KR200418654Y1 - Plasma discharge device - Google Patents

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KR200418654Y1
KR200418654Y1 KR2020060006338U KR20060006338U KR200418654Y1 KR 200418654 Y1 KR200418654 Y1 KR 200418654Y1 KR 2020060006338 U KR2020060006338 U KR 2020060006338U KR 20060006338 U KR20060006338 U KR 20060006338U KR 200418654 Y1 KR200418654 Y1 KR 200418654Y1
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plasma discharge
high voltage
discharge device
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ground electrode
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KR2020060006338U
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김종성
배가이
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(주)수도프리미엄엔지니어링
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Abstract

본 고안은 플라즈마 방전소자에 관한 것으로서, 방전에 의해 이온을 발생시키는 플라즈마 방전소자에 있어서, 고전압이 인가되는 고전압전극 및 접지전극과, 고전압전극 및 접지전극 사이에 위치하는 유전체와, 고전압전극 및 접지전극에 고전압이 인가됨으로써 발생되는 플라즈마 방전에너지를 활성화시키도록 자외선을 조사시키는 자외선 광원을 포함한다. 따라서, 본 고안은, 플라즈마 방전에너지를 자외선의 파장에 의해 활성화시킴으로써 탈취, 유해가스 제거능력 및 살균효과 등을 증대시킴으로써 고효율을 가지는 효과를 가지고 있다.The present invention relates to a plasma discharge device, comprising a high voltage electrode and a ground electrode to which a high voltage is applied, a dielectric disposed between the high voltage electrode and the ground electrode, a high voltage electrode and a ground It includes an ultraviolet light source for irradiating ultraviolet rays to activate the plasma discharge energy generated by applying a high voltage to the electrode. Therefore, the present invention has the effect of having high efficiency by activating the plasma discharge energy by the wavelength of ultraviolet rays, thereby increasing the deodorization, the ability to remove harmful gases, and the sterilization effect.

Description

플라즈마 방전소자{PLASMA DISCHARGE DEVICE}Plasma Discharge Device {PLASMA DISCHARGE DEVICE}

도 1은 종래의 일실시예에 따른 플라즈마 방전소자를 도시한 측단면도이고,1 is a side cross-sectional view showing a plasma discharge device according to a conventional embodiment,

도 2는 종래의 다른 실시예에 따른 플라즈마 방전소자를 도시한 측단면도이고,2 is a side cross-sectional view showing a plasma discharge device according to another embodiment of the prior art,

도 3은 본 고안의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 방전소자를 도시한 측면도이고,3 is a side view showing a plasma discharge device according to a first embodiment of the present invention,

도 4는 도 3의 부분단면도이고,4 is a partial cross-sectional view of FIG.

도 5는 본 고안의 제 2 실시예에 따른 플라즈마 방전소자를 도시한 측면도이고,5 is a side view showing a plasma discharge device according to a second embodiment of the present invention,

도 6은 도 5의 부분단면도이고,6 is a partial cross-sectional view of FIG. 5,

도 7은 본 고안의 제 3 실시예에 따른 플라즈마 방전소자를 도시한 부분단면도이고,7 is a partial cross-sectional view showing a plasma discharge device according to a third embodiment of the present invention,

도 8은 톨루엔 제거능력에 대해서 본 고안의 플라즈마 방전소자와 종래의 플라즈마 방전소자 및 자외선램프를 비교한 그래프이다.8 is a graph comparing a plasma discharge device of the present invention with a conventional plasma discharge device and an ultraviolet lamp with respect to toluene removal ability.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

110,210 : 유전체 (110 : 석영관, 210 : 세라믹판)110,210: dielectric (110: quartz tube, 210: ceramic plate)

120,220 : 고전압전극 130,230 : 접지전극120,220: high voltage electrode 130,230: ground electrode

150,160,250 : 자외선 광원 151,161,251 : 램프단자150,160,250: UV light source 151,161,251: Lamp terminal

152,162,252 : 램프커넥터 170,260 : 소자커넥터152,162,252: Lamp connector 170,260: Device connector

171,261 : 소자단자 180 : 결합부171,261: device terminal 180: coupling part

본 고안은 플라즈마 방전소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 플라즈마 방전에너지를 자외선의 파장에 의해 활성화시킴으로써 탈취, 유해가스 제거능력 및 살균효과 등을 증대시키는 플라즈마 방전소자에 관한 것이다.The present invention relates to a plasma discharge device, and more particularly, to a plasma discharge device to increase the deodorization, harmful gas removal ability and sterilization effect by activating the plasma discharge energy by the wavelength of ultraviolet rays.

