KR20040094358A - HIGH STRENGTH Fe-Ni-Co ALLOY FOR SHADOW MASK AND MANUFACTURING METHOD THEREOF - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: To improve falling strength of a Fe-Ni-Co alloy without addition of elements for high strengthening. CONSTITUTION: In a Fe-Ni-Co alloy that contains 30 to 35 mass% of Ni, 2 to 8 mass% of Co, 0.50 mass% or less of Mn, and the balance of Fe and inevitable impurities or accompanying elements including 0.10 mass% or less of C, 0.10 mass% or less of Si, 0.05 mass% or less of Al, 0.005 mass% or less of S and 0.005 mass% or less of P and is constructed in a rolling work structure, the high strength Fe-Ni-Co alloy for shadow mask is peculiar to that a recrystallization structure consisting of a grain size number of 9.5 or more is revealed when the Fe-Ni-Co alloy is annealed at 750 deg.C for 15 minutes, and a recrystallization structure consisting of a grain size number of 8.5 or more is revealed when the Fe-Ni-Co alloy is annealed at 850 deg.C for 15 minutes.

Description

섀도우 마스크용 고강도 Fe-Ni-Co 계 합금 및 그 제조방법{HIGH STRENGTH Fe-Ni-Co ALLOY FOR SHADOW MASK AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}High-strength Fe-Ni-CO-based alloy for shadow mask and its manufacturing method {HIGH STRENGTH FE-Ni-CO ALLOY FOR SHADOW MASK AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}

본 발명은, 섀도우 마스크의 전자선 투과 부분의 형상을 완전 플랫이 되도록 프레스했다고 하더라도 브라운관에 장착된 상태에서의 낙하 충격에 의한 내변형성이 우수하고, 또한 도밍(Doming)현상이 발생하지 않는 저열팽창을 유지할 수 있는 플랫 마스크용 합금 박대(薄帶)에 관한 것으로, 소둔 연화 특성을 제어하는 것에 의해 내낙하충격 변형성을 향상시키고, 또 저열팽창성을 유지하는 상기 플랫 마스크용 Fe-Ni-Co 계 합금 박대에 관한 것이다.According to the present invention, even if the shape of the electron beam transmitting portion of the shadow mask is pressed to be completely flat, it is excellent in deformation resistance due to drop impact in the state of being mounted on the CRT and low thermal expansion in which doming does not occur. The present invention relates to an alloy thin ribbon for a flat mask that can be maintained, wherein the Fe-Ni-Co alloy thin ribbon for the flat mask improves the drop impact deformation resistance by controlling the annealing softening characteristics and maintains low thermal expansion. It is about.

컬러 브라운관에서는, 전자총에서 쏜 전자빔을 유리 패널의 내측의 형광체에 닿게 함으로써 화면을 표시한다. 전자빔의 방향을 자력에 의해 제어하는 것이 편향 요크(Deflection Yoke)이다. 유리 패널의 바로 앞에는 전자빔이 소정의 형광체(phosphor)에 닿도록 화소 단위로 구분하는 기구가 형성되어 있으며, 이러한 기구를 마스크 또는 색선별 기구라고 한다. 컬러 브라운관용 마스크는 마스크 소재를 도트형상 또는 슬롯형상으로 에칭 가공한 후 프레스 성형하는 섀도우 마스크 방식과, 격자(簾)형상으로 에칭 후 틀재에 상하로 강한 인장력을 가하여 가장(架張)하는 애퍼추어그릴 (Aperture-grille) 방식으로 대별된다. 각각의 방식은 일장 일단이 있어, 양쪽 방식 모두 시장에서 사용되고 있다.In a color CRT, a screen is displayed by making the electron beam shot from the electron gun touch the fluorescent substance inside a glass panel. It is the deflection yoke that controls the direction of the electron beam by magnetic force. In front of the glass panel, a mechanism for dividing the electron beam into pixels so as to contact a predetermined phosphor is formed. Such a mechanism is called a mask or a color screening mechanism. The mask for a color CRT tube is a shadow mask method for etching a mask material into a dot shape or a slot shape and then press-molding, and an aperture that is applied by applying a strong tensile force up and down to the frame material after etching in a lattice shape. It is roughly classified as an aperture-grille method. Each method has one set, and both methods are used in the market.

그런데, 표시 화면을 평탄하게 하는 플랫 화면의 개발을 목표로 많은 시도가 이루어져 왔다. 여기서 플랫 화면이란, 종래의 구면 표시 화면이 거의 완전에 가까운 평면 형태를 갖는 것이다. 브라운관의 화면을 평탄하게 하고자 할 때 큰 문제가 되는 것 중 하나가, 섀도우 마스크나 애퍼추어그릴을 어떻게 해서 평탄에 가깝게 하는가이다. 각각 난제를 안고 있지만, 프레스에 의해 섀도우 마스크의 표면을 평탄에 가깝게 하는 것은, 애퍼추어그릴과 같은 가장(架張) 방식의 것보다도 기본적으로 어렵다고 되어 있다 (예를 들어, NIKKEI ECTRONICS., 1999.7.26 (No.748) 128 페이지).However, many attempts have been made to develop flat screens for flattening the display screen. Herein, the flat screen is a conventional spherical display screen having a flat shape that is almost completely. One of the big problems when trying to flatten a CRT's screen is how to use shadow masks or aperture grilles to get flat. Although each faced a challenge, making the surface of the shadow mask close to flat by pressing is basically more difficult than that of the most advanced method such as Aperture Grill (eg, NIKKEI ECTRONICS., 1999.7. 26 (No.748) p. 128).

