫힌 상태에서 진공 챔버(C)가 밀봉될 수 있도록 별도의 실링부재(212)가 삽입 개재되는 것이 바람직하다. 또한, 하우징 도어(210)와 하우징(200) 간의 상호 밀착력 강화를 위해 하우징 도어(210)의 가장자리 부분에는 별도의 결합 볼트(211)가 장착되고 하우징(200)의 상부에는 결합 볼트(211)가 체결될 수 있도록 나사홀(미도시)이 대응되게 형성된다. 따라서, 진공 챔버(C)에 피측정물(M)을 인입한 상태에서 하우징 도어(210)를 닫고 결합 볼트(211)를 하우징(200)에 체결하면, 하우징 도어(210)가 진공 챔버(C)를 외부 공간으로부터 밀봉된 상태로 유지시키며 고정 장착되므로 진공 챔버(C)에 고도의 진공압이 작용하더라도 구조적으로 안전성을 유지할 수 있다.The housing 200 may be integrally formed with the main body case 100 or may be separately formed in a form that is coupled to the inside of the main body case 100 as shown in FIG. The vacuum chamber C which can be drawn in is formed. The vacuum chamber (C) is formed to be sealed from the external space for maintaining the pressure because a high vacuum pressure is applied during the test process. For example, the housing 200 is formed in an open shape as shown in FIGS. 1 and 2, and an open top surface is provided so that the vacuum chamber C of the housing 200 can be rotated and opened. The housing door 210 may be hinged to be rotatable about the hinge shaft 213. At this time, it is preferable that a separate sealing member 212 is inserted between the housing door 210 and the housing 200 so that the vacuum chamber C can be sealed while the housing door 210 is closed. In addition, in order to enhance mutual adhesion between the housing door 210 and the housing 200, a separate coupling bolt 211 is mounted at an edge of the housing door 210, and a coupling bolt 211 is provided at an upper portion of the housing 200. Screw holes (not shown) are formed to correspond to each other. Therefore, when the housing door 210 is closed and the coupling bolt 211 is fastened to the housing 200 in a state where the object M is introduced into the vacuum chamber C, the housing door 210 is connected to the vacuum chamber C. ) Is kept in a sealed state from the external space and fixedly mounted, thereby maintaining structural safety even if a high vacuum pressure is applied to the vacuum chamber (C).

연결 배관(440) 및 센서 배관(610)은 진공 챔버(C)와 연통되도록 하우징(200)에 관통 결합되는데, 이때 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)의 적어도 일부 구간 이상이 진공 챔버(C) 내에 위치하도록 하우징(200)에 관통 결합된다. 즉, 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)은 도 2에 도시된 바와 같이 중단 부위가 하우징(200)의 일측면을 관통하도록 결합되어 일부 구간이 진공 챔버(C) 내에 돌출되도록 장착된다. 이때, 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)은 연성 재질로 형성되어 진공 챔버(C) 내에서 자유로이 이동할 수 있도록 형성되는 것이 바람직하다. 이러한 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)은 진공 챔버(C) 외부에 위치하는 일단이 진공압 조절 유닛(400) 및 압력 측정 센서(600)에 연통 결합되고 진공 챔버(C) 내에 위치하는 타단이 진공 챔버(C)에 연통되도록 구성되거나 이와 달리 일단이 각각 진공압 조절 유닛(400) 및 압력 측정 센서(600)에 연통 결합되고 진공 챔버(C) 내에 위치하는 타단이 피측정물(M)의 내부 공간과 연통되도록 구성될 수도 있는데, 이에 대한 상세한 설명은 후술한다.The connection pipe 440 and the sensor pipe 610 are coupled to the housing 200 so as to communicate with the vacuum chamber (C), wherein at least a portion or more of the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 is a vacuum chamber ( C) is penetrated through the housing 200 to be located in C). That is, the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 are coupled so that the interruption portion penetrates one side surface of the housing 200 as shown in FIG. 2 so that some sections protrude in the vacuum chamber C. In this case, the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 is preferably formed of a flexible material so as to be able to move freely in the vacuum chamber (C). One end of the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 located outside the vacuum chamber C is communicatively coupled to the vacuum pressure control unit 400 and the pressure measuring sensor 600 and positioned in the vacuum chamber C. The other end is configured to be in communication with the vacuum chamber (C) or alternatively one end is in communication with the vacuum pressure control unit 400 and the pressure measuring sensor 600, and the other end located in the vacuum chamber (C) is the object to be measured (M). It may be configured to communicate with the internal space of the), a detailed description thereof will be described later.