일반적으로, 플라즈마 방전소자는 고전압의 인가에 의해 양/음이온 또는 음이온과 오존을 발생시킴으로써 각종 공기정화장치에 사용되고 있다. 이러한 종래의 플라즈마 방전소자를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.In general, plasma discharge devices are used in various air purifiers by generating positive / negative ions or anions and ozone by application of high voltage. Referring to the conventional plasma discharge device with reference to the accompanying drawings as follows.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 일실시예에 따른 플라즈마 방전소자(10)는 석영관(11) 내부에 고전압전극(12)이 마련되고, 석영관(11) 외부에 접지전극(13)이 마련되며, 고전압전극(12)과 접지전극(13)에 방전을 위한 고전압이 인가된다.As shown in FIG. 1, in the plasma discharge device 10 according to the related art, the high voltage electrode 12 is provided inside the quartz tube 11, and the ground electrode 13 is disposed outside the quartz tube 11. A high voltage for discharging is applied to the high voltage electrode 12 and the ground electrode 13.

또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 종래의 다른 실시예에 따른 플라즈마 방전소자(20)는 세라믹판(21)의 일측면에 고전압전극(22)이 마련되고, 세라믹판(21)의 타측면에 접지전극(23)이 마련되며, 일실시예와 마찬가지로 고전압전극(22)과 접지전극(23)에 방전을 위한 고전압이 인가된다.In addition, as shown in FIG. 2, in the plasma discharge device 20 according to another exemplary embodiment, the high voltage electrode 22 is provided on one side of the ceramic plate 21, and the other side of the ceramic plate 21 is provided. The ground electrode 23 is provided at the high voltage, and a high voltage for discharge is applied to the high voltage electrode 22 and the ground electrode 23 as in the exemplary embodiment.

이러한 종래의 플라즈마 방전소자(10,20)는 고전압공급부(30)를 통해 고전압 전극(12,22)과 접지전극(13,23)에 고전압을 인가하면 플라즈마 방전에너지를 발생하여 양/음이온 또는 음이온과 오존을 발생시켜서 휘발성유기화합물과의 산화, 분해 반응을 통해서 탈취, 유해가스 제거능력 및 살균효과를 발휘하며, 이로 인해 실내공기의 정화장치에 널리 사용된다.The conventional plasma discharge devices 10 and 20 generate plasma discharge energy when high voltages are applied to the high voltage electrodes 12 and 22 and the ground electrodes 13 and 23 through the high voltage supply unit 30 to generate positive / negative or negative ions. It generates and ozone to deodorize, remove harmful gases, and sterilize through oxidation and decomposition reactions with volatile organic compounds. Therefore, it is widely used for the purification of indoor air.

그러나, 이러한 종래의 플라즈마 방전소자(10,20)는 발생하는 플라즈마 방전에너지의 양이 한정되어 있기 때문에 고출력을 위해서는 크기가 커질 수 밖에 없으며, 이로 인해 장착되는 정화장치의 소형화에 장애를 초래하는 문제점을 가지고 있었다. 따라서, 크기에 비하여 뛰어난 탈취, 유해가스 제거능력 등을 가지는 고효율의 플라즈마 방전소자의 개발이 필요하게 되었다.However, since the amount of plasma discharge energy generated in the conventional plasma discharge devices 10 and 20 is limited, the size of the plasma discharge devices 10 and 20 cannot be increased for high output, which causes a problem in miniaturization of the purification apparatus mounted thereon. Had Therefore, it is necessary to develop a high-efficiency plasma discharge device having excellent deodorization, toxic gas removal capability, and the like compared to the size.

본 고안은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 고안의 목적은 플라즈마 방전에너지를 자외선의 파장에 의해 활성화시킴으로써 탈취, 유해가스 제거능력 및 살균효과 등을 증대시킴으로써 고효율을 가지도록 하는 플라즈마 방전소자를 제공하는데 있다.The present invention is to solve the above-mentioned problems, the object of the present invention is to activate the plasma discharge energy by the wavelength of the ultraviolet radiation discharge to have high efficiency by increasing the deodorization, harmful gas removal ability and sterilization effect, etc. It is to provide an element.