이는, 섀도우 마스크는 금속 시트를 프레스 성형하여 제조하기 때문에 가장 방식과 달리 자기 보형력(自己保形力)에 의해 형상을 유지할 필요가 있어, 기본적으로는 구형이 아니면 형상 유지를 할 수 없기 때문이다. 한편, 플랫 마스크는 마스크를 거의 평탄하게 하기 때문에 형상 유지가 곤란하다. 이것을 해결하기 위해서는, 마스크의 강도를 높이는 것 외에 방법이 없다. 여기서 말하는 「마스크 강도」란, 일반적인 금속의 강도 (예를 들어 인장 시험에 의한 강도) 의 의미와는 달리, 브라운관을 조립한 후, 브라운관 전체에 충격을 부여하여 마스크의 변형이 일어나는지 여부이다. 구체적으로는, 브라운관을 일정 높이에서 낙하시켜, 마스크가 변형하는지 여부를 시험한다. 이러한 충격 변형에 대하여 강한,즉 내낙하충격 변형성 (이하, 낙하 강도라고 한다) 을 향상시킨 마스크의 개발이 플랫관에는 필요하다.This is because, since the shadow mask is manufactured by press-molding a metal sheet, it is necessary to maintain the shape by self-holding force unlike the most method, and basically, the shape cannot be maintained unless it is spherical. . On the other hand, since the flat mask makes the mask almost flat, it is difficult to maintain the shape. In order to solve this problem, there is no method other than increasing the strength of the mask. Unlike the meaning of the strength of a general metal (for example, strength by a tensile test), the term "mask strength" refers to whether or not deformation of the mask occurs by imparting the entire CRT after the CRT is assembled. Specifically, the CRT is dropped at a certain height to test whether the mask is deformed. It is necessary for flat tubes to develop a mask that is strong against such impact deformation, that is, improved drop resistance (hereinafter referred to as drop strength).

또한, 플랫관에는 우수한 도밍 특성이 요구된다. 요컨대, 마스크가 구면에서 플랫으로 되는 것에 따라서, 마스크의 네 모서리에서의 전자총으로부터 방출된 전자빔의 입사각이 예각이 된다. 즉 이것은, 마스크가 열팽창에 의해 미소하게 어긋나는 것만으로 전자빔이 잘못 충돌하여, 색편차 폐해가 발생할 문제가 있다는 것을 의미한다. 이것에 의해, 열팽창이 종래의 마스크보다 현격하게 낮은 저열팽창 마스크의 개발이 필요하다.In addition, the flat tube is required to have excellent doming characteristics. In short, as the mask becomes flat in the spherical surface, the angle of incidence of the electron beam emitted from the electron gun at the four corners of the mask becomes an acute angle. In other words, this means that the electron beam collides erroneously only by a slight misalignment of the mask due to thermal expansion, thereby causing a color deviation problem. This requires the development of a low thermal expansion mask that is significantly lower in thermal expansion than a conventional mask.

플랫 마스크를 대상으로 한 것은 아니지만, 열팽창 특성이나 내충격성을 개선하려는 시도로서 일본 특허 제 2723718 호에서는, 2∼7질량% 의 Co 를 함유하는 Fe-Ni-Co 계 합금 (Super Invar) 을 섀도우 마스크로 함으로써 열팽창 계수를 저하시키는 것이 제안되어 있다. 그러나, Co 를 2∼7질량% 함유시키는 것만으로는 프레스전에 어닐링 처리를 실시한 후의 마스크를 플랫으로 한 경우의 낙하 충격에 견딜 수 없었다. 또한, 일본 특허 제 1854642 호에서는, Ni 가 34∼38질량% 인 Fe-Ni 계 합금에 Ti, Zr, B, Mo, Nb, N, P 및 Cu 중 1 종 또는 2 종 이상을 합계로 0.01∼1.0질량% 함유시킴으로써 조립시의 충격으로 좌굴(座屈, buckling)이 일어나는 것을 방지하는 것이 제안되어 있으나, 열팽창 계수가 10×10-7/℃ 를 초과하고 있어, 마스크를 플랫으로 한 경우의 색편차를 억제한다는 관점에서는 만족할 만한 것이 아니었다.Although not intended as a flat mask, in an attempt to improve thermal expansion characteristics and impact resistance, Japanese Patent No. 2723718 discloses a shadow mask using a Fe-Ni-Co-based alloy (Super Invar) containing 2 to 7% by mass of Co. It is proposed to lower the coefficient of thermal expansion by However, only by containing 2-7 mass% of Co could not bear the drop impact when the mask after performing an annealing process before press was flat. In addition, in Japanese Patent No. 1854642, one or two or more of Ti, Zr, B, Mo, Nb, N, P, and Cu are 0.01 to a total of Fe-Ni alloy having Ni of 34 to 38 mass%. Although it is proposed to contain 1.0 mass% to prevent buckling due to the impact at the time of granulation, the coefficient of thermal expansion exceeds 10 × 10 −7 / ° C. and the color when the mask is made flat. It was not satisfactory from the standpoint of suppressing the deviation.

섀도우 마스크 소재는, 소정 조성의 합금 재료를 예를 들면 진공 유도 용해로 (VIM 노(爐)) 에서 용제 후, 잉곳으로 주조하고, 단조 후에 열간 압연 및 냉간 압연하며, 그 후 광휘 소둔(Bright Annealing)과 냉간 압연을 반복하고, 마지막으로 0.05∼0.3㎜ 범위의 소정 두께까지 덜 가공(dull finishing)한 압연롤에 의한 최종 냉간 압연이 실시된다. 에칭 가공에 의해 제조되는 각종 섀도우 마스크재의 판두께는 0.05∼0.30㎜ 가 일반적이며, 특히 프레스 성형형의 플랫 마스크에는 판두께 0.1∼0.13㎜ 의 재료가 사용되고 있다. 그 후, 슬릿하여 소정의 판폭으로 하여 섀도우 마스크용 소재를 얻는다. 섀도우 마스크용 소재는, 탈지 후, 포토레지스트를 양면에 도포하여 패턴을 베이킹(프린팅)하여 현상한 후, 에칭 천공 가공되고, 개개로 절단되어 섀도우 마스크 소재 유닛이 된다.The shadow mask material is obtained by casting an alloy material of a predetermined composition into a ingot after solvent in a vacuum induction melting furnace (VIM furnace), for example, hot rolling and cold rolling after forging, and then bright annealing. And cold rolling are repeated, and finally cold rolling is carried out by a rolling roll which is less dull to a predetermined thickness in the range of 0.05 to 0.3 mm. As for the plate | board thickness of the various shadow mask materials manufactured by an etching process, 0.05-0.30 mm is common, The material of plate | board thickness 0.1-0.13 mm is used especially for the press mask type flat mask. Subsequently, the material for shadow mask is obtained by slitting to a predetermined plate width. After degreasing, the shadow mask material is coated with photoresist on both sides, baked (printed), developed, and then etched and processed, and then individually cut to form a shadow mask material unit.

