KR200439208Y1 - Spring Load type Sheath Thermocouple for Vacuum - Google Patents

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KR200439208Y1
KR200439208Y1 KR2020060028429U KR20060028429U KR200439208Y1 KR 200439208 Y1 KR200439208 Y1 KR 200439208Y1 KR 2020060028429 U KR2020060028429 U KR 2020060028429U KR 20060028429 U KR20060028429 U KR 20060028429U KR 200439208 Y1 KR200439208 Y1 KR 200439208Y1
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vacuum
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김무중
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주식회사 온도기술센테크
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Abstract

본 고안은 진공챔버의 온도을 측정하는 경우에 있어서 진공챔버의 진공이 누설되지 않도록 기밀을 유지함과 동시에, 시즈 열전대에 탄성력을 작용하여 측온 대상에 밀착된 상태에서 측온하도록 함으로써 측정온도의 정확도를 향상시킬 수 있도록 하기에 적당하도록 한 스프링로드 타입 진공용 시즈 열전대 기기에 관한 것이다.

본 고안에 의하면, 상기 진공챔버(v)의 결합공(v1)에 결합하며 내부에 제1통공(110a)이 형성되어 있는 머리부(110)와, 상기 머리부(110)에서 연장 형성되되 상기 제1통공(110a)과 연통되며 상기 제1통공(110a)보다 큰 직경을 가지며 단턱(112b)이 형성되어 있는 중공부(112a)가 내부에 형성되어 있는 몸통부(112)와, 상기 몸통부(112)에서 연장 형성되되 상기 중공부(112a)와 연통되며 상기 중공부(112a)보다 작은 직경을 가지는 제2통공(114a)이 내부에 형성되어 있는 꼬리부(114)와, 상기 머리부(110)와 몸통부(112)의 경계에 형성된 플랜지부(116)로 구성되는 하우징(100), 상기 머리부(110)와 꼬리부(116)로부터 각각 노출되도록 상기 제1통공(110a)과 중공부(112a)와 제2통공(114a)에 삽입되되, 상기 진공챔버(v) 내의 측온대상의 타입에 따라서 탄성력에 의해서 유동할 수 있도록 상기 중공부(112a)에 코일 형상의 탄성부(200b)를 구비하며, 상기 진공챔버(v) 내의 온도를 감지하여 전류로서 출력하는 시즈 열전대(200), 및 상기 하우징(100)의 꼬리부(116)의 단부에서 연장 형성되고 상기 시즈 열전대(200)가 내삽되며, 진공챔버의 진공도를 유지하기 위하여 상기 시즈 열전대(200)와 용접에 의해서 접합되어 있는 슬리브(120)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 상기와 같은 구성에 의하면, 진공도를 완벽하게 유지할 수 있음과 동시에 측온 대상에 밀착하여 온도를 측정할 수 있는 이점이 있다.

Figure R2020060028429

시즈 열전대, 측온, 온도센서, 진공, 스프링로드타입

The present invention improves the accuracy of the measurement temperature by maintaining the airtightness so that the vacuum of the vacuum chamber does not leak when measuring the temperature of the vacuum chamber, and by applying an elastic force to the sheath thermocouple to measure the temperature in a state in close contact with the temperature measurement object. A spring loaded vacuum sheath thermocouple device adapted to be suitable for use.

According to the present invention, the head 110 is coupled to the coupling hole v1 of the vacuum chamber v and the first through hole 110a is formed therein, and is formed to extend from the head 110. The trunk portion 112 is in communication with the first through hole (110a) and has a larger diameter than the first through hole (110a) and the hollow portion (112a) is formed therein and the stepped portion (112b), and the body portion A tail portion 114 extending from the 112 and communicating with the hollow portion 112a and having a diameter smaller than the hollow portion 112a having a diameter 114 formed therein, and the head portion ( The housing 100 is composed of a flange portion 116 formed at the boundary between the 110 and the body portion 112, the first through-hole (110a) and the hollow so as to be exposed from the head portion 110 and the tail portion 116, respectively The hollow is inserted into the portion 112a and the second through-hole 114a, so that the hollow can flow by elastic force according to the type of temperature measurement object in the vacuum chamber v. A coil-shaped elastic portion 200b is provided at 112a, and detects the temperature in the vacuum chamber v and outputs the current as a current, and the tail portion 116 of the housing 100. It is formed extending from the end and the sheath thermocouple 200 is interpolated, it characterized in that it comprises a sleeve 120 which is joined by welding with the sheath thermocouple 200 to maintain the vacuum degree of the vacuum chamber. According to the configuration as described above, there is an advantage that can maintain the degree of vacuum perfectly and at the same time close to the temperature measurement object to measure the temperature.