진공압 조절 유닛(400)은 진공압을 생성 및 해제하도록 구성되는데, 연결 배관(440)의 일단에 연통 결합되어 연결 배관(440)의 타단에 결합된 특정 공간에 대해 진공압을 전달되도록 구성된다. 즉, 연결 배관(440)의 타단에 진공 챔버(C)가 연통 결합된 경우 진공압 조절 유닛(400)에 의해 발생된 진공압은 진공 챔버(C)에 전달되고, 연결 배관(440)의 타단에 피측정물(M)의 내부 공간이 연통 결합된 경우 진공압 조절 유닛(400)에 의해 발생된 진공압은 피측정물(M)의 내부 공간에 전달된다. The vacuum pressure control unit 400 is configured to generate and release a vacuum pressure, and is communicatively coupled to one end of the connection pipe 440 and configured to transmit a vacuum pressure to a specific space coupled to the other end of the connection pipe 440. . That is, when the vacuum chamber C is communicatively coupled to the other end of the connection pipe 440, the vacuum pressure generated by the vacuum pressure control unit 400 is transmitted to the vacuum chamber C and the other end of the connection pipe 440. When the internal space of the object to be measured (M) is communicatively coupled, the vacuum pressure generated by the vacuum pressure adjusting unit 400 is transmitted to the internal space of the object to be measured (M).

압력 측정 센서(600)는 센서 배관(610)의 일단에 결합되어 센서 배관(610)을 통해 전달되는 압력을 측정하도록 구성된다. 센서 배관(610)의 타단에 진공 챔버(C)가 연통 결합된 경우 센서 배관(610)을 통해 진공 챔버(C)의 내부 압력이 전달되므로 압력 측정 센서(600)는 진공 챔버(C)의 압력을 측정하게 되고, 센서 배관(610)의 타단에 피측정물(M)의 내부 공간이 연통 결합된 경우 센서 배관(610)을 통해 피측정물(M)의 내부 공간에 대한 압력에 전달되므로 압력 측정 센서(600)는 피측정물(M)의 내부 공간에 대한 압력을 측정하게 된다.The pressure measuring sensor 600 is coupled to one end of the sensor pipe 610 and configured to measure the pressure transmitted through the sensor pipe 610. When the vacuum chamber C is communicatively coupled to the other end of the sensor pipe 610, the internal pressure of the vacuum chamber C is transmitted through the sensor pipe 610, so that the pressure measuring sensor 600 is the pressure of the vacuum chamber C. When the internal space of the measurement object (M) is in communication communication with the other end of the sensor pipe 610 is transmitted to the pressure for the internal space of the measurement object (M) through the sensor pipe 610 pressure The measurement sensor 600 measures the pressure on the internal space of the object M.

이러한 구조에 따라 본 고안의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치는 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)의 타단에 진공 챔버(C) 또는 피측정물(M)의 내부 공간이 선택적으로 연통 결합될 수 있기 때문에, 진공 리크 테스트 진행 방식을 2가지 방식 중 어느 하나를 선택하여 진행할 수 있다. 즉, 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)의 타단을 진공 챔버(C)에 연통되도록 배치시킨 상태에서 진공 챔버(C)에 피측정물(M)을 배치한 후 진공 챔버(C)에 진공압을 작용시키고 진공 챔버(C)의 진공압 변화 상태를 측정하는 방식으로 피측정물(M)에 대한 리크 발생 여부를 판단하거나 또는 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)의 타단을 피측정물(M)의 내부 공간에 연통되도록 결합시킨 후 피측정물(M)의 내부 공간에 진공압을 작용시키고 피측정물(M)의 내부 공간에 대한 진공압 변화 상태를 측정하는 방식으로 피측정물(M)에 대한 리크 발생 여부를 판단할 수 있다. 따라서, 필요에 따라 더욱 정확하고 안정적인 테스트 수행이 가능하며, 더욱 다양한 피측정물에 대한 리크 발생 여부를 테스트할 수 있다는 점에서 테스트 장치의 적용 범위가 확장된다.
According to this structure, the vacuum leak test apparatus according to the exemplary embodiment of the present invention selectively communicates an internal space of the vacuum chamber C or the object M to the other end of the connection pipe 440 and the sensor pipe 610. Since it can be combined, the vacuum leak test procedure can be selected by one of two methods. That is, the other end of the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 is arranged to communicate with the vacuum chamber (C), and the measurement object (M) is placed in the vacuum chamber (C), and then the vacuum chamber (C) By determining the leakage of the object to be measured (M) by operating the vacuum pressure and measuring the vacuum pressure change state of the vacuum chamber (C) or avoiding the other ends of the connection pipe 440 and the sensor pipe 610. After coupling to communicate with the internal space of the measurement object (M), by applying a vacuum pressure to the internal space of the object to be measured (M) and measuring the change in the vacuum pressure with respect to the internal space of the object (M) It may be determined whether or not a leak occurs with respect to the measurement object M. Therefore, it is possible to perform a more accurate and stable test as needed, and to extend the scope of application of the test apparatus in that it is possible to test whether a leak occurs on a wider variety of objects.