섀도우 마스크 소재 유닛은, 비산화성 분위기, 예를 들어 환원성 분위기 중에 있어서 700℃ 이상의 온도에서 어닐링되고 프레스 성형성이 부여된다. 프리 어닐링법에서는, 상기 소둔이 에칭전에 최종 냉간 압연재에 대하여 실시된다. 레벨러 가공을 거친 후, 프레스에 의해 플랫 마스크 형태로 성형된다.The shadow mask material unit is annealed at a temperature of 700 ° C. or higher in a non-oxidizing atmosphere, for example, a reducing atmosphere, and endowed with press formability. In the pre-annealing method, the annealing is performed on the final cold rolled material before etching. After the leveler processing, it is molded into a flat mask by pressing.

그리고 마지막으로 프레스 성형된 플랫 마스크는, 탈지 후, 대기 또는 CO/CO2가스 분위기 중에서 흑화 처리가 실시되어 표면에 흑색 산화막이 형성된다. 본 발명의 프레스 성형형 「플랫 마스크」는 예를 들어, 외면 곡률 반경 R: 100,000㎜ 이상 그리고 평면도 (화면 곡면부의 최대 높이/유효 화면 대각 치수): 0.1% 이하의 거의 완전에 가까운 평면 형태를 갖는 것이다.Finally, the flat mask press-molded is subjected to a blackening treatment in the air or a CO / CO 2 gas atmosphere after degreasing to form a black oxide film on the surface. The press-molded "flat mask" of the present invention has an almost complete planar shape, for example, having an outer surface curvature radius R of 100,000 mm or more and a plan view (maximum height / effective screen diagonal dimension of the screen curved portion) of 0.1% or less. will be.

본 발명은, 고강도화를 위한 원소를 첨가하지 않고서 Fe-Ni-Co 계 합금의 낙하 강도를 향상시키는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to improve the drop strength of a Fe—Ni—Co alloy without adding an element for high strength.

발명자들은, 이 과제를 해결하기 위해 예의 연구를 거듭한 결과, 섀도우 마스크의 낙하 강도가 그 내력(耐力, proof stress)과 매우 양호한 상관을 갖는 것을 발견하였다. 그리고 프레스 성형전의 어닐링을 실시한 후에, 높은 내력을 얻을 수 있도록 Fe-Ni-Co 계 합금을 최적화하고, 동시에 이를 위한 제조 방법을 밝혔다.As a result of intensive studies to solve this problem, the inventors have found that the drop strength of the shadow mask has a very good correlation with the proof stress. After annealing before press molding, Fe-Ni-Co-based alloys were optimized to obtain high yield strength, and at the same time, a manufacturing method for the same was disclosed.

요컨대, 본 발명은In short, the present invention

(1) Ni: 30∼35질량%, Co: 2∼8질량%, Mn: 0.50질량% 이하를 함유하고, 잔부가 Fe 및 불가피한 불순물 또는 수반 원소(단 C: 0.10질량% 이하, Si: 0.10질량% 이하, Al: 0.05질량% 이하, S: 0.005질량% 이하, P: 0.005질량% 이하)로 이루어지고, 압연 가공 조직으로 구성되는 Fe-Ni-Co 계 합금으로, 750℃, 15분의 소둔을 실시했을 때에 결정 입도 번호가 9.5 이상인 재결정 조직이 발현되고, 또 850℃, 15분의 소둔을 실시했을 때에 결정 입도 번호가 8.5 이상인 재결정 조직이 발현되는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크용 고강도 Fe-Ni-Co 계 합금,(1) Ni: 30-35 mass%, Co: 2-8 mass%, Mn: 0.50 mass% or less, and remainder Fe and an unavoidable impurity or accompanying element (C: 0.10 mass% or less, Si: 0.10) Mass% or less, Al: 0.05% or less, S: 0.005% or less by mass, P: 0.005% or less by mass), and a Fe-Ni-Co-based alloy composed of a rolled structure. When the annealing is performed, recrystallized tissue having a crystal grain size number of 9.5 or more is expressed, and when the annealing is performed at 850 ° C. for 15 minutes, the recrystallized tissue having a crystal grain size number of 8.5 or more is expressed. Ni-Co alloy,

(2) 인장 강도가 630MPa 이상인 것을 특징으로 하는 상기 (1) 에 기재된 섀도우 마스크용 고강도 Fe-Ni-Co 계 합금,(2) a high strength Fe-Ni-Co-based alloy for shadow mask according to the above (1), wherein the tensile strength is 630 MPa or more;

(3) 슬래브를 열간 압연하고, 냉간 압연과 재결정 소둔을 반복한 후, 마지막으로 냉간 압연을 실시하는 공정에 의해 제조되고, 최종 냉간 압연전의 소둔에서결정 입도 번호를 8.0 이상으로 조정하고, 최종 냉간 압연의 가공도를 30% 이상으로 하는 것을 특징으로 하는 상기 (1) 및 (2) 의 섀도우 마스크용 고강도 Fe-Ni-Co 계 합금의 제조 방법.(3) The slab is hot rolled, cold rolling and recrystallization annealing is repeated, and finally manufactured by the process of cold rolling, the crystal grain size number is adjusted to 8.0 or more in annealing before final cold rolling, and final cold The workability of rolling shall be 30% or more, The manufacturing method of the high strength Fe-Ni-Co-type alloy for shadow masks of said (1) and (2).