이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 고안은, 방전에 의해 이온을 발생시키는 플라즈마 방전소자에 있어서, 고전압이 인가되는 고전압전극 및 접지전극과, 고전압전극 및 접지전극 사이에 위치하는 유전체와, 고전압전극 및 접지전극에 고전압이 인가됨으로써 발생되는 플라즈마 방전에너지를 활성화시키도록 자외선을 조사시키는 자외선 광원을 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention for realizing the above object is a plasma discharge device for generating ions by discharge, comprising: a high voltage electrode and a ground electrode to which a high voltage is applied; a dielectric disposed between the high voltage electrode and the ground electrode; And an ultraviolet light source that irradiates ultraviolet rays to activate plasma discharge energy generated by applying a high voltage to the ground electrode.

이하, 본 고안의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 고안의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the most preferred embodiment of the present invention will be described in more detail so that those skilled in the art can easily practice.

도 3 및 도 4는 본 고안의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 방전소자를 도시한 측면도와 부분단면도이고, 도 5 및 도 6은 본 고안의 제 2 실시예에 따른 플라즈마 방전소자를 도시한 측면도와 부분단면도이다. 도시된 바와 같이, 본 고안에 따른 플라즈마 방전소자(100,200)는 고전압이 인가되는 고전압전극(120) 및 접지전극(130)사이에 유전체(110)가 위치하고, 고전압전극(120) 및 접지전극(130)에 고전압의 인가로 인해 발생되는 플라즈마 방전에너지를 활성화시키도록 자외선을 조사시키는 자외선 광원(150,160)을 포함한다.3 and 4 are side and partial sectional views showing a plasma discharge device according to a first embodiment of the present invention, Figures 5 and 6 are side views showing a plasma discharge device according to a second embodiment of the present invention Partial section view. As shown, in the plasma discharge device (100,200) according to the present invention, the dielectric 110 is located between the high voltage electrode 120 and the ground electrode 130 to which a high voltage is applied, the high voltage electrode 120 and the ground electrode 130 UV light sources 150 and 160 that irradiate ultraviolet rays to activate plasma discharge energy generated by the application of a high voltage.

유전체(110)는 본 실시예에서 석영관으로서, 내측면과 외측면에 각각 고전압전극(120)과 접지전극(130)이 마련된다.The dielectric 110 is a quartz tube in this embodiment, and the high voltage electrode 120 and the ground electrode 130 are provided on the inner side and the outer side, respectively.

자외선 광원(150,160)은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 제 1 실시예의 경우 석영관(110)과 나란하게 설치되어 석영관(110)의 둘레를 따라 일정 간격으로 복수로 배열되며, 이로 인해 석영관(110) 전체에 걸쳐서 거의 균일하게 자외선을 조사시키는 복수의 자외선 램프(150)이다. As shown in FIGS. 3 and 4, the ultraviolet light sources 150 and 160 are installed in parallel with the quartz tube 110 in the first embodiment and are arranged in plural at regular intervals along the circumference of the quartz tube 110. Therefore, the plurality of ultraviolet lamps 150 irradiate ultraviolet rays almost uniformly throughout the quartz tube 110.

본 실시예에 따른 자외선 램프(150)는 "∩"자 또는 막대 형상 등으로 형성되고, 끝단에 전원공급부(400)로부터 전압이 공급되는 한 쌍의 램프단자(151)를 가지는 램프커넥터(152)가 마련되며, 램프커넥터(152)가 결합부(180)에 의해 석영관(120) 끝단에 마련되는 소자커넥터(170)와 결합됨으로써 석영관(110) 외측에 나란 하게 설치된다.Ultraviolet lamp 150 according to the present embodiment is formed of a "자" or a rod shape, etc., the lamp connector 152 having a pair of lamp terminals 151 to which a voltage is supplied from the power supply unit 400 at the end thereof. Is provided, the lamp connector 152 is coupled to the element connector 170 provided at the end of the quartz tube 120 by the coupling portion 180 is installed side by side outside the quartz tube 110.

소자커넥터(170)는 고전압전극(120)과 접지전극(130) 각각에 전기적으로 연결되는 한 쌍의 소자단자(171)가 마련되는 절연체로서 소자단자(171)가 전원공급부(400)로부터 고전압을 각각 공급받음으로써 고전압전극(120)과 접지전극(130)에 고전압을 인가하며, 결합부(180) 중심에 억지 끼움 또는 나사 결합 방식으로 고정되거나 결합부(180) 중심에 일체로 형성되는 등 다양한 방식에 의해 결합부(180)와 결합될 수 있다.The device connector 170 is an insulator provided with a pair of device terminals 171 electrically connected to each of the high voltage electrode 120 and the ground electrode 130, and the device terminal 171 receives a high voltage from the power supply unit 400. The high voltage is applied to the high voltage electrode 120 and the ground electrode 130 by being supplied to each other, and is fixed in the center of the coupling part 180 or fixed by screw coupling or integrally formed at the center of the coupling part 180. It can be combined with the coupling unit 180 in a manner.