다음으로, 각 구성요소에 대해 좀 더 자세히 살펴보면, 먼저, 진공압 조절 유닛(400)은 전술한 바와 같이 진공압을 생성 및 해제하는데, 테스트 과정에서 진공 챔버(C) 또는 피측정물(M)의 내부 공간에 진공압을 가하기 위해 진공압을 생성 유지하며, 테스트 과정이 완료되면 진공 챔버(C) 또는 피측정물(M)의 내부 공간에 작용하는 진공압을 해제하는 방식으로 작동한다. 이러한 진공압 조절 유닛(400)의 진공압 조절 성능은 테스트 결과의 신뢰성에 중요한 역할을 하므로, 진공압 조절 유닛(400)은 진공압의 크기 및 진공압 유지 시간 등이 정확하게 제어되도록 구성되는 것이 바람직하다.Next, looking at each component in more detail, first, the vacuum pressure control unit 400 generates and releases the vacuum pressure as described above, during the test chamber vacuum chamber (C) or the object under test (M) The vacuum pressure is generated and maintained to apply a vacuum pressure to the internal space of the chamber, and when the test process is completed, the vacuum pressure acting on the internal space of the vacuum chamber C or the object under test M is released. Since the vacuum pressure control performance of the vacuum pressure control unit 400 plays an important role in the reliability of the test results, it is preferable that the vacuum pressure control unit 400 is configured such that the magnitude of the vacuum pressure and the vacuum pressure holding time are accurately controlled. Do.

도 2에는 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)의 타단이 진공 챔버(C)와 연통 결합된 사용 태양이 도시되어 있는바, 이를 중심으로 설명하면, 진공압 조절 유닛(400)은 도 2에 도시된 바와 같이 진공 챔버(C)에 대기압보다 낮은 진공압을 제공하도록 연결 배관(440)의 일단에 연결 결합되는 압축 펌프(410)와, 연결 배관(440) 상에 장착되어 연결 배관(440)을 개폐하는 제 1 개폐 밸브(420)와, 일단이 연결 배관(440)에 연결되고 타단이 외부와 연통되게 개방된 분기 배관(441) 상에 장착되어 분기 배관(441)을 개폐하는 제 2 개폐 밸브(430)를 포함하여 구성된다. 이때, 연결 배관(440) 및 분기 배관(441)과 하우징(200)이 결합되는 부위에는 진공 챔버(C)의 밀봉을 위해 별도의 실링 부재(P)가 삽입 장착되는 것이 바람직하다.FIG. 2 illustrates a usage mode in which the other ends of the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 are connected to the vacuum chamber C. In detail, the vacuum pressure adjusting unit 400 is illustrated in FIG. 2. Compression pump 410 is connected to one end of the connection pipe 440 to provide a vacuum pressure lower than atmospheric pressure to the vacuum chamber (C), as shown in the connection pipe 440 is mounted on the connection pipe 440 The first on-off valve 420 for opening and closing the) and the second end for opening and closing the branch pipe 441 is mounted on the branch pipe 441, one end is connected to the connecting pipe 440, the other end is open in communication with the outside It is configured to include an on-off valve 430. At this time, it is preferable that a separate sealing member P is inserted into and mounted to the connection pipe 440 and the branch pipe 441 and the housing 200 to seal the vacuum chamber C.

또한, 제 1 개폐 밸브(420)와 제 2 개폐 밸브(430)는 좀 더 정확한 동작을 위해 전기적으로 개폐 동작하는 솔레노이드 밸브 형태로 구성되는 것이 바람직한데, 제 1 개폐 밸브(420)는 상시 열림형으로 구성되고 제 2 개폐 밸브(430)는 상시 닫힘형으로 구성된다. 이러한 구성에 따라 제 1 개폐 밸브(420)가 열린 상태이고 제 2 개폐 밸브(430)가 닫힌 상태에서 진공 펌프(410)가 작동하게 되면, 연결 배관(440)을 통해 진공압이 전달되어 진공 챔버(C)에 진공압이 발생하게 되고, 이후 테스트가 완료되면, 진공 펌프(410)의 작동을 정지시키고 제 1 개폐 밸브(420) 및 제 2 개폐 밸브(430)를 열린 상태로 동작시킨다. 이에 따라 진공 챔버(C)는 분기 배관(441)을 통해 외부와 연통되어 외부와 동일한 대기압 상태를 이루게 되며, 아울러 진공 펌프(410) 및 연결 배관(440)의 진공압 또한 분기 배관(441)을 통해 외부와 연통되며 최초 대기압 상태를 이루게 된다. 한편, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)이 피측정물(M)의 내부 공간에 연통 결합된 경우에도 진공압 조절 유닛(400)의 동작 상태는 이상에서 설명한 동작 상태에 따라 작동하며, 다만 이 경우에는 진공 챔버(C) 대신 피측정물(M)의 내부 공간에 진공압이 작용 및 해제된다는 점만 다르므로 상세한 설명은 생략한다.In addition, the first on-off valve 420 and the second on-off valve 430 is preferably configured in the form of a solenoid valve electrically opened and closed for a more accurate operation, the first on-off valve 420 is always open type The second on-off valve 430 is configured as a normally closed type. According to this configuration, when the vacuum pump 410 is operated while the first opening / closing valve 420 is open and the second opening / closing valve 430 is closed, the vacuum pressure is transmitted through the connection pipe 440 to form a vacuum chamber. The vacuum pressure is generated in (C), and after the test is completed, the operation of the vacuum pump 410 is stopped and the first on-off valve 420 and the second on-off valve 430 are operated in an open state. Accordingly, the vacuum chamber C communicates with the outside through the branch pipe 441 to achieve the same atmospheric pressure as the outside, and the vacuum pressure of the vacuum pump 410 and the connection pipe 440 also causes the branch pipe 441. It communicates with the outside and achieves the initial atmospheric pressure. Meanwhile, even when the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 are communicatively coupled to the internal space of the measurement object M, as shown in FIGS. 3 and 4, the operation state of the vacuum pressure control unit 400 is The operation is performed according to the operation state described above. However, in this case, since the vacuum pressure is applied to and released from the internal space of the object M instead of the vacuum chamber C, detailed description thereof will be omitted.