Figure R2020060028429

Sheath Thermocouple, Temperature, Temperature Sensor, Vacuum, Spring Loaded Type

Description

스프링로드 타입 진공용 시즈 열전대 기기{Spring Load type Sheath Thermocouple for Vacuum}Spring Load Type Sheath Thermocouple for Vacuum

도 1은, 본 고안의 일 실시예에 의한 스프링로드 타입 진공용 시즈 열전대 기기의 사시도이다.1 is a perspective view of a spring-load type vacuum sheath thermocouple device according to an embodiment of the present invention.

도 2는, 도 1의 분해 사시도이다.2 is an exploded perspective view of FIG. 1.

도 3은, 도 1의 단면도 및 요부 확대도이다.3 is a cross-sectional view of FIG. 1 and an enlarged view of main parts.

도 4a 및 도 4b는, 본 고안의 일 실시예에 의한 스프링로드 타입 진공용 시즈 열전대 기기의 동작도이다.4A and 4B are operation diagrams of the spring-load type vacuum sheath thermocouple device according to an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *     Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100 ; 하우징 110 ; 머리부100; Housing 110; Head

110a ; 제1통공 112 ; 몸통부110a; First opening 112; Torso

112a ; 중공부 114 ; 꼬리부112a; Hollow part 114; Tail

114a ; 제2통공 116 ; 플랜지부114a; Second through hole 116; Flange

120 ; 슬리브 122 ; 보호스프링120; Sleeve 122; Spring protection

130 ; 보호관 132 ; 멈춤링130; Sheath 132; Detent ring

140 ; 탄성스프링 200b ; 탄성부140; Elastic spring 200b; Elastic part

200 ; 시즈 열전대 200a ; 단부200; Sheath thermocouple 200a; End

v ; 진공챔버 v1 ; 결합공v; Vacuum chamber v1; Joiner

본 고안은 시즈 열전대에 관한 것으로, 특히 진공챔버의 온도을 측정하는 경우에 있어서 진공챔버의 진공이 누설되지 않도록 기밀을 유지함과 동시에, 시즈 열전대에 탄성력을 작용하여 측온 대상에 밀착된 상태에서 측온하도록 함으로써 측정온도의 정확도를 향상시킬 수 있도록 하기에 적당하도록 한 스프링로드 타입 진공용 시즈 열전대 기기에 관한 것이다.The present invention relates to a siege thermocouple, in particular, in the case of measuring the temperature of the vacuum chamber, by maintaining the airtight so as not to leak the vacuum of the vacuum chamber, by applying an elastic force to the sheath thermocouple to measure the temperature in a state in close contact with the temperature measurement object The present invention relates to a spring-loaded vacuum sheath thermocouple device adapted to be able to improve the accuracy of the measurement temperature.

일반적으로 시즈 열전대(sheath thermocouple)는 온도를 감지하는 것로서 제백효과(seebeck effect)에 의해서 발생하는 기전력(EMF)을 이용하여 전기신호 방식으로 측온 지점의 온도를 검출하는 소자이다.In general, a sheath thermocouple is a device that senses temperature and detects the temperature at a temperature measurement point by an electric signal method using electromotive force (EMF) generated by the Seebeck effect.

그리고, 현재 알려진 시즈 열전대 중에서 예컨대 반도체 제조 공정에서 사용되는 진공챔버 등의 온도를 측정하기 위한 시즈 열전대가 널리 알려져 있다.Among the known sheath thermocouples, sheath thermocouples for measuring the temperature of, for example, a vacuum chamber used in a semiconductor manufacturing process, are widely known.

그러나, 상기와 같은 종래 기술에 의한 진공챔버 온도 측정을 위한 시즈 열전대의 경우에 있어서, 측온 대상에 따라서 각각 다른 시즈 열전대를 사용하여야 하는 문제점이 있었다.However, in the case of the sheath thermocouple for vacuum chamber temperature measurement according to the prior art as described above, there is a problem that different sheath thermocouples should be used depending on the temperature measurement object.

즉, 측온 대상에 따라서 유동적으로 움직여서 측온 대상에 밀착되어서 온도를 측정하는 시즈 열전대가 개발되지 않았기 때문에, 진공챔버 내에 있는 측온 대상의 거리가 달라지는 경우에는 정밀한 온도 측정을 할 수 없다는 문제점이 있었 다.That is, since the siege thermocouple for measuring the temperature by moving fluidly in accordance with the temperature measurement object to be in close contact with the temperature measurement object has not been developed, there is a problem that precise temperature measurement cannot be performed when the distance of the temperature measurement object in the vacuum chamber is changed.

