KR200437124Y1 - Ｓｆ６ 가스 순도 측정기를 갖춘 ｓｆ６ 가스 회수 및재사용 공급장치 - Google Patents

Ｓｆ６ 가스 순도 측정기를 갖춘 ｓｆ６ 가스 회수 및재사용 공급장치 Download PDF

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Abstract

본 고안은 전력기기에서 절연매질로 사용하는 SF6 가스(육불화황가스)를 회수하거나 재사용을 위하여 공급하는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 SF6 가스 사용 전력기기의 유지관리, 점검, 증설시 이 제품 내부에서 SF6 가스를 안전하게 순도저하를 방지하면서 회수하여 재사용할 수 있도록 하는 SF6 가스 순도 측정기를 갖춘 SF6 가스 회수 및 재사용 공급장치에 관한 것으로, 이를 위해 전력기기 내에 사용된 절연매체 가스인 SF6 가스를 회수하기 위한 저장탱크(1)와 이 SF6를 저장탱크(1)로 보내는 흡입펌프(2), 회수 및 주입을 하기 위한 압축기(4) 및, 진공과 주입을 위하여 설치된 진공펌프(3)를 갖추어 이루어진 SF6 가스 회수 및 재사용 공급장치에 있어서, 상기 흡입펌프(2)는 단방향 밸브(9a)를 갖추고 압축기(4)와 증발기(5)에 병렬 연결되고, 상기 압축기(4)는 장치 내 잔류가스 회수용 아답터(6)와 필터(7)에 직결되는 솔레노이드 밸브 1(8a)에 병렬 연결되며, 이 솔레노이드 밸브 1(8a)과 필터(7) 사이에는 증발기(5)에 연결되는 단방향 밸브(9b)를 갖춘 바이패스 분지관(10)이 연결되어 있고, 상기 필터(7)는 버틀용 아답터(11)와 솔레노이드 밸브 2(8b) 및 안전체크 밸브(12)에 연결되는 솔레노이드 밸브 3(8c)과 병렬 연결되어 증발기(5)에 솔레노이드 밸브 4(8d)와 연결되는 저장탱크 아답터(13)의 공통관로(14)에 연결되는 한편, 상기 흡입펌프(2)에 연결된 회수 아답터(15)는 수동개폐 밸브(16)를 매개로 솔레노이드 밸브 5(8e)를 갖춘 진공펌프(3)에 연결된 진공용 아답터(17)와 배출용 밸브(18)에 연결된 주입용 아답터(19)에 직결되어 이루어지고 상기 필터(7)와 솔레노이드 밸브 2(8b) 사이에는 SF6 가스 순도 측정센서(25)가 설치되며 이 센서(25)는 본체에 일체로 장착된 SF6 가스 순도 측정기 확인창(2b)에 연결되어 이루어진 구조로 되어 있다.

Description

ＳＦ６ 가스 순도 측정기를 갖춘 ＳＦ６ 가스 회수 및 재사용 공급장치{SF6 gas recycling equipment having SF6 measuring instrument}
도 1은 본 고안이 적용된 SF6 가스 회수 및 재사용 공급장치를 나타낸 전체 구성 회로도,
도 2는 본 고안에서 SF6 가스의 저장을 설명하기 위한 구성 회로도,
도 3(A)는 본 고안에서 대기압까지 공기 배출을 설명하기 위한 구성 회로도,
도 3(B)는 본 고안에서 진공확보를 설명하기 위한 구성 회로도들,
도 4는 본 고안에서 진공확보를 설명하기 위한 구성 회로도,
도 5는 본 고안에서 버틀에 가스를 주입하는 방법을 설명하기 위한 구성 회로도이다.
