KR20040104970A - Parallel test increasing method and test system - Google Patents

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KR20040104970A
KR20040104970A KR1020030035565A KR20030035565A KR20040104970A KR 20040104970 A KR20040104970 A KR 20040104970A KR 1020030035565 A KR1020030035565 A KR 1020030035565A KR 20030035565 A KR20030035565 A KR 20030035565A KR 20040104970 A KR20040104970 A KR 20040104970A
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이종석
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삼성전자주식회사
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Abstract

PURPOSE: A parallel test expansion method and a test system thereof are provided to increase a number of semiconductor chips to be tested while using a conventional test system. CONSTITUTION: A test system(200) for parallel test expansion includes a plurality of DUTs(Device Under Test)(210,240) and first through m-th switches(SW11,SW12). Each of the DUTs includes n channels, where n is a natural number. The switches are coupled with power channels(230) of each of the DUTs in parallel, where m is a natural number smaller than n. Each of the DUTs is capable of testing m semiconductor chips by using the first through m-th switches.

Description

병렬 테스트 확장 방법 및 테스트 시스템{Parallel test increasing method and test system}Parallel test increasing method and test system

본 발명은 테스트 방법 및 테스트 시스템에 관한 것으로서, 특히 테스트의 병렬적 확장을 위한 병렬 테스트 확장 방법 및 테스트 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to test methods and test systems, and more particularly, to a parallel test extension method and test system for parallel extension of tests.

테스트 장비는 한 번에 여러 개의 반도체 칩을 테스트 할 수 있다. 일반적으로 한번에 16개의 반도체 칩을 테스트할 수 있는 테스트 장비가 있고 한번에 32개의 반도체 칩을 테스트 할 수 있는 테스트 장비도 있다. 물론 그 이상의 반도체 칩을 테스트 할 수 있는 테스트 장비도 존재한다.The test equipment can test several semiconductor chips at once. Typically, there are test equipment that can test 16 semiconductor chips at a time, and test equipment that can test 32 semiconductor chips at a time. Of course, there are test equipment that can test more semiconductor chips.

동일한 개수의 반도체 칩을 테스트하는 경우, 한번에 16개의 반도체 칩을 테스트 할 수 있는 테스트 장비는 한번에 32개의 반도체 칩을 테스트 할 수 있는 테스트 장비에 비하여 테스트 시간이 더 길기 때문에 테스트 비용도 더 증가된다.When testing the same number of semiconductor chips, test equipment that can test 16 semiconductor chips at a time increases test costs even more because test time is longer than test equipment that can test 32 semiconductor chips at a time.

일반적으로 반도체 칩의 테스트시 반도체 칩의 테스트 핀이 많던지 적던지 상관없이 장비의 규격(specification)에 규정되어 있는 패러랠(parallel) 수( 테스트 장치가 한번에 테스트 할 수 있는 반도체 칩의 수를 의미함) 안에서만 반도체 칩의 병렬 테스트가 수행되어왔다.In general, when testing a semiconductor chip, the number of parallel chips specified in the specification of the equipment (regardless of whether the test chip is large or small) means the number of semiconductor chips that the test apparatus can test at one time. In parallel, parallel tests of semiconductor chips have been performed.

도 1은 일반적인 테스트 시스템을 설명하는 도면이다.1 is a diagram illustrating a general test system.

도 1을 참조하면, 테스트 시스템(100)은 두 개의 DUT(110, 160)와 대응되는 채널부들(120, 170)을 구비한다. DUT(110, 160)는 테스트되는 반도체 칩이 놓여지는 부분이다. 채널부들(120, 170)은 DUT(110, 160)에 놓인 반도체 칩의 테스트 핀과 연결되는 테스트 장비의 채널들을 구비한다.Referring to FIG. 1, the test system 100 includes two DUTs 110 and 160 and corresponding channel parts 120 and 170. The DUTs 110 and 160 are portions in which the semiconductor chip to be tested is placed. The channel units 120 and 170 have channels of test equipment connected to the test pins of the semiconductor chip placed on the DUTs 110 and 160.