이러한 제 1 개폐 밸브(420) 및 제 2 개폐 밸브(430)의 개폐 동작 및 진공 펌프(410)의 동작은 전기적 신호에 따라 개폐되도록 구성되고, 이를 위해 본 고안의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치는 별도의 제어부(800)를 구비하는 것이 바람직하다. 이러한 제어부(800)는 진공압 조절 유닛(400)의 동작을 제어하는 것뿐만 아니라 도 2 및 도 5에 도시된 바와 같이 후술하는 디스플레이부(700) 및 압력 측정 센서(600) 등과 전기적 신호를 송수신하며 제어하도록 구성된다.The opening / closing operation of the first opening / closing valve 420 and the second opening / closing valve 430 and the operation of the vacuum pump 410 are configured to be opened and closed according to an electrical signal, and for this, a vacuum leak test according to an embodiment of the present invention. The device preferably includes a separate control unit 800. The controller 800 not only controls the operation of the vacuum pressure control unit 400 but also transmits and receives electrical signals such as the display unit 700 and the pressure measuring sensor 600 which will be described later, as shown in FIGS. 2 and 5. And configured to control.

또한, 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)은 전술한 바와 같이 연성 재질로 형성되어 자유로이 이동 가능하게 구성되며, 이에 따라 도 2에 도시된 바와 같이 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)이 진공 챔버(C)와 연통되게 배치될 수도 있고, 도 3에 도시된 바와 같이 진공 챔버(C) 내에서 피측정물(M)의 내부 공간과 연통되게 결합될 수도 있다. 또한, 도 4에 도시된 바와 같이 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)이 진공 챔버(C)의 외부 공간까지 연장되어 진공 챔버(C)의 외부에서 피측정물(M)의 내부 공간과 연통되게 결합될 수도 있으며, 이를 위해 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)의 길이가 상대적으로 길게 형성되는 것이 바람직할 것이다.In addition, the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 is formed of a flexible material as described above is configured to be free to move, according to the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 as shown in FIG. This may be arranged in communication with the vacuum chamber (C), it may be coupled in communication with the internal space of the measurement object (M) in the vacuum chamber (C), as shown in FIG. In addition, as shown in FIG. 4, the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 extend to the outer space of the vacuum chamber C, and the inner space of the measurement object M outside the vacuum chamber C. It may be coupled in communication, for this purpose it will be preferable that the length of the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 is formed relatively long.

이와 같이 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)은 진공 챔버(C) 또는 피측정물(M)의 내부 공간과 연통되게 결합될 수 있는데, 이때 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)이 진공 챔버(C)와 연통되는 경우에는 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)이 하우징(200)과 관통 결합되는 부위에 전술한 바와 같이 별도의 실링 부재(P)가 장착되며 이를 통해 진공 챔버(C)의 밀봉 상태가 유지된다. 그러나 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)이 피측정물(M)의 내부 공간과 연통되는 경우에는 피측정물(M)에 관통홀(미도시)을 형성하고 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)을 관통홀에 삽입하며 관통 결합시키는 방식으로 연통되는데, 이때 피측정물(M)의 내부 공간이 밀봉 상태가 유지되어야 하므로 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)의 타단부에는 피측정물(M)의 내부 공간과 밀봉 결합될 수 있도록 별도의 실링 부재(P)가 결합되는 것이 바람직하다. 이에 따라 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)을 피측정물(M)의 관통홀에 삽입하는 과정만으로 실링 부재(P)에 의해 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)이 피측정물(M)과 밀봉 상태를 유지하며 연통 결합될 수 있다.
In this way, the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 may be coupled to communicate with the internal space of the vacuum chamber (C) or the measurement object (M), wherein the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 is When communicating with the vacuum chamber (C), as described above, a separate sealing member (P) is mounted at a portion where the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 are coupled to the housing 200 through the vacuum chamber. The sealed state of (C) is maintained. However, when the connecting pipe 440 and the sensor pipe 610 communicates with the internal space of the measurement object M, a through hole (not shown) is formed in the measurement object M, and the connection pipe 440 and the sensor The pipe 610 is inserted into the through-hole and communicates with each other through the coupling. In this case, the inner space of the measurement object M must be kept sealed so that the other ends of the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 are connected to each other. It is preferable that a separate sealing member P is coupled to seal the inner space of the measurement object M. Accordingly, the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 are measured by the sealing member P only by inserting the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 into the through hole of the object M. It can be coupled in communication with (M) while maintaining a sealed state.