-도면의 주요부분에 대한 부호의 설명-
1 : 저장탱크, 2 : 흡입펌프,
3 : 진공펌프, 4 : 압축기,
5 : 증발기, 6 : 잔류가스 회수용 아답터,
7 : 필터, 8a,8b,8c,8d,8e : 솔레노이드 밸브,
9a,9b : 단방향 밸브, 10 : 바이패스 분지관,
11 : 버틀(Bottle)용 아답터, 12 : 안전체크 밸브,
13 : 저장탱크 아답터, 14 : 공통관로,
15 : 회수 아답터, 16 : 수동개폐 밸브,
17 : 진공용 아답터, 18 : 배출용 밸브,
19 : 주입용 아답터, 20 : 연결관로,
21 : 감압기, 22a,22b : 압력계,
23a,23b : 압력 표시기, 24 : 가스 보관용 용기,
25 : 센서, 26 : SF6 가스 순도 측정기 확인창.
본 고안은 전력기기에서 절연매질로 사용하는 SF6 가스(육불화황가스)를 회수하거나 재사용을 위하여 공급하는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 SF6 가스 사용 전력기기의 유지관리, 점검, 증설시 이 제품 내부에서 SF6 가스를 안전하게 순도저하를 방지하면서 회수하여 재사용할 수 있도록 하는 SF6 가스 순도 측정기를 갖춘 SF6 가스 회수 및 재사용 공급장치에 관한 것이다.
현재 국내에서 사용되고 있는 전력기기, 예를 들어 개폐기, 차단기 및 개폐장치(이하 "GIS"라 한다)의 대부분과 일부 변압기 등은 SF6 가스를 절연매질로 한 가스절연 방식의 제품이다. 특히 변전소에 설치, 운영되는 GIS의 경우 매우 많은 양의 SF6 가스를 사용하고 있다.
이러한 전력기기에 절연매질로 사용되는 SF6 가스는 주지된 바와 같이 가스의 물리 화학적 성질과 다양한 기체 방전 특성 그리고 전력산업분야에서의 사용기술은 광범위하게 연구되어 왔다. SF6 가스는 정상상태에서 화학적 불활성, 무독성, 난연성, 비폭발성, 그리고 열적 안정성을 가진다. 이 가스의 상대적 불활성 및 무독성에 의한 여타 생물자원에 대해 유해한 효과를 미치지 않는다는 점에서 일반적으로는 환경적으로 안전하고 수용 가능한 물질로 간주되어 왔다. 이 가스는 실온 및 실온보다 상당히 높은 온도에서도 큰 전기부성 효과를 나타내며, 이 전기부성 효과에 의해 높은 절연내력과 우수한 아크차단, 즉 소호효과를 나타낸다. 대기압 조건에서 SF6 가스의 파괴전압은 공기의 약 3배이고, 더욱이 열전도성이 우수하고 또한 방전 및 섬락 시 고기압 조건에서 분해된 후의 자기 회복성도 우수하다.
또한 안정성을 가진 대부분의 분해 부산물은 절연내력 저하에 크게 기여하지 않을 뿐만 아니라 여과법으로 제거 가능하며, 이 SF6 가스는 섬락시에 중합반응을 일으키거나 탄소 또는 도전성 퇴적물을 생성하지 않고, 200℃까지의 온도에서 전기설비에 사용되는 대부분의 고체 절연재료 및 도전재료와 화학적 양립성을 가진다.
이러한 우수한 절연특성 및 열전도성 외에도, 용기에 충진되었을 때 SF6 가스는 실온에서 상대적으로 높은 압력을 가진다. SF6 가스의 액화 압력은 21℃에서 약 2,100kPa이며, 그 비점은 -63.8℃로 상당히 낮아 SF6 가스 절연설비에는 400-600kPa 정도의 압력으로 충진된다. 이 가스는 실온에서 압력에 의해 쉽게 액화되며, 이에 의해 금속제 원통용기 내에 압축저장이 가능하다. 이에 따라 취급과 사용이 용이하다. 그 결과 전기분야 산업체에서는 SF6 가스를 전기설비에 익숙하게 이용하여 왔고 장기간에 걸친 축적된 경험을 갖고 있다.