본 고안은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로 본 고안에 의한 스프링로드 타입 진공용 시즈 열전대 기기의 목적은, 진공챔버의 온도를 측정하는 경우 진공챔버의 진공 상태가 누설됨이 없이 진공도를 완벽하게 유지할 수 있도록 하기에 적당하도록 한 진공용 시즈 열전대 기기를 제공하는 데 있다.The present invention was created to solve the problems of the prior art as described above, and the object of the spring-loaded vacuum sheath thermocouple device according to the present invention is that the vacuum state of the vacuum chamber is leaked when the temperature of the vacuum chamber is measured. It is to provide a vacuum sheath thermocouple device suitable for maintaining the degree of vacuum completely without.

본 고안의 다른 목적은, 측온 대상의 종류에 따라서 일일이 시즈 전열대를 교체하여 측정할 필요가 없이도 하나의 시즈 전열대로서 측온 대상에 밀착하여 온도를 정확하게 측정할 수 있도록 하기에 적당하도록 한 진공용 시즈 열전대 기기를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to use a vacuum so that the temperature can be measured precisely in close contact with the temperature measuring object as a single sheath heating table without having to replace and measure the siege heating table according to the type of the temperature measuring object. To provide a Siege thermocouple device.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안인 스프링로드 타입 진공용 시즈 열전대 기기는, 진공챔버 내의 온도를 측정하기 위한 진공용 시즈 전열대에 있어서, 상기 진공챔버의 결합공에 결합하며 내부에 제1통공이 형성되어 있는 머리부와, 상기 머리부에서 연장 형성되되 상기 제1통공과 연통되며 상기 제1통공보다 큰 직경을 가지며 단턱이 형성되어 있는 중공부가 내부에 형성되어 있는 몸통부와, 상기 몸통부에서 연장 형성되되 상기 중공부와 연통되며 상기 중공부보다 작은 직경을 가지는 제2통공이 내부에 형성되어 있는 꼬리부와, 상기 머리부와 몸통부의 경계에 형성된 플랜지부로 구성되는 하우징, 상기 머리부와 꼬리부로부터 각각 노출 되도록 상기 제1통공과 중공부와 제2통공에 삽입되되, 상기 진공챔버 내의 측온대상의 타입에 따라서 탄성력에 의해서 유동할 수 있도록 상기 중공부에 코일 형상의 탄성부를 구비하며, 상기 진공챔버 내의 온도를 감지하여 전류로서 출력하는 시즈 열전대, 및 상기 하우징의 꼬리부의 단부에서 연장 형성되고 상기 시즈 열전대가 내삽되며, 진공챔버의 진공도를 유지하기 위하여 상기 시즈 열전대와 용접에 의해서 접합되어 있는 슬리브를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.Spring loaded type vacuum sheath thermocouple device according to the present invention for achieving the above object, in the vacuum sheath thermocouple for measuring the temperature in the vacuum chamber, is coupled to the coupling hole of the vacuum chamber and the first inside A head having a through hole formed therein, a body extending from the head and communicating with the first through hole and having a larger diameter than the first through hole, and having a stepped portion formed therein; A housing extending from a portion and communicating with the hollow portion and having a tail portion formed therein with a second through hole having a diameter smaller than the hollow portion, and a flange portion formed at a boundary between the head portion and the body portion, the head Inserted into the first through the hollow portion and the second through hole so as to be respectively exposed from the portion and the tail portion, and burned according to the type of the temperature measurement object in the vacuum chamber A sheath thermocouple having a coil-shaped elastic portion to flow by the sexual force, and detects the temperature in the vacuum chamber and outputs it as a current, and extends at the end of the tail portion of the housing, the sheath thermocouple is interpolated. And a sleeve joined to the sheath thermocouple by welding in order to maintain the vacuum degree of the vacuum chamber.

본 고안에 의한 스프링 로드 타입 진공용 시스 열전대 기기는, 상기 시즈 전열대가 내삽되며 상기 탄성부가 상기 제1통공으로 진입하는 것을 차단하기 위해 상기 시즈 열전대와 용접에 의해서 접합되어 있는 멈춤링이 더 포함되어 구성되는 것을 특징으로 한다.The spring-load type vacuum sheath thermocouple device according to the present invention further includes a stop ring joined to the sheath thermocouple by welding in order to prevent the sheath heating rod from being inserted and the elastic portion from entering the first through hole. It is characterized in that the configuration.