채널부들(120, 170)은 도 1에서 알 수 있듯이 반도체 칩의 드라이버 핀을 테스트 할 수 있는 드라이버 채널(130, 180), 반도체 칩의 입출력 핀을 테스트 할 수 있는 입출력 채널(140, 190) 및 반도체 칩의 전원 핀을 테스트할 수 있는 전원 채널(150, 195)을 구비한다. 이외에도 채널부들(120, 170)은 반도체 칩의 여러 가지 신호 핀들을 테스트 할 수 있는 채널들을 구비한다.As shown in FIG. 1, the channel units 120 and 170 may include driver channels 130 and 180 that may test driver pins of a semiconductor chip, input / output channels 140 and 190 that may test input / output pins of a semiconductor chip, and Power channels 150 and 195 are provided for testing the power pins of the semiconductor chip. In addition, the channel units 120 and 170 have channels for testing various signal pins of the semiconductor chip.

예를 들어, 도 1의 테스트 시스템(100)의 패러랠 수가 16이고 전원 채널을 16개 구비하며 하나의 DUT 당 할당된 채널의 수가 32개라고 가정한다. 테스트 하고자 하는 반도체 칩의 전원 핀은 1개이고 사용하는 신호 핀이 15개라면 도 1의 테스트 시스템(100)은 한번에 16개의 반도체 칩만을 테스트할 수 있다.For example, assume that the parallel number of the test system 100 of FIG. 1 is 16, has 16 power channels, and has 32 channels allocated per DUT. If there is only one power pin of the semiconductor chip to be tested and 15 signal pins are used, the test system 100 of FIG. 1 may test only 16 semiconductor chips at a time.

즉, 패러랠 수가 적은 테스트 장비의 경우 테스트를 수행할 반도체 칩의 수가 증가되면 테스트 장비의 수를 늘리거나 테스트 시간이 길어지는 문제가 있다.That is, in the case of test equipment having a small number of parallels, when the number of semiconductor chips to be tested increases, there is a problem in that the number of test equipment is increased or the test time is lengthened.

본 발명이 이루고자하는 기술적 과제는 동일한 테스트 시스템을 이용하면서도 한번에 테스트할 수 있는 반도체 칩의 수를 증가시킬 수 있는 테스트 시스템을 제공하는데 있다.The technical problem to be achieved by the present invention is to provide a test system that can increase the number of semiconductor chips that can be tested at a time while using the same test system.

본 발명이 이루고자하는 다른 기술적 과제는 동일한 테스트 시스템을 이용하면서도 한번에 테스트할 수 있는 반도체 칩의 수를 증가시킬 수 있는 테스트 방법을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a test method that can increase the number of semiconductor chips that can be tested at one time while using the same test system.

본 발명의 상세한 설명에서 인용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여 각 도면의 간단한 설명이 제공된다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS In order to better understand the drawings cited in the detailed description of the invention, a brief description of each drawing is provided.

도 1은 일반적인 테스트 시스템을 설명하는 도면이다.1 is a diagram illustrating a general test system.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 테스트 시스템을 설명하는 도면이다.2 is a diagram illustrating a test system according to an embodiment of the present invention.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 테스트 시스템은 각각 n(n은 자연수) 개의 채널을 가진 복수개의 DUT(Device Under Test)들 및 상기 각각의 DUT의 전원 채널에 병렬로 연결된 제 1 내지 제 m(m은 n보다 작은 자연수)스위치들을 구비한다.The test system according to an embodiment of the present invention for achieving the technical problem is a plurality of DUT (Device Under Test) having each of n (n is a natural number) and the first connected in parallel to the power channel of each DUT 1 to m (m is a natural number smaller than n) switches.

상기 각각의 DUT 는 상기 제 1 내지 제 m 스위치를 통하여 m 개의 반도체 칩을 테스트 할 수 있다. 상기 테스트되는 m 개의 반도체 칩은 각각 n/m(n/m은 자연수) 개의 테스트 핀을 구비하는 것을 특징으로 한다.Each DUT may test m semiconductor chips through the first to m th switches. The m semiconductor chips to be tested are each characterized by having n / m (n / m is a natural number) test pins.

상기 테스트되는 각각의 반도체 칩은 테스트 핀 중 한 개의 전원 핀이 대응되는 상기 스위치를 통하여 대응되는 DUT 의 전원 채널에 연결되고, 나머지 테스트 핀은 대응되는 DUT의 나머지 채널에 연결된다.Each semiconductor chip being tested is connected to a power channel of a corresponding DUT through the switch to which one power pin of the test pin is connected, and the remaining test pin is connected to the remaining channel of the corresponding DUT.