그러나 SF6 가스는 다음과 같은 몇 가지 나쁜 특성도 있는바, 즉 방전시 고독성 고부식성 화합물이 형성되며 이 화합물로부터 공기나 CH4와 같은 비극성 오염물질, 제거 곤란성 수증기, 도전성 입자 및 도체 표면 거칠기에 대한 파괴 전압의 민감성, 저온 조건에서의 SF6 가스가 부분적으로 액화되는 경우와 같이 주위 환경에 따라 아주 낮은 온도에서 나타나는 비 이상적인 기체 거동 등이 그것이다. 또한 SF6 가스는 적외선 흡수력이 크고, 화학적 불활성 때문에 지구 대기권으로부터 신속하게 제거되지 못한다.
이 마지막 두 가지 성질 때문에 그 화학적 불활성으로 성층권 오존 파괴에 관해 영향이 없음에도 불구하고 SF6 가스는 잠재적 온실가스로 지정되어 있다.
앞에서도 언급했듯이 현재 국내에서 사용되고 있는 개폐기, 차단기 및 개폐장치의 대부분과 일부 변압기 등 대다수의 전력기기는 SF6 가스를 절연매질로 한 가스절연 방식의 제품이다. 특히 변전소에 설치, 운영되는 GIS의 경우 매우 많은 양의 SF6 가스를 사용하고 있다.
그러나 SF6 가스의 경우 일반상태에서는 무색, 무취, 무해하나 화기와 접속하는 순간 유해가스로 변질하는 특성이 있으며, 또한 지구 온난화를 유발하는 대표적 환경 오염물질의 하나로 2005년 2월 발효된 교토 의정서에서도 그 사용을 규제하고 있다. 이로 인하여 전 세계적으로 대체 절연 물질을 개발, 적용하고 있는 추세이나, GIS의 경우 국내는 물론 해외에서도 아직까지는 SF6 가스를 이용한 절연방식을 적용하고 있는 국가가 대부분이다.
170kV GIS의 경우 주기적인 정밀 점검시 GIS 내부에 충진되어 있는 SF6 가스를 전부 빼낸 후 점검을 실시하며, 빼낸 SF6 가스는 수분, 불순물 등의 혼입으로 인한 절연 성능저하를 우려하여 그대로 버린 후 새 가스를 주입하고 있는 실정이다. 이런 현상은 GIS의 증설시는 물론 GIS뿐만 아니라 개폐기 및 차단기 등의 SF6 가스 절연방식의 충전기기 점검 및 제품교체 후 폐기 시 등에서도 동일하게 나타나고 있다. 이렇게 버려지는 가스로 인하여 서두에서도 언급했듯이 환경오염이 가속화되는 것이다.
이런 실정으로 인하여 기술 선진국의 경우 SF6 가스의 재사용이 가능한 회수장치를 개발, 사용하고 있으며, 환경오염 방지를 위하여 신뢰성 있는 SF6 가스 회수장치의 개발이 절실하다 하겠다.
종래에도 SF6 가스를 회수하여 재사용하는 공급장치를 제안되어 사용하고 있으나, 그 동작 방식이 복잡하여 사용에 많은 어려움이 있으며, 더욱이 사용시 오작 동으로 인하여 기기의 순간 정지시 저장탱크와 호스 등에서 발생하는 압력 차이에 의하여 회수하는 SF6 가스와 오일 등이 섞이는 사고 발생 우려가 있고, 또한 연결밸브를 개폐하는 과정에서 외부 공기가 유입되어 SF6 가스의 순도를 저하시키는 문제점이 있으며, 회수 및 저장, 공급되는 SF6 가스의 순도을 정확하게 측정하지 못하였다.