(4) 슬래브를 열간 압연하고, 냉간 압연과 재결정 소둔을 반복한 후, 마지막으로 냉간 압연을 실시하는 공정에 의해 제조되고, 최종 냉간 압연전의 소둔에서 결정 입도 번호를 8.0 이상으로 조정하고, 최종 냉간 압연의 가공도를 50% 이상으로 하는 것을 특징으로 하는 상기 (1) 및 (2) 의 섀도우 마스크용 고강도 Fe-Ni-Co 계 합금의 제조 방법.(4) The slab is hot rolled, cold rolled and recrystallized annealing is repeated, and finally, it is manufactured by the process of performing cold rolling, and the crystal grain size number is adjusted to 8.0 or more by annealing before final cold rolling, and final cold The workability of rolling shall be 50% or more, The manufacturing method of the high strength Fe-Ni-Co-type alloy for shadow masks of said (1) and (2) characterized by the above-mentioned.

(5) 최종 냉간 압연전의 소둔에서, (200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율을 90% 이하로 조정하는 것을 특징으로 하는 상기 (3) 및 (4) 의 섀도우 마스크용 고강도 Fe-Ni-Co 계 합금의 제조 방법,(5) The high-strength Fe-Ni-Co system for shadow masks of (3) and (4) above, characterized in that the (200) plane X-ray diffraction intensity composition ratio is adjusted to 90% or less during annealing before final cold rolling. Manufacturing method of alloy,

에 관한 것이다.It is about.

발명의 실시형태Embodiment of the invention

이하에 본 발명의 한정 이유를 서술한다.The reason for limitation of this invention is described below.

(1) Ni, Co 에 대해서(1) About Ni and Co

본 발명에 있어서의 Fe-Ni-Co 계 합금조의 Ni 함유량은 30∼35질량% 의 범위이다. 또한, Co 함유량은 2∼8질량% 의 범위이다.Ni content of the Fe-Ni-Co system alloy bath in this invention is 30-35 mass%. Moreover, Co content is the range of 2-8 mass%.

Ni 함유량이 30질량% 미만 또는 35질량% 를 초과하면, 열팽창 계수가 커져 섀도우 마스크용으로 부적당하다.When Ni content is less than 30 mass% or more than 35 mass%, a thermal expansion coefficient will become large and it is unsuitable for shadow masks.

Co 는 열팽창을 저하시키면서 동시에 재결정후의 내력의 향상에도 기여한다.이 때문에 2질량% 이상 첨가시킬 필요가 있으나, 첨가량이 8질량% 를 초과하면 자기 특성을 악화시키기 때문에, 2∼8질량% 의 범위에서 첨가된다.Co reduces the thermal expansion and at the same time contributes to the improvement of the yield strength after recrystallization. For this reason, it is necessary to add 2 mass% or more, but when the amount exceeds 8 mass%, the magnetic properties deteriorate, so the range of 2 to 8 mass% Is added.

(2) Mn, 불순물 및 수반 원소에 대해서(2) Mn, impurities and accompanying elements

a) C 함유량a) C content

C 가 0.10질량% 를 초과하면, 탄화물의 생성에 의해 에칭 천공성이 저해되어 합금조가 섀도우 마스크용 소조(素條)로서 적합하지 않게 된다. 따라서, C 함유량의 상한을 0.10질량% 로 정하였다.When C exceeds 0.10 mass%, etching permeability is impaired by formation of carbides, and an alloy bath becomes unsuitable as a shadow bath for shadow mask. Therefore, the upper limit of C content was set to 0.10 mass%.

b) Si 함유량b) Si content

Si 가 0.10질량% 를 초과하면, 합금 소조는 그 에칭 천공성이 저해되기 때문에 섀도우 마스크용 소조로서 적합하지 않게 된다. 따라서, Si 함유량의 상한을 0.10질량% 로 정하였다.When Si exceeds 0.10 mass%, the alloy casting is not suitable as a shadow mask casting because the etching permeability is impaired. Therefore, the upper limit of Si content was set to 0.10 mass%.

c) Al 함유량c) Al content

Al 이 0.05질량% 를 초과하면, 알루미나계의 개재물의 형성이 현저해져 합금조의 에칭 천공성이 저해된다. 따라서, Al 함유량의 상한을 0.05질량% 로 정하였다.When Al exceeds 0.05 mass%, formation of an alumina type interference | inclusion becomes remarkable and the etching permeability of an alloy bath is impaired. Therefore, the upper limit of Al content was set to 0.05 mass%.

d) Mn 함유량d) Mn content

Mn 은 열간 가공성을 저해하는 S 를 무해화하기 위해서 철계 합금에 함유되어 있다. 그 함유량이 적으면 충분한 효과를 얻을 수 없다. 그러나, 0.5질량% 를 초과하면, 합금조가 경(硬)하게 되어 그 가공성이 떨어지게 된다. 따라서, Mn 함유량의 상한을 0.5질량% 로 정하였다. 바람직하게는, 0.05∼0.5질량%의 범위의 첨가가 권장된다.Mn is contained in the iron-based alloy in order to make S harmless to hot workability. If the content is small, sufficient effect cannot be obtained. However, when exceeding 0.5 mass%, an alloy bath will harden and the workability will fall. Therefore, the upper limit of Mn content was set to 0.5 mass%. Preferably, addition in the range of 0.05 to 0.5 mass% is recommended.

e) S 함유량e) S content

S 는, 0.005질량% 를 초과하면 소조의 열간 가공성을 현저히 저해한다. 따라서, S 함유량의 상한을 0.005질량% 로 정하였다.When S exceeds 0.005 mass%, the hot workability of a bath is remarkably inhibited. Therefore, the upper limit of S content was set to 0.005 mass%.

f) P 함유량f) P content

P 는, 0.005질량% 를 초과하면, 합금조는 그 에칭 천공성이 저해되어 섀도우 마스크용 소조로서 적합하지 않게 된다. 따라서, P 함유량의 상한을 0.005질량% 로 정하였다.When P exceeds 0.005 mass%, the alloy bath will inhibit the etching permeability and will become unsuitable as the shadow mask casting tank. Therefore, the upper limit of P content was set to 0.005 mass%.