본 고안에 의한 스프링 로드 타입 진공용 시스 열전대 기기는, 상기 탄성부를 내삽하며 상기 중공부에 재치되어서 상기 멈춤링에 탄성력을 작용하는 탄성부재가 더 포함되어 구성되는 것을 특징으로 한다.The spring-load type vacuum sheath thermocouple device according to the present invention is characterized in that the elastic member which intersects the elastic portion and is mounted on the hollow portion to apply an elastic force to the stop ring is further configured.

본 고안에 의한 스프링 로드 타입 진공용 시스 열전대 기기는, 상기 탄성부재가 탄성스프링으로 구성되는 것을 특징으로 한다.Spring-load type vacuum sheath thermocouple device according to the present invention is characterized in that the elastic member is composed of an elastic spring.

다음은 본 고안인 스프링로드 타입 진공용 시즈 열전대 기기의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 기초로 상세하게 설명한다.The following will be described in detail with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the spring-load type vacuum sheath thermocouple device of the present invention.

본 고안에 의한 스프링로드 타입 진공용 시즈 열전대 기기는 진공 내부의 온도를 측정하기 시즈 열전대로서, 특히 반도체 제조 공정에서 사용되는 진공챔버 내의 온도를 측정하기 위한 시즈 열전대이다.The spring-load type vacuum sheath thermocouple device according to the present invention is a sheath thermocouple for measuring the temperature inside a vacuum, and particularly a sheath thermocouple for measuring a temperature in a vacuum chamber used in a semiconductor manufacturing process.

도 1에는 본 고안의 일 실시예에 의한 스프링로드 타입 진공용 시즈 열전대 기기의 사시도가 도시되어 있고, 도 2에는 도 1의 분해 사시도가 도시되어 있고, 도 3에는 도 1의 단면도 및 요부확대도가 도시되어 있고, 도 4a 및 도 4b는, 본 고안의 일 실시예에 의한 스프링로드 타입 진공용 시즈 열전대 기기의 동작도가 도시되어 있다.1 is a perspective view of a spring rod type vacuum sheath thermocouple device according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is an exploded perspective view of Figure 1, Figure 3 is a cross-sectional view and main portion enlarged view of FIG. 4A and 4B show an operation diagram of a spring-load type vacuum sheath thermocouple device according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 4b에 도시된 바와 같이, 스프링로드 타입 진공용 시즈 열전대 기기는, 하우징(100)과 시즈 열전대(200)와 슬리브(120)와 멈춤링(132)과 보호관(130)과 탄성스프링(140)과 보호스프링(122)을 포함하여 구성된다.As shown in Figures 1 to 4b, the spring loaded vacuum sheath thermocouple device, the housing 100, the sheath thermocouple 200, the sleeve 120, the stop ring 132, the protective tube 130 and the elastic spring 140 and the protective spring 122 is configured.

상기 하우징(100)은, 진공챔버(v)의 결합공(v1)에 결합하며 내부에 제1통공(110a)이 형성되어 있는 머리부(110)와, 상기 머리부(110)에서 연장 형성되되 상기 제1통공(110a)과 연통되며 상기 제1통공(110a)보다 큰 직경을 가지며 단턱(112b)이 형성되어 있는 중공부(112a)가 내부에 형성되어 있는 몸통부(112)와, 상기 몸통부(112)에서 연장 형성되되 상기 중공부(112a)와 연통되며 상기 중공부(112a)보다 작은 직경을 가지는 제2통공(114a)이 내부에 형성되어 있는 꼬리부(114)와, 상기 머리부(110)와 몸통부(112)의 경계에 형성된 플랜지부(116)로 구성된다.The housing 100 is coupled to the coupling hole (v1) of the vacuum chamber (v) and is formed extending from the head portion 110 and the head portion 110 is formed therein the first through hole (110a) The body portion 112 is in communication with the first through hole (110a) and having a larger diameter than the first through hole (110a) and the hollow portion (112a) is formed therein step 112b, the body A tail portion 114 extending from the portion 112 and communicating with the hollow portion 112a and having a second through-hole 114a having a diameter smaller than the hollow portion 112a is formed therein, and the head portion. It consists of the flange part 116 formed in the boundary of the 110 and the trunk part 112. As shown in FIG.

상기 머리부(110)와 플랜지부(116)와 몸통부(112)는 일체로 형성되며, 상기 꼬리부(114)는 상기 몸통부(112)에 일체로 형성될 수도 있고 용접에 의해서 체결될 수도 있다.The head part 110, the flange part 116, and the body part 112 are integrally formed, and the tail part 114 may be integrally formed with the body part 112 or may be fastened by welding. have.