이에 본 고안은 상기와 같은 종래 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 전력기기 내에 절연매체로 사용되는 SF6 가스를 안전하게 회수하거나 재사용할 수 있도록 공급하면서 회수되는 SF6 가스의 순도를 보다 정확하게 측정할 수 있으면서 구조의 단순화로 저렴한 가격으로 제조할 수 있는 SF6 가스 순도 측정기를 갖춘 SF6 가스 회수 및 재사용 공급장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안은 전력기기 내에 사용된 절연매체 가스인 SF6 가스를 회수하기 위한 저장탱크와, 이 저장탱크 내로 회수된 SF6를 저장탱크로 보내는 흡입펌프 및, 진공과 주입을 위하여 설치된 진공펌프를 갖추어 이루어진 SF6 가스 회수 및 재사용 공급장치에 있어서, 상기 흡입펌프는 압축기와 증발기에 병렬 연결되고, 상기 압축기는 장치 내 잔류가스 회수용 아답터와 필터에 직결되는 솔레노이드 밸브 1에 병렬 연결되며, 이 솔레노이드 밸브 1과 필터 사이에는 증발기에 연결되는 단방향 밸브를 갖춘 바이패스 분지관이 연결되어 있고, 상 기 필터는 버틀용 아답터와 솔레노이드 밸브 2 및 안전 체크밸브에 연결된 솔레노이드 밸브 3과 병렬 연결되어 증발기의 솔레노이드 밸브 4와 연결되는 저장탱크 아답터의 공통관로에 연결되어 있는 한편, 흡입펌프에 연결된 회수 아답터는 수동 개폐밸브를 매개로 솔레노이드 밸브 5를 갖춘 진공펌프에 연결된 진공 아답터와 배출용 밸브에 연결된 주입용 아답터에 직결되어 이루어고 상기 필터와 솔레노이드 밸브 2 사이에는 SF6 가스 순도 측정센서가 설치되며, 이 센서는 본체에 일체로 장착된 SF6 가스 순도 측정기 확인창에 연결되어 있다.
이하, 본 고안을 첨부된 예시도면에 의거 상세히 설명한다.
도 1은 본 고안에 적용된 SF6 가스 회수 및 재사용 공급장치 전체 구성을 나타낸 구성 회로도이다.
본 고안은 전력기기 내에 사용된 절연매체 가스인 SF6 가스를 회수하기 위한 저장탱크(1)와 이 SF6를 저장탱크(1)로 보내는 흡입펌프(2) 및, 진공과 주입을 위하여 설치된 진공펌프(3)를 갖추고 , 상기 흡입펌프(2)는 단방향 밸브(9a)를 갖추고 압축기(4)와 증발기(5)에 병렬 연결되고, 상기 압축기(4)는 장치 내 잔류가스 회수용 아답터(6)와 필터(7)에 직결되는 솔레노이드 밸브 1(8a)에 병렬 연결되며, 이 솔레노이드 밸브 1(8a)과 필터(7) 사이에는 증발기(5)에 연결되는 단방향 밸브(9b)를 갖춘 바이패스 분지관(10)이 연결되어 있고, 상기 필터(7)는 버틀용 아답터(11) 와 솔레노이드 밸브 2(8b) 및 안전체크 밸브(12)에 연결되는 솔레노이드 밸브 3(8c)과 병렬 연결되어 증발기(12)에 솔레노이드 밸브 4(8d)와 연결되는 저장탱크 아답터(13)의 공통관로(14)에 연결되는 한편, 상기 흡입펌프(2)에 연결된 회수 아답터(15)는 수동개폐 밸브(16)를 매개로 솔레노이드 밸브 5(8e)를 갖춘 진공펌프(3)에 연결된 진공용 아답터(17)와 배출용 밸브(18)에 연결된 주입용 아답터(19)에 직결되어 이루어진 SF6 가스 회수 및 재사용 공급장치에 있어서, 상기 필터(7)와 솔레노이드 밸브 2(8b) 사이에는 SF6 가스 순도 측정센서(25)가 설치되고, 이 센서(25)는 본체에 일체로 장착된 SF6 가스 순도 측정기 확인창(26)에 연결되어 있다.