상기 DUT는 직류 테스트의 경우, 상기 제 1 내지 제 m 스위치 중 하나만 연결하고 나머지 스위치는 차단하여 연결된 반도체 칩에 대해서만 직류 테스트를 수행한다.In the case of a direct current test, the DUT connects only one of the first to mth switches and cuts off the remaining switches to perform a direct current test only on the connected semiconductor chip.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 병렬 테스트 확장 방법은 DUT(Device Under Test)의 n(n은 자연수) 개의 채널 중 전원 채널에 m(m은 n보다 작은 자연수) 개의 반도체 칩의 전원 핀을 공동으로 연결하여 한번에 테스트하는 반도체 칩을 m 배 증가시키는 것을 특징으로 한다.The parallel test extension method according to another embodiment of the present invention for achieving the technical problem is m (m is a natural number less than n) in the power channel of the n (n is a natural number) channels of the DUT (Device Under Test) By connecting the power pins of the chip jointly, the semiconductor chip to be tested at a time is increased by m times.

상기 m 개의 반도체 칩은 n/m(n/m은 자연수) 개의 테스트 핀을 구비하는 것을 특징으로 한다. 상기 테스트되는 m 개의 반도체 칩은 각각의 전원 핀이 대응되는 스위치를 통하여 상기 DUT의 전원 채널에 연결되고, 나머지 테스트 핀은 상기 DUT의 나머지 채널에 연결되는 것을 특징으로 한다.The m semiconductor chips have n / m (n / m is a natural number) test pins. The m semiconductor chips being tested are connected to a power channel of the DUT through a switch corresponding to each power pin, and the remaining test pins are connected to the remaining channels of the DUT.

상기 병렬 테스트 확장 방법은 직류 테스트의 경우, 하나의 스위치만 연결하고 나머지 스위치는 차단하여 스위치가 연결된 반도체 칩에 대해서만 직류 테스트를 수행하는 것을 특징으로 한다.In the parallel test extension method, in the case of a DC test, only one switch is connected and the other switches are blocked, so that the DC test is performed only on the semiconductor chip to which the switch is connected.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 도면에 기재된 내용을 참조하여야 한다.DETAILED DESCRIPTION In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention and the contents described in the drawings.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 테스트 시스템을 설명하는 도면이다.2 is a diagram illustrating a test system according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 테스트 하고자하는 반도체 칩의 테스트 핀의 수가 테스트 시스템의 각각의 DUT 가 구비하는 채널의 수보다 적은 경우, 테스트 시스템의 전원 채널을 테스트 하고자 하는 복수개의 반도체 칩에 공통으로 연결하고 하나의 DUT를 이용하여 복수개의 반도체 칩을 테스트한다.According to the present invention, when the number of test pins of a semiconductor chip to be tested is less than the number of channels included in each DUT of the test system, the power channel of the test system is commonly connected to a plurality of semiconductor chips to be tested and one DUT is used. Test a plurality of semiconductor chips using.

도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 테스트 시스템(200)은 각각 n(n은 자연수) 개의 채널을 가진 복수개의 DUT(Device Under Test)들(210, 240) 및 각각의 DUT(210, 240)의 전원 채널(230)에 병렬로 연결된 제 1 내지 제 m(m은 n보다 작은 자연수)스위치들(SW11, SW12)을 구비한다.Referring to FIG. 2, the test system 200 according to an embodiment of the present invention includes a plurality of device under tests (DUTs) 210 and 240 having n (n is a natural number) channels, and each DUT 210. And first through m (m is a natural number smaller than n) switches SW11 and SW12 connected in parallel to the power supply channel 230 of the 240.

채널부(220)는 테스트 하고자 하는 반도체 칩의 드라이버를 테스트하는 드라이버 채널(231, 233), 반도체 칩의 입출력 핀을 테스트 할 수 있는 입출력 채널(241, 243) 및 반도체 칩의 전원 핀을 테스트할 수 있는 전원 채널(230)을 구비한다. 이외에도 도시되지는 않았으나 채널부(220)는 반도체 칩의 여러 가지 신호 핀들을 테스트 할 수 있는 채널들을 구비한다.The channel unit 220 may test the driver channels 231 and 233 for testing the driver of the semiconductor chip to be tested, the input / output channels 241 and 243 for testing the input / output pins of the semiconductor chip, and the power pins of the semiconductor chip. And a power channel 230 which may be. Although not shown, the channel unit 220 includes channels for testing various signal pins of the semiconductor chip.