이러한 구조를 갖는 진공 리크 테스트 장치의 동작 상태를 동작 흐름에 따라 살펴보면, 먼저 도 2에 도시된 바와 같이 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)이 진공 챔버(C)와 연통 결합되는 경우, 하우징 도어(210)를 개방하여 진공 챔버(C) 내부에 피측정물(M)을 인입한 후 하우징 도어(210)를 닫고 결합 볼트(211)를 체결하여 진공 챔버(C)의 밀봉 상태를 유지한다. 이후 진공압 조절 유닛(400)을 작동시켜 진공 챔버(C)에 진공압을 작용시키고 목표 진공압에 도달하면 목표 진공압 상태가 일정 시간 유지되도록 하고, 일정 시간이 지난 후 진공압 조절 유닛(400)을 통해 진공 챔버(C)의 진공압을 해제시킨다. 이때, 진공 챔버(C)의 내부 진공압은 센서 배관(610)을 통해 압력 측정 센서(600)에 전달되며, 이를 통해 진공 챔버(C)의 내부 압력이 측정된다. 이와 같이 측정된 진공 챔버(C)의 내부 압력은 제어부(800)로 인가된 후 디스플레이부(700)로 전송되어 디스플레이부(700)에 실시간으로 출력 표시된다. 이와 같은 사용 태양은 피측정물(M)의 외부에 진공압을 작용하는 것으로, 피측정물(M)의 종류나 형상 크기 등이 진공 챔버(C) 내에 인입되기 적당하고 또한 테스트를 위해 요구되는 진공압의 크기가 진공 챔버(C)의 구조적인 안전상 허용될 수 있는 정도인 경우에 적용될 수 있을 것이다. Referring to the operation state of the vacuum leak test apparatus having such a structure according to the operation flow, first, as shown in FIG. 2, when the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 are in communication with the vacuum chamber (C), the housing The door 210 is opened to introduce the object M into the vacuum chamber C, the housing door 210 is closed, and the coupling bolt 211 is fastened to maintain the sealed state of the vacuum chamber C. . Thereafter, the vacuum pressure control unit 400 is operated to apply a vacuum pressure to the vacuum chamber C, and when the target vacuum pressure is reached, the target vacuum pressure state is maintained for a certain time, and after a predetermined time, the vacuum pressure control unit 400 ) To release the vacuum pressure of the vacuum chamber (C). At this time, the internal vacuum pressure of the vacuum chamber (C) is transmitted to the pressure measuring sensor 600 through the sensor pipe 610, through which the internal pressure of the vacuum chamber (C) is measured. The internal pressure of the vacuum chamber C measured as described above is applied to the control unit 800 and then transmitted to the display unit 700 to be displayed on the display unit 700 in real time. This use mode is to apply a vacuum pressure to the outside of the measurement object (M), and the kind or shape size of the measurement object (M) is suitable to be introduced into the vacuum chamber (C) and is required for testing. The magnitude of the vacuum pressure may be applied when the structural safety of the vacuum chamber C is acceptable.