(3) 재결정 특성에 대해서(3) Recrystallization characteristics

낙하 강도는 섀도우 마스크 상태에서의 내력과 상관을 갖기 때문에, 프레스 성형전에 700∼950℃ 의 어닐링 처리를 실시한 후의 내력이 높을 것이 요구된다. 원하는 내력을 발현하기 위해서는, 750℃, 15분의 소둔을 실시했을 때에 결정 입도 번호가 9.5 이상인 재결정 조직이 발생하고, 또 850℃, 15분의 소둔을 실시했을 때에 결정 입도 번호가 8.5 이상인 재결정 조직이 발생하는 Fe-Ni-Co 계 합금이어야 하고, 재결정 특성이 이 규정에서 벗어나는 경우에는 섀도우 마스크로서 충분한 낙하 강도가 얻어지지 않는다.Since the drop strength has a correlation with the proof strength in the shadow mask state, it is required to have a high yield strength after performing annealing treatment at 700 to 950 ° C before press molding. In order to express the desired strength, when the annealing of 750 degreeC and 15 minutes is carried out, the recrystallized structure whose crystal grain size number is 9.5 or more generate | occur | produces, and when the annealing of 850 degreeC and 15 minutes is carried out, the recrystallized structure whose crystal grain size number is 8.5 or more This should be a Fe-Ni-Co-based alloy to be generated, and when the recrystallization characteristic deviates from this specification, sufficient drop strength as a shadow mask is not obtained.

(4) 인장 강도에 대해서(4) About tensile strength

재결정 특성은 소재 (최종 압연을 마친 것) 의 인장 강도와 상관을 갖는다. 인장 강도가 630MPa 이상이면, 상기한 재결정 특성을 얻을 수 있다.The recrystallization characteristics correlate with the tensile strength of the material (finished final rolling). If the tensile strength is 630 MPa or more, the recrystallization characteristics described above can be obtained.

(5) 최종 압연전의 소둔 및 최종 압연 가공도에 대해서(5) About annealing before final rolling and final rolling work

본 발명에서는, 최종 압연전의 소둔에 있어서의 결정립 미세화와 최종 압연 공정의 강(强)가공에 의해 Fe-Ni-Co 계 합금에 상기한 재결정 특성을 부여한다. 즉, 최종 압연전의 소둔에서 얻어지는 결정 입도 번호가 8.0 이상인 미세립의 상태에서 가공도 30% 이상의 강가공 압연을 실시하면 원하는 재결정 특성을 얻을 수 있다. 최종 압연 공정의 가공도가 30% 미만인 경우에서는 원하는 재결정 특성을 얻을 수 없다. 따라서 본 발명에서는 최종 압연전의 소둔에서 얻어지는 결정 입도 번호를 8.0 이상, 최종 압연 공정의 가공도를 30% 이상으로 규정한다. 보다 바람직한 최종 압연 가공도는 50% 이상이다.In the present invention, the above-described recrystallization characteristics are imparted to the Fe—Ni—Co alloy by crystal grain refinement during annealing before final rolling and steel processing in the final rolling process. That is, the desired recrystallization characteristic can be obtained by performing steelwork rolling of 30% or more of workability in the state of the fine grain whose crystal grain size number obtained by annealing before final rolling is 8.0 or more. If the workability of the final rolling process is less than 30%, the desired recrystallization characteristics cannot be obtained. Therefore, in this invention, crystal grain size number obtained by annealing before final rolling is prescribed | regulated as 8.0 or more, and the workability of a final rolling process is 30% or more. More preferable final rolling workability is 50% or more.

결정 입도 번호는, JIS G 0551 에 규정되어 있는 방법에 준거하여 측정한다. 또한, 압연 가공도 (R) 는 다음의 식에 의해 정의된다.The crystal grain size number is measured in accordance with the method specified in JIS G 0551. In addition, rolling work degree (R) is defined by the following formula.

R = {(t0-t)/t0}×100%R = {(t 0 -t) / t 0 } × 100%

여기서, t: 압연후의 두께, t0: 압연전의 두께Where t is the thickness after rolling and t 0 is the thickness before rolling

(6) 최종 압연전의 소둔에 있어서의 (200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율에 대해서(6) About (200) plane X-ray diffraction intensity component ratio in annealing before final rolling

본 발명에서는, 최종 압연전의 소둔에 있어서 (200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율을 90% 이하로 조정한다. (200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율은 하기의 식에 의해 정의된다.In this invention, in the annealing before final rolling, the (200) plane X-ray diffraction intensity component ratio is adjusted to 90% or less. The (200) plane X-ray diffraction intensity component ratio is defined by the following equation.

(200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율 = I200/(I111+I200+I220+I311)×100(%)(200) Plane X-ray diffraction intensity composition ratio = I 200 / (I 111 + I 200 + I 220 + I 311 ) x 100 (%)

상기 식에서, Ihkl은 (hkl) 격자면의 X 선 회절 강도를 나타낸다. 최종압연전의 소둔에 있어서의 (200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율은, 최종 압연재의 특성에 영향을 미친다. 즉, (200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율이 90% 를 초과하면 가공 경화능이 저하된다. 이 때문에, (200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율이 90% 를 초과하면, 최종 압연에서 강가공을 실시하여도 인장 강도가 낮아진다. 인장 강도는 재결정 특성과 상관이 있기 때문에, 인장 강도가 저하되면 원하는 재결정 특성이 얻어지지 않게 된다. 따라서, (200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율은 90% 이하로 조정한다.In the above formula, I hkl represents the X-ray diffraction intensity of the (hkl) lattice plane. The (200) plane X-ray diffraction intensity component ratio in the annealing before final rolling affects the properties of the final rolled material. That is, when the (200) plane X-ray diffraction intensity component ratio exceeds 90%, work hardenability decreases. For this reason, when (200) plane X-ray-diffraction intensity composition ratio exceeds 90%, tensile strength will become low even if steel processing is performed by final rolling. Since the tensile strength correlates with the recrystallization property, when the tensile strength decreases, the desired recrystallization property is not obtained. Therefore, the (200) plane X-ray diffraction intensity component ratio is adjusted to 90% or less.