종래에는 테스트 하고자 하는 반도체 칩의 테스트 핀의 수가 하나의 DUT의 채널의 수보다 적더라도 하나의 DUT에 대응되는 채널들은 하나의 반도체 칩을 테스트하는 데에만 이용되었다.Conventionally, although the number of test pins of a semiconductor chip to be tested is less than the number of channels of one DUT, channels corresponding to one DUT are used only to test one semiconductor chip.

그러나, 본 발명의 테스트 시스템(200)은 채널 수와 반도체 칩의 테스트 핀의 수를 고려하여 하나의 DUT가 복수개의 반도체 칩을 테스트 할 수 있다.However, in the test system 200 of the present invention, one DUT may test a plurality of semiconductor chips in consideration of the number of channels and the number of test pins of the semiconductor chip.

테스트 시스템(200)의 하나의 DUT 에 대응되는 채널의 수 n을 32라고 가정한다. 그리고 테스트 하고자 하는 반도체 칩의 테스트 핀의 수가 전원 핀을 포함하여16이라고 가정한다.Assume that the number n of channels corresponding to one DUT of the test system 200 is 32. In addition, it is assumed that the number of test pins of the semiconductor chip to be tested is 16 including power supply pins.

반도체 칩의 테스트 핀의 수가 16이므로 n/m = 16이 되어 m은 2가된다. 즉, 두 개의 반도체 칩의 테스트 핀을 하나의 DUT의 채널에 연결하여 테스트 할 수 있다.Since the number of test pins of the semiconductor chip is 16, n / m = 16 and m becomes 2. That is, the test pins of two semiconductor chips may be connected to the channel of one DUT to test the same.

하나의 채널부(220)는 하나의 전원 채널(230)을 가지므로 두 개의 반도체 칩을 테스트하기 위해서 두 개의 반도체 칩의 전원 핀은 하나의 전원 채널(230)을 공유한다. 전원 채널은 두 개의 스위치(SW11, SW12)를 이용하여 두 개의 반도체 칩의 각각의 전원 핀에 연결된다.Since one channel unit 220 has one power channel 230, power pins of two semiconductor chips share one power channel 230 to test two semiconductor chips. The power channel is connected to the power pins of each of the two semiconductor chips using two switches SW11 and SW12.

반도체 칩의 기능(function) 테스트 시, 하나의 DUT에 대응되는 채널들을 이용하여 두개의 반도체 칩을 한번에 테스트 할 수 있다. 즉, 하나의 반도체 칩의 테스트 핀들 중 드라이버 핀들과 입출력 핀이 각각 드라이버 채널(231)과 입출력 채널(241)에 연결되고, 다른 하나의 반도체 칩의 테스트 핀들 중 드라이버 핀들과 입출력 핀이 각각 드라이버 채널(233)과 입출력 채널(243)에 연결된다.When testing a semiconductor chip function, two semiconductor chips may be tested at a time by using channels corresponding to one DUT. That is, the driver pins and the input / output pins of the test pins of one semiconductor chip are connected to the driver channel 231 and the input / output channel 241, respectively, and the driver pins and the input / output pins of the test pins of the other semiconductor chip are respectively driver channels. 233 and an input / output channel 243.

그러므로 두 개의 반도체 칩을 동시에 테스트 할 수 있다.Therefore, two semiconductor chips can be tested simultaneously.

전원 채널(230)을 두 개의 반도체 칩이 공유함에 따라 직류 테스트를 수행하는 경우에는 두 개의 스위치(SW11, SW12) 중 어느 하나만 연결하고 나머지 스위치는 차단한다. 그리고, 스위치에 의해서 전원 채널에 연결된 반도체 칩에 대해서만 직류 테스트를 먼저 수행한다.When performing the DC test as the two semiconductor chips share the power channel 230, only one of the two switches SW11 and SW12 is connected and the other switches are blocked. The DC test is first performed only on the semiconductor chip connected to the power channel by the switch.