만약, 테스트를 위해 요구되는 진공압의 크기가 진공 챔버(C)의 구조적인 안전상 허용될 수 없는 정도의 고도 진공압인 경우이거나 또는 피측정물(M)의 특성상 진공 챔버(C)에 인입할 수 없는 경우에는 도 2와 같은 사용 태양은 적용될 수 없다. 이 경우에는 도 3과 같이 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)이 진공 챔버(C) 내에 인입된 피측정물(M)의 내부 공간과 연통되도록 하여 테스트하는 것이 바람직하다. 따라서, 테스트 수행 전 피측정물(M)에 관통홀을 형성하고, 관통홀이 형성된 피측정물(M)을 하우징 도어(210)를 열어 진공 챔버(C) 내에 인입시킨 후 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)의 타단을 피측정물(M)의 관통홀에 삽입함으로써, 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)과 피측정물(M)의 내부 공간이 밀봉 연통 결합되도록 한다. 이후 테스트 수행 과정은 도 2에서 설명한 바와 같이 진공압 조절 유닛(400)을 통해 피측정물(M)의 내부 공간에 진공압을 작용 유지시킨 후 해제하는 과정으로 진행되며, 마찬가지로 압력 측정 센서(600)에 의해 측정된 피측정물(M)의 내부 공간에 대한 압력은 제어부(800)를 통해 디스플레이부(700)에 실시간으로 출력된다. 이때, 테스트 과정에서 진공 챔버(C)의 밀봉 여부는 중요하지 않으므로, 도 3에 도시된 바와 같이 하우징 도어(210)를 개방한 상태로 테스트를 수행할 수도 있고, 필요에 따라서는 하우징 도어(210)를 폐쇄하여 진공 챔버(C)의 밀봉 상태에서 테스트를 수행할 수도 있다. 이와 같은 사용 태양은 피측정물(M)의 내부 공간에 직접 진공압을 작용시키는 것으로, 전술한 바와 같이 피측정물(M)을 진공 챔버(C)에 인입할 수 없거나 또는 진공 챔버(C)의 안전성 등이 문제되는 경우 적용할 수 있으며, 또한, 피측정물(M)의 구조적인 특성상 피측정물의 외부 진공압보다 내부 진공압을 이용해서 리크 발생 여부를 테스트해야 하는 경우 등에 적용할 수 있을 것이다.If the magnitude of the vacuum pressure required for the test is an unacceptably high degree of vacuum pressure due to the structural safety of the vacuum chamber C or the characteristic of the measurement object M may be introduced into the vacuum chamber C. If not, the use mode as shown in FIG. 2 cannot be applied. In this case, as shown in FIG. 3, the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 are preferably communicated with the internal space of the measurement object M introduced into the vacuum chamber C. Therefore, before the test is performed, through-holes are formed in the object to be measured M, the measurement object M having the through-holes is opened and introduced into the vacuum chamber C by opening the housing door 210, and then the connection pipe 440. And inserting the other end of the sensor pipe 610 into the through hole of the object to be measured M so that the connection pipe 440 and the internal space of the sensor pipe 610 and the object M are connected in sealed communication. Thereafter, the process of performing the test proceeds to the process of releasing and maintaining the vacuum pressure in the internal space of the measurement object M through the vacuum pressure control unit 400 as described in FIG. 2. The pressure on the internal space of the measured object M measured by) is output to the display unit 700 in real time through the control unit 800. At this time, whether the vacuum chamber (C) is sealed during the test process is not important, and as shown in FIG. 3, the test may be performed while the housing door 210 is opened, and, if necessary, the housing door 210. ) May be performed in a sealed state of the vacuum chamber (C). This mode of use applies a vacuum pressure directly to the interior space of the object M, and as described above, the object M cannot be introduced into the vacuum chamber C or the vacuum chamber C May be applied when the safety of the device is a problem, and also when the leak is to be tested by using an internal vacuum pressure rather than an external vacuum pressure due to the structural characteristics of the object under test (M). will be.

이에 더불어 피측정물(M)의 크기가 커서 피측정물(M)이 진공 챔버(C)에 인입될 수 없거나 진공 챔버(C)의 구조적인 안전이 문제되는 경우에는 도 4에 도시된 바와 같이 피측정물(M)을 진공 챔버(C)의 외부에 배치하고 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)을 연장하여 피측정물(M)의 내부 공간과 연통되도록 결합하는 방식으로 테스트가 수행될 수 있다. 이후 테스트 과정은 도 3에서 설명한 바와 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.In addition, when the size of the measured object M is large and the measured object M cannot be drawn into the vacuum chamber C or structural safety of the vacuum chamber C is a problem, as shown in FIG. 4. The test is performed by arranging the object to be measured outside the vacuum chamber C and extending the connecting pipe 440 and the sensor pipe 610 so as to communicate with the internal space of the object M. Can be. Since the test process is the same as described in FIG. 3, a detailed description thereof will be omitted.

이와 같이 본 고안의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치는 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)을 진공 챔버(C) 또는 피측정물(M)의 내부 공간에 선택적으로 연통 결합시킬 수 있기 때문에, 더욱 다양한 피측정물(M)에 대한 진공 리크 테스트가 가능하다.As such, the vacuum leak test apparatus according to the exemplary embodiment may selectively connect the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 to the internal space of the vacuum chamber C or the object M. As a result, a vacuum leak test for a more diverse measurement object M is possible.

한편, 이러한 각 구성요소의 동작 상태는 도 6에 도시되는데, 테스트 과정을 진공 챔버(C) 또는 피측정물(M)의 내부 공간에 대한 압력 변화 구간으로 구분하면, 도 6에 도시된 바와 같이 최초 진공압이 가해지며 압력이 감소하는 진공압 발생 구간과, 진공 챔버(C) 또는 피측정물(M)의 내부 공간에 대한 압력이 설정 진공압에 도달하면 그 상태로 일정 시간 유지하는 진공압 유지 구간과, 일정 시간이 지나면 진공압을 해제하는 진공압 해제 구간으로 구분할 수 있다. 압력 측정 센서(600)는 테스트 과정의 전 구간에서 on 상태가 유지되도록 작동하고, 진공 펌프(410)는 전술한 바와 같이 테스트 시작과 함께 진공압 발생 구간에서만 on 상태가 되도록 작동한다. 또한, 제 1 개폐 밸브(420)는 상시 열림형으로 진공압 유지 구간에서만 close 상태가 되도록 작동하며, 제 2 개폐 밸브(430)는 상시 닫힘형으로 진공압 해제 구간에서만 open 상태가 되도록 작동한다. 이러한 동작을 통해 전술한 테스트 과정이 수행 완료된다.Meanwhile, an operating state of each of these components is shown in FIG. 6. When the test process is divided into pressure change sections with respect to the internal space of the vacuum chamber C or the object M, as shown in FIG. 6. Vacuum pressure generation section in which the initial vacuum pressure is applied and the pressure decreases, and the pressure in the vacuum chamber (C) or the internal space of the object to be measured (M) maintains for a predetermined time as it reaches the set vacuum pressure. It can be divided into a maintenance section and a vacuum release section for releasing the vacuum pressure after a predetermined time. The pressure measuring sensor 600 operates to maintain the on state in all sections of the test procedure, and the vacuum pump 410 operates to be turned on only in the vacuum generating section at the beginning of the test as described above. In addition, the first on-off valve 420 is normally open to operate in a close state only in the vacuum pressure maintaining section, and the second on / off valve 430 is normally closed to operate in an open state only in the vacuum pressure release section. Through this operation, the aforementioned test process is completed.