(200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율의 정의에는, 회절 격자면으로서 (111) 면, (200) 면, (220) 면 및 (311) 면을 포함하고 있다. 이는 이들 4 개의 회절 격자면이, 본 발명에서 대상으로 하는 Fe-Ni-Co 계 합금의 주요한 회절 격자면인 것에 따른 것이다.The definition of the (200) plane X-ray diffraction intensity component ratio includes the (111) plane, the (200) plane, the (220) plane, and the (311) plane as the diffraction grating plane. This is because these four diffraction grating planes are the main diffraction grating planes of the Fe-Ni-Co-based alloy targeted in the present invention.

X 선 회절 강도 (cps) 는, 일반적으로 사용되고 있는 X 선 회절 분석기 (diffractometer) 로 측정한다. 관구(管球)는 Co 관구를 사용한다. X 선 회절 강도 (cps) 의 측정에는, 피크의 높이를 구하는 방법과 피크의 적분치를 구하는 방법이 있다. 본 발명에서는 피크의 적분치를 구한다.X-ray diffraction intensity (cps) is measured by the commonly used X-ray diffractometer. The tube uses Co tube. The measurement of the X-ray diffraction intensity (cps) includes a method of determining the height of the peak and a method of determining the integral value of the peak. In this invention, the integral value of a peak is calculated | required.

(실시예)(Example)

실시예에 나타내는 섀도우 마스크재의 제조에 있어서는, 우선 소정 화학 조성의 슬래브를 조제하고, 열간 압연을 실시하고, 표면의 산화 스케일을 제거하여, 두께 3㎜ 의 판을 얻었다. 여기서 불순물 농도에 대해서는, C: 0.10질량% 이하, Si: 0.10질량% 이하, Al: 0.05질량% 이하, S: 0.005질량% 이하, P: 0.005질량%이하를 만족하고, 실시예 및 비교예 모두 Ni: 31∼33질량%, Co: 4.5∼5.5질량%, Mn: 0.2∼0.4질량% 의 범위로 조성을 조정하였다. 또한, Nb 등의 강화 원소는 첨가하고 있지 않고, 예를 들어 Nb 의 분석치는 0.01질량% 미만이었다.In manufacture of the shadow mask material shown in the Example, the slab of a predetermined chemical composition was prepared first, hot rolling was performed, the oxidation scale of the surface was removed, and the board of thickness 3mm was obtained. Herein, the impurity concentration satisfies C: 0.10% by mass or less, Si: 0.10% by mass or less, Al: 0.05% by mass or less, S: 0.005% by mass or less, and P: 0.005% by mass or less. Both Examples and Comparative Examples were satisfied. The composition was adjusted in the range of 31-33 mass% of Ni, 4.5-5.5 mass% of Co, and 0.2-0.4 mass% of Mn. In addition, reinforcing elements, such as Nb, were not added, For example, the analytical value of Nb was less than 0.01 mass%.

얻어진 두께 3㎜ 의 열간 압연판을 다음의 공정에서 가공하여, 두께 0.12㎜ 의 제품으로 하였다.The obtained hot rolled sheet having a thickness of 3 mm was processed in the next step to obtain a product having a thickness of 0.12 mm.

열간 압연판 →소압연(素壓延) →중간 소둔 →중간 압연 →최종 압연전의 소둔 →최종 압연Hot rolled sheet → Annealing → Middle annealing → Middle rolling → Annealing before final rolling → Final rolling

여기서, 소둔은 모두 재결정 소둔이고, 열간 압연이외의 압연은 모두 냉간 압연이다. 각 공정에서의 가공 조건 또는 목표 품질을 다음에 나타낸다.Here, all the annealing is recrystallization annealing, and all the rolling other than hot rolling is cold rolling. The processing conditions or the target quality in each process are as follows.

(1) 소압연(1) small rolling

중간 압연 가공도, 최종 압연 가공도 및 제품의 판두께로부터 역산하여, 소압연에서 마무리하는 판두께를 설정하였다.The plate | board thickness which finishes by the small rolling was set inversely from the intermediate rolling process degree, the final rolling process degree, and the plate | board thickness of a product.

(2) 중간 소둔 및 중간 압연(2) intermediate annealing and intermediate rolling

최종 압연전의 소둔에 있어서 소정의 (200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율(%) 을 얻기 위해서는, 중간 소둔에서의 결정 입도 번호와 중간 압연에서의 가공도를 소정의 것으로 설정해야 한다. 본 발명예에서는, 중간 소둔에서의 결정 입도 번호를 8.0 으로, 중간 압연의 가공도를 72% 로 설정하였다.In order to obtain a predetermined (200) plane X-ray diffraction intensity composition ratio (%) in the annealing before the final rolling, the crystal grain size number in the intermediate annealing and the workability in the intermediate rolling must be set to a predetermined one. In the example of this invention, the crystal grain size number in the intermediate annealing was set to 8.0, and the workability of the intermediate rolling was set to 72%.

(3) 최종 압연전의 소둔(3) annealing before final rolling

소둔 온도와 소둔 시간을 제어하여, 본 발명예에서는 결정 입도 번호가 9.0 인 소둔재를 얻었다.The annealing temperature and the annealing time were controlled to obtain an annealing material having a crystal grain size number of 9.0 in the example of the present invention.

(4) 최종 압연(4) final rolling

판두께를 0.12㎜ 로 압연하여 제품으로 하였다.The plate thickness was rolled to 0.12 mm to make a product.

[표 1]TABLE 1

표 1 에 발명예 및 비교예의 특성을 나타낸다.Table 1 shows the characteristics of the invention example and the comparative example.

표 1 에 있어서의 최종 압연전 소둔 (200) 면 강도는, 최종 압연전의 소둔을마친 상태에서 측정한 (200) 면 회절 X 선 강도의 구성 비율 (%) 로서, 다음 식에 의해 구하였다.The surface strength before final rolling annealing (200) in Table 1 was calculated | required by the following formula as a composition ratio (%) of (200) surface diffraction X-ray intensity measured in the state which finished annealing before final rolling.