직류 테스트가 끝난 후, 스위치의 연결 상태를 변경하여 두 번째 반도체 칩에 대한 직류 테스트를 수행할 수 있다.After the DC test is completed, the connection state of the switch can be changed to perform the DC test on the second semiconductor chip.

도 2에서는 하나의 DUT가 두 개의 반도체 칩을 테스트 할 수 있는 경우를 예로 들어 설명했으나 반도체 칩의 테스트 핀의 수가 적다면 2개 이상의 반도체 칩을 하나의 DUT를 이용하여 테스트 할 수 있을 것이다.In FIG. 2, a case in which one DUT can test two semiconductor chips has been described as an example. However, if the number of test pins of the semiconductor chip is small, two or more semiconductor chips may be tested using one DUT.

즉, 채널의 수 n인 경우 반도체 칩의 테스트 핀의 수가 n/m보다 작다면 한번에 테스트 할 수 있는 반도체 칩의 수는 m이 될 것이다. 물론 m 개의 스위치가 필요하다.That is, in the case of the number n of channels, if the number of test pins of the semiconductor chip is smaller than n / m, the number of semiconductor chips that can be tested at one time will be m. Of course you need m switches.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 병렬 테스트 확장 방법은 DUT(Device Under Test)의 n(n은 자연수) 개의 채널 중 전원 채널에 m(m은 n보다 작은 자연수) 개의 반도체 칩의 전원 핀을 공동으로 연결하여 한번에 테스트하는 반도체 칩을 m 배 증가시키는 방법이다.The parallel test extension method according to another embodiment of the present invention for achieving the technical problem is m (m is a natural number less than n) in the power channel of the n (n is a natural number) channels of the DUT (Device Under Test) It is a method of increasing the number of semiconductor chips tested at one time by jointly connecting the power pins of the chip.

반도체 칩의 테스트 핀의 수가 DUT의 채널의 수보다 적은 경우 복수개의 반도체 칩의 테스트 핀들을 하나의 DUT의 채널들에 연결하여 한번에 복수개의 반도체 칩을 테스트 할 수 있다.When the number of test pins of the semiconductor chip is smaller than the number of channels of the DUT, the test pins of the plurality of semiconductor chips may be connected to the channels of one DUT to test the plurality of semiconductor chips at once.

하나의 DUT가 m 개의 반도체 칩을 테스트한다면 테스트 시스템은 한번에 테스트 할 수 있는 반도체 칩의 수가 m 배로 늘어난다. DUT는 하나의 전원 채널만을 구비하므로 복수개의 반도체 칩들은 DUT의 전원 채널을 공유해야 한다. DUT의 전원 채널을 공유하는 방법은 스위치를 병렬로 연결하는 방법을 이용할 수 있다.If a DUT tests m semiconductor chips, the test system multiplies the number of semiconductor chips that can be tested at one time by m times. Since the DUT has only one power channel, the plurality of semiconductor chips must share the power channel of the DUT. The method of sharing the power channel of the DUT may use a method of connecting switches in parallel.

그리고, 직류 테스트를 수행하는 경우, 하나의 스위치만 연결하고 나머지 스위치는 차단하여 스위치가 연결된 반도체 칩에 대해서만 직류 테스트를 수행하고, 테스트가 끝나면 다음 반도체 칩에 연결된 스위치를 연결하여 직류 테스트를 수행한다.In case of performing the DC test, only one switch is connected and the other switches are cut off so that the DC test is performed only on the semiconductor chip to which the switch is connected. After the test, the DC test is performed by connecting the switch connected to the next semiconductor chip. .

상기 병렬 테스트 확장 방법은 도 2의 테스트 시스템의 동작에 대응되므로 상세한 설명은 생략한다.Since the parallel test extension method corresponds to the operation of the test system of FIG. 2, a detailed description thereof will be omitted.

이상에서와 같이 도면과 명세서에서 최적 실시예가 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.As described above, optimal embodiments have been disclosed in the drawings and the specification. Although specific terms have been used herein, they are used only for the purpose of describing the present invention and are not intended to limit the scope of the invention as defined in the claims or the claims. Therefore, those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 테스트 시스템 및 병렬 테스트 확장 방법은 동일한 테스트 시스템을 이용하면서도 한 번에 테스트 할 수 있는 반도체 칩의 수를 증가시킬 수 있는 장점이 있다.As described above, the test system and the parallel test extension method according to the present invention have an advantage of increasing the number of semiconductor chips that can be tested at one time while using the same test system.