도 7은 이러한 테스트 과정을 통해 압력 측정 센서(600)에 의해 측정되는 진공압 선도(L)를 예시적으로 도시한 그래프로서, 테스트가 정상적으로 진행되고 피측정물(M)에 리크가 발생되지 않는다면, 진공압 발생 구간에서 압력은 계속 감소하고(A-B), 진공압 유지 구간에서는 설정 진공압으로 일정하게 유지되며(B-C), 진공압 해제 구간에서는 압력이 급격히 증가하며 최초 상태인 대기압 상태로 복귀되는 과정을 거치게 된다(C-D). 이때, 테스트 장치의 사용 태양에 따라 A-B-F-D 선도 또는 A-E-G-D 선도 등의 과정을 나타낼 수도 있다. 예를 들어, 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)이 진공 챔버(C)와 연통되게 결합된 상태에서 테스트 과정 중 피측정물(M)에 리크가 발생한 경우라면, 진공압 발생 구간에서 압력 변화는 동일하게 나타나고 이후 진공압 유지 구간에서 피측정물(M)의 리크 발생에 의해 압력이 증가하여 진공압이 일정하게 유지되지 못하고 B-F 선도를 따라 진공압이 증가하는 형태로 나타날 수 있다(A-B-F-D). 한편, 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)이 피측정물(M)의 내부 공간에 연통 결합된 상태에서 피측정물(M)에 리크가 발생한 경우라면, 진공압 발생 구간에서 피측정물(M)의 리크 발생에 의해 설정 진공압에 도달하는 시간이 길어지게 되어 A-E 선도를 따라 압력 변화가 나타나고, 이후 진공압 유지 구간에서도 계속되는 리크 발생에 의해 진공압이 일정 정도 증가하여 E-G 선도를 따라 압력 변화가 나타날 수 있다(A-E-G-D). 이는 예시적인 상황을 도시한 것으로 리크의 정도나 리크 발생 시점 등에 따라 다양한 형태의 진공압 선도가 나타날 수 있다.FIG. 7 is a graph illustrating an example of the vacuum pressure line L measured by the pressure measuring sensor 600 through such a test process. If the test proceeds normally and no leakage occurs in the measured object M, FIG. In the vacuum pressure generating section, the pressure continues to decrease (AB), and in the vacuum maintaining section, the pressure is kept constant at the set vacuum pressure (BC), and in the vacuum pressure release section, the pressure increases rapidly and returns to the initial state of atmospheric pressure. Go through the process (CD). At this time, a process such as an A-B-F-D diagram or an A-E-G-D diagram may be indicated according to the use aspect of the test apparatus. For example, if the leakage occurs in the measurement object M during the test process while the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 are coupled to communicate with the vacuum chamber (C), the pressure in the vacuum pressure generating section The change appears to be the same, and since the pressure increases due to the leakage of the measured object M in the vacuum pressure maintaining section, the vacuum pressure cannot be kept constant and the vacuum pressure increases along the BF diagram (ABFD). ). On the other hand, if the leakage occurs in the measurement object M in a state in which the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 is in communication with the internal space of the measurement object M, the measurement object in the vacuum pressure generation section Due to the leakage of (M), the time to reach the set vacuum pressure becomes longer, so that the pressure change appears along the AE diagram, and the vacuum pressure increases to a certain degree due to the leakage occurring continuously in the vacuum pressure maintaining section. Pressure changes may appear (AEGD). This illustrates an exemplary situation, and various types of vacuum diagrams may appear depending on the degree of leakage or the time of leakage.

따라서, 정상적인 진공압 선도(A-B-C-D)가 나타나지 않는 한, 피측정물(M)은 진공압 테스트 과정에서 진공압에 견디지 못하고 리크가 발생한 것이거나 또는 제작 당시부터 미세한 크랙 등에 의해 리크가 발생한 상태일 수 있으므로, 이러한 측정 결과에 따라 피측정물(M)에 대한 리크 발생 여부를 판단하여 피측정물(M)의 안전성에 대한 양불을 판단할 수 있다.
Therefore, unless the normal vacuum curve (ABCD) is shown, the measured object (M) may be leaked due to failure in vacuum test, or leak may be caused by a minute crack or the like at the time of manufacture. Therefore, according to the measurement result, it is possible to determine whether the leakage of the object to be measured (M) is determined whether or not the safety of the object to be measured (M).