여기서 상기 회수 아답터(15)와 진공용 및 주입용 아답터(17,19) 사이에 연결되는 저장탱크 아답터(13)의 연결관로(20)에는 감압기(21)와 압력계(22a) 및 압력 표시기(23a)가 설치되어 있으며, 상기 안전 체크밸브(12)에 다른 압력계(22b)가 설치되어 있다.
또한, 상기 압축기(4) 및 잔류가스 회수용 아답터(6) 사이와, 진공펌프(3) 및 진공 아답터(17) 사이에도 압력계(22c)와 압력 표시기(23b)가 각각 설치되어 있다.
그리고 도면에 도시하지 않았지만, 상기 저장탱크 아답터(13)에 연결되는 SF6 가스 회수를 위한 저장탱크의 사양은 다음 표 1과 같다.
(표 1) 탱크 사용
구 분 저장 용량 길이 폭 높이 무게
액화 1000ℓ(980kg) 2,420㎜ 840㎜ 1,400㎜ 850kg
사용 최고 압력 50 bar
최고 압력 71.5 bar
사용온도 -10 ~ 50℃
한편, 상기 필터(7)는 SF6 가스에서 수분 및 분해가스 제거를 위한 드라이 필터(Dry Filter)와 분진 및 이물질 제거를 위한 파티클 필터(Particl Filter)로 이루어진 이중 필터장치로 이루어져 있다.
이어 본 고안을 이용하여 전력설비 내에서 SF6 가스를 회수 및 저장할 때 그 흐름작동을 도 2를 참조로 설명한다.
SF6 가스를 회수할 전력기기와 저장탱크(1)를 회수 아답터(15)와 저장탱크 아답터(13)에 각각 연결하고 저장탱크의 주입구를 개방한다.
여기서 상기 진공용 아답터(17)와 주입용 아답터(19)를 사용할 경우 즉 이들 아답터들을 전력기기와 연결하는 경우에는 수동개폐 밸브(16)를 열어주어 사용할 수 있다.
이어 제어판넬 정상 운전의 회수 스위치에서 "선택"을 누르면 전력기기에서 회수하는 SF6 가스 흐름에 맞도록 이에 대응하는 솔레노이드 밸브들이 개방되고, 이 회수 스위치의 "가동"을 누르게 되면, 압축기(4)가 작용하여 도면 중 굵은 실선으로 표시한 바와 같이 회수되는 가스는 저장탱크 아답터(13)를 통하여 저장탱크(1)에 저장이 시작되며, 압력계(22a,22b)들을 통하여 목표한 회수 압력에 도달하면 회수 스위치의 "정지"를 눌러서 회수를 정지시킨다.
한편, 신규 제작 또는 점검을 마친 전력기기 내부로부터 SF6 가스주입 이전에 공기 배출은 2단계로 이루어진다.
1) 대기압까지의 배출(도 3(A)에서 굵은실선 참조)
① 도면과 같이 공기를 배출시킬 전력기기 회수장치에 연결한다.
② 회수 아답터(15)를 사용할 경우 수동개폐 밸브(16)를 열어준다.
③ 배출용 밸브(18)를 열어 전력기기 내부의 공기를 배출시킨다.
④ 대기압까지 공기를 배출시킨 후 배출용 밸브(18)를 닫는다.
2) 진공확보(도 3(B)에서 굵은실선 참조)
① 대기압까지 공기를 배출시킨 후 제어판넬의 자동 조작에서 진공부분의 "선택" 스위치를 누른다(스위치를 누르면 가스 흐름에 맞도록 해당하는 솔레노이드 밸브들이 열린다).
② 회수 아답터(15)를 사용할 경우 수동개폐 밸브(16)를 열어준다.