Claims (8)

각각 n(n은 자연수) 개의 채널을 가진 복수개의 DUT(Device Under Test)들 ; 및A plurality of device under tests (DUTs) each having n channels (n is a natural number); And 상기 각각의 DUT의 전원 채널에 병렬로 연결된 제 1 내지 제 m(m은 n보다 작은 자연수) 스위치들을 구비하는 테스트 시스템에 있어서,A test system comprising first to mth switches (m is a natural number less than n) connected in parallel to a power channel of each DUT, 상기 각각의 DUT 는,Each DUT is 상기 제 1 내지 제 m 스위치를 통하여 m 개의 반도체 칩을 테스트 할 수 있는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템.A test system, characterized in that for testing the m semiconductor chips through the first to m-th switch. 제 1항에 있어서, 상기 테스트되는 m 개의 반도체 칩은 각각,The m chip of claim 1, wherein each of the m semiconductor chips to be tested is n/m(n/m은 자연수) 개의 테스트 핀을 구비하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템.and n / m (n / m is a natural number) test pins. 제 2항에 있어서, 상기 테스트되는 각각의 반도체 칩은,The semiconductor chip of claim 2, wherein each of the semiconductor chips to be tested is 테스트 핀 중 한 개의 전원 핀이 대응되는 상기 스위치를 통하여 대응되는 DUT 의 전원 채널에 연결되고, 나머지 테스트 핀은 대응되는 DUT의 나머지 채널에 연결되는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템.And a power pin of one of the test pins is connected to the power channel of the corresponding DUT through the corresponding switch, and the remaining test pins are connected to the remaining channels of the corresponding DUT. 제 1항에 있어서, 상기 DUT는,The method of claim 1, wherein the DUT, 직류 테스트의 경우, 상기 제 1 내지 제 m 스위치 중 하나만 연결하고 나머지 스위치는 차단하여 연결된 반도체 칩에 대해서만 직류 테스트를 수행하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템.In the case of the direct current test, only one of the first to m-th switches is connected, and the other switches are disconnected to perform a direct current test only on the connected semiconductor chip. 테스트 장치의 병렬 테스트 확장 방법에 있어서,In the parallel test expansion method of the test apparatus, DUT(Device Under Test)의 n(n은 자연수) 개의 채널 중 전원 채널에 m(m은 n보다 작은 자연수) 개의 반도체 칩의 전원 핀을 공동으로 연결하여 한번에 테스트하는 반도체 칩을 m 배 증가시키는 병렬 테스트 확장 방법.Parallel to increase the number of semiconductor chips tested at one time by jointly connecting the power pins of m (m is a natural number less than n) semiconductor chips to the power channel among the n (n is natural numbers) channels of the DUT (Device Under Test) Test extension method. 제 5항에 있어서, 상기 m 개의 반도체 칩은,The method of claim 5, wherein the m semiconductor chips, n/m(n/m은 자연수) 개의 테스트 핀을 구비하는 것을 특징으로 하는 병렬 테스트 확장 방법.and n / m (n / m is a natural number) test pins. 제 5항에 있어서, 상기 테스트되는 m 개의 반도체 칩은,The method of claim 5, wherein the m semiconductor chips to be tested, 각각의 전원 핀이 대응되는 스위치를 통하여 상기 DUT의 전원 채널에 연결되고, 나머지 테스트 핀은 상기 DUT의 나머지 채널에 연결되는 것을 특징으로 하는 병렬 테스트 확장 방법.Wherein each power pin is connected to a power channel of the DUT through a corresponding switch, and the remaining test pins are connected to the remaining channels of the DUT. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 직류 테스트의 경우, 하나의 스위치만 연결하고 나머지 스위치는 차단하여 스위치가 연결된 반도체 칩에 대해서만 직류 테스트를 수행하는 것을 특징으로 하는 병렬 테스트 확장 방법.In the case of the direct current test, only one switch is connected and the other switches are disconnected to perform the direct current test only on the semiconductor chip to which the switch is connected.
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