(200) 면 회절 X 선 강도 구성 비율 = I200/(I111+I200+I220+I311)×100(%)(200) Plane diffraction X-ray intensity composition ratio = I 200 / (I 111 + I 200 + I 220 + I 311 ) x 100 (%)

여기서, Ihkl은 (hkl) 격자면의 X 선 회절 강도를 나타낸다. 회절 X 선의 강도 (cps) 는, X 선 회절 분석기로 측정하였다. 관구는 Co 관구를 사용하였다. 회절 X 선 강도 (cps) 의 측정에서는 피크의 적분치를 구하였다. 측정 시료의 전처리로서 표층을 화학 연마 (에칭) 에 의해 제거하였다. 표층을 제거하는 것은, 표면에 형성되어 있는 변질층의 영향을 없애기 위해서이다. 제거량은 판두께의 5% 분(分)으로 하였다. 5% 의 제거량은, 판두께 내부의 (200) 강도의 분포를 확인한 다음에 설정한 것이다.Here, I hkl represents the X-ray diffraction intensity of the (hkl) lattice plane. The intensity (cps) of diffraction X-rays was measured by an X-ray diffraction analyzer. As the district, Co district was used. In the measurement of diffraction X-ray intensity (cps), the integrated value of the peaks was determined. As a pretreatment of the measurement sample, the surface layer was removed by chemical polishing (etching). The surface layer is removed in order to remove the influence of the deteriorated layer formed on the surface. The amount removed was 5% of the plate thickness. The removal amount of 5% is set after confirming the distribution of the (200) strength inside the plate thickness.

소둔전의 인장 강도는, 0.12㎜ 두께 제품의 인장 강도 (MPa) 를 나타낸다. 제품 결정 입도 (750℃) 는, 0.12㎜ 두께 제품의 가열 시험 (750℃×15분간: 비산화성 분위기) 후의 결정 입도를 나타낸다. 제품 결정 입도 (850℃) 는, 0.12㎜ 두께 제품의 가열 시험 (850℃×15분간: 비산화성 분위기) 후의 결정 입도를 나타낸다. 어닐링후 내력은, 섀도우 마스크를 프레스 성형하기 전에 실시하는 어닐링을 상정(想定)한 열처리 (8% H2-N2, 이슬점 0℃, 800℃×15분) 를 0.12㎜ 두께 제품에 실시한 후의 0.2% 내력 (MPa) 이다.The tensile strength before annealing represents the tensile strength (MPa) of a 0.12 mm thick product. A product crystal grain size (750 degreeC) shows the crystal grain size after the heating test (750 degreeC x 15 minutes: non-oxidizing atmosphere) of a 0.12 mm-thick product. A product crystal grain size (850 degreeC) shows the crystal grain size after the heating test (850 degreeC x 15 minutes: non-oxidizing atmosphere) of a 0.12 mm-thick product. The annealing strength after annealing is 0.2 after a 0.12 mm thick product is subjected to heat treatment (8% H 2 -N 2 , dew point 0 ° C., 800 ° C. × 15 minutes) assuming annealing performed before press molding the shadow mask. % Yield strength (MPa).

발명예 No.1∼5 에 대해서는, 제품 결정 입도 (750℃) 가 9.5 이상, 또 제품 결정 입도 (850℃) 가 8.5 이상으로, 프레스 성형전의 어닐링을 상정한 열처리후의내력이 높다.Inventive Examples Nos. 1 to 5 have a product crystal grain size (750 ° C.) of 9.5 or more, and a product crystal grain size (850 ° C.) of 8.5 or more, and have a high strength after heat treatment assuming annealing before press molding.

한편 비교예 1 은, 중간 압연 가공도가 78% 로 높기 때문에, 최종 압연전의 소둔에 있어서의 (200) 면 회절 X 선 강도 구성 비율이 청구 범위인 90% 를 초과하고 있다. 또한, 최종 압연전의 소둔에 있어서의 결정 입도도 청구 범위인 8.0 를 밑돌고 있다. 이 때문에 비교예 1 은, 소둔전의 인장 강도, 제품 결정 입도 (750℃) 및 제품 결정 입도 (850℃) 가 청구 범위로부터 벗어나, 어닐링을 상정한 열처리후의 내력이 낮다.On the other hand, in Comparative Example 1, since the intermediate rolling workability is as high as 78%, the (200) plane diffraction X-ray intensity constitution ratio in the annealing before final rolling exceeds 90% of the claims. Moreover, the crystal grain size in the annealing before final rolling is also below 8.0 which is a claim. For this reason, in Comparative Example 1, the tensile strength before annealing, the product crystal grain size (750 ° C.), and the product crystal grain size (850 ° C.) deviate from the claims, and have a low strength after heat treatment assuming annealing.

또한, 비교예 2 는, 최종 압연 가공도가 청구 범위를 만족하고 있지 않다. 이 때문에 비교예 2 는, 소둔전의 인장 강도, 제품 결정 입도 (750℃) 및 제품 결정 입도 (850℃) 가 청구 범위로부터 벗어나, 어닐링을 상정한 열처리후의 내력이 낮다.In addition, the final rolling workability of the comparative example 2 does not satisfy the claim. For this reason, in Comparative Example 2, the tensile strength before annealing, the product crystal grain size (750 ° C.), and the product crystal grain size (850 ° C.) deviate from the claims, and have a low strength after heat treatment assuming annealing.

그리고 비교예 3 은, 최종 압연전의 소둔에 있어서의 (200) 면 회절 X 선 강도 구성 비율, 최종 압연전의 소둔에 있어서의 결정 입도 번호 및 최종 압연에 있어서의 압연 가공도가 모두 청구 범위를 만족하고 있지 않다. 그 결과 비교예 3 은, 어닐링을 상정한 열처리후의 내력이 전체 실시예 중에서 가장 낮은 값으로 되어 있다.In Comparative Example 3, the (200) plane diffraction X-ray intensity composition ratio in the annealing before the final rolling, the crystal grain size number in the annealing before the final rolling, and the rolling workability in the final rolling all satisfy the claims. Not. As a result, in Comparative Example 3, the yield strength after heat treatment assuming annealing is the lowest value among all the examples.