상기 시즈 열전대(200)는 상기 머리부(110)와 꼬리부(116)로부터 각각 노출 되도록 상기 제1통공(110a)과 중공부(112a)와 제2통공(114a)에 삽입되되, 상기 진공챔버(v) 내의 측온대상의 타입에 따라서 탄성력에 의해서 유동할 수 있도록 상기 중공부(112a)에 코일 형상의 탄성부(200b)를 구비하며, 상기 진공챔버(v) 내의 온도를 감지하여 전류로서 출력한다.The sheath thermocouple 200 is inserted into the first through hole 110a, the hollow portion 112a and the second through hole 114a to be exposed from the head 110 and the tail 116, respectively, the vacuum chamber (v) is provided with a coil-shaped elastic portion (200b) in the hollow portion 112a to flow by the elastic force according to the type of temperature measurement object in (v), and outputs as a current by sensing the temperature in the vacuum chamber (v) do.

그리고, 상기 시즈 열전대(200)는 바람직하게는 외경이 예컨대 1.0mm의 매우 가는(thin) 구성으로 구현함으로써 측정온도의 응답속도(response time)를 빠르게 하고 정확한 온도 측정을 할 수 있게 된다.In addition, the sheath thermocouple 200 is preferably implemented in a very thin configuration having an outer diameter of, for example, 1.0 mm, so that the response time of the measurement temperature can be increased and accurate temperature measurement can be performed.

그리고, 본원고안에 의한 시즈 열전대(200)는 탄성스프링(140)과 탄성부(200b)의 압축과 신장에 의해서 유동하는 유동부(200')와 슬리브(120)에 접합 고정되어서 움직이지 않는 고정부(200'')로 구분된다.In addition, the siege thermocouple 200 according to the present application is fixed to the flow part 200 ′ and the sleeve 120 flowing by the compression and extension of the elastic spring 140 and the elastic part 200b, and thus do not move. Government (200``).

한편, 상기 시즈 열전대(20)의 내부 구성 및 동작 원리는 본원고안의 출원 전에 당업자에 있어서 공지된 기술이므로 이에 대한 상세 설명은 생략한다.On the other hand, since the internal configuration and operation principle of the siege thermocouple 20 is a technique known to those skilled in the art before the application of the present application detailed description thereof will be omitted.

상기 슬리브(120)는 상기 하우징(100)의 꼬리부(116)의 단부에서 연장 형성되고 상기 시즈 열전대(200)를 내삽하며, 진공챔버의 진공도를 유지하기 위하여 상기 시즈 열전대(200)와 용접에 의해서 접합되어 있다.The sleeve 120 extends from an end of the tail 116 of the housing 100 to interpolate the sheath thermocouple 200, and is welded to the sheath thermocouple 200 in order to maintain the vacuum degree of the vacuum chamber. It is joined by.

즉, 상기 시즈 열전대(200)와 슬리브(120)는 예컨대, 은납용접에 의해서 용접 접합되므로 기밀을 유지하게 되어서 진공도를 유지할 수 있게 된다.That is, the sheath thermocouple 200 and the sleeve 120 are welded by, for example, silver soldering, thereby maintaining airtightness and maintaining a degree of vacuum.

상기 멈춤링(132)은 상기 시즈 전열대(200)가 내삽되며 상기 탄성부(200b)가 상기 제1통공(110a)으로 진입하는 것을 차단하기 위해 상기 시즈 열전대(200)와 용접에 의해서 접합되어 있다.The stop ring 132 is joined to the sheath thermocouple 200 by welding in order to block the sheath heating element 200 from interfering with the elastic part 200b from entering the first through hole 110a. have.

상기 보호관(130)은 상기 시즈 열전대(200)의 단부를 보호하기 위하여 상기 시즈 열전대(200)의 단부(200a)에 접하여서 상기 시즈 열전대(200)를 감싸면서 상기 멈춤링(132)에 일체로 접합되어 있다.The protection tube 130 is integrally attached to the stop ring 132 while surrounding the sheath thermocouple 200 in contact with the end 200a of the sheath thermocouple 200 in order to protect the end of the sheath thermocouple 200. It is joined.

즉, 상기 보호관(130)은 상기 시즈 열전대(200)가 탄성스프링(140)과 탄성부(200b)에 의한 탄성 복원력에 의해 구부러지는 것을 방지하는 기능을 수행한다.That is, the protective tube 130 serves to prevent the sheath thermocouple 200 from being bent by the elastic restoring force by the elastic spring 140 and the elastic portion 200b.

그리고, 상기 보호관(130)의 단부는 측온 대상이 평면인 경우 평면으로 구성되는 것이 바람직하다.And, the end of the protective tube 130 is preferably configured as a plane when the temperature measurement object is a plane.