결합부(180)는 가장자리에 자외선 램프(150)의 램프커넥터(152)가 억지 끼움 또는 나사 결합 방식으로 결합되거나 자외선 램프(150)의 램프커넥터(152)와 일체로 형성되는 등 다양한 방식으로 자외선 램프(150)의 램프커넥터(152)와 결합될 수 있다.The coupling unit 180 is coupled to the edge of the lamp connector 152 of the ultraviolet lamp 150 by force fitting or screwed coupling method or formed in one body with the lamp connector 152 of the ultraviolet lamp 150, such as ultraviolet rays in various ways It may be combined with the lamp connector 152 of the lamp 150.

도 5 및 도 6에서 도시된 바와 같이, 제 2 실시예에 따른 자외선 광원은 석영관(110)의 외측을 감싸도록 설치되는 코일 형상의 자외선 램프(160)가 사용된다. 5 and 6, the ultraviolet light source according to the second embodiment uses a coil-shaped ultraviolet lamp 160 installed to surround the outside of the quartz tube 110.

본 실시예에 따른 자외선 램프(160)는 끝단에 전원공급부(400)로부터 구동을 위한 전원이 공급되는 램프단자(161)를 가지는 램프커넥터(162)가 마련되고, 내측에 석영관(110)이 위치한 상태에서 램프커넥터(162)가 석영관(110) 끝단의 소자커넥터(170)에 결합됨으로써 석영관(110) 주변을 감싸도록 설치되어 석영관(110) 전체에 걸쳐서 골고루 자외선을 조사한다. 한편, 램프커넥터(162)가 소자커넥터(170)에 슬라이딩 가능하게 요철 결합되거나 억지 끼움 방식 등에 의해 결합됨으로써 자외선 램프(160)와 석영관(110)은 분리 가능하게 일체를 이룰 수 있다.Ultraviolet lamp 160 according to the present embodiment is provided with a lamp connector 162 having a lamp terminal 161 that is supplied with power for driving from the power supply unit 400 at the end, the quartz tube 110 is provided inside Lamp connector 162 is coupled to the device connector 170 at the end of the quartz tube 110 in the positioned state is installed to wrap around the quartz tube 110 is irradiated with UV light evenly throughout the quartz tube (110). On the other hand, since the lamp connector 162 is slidably coupled to the device connector 170 or coupled by an interference fit method or the like, the ultraviolet lamp 160 and the quartz tube 110 may be detachably formed.

도 7은 본 고안의 제 3 실시예에 따른 플라즈마 방전소자를 도시한 측면도로서, 도시된 바와 같이, 제 3 실시예에 따른 플라즈마 방전소자(300)는 이전의 실시예와 마찬가지로 고전압이 인가되는 고전압전극(220) 및 접지전극(230)사이에 유전체(210)가 위치한다. 다만, 유전체(210)는 양측면에 고전압전극(220) 및 접지전극(230)이 각각 마련되는 일정한 면적을 가지는 세라믹판(210)으로 이루어져 있으며, 세라믹판(210)의 외측에 자외선 광원으로서 자외선 램프(250)가 설치된다.7 is a side view showing a plasma discharge device according to a third embodiment of the present invention, as shown, the plasma discharge device 300 according to the third embodiment is a high voltage to which a high voltage is applied as in the previous embodiment The dielectric 210 is positioned between the electrode 220 and the ground electrode 230. However, the dielectric 210 is composed of a ceramic plate 210 having a predetermined area where the high voltage electrode 220 and the ground electrode 230 are respectively provided on both sides, and an ultraviolet lamp as an ultraviolet light source outside the ceramic plate 210. 250 is installed.

자외선 램프(250)는 "∩"자 또는 막대 형상 등을 가지며, 세라믹판(210)의 일측면과 마주보도록 설치되는데, 바람직하게는 도 7에서 도시된 바와 같이 폴리머 등의 이물질이 보다 많이 형성되는 고전압전극(220)이 위치하는 측면에 설치된다. The ultraviolet lamp 250 has a “∩” shape or a bar shape, and is installed to face one side of the ceramic plate 210. Preferably, as shown in FIG. 7, more foreign substances such as polymers are formed. The high voltage electrode 220 is installed on the side.