Fe-Ni-Co 계 합금에 있어서, 고강도화를 위한 원소를 첨가하지 않고서, 저비용으로, 생산 효율을 저해시키지 않고, 낙하 강도를 향상시킨 섀도우 마스크재를 제공할 수 있다.In the Fe-Ni-Co alloy, a shadow mask material having improved drop strength can be provided at low cost without impairing production efficiency without adding an element for high strength.

Claims (6)

Ni: 30∼35질량%, Co: 2∼8질량%, Mn: 0.50질량% 이하를 함유하고, 잔부가 Fe 및 불가피한 불순물 또는 수반 원소(단 C: 0.10질량% 이하, Si: 0.10질량% 이하, Al: 0.05질량% 이하, S: 0.005질량% 이하, P: 0.005질량% 이하)로 이루어지고, 압연 가공 조직으로 구성되는 Fe-Ni-Co 계 합금으로, 750℃, 15분의 소둔을 실시했을 때에 결정 입도 번호가 9.5 이상인 재결정 조직이 발현되고, 또 850℃, 15분의 소둔을 실시했을 때에 결정 입도 번호가 8.5 이상인 재결정 조직이 발현되는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크용 고강도 Fe-Ni-Co 계 합금.Ni: 30-35 mass%, Co: 2-8 mass%, Mn: 0.50 mass% or less, and remainder Fe and an unavoidable impurity or accompanying element (C: 0.10 mass% or less, Si: 0.10 mass% or less) , Al: 0.05% by mass or less, S: 0.005% by mass or less), P: 0.005% by mass or less), and annealing was performed at 750 ° C. for 15 minutes in an Fe-Ni-Co alloy composed of a rolled structure. High-strength Fe-Ni-Co for shadow masks, wherein recrystallized tissues having a grain size number of 9.5 or more are expressed, and recrystallized tissues having a grain size number of 8.5 or more are expressed when annealing at 850 ° C. for 15 minutes. System alloy. 제 1 항에 있어서, 인장 강도가 630MPa 이상인 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크용 고강도 Fe-Ni-Co 계 합금.The high-strength Fe-Ni-Co-based alloy for shadow mask according to claim 1, wherein the tensile strength is 630 MPa or more. 슬래브를 열간 압연하고, 냉간 압연과 재결정 소둔을 반복한 후, 마지막으로 냉간 압연을 실시하는 공정에 의해 제조되고, 최종 냉간 압연전의 소둔에서 결정 입도 번호를 8.0 이상으로 조정하고, 최종 냉간 압연의 가공도를 30% 이상으로 하는 것을 특징으로 하는 제 1 항 또는 제 2 항에 따른 섀도우 마스크용 고강도 Fe-Ni-Co 계 합금의 제조 방법.After hot rolling the slab, repeating cold rolling and recrystallization annealing, finally, it is manufactured by the process of performing cold rolling, and the crystal grain size number is adjusted to 8.0 or more in the annealing before final cold rolling, and the final cold rolling processing A method for producing a high strength Fe-Ni-Co alloy for shadow masks according to claim 1 or 2, characterized in that the figure is 30% or more. 슬래브를 열간 압연하고, 냉간 압연과 재결정 소둔을 반복한 후, 마지막으로냉간 압연을 실시하는 공정에 의해 제조되고, 최종 냉간 압연전의 소둔에서 결정 입도 번호를 8.0 이상으로 조정하고, 최종 냉간 압연의 가공도를 50% 이상으로 하는 것을 특징으로 하는 제 1 항 또는 제 2 항에 따른 섀도우 마스크용 고강도 Fe-Ni-Co 계 합금의 제조 방법.After hot rolling the slab, repeating cold rolling and recrystallization annealing, finally, it is manufactured by the process of performing cold rolling, the crystal grain size number is adjusted to 8.0 or more in annealing before final cold rolling, and the final cold rolling is processed. A method for producing a high-strength Fe-Ni-Co alloy for shadow masks according to claim 1 or 2, characterized in that the figure is 50% or more. 제 3 항에 있어서, 최종 냉간 압연전의 소둔에서, 하기 식에 의해 정의되는 (200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율을 90% 이하로 조정하는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크용 고강도 Fe-Ni-Co 계 합금의 제조 방법.4. The high strength Fe-Ni-Co system for shadow masks according to claim 3, wherein in the annealing before final cold rolling, the (200) plane X-ray diffraction intensity component ratio defined by the following equation is adjusted to 90% or less. Method of manufacturing the alloy. (200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율 = I200/(I111+I200+I220+I311)×100(%)(200) Plane X-ray diffraction intensity composition ratio = I 200 / (I 111 + I 200 + I 220 + I 311 ) x 100 (%) {여기서, Ihkl은 (hkl) 격자면의 X 선 회절 강도를 나타낸다}{Where I hkl represents the X-ray diffraction intensity of the (hkl) lattice plane} 제 4 항에 있어서, 최종 냉간 압연전의 소둔에서, 하기 식에 의해 정의되는 (200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율을 90% 이하로 조정하는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크용 고강도 Fe-Ni-Co 계 합금의 제조 방법.The high-strength Fe-Ni-Co system for shadow masks according to claim 4, wherein in the annealing before final cold rolling, the (200) plane X-ray diffraction intensity composition ratio defined by the following equation is adjusted to 90% or less. Method of manufacturing the alloy. (200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율 = I200/(I111+I200+I220+I311)×100(%)(200) Plane X-ray diffraction intensity composition ratio = I 200 / (I 111 + I 200 + I 220 + I 311 ) x 100 (%) {여기서, Ihkl은 (hkl) 격자면의 X 선 회절 강도를 나타낸다}{Where I hkl represents the X-ray diffraction intensity of the (hkl) lattice plane}
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