물론 시즈 열전대(200)의 단부(200a)가 보호관(130)에 접해 있으므로, 보호관(200a)이 감지하는 열은 시즈 열전대의 단부(200a)로 전달된다.Of course, since the end 200a of the sheath thermocouple 200 is in contact with the protective tube 130, the heat sensed by the protective tube 200a is transferred to the end 200a of the siege thermocouple.

상기 탄성스프링(140)은 상기 탄성부(200b)를 내삽하며 상기 중공부(112a)에 재치되어서 상기 멈춤링(132)에 탄성력을 작용한다.The elastic spring 140 intersects the elastic portion 200b and is mounted on the hollow portion 112a to exert an elastic force on the stop ring 132.

상기 보호스프링(122)은 상기 슬리브(120)에서 노출되는 시즈 열전대(200)가 꺽이거나 부러지는 것을 막아서 이를 보호하기 위하여 상기 슬리브(120)에 끼움 결합된다.The protective spring 122 is fitted to the sleeve 120 to prevent the sheath thermocouple 200 exposed from the sleeve 120 to be bent or broken to protect it.

다음은 상기와 같은 구성을 가지는 본 고안인 스프링로드 타입 진공용 시즈 열전대 기기의 작용에 대하여 기술한다.The following describes the operation of the spring-load type vacuum sheath thermocouple device of the present invention having the configuration as described above.

도 4a 및 도 4b에는 본 고안의 일 실시예에 의한 스프링로드 타입 진공용 시즈 열전대 기기의 동작도가 도시되어 있다.4A and 4B show an operation diagram of a spring-load type vacuum sheath thermocouple device according to an embodiment of the present invention.

도 4a에 도시된 동작은 측온 대상(T)이 가까이 있는 경우이고, 도 4b에 도시된 동작은 측온 대상(T)이 상대적으로 멀리 있는 경우의 예시이다.The operation shown in FIG. 4A is a case where the temperature measurement target T is close, and the operation shown in FIG. 4B is an example where the measurement temperature target T is relatively far.

먼저, 하우징(100)의 머리부(110)가 진공챔버(v)의 결합공(v1)에 나사 체결되는 경우, 측온 대상에 맞닿은 보호관(130)은 뒤로 밀리게 되고, 이 때 탄성부(200b)는 유동부(200')가 밀리면서 압축되고 멈춤링(132)이 밀리면서 탄성스프링(140)이 압축된다.First, when the head 110 of the housing 100 is screwed into the coupling hole (v1) of the vacuum chamber (v), the protective tube 130 in contact with the temperature measurement object is pushed back, at this time the elastic portion 200b ) Is compressed while the flow part 200 'is pushed and the elastic spring 140 is compressed as the stop ring 132 is pushed.

상기와 같이 탄성스프링(140)과 탄성부(200b)가 압축되면 상기 보호관(130)과 유동부(200')에 탄성력을 작용하여 보호관(130) 따라서 시즈 열전대(200)가 측온 대상에 밀착된다.As described above, when the elastic spring 140 and the elastic part 200b are compressed, an elastic force is applied to the protective tube 130 and the flow part 200 ′ so that the sheath thermocouple 200 is in close contact with the temperature measurement object. .

상기와 같이 보호관(130) 따라서 시즈 열전대(200)가 측온 대상(T)에 완전히 밀착되게 되면 측온 지점의 온도를 더욱 더 정밀하게 측정할 수 있음은 물론이다.As described above, when the sheath thermocouple 200 is completely in close contact with the temperature measuring object T, the temperature of the temperature measuring point may be measured more precisely.

측온 대상(T)에 작용하는 탄성력은 시즈 열전대(200) 자체의 탄성부(200b)만에 의하여도 생성할 수 있으나, 상기 탄성스프링(140)의 부가(2중으로 탄성력을 작용하는 구조)에 의하여 더욱 더 큰 탄성력을 작용할 수 있기 때문에 측온 지점에 더 강하게 밀착될 수 있게 된다.The elastic force acting on the temperature measuring object T may be generated only by the elastic part 200b of the sheath thermocouple 200 itself, but by the addition of the elastic spring 140 (the structure that exerts the elastic force in duplicate). The greater elastic force can be exerted so that it can be more tightly attached to the temperature measuring point.