③ 제어판넬의 정상 운전에서 진공부분의 "가동" 스위치를 눌러 동작시킨다(스위치를 누르면 제어판넬의 해당 솔레노이드 밸브의 열림 상태가 표시되며, 진공펌프(3)가 동작하여 전력기기 내부의 공기배출이 시작된다).
④ 목표한 진공압력에 도달하면 제어판넬의 정상 운전에서 진공부분의 "정지" 스위치를 눌러 회수장치를 정지한다.
그리고, 전력기기 내부에 SF6 가스를 주입하는 작동 흐름은 도 4와 굵은 실선을 참고로 설명한다.
① 도면과 같이 SF6 가스가 충진된 저장탱크를 회수 아답터(15)에 연결하고 이 저장탱크의 주입구를 개방한다.
② 제어판넬의 정상 운전에서 주입부분의 "선택" 스위치를 누른다(스위치를 누르면 가스 흐름에 맞도록 해당하는 솔레노이드 밸브들이 열린다).
③ 제어판넬의 정상 운전에서 주입부분의 "가동" 스위치를 눌러 동작시킨다(스위치를 누르면 증발기(5)의 가열을 시작한다. 이 증발기(5)가 동작 온도에 이르면 제어판넬의 해당 솔레노이드 밸브에 열림 상태가 표시된다).
④ 제어판넬의 정상 운전에서 주입부분의 "정지" 스위치를 눌러 회수장치를 정지한다(가스 주입을 위하여 연결호스 등에 가스를 적정 압력으로 채우기 위함이다. 이를 위하여 감압기(21)가 필요하다).
⑤ 가스를 주입할 전력기기를 연결한다.
⑥ 진공용 아답터(17) 또는 주입용 아답터(19)에 연결하는 경우 수동개폐 밸브(16)를 개방한다.
⑦ 제어판넬의 정상 운전에서 주입부분의 "가동" 스위치를 다시 눌러 가스주입을 시작한다.
⑧ 목표한 주입 압력에 도달하면 제어판넬의 자동 조작에서 주입부분의 "정지" 스위치를 눌러 본 고안의 장치를 정지시킨다.
끝으로, SF6 가스 운반을 위하여 일반적인 가스 보관용 용기(24)에 저장탱크에 있는 SF6 가스를 회수하여 저장하기 위한 작동 흐름은 도 5의 굵은 실선을 참고 로 설명한다.
① 가스 보관용 용기(24)를 버틀용 아답터(11)에 연결하고 저장탱크의 주입구를 개방한다.
② 제어판넬의 점검 또는 비상 운전에서 증발기(5)의 "가동" 스위치를 누르면 이 증발기(5)의 가열이 시작된다.
③ 제어판넬에서 솔레노이드 밸브의 "열림" 스위치를 누른다.
④ 증발기(5)가 적정 동작온도에 도달하면 솔레노이드 밸브 4(8d)는 개방되고 솔레노이드 밸브 2(8b)는 닫힌다.
⑤ 제어판넬의 점검 또는 비상 운전에서 압축기(4) 부분의 "가동" 스위치를 눌러 이 압축기를 동작시켜 가스를 주입한다.
⑥ 적정 압으로 가스가 압력용기에 충진되었음을 확인 후 제어판넬의 점검 또는 비상 운전에서 솔레노이드 밸브 열림/닫힘 부분의 "닫힘" 스위치를 눌러 열려있던 솔레노이드 밸브를 닫는다.
⑦ 제어판넬의 점검 또는 비상 운전에서 압축기(4), 증발기(5) 부분의 "정지" 스위치를 눌러 모든 동작을 정지시킨다.
⑧ 가스가 충진된 가스 보관용 용기(24)를 제거한다.