이상의 설명은 본 고안의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 고안의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 고안에 개시된 실시예들은 본 고안의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 고안의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 고안의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 고안의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and those skilled in the art to which the present invention belongs may make various modifications and changes without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention, but to explain, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas falling within the scope of the present invention should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

100: 본체 케이스 200: 하우징
210: 하우징 도어 400: 진공압 조절 유닛
410: 진공 펌프 420: 제 1 개폐 밸브
430: 제 2 개폐 밸브 440: 연결 배관
600: 압력 측정 센서 610: 센서 배관
700: 디스플레이부 800: 제어부100: main body case 200: housing
210: housing door 400: vacuum pressure control unit
410: vacuum pump 420: first opening and closing valve
430: second on-off valve 440: connection piping
600: pressure measuring sensor 610: sensor piping
700: display unit 800: control unit

Claims (5)

피측정물에 진공압을 작용시키며 진공압 변화 상태를 측정하여 피측정물에 대한 리크 발생 여부를 테스트하는 진공 리크 테스트 장치에 있어서,
내부에 수용 공간이 형성되는 본체 케이스;
상기 본체 케이스 내부에 배치되며, 피측정물이 인입될 수 있도록 밀봉 가능한 진공 챔버가 형성되고 상기 진공 챔버를 개폐할 수 있도록 하우징 도어가 장착되는 하우징;
일부 구간이 상기 진공 챔버 내에 위치하도록 상기 하우징에 관통 결합되는 연결 배관 및 센서 배관;
상기 연결 배관의 일단에 결합되며 진공압을 생성 및 해제하는 진공압 조절 유닛; 및
상기 센서 배관의 일단에 결합되어 센서 배관을 통해 전달되는 압력을 측정하는 압력 측정 센서
를 포함하고, 상기 연결 배관 및 센서 배관의 타단은 상기 진공 챔버 또는 피측정물의 내부 공간과 선택적으로 연통 결합될 수 있도록 구성되어 상기 진공 챔버 또는 피측정물의 내부 공간에 선택적으로 진공압을 작용시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 진공 리크 테스트 장치.
In the vacuum leak test apparatus for applying a vacuum pressure to the object to be measured and measuring the state of the vacuum pressure change to test whether leakage to the object to be measured,
A main body case having an accommodation space formed therein;
A housing disposed inside the main body case, the housing having a sealable vacuum chamber formed therein to allow the measurement object to be drawn in and a housing door mounted to open and close the vacuum chamber;
A connection pipe and a sensor pipe connected to the housing so that a portion of the section is located in the vacuum chamber;
A vacuum pressure adjusting unit coupled to one end of the connection pipe to generate and release a vacuum pressure; And
Pressure measuring sensor coupled to one end of the sensor pipe to measure the pressure transmitted through the sensor pipe
And the other ends of the connection pipe and the sensor pipe are configured to be selectively communicatively coupled with the internal space of the vacuum chamber or the object under test to selectively apply a vacuum pressure to the internal space of the vacuum chamber or the object under test. Vacuum leak test apparatus, characterized in that.
제 1 항에 있어서,
상기 연결 배관 및 센서 배관은 연성 재질로 형성되어 타단부가 필요에 따라 상기 진공 챔버의 외부 공간까지 연장되어 피측정물의 내부 공간에 연통 결합될 수 있도록 배치되는 것을 특징으로 하는 진공 리크 테스트 장치.
The method of claim 1,
The connection pipe and the sensor pipe is formed of a flexible material, the other end is a vacuum leak test device, characterized in that arranged to be in communication with the inner space of the object to be extended to the outer space of the vacuum chamber, if necessary.
제 2 항에 있어서,
상기 연결 배관 및 센서 배관의 타단부에는 피측정물의 내부 공간과 밀봉 결합될 수 있도록 별도의 실링 부재가 결합되는 것을 특징으로 하는 진공 리크 테스트 장치.
The method of claim 2,
And a separate sealing member is coupled to the other end of the connection pipe and the sensor pipe so as to be sealingly coupled to the internal space of the object under test.
삭제delete 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 진공압 조절 유닛은
상기 진공 챔버 또는 피측정물의 내부 공간에 진공압을 제공하도록 상기 연결 배관의 일단에 연결 결합되는 진공 펌프;
상기 연결 배관 상에 장착되어 상기 연결 배관을 개폐하는 제 1 개폐 밸브; 및
일단이 상기 연결 배관에 연결되고 타단이 외부와 연통되게 개방된 분기 배관 상에 장착되어 상기 분기 배관을 개폐하는 제 2 개폐 밸브
를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 리크 테스트 장치.

The method according to any one of claims 1 to 3,
The vacuum pressure control unit
A vacuum pump connected to one end of the connection pipe to provide a vacuum pressure to the vacuum chamber or the inner space of the object to be measured;
A first on-off valve mounted on the connection pipe to open and close the connection pipe; And
A second on-off valve, one end of which is connected to the connecting pipe and the other end of which is mounted on the branch pipe open to communicate with the outside, opens and closes the branch pipe.
Vacuum leak test apparatus comprising a.

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