보호관(130)과 멈춤링(132)과 단부(200a)에서 탄성부(200b)까지의 시즈 열전대는 일체로 유동하고, 단부(200a)에서 탄성부(200b)까지의 시즈 열전대를 제외한 나머지 시즈 열전대는 슬리브(120)에 용접에 의해서 고정되어 있으므로 유동하지 않게 됨은 물론이다The sheath thermocouple from the protective tube 130, the stop ring 132, and the end portion 200a to the elastic portion 200b flows integrally, and the remaining siege thermocouple except for the siege thermocouple from the end portion 200a to the elastic portion 200b. Of course, since the fixed to the sleeve 120 by welding does not flow is of course

그리고, 시즈 열전대(200)가 유동하더라도 시즈 열전대 전체가 유동하는 것이 아니라 유동부(200')만 탄성력에 의하여 전후로 유동할 뿐이고, 고정부(200'')는 슬리브(120)에 용접에 의해서 접합 고정되어 있으므로 전혀 유동하지 않기 때문 에 진공의 기밀을 더욱 더 유지할 수 있게 된다.In addition, even if the siege thermocouple 200 flows, the entire siege thermocouple does not flow, but only the flow portion 200 ′ flows back and forth by elastic force, and the fixing portion 200 ″ is joined to the sleeve 120 by welding. Because it is fixed, it does not flow at all, which makes it possible to maintain the tightness of the vacuum even more.

상기의 본 고안의 실시예는 본 고안의 기술적 사상의 일실시예에 불과하며, 동업계의 통상의 기술자에 있어서는, 본 고안의 기술적인 사상 내에서 다른 변형된 실시가 가능함은 물론이다.The embodiment of the present invention is just one embodiment of the technical idea of the present invention, and in the person skilled in the art, other modified embodiments are possible within the technical idea of the present invention.

상기와 같은 구성과 작용을 가지는 본 고안인 스프링로드 타입 진공용 시즈 열전대 기기는 다음과 같은 효과가 있다.Spring loaded type vacuum sheath thermocouple device of the present invention having the configuration and action as described above has the following effects.

첫째, 시즈열전대 전체가 유동하는 구성이 아니라 탄성부(200b)와 탄성스프링(140)에 의하여 유동하는 유동부(200')와 유동하지 않는 고정부(200'')로 분리하여 구성하고 상기 고정부(200'')가 하우징의 슬리부(120)에 용접에 의하여 접합 고정되는 구성에 의하여 진공이 새지 않고 100% 유지될 수 있는 효과가 있다.First, the whole siege thermocouple is not configured to flow, but separated into a flow part 200 'and a fixed part 200' 'that do not flow by the elastic part 200b and the elastic spring 140, and the high Due to the configuration in which the government 200 ″ is bonded and fixed to the sleeve 120 of the housing by welding, the vacuum can be maintained 100% without leaking.

둘째, 측온 대상의 종류에 따라서 일일이 시즈 전열대를 교체하여 측정할 필요가 없이도 하나의 시즈 전열대로서 측온 대상에 밀착함으로써 더욱 더 정확한 온도를 측정할 수 있는 효과가 있다.Second, there is an effect of measuring the temperature more precisely by being in close contact with the temperature measuring object as one siege heating table without having to replace and measure the siege heating table according to the type of the temperature measuring object.

셋째, 시즈 열전대(200)에 탄성부(200b)를 구성하여 자체의 탄성력을 제공함과 아울러, 별도의 탄성스프링(140)에 의하여 보호관 따라서 시즈 열전대(200)에 탄성력을 제공하기 때문에 측온 대상에 더욱 더 강하게 밀착할 수 있는 효과가 있다.Third, since the elastic portion 200b is provided to the sheath thermocouple 200 to provide its own elastic force, and the elastic tube 140 provides the elastic force to the sheath thermocouple 200 according to the protective tube, so that it is more suitable for the temperature measurement target. There is an effect that can be tighter.

Claims (6)