자외선 램프(250)가 세라믹판(210) 외측에 설치되기 위하여 끝단에 마련되는 램프커넥터(252)가 세라믹판(210) 일측에 마련되는 소자커넥터(260)에 일방향으로 슬라이딩 가능하게 요철 결합되거나 억지 끼움 방식 등에 의해 결합됨으로써 자외선 램프(250)는 세라믹판(210)과 분리 가능하게 결합된다.The lamp connector 252 provided at the end of the UV lamp 250 to be installed outside the ceramic plate 210 is ruggedly coupled or inhibited in one direction to the element connector 260 provided at one side of the ceramic plate 210. The UV lamp 250 is detachably coupled to the ceramic plate 210 by being coupled by a fitting method or the like.

소자커넥터(260)와 램프커넥터(252)는 이전의 실시예와 마찬가지로 한 쌍씩의 소자단자(261)와 램프단자(251)를 가지고 있다.The device connector 260 and the lamp connector 252 have a pair of device terminals 261 and a lamp terminal 251 as in the previous embodiment.

이와 같은 본 고안에 따른 플라즈마 방전소자의 작용은 다음과 같다.The operation of the plasma discharge device according to the present invention as follows.

공기정화장치 등에 설치된 플라즈마 방전소자(100,200,300)에 전원공급부(400)에 의해 소자단자(171,261)를 통해 고전압을 고전압전극부(120,220) 및 접지전극(130,230)으로 인가함으로써 생성되는 플라즈마 방전에너지에 의해 양/음이온 또는 음이온 및 오존을 발생시킴으로써 탈취, 유해가스의 제거, 살균 등을 통해 공 기를 정화시키는 작용을 한다. By plasma discharge energy generated by applying a high voltage to the high voltage electrode parts 120, 220 and the ground electrodes 130, 230 through the device terminals 171, 261 by the power supply unit 400 to the plasma discharge devices 100, 200, 300 installed in the air purifier. It generates positive / negative ions or anions and ozone to purify the air through deodorization, removal of harmful gases, and sterilization.

이 때, 자외선 광원(150,160,250)으로부터 조사되는 자외선의 파장에 의하여 플라즈마 방전에너지가 활성화되어 휘발성유기화합물과의 산화, 분해반응이 활발히 일어나서 탈취, 유해가스의 제거, 살균 등의 효과를 뛰어나게 하여 크기에 비해 고효율의 공기 정화 능력을 가지게 된다. At this time, the plasma discharge energy is activated by the wavelength of ultraviolet light emitted from the ultraviolet light sources 150, 160 and 250, and the oxidation and decomposition reactions with the volatile organic compounds are actively performed. Compared with the high efficiency of air purification.

자외선 광원(150,160,250)에 의해 활성화된 플라즈마 방전에너지에 의한 휘발성 유기화합물의 제거는 다음의 반응식 1과 같다.Removal of volatile organic compounds by plasma discharge energy activated by ultraviolet light sources 150, 160 and 250 is shown in Scheme 1 below.

CnHm+(m+n/2)O2=nCO2+(m/2)H2OC n H m + (m + n / 2) O 2 = nCO 2 + (m / 2) H 2 O

도 8은 대표적인 휘발성 유기화합물인 톨루엔의 분해 및 제거능력에 대해서 본 고안의 플라즈마 방전소자를 종래의 플라즈마 방전소자 및 자외선 램프 각각과 비교한 그래프로서, 약 0.4 ㎥의 밀폐공간에서 시험하였다. 도시된 바와 같이, 종래의 플라즈마 방전소자만을 이용한 경우(a)와 자외선 램프(b)만을 이용한 경우 시간이 지남에 따라 톨루엔의 농도감소가 완만하며, 120분 경과시 각각 19%와 14%의 제거율을 가지는 반면, 본 고안의 플라즈마 방전소자에서처럼 생성되는 플라즈마 방전에너지를 자외선의 파장으로 활성화한 경우 톨루엔의 농도가 급격하게 줄어들어 120분 경과시 57%의 제거율을 가지게 된다.8 is a graph comparing the plasma discharge device of the present invention with respect to the conventional plasma discharge device and the ultraviolet lamp, respectively, in terms of decomposition and removal ability of toluene, which is a representative volatile organic compound, and was tested in a closed space of about 0.4 m 3. As shown, in the case of using only the conventional plasma discharge device (a) and using only the ultraviolet lamp (b), the concentration of toluene decreases slowly over time, and the removal rate of 19% and 14% after 120 minutes respectively. On the other hand, when the plasma discharge energy generated in the plasma discharge device of the present invention is activated by the wavelength of ultraviolet rays, the concentration of toluene is drastically reduced to have a removal rate of 57% after 120 minutes.