이와 같은 방식으로 SF6 가스를 회수 및 재사용하기 위해 공급할 때 상기 필터(7)와 솔레노이드 밸브 2(8b) 사이에 설치된 SF6 가스 순도 측정센서(25)가 SF6 가스의 순도를 측정하게 되고, 이 측정된 SF6 가스순도는 본체에 일체로 장착된 SF6 순도 측정기의 확인창(26)에 표시되어 작업자 및 점검자는 간편하게 회수 및 재사용되는 SF6 가스의 순도측정을 정확하게 알 수 있도록 되어 있다.
상기와 같은 본 고안은 SF6 가스 절연매체를 사용하는 전력설비에서 이 전력설비의 유지관리, 점검, 증설시 SF6 가스의 안정적인 회수와 재사용을 할 수 있으며, 수분 및 불순물의 유입을 예방하여 회수하는 SF6 가스의 순도 저하를 방지할 뿐만 아니라, 구조의 간단화로 제조비용을 절감할 수 있는 효과 등을 갖는다.

Claims (4)

  1. 전력기기 내에 사용된 절연매체 가스인 SF6 가스를 회수하기 위한 저장탱크(1)와 이 SF6를 저장탱크(1)로 보내는 흡입펌프(2) 및, 진공과 주입을 위하여 설치된 진공펌프(3)를 갖추어 이루어진 SF6 가스 회수 및 재사용 공급장치에 있어서,
    상기 흡입펌프(2)는 단방향 밸브(9a)를 갖추고 압축기(4)와 증발기(5)에 병렬 연결되고, 상기 압축기(4)는 장치 내 잔류가스 회수용 아답터(6)와 필터(7)에 직결되는 솔레노이드 밸브 1(8a)에 병렬 연결되며, 이 솔레노이드 밸브 1(8a)과 필터(7) 사이에는 증발기(5)에 연결되는 단방향 밸브(9b)를 갖춘 바이패스 분지관(10)이 연결되어 있고, 상기 필터(7)는 버틀용 아답터(11)와 솔레노이드 밸브 2(8b) 및 안전체크 밸브(12)에 연결되는 솔레노이드 밸브 3(8c)과 병렬 연결되어 증발기(12)에 솔레노이드 밸브 4(8d)와 연결되는 저장탱크 아답터(13)의 공통관로(14)에 연결되는 한편, 상기 흡입펌프(2)에 연결된 회수 아답터(15)는 수동개폐 밸브(16)를 매개로 솔레노이드 밸브 5(8e)를 갖춘 진공펌프(3)에 연결된 진공용 아답터(17)와 배출용 밸브(18)에 연결된 주입용 아답터(19)에 직결되어 이루어진 것을 특징으로 하는 SF6 가스 순도 측정기를 갖춘 SF6 가스 회수 및 재사용 공급장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 회수 아답터(15)와 진공용 및 주입용 아답터(17,19) 사이에 연결되는 저장탱크 아답터(13)의 연결관로(20)에는 감압기(21)와 압력계(22a) 및 압력 표시기(23a)가 설치되어 있으며, 상기 안전 체크밸브(12)에 다른 압력계(22b)가 설치되어 이루어진 것을 특징으로 하는 SF6 가스 순도 측정기를 갖춘 SF6 가스 회수 및 재사용 공급장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 필터(7)는 SF6 가스에서 수분 및 분해가스 제거를 위한 드라이 필터(Dry Filter)와 분진 및 이물질 제거를 위한 파티클 필터(Particl Filter)로 이루어진 이중 필터장치로 이루어진 것을 특징으로 하는 SF6 가스 순도 측정기를 갖춘 SF6 가스 회수 및 재사용 공급장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 필터(7)와 솔레노이드 밸브 2(8b) 사이에는 SF6 가스 순도 측정센서(25)가 설치되고, 이 센서(25)는 본체에 일체로 장착된 SF6 가스 순도 측정기 확인창(26)에 연결되어 이루어진 것을 특징으로 하는 SF6 가스 순도 측정기를 갖춘 SF6 가스 회수 및 재사용 공급장치.
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