진공챔버(v) 내의 온도를 측정하기 위한 진공용 시즈 전열대에 있어서:In the vacuum sheath heating rod for measuring the temperature in the vacuum chamber (v): 상기 진공챔버(v)의 결합공(v1)에 결합하며 내부에 제1통공(110a)이 형성되어 있는 머리부(110)와, 상기 머리부(110)에서 연장 형성되되 상기 제1통공(110a)과 연통되며 상기 제1통공(110a)보다 큰 직경을 가지며 단턱(112b)이 형성되어 있는 중공부(112a)가 내부에 형성되어 있는 몸통부(112)와, 상기 몸통부(112)에서 연장 형성되되 상기 중공부(112a)와 연통되며 상기 중공부(112a)보다 작은 직경을 가지는 제2통공(114a)이 내부에 형성되어 있는 꼬리부(114)와, 상기 머리부(110)와 몸통부(112)의 경계에 형성된 플랜지부(116)로 구성되는 하우징(100);A head portion 110 coupled to the coupling hole v1 of the vacuum chamber v and having a first through hole 110a formed therein, and extending from the head 110, wherein the first through hole 110a is formed. And a body portion 112 having a larger diameter than the first through hole 110a and having a hollow portion 112a having a stepped portion 112b formed therein, and extending from the body portion 112. The tail portion 114 is formed therein and communicates with the hollow portion 112a and has a diameter smaller than the hollow portion 112a, the tail portion 114 formed therein, and the head portion 110 and the trunk portion. A housing (100) composed of a flange portion (116) formed at a boundary of (112); 상기 머리부(110)와 꼬리부(116)로부터 각각 노출되도록 상기 제1통공(110a)과 중공부(112a)와 제2통공(114a)에 삽입되되, 상기 진공챔버(v) 내의 측온대상의 타입에 따라서 탄성력에 의해서 유동할 수 있도록 상기 중공부(112a)에 코일 형상의 탄성부(200b)를 구비하며, 상기 진공챔버(v) 내의 온도를 감지하여 전류로서 출력하는 시즈 열전대(200); 및,Inserted into the first through hole (110a) and the hollow portion (112a) and the second through hole (114a) so as to be exposed from the head portion 110 and the tail portion 116, respectively, of the temperature measurement object in the vacuum chamber (v) A sheath thermocouple (200) having a coil-shaped elastic portion (200b) in the hollow portion (112a) so as to flow by elastic force, and sensing the temperature in the vacuum chamber (v) and outputting it as a current; And, 상기 하우징(100)의 꼬리부(116)의 단부에서 연장 형성되고 상기 시즈 열전대(200)가 내삽되며, 진공챔버의 진공도를 유지하기 위하여 상기 시즈 열전대(200)와 용접에 의해서 접합되어 있는 슬리브(120)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 스프링 로드 타입 진공용 시즈 열전대 기기.A sleeve extending from an end of the tail 116 of the housing 100 and interposed between the sheath thermocouple 200 and welded to the sheath thermocouple 200 by welding in order to maintain a vacuum degree of the vacuum chamber ( A spring loaded type vacuum sheath thermocouple device, comprising: a. 청구항 1에 있어서, The method according to claim 1, 상기 시즈 전열대(200)가 내삽되며 상기 탄성부(200b)가 상기 제1통공(110a)으로 진입하는 것을 차단하기 위해 상기 시즈 열전대(200)와 용접에 의해서 접합되어 있는 멈춤링(132)이 더 포함되어 구성되는 것을 특징으로 하는 스프링 로드 타입 진공용 시스 열전대 기기.The stop ring 132, which is joined to the sheath thermocouple 200 by welding to intersect the sheath thermocouple 200 and prevents the elastic portion 200b from entering the first through hole 110a, is provided. Spring loaded type vacuum sheath thermocouple device further comprises. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 시즈 열전대(200)의 단부를 보호하기 위하여 상기 시즈 열전대(200)의 단부(200a)에 접하여서 상기 시즈 열전대(200)를 감싸면서 상기 멈춤링(132)에 일체로 접합되어 있는 보호관(130)이 더 포함되어 구성되는 것을 특징으로 하는 스프링 로드 타입 진공용 시즈 열전대 기기.A protective tube 130 which is integrally bonded to the stop ring 132 while surrounding the sheath thermocouple 200 while being in contact with the end 200a of the sheath thermocouple 200 to protect an end of the sheath thermocouple 200. Spring loaded type vacuum sheath thermocouple device, characterized in that is further included. 청구항 3에 있어서,The method according to claim 3, 상기 탄성부(200b)를 내삽하며 상기 중공부(112a)에 재치되어서 상기 멈춤링(132)에 탄성력을 작용하는 탄성부재가 더 포함되어 구성되는 것을 특징으로 하는 스프링 로드 타입 진공용 시즈 열전대 기기.The spring rod type vacuum sheath thermocouple device, characterized in that the elastic member is inserted into the elastic portion (200b) and mounted on the hollow portion (112a) to apply an elastic force to the stop ring (132). 청구항 4에 있어서,The method according to claim 4, 상기 슬리브(120)에서 노출되는 시즈 열전대(200)를 보호하기 위하여 상기 슬리브(120)에 끼움 결합되는 보호스프링(122)이 더 포함되어 구성되는 것을 특징 으로 하는 스프링 로드 타입 진공용 시즈 열전대 기기.A spring-load type vacuum sheath thermocouple device, characterized in that it further comprises a protective spring (122) fitted to the sleeve 120 to protect the sheath thermocouple (200) exposed from the sleeve (120). 청구항 5에 있어서, 상기 탄성부재는,The method according to claim 5, wherein the elastic member, 탄성스프링(140)인 것을 특징으로 하는 스프링 로드 타입 진공용 시즈 열전대 기기.Spring loaded type vacuum sheath thermocouple device, characterized in that the elastic spring (140).
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