그러므로, 본 고안에 따른 플라즈마 방전소자(100,200,300)를 공기정화장치에 사용시 유해가스의 제거능력이 뛰어날 뿐만 아니라 그 밖에 탈취, 살균 등에서 도 뛰어난 효과를 가진다.Therefore, when the plasma discharge device (100, 200, 300) according to the present invention is used in an air purifier, it is not only excellent in the ability to remove harmful gases, but also has excellent effects in deodorization and sterilization.

상술한 바와 같이, 본 고안에 따른 플라즈마 방전소자는 플라즈마 방전에너지를 자외선의 파장에 의해 활성화시킴으로써 탈취, 유해가스 제거능력 및 살균효과 등을 증대시킴으로써 고효율을 가지는 효과를 가지고 있다.As described above, the plasma discharge device according to the present invention has the effect of having high efficiency by increasing the deodorization, harmful gas removal ability and sterilization effect by activating the plasma discharge energy by the wavelength of ultraviolet rays.

이상에서 설명한 것은 본 고안에 따른 플라즈마 방전소자를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 고안은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 실용신안등록청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 고안의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.As described above is just one embodiment for implementing the plasma discharge device according to the present invention, the present invention is not limited to the above embodiment, as claimed in the utility model registration claims below Without departing from the gist, any person having ordinary knowledge in the field to which the present invention belongs will have a technical spirit of the present invention to the extent that various modifications can be made.

Claims (4)

방전에 의해 이온을 발생시키는 플라즈마 방전소자에 있어서,In a plasma discharge device that generates ions by discharge, 고전압이 인가되는 고전압전극 및 접지전극과,A high voltage electrode and a ground electrode to which a high voltage is applied; 상기 고전압전극 및 상기 접지전극 사이에 위치하는 유전체와,A dielectric disposed between the high voltage electrode and the ground electrode; 상기 고전압전극 및 상기 접지전극에 고전압이 인가됨으로써 발생되는 플라즈마 방전에너지를 활성화시키도록 자외선을 조사시키는 자외선 광원An ultraviolet light source for irradiating ultraviolet rays to activate plasma discharge energy generated by applying a high voltage to the high voltage electrode and the ground electrode 을 포함하는 플라즈마 방전소자.Plasma discharge device comprising a. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유전체는 상기 고전압전극과 상기 접지전극이 내측면과 외측면에 각각 마련되는 석영관이며,The dielectric is a quartz tube in which the high voltage electrode and the ground electrode are provided on an inner side and an outer side, respectively. 상기 자외선 광원은 상기 석영관과 나란하게 설치되어 상기 석영관의 둘레를 따라 복수로 배열되는 자외선 램프인 것The ultraviolet light source is installed in parallel with the quartz tube is an ultraviolet lamp arranged in a plurality along the circumference of the quartz tube 을 특징으로 하는 플라즈마 방전소자.Plasma discharge device, characterized in that. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유전체는 상기 고전압전극과 상기 접지전극이 내측면과 외측면에 각각 마련되는 석영관이며,The dielectric is a quartz tube in which the high voltage electrode and the ground electrode are provided on an inner side and an outer side, respectively. 상기 자외선 광원은 상기 석영관의 외측을 감싸도록 설치되는 코일 형상의 자외선 램프인 것The ultraviolet light source is a coil-shaped ultraviolet lamp installed to surround the outside of the quartz tube 을 특징으로 하는 플라즈마 방전소자.Plasma discharge device, characterized in that. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유전체는 상기 고전압전극 및 상기 접지전극이 양측면에 각각 마련되는 세라믹판이며, The dielectric is a ceramic plate provided on each side of the high voltage electrode and the ground electrode, 상기 자외선 광원은 상기 세라믹판 일측면과 마주보도록 설치되는 자외선 램프인 것The ultraviolet light source is an ultraviolet lamp which is installed to face one side of the ceramic plate 을 특징으로 하는 플라즈마 방전소자.Plasma discharge device, characterized in that.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101208946B1 (en) * 2011-09-05 2012-12-07 주식회사 하나지엔씨 Cluster ionizer
CN107004568A (en) * 2014-12-11 2017-08-01 金炯锡 Coaxial cable plasma lamp bulb apparatus

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